DE102007056112A1 - Verfahren zum Bearbeiten von Graten an Werkstücken mittels Laserstrahlung - Google Patents

Verfahren zum Bearbeiten von Graten an Werkstücken mittels Laserstrahlung Download PDF

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    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/36Removing material
    • B23K26/361Removing material for deburring or mechanical trimming

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bearbeiten eines Werkstücks mittels Laserstrahlung, wobei ein am Werkstück vorhandener Grat G mit der Laserstrahlung beaufschlagt und zumindest teilweise angeschmolzen wird.

Description

  • Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bearbeiten von Werkstücken mittels Laserstrahlung.
  • Bei Werkstücken und Bauteilen entstehen bedingt durch den Herstellungsprozess oft Grate, beispielsweise beim Stanzen oder Formgießen. Beispielsweise entsteht bei jeder gestanzten Kontur verfahrensbedingt ein Grat. Grate sind störende oder sogar gefährliche Bereiche an einem Werkstück und müssen daher in der Regel weitestgehend entfernt werden. Insbesondere bei dem Einsatz derartig produzierter Werkstücke in einer Kraftstoff- oder Einspritzanlage oder der Medizintechnik dürfen keine losen metallischen Partikel durch sich lösenden Grat entstehen. Die Grathöhe bei gestanzten Teilen liegt erfahrungsgemäß bei bis zu etwa 10% der Starke des Materials, aus dem das Werkstück gestanzt wurde.
  • Bei sehr kleinen Konturen ist das Abtragen jedes Grats beispielsweise durch Trowalisieren, Bandschleifen, Bürsten oder Gleitschleifen nicht möglich, der Grat wird in die Kontur gedrückt und dabei unter Umständen sogar gelöst. Das Anprägen der Konturen ist nur begrenzt wirksam, da loser Grat auch durch Anprägen nicht mehr zuverlässig fixiert werden kann. Chemisches Entgraten ist sehr kostspielig und auch nicht bei allen Teilegeometrien realisierbar (beispielsweise haften Platinen aneinander) und auch nicht selektiv für Teilbereiche, sondern nur für das gesamte Werkstück anwendbar.
  • Stand der Technik
  • Aus der DE 100 34 806 C1 ist ein Verfahren zum Entgraten von Werkstücken und Erzeugen einer vorbestimmten Werkstückgeometrie unter Verwendung eines Lasers bekannt. Dabei wird ein Grat eines Werkstücks in einem ersten Arbeitsschritt durch einen Laser-Schneidvorgang zunächst grob abgetrennt und der Restgrat in einem folgenden Arbeitsschritt weiter bearbeitet. Ein bekanntes Verfahren zum Bearbeiten von gestanzten Werkstücken ist das sogenannte Trowalisieren. Dabei werden Schleifkörper in einer Trommel eingesetzt, mit deren Hilfe die Kanten einer Glättungsbearbeitung unterzogen werden.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Bei sehr kleinen gestanzten Strukturen ist allerdings keines der genannten Verfahren anwendbar, da zum einen die auftretenden relativ kleinen Grate in der Größenordnung eines kleinstmöglichen Fokusdurchmessers derzeit bekannter Laser liegen und somit nicht abgetrennt werden können und zum anderen die kleinstmöglichen noch wirksamen Schleifkörper des Trowalisierverfahrens so groß sind, dass sie nicht in die Konturen eindringen können oder sogar Schäden am Werkstück verursachen können.
  • Das Problem besteht also darin, den Grat bei einem gestanzten Werkstück derart zu bearbeiten, dass er sich nicht lösen kann und die vorgegebene Werkstückkontur nicht beeinträchtigt wird.
  • Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es also, ein Verfahren zum Bearbeiten eines Werkstücks zu schaffen, das ein rasches Bearbeiten von gratbehafteten Werkstücken gestattet.
  • Die erfindungsgemäße Aufgabe wird durch ein Verfahren gemäß Patentanspruch 1 gelöst. Die abhängigen Patentansprüche definieren vorteilhafte Weiterentwicklungen der Erfindung.
