DE102005012993A1 - Konfokales Mikroskop - Google Patents

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Hisashi Okugawa
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Abstract

Konfokales Mikroskop, welches eine Lichtquelle, die einen beleuchtenden Lichtstrahl emittiert, ein beleuchtendes optisches System, welches den beleuchtenden Lichtstrahl auf eine Probe lenkt, ein bündelndes optisches System, welches das von der Probe reflektierte Licht bündelt und eine Licht-Detektions-Einheit aufweist. Die Licht-Detektions-Einheit weist ein Masken-Element, eine bewegliche Blende und einen Lichtdetektor auf. Das Masken-Element weist mehrere reflektierende/transparente Flächen auf, von denen jede eine Licht-Aufteil-Fläche bildet, und nur der zentrale Anteil des ins Masken-Element vom bündelnden optischen System aus eingehenden Lichtflusses verlässt das Masken-Element durch ein Loch. Die bewegliche Blende öffnet und schließt mehrere Löcher einzeln, und der Lichtdetektor detektiert den Lichtfluss, der durch die Löcher passiert.

Description

  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein konfokales Mikroskop.
  • Die japanische Offenlegungsschrift der Gebrauchsmuster-Anmeldung Nr. H6-16927 offenbart ein konfokales Mikroskop, in welchem die Menge des Lichtflusses, der eine konfokale Apertur passiert, mit einem Licht-Detektor mittels Bündelung des Beleuchtungslichts auf eine Probe, beispielsweise eine organische Probe, und Bündelung des Lichtflusses aus dem Licht-Konvergenz-Bereich in der Probe auf eine konfokale Apertur-Fläche, detektiert wird. Mit diesem konfokalen Mikroskop wird während des Abtastens der Probe mit dem Licht-Konvergenz-Bereich (Spot) die Lichtmenge detektiert, um ein zweidimensionales Bild der Probe zu erhalten.
  • Eine Lochblende ist auf der konfokalen Apertur-Fläche angeordnet. Die Lochblende lässt nur den Lichtstrahl transmittieren, der in ein kleines Loch (Öffnung) gebündelt ist, und schneidet den Rest des Lichts ab. Deswegen tritt nur der Lichtstrahl aus einer bestimmten Höhe in der Probe in den Lichtdetektor ein, und Lichtstrahlen aus Positionen mit anderen Höhen treten nicht in den Lichtdetektor ein. Folglich ermöglicht das konfokale Mikroskap die Betrachtung des Bildes einer dünnen Schicht, die in einer bestimmten Höhe in der Probe lokalisiert ist (sectioning).
  • Um die Dicke der betrachteten Schicht zu ändern, das heißt, um die Tiefenauflösung ("sectioning resolution") zu ändern, wird der Durchmesser der Öffnung auf der Lochblende angepasst. Die Tiefenauflösung wird verringert mittels Vergrößerns des Durchmessers der Öffnung, wohingegen die Tiefenauflösung mittels Reduzierens des Durchmessers erhöht wird.
  • Das Mikroskop, welches in der japanischen Offenlegungsschrift der Gebrauchsmuster-Anmeldung Nr.H6-16927 offenbart wurde, weist einen Mechanismus zum Steuern des Lochdurchmessers (Öffnungsdurchmessers) der Lochblende, oder einen Mechanismus für das wahlweise Einbringen/Zurückziehen einer von mehreren Lochblenden mit verschiedenen Lochdurchmessern in den optischen Weg hinein bzw. aus dem optischen Weg heraus, auf, um dem Benutzer zu erlauben, die Tiefenauflösung gemäß der besonderen Art der betrachteten Probe frei anzupassen.
  • Ein konfokales Mikroskop, welches einen Mechanismus zur Steuerung des Lochdurchmessers aufweist, ist jedoch zwangsläufig groß und aufwändig, wobei der Mechanismus, welcher das Einbringen/Zurückziehen einer von mehreren Lochblenden in den optischen Weg hinein bzw. aus dem optischen Weg heraus ermöglicht, sicherlich den Vorgang der Positionierung des Lochs in den optischen Weg verkompliziert.
  • Ein konfokales Mikroskop gemäß der vorliegenden Erfindung weist eine Lichtquelle, welche einen beleuchtenden Lichtstrahl emittiert, ein beleuchtendes optisches System, welches den beleuchtenden Lichtstrahl auf die Probe lenkt, ein optisches Kondensorsystem, welches das Licht aus der Probe bündelt und ein Detektions-Mittel zum Detektieren des Lichts aus der Probe auf, welches an einer Position eingeht, an welcher das Licht, welches durch das optische Kondensorsystem passiert, gebündelt wird. Das Detektions-Mittel detektiert zentrales Licht und peripheres Licht um das zentrale Licht herum an einer Position, welche im wesentlichen optisch konjugiert mit einer Position in der Probe, an welcher der beleuchtende Lichtstrahl gebündelt wird. Mit anderen Worten, das Detektions-Mittel detektiert das zentrale Licht und das periphere Licht um das zentrale Licht herum von dem Licht aus der Probe, welches durch das optische Kondensorsystem gebündelt wurde und an einer Position eintritt, die im wesentlichen optisch konjugiert mit einer Position in der Probe, an welcher der beleuchtende Lichtstrahl gebündelt wird. Es kann ferner ein Licht-Aufteil-Mittel zum Aufteilen des Lichts aus der Probe vorgesehen sein, welches in der Umgebung einer Fokalebene des bündelnden optischen Systems angeordnet ist, wobei das Detektions-Mittel die vom Licht-Aufteil-Mittel aufgeteilten Lichtteile detektiert, und es ist vorzuziehen, dass das Licht-Aufteil-Mittel eine Licht-Aufteil-Fläche aufweist, die innerhalb einer Fokustiefe des optischen Kondensorsystems angeordnet ist und die relativ zu einer optischen Achse des bündelnden optischen Kondensorsystems geneigt ist und die das Licht aus der Probe, welches an einer Position eingeht, die im Wesentlichen mit einer Position in der Probe optisch konjugiert, an welcher der beleuchtende Lichtstrahl gebündelt wird, in zentrales Licht und peripheres Licht um das zentrale Licht herum aufteilt, und dass das Detektions-Mittel das zentrale Licht und das periphere Licht, welche an der Licht-Aufteil-Fläche voneinander aufgeteilt wurden, detektiert.
  • Es ist wünschenswert, dass das Licht-Aufteil-Mittel mehrere Licht-Aufteil-Flächen aufweist. Die Licht-Aufteil-Fläche kann eine kreisrunde, transparente Fläche, durch welche das zentrale Licht transmittiert, und eine reflektierende Fläche, an welcher das periphere Licht reflektiert wird, aufweisen. Es ist vorzuziehen, dass das Licht-Aufteil-Mittel mehrere Licht-Aufteil-Flächen aufweist, die in Folge entlang eines Lichtwegs von reflektiertem, peripherem Licht angeordnet sind, wobei unter den mehreren Licht-Aufteil-Flächen der Durchmesser der transparenten Fläche der jeweiligen Licht-Aufteil-Fläche, die bezüglich der Richtung, in welche der Weg des reflektierten Lichts weiter fortschreitet, entfernter angeordnet ist, größer ist.
  • Die Licht-Aufteil-Fläche kann eine kreisförmige, reflektierende Fläche, an der das zentrale Licht reflektiert wird, und eine transparente Fläche, durch die das periphere Licht transmittiert, aufweisen. Es ist vorzuziehen, dass das Licht-Aufteil-Mittel mehrere Licht-Aufteil-Flächen aufweist, die in Folge entlang eines Lichtwegs das transmittierten, peripheren Lichts angeordnet sind, wobei unter den mehreren Licht-Aufteil-Flächen der Durchmesser der reflektierenden Fläche der jeweiligen Licht-Aufteil-Fläche, die bezüglich der Richtung, in welche der Weg des transmittierten Lichts weiter fortschreitet, entfernter angeordnet ist, größer ist.
  • Das Detektions-Mittel kann mehrere Lichtdetektoren aufweisen. Es ist wünschenswert, dass das Detektions-Mittel einen ersten Detektor hat der eines von dem zentralen und dem peripheren Licht detektiert, welche an der Licht-Aufteil-Fläche aufgeteilt wurden, und einen zweiten Detektor hat, der das andere Licht detektiert, welches nicht vom ersten Detektor detektiert wurde.
  • Alternativ ist es wünschenswert, dass das Detektions-Mittel einen einzelnen Detektor hat, welcher sowohl das zentrale als auch das periphere Licht, welche an der Licht-Aufteil-Fläche aufgeteilt wurden, detektiert, und eine bewegliche Blende hat, die entweder das zentrale Licht oder das periphere Licht abblendet oder durchlässt und dass das Licht-Aufteil-Mittel das zentrale Licht und das periphere Licht zu dem einzelnen Detektor lenkt. Das Detektions-Mittel kann eine Menge von der Summe des zentralen und des peripheren Lichts oder eine Menge von dem zentralen Lichts detektieren.
  • Ein konfokales Mikroskop-System gemäß vorliegender Erfindung hat ein konfokales Mikroskop und ein Auswahl/Addier-Mittel zum Auswählen aus Detektionssignalen, welche von den mehreren Lichtdetektoren geliefert werden, von mindestens einem Signal zum zusammenaddieren.
  • Ein konfokales Mikroskop-System gemäß einem anderem Aspekt der Erfindung weist ein konfokales Mikroskop, ein Speicher-Mittel zum individuellen Speichern von Signalen, welche von den mehreren Lichtdetektoren detektiert wurden, und eine Rechen-Operations-Einheit, zum Ausführen von arithmetischen Operationen an den Signalen, welche in dem Speicher-Mittel gespeichert wurden, auf.
