DD136897B1 - Kapazitiver messfuehler - Google Patents
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Description
Die Erfindung betriff einen kapazitiven Meßfühler für das Messen von Abständen zv/ischen dem kapazitiven Meßfühler und einem leitfähigen Material. Dabei werden mit dem kapazitiven Meßfühler sowohl stetige Dickenänderungen als auch die Lage der Begrenzungskanten des leitfähigen Materials erkannt.
Charakteristik der bekannten Lösungen
Die DE-AS 24 48 205 beschreibt eine kapazitive Sonde zum Füllstandsmesser, bei der eine Sondenelektrode in dem zu messenden Raum hineinragt. Durch das Füllgut wird das Feld der Sondenelektrode gegenüber dem Zustand ohne Füllgut deformiert. Dadurch ändern sich die Kapazitätsverhältnisse und werden in einer Auswerteschaltung angezeigt. Diese kapazitive Sonde eignet sich nicht zum Messen kleiner Hege zwischen der Sondenelektrode auf Grund ungenügender Abschirmung.
Eine spezielle Abschirmeinrichtung für Mehrspurmagnetköpfe bei der Signalaufzeichnung und/oder Widergabe beschreibt das DD-WP 129 940. Dabei besteht die Abschirmung aus einer Kombination von elektrisch leitenden und elektrisch nicht leitenden Schichten, die die Abschirmplatten bilden und einer allen Magnetsystemen gemeinsamen Feld-
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deformationsplatte. Die Abschirmplatten befinden sich dabei zwischen den einzelnen Magnetsystemen und erhöhen die Übersprechdämpfung.
Ziel der Erfindung
Das Ziel der Erfindung besteht darin, einen kapazitiven Meßfühler zu schaffen, der geeignet ist, kleinste Kapazitäten zwischen dem Meßfühler und einem leitfähigen Material aufzunehmen und zu erkennen. Dabei soll der Meßfühler konstruktiv einfach aufgebaut sein und eine kleine Meßfläche besitzen,
Darlegung des V/esens der Erfindung
Die Erfindung bezieht sich auf einen kapazitiven Meßfühler, bei dem mittels einer, aus der konstruktiven Gestaltung hervorgehenden speziellen Abschirmung die störenden Kapazitäten gegen Masse und störende Kopplungen nahezu vollständig unterdrückt werden, wodurch die Messung kleinster Kapazitäten ermöglicht wird,
Merkmale der Erfindung
Der erfindungsgemäße kapazitive Meßfühler besteht aus einem geerdeten Schirm in Form eines oben geschlossenen Hohlkörpers, Innerhalb des Schirmes befindet sich eine erste Elektrode, die unten mit dem Schirm abschließt. Oberhalb der ersten ist eine zweite Elektrode angeordnet. In einer Öffnung der ersten Elektrode und gegebenenfalls in einer Vertiefung der zweiten Elektrode befindet sich ein Koppelstift mit einer Meßfläche, wobei' die Meßfläche mit dem Schirm und der ersten Elektrode abschließt. Der Zwischenraum zwischen dem Schirm, den Elektroden und dem Koppelstift ist mit.einem Dielektrikum ausgefüllt. Dabei ist die Wandstärke zwischen den einzelnen elektrisch
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leitenden Teilen gleich groß· Innerhalb des Schirmes und oberhalb der zweiten Elektrode befindet sich ein Verstärkerelement.
Die erste Elektrode ist dabei mit dem Eingang durch eine erste Bohrung des Schirmes, die zweite Elektrode ist mit dem Verstärkereingang und der Verstärkerausgang durch eine zweite Bohrung des Schirmes mit dem Ausgang des kapazitiven Meßfühlers verbunden»
Es erweist sich als günstig, wenn das Verstärkerelement ein Feldeffekttransistor ist, dessen G-ate den Verstärkereingang und dessen Drain den Verstärkerausgang bildet und dessen Source mit dem Schirm verbunden ist. Der Schirm weist zwischen den Elektroden einen Entkoppelvorsprung auf. Dadurch ergibt sich eine Verringerung der störenden Kopplung zwischen den Elektroden.
Es erweist sich als günstig, wenn die Meßfläche etwas aus der durch den Schirm und der ersten Elektrode gebildeten Fläche herausragt. Bei einer Berührung der Meßflache des allseitig isolierten Koppelstiftes mit dem leitfähigen Material werden dadurch Kurzschlüsse zwischen den anderen leitfähigen Teilen vermieden.