  • Die Erfindung stellt also ein Verfahren zum Bearbeiten eines gestanzten Werkstücks mittels Laserstrahlung bereit, worin ein durch das Stanzen entstandener Grat am Werkstück zumindest teilweise angeschmolzen wird.
  • Das zumindest teilweise Anschmelzen bewirkt ein Verrunden, Verlagern, Glätten und/oder Fixieren des Grats. Die physikalische Grundlage hierfür ist die Oberflächenspannung der Schmelze am angeschmolzenen Grat: Die Werkstückoberfläche wird lokal aufgeschmolzen, der Grat schmilzt auf und verrundet unter Wirkung der Oberflächenspannung. Der Grat kann unter der Wirkung der Laserstrahlung allerdings auch sich verlagern, geglättet werden oder am Werkstück fixiert werden.
  • Da die Fertigung von komplexen Stanz-Biegeteilen stets in Folge-, Folgeverbund- oder Transferwerkzeugen erfolgt und das oberflächliche Anschmelzen metallischer Werkstoffe mit modernen leistungsfähigen Laser in sehr kurzen Zeiträumen bewerkstelligt werden kann, ist es somit möglich, den Laserbearbeitungsprozess in einer oder mehreren weiteren, dem Stanzvorgang nachgeordneten Folgen des Werkzeugs durchzuführen, ohne dass die Taktzahl verringert wird oder gar ein zusätzlicher nachgeschalteter Folgearbeitsgang außerhalb des Werkzeugs erforderlich wird.
  • Als Laser wird ein zur Materialbearbeitung geeigneter Laser mit einer geeigneten Optik und einer Scannervorrichtung oder einem Linearachsensystem zum Steuern des Laserstrahls an oder auf dem zu bearbeitenden Werkstück eingesetzt. Der Grad der Fokussierung wird an die Erfordernisse des Materials und der Kantengeometrie angepasst. Auf diese Weise kann der Laserstrahl entlang einer Kante eines Werkstücks geführt werden, um so die Laserenergie in das Material des Werkstücks im Bereich der zu entgratenden Kante einzukoppeln. Dabei entsteht Wärme in den bestrahlten Materialbereichen. Bei schmelzbaren Materialien kann die eingebrachte Wärme zu einem lokalen Schmelzen des Materials führen, so dass das geschmolzene Material aufgrund der Oberflächenspannung der entstandenen lokalen Schmelzzonen zusammenläuft und auf diese Weise einen Grat derart anschmelzen, dass er entweder vollständig schmilzt und die Schmelze auf oder an dem Werkstück verläuft. Oder der Grat verlagert sich derart, dass er über seine gesamte Erstreckung oder einen Teil davon am Werkstück anschmilzt. Es kann auch eine Glättung derart eintreten, dass der Grat aufgrund des lokalen Schmelzvorgangs in sich zusammenfällt. Schließlich kann auch der Grat als Ganzes sich an das Werkstück anschmiegend fixiert werden. Mit anderen Wort wird der Grat am Grundmaterial durch gezielte lokale Erwärmung mit einem Laserstrahl angeschmolzen und fixiert. Der Laserstrahl wird über die Laserparameter, wie beispielsweise Strahlenergie, Pulsdauer, -weite, -frequenz und dergleichen, gezielt an die Bearbeitungsaufgabe und die momentan vorliegende Grathöhe, die vom Verschleißzustand des Stanzwerkzeugs abhängt, angepasst.
  • Jede gestanzte Fläche besteht aus den Bereichen Stanzeinzug (an der Oberfläche, an welcher der Schneidstempel eintritt), Glattschnittanteil (Scherfläche), Stanzausbruch (freie Rissausbreitung zwischen Stempel und Matrizenkante) und Grat. Bedingt durch den Schneidspalt verläuft die Stanzausbruchfläche in der Regel unter 5–15° zur Glattschnittfläche.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren hat die Wirkung, dass das aufgeschmolzene Gratmaterial unter Einfluss der Oberflächenspannung größtenteils in den Stanzausbruchbereich gezogen wird. Da das Volumen des Grats in der Regel kleiner ist als das „fehlende" Volumen des Stanzausbruchbereichs, verschwindet das Gratmaterial im Stanzausbruch, ohne dass die Kontur des Glattschnittbereichs überschritten wird und sich die Innenkontur damit messbar verkleinert.
