DE4040084C2 - Berührungsloses Abstandsmeßgerät - Google Patents
Berührungsloses AbstandsmeßgerätInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein berührungsloses Abstandsmeßgerät
nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Zum Zwecke der berührungslosen Abstandsmessung sind Kapazi
tätsmeßsonden bekannt, welche die bei Änderungen des Abstan
des zwischen der Meßsonde und einem Gegenstand auftretenden
Kapazitätsänderungen dahingehend auswerten, daß daraus ein
Abstandssignal gebildet wird (vgl. z. B. DE-PS 21 37 545,
US-PS 3 628 136, DE-GM 19 93 219 und DE 31 38 273 A1).
Problematisch bei derartigen Abstandsmeßgeräten ist jedoch
einerseits der erhebliche bauliche und elektrotechnische
Aufwand, der hohe Platzbedarf und die unzureichende Genauig
keit, wobei es im allgemeinen auch nötig ist, den bezüglich
seines Abstandes von der Meßsonde zu bestimmenden Gegenstand
zu erden, falls dieser aus Metall besteht.
Das Ziel der Erfindung besteht darin, ein neues berührungslo
ses Abstandsmeßgerät nach dem Oberbegriff des Patentan
spruchs 1 zur Verfügung zu stellen. Insbesondere soll dieses
neue Meßgerät eine extrem hohe Meßgenauigkeit aufweisen und
den Abstand eines räumlich sehr eng begrenzten Meßfleckes
von der Meßsonde bestimmen können, wobei der bauliche und
elektrotechnische Aufwand gering sein sollen.
Zur Lösung dieser Aufgabe sind die Merkmale des kennzeichnen
den Teils des Anspruches 1 vorgesehen. Besonders vorteilhaft
ist es, wenn die Meßsonde gemäß Anspruch 2 ausgebildet ist.
Das erfindungsgemäße Abstandsgerät ist sowohl zur Messung
des Abstandes der Meßsonde von metallischen als auch von
nichtmetallischen Gegenständen geeignet. Voraussetzung ist
lediglich, daß die Dielektrizitätskonstante des Gegenstandes
von der der Luft verschieden ist. Wegen der außerordentlich
hohen Meßfrequenz des erfindungsgemäßen Abstandsmeßgerätes
braucht der Gegenstand nicht geerdet zu werden. Die Messung
beruht nämlich auf der Störung des Feldvorlaufes an der
Spitze der Meßsonde, d. h., an deren offenem Ende. Der Meß
fleck auf dem Gegenstand, von dem der Abstand des offenen
Endes der Meßsonde gemessen werden soll, hat lediglich eine
Größe, die etwa dem Durchmesser des Innenleiters des Koaxial
resonators entspricht.
Als Koaxialresonator kann beispielsweise ein eine dünne
Seele, darum herum einen Isolierstoff und im Außenbereich
eine metallische Abschirmung aufweisendes Koaxialkabel geeig
neter Länge verwendet werden, wobei die Abschirmung und der
Innenleiter an einem Ende beispielsweise über ein geeignet
dimensioniertes Koaxialkabel mit dem Oszillator verbunden
ist, während das andere Ende einfach abgeschnitten wird und
offen bleibt. Als eigentliche, den Bezugsort für die Messung
darstellende Spitze der Meßsonde ist das Ende des Innenlei
ters am offenen Ende anzusehen.
Mit dem erfindungsgemäßen Abstandsmeßgerät gelingt es, eine
Meßgenauigkeit von Bruchteilen von µm und insbesondere bis
zu 0,02 µm zu erreichen, wobei die letztendlich erreichte
Meßgenauigkeit durch das Grundrauschen des Oszillators
bestimmt wird. Aufgrund der hohen Frequenz im Gigahertzbe
reich und der Güte eines λ/2-Koaxialresonators kann man also
extrem kleine Wegänderungen messen. Die untere Meßgrenze
wird durch die Baugröße des λ/2-Koaxialresonators sowie
durch das Grundrauschen des Oszillators bestimmt.