Für verschiedene Meßverfahren kann die Form des Meßfühlers speziell ausgebildet sein. Soll vorzugsweise der Abstand gemessen werden, ist es günstig, wenn der Querschnitt des Schirmes rund ist. Für die Lagebestimmung der Begrenzungskanten des leitfähigen Materials ist ein rechteckiger Querschnitt des Schirmes günstig.
Durch Veränderung des Abstandes verändern sich die Kapazitäten zwischen dem Schrim, der ersten Elektrode und dem Koppelstift. Beim Anlegen einer Wechselspannung an den Eingang erscheint am Ausgang eine Ausgangswechselspannung, die von dem Abstand abhängt.
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Ausführungsbeispiel
Die Erfindung ist anhand eines Ausführungsbeispieles und Zeichnungen näher erläutert. Dabei zeigen:
Pig. 1 die Meßanordnung des kapazitiven Meßfühlers Pig· 2 den Schnitt A-A durch die Meßanordnung Pig. 3 das Ersatzschaltbild Pig. 4» Pig. 5 weitere Ausführungsvarianten.
Der. kapazitive Meßfühler 1 dient zuni Messen des Abstandes d.. eines leitfähigen Materials 2 oder auch zur LagebeStimmung der Begrenzungskanten des leitfähigen Materials 2. Pig. 1 zeigt die Meßanordnung unter Verwendung des kapazi~ tiven Meßfühlers 1.
Gemäß Pig. 2 besteht der kapazitive Meßfühler 1 aus einem geerdeten Schirm 3 in Form eines oben geschlossenen Hohlkörpers. Innerhalb des Schirmes 3 befindet sich eine erste Elektrode 4. Oberhalb der Elektrode 4 iat eines zweite Elektrode 5 angeordnet. In einer Öffnung der Elektrode 4 und in einer Vertiefung der Elektrode 5 befindet sich ein Koppelstift 6 mit einer Meßfläche 7. Die Meßfläche 7 ragt dabei etwas aus der durch die untere Begrenzung des Schirmes 3 und der Elektrode 4 gebildeten Fläche heraus, um Kurzschlüsse zwischen den leitfähigen Teilen beim Aufsetzen auf das leitfähige Material 2 zu vermeiden. Der Zwischenraum zwischen dem Schirm 3» den Elektroden 4; und dem Koppelstift 6 ist dabei mit einem Dielektrikum 8 niedriger Dielektrizitätskonstante ausgefüllt, wodurch diese Teile untereinander galvanisch isoliert sind. Die Wandstärke des Dielektrikums 8 zwischen den einzelnen Teilen ist dabei günstigerweise gleich groß. Innerhalb des Schirmes 3 und oberhalb der Elektrode 5 befindet sich ein Verstärkerelement 9. Der Schirm 3 weist zwischen den Elektroden 4; 5 einen Entkoppelvorsprung 10 auf, wodurch die störende Kopplung zwischen den Elektroden verringert wird.
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Die Elektrode 4 ist durch eine erste Bohrung 11 des Schirmes 3 mit dem Eingang E, die zweite Elektrode 5 mit dem Verstärkereingang und der Verstärkerausgang durch eine zweite Bohrung 12 des Schirmes 3 verbunden. Die Wirkungsweise des kapazitiven Meßfühlers läßt sich am besten mit dem Ersatzschaltbild gemäß Fig. 3 erklären. Es bestehen folgende Kapazitäten:
Die Kapazität C, . zwischen der Elektrode 4 und dem Koppelstift 6, die Kapazität C,2 zwischen dem Koppelstift 6 und der Elektrode 5 und die Meßkapazität C zwischen dem Koppelstift 6 und dem auf Massepotentiäl liegenden leitfähigen Material 2.
Weiterhin bestehen parasitärefKapazitäten C .. zwischen dem Koppelstift 6 und dem ebenfalls auf Massepotential liegenden Schirm 3 und C2 zwischen den Elektroden 4; 5, die durch die konstruktive Gestaltung klein gehalten v/erden. Weitere Kapazitäten bestehen zwischen dem Schirm 3 und der Elektrode 4 mit der Kapazität C^1 sowie dem Schirm 3 und der Elektrode 5 unter Einschluß der parallel liegenden Eingangskapazität des Verstärkerelementes 9 mit der Kapa*- zität C„p. Die Kapazität C,,.. hat aber keine Verfälschung des Meßergebnisses zur Folge, sondern ihr störender Einfluß macht sich lediglich in einer Belastung der Versorgungswechselspannung U bemerkbar. Die Kapazität C^1 ist deshalb in Fig. 3 nur angedeutet.
