DE102008001156A1 - Flexible diaphragm for diaphragm arrangement for device, has fixing clamp for peripheral clamping of flexible diaphragm - Google Patents

Flexible diaphragm for diaphragm arrangement for device, has fixing clamp for peripheral clamping of flexible diaphragm Download PDF

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Abstract

The flexible diaphragm (2) has a fixing clamp (4) for peripheral clamping of the diaphragm. The flexible diaphragm is made of a metallic glass for a part in a perfect manner. An independent claim is included for a device, particularly a fuel injector.

Description

Stand der TechnikState of the art

Die Erfindung betrifft eine flexible Membran gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1, eine Membrananordnung gemäß Anspruch 4, eine Vorrichtung gemäß Anspruch 6 sowie eine Verwendung gemäß Anspruch 12.The The invention relates to a flexible membrane according to the preamble of the claim 1, a membrane arrangement according to claim 4, a device according to claim 6 and a use according to claim 12th

Flexible Membrane werden als sogenannte Schwingungsmembrane (Oszillationsmembrane) in vielen Gebieten der Technik, beispielsweise als Bestandteil eines Aktors oder eines Sensors, oder eines Druck- und/oder Pulsationsdämpfers eingesetzt. Als Membranmaterial kommen, je nach Anwendungszweck, häufig Metall, insbesondere Stahlblech, oder Kunststoff, zur Anwendung. Für Komponenten zur Dämpfung von Druckspitzen und Druckpulsationen, beispielsweise in Einspritzventilen und Einspritzpumpen, werden in der Praxis meist aus Stählen gefertigte Membrane eingesetzt. Nachteilig hierbei ist das vergleichbar hohe E-Modul, das zu einem verbesserungsbedürftigen Ansprech- und/oder Regelverhalten der bekannten Stahl-Membrane führt. Ein weiterer Nachteil besteht darin, dass aus Stahl ausgebildete, flexible Membrane in der Regel eine Wärmebehandlung und eine Weichbearbeitung erfordern, um die gewünschten Materialeigenschaften zu erhalten.flexible Membranes are called so-called vibration membranes (oscillation membranes) in many fields of technology, for example as part of a Actuator or a sensor, or a pressure and / or pulsation damper used. As membrane material, depending on the application, often metal, in particular steel sheet, or plastic, for use. For components for damping of pressure peaks and pressure pulsations, for example in injection valves and injection pumps, are usually made of steels in practice Membrane used. The disadvantage here is the comparably high E-modulus, which is in need of improvement in response and / or Control behavior of the known steel membrane leads. Another disadvantage is that made of steel, flexible membrane in usually a heat treatment and require soft working to achieve the desired material properties to obtain.

Offenbarung der ErfindungDisclosure of the invention

Technische AufgabeTechnical task

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Membran mit einem verbesserten Ansprech- und/oder Regelverhalten vorzuschlagen. Ferner besteht die Aufgabe darin, eine entsprechend optimierte Membrananordnung umfassend mindestens zwei Membrane vorzuschlagen. Darüber hinaus besteht die Aufgabe darin, eine Vorrichtung mit mindestens einer Membran und/oder Membrananordnung vorzuschlagen, die ein optimiertes Ansprech- und/oder Regelverhalten aufweist/aufweisen.Of the Invention is therefore based on the object, a membrane with a to suggest improved response and / or control behavior. Further the task consists in a correspondingly optimized membrane arrangement comprising at least two membranes to suggest. In addition there is the task is a device with at least one membrane and / or to provide membrane arrangement which has an optimized response and / or Has / have control behavior.

Technische LösungTechnical solution

Diese Aufgabe wird hinsichtlich der Membran mit den Merkmalen des Anspruchs 1, hinsichtlich der Membrananordnung mit den Merkmalen des Anspruchs 4 und hinsichtlich der Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 6 gelöst. Ferner wird die Aufgabe durch eine Verwendung gemäß Anspruch 12 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben. In den Rahmen der Erfindung fallen sämtliche Kombinationen aus zumindest zwei von in der Beschreibung, den Ansprüchen und/oder den Figuren offenbarten Merkmalen.These Task is with regard to the membrane with the features of the claim 1, with regard to the membrane assembly having the features of the claim 4 and in terms of the device having the features of the claim 6 solved. Furthermore, the object is achieved by a use according to claim 12 solved. Advantageous developments of the invention are specified in the subclaims. In the context of the invention, all combinations of at least two features disclosed in the specification, claims and / or figures.