  • Die Erfindung wird im Folgenden anhand von Ausführungsbeispielen erläutert. In den Zeichnungen zeigen:
  • 1 die Struktur eines Konfokal-Fluoreszenz-Mikroskop-Systems gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel,
  • 2A und 2B eine Licht-Detektions-Einheit, welche im ersten Ausführungsbeispiel verwendet wird,
  • 3A bis 3C jeweils ein Beispiel eines Licht-Abschirm-Teils, das als bewegliche Blende verwendet werden kann,
  • 4 schematisch die Beziehung zwischen reflektierenden/transparenten Flächen in einem Masken-Element und den einzelnen Schichten der Probe,
  • 5 ein Masken-Element gemäß einer Variante des ersten Ausführungsbeispiels,
  • 6 die Struktur eines Konfokal-Fluoreszenz-Mikroskop-Systems gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel,
  • 7 die Struktur eines Konfokal-Fluoreszenz-Mikroskop-Systems gemäß einem dritten Ausführungsbeispiel,
  • 8 ein anderes Beispiel einer Licht-Detektions-Einheit, welche im zweiten oder im dritten Ausführungsbeispiel verwendet werden kann,
  • 9 noch ein anderes Beispiel einer Licht-Detektions-Einheit, welche im zweiten oder im dritten Ausführungsbeispiel verwendet werden kann,
  • 10 noch ein anderes Beispiel einer Licht-Detektions-Einheit, welche im zweiten oder dritten im Ausführungsbeispiel verwendet werden kann,
  • 11 noch ein anderes Beispiel einer Licht-Detektions-Einheit, welche im zweiten oder im dritten Ausführungsbeispiel verwendet werden kann, und
  • 12 noch ein anderes Beispiel einer Licht-Detektions-Einheit, welche im zweiten oder im dritten Ausführungsbeispiel verwendet werden kann.
  • (Erstes Ausführungsbeispiel)
  • Bezugnehmend auf 1 bis 5 wird das konfokale Mikroskop gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung erklärt. Die Erklärung erfolgt anhand eines Beispiels, in welchem die Erfindung in einem Konfokalen-Fluoreszenz-Mikroskop-Systems verwendet wird.
  • Das Konfokal-Fluoreszenz-Mikroskop-System gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel weist auf eine Lichtquelle 11, eine Beleuchtungslinse 12, einen Filter 13, einen dichroitischen Spiegel 14, einen galvanischen Spiegel 15, eine Objektivlinse 16, einen Filter 17, eine Kondensorlinse 18, ein Masken-Element 19, welches ein Licht-Aufteil-Element ist, eine bewegliche Blende 20, einen Lichtdetektor 21, einen Computer 22, einen Bildschirm 23, eine Eingabevorrichtung 24 und dergleichen, wie in 1 gezeigt, Eine Probe 10, welche vorab für die Fluoreszenz-Beobachtung präpariert wurde, ist im Konfokal-Fluoreszenz-Mikroskop-System platziert.
  • Es ist anzumerken, dass eine Licht-Detektions-Einheit 1 ein optisches System ist, welches aus dem Masken-Element 19, der beweglichen Blende 20 und dem Licht-Detektor 21 gebildet wird. Die Beleuchtungslinse 12 und die Objektivlinse 16 bilden ein beleuchtendes optisches System, welches die Probe 10 mit Beleuchtungslicht beleuchtet. Die Objektivlinse 16 und die Kondensorlinse 18 bilden ein optisches Kondensorsystem, welches Licht aus der Probe 10 bündelt.
  • Ein Lichtstrahl, den die Lichtquelle 11 emittiert, wird über die Beleuchtungslinse 12, den Filter 13, den dichroitischen Spiegel 14, den galvanischen Spiegel 15 und die Objektivlinse 16 auf die Probe 10 gebündelt, wodurch ein Licht-Konvergenz-Bereich (Spot) an der Probe gebildet wird. Aus dem Bereich an der Probe 10, über dem der Spot gebildet wurde, wird Licht (Fluoreszenzlicht) emittiert.
  • Der Lichtfluss von der Probe 10 läuft zur Objektivlinse 16 zurück und tritt dann über die Objektivlinse und den galvanischen Spiegel 15 in den dichroitischen Spiegel 14 ein.
  • Der Lichtfluss, welcher in den dichroitischen Spiegel 14 eintritt, transmittiert durch den dichroitischen Spiegel, das heißt, er läuft weiter entlang einer Richtung, die verschieden von der Richtung ist, in welcher der Filter 13 und die Beleuchtungslinse 12 angeordnet sind, und tritt dann über den Filter 17 und die Kondensorlinse 18 in das Masken-Element 19 ein.
  • Wie in 2A gezeigt weist das Masken-Element 19 Löcher 19a', 19b', 19c', insbesondere kleine, auf, die an Positionen angeordnet sind, die im Wesentlichen optisch mit dem Bereich an der Probe 10 konjugieren, an dem der Spot gebildet ist. Diese kleinen Löcher 19a', 19b' und 19c' haben die Funktion von transparenten Flächen, durch welche der Lichtfluss transmittiert. Das Masken-Element 19 wird später ausführlich beschrieben werden.
  • Der Lichtfluss, der in das Masken-Element 19 eintritt, wird in der Umgebung der kleinen Löcher 19a', 19b' und 19c' gebündelt und durch die kleinen Löcher 19a', 19b' und 19c' hindurch aus dem Masken-Elements nach Außen emittiert.
  • Der Lichtfluss tritt, nachdem er die kleinen Löcher 19a', 19b', 19c' passiert hat, über die bewegliche Blende 20 in den Lichtdetektor 21 ein.
  • Der Lichtdetektor 21 gibt ein Signal aus, welches einen Signalwert ausgibt, der der Menge des in den Lichtdetektor eingetretenen Lichtflusses entspricht. Dieses Signal wird dann vom Computer 22 erfasst.
  • Der galvanische Spiegel 15 wird von einem Motor (nicht eingezeichnet) angetrieben. Durch das Antreiben des galvanischen Spiegels mittels des Motors tastet der Spot die Probe 10 zweidimensional ab. Während dieses Abtastvorgangs erfasst der Computer 22 das ausgegebene Signal des Lichtdetektors 21.
  • Basierend auf dem vom Lichtdetektor 21 gelieferten Signal baut der Computer 22 Bilddaten eines zweidimensionalen Bildes der Probe 10 auf und stellt das zweidimensionale Bild auf dem Bildschirm 23 dar.
  • Bezugnehmend auf die 2A und 2B werden nun die verschiedenen oben erklärten Elemente, welche die Licht-Detektions-Einheit 1 im Konfokal-Fluoreszenz-Mikroskop-System bilden, ausführlich beschrieben.
  • Wie in 2A gezeigt, weist das Masken-Element 19 eine reflektierende/transparente Fläche 19a auf, welche eine Licht-Aufteil-Fläche ist, die relativ zu einer Ebene im wesentlichen im Zentrum innerhalb der Fokustiefe der Kondensorlinse 18 (siehe 1) geneigt ist.
  • Die reflektierende/transparente Fläche 19a ist aus einer transparenten Fläche (kleines Loch) 19a', welche die Form eines sehr kleinen Kreises um die optische Achse der Kondensorlinse 18 hat, und einer reflektierenden Fläche 19a'', welche den das kleine Loch 19a' umgebenden Bereich bedeckt, gebildet. Der Durchmesser ra (siehe 2B) des kleinen Lochs 19a' entspricht dem Durchmesser des an der Probe 10 gebildeten Spots (Licht-Konvergenz-Fläche).
  • Der Durchmesser ra des kleinen Lochs 19a' entspricht nämlich dem Durchmesser der Airy Disk des in der Umgebung der Licht-Konvergenz-Fläche der Kondensorlinse 18 gebildeten Lichtflecks, welcher sowohl durch die Objektivlinse 16 als auch die Kondensorlinse 18 bestimmt ist. Demgemäß kann der Durchmesser ra in Näherung angegeben werden, so wie es unten durch Formel 1 ausgedrückt wird, wobei λ für die Wellenlänge des Lichts aus der Lichtquelle 11, NA für die numerische Apertur der Objektivlinse 16 und M für den gesamten Abbildungsmaßstab, der mit der Objektivlinse 16 und der Kondensorlinse 18 erreicht wird, steht. ra = 1.2 × M × λ/NA (Formel 1)
  • Nur der zentrale Licht-Anteil des von der Kondensorlinse 18 in das Masken-Element 19 eingetretenen Lichtflusses, welcher auf die Stelle, an der das kleine Loch 19a' gebildet ist, trifft, verlässt das Masken-Element 19 durch das kleine Loch 19a'. Der periphere Lichtfluss wird, anders als der zentrale Anteil des Lichtflusses, an der reflektierenden Fläche 19a'' in eine Richtung, die von der Richtung zur Kondensorlinse hin abweicht, reflektiert.
  • Am Masken-Element 19 ist eine reflektierende Fläche 19A parallel zur reflektierenden/transparenten Fläche 19a angeordnet, die den Lichtfluss, der an der reflektierenden Fläche 19a'' reflektiert wurde, nochmals reflektiert.
  • Außerdem ist zum Empfang des Lichtflusses, der an der reflektierenden Fläche 19A reflektiert wurde, am Masken-Element 19 eine reflektierende/transparente Fläche 19b gebildet, welche an der optischen Achse des Lichtstrahls, der an der reflektierenden/transparenten Fläche 19a reflektiert wurde, angeordnet ist.
  • Die reflektierende/transparente Fläche 19b weist das kleine Loch 19b', welches nahe dem Zentrum des Lichtflusses, der an der reflektierenden Fläche 19A reflektiert wurde, angeordnet ist, und eine reflektierende Fläche 19b'', welche den das kleine Loch 19b' umgebenden Bereich bedeckt, auf. Der Durchmesser rb (siehe 2B) des kleinen Lochs 19b' ist größer als der Durchmesser ra des kleinen Lochs 19a', um ein Verhältnis, beispielsweise ausgedrückt durch rb = 2ra, zu erreichen.
