DE102004028421B4

DE102004028421B4 - Oszillator mit akustischen Oberflächenwellenresonatoren

Info

Publication number: DE102004028421B4
Application number: DE200410028421
Authority: DE
Inventors: Günter Dr. Martin
Original assignee: Leibniz Institut fuer Festkorper und Werkstofforschung Dresden eV; Tele Filter Zweigniederlassung der Dover Germany GmbH
Current assignee: Leibniz Institut fuer Festkorper und Werkstofforschung Dresden eV; Tele Filter Zweigniederlassung der Dover Germany GmbH
Priority date: 2004-06-04
Filing date: 2004-06-04
Publication date: 2006-05-04
Anticipated expiration: 2024-06-05
Also published as: DE102004028421A1

Abstract

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei Bauelementen, die mit akustischen Oberflächenwellenbauelementen als frequenzbestimmende Elemente aufgebaut sind, die Temperaturstabilität wesentlich zu verbessern. DOLLAR A Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, dass DOLLAR A a) die frequenzbestimmenden Elemente akustische Oberflächenwellenresonatoren sind, bei denen der interdigitale Wandler zwischen je zwei Reflektoren angeordnet ist und DOLLAR A b) der Temperaturkoeffizient n-ter Ordnung der Synchronfrequenz jedes der beiden Oberflächenwellenresonatoren ungleich null ist und sich von diesem Temperaturkoeffizienten des jeweils anderen Oberflächenwellenresonators im Vorzeichen unterscheidet und im Fall n > 1 die Temperaturkoeffizienten erster bis (n-1)-ter Ordnung, bezogen auf eine vorgegebene Temperatur, gleich null sind, wobei n größer oder gleich 1 ist und DOLLAR A c) die Oberflächenwellenresonatoren Koppelemente enthalten, mit deren Hilfe eine gegenseitige Kopplung der Wellenfelder der Oberflächenresonatoren hergestellt ist und DOLLAR A d) das Verhältnis der Aperturen der Wandler und das Verältnis der Längen der Koppelelemente in Richtung senkrecht zu den Zinkenkanten der Wandler und den Streifen der Reflektoren so gewählt sind, dass die Variation der Oszillatorfrequenz im gegebenen Temperaturbereich minimal ist. DOLLAR A Die Erfindung ist beispielsweise bei Oszillatoren und Sensoren anwendbar.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf das Gebiet Elektrotechnik/Elektronik. Objekte, bei denen die Anwendung möglich und zweckmäßig ist, sind Bauelemente auf der Basis akustischer Oberflächenwellen wie Oszillatoren und Sensoren, insbesondere solche Sensoren, bei denen sich der Temperaturgang der Oszillatorfrequenz einstellen lässt.

Es sind Oszillatoren bekannt, die einen Verbund aus zwei frequenzbestimmenden Elementen, von denen jedes Element mindestens einen interdigitalen Wandler für akustische Oberflächenwellen enthält und eine einen Verstärker enthaltende Rückkopplung vom Ausgang zum Eingang des Verbundes umfasst, wobei die frequenzbestimmenden Elemente sich durch die Temperaturabhängigkeit der Synchronfrequenz voneinander unterscheiden.

Bei einer speziellen Ausführung enthält der Verbund aus zwei frequenzbestimmenden Elementen zwei Oberflächenwellenresonatoren oder zwei Verzögerungsleitungen, deren Substrate ein und demselben Kristallschnitt angehören, aber verschiedene Ausbreitungsrichtungen benutzen ( DE 29 38 158 A1 sowie T. I. Browning and M. F. Lewis, „A novel technique for improving the temperature stability of SAW/SSBW devices" in Proc. 1978 IEEE Ultrasonics Symposium, S. 474–477 [1]). Als Kristallschnitt dient der ST-Schnitt von Quarz. Das Substrat der Hauptverzögerungsleitung hat die X-Achse von Quarz als Ausbreitungsrichtung, während die Ausbreitungsrichtung der Hilfsverzögerungsleitung um 41° dazu geneigt ist. Demzufolge verschwindet bei der Hauptverzögerungsleitung der Temperaturkoeffizient der Synchronfrequenz erster Ordnung. Dagegen ist der Temperaturkoeffizient der Synchronfrequenz erster Ordnung der Hilfsverzögerungsleitung ungleich null. Trotz der unterschiedlichen Ordnungen der Temperaturkoeffizienten gelingt es, den Temperaturkoeffizienten der Synchronfrequenz zweiter Ordnung der Hauptverzögerungsleitung zu kompensieren. Der zur Kompensation des Temperaturkoeffizienten der Synchronfrequenz zweiter Ordnung der Hauptverzögerungsleitung erforderliche Temperaturkoeffizient der Synchronfrequenz erster Ordnung der Hilfsverzögerungsleitung wird als Funktion des zu kompensierenden Temperaturkoeffizienten zweiter Ordnung, der Amplitude der Hilfsverzögerungsleitung und der für beide Verzögerungsleitungen gleichen Ausbreitungsstrecke angegeben.