Der Erfindung liegt der Gedanke zugrunde, die flexible, vorzugsweise impermeable, Membran, zumindest zum Teil, vorzugsweise vollständig, aus einem metallischen Glas auszubilden. Metallische Gläser sind amorphe Metalle, d. h. Legierungen, die auf atomarer Ebene keine kristalline, sondern eine amorphe Struktur aufweisen. Im Vergleich zu dem bekannten, kristallinen, metallischen Legierungssystem wer den dabei bei Einhaltung hoher Festigkeitsmodule vergleichsweise niedrige E-Module realisiert, was dazu führt, dass eine flexible, zumindest teilweise, vorzugsweise vollständig, aus metallischem Glas ausgebildete Membran, insbesondere wenn diese als Bestandteil eines Aktors, eines Sensors oder eines Dämpfers eingesetzt wird, ein optimiertes Ansprech- und/oder Regelverhalten aufweist. Eine aus metallischem Glas ausgebildete flexible Membran zeichnet sich darüber hinaus durch eine hohe Oberflächengüte aus. Weiterhin erfordern metallische Gläser keine Wärmebehandlung und keine Weichbearbeitung, was die Fertigung einer aus metallischem Glas bestehenden flexiblen Membran im Vergleich zu bekannten Membranen erleichtert. Als weiterer wesentlicher Vorteil von aus metallischem Glas bestehenden Membranen besteht darin, dass diese sich besonders für eine hochpräzise, sogenannte Net-Shape-Fertigung eignen. Besonders bevorzugt ist eine Fertigung der Membran in einem Gussverfahren, insbesondere in einem Spritzgussverfahren, ggf. mit nachfolgenden Umformprozessen, da beim Erkalten des Gussteils nur geringste Schrumpfungen zu erwarten sind, da es aufgrund der amorphen Mikrostruktur im Vergleich zu kristallinen Systemen nicht zu einer Phasenumwandlung kommt. Metallische Gläser, beispielsweise auf Basis von Zr, Fe, Ni, Cu, Ti, Mg, Al werden bevorzugt durch rasches Abkühlen einer Schmelze hergestellt, sodass den Atomen die Beweglichkeit geraubt wird, bevor sie eine Kristallanordnung einnehmen können. Der thermische Ausdehnungskoeffizient einer zumindest teilweise aus metallischem Glas gebildeten flexiblen Membran ist dabei gering. Besonders bevorzugt ist eine Ausführungsform der Membran, bei der diese sich (in gewissen Grenzen von beispielsweise 1%) rein elastisch verformen lässt. Hierbei geht die aufgenommene Energie nicht als Verformungsenergie verloren, sondern wird beim Zurückfedern der Membran wieder vollständig abgegeben. Ein weiterer Vorteil von aus metallischem Glas bestehender Membrane besteht in der zum Teil hohen Korrosionsbeständigkeit, wodurch sich derartig ausgebildete Membrane insbesondere für den Einsatz im Zusammenhang mit aggressiven Flüssigkeiten, wie beispielsweise Kraftstoff eignen.Of the Invention is based on the idea that flexible, preferably Impermeable, membrane, at least in part, preferably completely, of one form metallic glass. Metallic glasses are amorphous metals, i. H. Alloys that are not crystalline at the atomic level, but have an amorphous structure. Compared to the known, crystalline, metallic alloy system who the case in compliance high strength modules comparatively low moduli realized what causes that a flexible, at least partially, preferably completely, made metallic glass formed membrane, especially when this as Part of an actuator, a sensor or a damper used is, has an optimized response and / or control behavior. A formed from metallic glass flexible membrane records about it in addition, by a high surface quality. Furthermore, metallic glasses require no heat treatment and no soft working, what the production of a metallic glass existing flexible Membrane facilitated compared to known membranes. As another significant advantage of consisting of metallic glass membranes is that these are especially for a high-precision, so-called net-shape manufacturing suitable. Particularly preferred is a production of the membrane in one Casting process, in particular in an injection molding process, possibly with subsequent forming processes, since the cooling of the casting only slightest shrinkages are to be expected, since it is due to the amorphous Microstructure compared to crystalline systems not one Phase transformation is coming. Metallic glasses, for example based on of Zr, Fe, Ni, Cu, Ti, Mg, Al are preferred by rapid cooling of a Melt produced, robbing the atoms of mobility is before they can take a crystal arrangement. Of the coefficient of thermal expansion of at least partially off Metallic glass formed flexible membrane is low. Particularly preferred is an embodiment of the membrane, in this is pure (within certain limits, for example, 1%) elastically deform. Here, the absorbed energy does not go as deformation energy Lost, but is when springing back the membrane completely again issued. Another advantage of existing from metallic glass Membrane consists in the sometimes high corrosion resistance, whereby such a membrane formed in particular for use in connection with aggressive liquids, such as Fuel suitable.