Wenn nach einer bevorzugten Ausführungsform das erfindungsge
mäße Abstandsmeßgerät zur Bestimmung der Unwucht oder von
Schädigungen einer umlaufenden Schleifscheibe verwendet
wird, ist die Wegauflösung so groß, daß sogar gröbere Korn
strukturen der Schleifscheibe beispielsweise auf einem ange
schlossenen Oszilloskop erkannt werden können und auf jeden
Fall die Funktion der Schleifscheibe beeinträchtigende Um
fangsfehler.
Besonders vorteilhaft wird nach Anspruch 3 eine Frequenzhub-
Meßvorrichtung verwendet, da es bei der Abstandsmessung nur
auf die Abweichung der bei der Messung vorhandenen Frequenz
von einer Normalfrequenz ankommt. Die Frequenzhub-Meßvorrich
tung kann vorteilhafterweise gemäß Anspruch 4 ausgebildet
werden, wobei vorteilhafte Auswertemethoden durch die Ansprü
che 5 bis 7 gekennzeichnet sind.
Aufgrund der Ausbildung nach Anspruch 8 kann mittels des
Referenz-Koaxialresonators auch noch eine weitgehende Tempe
raturkompensation bei der Messung verwirklicht werden.
Die Erfindung wird im folgenden beispielsweise anhand der
Zeichnung beschrieben; in dieser zeigt:
Fig. 1 eine schematische blockschaltbildartige
Darstellung eines erfindungsgemäßen berüh
rungslosen Abstandsmeßgerätes in Anwen
dung bei der Fehlermessung an einer
Schleifscheibe,
Fig. 2 eine schematische Axialansicht einer feh
lerhaften Schleifscheibe mit einer in
geringem Abstand von deren Außenumfang
angeordneter Meßsonde und
Fig. 3 ein Weg-Zeitdiagramm, wie es vom Oszillos
kop 21'' nach Fig. 1 aufgezeichnet wird,
wenn die umlaufende Schleifscheibe die in
Fig. 2 dargestellten Fehler aufweist.
Nach Fig. 1 ist gegenüber dem Außenumfang einer in Pfeilrich
tung umlaufenden Schleifscheibe 12 ein λ/2-Koaxialresonator
11 als Meßsonde angeordnet. Der Koaxialresonator 11 weist
ein offenes Ende 16 auf, an welchem der Innenleiter 22 und
die ihn mit Abstand umgebende und durch einen Isolierstoff
getrennte metallische Abschirmung keine metallische Verbin
dung miteinander aufweisen. Am entgegengesetzten Ende 17 ist
der Koaxialresonator 11 an einer Basis 23 im Meßgerät unver
rückbar angeordnet, um die Abstandsmessung nicht durch eine
mangelnde Halterung des Koaxialresonators 11 zu beeinträch
tigen. Bei 24 sind der Innenleiter und die Abschirmung mit
einem Oszillator 14 verbunden, der einen im Gigahertzbereich
schwingenden Schwingkreis enthält, der entweder durch den
Koaxialresonator 11 gebildet wird oder den Koaxialresonator
11 als wichtiges frequenzbestimmendes Element enthält. Die
Basis 23 ist zweckmäßigerweise die Platine, die den Oszil
lator 14 enthält. Der Koaxialresonator 11 ist also über die
elektrische Verbindung 24 in den Oszillator 14 integriert.
Der Oszillator 14 ist Bestandteil der Auswerteelektronik 13,
innerhalb der außerdem eine Frequenzauswerteschaltung 15
vorgesehen ist. Diese enthält eine Frequenzhub-Meßvorrich
tung 18, welche aus einem dem Meß-Koaxialresonator 11 genau
entsprechenden Referenz-Koaxialresonator 11' mit einem offe
nen Ende 16' und einem an einen weiteren Oszillator 14' mit
gleicher Frequenz und Ausbildung wie der Oszillator 14 bei
24' angeschlossenen anderen Ende 17'. Auch dieser Koaxialre
sonator 11' ist fest auf einer Basis 23' angebracht, welche
bevorzugt die Oszillatorplatine ist.