  • Die Spezifikation eines maximalen Grats erfolgt normalerweise in der Form eines maximalen Überstandes gegenüber einer Bezugsfläche oder in Form eines minimalen Radius zwischen Bezugsfläche senkrecht zur Stanzfläche und Stanzfläche.
  • Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird im Wesentlichen kein Material entfernt.
  • In einer bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens wird die Laserstrahlung in zeitlich und räumlich vorbestimmter Weise auf Bereiche einer Kante des Werkstücks gerichtet wird, um so einen Grat an der Kante des Werkstücks wenigstens teilweise anzuschmelzen. Diese Strahlführung wird durch eine geeignete Scanneroptik erreicht.
  • In einer bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens wird entlang der zu bearbeitenden Kante des Werkstücks die Laserstrahlung punktuell im Bereich der zu bearbeitenden Kante des Werkstücks aufgebracht. Um den Grat vollständig und gleichmäßig zu bearbeiten, sollten die Laserpunkte vorzugsweise überlappend entlang der Kontur gesetzt werden.
  • In einer weiteren Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens weist die zu bearbeitende Kante am Werkstück im Wesentlichen die Form eines Kreises auf.
  • In einer bevorzugten erfindungsgemäßen Ausführungsform wird die Laserstrahlung in einer zeitlich und räumlich vorbestimmten Weise derart geführt, dass an einander grenzende Bereiche der zu entgratenden Kante nacheinander mit der Laserstrahlung beaufschlagt werden, vorzugsweise überlappend. Dies bedeutet, dass die Laserstrahlung derart zeitabhängig gerichtet wird, dass sie die Kontur der zu bearbeitenden Kante nachfährt. Für den Fall einer kreisförmigen Kante bedeutet dies beispielsweise, dass die Laserstrahlung beispielsweise im Uhrzeigersinn oder im Gegenuhrzeigersinn geführt wird. Dies ist für gepulste wie auch für kon tinuierliche Laserstrahlung möglich. Damit wird also in unmittelbarer Nachbarschaft eines bereits bearbeiteten Bereiches ein nächster Bereich der Kante bearbeitet. Dieses Verfahren ist vorteilhaft, wenn eine Überhitzung des Materials nicht zu befürchten ist. Einige Materialien sind gegen Überhitzung empfindlich, wie beispielsweise Metalle, die oberhalb bestimmter Temperaturen Phasenumwandlungen erleiden, die zudem in der Regel mit einem veränderten Energieaustausch einhergehen.
  • Alternativ wird die Laserstrahlung in einer zeitlich und räumlich vorbestimmten Weise derart geführt, dass aneinander grenzende Bereiche der zu bearbeitenden Kante derart intermittierend mit der Laserstrahlung beaufschlagt werden, dass zwischen zwei Bereichen, die mit Laserstrahlung beaufschlagt werden, immer wenigstens ein Bereich freigelassen wird. Das heißt, dass beispielsweise an einer kreisrunden Kante zeitlich direkt aufeinanderfolgende Laserpunkte räumlich einander gegenüberliegend beaufschlagt werden. Auf diese Weise wird eine Überhitzung vermieden.
  • Es ist von Bedeutung, dass das erfindungsgemäße Verfahren eine Bearbeitung des gestanzten Werkstücks mittels Laserstrahlung nicht mehr Zeit erfordert als die Umformung in den anderen Folgen und damit einen Fertigungsprozess insgesamt nicht verzögert. Der Laserprozess erfolgt vorzugsweise in dem Zeitraum, während das Band in Ruhe ist. Es ist aber auch möglich, der Kontur die Bewegung des Transportbandes vektoriell durch geeignete Programmierung zu überlagern und damit eine Bearbeitung „On-the-fly" auch während des Einziehens und Absenkens des Bandes durchzuführen. Dadurch könnten die bearbeitbaren Konturlängen noch gesteigert werden.