  • Am Masken-Element 19 verlässt nur der zentrale Licht-Anteil des an der reflektierenden Fläche 19A reflektierten Lichtflusses, welcher auf die Stelle, an der das kleine Loch 19b' gebildet ist, trifft, das Masken-Element 19 durch das kleine Loch 19b'. Der periphere Lichtfluss wird, anders als der zentrale Anteil des Lichtflusses, an der reflektierenden Fläche 19b'' in eine Richtung, die von der Richtung zur reflektierenden Fläche 19A abweicht, reflektiert.
  • Im Masken-Element 19 ist eine reflektierende Fläche 19B in der Ebene der reflektierenden Fläche 19A angeordnet, die den Lichtfluss, der an der reflektierenden Fläche 19b'' reflektiert wurde, erneut reflektiert.
  • Die reflektierende Fläche 19B und die reflektierende Fläche 19A, die oben beschrieben wurde, leiten den zentralen Lichtfluss und den peripheren Lichtfluss, welche an den reflektierenden/transparenten Flächen 19a und 19b aufgeteilt wurden, zur Detektionsfläche des Lichtdetektors 21, was später ausführlich beschrieben wird.
  • Außerdem ist zum Empfang des Lichtflusses, der an der reflektierenden Fläche 19B reflektiert wurde, am Masken-Element 19 eine reflektierende/transparente Fläche 19c gebildet, welche an der optischen Achse des Lichtstrahls, der an der reflektierenden/transparenten Fläche 19b reflektiert wurde, angeordnet ist.
  • Die reflektierende/transparente Fläche 19c weist das kleine Loch 19c', welches nahe dem Zentrum des Lichtflusses, der an der reflektierenden Fläche 19B reflektiert wurde, angeordnet ist, und eine reflektierende Fläche 19c'', welche den das kleine Loch 19c' umgebenden Bereich bedeckt, auf. Der Durchmesser rc (siehe 2B) des kleinen Lochs 19c' ist größer als der Durchmesser rb des kleinen Lochs 19b', um ein Verhältnis, beispielsweise ausgedrückt durch rc = 2rb, zu erreichen.
  • Am Masken-Element 19 verlässt nur der zentrale Licht-Anteil des an der reflektierenden Fläche 19B reflektierten Lichtflusses, welcher auf die Stelle, an der das kleine Loch 19c' gebildet ist, trifft, das Masken-Element 19 durch das kleine Loch 19c'.
  • Es ist anzumerken, dass der Abstand zwischen der reflektierenden/transparenten Fläche 19a und der reflektierenden Fläche 19A, der Abstand zwischen der reflektierenden Fläche 19A und der reflektierenden/transparenten Fläche 19b, der Abstand zwischen der reflektierenden/transparenten Fläche 19b und der reflektierenden Fläche 19B und der Abstand zwischen der reflektierenden Fläche 19B und der reflektierenden/transparenten Fläche 19c jeweils klein genug gesetzt ist, so dass sichergestellt ist, dass die reflektierende/transparente Fläche 19b und die reflektierende/transparente Fläche 19c jeweils innerhalb der Fokustiefe der Kondensorlinse 18 positioniert ist.
  • Es ist ferner anzumerken, dass die Längen der optischen Wege entlang der optischen Achse, welche sich von der reflektierenden/transparenten Fläche 19a zu der reflektierenden/transparenten Fläche 19b und der reflektierende/transparenten Fläche 19c erstrecken, derart bestimmt sind, dass sie innerhalb der Fokustiefe df der Kondensorlinse 18 liegen. Die Fokustiefe df kann durch Formel 2 ausgedrückt werden, wobei λ für die Wellenlänge des Lichts von der Lichtquelle 11, NA für die numerische Apertur der Objektivlinse 16 und M für den gesamten Abbildungsmaßstab, der mit der Objektivlinse 16 und der Kondensorlinse 18 erreicht wird, steht. df = M2 × λ/NA2 (Formel 2)
  • Das Masken-Element 19, welches die oben beschriebene Struktur annimmt, kann zum Beispiel durch folgenden Prozess hergestellt werden.
  • Ein transparentes Substrat, welches wenigstens für das Fluoreszenzlicht von der Probe 10 transparent ist, zum Beispiel ein optisches Glassubstrat, wird vorbereitet. Auf einer Oberfläche dieses transparenten Substrats wird an den Stellen, welche die reflektierenden Flächen 19a'', 19b'' und 19c'' bilden sollen, ein optischer Film aufgebracht, zum Beispiel ein Chrom-Film, der die Eigenschaft hat, das Licht von der Probe 10 zu reflektieren. Dann wird auf der anderen Oberfläche des transparenten Substrats ein optischer Film mit gleicher Eigenschaft an den Stellen aufgebracht, welche die reflektierenden Flächen 19A und 19B bilden sollen.
  • Es ist anzumerken, dass die reflektierenden Flächen 19a'', 19b'' und 19c'' so gebildet werden können, dass sie ganz oder teilweise durchgängig ineinander übergehen. Außerdem können die reflektierenden Flächen 19A und 19B ebenfalls ineinander übergehend gebildet sein.
  • Es ist wünschenswert, dass ein transparentes Teil 19', das die Form eines Keils hat, wie in 2A gezeigt, auf der Fläche des transparenten Substrats, dort wo der Lichtfluss anfänglich eintritt, befestigt ("bonded") ist, um die Bildung von überflüssigem reflektiertem Licht dadurch zu verhindern, dass der Einfallswinkel des anfangs eingehenden Lichtflusses nahe 0 gesetzt wird. Es ist wünschenswert, dass das transparente Teil 19' unter Verwendung des gleichen Materials gebildet wird, aus dem auch das transparente Substrat gebildet wird oder unter Verwendung eines Materials mit einem Brechungsindex, der im Wesentlichen gleich dem Brechungsindex des Materials ist, aus dem das transparente Substrat gebildet wird. Es ist außerdem wünschenswert, dass ein reflektions-reduzierender Film bekannter Art oder Ähnliches über die verschiedenen Bereiche des transparenten Substrats aufgebracht wird, so wie es benötigt wird, um das Auftreten von Streulicht zu verhindern.
  • Die Detektionsfläche am Lichtdetektor 21 hat eine ausreichende Ausdehnung, um den optischen Weg des Lichtflusses aus dem kleinem Loch 19a', den optischen Weg des Lichtflusses aus dem kleinem Loch 19b' und den optischen Weg des Lichtflusses aus dem kleinem Loch 19c' am oben beschriebenen Masken-Element 19 voll abzudecken.
  • Die bewegliche Blende 20, welche schrittweise bewegt wird, wie durch die punktierte Linie in 2A angedeutet, kann in wenigstens eine der folgenden drei Stellungen, Sa, Sb und Sc, gebracht werden, in Übereinstimmung zur Ausdehnung, in die sie gefahren wurde.
  • In der ersten Stellung Sa ist der optische Weg des Lichtflusses aus dem kleinen Loch 19a' offen und die optischen Wege der Lichtflüsse aus den kleinen Löchern 19b' und 19c' sind geschlossen.
  • In der zweiten Stellung Sb sind die optischen Wege der Lichtflüsse aus den kleinen Löchern 19a' und 19b' offen und der optische Weg des Lichtflusses aus dem kleinen Loch 19c' ist geschlossen.
  • In der dritten Stellung Sc sind die optischen Wege der Lichtflüsse aus den kleinen Löchern 19a', 19b' und 19c' alle offen, wie durch die durchgehende Linie in 2A angedeutet.
  • Die Licht-Abschirm-Einheit, wie eine solche bewegliche Blende 20, kann durch Anwenden einer Form von verschiedenen möglichen Formen erreicht werden. Falls ein Rotationsmechanismus als Bewegungsmechanismus der beweglichen Blende 20 angewendet wird, kann beispielsweise eines der in den 3A, 3B und 3C gezeigten platten-förmigen ("blade-shaped") Teile, welche die Länge entlang der radialen Richtung stufenweise wechseln, verwendet werden. Indem die in 3A, 3B oder 3C gezeigten Licht-Abschirm-Einheit gedreht wird, erreicht die bewegliche Blende 20 die oben beschriebene Stellung Sa, Sb oder Sc.
  • Außerdem kann die bewegliche Blende 20 entweder manuell oder elektrisch bewegt werden. Die bewegliche Blende 20 kann elektrisch bewegt werden, indem ein Motor, beispielsweise ein Schrittmotor, am Bewegungsmechanismus für die bewegliche Blende 20 montiert wird. In diesem Fall sollte der Motor elektrisch mit einem Benutzerinterface verbunden sein. Falls beispielsweise die Eingabevorrichtung 24 in 1 als Benutzerinterface verwendet wird, sollte der Motor am Bewegungsmechanismus der beweglichen Blende 20 elektrisch mit dem Computer 22 verbunden sein.
  • Als nächstes wird der Betrieb des Konfokal-Fluoreszenz-Mikroskop-Systems gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel bezugnehmend auf 4 erklärt. Es ist anzumerken, dass 4 die Beziehung zwischen den einzelnen reflektierenden/transparenten Flächen 19a, 19b und 19c des Masken-Elements 19 und den verschiedenen Schichten 10a, 10b und 10c der Probe 10 schematisch veranschaulicht. In 4 sind den Elementen dieselben Bezugszeichen wie in den 1 und 2 zur Identifizierung zugeordnet.
  • Nur dem Anteil aus der dünnen Schicht 10a nahe der Fokalebene der Objektivlinse 16 des von der Probe 10 ausgehenden Lichtflusses ist es erlaubt, das kleine Loch 19a' an der auf dem Masken-Element 19 gebildeten reflektierenden/transparenten Fläche 19a zu passieren.
  • Nur dem Anteil des von der Probe 10 ausgehenden Lichtflusses, der aus den zwei Schichten stammt, welche die dünne Schicht 10a an der unteren und oberen Seite umschließen, der also aus dem Bereich der Probe stammt, welcher der dicken Schicht 10b in 4, ausgenommen der dünnen Schicht 10a, entspricht, ist es erlaubt, das kleine Loch 19b' an der reflektierenden/transparenten Fläche 19b zu passieren.