Von besonderem Vorteil ist eine Ausführungsform, bei der die insbesondere flächige, flexible Membran einen Einspannungsrand aufweist, an dem die Membran innerhalb einer Vorrichtung, beispielsweise einem Aktor oder Sensor, eingespannt wird, um relativ zu der Einspannung schwingen zu können. Dabei sind die unterschiedlichsten Anwendungen einer derartigen Schwingungsmembran aus metallischem Glas denkbar. Beispielsweise kann die Schwingungsmembran in Mikrophonen, Lautsprechern, Druckmessern, Pumpen, Musikinstrumenten, etc. eingesetzt werden.Of particular advantage is an embodiment in which the particular flat, flexible membrane has a clamping edge, on which the membrane is clamped within a device, for example an actuator or sensor, to swing relative to the restraint. The most varied applications of such a vibration membrane made of metallic glass are conceivable. For example, the vibration membrane in microphones, speakers, pressure gauges, pumps, musical instruments, etc. can be used.

Die Erfindung führt auch auf eine Membrananordnung, umfassend mindestens zwei aneinander festgelegte, zumindest teilweise, vorzugsweise vollständig aus metallischem Glas ausgebildete Membrane. Derartige Membrananordnungen eignen sich insbesondere zum Einsatz in einem und/oder als Druck-/Pulsationsdämpfer. Hierzu ist ein innerhalb der Membrananordnung aufgenommenes Fluidvolumen vorzugsweise von einem die Membrananordnung außen umgebenden Fluidvolumen getrennt.The Invention leads also to a membrane arrangement comprising at least two mutually fixed, at least partially, preferably entirely of metallic glass trained membrane. Such membrane arrangements are particularly suitable For use in one and / or as a pressure / pulsation damper. For this is a fluid volume received within the membrane assembly preferably of a membrane surrounding the outside fluid volume separated.

Eine Möglichkeit zur Herstellung einer Membrananordnung besteht dabei darin, mindestens zwei, vorzugsweise ausschließlich zwei, halbschalenförmige Membrane, insbesondere randseitig, beispielsweise durch Schweißen, Kleben oder Umformen aneinander festzulegen.A possibility for producing a membrane arrangement consists in at least two, preferably exclusively two, shell-shaped Membrane, in particular on the edge, for example by welding, gluing or reshape each other.

Die Erfindung führt auch auf eine Vorrichtung mit mindestens einer zuvor beschriebenen flexiblen Membran und/oder mit, mindestens einer zuvor beschriebenen Membrananordnung. Besonders bevorzugt handelt es sich um eine Vorrichtung, bei der es auf ein exaktes Ansprech- und/oder Regelverhalten der Membran ankommt. Beispielsweise kann die Vorrichtung als (Membran-)Pumpe und die Membran darin als Pumpmembran ausgebildet werden. Besonders bevorzugt ist die Ausbildung der Vorrichtung als Einspritzkomponente zum Einspritzen von Kraftstoff in einen Brennraum einer Brennkraftmaschine. Hierbei kann es sich beispielsweise um einen Kraftstoff-Injektor oder eine Kraftstoffpumpe handeln. Auch ist die Ausbildung der Vorrichtung als Dämpfungsvorrichtung realisierbar.The Invention leads also to a device with at least one previously described flexible membrane and / or with at least one previously described Membrane assembly. Particularly preferred is a device, when it comes to an exact response and / or control behavior of Membrane arrives. For example, the device as a (diaphragm) pump and the membrane is formed therein as a pumping membrane. Especially preferred is the design of the device as injection component for injecting fuel into a combustion chamber of an internal combustion engine. This may be, for example, a fuel injector or a fuel pump. Also, the training of the device as a damping device realizable.