Die beiden Ausgänge der Oszillatoren 14, 14' sind an eine
Frequenzdifferenz-Bildungsstufe 19 angelegt, welche ein aus
den Frequenzen der Oszillatoren 14, 14' gebildetes Differenz
frequenzsignal abgibt. Das Ausgangssignal der Frequenzhub-
Meßvorrichtung 18 bzw. der Frequenzdifferenz-Bildungsstufe
19 ist gleich Null, wenn die beiden Eingangssignale die
gleiche Frequenz haben, was dann der Fall sein soll, wenn
die Meßsonde 11 von einem zu messenden Gegenstand einen
extrem großen Abstand hat.
Das Augangssignal der Frequenzdifferenz-Bildungsstufe 19 ist
zum einen an einen Differenzfrequenzmesser 20 und zum ande
ren an ein Analysegerät 21 angelegt, welches aus einem Fre
quenzmodulations-Detektor 21' und einem an diesen angeschlos
senen Oszilloskop 21'' besteht.
Die Funktion des erfindungsgemäßen Abstandsmeßgerätes wird
nun anhand der Fig. 1 bis 3 am Beispiel der Unwucht- bzw.
Beschädigungsmessung an einer Schleifscheibe 12 beschrieben:
Gemäß Fig. 2 sei angenommen, daß die Schleifscheibe mit
einer Exzentrizität 25 von fünf µm gelagert ist, also eine
entsprechende Unwucht aufweist. Weiter sei angenommen, daß
die Schleifscheibe an ihrem Außenumfang eine Beschädigung 26
in Form einer Kerbe aufweist.
Wenn sich die Schleifscheibe 12 nunmehr dreht und das offene
Ende 16 der Meßsonde 11 in geringem Abstand gegenüber dem
Außenumfang der Schleifscheibe 12 angeordnet ist, so erfol
gen periodisch Annäherungen des Außenumfangs der Schleif
scheibe 12 an das offene Ende der Meßsonde 11, was in Fig. 1
schematisch durch zwei gestrichelte Linien angedeutet ist.
Auf dem Oszilloskop 21'' erscheint dann ein Diagramm, wie es
in Fig. 3 schematisch wiedergegeben ist. Die Ordinate gibt
die von einem Grundabstand aus gerechneten Wegabweichungen W
wieder, die Abszisse die Zeit t.
Man erkennt, daß das von der Frequenzdifferenz-Bildungsstufe
19 abgegebene und im Frequenzmodulations-Detektor 21' analy
sierte Wegsignal grundsätzlich periodisch um die Abszisse
schwankt, wobei die doppelte Amplitude 27 ein Maß für die
exzentrische Lagerung der Schleifscheibe 12 ist. Die Kerbe
26 am Außenumfang der Schleifscheibe 12 macht sich durch
kleine gegenläufige Spitzen 28 in der Sinuskurve 25 bemerk
bar. Die Periode 30 der Sinuskurve in Fig. 3 ist durch die
Drehzahl bzw. die Zeit bestimmt, die die Schleifscheibe 12
für einen Umlauf benötigt.
Auf dem Oszilloskop 21'' wird also die Fehlerhaftigkeit der
Lagerung und der Ausbildung der Schleifscheibe 12 mit einer
sehr hohen Auflösung analysiert.
Mit der erfindungsgemäßen Anordnung kann aber auch der in
Fig. 1 angedeutete Basisabstand 31 des offenen Endes 16 des
Koaxialresonators 11 vom Außenumfang der Schleifscheibe 12
bestimmt werden, indem der Frequenzmesser 20 die durch die
sen Abstand 31 bedingte Differenzfrequenz zur Anzeige
bringt. Das entsprechende Anzeigegerät 20 kann gleich in
Abständen geeicht werden.