Es wurde bereits vorgeschlagen, als Verbund aus zwei frequenzbestimmenden Elementen zwei Zweitor-Oberflächenwellenresonatoren so zu kombinieren, dass die Wandler zwei parallel geschaltete Paare bilden, wobei jeweils ein Wandler des ersten Zweitorresonators und ein Wandler des jeweils zweiten Zweitorresonators ein solches Paar bilden ( DE 103 39 865.1 ). Dabei sind die Aperturen, die Zwischenräume zwischen den Wandlern und die Synchronwellenlängen in den Resonatoren so gewählt, dass die Oszillatorfrequenz bei einer vorgegebenen Temperatur einer vorgegebenen Frequenz entspricht.

Im Zusammenhang mit fernabfragbaren Sensoren, die im speziellen Fall Eintorresonatoren auf der Basis akustischer Oberflächenwellen enthalten, ist es bekannt, zur Temperaturkompensation zwei Eintorresonatoren zu kombinieren, deren Substrate verschiedene Ausbreitungsrichtungen ein und desselben Kristallschnitts repräsentieren (A differential measurement SAW device for passive remote sensoring, W. Buff, M. Rusko, T. Vandahl, M. Goroll und F. Möller, Proc. 1996 IEEE Ultrasonics Symposium, S. 343–346 [2]). Voraussetzung für die Temperaturkompensation ist dabei, dass diese Ausbreitungsrichtungen unterschiedliche Phasengeschwindigkeiten und nahezu gleiche Temperaturkoeffizienten der Synchronfrequenz haben.

Die in der Druckschrift [1] beschriebene Lösung hat folgende Nachteile:

(1) Verzögerungsleitungen bei vorgegebener Substratlänge können eine zu kleine Phasensteilheit haben, was eine ungenügende Stabilität der Oszillatoren zur Folge hat.
(2) Die Größe |S₂₁| bei der Oszillatorfrequenz, die sich temperaturabhängig einstellt, ist zu stark temperaturabhängig, so dass der Verstärker in der Rückkopplung infolge eines zu großen Verstärkungsbereichs unerwünschte nichtlineare Effekte oder als geregelter Verstärker zu hohe Kosten verursacht.
(3) Die Methode der Temperaturkompensation aus [1] ist nur für breitbandige frequenzbestimmende Elemente anwendbar.
(4) Das in [1] verwendete Modell zur Beschreibung des Verbundes zweier Verzögerungsleitungen ist eine Näherung für den Fall, dass die Eingangs- bzw. Ausgangsimpedanz des Verbundes der Verzögerungsleitungen sehr groß im Vergleich mit dem Quell- bzw. Lastwiderstand ist und alle Wandler reflexionsfrei sind. Die mit Hilfe dieses Modells gewonnene Lehre, beispielsweise die oben erwähnte Funktion für den Temperaturkoeffizienten der Synchronfrequenz erster Ordnung der Hilfsverzögerungsleitung ist deshalb in vielen Fällen nicht anwendbar und nicht auf solche frequenzbestimmende Elemente übertragbar, bei denen Reflexionen eine wesentliche Rolle spielen.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, temperaturstabile Oszillatoren mit akustischen Oberflächenwellenbauelementen als frequenzbestimmende Elemente der bekannten Art so zu verändern, dass

– die Phasensteilheit der frequenzbestimmenden Elemente bei vorgegebener Substratlänge und demzufolge die Stabilität der Oszillatoren erhöht wird,
– die Größe |S₂₁| an der Oszillatorfrequenz, die sich bei der jeweiligen Temperatur einstellt, nur schwach temperaturabhängig ist und
– die frequenzbestimmenden Elemente schmalbandig sind sowie
– eine Lehre für die Gestaltung temperaturstabiler Oszillatoren anzugeben, die nicht auf einer Näherung wie in der Druckschrift [1] basiert und die auch auf solche frequenzbestimmende Elemente übertragbar ist, bei denen Reflexionen eine wesentliche Rolle spielen.

Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, dass

a) der Temperaturkoeffizient n-ter Ordnung der Synchronfrequenz jedes der beiden Oberflächenwellenresonatoren ungleich null ist und sich von diesem Temperaturkoeffizienten des jeweils anderen Oberflächenwellenresonators im Vorzeichen unterscheidet und im Fall n > 1 die Temperaturkoeffizienten erster bis (n-1)-ter Ordnung, bezogen auf eine vorgegebene Temperatur, gleich null sind, wobei n größer oder gleich 1 ist und
b) die Oberflächenwellenresonatoren Koppelelemente enthalten, mit deren Hilfe eine gegenseitige Kopplung der Wellenfelder der Oberflächenwellenresonatoren hergestellt ist und
c) das Verhältnis der Aperturen der Wandler und das Verhältnis der Längen der Koppelelemente in Richtung senkrecht zu den Zinkenkanten der Wandler und den Streifen der Reflektoren so gewählt sind, dass die Variation der Oszillatorfrequenz im gegebenen Temperaturbereich minimal ist.

Die erfindungsgemäße Lösung hat den Vorteil, dass sowohl der Temperaturkoeffizient der Synchronfrequenz erster als auch zweiter Ordnung kompensiert werden kann. Wenn der Temperaturkoeffizient der Synchronfrequenz erster Ordnung beider Oberflächenwellenresonatoren gleich null ist und sich deren Temperaturkoeffizienten der Synchronfrequenz zweiter Ordnung im Vorzeichen unterscheiden, so ist sowohl der Temperaturkoeffizient der Synchronfrequenz zweiter als auch dritter Ordnung kompensierbar.

Die Erfindung kann wie folgt zweckmäßig ausgestaltet sein:
Es ist besonders zweckmäßig, wenn der Temperaturkoeffizient erster Ordnung der Synchronfrequenz jedes der beiden Oberflächenwellenresonatoren ungleich null ist und sich von diesem Temperaturkoeffizienten des jeweils anderen Oberflächenwellenresonators im Vorzeichen unterscheidet oder wenn der Temperaturkoeffizient zweiter Ordnung der Synchronfrequenz jedes der beiden Oberflächenwellenresonatoren ungleich null ist und sich von diesem Temperaturkoeffizienten des jeweils anderen Oberflächenwellenresonators im Vorzeichen unterscheidet und die Temperaturkoeffizienten erster Ordnung, bezogen auf eine vorgegebene Temperatur, gleich null sind.

Die Oberflächenwellenresonatoren können als Koppelelement einen Koppelwandler enthalten In diesem Fall ist der Koppelwandler des ersten Oberflächenwellenresonators mit dem Koppelwandler des jeweils zweiten Oberflächenwellenresonators über zwei elektrische Verbindungen verbunden. Dabei kann es zweckmäßig sein, zwischen die elektrischen Verbindungen, die die Koppelwandler verschiedener Oberflächenwellenresonatoren verbinden, eine Induktivität, bezeichnet als Koppelinduktivität, oder eine Kapazität, bezeichnet als Koppelkapazität, zu schalten.

Es ist zweckmäßig, wenn sich die Aperturen der Koppelwandler voneinander unterscheiden und die Zinkenzahlen der Koppelwandler gleich sind oder sich die Zinkenzahlen der Koppelwandler voneinander unterscheiden und die Aperturen der Koppelwandler gleich sind.

Bei kleinem elektomechanischem Koppelfaktor ist es günstig, wenn die Koppelwandler mehr Zinken enthalten als der jeweils zweite Wandler desjenigen Oberflächenwellenresonators zu dem der jeweilige Koppelwandler gehört.

Mindestens einer der Koppelwandler kann mindestens eine Gruppe, die aus einer geraden Anzahl aufeinanderfolgender Zinken mit gleicher Polarität besteht, enthalten. Dadurch wird mindestens eine Polaritätsumkehr mindestens innerhalb eines Koppelwandlers realisiert. Das ist zweckmäßig, wenn Resonanzen benutzt werden, die zu Hohlraummoden mit mindestens einer Nullstelle in der jeweiligen Hüllkurve gehören.