Für die meisten Anwendungen ist eine Ausführungsform bevorzugt, bei der die Membran und/oder die Membrananordnung, vorzugsweise randseitig, eingespannt ist, insbesondere um innerhalb der Einspannung schwingen zu können.For the most Applications is an embodiment in which the membrane and / or the membrane arrangement, preferably at the edge, is clamped, in particular to swing within the clamping to be able to.

Insbesondere dann, wenn die Vorrichtung als Aktuator ausgebildet ist oder einen Aktuator umfasst, ist eine Ausführungsform bevorzugt, bei der die Membran und/oder die Membrananordnung aktiv ansteuerbar ist. Hierzu kann die Membran bzw. die Membrananordnung mit Antriebsmitteln zum Verstellen der Membran bzw. zur Schwingungsanregung verbunden sein. Als Aktuator kommen beispielsweise elektromagnetische, piezoelektrische oder mechanische Antriebe zum Einsatz. Im Falle der Ausbildung der Vorrichtung als Sensor oder im Falle des Vorsehens eines Sensors innerhalb der Vorrichtung, deren Bestandteil die Membran ist, kann die Membran mit Sensormitteln gekoppelt werden, um die Aus lenkung und/oder Schwingung der Membran zu detektieren. Hierzu eignen sich beispielsweise elektromagnetische, piezoelektrische oder mechanische Sensormittel. Es ist auch beispielsweise der Einsatz von optischen oder akustischen Sensormitteln realisierbar.Especially when the device is designed as an actuator or one Includes actuator is an embodiment preferred in which the membrane and / or the membrane assembly is active is controllable. For this purpose, the membrane or the membrane assembly connected to drive means for adjusting the membrane or for vibration excitation be. As an actuator, for example, electromagnetic, piezoelectric or mechanical drives are used. In the case of training the Device as a sensor or in the case of providing a sensor within the device of which the membrane is a part The membrane can be coupled with sensor means to steering the off and / or to detect vibration of the membrane. Suitable for this purpose For example, electromagnetic, piezoelectric or mechanical sensor means. It is also, for example, the use of optical or acoustic Sensor means realized.

Insbesondere dann, wenn die Vorrichtung als Dämpfer ausgebildet ist oder einen Dämpfer umfasst, ist eine Ausführungsform bevorzugt, bei der die Membran und/oder Membrananordnung einen, insbesondere gegenüber der Umgebung abgedichteten, Raum, zumindest abschnittsweise, vorzugsweise vollständig, umschließen/umschließt. Dabei kann innerhalb des Raums ein von der Umgebung unterschiedlicher Druck vorherrschen, bzw. das Raumvolumen kann als Druck-/Pulsationsdämpfervolumen dienen. Im Falle der Ausbildung der Vorrichtung als Dämpfer ist eine Ausführungsform realisierbar, bei der das Raumvolumen von einer, beispielsweise mittels zweier Halbschalen gebildeten Membrananordnung, umschlossen ist. Alternativ ist der Raum von einer einzigen Membran verschließbar, wobei die Membran beispielsweise durch Hochdruckumformen, beispielsweise mit Innenhochdruck, in die gewünschte Form bringbar ist. Der Raum kann mit einem Verschluss versehen werden, der beispielsweise durch Löten, Schweißen, oder Verschrauben an der Membran festlegbar ist.Especially then, if the device as a damper is formed or a damper includes, is an embodiment preferred in which the membrane and / or membrane arrangement a, especially opposite the environment sealed, space, at least in sections, preferably completely, enclose / encloses. there can be different from the environment within the room Pressure prevail or the volume of the room can serve as a pressure / pulsation damper volume. In the case of forming the device as a damper is an embodiment feasible, in which the volume of a room, for example enclosed by means of two half-shells formed membrane assembly is. Alternatively, the space is closed by a single membrane, wherein the membrane, for example by high pressure forming, for example with hydroforming, in the desired Can be brought form. The room can be provided with a lock, for example, by soldering, Welding, or screwing on the membrane can be fixed.