Obwohl das erfindungsgemäße Abstandsmeßgerät am Beispiel der
Unwucht- und Beschädigungsmessung an einer Schleifscheibe
12 beschrieben worden ist, ist es auch für andere Abstands-
bzw. Abstandsänderungs-Messungen verwendbar, wo es auf eine
Meßgenauigkeit im Bereich sogar von Bruchteilen von um an
kommt. In besonders vorteilhafter Weise kommen hier als
Meßobjekte Drehkörper in Betracht, deren Unwucht (Wellen
schlag) bestimmt werden kann. Es lassen sich mittels der
erfindungsgemäßen Meßsonde aber auch Schwingungen beliebiger
Art im Bereich von weniger als ein um analysieren, beispiels
weise die Schwingungen von Gläsern, Gehäuseteilen, Lautspre
chermembranen, Fundamenten usw. Ein besonderer Vorzug des
berührungslosen Abstandsmeßgerätes gemäß der Erfindung ist,
daß es das Schwingungsverhalten der gemessenen Teile nicht
beeinflußt.
Der Referenz-Koaxialresonator 11' kann auch zur Temperatur
kompensation verwendet werden, indem er im gleichen Tempera
turbereich wie der Meß-Koaxialresonator 11 angeordnet ist.
Entsprechendes gilt für die Oszillatoren 14, 14'. Soweit die
Bestandteile dieser Schaltung in gleicher Weise mit der Tem
peratur aber auch mit der Zeit in gleicher Weise driften,
macht sich dies im Ausgangssignal nicht bemerkbar.
Von besonderer Bedeutung ist, daß die Differenzfrequenz am
Ausgang der Frequenzdifferenz-Bildungsstufe 19 proportional
der absoluten Abstandsänderung ist. Im übrigen hängt die
Frequenzdifferenz nur noch von einem Faktor ab, der durch
das zu vermessende Material bestimmt ist. Materialabhängig
kann der Frequenzmesser 20 auf Abstände bzw. Abstandsänderun
gen geeicht werden.
In dem Frequenzmodulationsdetektor 21' wird bei schwingenden
Bewegungen des Gegenstandes 12 die Frequenzmodulation ausge
wertet. Sie ist ebenfalls proportional der Schwingbewegung.
Für kleine, kurze Meßsonden kann man erfindungsgemäß mit
besonderem Vorteil koaxiale Keramikresonatoren verwenden, da
diese durch die hohe Dielektrizitätskonstante sehr kurz
(z. B. 12 mm bei 1 GHZ) ausgebildet werden und bevorzugt
Temperaturkoeffizienten von 0 ppm pro °K aufweisen können.
Statt durch den zweiten Oszillator 14' kann eine Frequenzher
absetzung auch durch einen dem Oszillator 14 folgenden viel
stufigen Frequenzteiler, der die Frequenz z. B. um einen
Faktor 100 herabsetzt, erfolgen. Eine Meßfrequenz von 1 GHZ
kann auf diese Weise auf 10 MHZ herabgesetzt werden, was
eine einfachere Auswertung erlaubt.
Der erfindungsgemäße Gigahertzbereich liegt bevorzugt in der
Größenordnung von 1 GHZ. Er kann sich bevorzugt von etwa 400
MZH bis 1,6 GHZ insbesondere 800 MHZ bis 1,2 GHZ erstrecken
und liegt insbesondere um 1 GHZ.
Der Innenleiter 22, 22' kann einen Durchmesser von etwa 1 mm
aufweisen. Der normale Meßabstand A (Fig. 2) zwischen offe
nem Ende 16 und Gegenstand 12 liegt in der Größenordnung von
1 mm. Hier ergibt eine Abstandsschwankung von ± 100 µm bei
einer Grundfrequenz von 1 GHZ eine Frequenzschwankung von 6
MHZ.