Beide Oberflächenwellenresonatoren können mit Substraten der gleichen Kristallart aufgebaut sein. Die Substrate der Oberflächenwellenresonatoren können aber auch verschiedenen Kristallarten angehören. Dabei können die Oberflächenwellenresonatoren unterschiedliche Ausbreitungsrichtungen für akustische Oberflächenwellen auf ein und demselben Kristallschnitt benutzen. Das kann dadurch ausgestaltet sein, dass der Kristallschnitt ein ST-Schnitt von Quarz und die Richtung senkrecht zu den Zinken der Wandler und den Reflektorstreifen des ersten bzw. zweiten Oberflächenwellenresonators um einen Winkel größer als 0° und kleiner als 45° bzw. einen Winkel größer als 45° zur kristallografischen X-Achse von Quarz geneigt ist.

Die Oberflächenwellenresonatoren können auf separaten Substraten, aber auch auf einem gemeinsamen Substrat angeordnet sein.

Die Koppelelemente beider Oberflächenwellenresonatoren können einen Multistreifenkoppler bilden.

Die Zinkenperiode der Wandler, die Streifenperiode der Reflektorstreifen, die Abstände der Wandler zu den Koppelelementen und zu den Reflektoren sowie die Dicke der Elektrodenschicht der Oberflächenwellenresonatoren können so gewählt sein, dass deren Resonanzen an einer vorgegebenen Temperatur einen vorgegebenen Frequenzabstand haben. Dieser Frequenzabstand kann auch gleich null sein.

Die Erfindung ist nachstehend anhand eines Ausführungsbeispiels und einer zugehörigen Zeichnung näher erläutert.
Der zu beschreibende Oszillator besteht aus einem Resonatorverbund als frequenzbestimmendes Element und einer einen Verstärker enthaltenden Rückkopplung vom Ausgang zum Eingang des Verbundes. Die Phase dieser Rückkopplung wird als gleich null vorausgesetzt. Im folgenden werden die Eigenschaften des Resonatorverbundes beschrieben.
Auf einem Substrat 1, das ein ST-Schnitt von Quarz ist, sind die Oberflächenwellenresonatoren 2; 3, zusammengesetzt aus den Reflektoren 21; 22 und dem interdigitalen Wandler 24 bzw. aus den Reflektoren 31; 32 und dem interdigitalen Wandler 34, angeordnet. Außerdem ist im Oberflächenwellenresonator 2 bzw. 3 zwischen dem Wandler 24 bzw. 34 und dem Reflektor 21 bzw. 31 ein Koppelwandler 23 bzw. 33 angeordnet. Die Oberflächenwellenresonatoren 2; 3 bilden einen Resonatorverbund. Die Elektroden bestehen aus einer Aluminiumschicht einer Dicke von 300 nm. Die Ausbreitungsrichtung des Oberflächenwellenresonators 2, d. h. die Richtung senkrecht zu den Zinken des Koppelwandlers 23 und des Wandlers 24 und den Streifen der Reflektoren 21; 22, ist um den Winkel α2 = 30° zur kristallografischen x-Achse von Quarz geneigt. Deshalb ist der Temperaturkoeffizient erster Ordnung der Synchronfrequenz