  • Zusammengefasst stellt die Erfindung also ein Verfahren bereit, mit dem rasch Konturen von Werkstücken, insbesondere gestanzten, geglättet werden können.
  • Kurze Beschreibung der Figuren
  • 1a zeigt in starker Vergrößerung einen Ausschnitt der Kontur einer gestanzten Fläche mit Glattschnittanteil, Stanzausbruch und Grat.
  • 1b zeigt die Gratseite eines gestanzten Blechs.
  • 2a und 2b zeigen in einer Draufsicht und einer Seitenansicht ein Werkstück, in das eine kreisförmige Öffnung gestanzt wurde.
  • 3a und 3b zeigen in Draufsicht jeweils ein Werkstück, das entsprechend dem erfindungsgemäßen Verfahren bearbeitet wurde.
  • 4a und 4b dienen zur Veranschaulichung bei alternativer Ansteuerung des Lasers.
  • 5 zeigt in starker Vergrößerung eine Detailansicht eines Glattschnittanteils einer Kante, die durch Stanzen eines Werkstücks gebildet wurde, wobei das Werkstück gemäß dem erfindungsgemäßen Verfahren bearbeitet wurde.
  • Ausführliche Beschreibung der Erfindung
  • Im Folgenden wird eine bevorzugte Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens zum Bearbeiten eines Werkstücks mittels Laserstrahlung beispielhaft beschrieben.
  • 1a zeigt in starker Vergrößerung eine gemessenes Kontur einer Kante, die durch Stanzen eines metallischen Werkstücks 10 gebildet wurde. 1b zeigt eine fotografische Aufnahme eines Grats auf der Stanzausbruchseite eines ausgestanzten Lochs. Das Werkstück 10 weist dabei eine Oberfläche O auf. Die Kante zeigt eine Kontur, die sich in den gestanzten Hauptbereich (Glattschnittfläche) W, einen Übergangsbereich B (Stanzausbruchfläche) und einen unvermeidlichen Grat G gliedert. Ein Grat G hat typischerweise eine Längserstreckung (Grathöhe S) von etwa bis zu 10% der Materialstärke. Gezeigt ist hier also ein Teil des Glattschnittanteils, der Stanzausbruch, der unter einem Winkel α von ca. 15° zur Glattschnitt fläche geneigt ist, sowie der Grat. Eine gegenüberliegende Stanzeinzugsfläche ist nicht gezeigt.
  • 2a zeigt als exemplarisches Beispiel das runde Werkstück 10, in das eine kreisförmige Öffnung Kr gestanzt wurde, als Ganzes. Die im Folgenden angegebenen Abmessungen sind dabei nur exemplarisch zu verstehen. Die kreisförmig geschlossene Kante K der Öffnung Kr hat einen Durchmesser d von ungefähr 0,8 mm (z. B. mit der üblichen Stanzteiltoleranz von +/–0,05 mm) und das Werkstück einen Durchmesser von ungefähr 10 mm. Entlang der Linie A-A genommen ist ein Querschnitt A-A des Werkstücks 10 in 2b gezeigt. Demnach hat das Werkstück 10 eine Höhe (Dicke) t von ungefähr einem mm.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren zum Bearbeiten eines gestanzten Werkstücks mittels Laserstrahlung wird auf das vorliegende Werkstück 10 angewandt, wobei die Laserstrahlung in zeitlich und räumlich vorbestimmter Weise auf Bereiche der Kante K des Werkstücks 10 gerichtet wird, um so den in 1 vergrößert gezeigten Grat G an der Kante K des Werkstücks 10 wenigstens teilweise zu verrunden, zu fixieren, in den Stanzausbruch zu verlagern oder zu glätten. Dabei wird die Laserstrahlung punktuell nacheinander auf Bereiche der Kante K entlang der Kreislinie Kr beaufschlagt. Besonders vorteilhaft an dem erfindungsgemäßen Verfahren ist, dass kein weiterer Bearbeitungsschritt zum Entgraten erforderlich ist. Ferner kann in Abhängigkeit vom Werkstoff und weiteren Anforderungen auf den Einsatz eines Prozessgases verzichtet werden. Durch Variation des Prozessgasdrucks und der Richtung des Gasstroms kann die Schmelze auch gezielt in den Stanzausbruchsbereich gedrückt werden.