Wird an den Eingang E die Versorgungswechselspannung U gelegt, so teilt sich die Spannung über den Kapazitäten des kapazitiven Meßfühlers 1 auf.
Durch den Entkopplungsvorsprung 10 wird die parasitäre Kapazität C ? vernachlässigbar klein. Damit ergibt sich für die Ausgangsspannung U in Abhängigkeit von dem zu
messenden Abstand d..
1 | |
О . .-ν—, | |
+ C1.,-, |
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Ea iat ein weiterea Ziel, durch die spezielle konstruktive Gestaltung die parasitäre Kapazität C 1 klein zu halten, weil der Einfluß von G .. den eigentlichen Meßeffekt unterdrückt.
Die veränderliche Kapazität iat C , die durch den veränderlichen Abstand der Meßfläche 7 des Koppelstiftea 6 gegeben ist.
Claims (3)
1. Kapazitiver Meßfühler zum Messen kleiner Abstände zwischen einer Meßfläche und der Oberfläche eines leitfähigen Materials mit einer elektrisch leitenden Hülse und zv/ei Elektroden, die voneinander durch ein Dielektrikum getrennt sind, sowie einem Verstärkerelement, gekennzeichnet dadurch, daß sich in einer Öffnung der ersten Elektrode (4) und in einer Vertiefung der oberhalb der ersten Elektrode (4) angeordneten zweiten Elektrode (5) ein Koppelstift (6) mit einer Meßfläche (7) befindet, daß die Meßfläche (7) mit dem Schirm (3) und der Elektrode (4) abschließt, daß der Koppelstift (6) durch das Dielektrikum (Θ) von den Elektroden (4; 5) getrennt ist und das Verstärkerelement (9),vorzugsweise ein Feldeffekttransistor, innerhalb des Schirmes (3) angeordnet ist.
2. Kapazitiver Meßfühler nach Punkt 1, gekennzeichnet dadurch, daß der Schirm (3) zwischen den Elektroden (4; 5) einen Entkoppelvorsprung (10) aufweist.
-2-
Erfindungsanspruch:
3· Kapazitiver Meßfühler nach Punkt 1, gekennzeichnet dadurch, daß die Meßfläche (7) aus der durch den Schirm (3) und der Elektrode (4) gebildeten Fläche herausragt.
Hierzu..^. Seiten Zeichnungen
Priority Applications (13)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DD20613878A DD136897B1 (de) | 1978-06-20 | 1978-06-20 | Kapazitiver messfuehler |
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CS794030A CS218893B1 (en) | 1978-06-20 | 1979-06-08 | Capacity metering probe |
GB7920763A GB2023847B (en) | 1978-06-20 | 1979-06-14 | Capacitative distance sensor |
US06/048,354 US4311959A (en) | 1978-06-20 | 1979-06-14 | Capacitive measuring sensor |
CH562979A CH639754A5 (de) | 1978-06-20 | 1979-06-15 | Kapazitiver messfuehler zum messen kleiner abstaende. |
FR7915562A FR2429411A1 (fr) | 1978-06-20 | 1979-06-18 | Sonde capacitive pour la mesure de petits intervalles entre une surface de mesure et la surface externe d'un materiau conducteur |
HU79EE2671A HU182731B (en) | 1978-06-20 | 1979-06-19 | Capacitive measuring sensing device |
SE7905398A SE436151B (sv) | 1978-06-20 | 1979-06-19 | Kapacitiv metkennare |
JP7696979A JPS5536793A (en) | 1978-06-20 | 1979-06-20 | Contactor for measuring capacity |
BG7943866A BG32528A1 (en) | 1978-06-20 | 1979-06-27 | Capacitive measuring drill |
JP1988016423U JPS63141406U (de) | 1978-06-20 | 1988-02-12 |
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Families Citing this family (40)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58144215U (ja) * | 1982-03-23 | 1983-09-28 | 岩崎通信機株式会社 | 変位計の静電容量プロ−プ |
US4476430A (en) * | 1982-04-05 | 1984-10-09 | Wright Wade S | Non-contact sensor for determining moving flat steel strip shape profile |