  • Nur dem Anteil des von der Probe 10 ausgehenden Lichtflusses, der aus den zwei Schichten stammt, welche die dicke Schicht 10b an der unteren und oberen Seite umschließen, der also aus dem Bereich der Probe stammt, welcher der sehr dicken Schicht 10c in 4, ausgenommen der dicken Schicht 10b, entspricht, ist es erlaubt, das kleine Loch 19c' an der reflektierenden/transparenten Fläche 19c zu passieren.
  • Es ist anzumerken, dass es dem von der dicken Schickt 10b ausgehenden Lichtfluss erlaubt ist, das kleine Loch 19b' in der reflektierenden/transparenten Fläche 19b zu passieren. Dennoch, da der von der dünnen Schicht 10a ausgehende Lichtfluss schon das kleine Loch 19a' in der reflektierenden/transparenten Fläche 19a passiert hat, passiert tatsächlich lediglich der von der dicken Schicht 10b, ausgenommen der dünnen Schicht 10a, ausgehende Lichtfluss das kleine Loch 19b'. Ebenso, der Lichtfluss, welcher tatsächlich das kleine Loch 19c' in der reflektierenden/transparenten Fläche 19c passiert, ist der Lichtfluss, welcher vom Bereich der sehr dicken Schicht 10c, ausgenommen die dicke Schicht 10b, ausgeht.
  • Falls sich die bewegliche Blende 20 in der ersten in 2A gezeigten Stellung Sa befindet, das heißt, wenn allein der optische Weg des Lichtflusses aus dem kleinen Loch 19a' offen ist, ist demnach die dünne Schicht 10a das Beobachtungsobjekt. Dementsprechend wird ein Bild der dünnen Schicht 10a, so wie beispielsweise ein Bild 100a in 4, auf dem Bildschirm 23 dargestellt.
  • Falls sich die bewegliche Blende 20 in der zweiten in 2A gezeigten Stellung Sb befindet, das heißt, wenn nur die optischen Wege der Lichtflüsse aus den kleinen Löchern 19a' und 19b' offen sind, ist die dicke Schicht 10b das Beobachtungsobjekt. Dementsprechend wird ein Bild der dicken Schicht 10b einschließlich der Schicht 10a, so wie beispielsweise ein Bild 100b in 4, auf dem Bildschirm 23 dargestellt.
  • Falls die bewegliche Blende 20 die dritte in 2A gezeigte Stellung Sc einnimmt, das heißt, wenn die optischen Wege der Lichtflüsse aus den kleinen Löchern 19a', 19b' und 19c' alle offen sind, ist die sehr dicke Schicht 10c das Beobachtungsobjekt. Dementsprechend wird ein Bild der sehr dicken Schicht 10c einschließlich der Schichten 10a und 10b, so wie beispielsweise ein Bild 100c in 4, auf dem Bildschirm 23 dargestellt.
  • Wie oben beschrieben erlaubt das Konfokal-Fluoreszenz-Mikroskop-System gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel, die Tiefenauflösung ("sectioning resolution") einzustellen zum Bereitstellen der Bilder 100a, 100b oder 100c, indem der Benutzer einfach die bewegliche Blende 20 manuell bewegt oder indem die bewegliche Blende 20 einfach elektrisch bewegt wird.
  • Im Konfokal-Fluoreszenz-Mikroskop-System gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel werden der Lichtfluss, der die dünne Schicht 10a repräsentiert, der Lichtfluss, der die dicke Schicht 10b repräsentiert, und der Lichtfluss, der die sehr dicke Schicht 10c repräsentiert, jeweils alle im Masken-Element 19 gebildet.
  • Die bewegliche Blende 20, welche die einzige Komponente bildet, die beim Einstellen der Tiefenauflösung bewegt wird, erfüllt einfach die Funktion des Öffnens/Schließens der optischen Wege des Lichtflusses.
  • Aus diesem Grund ist der benötigte Genauigkeitsgrad bezüglich der Positionierung der beweglichen Blende 20 gering, und der Bewegungsmechanismus für die bewegliche Blende 20 kann eine einfache Struktur haben.
  • Auf diese Weise können, selbst falls die Positionierungs-Genauigkeit der beweglichen Blende gering ist, sehr exakte Bilder von den verschiedenen Schichten erhalten werden, solange das Masken-Element 19 vorher mit einem hoher Genauigkeit positioniert wurde.
  • Obwohl das Konfokal-Fluoreszenz-Mikroskop-System gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel eine einfache Struktur annehmen kann, erlaubt es dennoch, die Tiefenauflösung mit einer hohen Genauigkeit einzustellen.
  • (Variationen des ersten Ausführungsbeispiels)
  • Im Konfokal-Fluoreszenz-Mikroskop-System gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel werden die reflektierenden Flächen 19A und 19B am Masken-Element als Mittel verwendet, um den nötigen Lichtfluss zum Lichtdetektor 21 zu lenken, Die Erfindung ist jedoch nicht auf dieses Beispiel beschränkt, und es kann eine höhere Anzahl von reflektierenden Flächen am Masken-Element 19 gebildet werden, oder es kann ein Lichtleiter, mit welchem Licht in eine beliebige Richtung geleitet werden kann, statt einer reflektierenden Fläche verwendet werden. In einem solchen Fall wird ein höherer Freiheitsgrad bezüglich des Anordnens der reflektierenden/transparenten Flächen 19a, 19b und 19c am Masken-Element ermöglicht. Das Masken-Element 19 muss jedoch derart gestaltet sein, dass gewährleistet ist, dass das Ausmaß des Verlustes an Lichtmenge im optischen Weg innerhalb eines zulässigen Bereichs liegt.
  • Außerdem muss die bewegliche Blende 20 nicht im Wesentlichen senkrecht zum individuellen Lichtfluss eingefügt werden, so wie in 2A gezeigt, sondern sie kann stattdessen nicht-senkrecht zum individuellen Lichtfluss eingefügt werden, beispielsweise kann sie parallel zum Masken-Element 19 gesetzt werden.
  • Ferner, während die Tiefenauflösung mittels einer der drei Einstellungen in Übereinstimmung mit der Anzahl der am Masken-Element 19 gebildeten kleinen Löcher in oben gelieferter Beschreibung gewählt wird, kann die Anzahl der möglichen Tiefenauflösungs-Einstellungen mehr als drei oder auch nur zwei sein, je nach den besonderen Anforderungen. Die Anzahl der reflektierenden/transparenten Flächen 19a, 19b ... sollte ebenso angepasst sein, in Übereinstimmung mit der Anzahl der am Masken-Element 19 gebildeten Löcher.
  • Außerdem kann, statt der in 1 gezeigten Licht-Detektions-Einheit 1, eine Licht-Detektions-Einheit wie die Licht-Detektions-Einheit 110 in 5 verwendet werden. Am Masken-Element 29 der Licht-Detektions-Einheit 110 in 5 werden die reflektierenden Flächen und die transparenten Flächen in Umkehrung der Art und Weise verwendet, in welcher die reflektierenden Flächen und transparenten Flächen am Masken-Element 19 der Licht-Detektions-Einheit 1 in 1 verwendet werden.
  • Es folgt eine Erklärung der in 5 gezeigten Licht-Detektions-Einheit 110.
  • Das Masken-Element 29 in der Licht-Detektions-Einheit 110 weist eine reflektierende/transparente Fläche 29a auf, die eine Einstellung annimmt, welche die reflektierende/transparente Fläche 29a relativ zu einer senkrecht zur optischen Achse stehenden Ebene innerhalb der Fokustiefe der in 1 gezeigten Kondensorlinse 18 neigt.
  • Die reflektierende/transparente Fläche 29a weist eine reflektierende Fläche 29a', welche die Form eines sehr kleinen Kreises nahe der optischen Achse der Kondensorlinse 18 hat, und eine transparente Fläche 29a'', welche den die reflektierende Fläche 29a' umgebenden Bereich bedeckt, auf. Der Durchmesser ra der reflektierenden Fläche 29a' entspricht dem Durchmesser des in der Probe 10 gebildeten Spots.
  • An diesem Masken-Element 29 wird nur der zentrale Anteil des von der Kondensorlinse 18 eingehenden Lichtflusses, welcher an der Position eingeht, wo die reflektierende Fläche 29a' gebildet ist, an der reflektierenden Fläche 29a' reflektiert, um das Masken-Element 29 zu verlassen, und der periphere Lichtfluss wird, anders als der zentrale Lichtfluss, durch die transparente Fläche 29a'' transmittiert.
  • Das Masken-Element 29 weist ferner eine reflektierende/transparente Fläche 29b zum Empfangen des Lichtflusses, der durch die transparente Fläche 29a'' transmittiert, auf, welche an der optischen Achse des Lichtstrahls, der durch die reflektierende/transparente Fläche 29a transmittiert, angeordnet ist.
  • Die reflektierende/transparente Fläche 29b hat eine runde, reflektierende Fläche 29b', welche in der Umgebung des Zentrums des Lichtflusses, welcher durch die transparente Fläche 29a'' transmittiert, angeordnet ist, und eine transparente Fläche 29b'', welche den die reflektierende Fläche 29b' umgebenden Bereich abdeckt. Der Durchmesser rb der reflektierenden Fläche 29b' ist größer als der Durchmesser ra der reflektierenden Fläche 29a', um ein Verhältnis, beispielsweise ausgedrückt durch rb = 2ra, zu erreichen.
  • Am Masken-Element 29 wird nur der zentrale Anteil des durch die transparente Fläche 29a'' transmittierten Lichtflusses, welcher an der Position eingeht, wo die reflektierende Fläche 29b' gebildet ist, an der reflektierenden Fläche 29b' reflektiert, um das Masken-Element 29 zu verlassen, und der periphere Lichtfluss wird, anders als der zentrale Lichtfluss, durch die transparente Fläche 29b'' transmittiert.