  • Mit anderen Worten wird der Grat am Grundmaterial durch gezielte lokale Erwärmung mit einem Laserstrahl angeschmolzen und fixiert. Der Laserstrahl kann über ein Scannersystem der Kontur folgen und über die Laserparameter gezielt an die Bearbeitungsaufgabe und die momentan vorliegende Grathöhe, die im Zu sammenhang mit dem Verschleißzustand des Stanzwerkzeugs steht, angepasst werden.
  • Das Ergebnis des erfindungsgemäßen Verfahrens ist beispielhaft in 3a und 3b gezeigt. 3a zeigt in Draufsicht einen kreisförmigen Bereich Kr eines durch Ausstanzen aus einem Band 10 erzeugten Kantenbereiches, der durch Beaufschlagen mit acht Laserpunkten L1 bis L8 geglättet wurde, während 3b einen kreisförmigen Bereich Kr eines durch Ausstanzen erzeugten Kantenbereiches in Draufsicht zeigt, der durch Beaufschlagen mit zwölf Laserpunkten L10 bis L21 geglättet wurde. Bei geeigneter Parameterwahl liegt das umgeschmolzene Gratmaterial vollständig im Stanzausbruchbereich und ist somit optisch (z. B. über Projektion) oder auch taktil auf der Glattschnittfläche nicht mehr nachweisbar.
  • Durch die Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens ist der Grat sicher fixiert und der Ausbruch verrundet.
  • Im Versuch betrug die Dicke t des Werkstücks 10 etwa 0,8 mm. Die Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird aber beispielsweise auch für Dicken t bis 3,5 mm und mehr erwogen. Die Dicke ist für das Verfahren nur insofern relevant, als dickere Materialien tendenziell auch einen höheren Grat und größere Schneidkonturlängen haben. Da prinzipiell nur die Oberfläche aufgeschmolzen wird, spielt es keine Rolle, wie dick das Material ist.
  • Im Versuch wurde beim erfindungsgemäßen Verfahren entlang der zu entgratenden Kante K des Kreises Kr die Laserstrahlung punktuell im Bereich der zu entgratenden Kante K aufgebracht, wobei am Umfang des Kreises Kr acht oder zwölf Laserpunkte auf das Werkstück 10 beaufschlagt wurden. Für die Anwendung in einem Produktionsprozess ist die Zahl allerdings unerheblich, solange der Zeitbedarf nicht zu hoch wird und die Punkte überlappen.
  • 4a und 4b veranschaulichen entsprechende Ergebnisse bei alternativen Ansteuerungen des Lasers, die je nach Material des Werkstücks und Ausführung des Lasers gewählt werden können. Zur Einfachheit wird hier nur das Ergebnis einer erfindungsgemäßen Ausführungsform des Verfahrens mit acht Laserpunkten gezeigt. Dem Fachmann ist klar, dass die alternativen Ansteuerungen des Lasers auch für verschiedene Anzahlen von Laserpunkten arbeiten. In einer in 4a gezeigten ersten Variation wird die Laserstrahlung in einer zeitlich und räumlich vorbestimmten Weise derart geführt, dass aneinander grenzende Bereiche der zu entgratenden Kante aufeinanderfolgend nacheinander mit der Laserstrahlung beaufschlagt werden. Die Laserpunkte sind hier mit #1 für den zeitlich zuerst gesetzten und #8 für den zeitlich zuletzt gesetzten Laserpunkt bezeichnet, die Laserpunkte wurden hier also im Uhrzeigersinn gesetzt. In 4b sind die Laserpunkte zeitlich alternierend oder intermittierend jeweils auf eine gegenüberliegende Seite der kreisförmigen Kante gesetzt. Dies kann bei bestimmten Kombinationen vom Material des Werkstücks und Laserparametern, wie Leistung, Pulsdauer, Mode, etc., vorteilhaft sein, um Materialüberhitzungen zu vermeiden. Hierbei ist allerdings zu beachten, dass bei weiten Wegen zwischen den Laserpunkten unter Umständen die Verfahrgeschwindigkeit des Scannersystems die Taktzahl limitiert, bei benachbarten Punkten der Laser selbst.