US4446432A (en) * | 1982-05-27 | 1984-05-01 | Motorola Inc. | Method for determining surface contour of piezoelectric wafers |
US4498045A (en) * | 1982-05-27 | 1985-02-05 | Motorola, Inc. | Apparatus and method for determining surface contour of piezoelectric wafers |
US4538069A (en) * | 1983-10-28 | 1985-08-27 | Control Data Corporation | Capacitance height gage applied in reticle position detection system for electron beam lithography apparatus |
CA1191261A (fr) * | 1983-12-14 | 1985-07-30 | Francois Lalonde | Appareil de mesure dynamique et sans contact de faibles distances |
DE3525325A1 (de) * | 1985-07-16 | 1987-01-22 | Papst Motoren Gmbh & Co Kg | Automatische kontaktklemme |
US4814691A (en) * | 1985-08-09 | 1989-03-21 | Washington Research Foundation | Fringe field capacitive sensor for measuring profile of a surface |
GB8523982D0 (en) * | 1985-09-28 | 1985-10-30 | Emi Plc Thorn | Tactile sensor array |
US4818948A (en) * | 1986-08-05 | 1989-04-04 | Pratt & Whitney Canada Inc. | Capacitive bridge-type probe for measuring blade tip clearance |
US5263363A (en) * | 1988-02-11 | 1993-11-23 | Agar Corporation, Ltd. | Apparatus and method for determining the percentage of a fluid in a mixture of fluids |
FR2629204B1 (fr) * | 1988-03-25 | 1990-12-14 | Oreal | Dispositif pour realiser une mesure de la teneur en eau d'un substrat, notamment de la peau |
GB9021448D0 (en) * | 1990-10-03 | 1990-11-14 | Renishaw Plc | Capacitance sensing probe |
DE4040084C2 (de) * | 1990-12-14 | 1998-09-24 | Dittel Walter Luftfahrt | Berührungsloses Abstandsmeßgerät |
DE4120913A1 (de) * | 1991-06-25 | 1993-01-07 | Draegerwerk Ag | Kolben-zylindereinheit zur atemgasfoerderung als zylinderkondensator fuer die hubstreckenmessung |
US5155444A (en) * | 1991-08-22 | 1992-10-13 | Xerox Corporation | Trim bar gap verification tool and method using a flexible capacitor sensor having a magnetic metallic laminate |
US5540890A (en) * | 1992-03-27 | 1996-07-30 | Abbott Laboratories | Capped-closure for a container |
US5536471A (en) * | 1992-03-27 | 1996-07-16 | Abbott Laboratories | Syringe with bubble flushing |
US6190617B1 (en) | 1992-03-27 | 2001-02-20 | Abbott Laboratories | Sample container segment assembly |
US5610069A (en) * | 1992-03-27 | 1997-03-11 | Abbott Laboratories | Apparatus and method for washing clinical apparatus |
US5376313A (en) * | 1992-03-27 | 1994-12-27 | Abbott Laboratories | Injection molding a plastic assay cuvette having low birefringence |
US5646049A (en) * | 1992-03-27 | 1997-07-08 | Abbott Laboratories | Scheduling operation of an automated analytical system |
US5605665A (en) * | 1992-03-27 | 1997-02-25 | Abbott Laboratories | Reaction vessel |
US5627522A (en) * | 1992-03-27 | 1997-05-06 | Abbott Laboratories | Automated liquid level sensing system |
US5575978A (en) * | 1992-03-27 | 1996-11-19 | Abbott Laboratories | Sample container segment assembly |
US5960160A (en) * | 1992-03-27 | 1999-09-28 | Abbott Laboratories | Liquid heater assembly with a pair temperature controlled electric heating elements and a coiled tube therebetween |
US5507410A (en) * | 1992-03-27 | 1996-04-16 | Abbott Laboratories | Meia cartridge feeder |
US5578494A (en) * | 1992-03-27 | 1996-11-26 | Abbott Laboratories | Cap actuator for opening and closing a container |
US5635364A (en) * | 1992-03-27 | 1997-06-03 | Abbott Laboratories | Assay verification control for an automated analytical system |
GB9221926D0 (en) * | 1992-10-19 | 1992-12-02 | Rue De Systems Ltd | Conductive strip detector |