des Oberflächenwellenresonators 2 positiv. Die Ausbreitungsrichtung des Oberflächenwellenresonators 3, d. h. die Richtung senkrecht zu den Zinken des Koppelwandlers 33 und des Wandlers 34 und den Streifen der Reflektoren 31; 32, ist um den Winkel α3 = 47,5° gegenüber der kristallografischen x-Achse von Quarz geneigt. Deshalb ist der Temperaturkoeffizient erster Ordnung der Synchronfrequenz des Oberflächenwellenresonators 3 negativ. Die Zwischenräume 25 und 35 zwischen dem Wandler 24 und dem Koppelwandler 23 des Oberflächenwellenresonators 2 bzw. dem Wandler 34 und dem Koppelwandler 33 des Oberflächenwellenresonators 3 sind gleich breit. Jeweils eine Kammelektrode des Wandlers 24 und des Wandlers 34 stehen über die am Massepotential liegende Verbindung 4 miteinander in elektrischem Kontakt. Jede Kammelektrode des Koppelwandlers 23 steht mit einer Kammelektrode des Koppelwandlers 33 über die Verbindungen 5 und 6 elektrisch in Verbindung, wobei die Verbindung 5 an das Massepotential angeschlossen ist. Zwischen die Verbindungen 5 und 6 ist eine Koppelinduktivität 7 geschaltet. Diese bildet zusammen mit den Kapazitäten der Koppelwandler 23 und 33 einen Schwingkreis. Der Wandler 34 des Oberflächenwellenresonators 3 dient als Eingang 8 und der Wandler 24 des Oberflächenwellenresonators 2 dient als Ausgang 9 des Resonatorverbundes. Die Aperturen 26 und 36 des Koppelwandlers 23 und des Wandlers 24 bzw. des Koppelwandlers 33 und des Wandlers 34 sowie die Koppelinduktivität 7 sind so gewählt, dass die Variation der Oszillatorfrequenz im gegebenen Temperaturbereich minimal ist. Der Abstand der Mitten benachbarter Zinken, der Abstand der Mitten benachbarter Reflektorstreifen, die Zwischenräume 25 und 35 zwischen dem Koppelwandler 23 und dem Wandler 24 bzw. dem Koppelwandler 33 und dem Wandler 34 und die Zwischenräume zwischen dem Koppelwandler 23 und dem Reflektor 21, dem Wandler 24 und dem Reflektor 22, dem Koppelwandler 33 und dem Reflektor 31 sowie dem Wandler 34 und dem Reflektor 32 in den Oberflächenwellenresonatoren 2; 3 sind so gewählt, dass jeweils eine Resonanz beider Oberflächenwellenresonatoren 2; 3 bei Raumtemperatur an der gleichen Frequenz liegt.
Der Oszillator schwingt an einer Resonanz desjenigen Resonanzpaares, das aus der Kopplung der zur jeweiligen symmetrischen Hohlraummode gehörenden Resonanzen der Oberflächenwellenresonatoren 2 und 3 resultiert. Diese Kopplung wird durch die Verbindungen 5 und 6 erzeugt. Als Resonanz des erwähnten Resonanzpaares ist diejenige ausgewählt, die zur symmetrischen Koppelmode gehört. Diese Koppelmode ist durch gleichphasige elektrische Signale der Koppelwandler 23 und 33 gekennzeichnet.