Wie vorher erwähnt, ist eine Ausführungsform der Vorrichtung als Einspritzkomponente, insbesondere als Kraftstoff-Injektor oder als Kraftstoff-Membranpumpe von Vorteil, da es in diesem Einsatzgebiet zum einen auf eine hohe Korrosionsbeständigkeit der Membran und zum anderen auf ein exaktes Ansprech- und Regelverhalten ankommt.As previously mentioned, is an embodiment the device as an injection component, in particular as a fuel injector or as Fuel diaphragm pump advantageous as it is in this application on the one hand on a high corrosion resistance of the membrane and the Others depend on an exact response and control behavior.

Die Erfindung führt auch auf eine Verwendung von metallischem Glas zur Herstellung einer flexiblen Membran. Dabei liegt es im Rahmen der Erfindung, die flexible Membran nur teilweise oder vollständig aus einem metallischen Glas auszubilden. Denkbar ist auch ein Schichtaufbau der flexiblen Membran, wobei mindestens eine Schicht, zumindest abschnittsweise, vorzugsweise vollständig aus metallischem Glas besteht.The Invention leads also to a use of metallic glass for producing a flexible membrane. It is within the scope of the invention, the flexible Membrane only partially or completely made of a metallic To train glass. Also conceivable is a layer structure of the flexible membrane, wherein at least one layer, at least in sections, preferably Completely made of metallic glass.

Kurze Beschreibung der ZeichnungenBrief description of the drawings

Weitere Vorteile, Merkmale und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele sowie anhand der Zeichnungen. Diese zeigen in:Further Advantages, features and details of the invention will become apparent the following description of preferred embodiments and by reference the drawings. These show in:

1 eine Vorrichtung, bei der eine aus metallischem Glas bestehende Membran mittels eines elektromagnetischen Aktuators ansteuerbar ist, 1 a device in which a metallic glass membrane by means of a electromagnetic actuator is controllable,

2 eine Vorrichtung, bei der eine aus metallischem Glas bestehende Membran mittels eines mechanischen Aktuators anregbar ist, 2 a device in which a diaphragm made of metallic glass can be excited by means of a mechanical actuator,

3 eine mögliche Ausführungsform eines Druck-/Pulsationsdämpfers, umfassend eine Membrananordnung bestehend aus zwei halbschalenförmigen Membranen aus metallischem Glas und 3 a possible embodiment of a pressure / pulsation damper, comprising a membrane assembly consisting of two half-shell-shaped membranes of metallic glass and

4 ein Druck-/Pulsationsdämpfer mit einer hochdruckumgeformten Membran aus metallischem Glas. 4 a pressure / pulsation damper with a high-pressure-converted membrane made of metallic glass.

Ausführungsformen der ErfindungEmbodiments of the invention

In der Figur sind gleiche Bauteile und Bauteile mit der gleichen Funktion mit den gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet.In The figure is the same components and components with the same function marked with the same reference numerals.

In 1 ist eine beispielsweise als Membranpumpe für flüssige Medien dienende Vorrichtung 1 gezeigt. Die Vorrichtung 1 umfasst eine flexible Membran 2, die halbschalenförmig ausgebildet ist. Die flexible Membran 2 ist vollständig aus metallischem Glas (amorphem Metall) ausgebildet. In einem zentrischen Bereich weist die flexible Membran 2 einen Flachabschnitt 3 auf, der axial gegenüber einem Einspannrand 4 versetzt angeordnet ist. Mit ihrem Einspannrand 4 ist die flexible Membran 2 ortsfest in einer nicht gespannten Einspanneinrichtung eingespannt. Auf der von dem Einspannrand 4 abgewandten Seite des Flachabschnitts 3 ist an der flexiblen Membran 2 ein ferromagnetischer Werkstoff 5 (Anker) festgelegt. Auf das Vorsehen eines derartigen ferromagnetischen Werkstoffes 5 kann dann verzichtet werden, wenn die flexible Membran 2 selbst ferromagnetisch ausgebildet ist. Die Kopplung, bzw. der Antrieb der flexiblen Membran 2 in mit dem Bezugszeichen 9 gekennzeichnete Verstellrichtungen, erfolgt mittels eines elektromagnetischen Aktuators 6, welcher in dem gezeigten Ausführungsbeispiel einen zylindrischen Weicheisenkern 7 sowie eine darauf aufgewickelte, elektrische Spule 8 aufweist. Durch Bestromung der Spule 8 kann ein elektromagnetisches Feld erzeugt werden, das die flexible Membran 2 – je nach Polung – in die Verstellrichtungen 9 auslenkt.In 1 is an example serving as a diaphragm pump for liquid media device 1 shown. The device 1 includes a flexible membrane 2 , which is formed half-shell-shaped. The flexible membrane 2 is made entirely of metallic glass (amorphous metal). In a central area has the flexible membrane 2 a flat section 3 on, the axially opposite a clamping edge 4 is arranged offset. With its clamping edge 4 is the flexible membrane 2 Fixed clamped in a non-tensioned clamping device. On the from the clamping edge 4 remote side of the flat section 3 is on the flexible membrane 2 a ferromagnetic material 5 (Anchor). On the provision of such a ferromagnetic material 5 can then be dispensed with, if the flexible membrane 2 itself ferromagnetic is formed. The coupling, or the drive of the flexible membrane 2 in with the reference numeral 9 characterized adjustment directions, by means of an electromagnetic actuator 6 which in the embodiment shown a cylindrical soft iron core 7 and an electric coil wound thereon 8th having. By energizing the coil 8th An electromagnetic field can be generated that forms the flexible membrane 2 - depending on the polarity - in the adjustment directions 9 deflects.