  • Das Masken-Element 29 weist ferner eine reflektierende/transparente Fläche 29c zum Empfang des durch die transparente Fläche 29b'' transmittierten Lichtflusses auf, welche eine Charakteristik identisch zu der von der reflektierenden/transparenten Fläche 29b hat. Die reflektierende/transparente Fläche 29c weist eine runde, reflektierende Fläche 29c', welche in der Umgebung des Zentrums des Lichtflusses, der durch die transparente Fläche 29b'' transmittiert wurde, angeordnet ist, und eine transparente Fläche 29c'', welche den die reflektierende Fläche 29c' umgebenden Bereich abdeckt, auf. Der Durchmesser rc der reflektierenden Fläche 29c' ist größer als der Durchmesser rb der reflektierenden Fläche 29b', um ein Verhältnis, beispielsweise ausgedrückt durch rc = 2rb, zu erreichen.
  • Am Masken-Element 29 wird nur der zentrale Anteil des durch die transparente Fläche 29b'' transmittierten Lichtflusses, welcher an der Position eingeht, wo die reflektierende Fläche 29c' gebildet ist, an der reflektierenden Fläche 29c' reflektiert, um das Masken-Element 29 zu verlassen.
  • Mittels dieses Masken-Elements 29 werden der zentrale Lichtfluss und der periphere Lichtfluss, die an den reflektierenden/transparenten Flächen 29a und 29b voneinander aufgeteilt wurden, in dieselbe Richtung, das heißt, in die Richtung zum Lichtdetektor 21 hin, gelenkt.
  • Es ist anzumerken, dass das Masken-Element 29 gebildet werden kann, indem ein optischer Film, welcher eine Licht- Reflexions-Eigenschaft hat, auf passenden Stellen des Substrats gebildet wird. Der optische Film kann innerhalb des transparenten Substrats gebildet werden, wie in 5 gezeigt, beispielsweise mittels Schneidens des transparenten Substrats in zwei Blöcke, Bildens des optischen Films über die Schnittstelle eines der beiden Blöcke, und nachfolgenden Wieder-Aneinander-Klebens der Blöcke.
  • Es ist anzumerken, dass der Abstand zwischen der reflektierenden/transparenten Fläche 29a und der reflektierenden/transparenten Fläche 29b und der Abstand zwischen der reflektierenden/transparenten Fläche 29b und der reflektierenden/transparenten Fläche 29c jeweils klein genug gesetzt wird, um die reflektierende/transparente Fläche 29b und die reflektierende/transparente Fläche 29c innerhalb der Fokustiefe der Kondensorlinse 18 zu positionieren.
  • Die Detektionsfläche am Lichtdetektor 21 weist eine ausreichend große Fläche auf, um die optischen Wege des Lichtflusses von den reflektierenden Flächen 29a', 29b' und 29c', welche Flächen sich am oben beschriebenen Masken-Element befinden, jeweils vollständig zu abzudecken.
  • Die bewegliche Blende 20, welche stufenweise bewegt wird, wie mit der gepunkteten Linie in 5 angedeutet, kann in mindestens eine der folgenden drei Stellungen Sa, Sb und Sb gesetzt werden, in Übereinstimmung mit dem Ausmaß in dem sie bewegt wird.
  • In der ersten Stellung Sa ist der optische Weg des Lichtflusses von der reflektierenden Fläche 29a' offen, und die optischen Wege der Lichtflüsse von den reflektierenden Flächen 29b' und 29c' sind geschlossen.
  • In der zweiten Stellung Sb sind die optischen Wege der Lichtflüsse von den reflektierenden Flächen 29a' und 29b' offen, und der optische Weg des Lichtflusses von der reflektierenden Fläche 29c' ist geschlossen.
  • In der dritten Stellung Sc sind die optischen Wege der Lichtflüsse von allen reflektierenden Flächen 29a', 29b' und 29c' offen.
  • (Zweites Ausführungsbeispiel)
  • Bezugnehmend auf 6 wird das zweite Ausführungsbeispiel der Erfindung erklärt. Dabei konzentriert sich die Erklärung auf die Merkmale, welche das zweite Ausführungsbeispiel vom ersten Ausführungsbeispiel unterscheiden.
  • Im Konfokal-Fluoreszenz-Mikroskop-System gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel ist eine Licht-Detektions-Einheit 2 gebildet, welche ein optisches System aufweist, welches das Masken-Element 19 und Lichtdetektoren 21a, 21b und 21c aufweist, wie in 6 gezeigt ist. Die in 6 gezeigte Anordnung weist nicht die bewegliche Blende 20 auf, aber sie weist dieselbe Anzahl (drei in diesem Beispiel) von Lichtdetektoren 21a, 21b und 21c auf, wie die Anzahl der kleinen Löcher 19a', 19b' und 19c', die am Masken-Element 19 gebildet sind. Außerdem ist dieselbe Anzahl (drei in diesem Beispiel) von Schaltern 31a, 31b und 31c, wie die Anzahl der Lichtdetektoren, zwischen den Lichtdetektoren 21a, 21b und 21c und dem Computer 22 angeordnet.
  • Es ist zu bemerken, dass ein Strom-Spannungs-Konverter (I/V) 21a' zwischen dem Lichtdetektor 21a und dem Schalter 31a eingefügt ist, dass ein Strom-Spannungs-Konverter (I/V) 21b' zwischen dem Lichtdetektor 21b und dem Schalter 31b eingefügt ist und dass ein Strom-Spannungs-Konverter (I/V) 21c' zwischen dem Lichtdetektor 21c und dem Schalter 31c eingefügt ist. Außerdem ist ein A/D-Konverter (A/D) 21'' zwischen den Schaltern 31a, 31b und 31c und dem Computer 22 eingefügt. Der Ausgang des A/D-Konverters 21'' ist mit einem Image-Board 223 innerhalb des Computers 22 verbunden. Es ist zu bemerken, dass, obwohl kein Strom/Spannungskonverter, A/D-Konverter oder Image-Board in der in 1 gezeigten Darstellung vorhanden ist, das Konfokal-Fluoreszenz-Mikroskop-System in 1 diese Komponenten ebenfalls aufweist. Das Konfokal-Fluoreszenz-Mikroskop-System in 1 weist jedoch nur einen einzelnen Strom/Spannungs-Konverter auf.
  • Die Detektionsfläche des Lichtdetektors 21a deckt den optischen Weg des Lichtflusses von dem Loch 19a' ab, die Detektionsfläche des Lichtdetektors 21b deckt den optischen Weg des Lichtflusses aus dem Loch 19b' ab, und die Detektionsfläche 21c deckt den optischen Weg des Lichtflusses aus dem Loch 19c' ab.
  • Demzufolge läuft ein Signal sa, das die Menge des Lichtflusses aus dem kleinen Loch 19a' anzeigt, entlang des Wegs vom Lichtdetektor 21a zum A/D-Konverter 21'' über den Strom/Spannungs-Konverter 21a' und den Schalter 31a.
  • Ein Signal sb, das die Menge des Lichtflusses aus dem kleinen Loch 19b' anzeigt, läuft entlang des Wegs vom Lichtdetektor 21b zum A/D-Konverter 21'' über den Strom/Spannungs-Konverter 21b' und dem Schalter 31b.
  • Ein Signal sc, das die Menge des Lichtflusses aus dem kleinen Loch 19c' anzeigt, läuft entlang des Wegs vom Lichtdetektor 21c zum A/D-Konverter 21'' über den Strom/Spannungs-Konverter 21c' und dem Schalter 31c.
  • Die Signale, welche die verschiedenen Wege durchlaufen, werden mittels Betätigungen der einzelnen Schalter 31a, 31b und 31c einem Auswahlprozess unterzogen, um zusammengezählt zu werden, und die zusammengezählten Signale werden in den A/D-Konverter 21'' eingegeben, bevor sie auf das Image-Board 223 im Computer 22 eingegeben werden. Es ist anzumerken, dass eine Auswahl/Addier-Einheit 310, welche die Schalter 31a, 31b und 31c aufweist, die Signale, welche von den Schaltern 31a, 31b und 31c ausgegeben werden, addiert, um die so zusammengefassten Signale in den A/D-Konverter einzugeben.
  • Die in das Image-Board 223 eingegangenen Signale werden folglich in einen Frame-Speicher M auf dem Image-Board 223 geschrieben, und somit werden die Bilddaten eines einzelnen Bildes in den Frame-Speicher eingestellt. Eine CPU 221 des Computers 22 stellt das Bild, unter Verwendung der Bilddaten, auf dem Bildschirm 23 dar.
  • Die CPU 221 im Computer 22 ist über das Image-Board 223 mit den Schaltern 31a, 31b und 31c verbunden, somit kann die CPU 221 die Schalter 31a, 31b und 31c einzeln in eine offene oder geschlossene Stellung bringen.
  • Außerdem ist dem Benutzer erlaubt, am Computer, unter mehreren Einstellungen, eine gewünschte Tiefenauflösungs-Einstellung zu bestimmen, beispielsweise eine der drei Einstellungen "hoch", "mittel" und "niedrig". Die CPU 221 erkennt auf Empfangen eines Signals über eine Interface-Schaltung (I/F) 224, das mittels der Eingabevorrichtung 24 eingegeben wurde, die vom Benutzer bestimmte Einstellung.
  • In Antwort auf die von der CPU 221 im Computer 22 erteilten Anweisungen startet das Konfokal-Fluoreszenz-Mikroskop-System gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel wie unten beschrieben seinen Betrieb.
  • Falls die vom Benutzer vorab bestimmte Einstellung "hoch" lautet, setzt die CPU 221 den Schalter 31a in eine geschlossene Stellung und die Schalter 31b und 31c in eine offene Stellung.