Claims (9)
1. Berührungsloses Abstandsmeßgerät mit einer Meßsonde (11),
deren Abstand von einem Gegenstand (12) durch Auswertung
der Kapazität zwischen Meßsonde (11) und Gegenstand (12)
in einer an die Meßsonde (11) angeschlossenen Auswerte
elektronik (13) bestimmt wird, dadurch
gekennzeichnet, daß die Auswerteelektronik
(13) einen im Gigahertzbereich arbeitenden Oszillator
(14) aufweist, der einerseits an eine Frequenzauswerte
schaltung (15) und anderereits an einen Teil des Schwing
kreises und die Meßsonde (11) bildenden Meß-Koaxialresona
tor angeschlossen ist, dessen eines Ende (16) offen ist
und den Bezugsort für die Abstandsmessung darstellt, wäh
rend das andere Ende (17) mit dem Oszillator (14) verbun
den ist, wobei die Frequenzauswerteschaltung (15) aus der
vom Abstand des offenen Endes (16) vom Gegenstand (12)
abhängigen Frequenzänderung des Oszillators (14) ein abso
lutes oder relatives Abstandssignal bildet.
2. Abstandsmeßgerät nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die Meßsonde (11) ein
λ/2- oder λ/4-Koaxialresonator ist.
3. Abstandsmeßgerät nach Anspruch 1 oder 2 dadurch
gekennzeichnet, daß die Frequenzauswerte
schaltung (15) eine Frequenzhub-Meßvorrichtung (18) ent
hält, welche die Frequenzabweichung des Oszillators (14)
von einem Normalwert, der vorzugsweise bei sehr großem
Abstand der Meßsonde (11) von einem Gegenstand (12) vor
liegt, bestimmt.
4. Abstandsmeßgerät nach Anspruch 3, dadurch
gekennzeichnet, daß die Frequenzhub-Meß
vorrichtung einen zweiten, gleichartigen Oszillator (14')
mit daran angeschlossenem zweiten gleichartigen Referenz-
Koaxialresonator (11'), der in größenordnungsmäßigen grö
ßerem Abstand vom Gegenstand (12) als der Meß-Koaxialreso
nator (11) angeordnet ist und eine Frequenz-Differenz-
Bildungsstufe (19) umfaßt, an deren beiden Eingängen die
Frequenzsignale der beiden Oszillatoren (14, 14') anlie
gen und deren Frequenzdifferenz-Ausgangssignal zur Ab
standsbestimmung ausgewertet wird.
5. Abstandsmeßgerät nach Anspruch 3 oder 4, dadurch
gekennzeichnet, daß die Frequenzhub-Meßvor
richtung (18) an einen vorzugsweise in absoluten Abstän
den geeichten Differenzfrequenzmesser (20) angelegt ist.
6. Abstandsmeßgerät nach einem der Ansprüche 3 bis 5, da
durch gekennzeichnet, daß die Frequenz
hub-Meßvorrichtung (18) ein periodische Differenzfre
quenz-Änderungen feststellendes Analysegerät (21) auf
weist.
7. Abstandsmeßgerät nach Anspruch 6, dadurch
gekennzeichnet, daß das Analysegerät (21)
aus einem Frequenzmodulations-Detektor (21') und einem
daran angeschlossenen Oszilloskop (21'') besteht.
8. Abstandsmeßgerät nach einem der Ansprüche 4 bis 7, da
durch gekennzeichnet, daß der Referenz-
Koaxialresonator (11') innerhalb des gleichen Temperatur
bereiches wie der Meß-Koaxialresonator (11) angeordnet
ist.
9. Abstandsmeßgerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß es als Schleif
scheiben-Unwucht- und/oder -Beschädigungs-Feststellgerät
verwendet wird.