Claims

Oszillator, der einen Verbund aus zwei frequenzbestimmenden Elementen, von denen jedes Element mindestens einen interdigitalen Wandler (24; 34) für akustische Oberflächenwellen enthält und eine einen Verstärker enthaltende Rückkopplung vom Ausgang (9) zum Eingang (8) des Verbundes umfasst, wobei die frequenzbestimmenden Elemente (2; 3) sich durch die Temperaturabhängigkeit der Synchronfrequenz voneinander unterscheiden und wobei die frequenzbestimmenden Elemente akustische Oberflächenwellenresonatoren (2; 3) sind, bei denen der interdigitale Wandler (24 bzw. 34) zwischen je zwei Reflektoren (21; 22 bzw. 31; 32) angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass a) der Temperaturkoeffizient n-ter Ordnung der Synchronfrequenz jedes der beiden Oberflächenwellenresonatoren (2; 3) ungleich null ist und sich von diesem Temperaturkoeffizienten des jeweils anderen Oberflächenwellenresonators im Vorzeichen unterscheidet und im Fall n > 1 die Temperaturkoeffizienten erster bis (n-1)-ter Ordnung, bezogen auf eine vorgegebene Temperatur, gleich null sind, wobei n größer oder gleich 1 ist und b) die Oberflächenwellenresonatoren (2; 3) Koppelelemente (23; 33) enthalten, mit deren Hilfe eine gegenseitige Kopplung der Wellenfelder der Oberflächenwellenresonatoren (2; 3) hergestellt ist und c) das Verhältnis der Aperturen der Wandler (24; 34) und das Verhältnis der Längen der Koppelelemente (23; 33) in Richtung senkrecht zu den Zinkenkanten der Wandler (24; 34) und den Streifen der Reflektoren (21; 22 bzw, 31; 33) so gewählt sind, dass die Variation der Oszillatorfrequenz im gegebenen Temperaturbereich minimal ist.
Oszillator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Temperaturkoeffizient erster Ordnung der Synchronfrequenz jedes der beiden Oberflächenwellenresonatoren (2; 3) ungleich null ist und sich von diesem Temperaturkoeffizienten des jeweils anderen Oberflächenwellenresonators im Vorzeichen unterscheidet.
Oszillator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Temperaturkoeffizient zweiter Ordnung der Synchronfrequenz jedes der beiden Oberflächenwellenresonatoren (2; 3) ungleich null ist und sich von diesem Temperaturkoeffizienten des jeweils anderen Oberflächenwellenresonators im Vorzeichen unterscheidet und die Temperaturkoeffizienten erster Ordnung, bezogen auf eine vorgegebene Temperatur, gleich null sind.
Oszillator nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Oberflächenwellenresonatoren (2; 3) als Koppelelement einen Koppelwandler (23; 33) enthalten und der Koppelwandler (23) des ersten Oberflächenwellenresonators (2) mit dem Koppelwandler (33) des jeweils zweiten Oberflächenwellenresonators (3) über zwei elektrische Verbindungen (5; 6) miteinander verbunden sind.
Oszillator nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Aperturen der Koppelwandler (23; 33) voneinander unterscheiden und die Zinkenzahlen der Koppelwandler (23; 33) gleich sind.
Oszillator nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Zinkenzahlen der Koppelwandler (23; 33) voneinander unterscheiden und die Aperturen der Koppelwandler (23; 33) gleich sind.
Oszillator nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Koppelwandler (23; 33) mehr Zinken enthalten als der Wandler (24; 34) desjenigen Oberflächenwellenresonators (2; 3), zu dem der jeweilige Koppelwandler (23; 33) gehört.
Oszillator nach Anspruch 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen die elektrischen Verbindungen (5; 6), die die Koppelwandler (23; 33) verschiedener Oberflächenwellenresonatoren (2; 3) verbinden, eine Induktivität (7), bezeichnet als Koppelinduktivität, geschaltet ist.
Oszillator nach Anspruch 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen die elektrischen Verbindungen (5; 6), die die Koppelwandler (23; 33) verschiedener Oberflächenwellenresonatoren (2; 3) verbinden, eine Kapazität, bezeichnet als Koppelkapazität, geschaltet ist.
Oszillator nach Anspruch 4 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Koppelwandler (23; 33) mindestens eine Gruppe, die aus einer geraden Anzahl aufeinanderfolgender Zinken mit gleicher Polarität besteht, enthält.
Oszillator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass beide Oberflächenwellenresonatoren (2; 3) mit Substraten der gleichen Kristallart aufgebaut sind.
Oszillator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Substrate der Oberflächenwellenresonatoren (2; 3) verschiedenen Kristallarten angehören.
Oszillator nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Oberflächenwellenresonatoren (2; 3) unterschiedliche Ausbreitungsrichtungen für akustische Oberflächenwellen auf ein und demselben Kristallschnitt benutzen.
Oszillator nach Anspruch 2 oder 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Kristallschnitt ein ST-Schnitt von Quarz und die Richtung senkrecht zu den Zinken der Wandler und den Reflektorstreifen des ersten bzw. zweiten Oberflächenwellenresonators (2; 3) um einen Winkel größer als 0° und kleiner als 45° bzw. einen Winkel größer als 45° zur kristallografischen X-Achse von Quarz geneigt ist.
Oszillator nach Anspruch 1 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Oberflächenwellenresonatoren (2; 3) auf separaten Substraten angeordnet sind.
Oszillator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektrodenstrukturen beider Oberflächenwellenresonatoren (2; 3) auf einem gemeinsamen Substrat (1) angeordnet sind.
Oszillator nach Anspruch 13 oder 16, dadurch gekennzeichnet, dass die Koppelelemente (23; 33) beider Oberflächenwellenresonatoren (2; 3) einen Multistreifenkoppler bilden.
Oszillator nach einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Zinkenperiode der Wandler (24; 34), die Streifenperiode der Reflektorstreifen, die Abstände der Wandler (24; 34) zu den Koppelelementen (23; 33) und zu den Reflektoren (21; 22; 31; 32) sowie die Dicke der Elektrodenschicht der Oberflächenwellenresonatoren (2; 3) so gewählt sind, dass deren Resonanzen an einer vorgegebenen Temperatur einen vorgegebenen Frequenzabstand haben.
Oszillator nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass der vorgegebene Frequenzabstand gleich null ist.