  • Unter diesen Umständen geht nur das Signal sa in den A/D-Konverter ein, da nur der Weg des Signals sa offen ist. Demzufolge werden Bilddaten Da unter Verwendung des Signals sa in den Frame-Speicher M eingestellt. Folglich wird ein Bild der dünnen Schicht 10a, wie beispielsweise das Bild 100a in 4, auf dem Bildschirm 23 dargestellt.
  • Falls die vom Benutzer vorab bestimmte Einstellung "mittel" lautet, setzt die CPU 221 die Schalter 31a und 31b in eine geschlossene Stellung und den Schalter 31c in eine offene Stellung.
  • Unter diesen Umständen gehen die Signale sa und sb in den A/D-Konverter ein, da die Wege der Signale sa und sb offen sind. Demzufolge werden Bilddaten Dab unter Verwendung der Signale sa und sb in den Frame-Speicher M eingestellt. Folglich wird ein Bild der dicken Schicht 10b, wie beispielsweise das Bild 100b in 4, auf dem Bildschirm 23 dargestellt.
  • Falls die vom Benutzer vorab bestimmte Einstellung "niedrig" lautet, setzt die CPU 221 alle Schalter 31a, 31b und 31c in eine geschlossene Stellung.
  • Unter diesen Umständen gehen die Signale sa, sb und sc in den A/D-Konverter ein, da alle Wege der Signale sa, sb und sc offen sind. Demzufolge werden Bilddaten Dabc unter Verwendung der Signale sa, sb und sc in den Frame-Speicher M eingestellt. Folglich wird ein Bild der sehr dicken Schicht 10c, wie beispielsweise das Bild 100c in 4, auf dem Bildschirm 23 dargestellt.
  • Der Benutzer des Konfokal-Fluoreszenz-Mikroskop-Systems gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel muss lediglich die Eingabevorrichtung 24 bedienen, um die Tiefenauflösung, bei der das Bild 100a, 100b oder 100c in 4 darzustellen ist, einzustellen.
  • Im Konfokal-Fluoreszenz-Mikroskop-System gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel werden der Lichtfluss, der die dünne Schicht 10a repräsentiert, der Lichtfluss, der die dicke Schicht 10b repräsentiert, und der Lichtfluss, der die sehr dicke Schicht 10c repräsentiert, jeweils alle im Masken-Elements 19 gebildet.
  • Außerdem müssen nur der Computer 22 bedient und die Schalter 31a, 31b und 31c bewegt werden, um die Tiefenauflösung einzustellen.
  • Daher kann man, solange das Masken-Element 19 vorher mit hoher Genauigkeit positioniert wurde, Bilder der verschiedenen Schichten einzeln mit hoher Genauigkeit erhalten.
  • Obwohl das Konfokal-Fluoreszenz-Mikroskop-System gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel eine einfache Struktur annimmt, erlaubt es dennoch mit einer hohen Genauigkeit das Einstellen der Tiefenauflösung.
  • (Varianten des zweiten Ausführungsbeispiels)
  • Es ist anzumerken, dass die Lichtdetektoren 21a, 21b und 21c nicht wie in 6 gezeigt im Wesentlichen senkrecht zu den entsprechenden Lichtflüssen angeordnet sein müssen und dass sie stattdessen nicht-senkrecht, beispielsweise parallel zum Masken-Element 19 gesetzt, angeordnet sein können.
  • Außerdem, obgleich die im zweiten Ausführungsbeispiel verwendeten Schalter 31a, 31b und 31c elektrisch geöffnet und geschlossen werden, das heißt, übereinstimmend mit den elektrischen, vom Computer 22 erteilten Anweisungen geöffnet und geschlossen werden, können stattdessen Schalter 31a, 31b und 31c verwendet werden, welche manuell betätigt bzw. geöffnet und geschlossen werden. In einem solchen Fall ist es nötig, dass der Benutzer, statt die Eingabevorrichtung 24 zu bedienen, die Schalter 31a, 31b und 31c ebenso öffnet bzw. schließt, wie die CPU 221 gemäß obiger Beschreibung die Schalter öffnet bzw. schließt.
  • (Drittes Ausführungsbeispiel)
  • Bezugnehmend auf 7 wird das dritte Ausführungsbeispiel der Erfindung beschrieben.
  • Dabei konzentriert sich die Erklärung auf die Eigenschaften, welche das dritte Ausführungsbeispiel vom zweiten Ausführungsbeispiel unterscheiden.
  • Das Konfokal-Fluoreszenz-Mikroskop-System, gemäß dem dritten Ausführungsbeispiel weist nicht die Schalter 31a, 31b und 31c auf, wie in 7 gezeigt, und dementsprechend ist die interne Struktur des Computers 22 teilweise geändert.
  • Das Image-Board 223 im Computer 22 weist mehrere Frame-Speicher Ma, Mb und Mc auf, in denen die Signale sa, sb und sc, welche parallel von den Lichtdetektoren 21a, 21b und 21c ausgegeben wurden, entsprechend parallel gespeichert werden. Außerdem sind mehrere A/D-Konverter 21a'', 21b'' und 21c'' parallel zueinander eingefügt, entsprechend den Wegen der Signale sa, sb und sc.
  • Dem Benutzer ist erlaubt, aus mehreren Tiefenauflösungen, das heißt, in diesem Beispiel aus den drei Einstellungen "hoch", "mittel" und "niedrig", die gewünschte Tiefenauflösungs-Einstellung vorab zu bestimmen, oder die Tiefenauflösungs-Einstellung zu ändern, nachdem ein Bild auf dem Computer 22 erhalten wurde. Die CPU 221 erkennt auf das Empfangen eines Signals über eine Interface-Schaltung (I/F) 224, das mittels der Eingabevorrichtung 24 eingegeben wurde, die vom Benutzer bestimmte Einstellung.
  • Das Konfokal-Fluoreszenz-Mikroskop-System gemäß dem dritten Ausführungsbeispiel arbeitet auf die von der CPU 221 im Computer 22 erteilten Anweisungen hin in der unten beschriebenen Weise.
  • Die Signale sa, sb und sc, welche parallel von den einzelnen Lichtdetektoren 21a, 21b und 21c ausgegeben werden, werden über die Strom/Spannungs-Konverter 21a', 21b' und 21c' und die A/D-Konverter 21a'', 21b'' und 21c'' dementsprechend parallel in die Frame-Speicher Ma, Mb und Mc geschrieben.
  • Demzufolge werden Bilddaten Da unter Verwendung des Signals sa in den Frame-Speicher Ma eingestellt, Bilddaten Db unter Verwendung des Signals sb in den Frame-Speicher Mb eingestellt und Bilddaten Dc unter Verwendung des Signals sc in den Frame-Speicher Mc eingestellt. Diese Bilddaten Da, Db und Dc werden in einer Speicher-Einheit, wie beispielsweise einem RAM 222, im Computer 22 gespeichert.
  • Falls die vom Benutzer bestimmte Einstellung "hoch" lautet, liest die CPU 221 die Bilddaten Da vom RAM 222 aus und stellt das Bild, welches auf Bilddaten Da basiert, auf dem Bildschirm dar.
  • Demzufolge wird ein Bild der dünnen Schicht 10a, derart wie das Bild 100a in 4, dargestellt.
  • Falls die vom Benutzer bestimmte Einstellung "mittel" lautet, liest die CPU 221 die Bilddaten Da und Db vom RAM 222 aus, nimmt die Summe der Bilddaten Da und der Bilddaten Db, das heißt, die CPU kombiniert die Bilddaten Da und die Bilddaten Db miteinander, und stellt ein Bild, basierend auf Bilddaten Dab, welche die Summe der Daten Da und Db bilden, auf dem Bildschirm 23 dar. Demzufolge wird ein Bild der dicken Schicht 10b, derart wie das Bild 100b in 4, dargestellt.
  • Falls die vom Benutzer bestimmte Einstellung "niedrig" lautet, liest die CPU 221 die Bilddaten Da, Db und Dc vom RAM 222 aus und nimmt die Summe der Bilddaten Da, der Bilddaten Db und der Bilddaten Db, das heißt, die CPU kombiniert die Bilddaten Da, die Bilddaten Db und die Bilddaten Dc miteinander, und stellt ein Bild, basierend auf den Bilddaten Dabc, welche die Summe der Daten Da, Db und Dc bilden, auf dem Bildschirm 23 dar. Demzufolge wird ein Bild der sehr dicken Schicht 10c, derart wie das Bild 100c in 4, dargestellt.
  • Der Benutzer des Konfokal-Fluoreszenz-Mikroskop-Systems gemäß dem dritten Ausführungsbeispiel muss lediglich die Eingabevorrichtung 24 bedienen, um die Tiefenauflösung, bei der das Bild 100a, 100b oder 100c in 4 darzustellen ist, einzustellen.
  • Im Konfokal-Fluoreszenz-Mikroskop-System gemäß dem dritten Ausführungsbeispiel werden der Lichtfluss, der die dünne Schicht 10a repräsentiert, der Lichtfluss, der die dicke Schicht 10b repräsentiert, und der Lichtfluss, der die sehr dicke Schicht 10c repräsentiert, jeweils alle im Masken-Element 19 gebildet. Um die Tiefenauflösung einzustellen, muss nur der Computer 22 bedient werden.
  • Daher kann man Bilder der verschiedenen Schichten einzeln mit hoher Genauigkeit erhalten, solange das Masken-Element 19 vorher mit hoher Genauigkeit positioniert wurde.
  • Obwohl das Konfokal-Fluoreszenz-Mikroskop-System gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel eine einfache Struktur annimmt, erlaubt es dennoch mit einer hohen Genauigkeit das Einstellen der Tiefenauflösung.