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Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4227052C1 (de) * | 1992-08-13 | 1994-03-10 | Schmidt Werner Dr | Sensorsystem zur berührungsfreien Abtastung von Etiketten |
DE19520993A1 (de) * | 1995-06-08 | 1996-12-12 | Sick Optik Elektronik Erwin | Verfahren und Vorrichtung zur Abstandsmessung |
AU7125396A (en) * | 1995-09-25 | 1997-04-17 | Jorn Sorensen | A method and a device for sensing the distance between a first object and a second object |
GB9620053D0 (en) * | 1996-09-26 | 1996-11-13 | Rolls Royce Plc | Method and apparatus for measurement |
US5949293A (en) * | 1997-02-18 | 1999-09-07 | Japan System Development Co., Ltd. | Integrated circuit for measuring the distance |
DE19807593A1 (de) * | 1997-07-31 | 1999-02-04 | Mikrowellen Technologie Und Se | Abstandsmeßvorrichtung und Verfahren zur Bestimmung eines Abstands |
JP2001512229A (ja) | 1997-07-31 | 2001-08-21 | ミクロヴェーレン−テクノロジー ウント センソレン ゲーエムベーハー | 距離を測定するための距離測定装置および方法 |
DE19734713A1 (de) | 1997-08-11 | 1999-02-18 | Mikrowellen Technologie Und Se | Radar-Entfernungsmeßeinrichtung |
JP3456924B2 (ja) * | 1999-07-01 | 2003-10-14 | アオイ電子株式会社 | マイクロホン装置 |
DE10103177A1 (de) | 2001-01-22 | 2002-08-01 | Balluff Gmbh | Gratprüfungs-Sensorvorrichtung |
US6879404B2 (en) | 2001-01-22 | 2005-04-12 | Balluff Gmbh | Device and method for checking bores in or edges on an object of measurement |
DE102004006680B3 (de) | 2004-02-09 | 2006-01-12 | Balluff Gmbh | Sensorvorrichtung zur Prüfung von Oberflächen |
DE102012104075A1 (de) * | 2012-05-09 | 2013-11-14 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Vorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung mindestens einer Prozessgröße eines Mediums |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1993219U (de) * | 1960-07-28 | 1968-09-05 | Ibm Deutschland | Anordnung zur kapazitiven messung kleiner laengenaenderungen. |
US3628136A (en) * | 1969-09-05 | 1971-12-14 | Garrett Corp | Means for measuring clearances in a gas turbine including a coaxial cable capacitor |
DE3138273A1 (de) * | 1980-09-26 | 1982-10-21 | Hiroomi Yamakitamachi Kanagawa Ogasawara | Beruehrungsfreies mikroverschiebungs-messgeraet |
EP0246576A1 (de) * | 1986-05-23 | 1987-11-25 | Mtu Motoren- Und Turbinen-Union MàNchen Gmbh | Kapazitives Messsystem |
DE2920491C2 (de) * | 1978-06-20 | 1988-07-28 | Veb Zentrum Fuer Forschung Und Technologie Mikroelektronik Dresden, Ddr 8080 Dresden, Dd | |
DD265702A1 (de) * | 1987-10-15 | 1989-03-08 | Erfurt Mikroelektronik | Kapazitive erfassungsanordnung fuer vereinzelte objekte, insbesondere knollenartige pflanzliche produkte |
-
1990
- 1990-12-14 DE DE19904040084 patent/DE4040084C2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1993219U (de) * | 1960-07-28 | 1968-09-05 | Ibm Deutschland | Anordnung zur kapazitiven messung kleiner laengenaenderungen. |
US3628136A (en) * | 1969-09-05 | 1971-12-14 | Garrett Corp | Means for measuring clearances in a gas turbine including a coaxial cable capacitor |
DE2920491C2 (de) * | 1978-06-20 | 1988-07-28 | Veb Zentrum Fuer Forschung Und Technologie Mikroelektronik Dresden, Ddr 8080 Dresden, Dd | |
DE3138273A1 (de) * | 1980-09-26 | 1982-10-21 | Hiroomi Yamakitamachi Kanagawa Ogasawara | Beruehrungsfreies mikroverschiebungs-messgeraet |
EP0246576A1 (de) * | 1986-05-23 | 1987-11-25 | Mtu Motoren- Und Turbinen-Union MàNchen Gmbh | Kapazitives Messsystem |
DD265702A1 (de) * | 1987-10-15 | 1989-03-08 | Erfurt Mikroelektronik | Kapazitive erfassungsanordnung fuer vereinzelte objekte, insbesondere knollenartige pflanzliche produkte |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE4040084A1 (de) | 1992-06-17 |
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