In 2 ist eine alternative Vorrichtung 1 gezeigt, die ebenfalls beispielsweise als Membranpumpe für flüssige Me dien eingesetzt werden kann. Die analog zu dem Ausführungsbeispiel gemäß 1 ausgeformte flexible Membran 2 aus metallischem Glas ist über einen mechanischen, eine Kolbenstange 11 umfassenden Aktuator 10 in den Verstellrichtungen 9 auslenkbar. Die Kolbenstange 11 ist mittels einer Konterschraube 12 an dem zentrischen Flachabschnitt 3 der flexiblen Membran 2 festgelegt. Die Kolbenstange 11 ist beispielsweise mit einem Exzenterantrieb wirkverbunden.In 2 is an alternative device 1 shown, which can also be used, for example, as a diaphragm pump for liquid media Me. The analogous to the embodiment according to 1 molded flexible membrane 2 Made of metallic glass has a mechanical, a piston rod 11 comprehensive actuator 10 in the adjustment directions 9 deflectable. The piston rod 11 is by means of a lock screw 12 at the centric flat section 3 the flexible membrane 2 established. The piston rod 11 is for example operatively connected to an eccentric drive.

In 3 ist eine Membrananordnung 13 gezeigt, die in einer Vorrichtung als Druck-/Pulsationsdämpfer einsetzbar ist. Die Membrananordnung 13 ist gebildet aus zwei halbschalenförmigen, flexiblen Membranen 2, die randseitig im Bereich ihres jeweiligen Einspannrandes 4 aneinander durch Verschweißen und Ausbilden einer Fügenaht 16 festgelegt sind. Die flexible Membran 2 bzw. die Membrananordnung 13 begrenzt/begrenzen einen inneren Raum 14, der mit Hilfe der impermeablen Membran 2 gegenüber der Umgebung 15 abgedichtet ist.In 3 is a membrane arrangement 13 shown, which can be used in a device as a pressure / pulsation damper. The membrane arrangement 13 is formed by two half-shell-shaped, flexible membranes 2 , the edge in the area of their respective Einspannrandes 4 to each other by welding and forming a joint seam 16 are fixed. The flexible membrane 2 or the membrane arrangement 13 limit / limit an inner space 14 , with the help of the impermeable membrane 2 opposite the environment 15 is sealed.

Von außen verursachte Membranschwingungen der flexiblen Membran 2 werden durch das innerhalb des Raums 14 befindliche Medium gedämpft.From the outside caused membrane vibrations of the flexible membrane 2 be through the inside of the room 14 dampened medium.