  • Außerdem muss die Tiefenauflösung nicht vor der Erfassung des Bildes bestimmt werden, weil das Konfokal-Fluoreszenz-Mikroskop-System gemäß dem dritten Ausführungsbeispiel, welches unter Verwendung der Bilddaten, die mittels Verwendung von mehreren Lichtdetektoren 21a, 21b und 21c erhalten wurden, mittels der CPU, welche beispielsweise eine Rechen-Operations-Einheit bildet, arithmetische Operationen ausführt, die Änderung der Tiefenauflösung nach Erhalten eines Bild erlaubt und das Erhalten von Bildinformationen, die verschiedenen Schichten entsprechen, ermöglicht. Demzufolge kann die Zeitdauer, die für die Auswahl der Einstellungen benötigt wird, herabgesetzt werden. Des Weiteren kann das Ausmaß der Schädigung der Probe reduziert werden, weil die Probe nicht über eine ausgedehnte Zeitdauer mit Licht bestrahlt werden muss.
  • Überdies kann, da die Daten der verschiedenen Bilder gleichzeitig erhalten werden, der Zustand der Probe an einem gegebenen Zeitpunkt unter verschiedenen Tiefenauflösungs-Einstellungen betrachtet werden.
  • Diese Eigenschaft ist sehr wirksam in einer Anwendung, bei der eine Probe (eine lebende Probe), die ihren Zustand ständig über die Zeit ändert, zu einem gegebenen Zeitpunkt bei unterschiedlichen Tiefenauflösungs-Einstellungen beobachtet wird.
  • Außerdem kann der Benutzer die Tiefenauflösungs-Einstellung so oft wie nötig anpassen, wann immer er es wünscht, weil die Daten der einzelnen Bilder voneinander unabhängig gespeichert sind.
  • (Variante des dritten Ausführungsbeispiels)
  • Im dritten Ausführungsbeispiel ist eine Erklärung anhand eines Beispiels, in dem ein einzelnes Bild einer der Schichten der Probe auf dem Bildschirm 23 dargestellt ist, gegeben, dennoch können getrennte Bilder von zwei oder mehr Schichten gleichzeitig auf dem Bildschirm 23 gezeigt werden.
  • (Beispiele von Varianten)
  • Obwohl in der Erklärung bezüglich des zweiten und dritten Ausführungsbeispiels die Tiefenauflösung aus einer von drei Einstellungen gewählt wird, kann die Anzahl der möglichen Tiefenauflösungs-Einstellungen zwei oder drei oder auch mehr, je nach den besonderen Anforderungen, betragen. Die Anzahl der reflektierenden/transparenten Flächen 19a, 19b ... sollte ebenso angepasst werden in Übereinstimmung mit der Anzahl der Tiefenauflösungs-Einstellungen.
  • Außerdem kann beispielsweise eine der in den 8 bis 12 gezeigten Licht-Detektions-Einheiten statt der in den 6 oder 7 gezeigten Licht-Detektions-Einheit 2 in Verbindung mit dem Konfokal-Fluoreszenz-Mikroskop-System im zweiten oder im dritten Ausführungsbeispiel verwendet werden. Es ist anzumerken, dass in Übereinstimmung mit der Anzahl der Lichtdetektoren, welche die bestimmte, im Mikroskop-System verwendete, Licht-Detektions-Einheit aufweist, die Ausstattung mit einer optimalen Anzahl von Strom/Spannungs-Konvertern, Schaltern, A/D-Konvertern und Frame-Speichern gegeben sein sollte.
  • Es folgt eine Erklärung der verschiedenen, in den 8 bis 12 gezeigten, Licht-Detektions-Einheiten. Es ist anzumerken, dass in diesen Figuren, genauso wie in den 2 und 5, die Bezugszeichen, die den einzelnen reflektierenden/transparenten Flächen zugeordnet sind, Buchstaben "a", "b", "c" ... enthalten, wobei "a" die reflektierende/transparente Fläche anzeigt, die am nächsten zur Kondensorlinse hin gelegen ist, "b" die reflektierende/transparente Fläche anzeigt, welche weiter von der Kondensorlinse weg gelegen ist, "c" die reflektierende/transparente Fläche anzeigt, welche noch weiter von der Kondensorlinse weg gelegen ist, und so weiter. Außerdem ist an jeder reflektierenden/transparenten Fläche die Fläche, welche den zentralen Lichtfluss beeinflusst, durch Anfügung eines Apostrophs (') an das Bezugszeichen der jeweiligen reflektierenden/transparenten Fläche gekennzeichnet, und die Fläche, die den peripheren Lichtfluss an der jeweiligen reflektierenden/transparenten Fläche beeinflusst, ist durch Anfügung eines doppelten Apostrophs (") an das Bezugszeichen der reflektierenden/transparenten Fläche gekennzeichnet. Die gleichen Buchstaben "a", "b", "c", ..., wie die, welche bei den entsprechenden reflektierenden/transparenten Flächen angefügt sind, sind in den Bezugszeichen der einzelnen Lichtdetektoren beinhaltet.
  • An jedem der Masken-Elemente, welche in diesen Figuren gezeigt sind, ist der Durchmesser der Fläche, welche den zentralen Lichtfluss beeinflusst, das heißt, der Durchmesser des kleine Loch oder der reflektierenden Fläche, am größten bei derjenigen reflektierenden/transparenten Fläche, welche am weitesten weg von der Kondensorlinse 18 gelegen ist. Die reflektierenden/transparenten Flächen sind alle innerhalb der Fokustiefe der Kondensorlinse 18 angeordnet.
  • Das Masken-Element 29 der in 8 gezeigten Licht-Detektions-Einheit ist mit dem Masken-Element in 5 identisch. Und zwar sind die reflektierenden Flächen 29a', 29b' und 29c' an den Zentren der reflektierenden/transparenten Flächen 29a, 29b und 29c gebildet und die transparenten Flächen 29a'', 29b'' und 29c'' sind derart gebildet, dass sie die zentralen reflektierenden Flächen entsprechend umschließen. Die Lichtdetektoren 21a, 21b und 21c sind derart angeordnet, dass sie die optischen Wege der Lichtflüsse von den reflektierenden Flächen 29a' 29b' und 29c' einzeln abdecken.
  • Ein Masken-Element 39 an der in 9 gezeigten Licht-Detektions-Einheit wird durch eine Modifikation des in 2 gezeigten Masken-Elements 19 erreicht, wobei eine reflektierende/transparente Fläche 19b an der Position angeordnet ist, welche in 2 von der reflektierenden Fläche 19A eingenommen wird, und eine reflektierenden/transparenten Fläche 19c an der Position angeordnet ist, welche in 2 von der reflektierenden/transparenten Fläche 19b eingenommen wird. Ein Lichtdetektor 21a deckt den optischen Weg des Lichtflusses aus dem kleinen Loch 19a' ab, ein Lichtdetektor 21b deckt den optischen Weg des Lichtflusses aus dem kleinen Loch 19b' ab, ein Lichtdetektor 21c deckt den optischen Weg des Lichtflusses aus dem Loch 19c' ab und ein Lichtdetektor 21d deckt den optischen Weg des Lichtflusses von der Fläche, welche keine reflektierende/transparente Fläche aufweist, ab.
  • Das Masken-Element 29 in der in 10 gezeigten Licht-Detektions-Einheit ist ähnlich dem Masken-Element in 8, abgesehen davon, dass diese Licht-Detektions-Einheit einen Lichtdetektor 21d aufweist. Der Lichtdetektor 21d deckt den optischen Weg des Lichtflusses, der durch die transparente Fläche 29c'' der reflektierenden/transparenten Fläche 29c transmittiert wurde, ab.
  • Ein Masken-Element 59 in der in 11 gezeigten Licht-Detektions-Einheit wird durch eine Modifizierung des Masken-Elements 29 erreicht, wobei die reflektierende/transparente Fläche 29b, die am zweitnächsten zur Kondensorlinse 18 hin gelegen ist, im Vergleich zu den anderen reflektierenden/transparenten Flächen 29a und 29c in die entgegengesetzte Richtung geneigt ist. Der Lichtdetektor 21b deckt den optischen Weg des Lichtflusses von der reflektierenden Fläche 29b' dieser reflektierenden/transparenten Fläche 29b ab.
  • Im Gegensatz zu den anderen Masken-Elementen, welche jeweils mittels Verwendung eines transparenten Substrats gebildet werden, wird ein Masken-Element 69 der in 12 gezeigten Licht-Detektions-Einheit mittels Verwendung eines Prismas, beispielsweise eines pentagonalen Prismas, gebildet.
  • Das Masken-Element 69 weist an einer zweiten Fläche des pentagonalen Prismas eine reflektierende/transparente Fläche 69a auf, die ein, insbesondere kleines, Loch 69a' und eine reflektierende Fläche 69a'' aufweist, und weist an einer dritten Fläche des pentagonalen Prismas eine reflektierende/transparente Fläche 69b auf, die ein, insbesondere kleines, Loch 69b' und eine reflektierende Fläche 69b'' aufweist.
  • Der Lichtdetektor 21a deckt den optischen Weg des Lichtflusses aus dem kleinen Loch 69a' ab, der Lichtdetektor 21b deckt den optischen Weg des Lichtflusses aus dem kleinen Loch 69b' ab und der Lichtdetektor 21c deckt den optischen Weg des Lichtflusses von der letzten Fläche (der fünften Fläche) des Masken-Elementes 69 ab, welche keine reflektierende/transparente Fläche aufweist.
  • Es ist zu bemerken, dass vor dem Lichtdetektors 21c eine Aperturblende 69c mit einer Öffnung 69c', welche größer ist als die Öffnung der kleinen Löcher 69a' oder 69b', am Masken-Element 69 angeordnet ist.
  • Eine ähnliche Aperturblende kann zwischen dem Masken-Element 39, 29 oder 59 und dem passendem Lichtdetektor der entsprechenden Licht-Detektions-Einheit, das heißt, dem Lichtdetektor 21d in 9, dem Lichtdetektor 29d in 10 oder dem Lichtdetektor 21d in 11, angeordnet sein.
  • Obgleich das von den reflektierenden/transparenten Flächen 69a und 69b reflektierte Licht, wie in 12 gezeigt, zur Aperturblende 69c gelenkt wurde, kann die Aperturblende 69c stattdessen an einer zur Position der reflektierenden/transparenten Fläche 69b entsprechenden Position angeordnet werden, um das Licht von der reflektierenden/transparenten Fläche 69a direkt zur Aperturblende 69c zu lenken.