US5363051A (en) * | 1992-11-23 | 1994-11-08 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Steering capaciflector sensor |
DE19544620A1 (de) * | 1995-11-30 | 1997-06-05 | Hoefler Maschbau | Verfahren zur Detektion von Schleifbrand beim Schleifen und zur Detektion des Zustandes der Schleifscheibe mittels Messung der dielektrischen Funktion im hochfrequenten Bereich |
US6307385B1 (en) | 1997-12-30 | 2001-10-23 | Vibrosystm, Inc. | Capacitance measuring circuit for a capacitive sensor |
DE19837526A1 (de) * | 1998-08-19 | 2000-02-24 | Reinhard Wiesemann | Kapazitiver Sensor |
WO2012129105A1 (en) * | 2011-03-18 | 2012-09-27 | Siemens Healthcare Diagnostics Inc. | Methods and systems for calibration of a positional orientation between a sample container and nozzle tip |
US8875979B2 (en) * | 2012-05-04 | 2014-11-04 | Asm Technology Singapore Pte. Ltd. | Apparatus and method for determining an alignment of a bondhead of a die bonder relative to a workchuck |
ITBO20130535A1 (it) * | 2013-09-30 | 2015-03-31 | Alberto Bauer | Sensore capacitivo di tensione elettrica, sistema e metodo per ottenerlo |
CN109507243B (zh) * | 2018-11-22 | 2024-02-27 | 华侨大学 | 一种地铁管片与预埋槽道的脱空检测装置及检测方法 |
RU192380U1 (ru) * | 2019-05-20 | 2019-09-16 | ООО "Оптиметрик" | Высоковольтный измерительный преобразователь напряжения |
CN112518614B (zh) * | 2020-11-25 | 2022-02-25 | 益阳市产商品质量监督检验研究院 | 一种圆柱型脉冲电容器检测用夹持机构及其制造工艺 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2800628A (en) * | 1953-12-18 | 1957-07-23 | Sinclair Res Lab Inc | Dual testing capacitor |
US2802178A (en) * | 1954-09-22 | 1957-08-06 | Gen Electric | Motion detecting device |
US3019651A (en) * | 1956-11-30 | 1962-02-06 | Honeywell Regulator Co | Liquid quantity measuring apparatus |
US3084558A (en) * | 1958-11-28 | 1963-04-09 | North American Aviation Inc | Capacitance pickoff with low coercion |
US3119266A (en) * | 1960-11-10 | 1964-01-28 | Duane E Atkinson | Level indicating system, method and probe |
US3400331A (en) * | 1965-01-18 | 1968-09-03 | Pratt & Whitney Inc | Gaging device including a probe having a plurality of concentric and coextensive electrodes |
US3515987A (en) * | 1967-10-20 | 1970-06-02 | Avco Corp | Coplanar dielectric probe having means for minimizing capacitance from stray sources |
DE1914876C3 (de) * | 1969-03-24 | 1978-10-26 | Messer Griesheim Gmbh, 6000 Frankfurt | Einrichtung zum Schutz einer Anordnung zur kapazitiven Abstandsmessung |
US3805150A (en) * | 1970-08-17 | 1974-04-16 | Ade Corp | Environment immune high precision capacitive gauging system |
US3716782A (en) * | 1971-06-03 | 1973-02-13 | J Henry | Capacitance gage for measuring small distances |
BE792405A (fr) * | 1971-12-08 | 1973-03-30 | Paratronic Ag | Dispositif pour mesurer sans les detruire l'epaisseur de revetements electriquement non conducteurs sur des supports electriquement conducteurs |
US3986109A (en) * | 1975-01-29 | 1976-10-12 | Ade Corporation | Self-calibrating dimension gauge |
-
1978
- 1978-06-20 DD DD20613878A patent/DD136897B1/de not_active IP Right Cessation
-
1979
- 1979-05-21 DE DE2920491A patent/DE2920491A1/de active Granted
- 1979-06-06 SU SU797770603A patent/SU1015243A1/ru active
- 1979-06-08 CS CS794030A patent/CS218893B1/cs unknown
- 1979-06-14 US US06/048,354 patent/US4311959A/en not_active Expired - Lifetime
- 1979-06-14 GB GB7920763A patent/GB2023847B/en not_active Expired
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