In 4 ist eine alternativ ausgeformte, als Druck-/Pulsationsdämpfer einsetzbare Membran 2 gezeigt. Die Membran 2 besteht dabei vollständig aus metallischem Glas. Die Membran 2 wurde durch einen Hochdruckumformprozess erhalten, wobei innerhalb der Membran 2 bzw. des zu erzeugenden Raumes 14 ein Überdruck aufgebaut wurde. Die gezeigte Membran 2 ist im Wesentlichen ausgeformt wie die Membrananordnung 13 gemäß 3 und umfasst zwei parallele, zentrische Flachabschnitte 3, die gegenüber dem Randbereich bzw. dem radial äußeren Bereich axial nach innen versetzt angeordnet sind. Nach dem Umformprozess kann die zum Einbringen eines Innendrucks notwendige Öffnung 17 mittels eines Verschlusses 18 abgedichtet werden, wobei der Verschluss 18 beispielsweise durch Löten, Schweißen, Verschrauben, etc. an der Membran 2 aus metallischem Glas festlegbar ist.In 4 is an alternative shaped diaphragm which can be used as a pressure / pulsation damper 2 shown. The membrane 2 consists entirely of metallic glass. The membrane 2 was obtained by a high pressure forming process, wherein within the membrane 2 or the space to be created 14 an overpressure was built up. The membrane shown 2 is substantially shaped as the membrane assembly 13 according to 3 and comprises two parallel, centric flat sections 3 which are arranged offset axially inwards relative to the edge region or the radially outer region. After the forming process, the necessary for introducing an internal pressure opening 17 by means of a closure 18 be sealed, the shutter 18 for example, by soldering, welding, screwing, etc. on the membrane 2 Can be fixed in metallic glass.

Claims (12)

Flexible Membran (2), dadurch gekennzeichnet, dass die Membran (2), zumindest zum Teil, aus metallischem Glas besteht.Flexible membrane ( 2 ), characterized in that the membrane ( 2 ), at least in part, consists of metallic glass. Membran nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Membran (2) vollständig aus metallischem Glas ausgebildet ist.Membrane according to claim 1, characterized in that the membrane ( 2 ) is formed entirely of metallic glass. Membran nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Membran (2) einen Einspannrand (4) zum randseitigen Einspannen der Membran (2) aufweist.Membrane according to one of claims 1 or 2, characterized in that the membrane ( 2 ) a clamping edge ( 4 ) for marginal clamping of the membrane ( 2 ) having. Membrananordnung, umfassend mindestens zwei aneinander gefügte Membrane (2) nach einem der vorhergehenden Ansprüche.Membrane arrangement comprising at least two membranes ( 2 ) according to any one of the preceding claims. Membrananordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Membrananordnung (13) mindestens zwei halbschalenförmige Membrane (2) umfasst.Membrane arrangement according to claim 4, characterized in that the membrane arrangement ( 13 ) at least two half-shell-shaped membranes ( 2 ). Vorrichtung mit mindestens einer Membran (2) nach einem der Ansprüche 1 bis 3 und/oder mit mindestens einer Membrananordnung (13) nach Anspruch 5.Device with at least one membrane ( 2 ) according to one of claims 1 to 3 and / or with at least one membrane arrangement ( 13 ) according to claim 5. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Membran (2) und/oder die Membrananordnung (13), vorzugsweise randseitig, eingespannt sind/ist.Device according to claim 6, characterized in that the membrane ( 2 ) and / or the membrane arrangement ( 13 ), preferably on the edge, are clamped / is. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Membran (2) und/oder die Membrananordnung (13) mit, insbesondere elektromagnetischen und/oder piezoelektrischen und/oder mechanischen Antriebs- oder Sensormitteln gekoppelt sind/ist.Device according to one of claims 6 or 7, characterized in that the membrane ( 2 ) and / or the membrane arrangement ( 13 ) are coupled with, in particular electromagnetic and / or piezoelectric and / or mechanical drive or sensor means / is. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Membran (2) und/oder die Membrananordnung (13) einen, insbesondere geschlossenen, Raum (14) zumindest abschnittsweise, vorzugsweise vollständig, umschließend angeordnet sind/ist.Device according to one of claims 6 to 8, characterized in that the membrane ( 2 ) and / or the membrane arrangement ( 13 ) one, in particular closed, space ( 14 ) are arranged at least in sections, preferably completely, enclosing / is. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Membran (2) und/oder die Membrananordnung (13) Bestandteil eines Druck- und/oder Pulsationsdämpfers sind/ist.Device according to one of claims 6 to 9, characterized in that the membrane ( 2 ) and / or the membrane arrangement ( 13 ) Part of a pressure and / or pulsation damper are / is. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung eine Kraftstoff-Einspritzkomponente, insbesondere ein Kraftstoff-Injektor, ist.Device according to one of claims 6 to 10, characterized that the device is a fuel injection component, in particular a Fuel injector, is. Verwendung von metallischem Glas zur Herstellung einer flexiblen Membran (2).Use of metallic glass for producing a flexible membrane ( 2 ).
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