  • 5 zeigt, wie 1, eine gemessene Kontur eines gestanzten Werkstücks, allerdings nachdem das erfindungsgemäße Verfahren angewandt wurde. Es ist deutlich zu sehen, dass ein vor der erfindungsgemäßen Bearbeitung entstandener Grat G nunmehr an der Oberfläche O des Werkstücks 10 teilweise angeschmolzen ist und sich nur noch als kleine Erhebung G' zeigt. Die Grathöhe S' des angeschmolzenen Grats G' ist deutlich kleiner als eine typischerweise auftretende Grathöhe. Der Glattschnittanteil W ist dabei in keiner Weise beeinträchtigt worden. Damit ist gezeigt, dass das erfindungsgemäße Verfahren in vorteilhafter Weise eine Bearbeitung von gestanzten Werkstücken ermöglicht.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • - DE 10034806 C1 [0004]

Claims (11)

  1. Verfahren zum Bearbeiten eines Werkstücks mittels Laserstrahlung, dadurch gekennzeichnet, dass ein am Werkstück (10) vorhandener Grat (G) mit der Laserstrahlung beaufschlagt und zumindest teilweise angeschmolzen wird.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das zumindest teilweises Anschmelzen ein Verrunden, Verlagern, Glätten und/oder Fixieren des Grats hervorruft.
  3. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass im Wesentlichen kein Material entfernt wird.
  4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Laserstrahlung in zeitlich und räumlich vorbestimmter Weise auf Bereiche einer durch Stanzen entstandenen Kante (K) des Werkstücks (10) gerichtet wird, um so einen Grat (G) an der Kante (K) des Werkstücks (10) wenigstens teilweise anzuschmelzen.
  5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Laserstrahlung so geführt wird, dass das abgeschmolzene Material des Grats im Wesentlichen in den Bereich der Stanzausbruchfläche (B) verlagert wird.
  6. Verfahren nach Anspruch 5, dass die Laserstrahlung in einem Prozessgasstrom geführt wird.
  7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei entlang der zu bearbeitenden Kante (K) des Werkstücks (10) die Laserstrahlung punktuell im Bereich der zu bearbeitenden Kante (K) des Werkstücks (10) aufgebracht wird.
  8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei die zu bearbeitende Kante (K) am Werkstück (10) im Wesentlichen die Form eines Kreises (Kr) aufweist.
  9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Laserstrahlung in einer zeitlich und räumlich vorbestimmten Weise derart geführt wird, dass aneinander grenzende Bereiche der zu bearbeitende Kante aufeinanderfolgend nacheinander mit der Laserstrahlung beaufschlagt werden.
  10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei die Laserstrahlung in einer zeitlich und räumlich vorbestimmten Weise derart geführt wird, dass die zu bearbeitende Kante derart intermittierend mit der Laserstrahlung beaufschlagt wird, dass zwischen zwei Bereichen, die aufeinanderfolgend mit Laserstrahlung beaufschlagt werden, immer wenigstens ein Bereich freigelassen wird.
  11. Verfahren nach Anspruch 9 oder 10, wobei die mit der Laserstrahlung bearbeiteten Bereiche überlappen.
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