  • Außerdem können die Licht-Aufteil-Mittel 19 und 39, welche in den Ausführungsbeispielen ein bis drei und als Beispiel einer Variante unter Bezugnahme auf die 2A, 6, 7 und 9 erklärt wurden, auf ähnliche Weise modifiziert werden. Und zwar kann die reflektierende/transparente Fläche 19c, welche am entferntesten entlang des Wegs des reflektierten Lichts der Licht-Aufteil-Mittel 19 und 39 angeordnet ist, gegen eine Aperturblende ausgetauscht werden, oder eine Aperturblende kann an eine Position angeordnet werden, wohin das Licht, welches von der reflektierenden/transparenten Fläche 19a, welches die erste reflektierende/transparente Fläche im Lichtweg des reflektierten Lichts ist, reflektiert wurde.
  • Obgleich die vorliegende Erfindung innerhalb eines Konfokal-Fluoreszenz-Mikroskop-Systems verwendet wird, das heißt, innerhalb eines Konfokal-Mikroskop-Sytems, welches zur Beobachtung einer Probe unter Fluoreszenzlicht verwendet wird, kann jedes der drei Ausführungsbeispiele der Erfindung mit gleicher Leistungsfähigkeit innerhalb eines anderen Konfokal-Mikroskop-Sytems als einem Konfokal-Fluoreszenz-Mikroskop-System verwendet werden.
  • Wie oben erklärt wird im Konfokal-Mikroskop-System gemäß dem ersten bis dritten Ausführungsbeispielen der Lichtfluss, der die relativ dünne Schicht der Probe repräsentiert und der Lichtfluss, der die Schichten an der oberen und der unteren Seite der dünnen Schicht repräsentiert, beide jeweils in einem einzelnen Licht-Aufteil-Element gebildet. Demzufolge kann die Tiefenauflösung entweder durch die Funktion eines Detektioes-Mittels, welches zum wahlweisen Detektieren dieser Lichtflüsse fähig ist, oder durch arithmetische Rechenoperationen, die an den mit verschiedenen Detektoren detektierten individuellen Lichtflüssen entsprechenden Signalen ausgeführt werden, eingestellt werden.
  • Das konfokale Mikroskop gemäß dieser Erfindung erlaubt daher die Einstellung der Tiefenauflösung mit einer hohen Genauigkeit, obgleich es eine einfache Struktur hat.
  • Die oben beschriebenen Ausführungsbeispiele sind Beispiele, und es können verschiedene Modifikationen vorgenommen werden, ohne dabei die Lehre und den Umfang der Erfindung zu verlassen.

Claims (13)

  1. Konfokales Mikroskop, aufweisend eine Lichtquelle (11), welche einen beleuchtenden Lichtstrahl emittiert, ein beleuchtendes optisches System (12, 16), welches den beleuchtenden Lichtstrahl auf eine Probe lenkt, ein bündelndes optisches System (16, 18), welches Licht von der Probe bündelt, und ein Detekions-Mittel (21, 21a, 21b, 21c, 21d) zum Detektieren des Lichts von der Probe, welches an einer Position eingeht, an welcher das Licht, welches durch das bündelnde optische System (16, 18) passiert, gebündelt ist, wobei das Detektions-Mittel (21, 21a, 21b, 21c, 21d) zentrales Licht und peripheres Licht um das zentrale Licht herum an einer Position detektiert, welche im Wesentlichen optisch konjugiert mit einer Position in der Probe, an welcher der beleuchtende Lichtstrahl gebündelt ist.
  2. Konfokales Mikroskop gemäß Anspruch 1, ferner aufweisend ein Licht-Aufteil-Mittel (19, 29, 39, 59, 69) zum Aufteilen des Lichts von der Probe, welches in der Umgebung einer Fokalebene des bündelnden optischen Systems (16, 18) angeordnet ist, wobei das Detektions-Mittel (21, 21a, 21b, 21c, 21d) die vom Licht-Aufteil-Mittel aufgeteilten Lichtteile detektiert, wobei das Licht-Aufteil-Mittel (19, 29, 39, 59, 69) eine Licht-Aufteil-Fläche (19a, 19b, 19c, 29a, 29b, 29c, 69a, 69b) aufweist, die innerhalb einer Fokustiefe des bündelnden optischen Systems (16, 18) angeordnet ist und die relativ zu einer optischen Achse des bündelnden optischen Systems (16, 18) geneigt ist und die das Licht von der Probe, welches an einer Position eingeht, die im Wesentlichen mit einer Position in der Probe optisch konjugiert, an welcher der beleuchtende Lichtstrahl gebündelt ist, in zentrales Licht und peripheres Licht um das zentrale Licht herum aufteilt, und wobei das Detektions-Mittel (21, 21a, 21b, 21c, 21d) das zentrale und das periphere Licht, welche an der Licht-Aufteil-Fläche (19a, 19b, 19c, 29a, 29b, 29c, 69a, 69b) voneinander aufgeteilt wurden, detektiert.
  3. Konfokales Mikroskop gemäß Anspruch 2, wobei das Licht-Aufteil-Mittel (19, 29, 39, 59, 69) mehrere Licht-Aufteil-Flächen (19a, 19b, 19c, 29a, 29b, 29c, 69a, 69b) aufweist.
  4. Konfokales Mikroskop gemäß Anspruch 2, wobei die Licht-Aufteil-Fläche (19a, 19b, 19c, 69a, 69b) eine kreisrunde, transparente Fläche (19a', 19b', 19c', 69a' 69b'), durch welche das zentrale Licht transmittiert, und eine reflektierende Fläche (19a'', 19b'', 19c'', 69a'', 69b''), an welcher das periphere Licht reflektiert wird, aufweist.
  5. Konfokales Mikroskop gemäß Anspruch 4, wobei das Licht-Aufteil-Mittel (19, 69) mehrere Licht-Aufteil-Flächen (19a, 19b, 19c, 69a, 69b) aufweist, die in Folge entlang eines Lichtwegs von reflektiertem, peripherem Licht angeordnet sind, wobei von den mehreren Licht-Aufteil-Flächen (19a, 19b, 19c, 69a, 69b) ein Durchmesser der transparenten Fläche (19c', 69b') der Licht-Aufteil-Fläche, (19c, 69b), die bezüglich der Richtung, in welche der Weg des reflektierten Lichts weiter fortschreitet, entfernter angeordnet ist, größer ist.
  6. Konfokales Mikroskop gemäß Anspruch 2, wobei die Licht-Aufteil-Fläche (29a, 29b, 29c) eine kreisförmige, reflektierende Fläche (29a', 29b', 29c'), an der das zentrale Licht reflektiert wird, und eine transparente Fläche (29a'', 29b'', 29c''), durch die das periphere Licht transmittiert, aufweist.
  7. Konfokales Mikroskop gemäß Anspruch 6, wobei das Licht-Aufteil-Mittel (29) mehrere Licht-Aufteil-Flächen (29a, 29b, 29c) aufweist, die in Folge entlang eines Lichtwegs von transmittiertem, peripherem Licht angeordnet sind, wobei von den mehreren Licht-Aufteil-Flächen (29a, 29b, 29c) ein Durchmesser der reflektierenden Fläche (29c') der Licht-Aufteil-Fläche, (29c), die bezüglich der Richtung, in welche der Weg des transmittierten Lichts weiter fortschreitet, entfernter angeordnet ist, größer ist.
  8. Konfokales Mikroskop gemäß einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei das Detektions-Mittel (21, 21a, 21b, 21c, 21d) mehrere Lichtdetektoren aufweist.
  9. Konfokales Mikroskop gemäß Anspruch 8, wobei das Detektions-Mittel (21a, 21b, 21c, 21d) einen ersten Detektor (21a, 21b, 21c), der eines von dem zentralen und dem peripheren Licht, welche an der Licht-Aufteil-Fläche aufgeteilt wurden, detektiert, und einen zweiten Detektor (21b, 21c, 21d) aufweist, der das Licht detektiert, welches nicht vom ersten Detektor (21a, 21b, 21c) detektiert wurde.
  10. Konfokales Mikroskop gemäß einem der Ansprüche 2 bis 7, wobei das Detektions-Mittel (21) einen einzelnen Detektor, welcher sowohl das zentrale als auch das periphere Licht, welche an der Licht-Aufteil-Fläche (19a, 19b, 19c, 29a, 29b, 29c) aufgeteilt wurden, detektiert, und eine bewegliche Blende (20) aufweist, die entweder das zentrale Licht oder das periphere Licht abblendet bzw. durchlässt, wobei das Licht-Aufteil-Mittel (19, 29) das zentrale und das periphere Licht zu dem einzelnen Detektor (21) lenkt.
  11. Konfokales Mikroskop gemäß Anspruch 10, wobei das Detektions-Mittel (21, 21a, 21b, 21c, 21d) eine Menge einer Summe des zentralen und des peripheren Lichts oder eine Menge des zentralen Lichts detektiert.
  12. Konfokales-Mikroskop-System, aufweisend ein konfokales Mikroskop gemäß Anspruch 8 und ein Auswahl/Addier-Mittel (310) zum Auswählen mindestens eines zu addierenden Signals aus Detektionssignalen, welche von mehreren Lichtdetektoren (21a, 21b, 21c) geliefert werden.
  13. Konfokales-Mikroskop-System, aufweisend ein konfokales Mikroskop gemäß Anspruch 8, ein Speicher-Mittel (222) zum individuellen Einspeichern von Signalen, welche von mehreren Lichtdetektoren (21a, 21b, 21c) detektiert wurden, und eine Rechen-Operations-Einheit (221) zum Ausführen von arithmetischen Operationen an den Signalen, welche im Speicher-Mittel (222) gespeichert wurden.
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