CN220555628U - 取放治具foup的装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种取放治具FOUP的装置，包括车架、用于放置治具FOUP的洁净罩、设置于车架上且用于控制洁净罩升降的第一升降机构、用于叉取洁净罩中的治具FOUP的伸缩叉臂和设置于车架上且用于控制伸缩叉臂升降的第二升降机构。本实用新型的取放治具FOUP的装置，可以完成治具FOUP的取放，保证治具FOUP取放的稳定性，增加了保护治具FOUP的洁净罩，避免外部环境的影响；又可降低人员带来的污染、划伤等问题。
Description
技术领域
本实用新型属于半导体技术领域，具体地说，本实用新型涉及一种取放治具FOUP的装置。
背景技术
目前，硅基Micro OLED微显示行业中，治具FOUP(前端开启式晶圆传送盒)需要在各设备之间转运、搬送，设备Port(上下料口)类型不统一，普通的台车无法实现对应不同设备上FOUP的取放。
而且，现有治具FOUP的取放均通过人员手工取放、搬送，无标准化的搬送作业方式，人员在搬送过程中直接与治具FOUP接触，人员携带的灰尘会对治具FOUP的洁净度造成影响，进而影响内部晶圆的洁净度。人员在取放、搬送治具FOUP的同时，由于人员的作业方式很难统一，在搬送过程中治具FOUP会发生倾斜，震动量过大的问题，导致晶圆片发生划伤不良和碎片风险。
故，目前为满足微显行业治具FOUP取放、搬送的需求，对治具FOUP的取放、搬送问题已迫在眉睫。
实用新型内容
本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提供一种取放治具FOUP的装置，目的是保护治具FOUP取放过程中不受外界环境影响。
为了实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：取放治具FOUP的装置，包括车架、用于放置治具FOUP的洁净罩、设置于车架上且用于控制洁净罩升降的第一升降机构、用于叉取洁净罩中的治具FOUP的伸缩叉臂和设置于车架上且用于控制伸缩叉臂升降的第二升降机构。
所述第一升降机构包括可旋转的设置于所述车架上的第一摇杆、用于放置所述洁净罩的升降平台、与升降平台连接的升降执行机构以及与第一摇杆和升降执行机构连接的第一动力传递机构。
所述第一动力传递机构包括带传动机构和第一丝杆传动机构，带传动机构的上端与所述第一摇杆连接，带传动机构的下端与第一丝杆传动机构的丝杆连接，第一丝杆传动机构的螺母与所述升降执行机构连接。
所述升降执行机构为剪叉臂式升降机构。
所述第二升降机构包括可旋转的设置于所述车架上的第二摇杆、与所述伸缩叉臂连接的第二丝杆传动机构以及与第二摇杆和第二丝杆传动机构连接的第二动力传递机构。
所述伸缩叉臂包括与所述第二升降机构连接的支撑滑台、可移动的设置于支撑滑台上的推拉杆和与推拉杆连接且相配合用于叉取所述洁净罩中的治具FOUP的两个叉臂本体，支撑滑台位于所述洁净罩的上方。
所述车架上设置定位销。
本实用新型的取放治具FOUP的装置，可以完成治具FOUP的取放，保证治具FOUP取放的稳定性，增加了保护治具FOUP的洁净罩，避免外部环境的影响；又可降低人员带来的污染、划伤等问题。
附图说明
本说明书包括以下附图，所示内容分别是：
图1是本实用新型取放治具FOUP的装置的结构示意图；
图2是本实用新型取放治具FOUP的装置第一使用状态示意图；
图3是本实用新型取放治具FOUP的装置第二使用状态示意图；
图4是洁净罩升起状态示意图；
图5是伸缩叉臂处于伸长状态示意图；
图6是伸缩叉臂处于收缩状态示意图；
图7是摇杆的布置示意图；
图中标记为：1、车架；2、洁净罩；3、定位销；4、推拉杆；5、支撑滑台；6、叉臂本体；7、治具FOUP；8、第一摇杆；9、第二摇杆；10、带传动机构；11、丝杆；12、螺母；13、丝杆；14、万向轮；15、升降执行机构；16、活动挡杆。
具体实施方式
下面对照附图，通过对实施例的描述，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细的说明，目的是帮助本领域的技术人员对本实用新型的构思、技术方案有更完整、准确和深入的理解，并有助于其实施。
需要说明的是，在下述的实施方式中，所述的“第一”、“第二”和“第三”并不代表结构和/或功能上的绝对区分关系，也不代表先后的执行顺序，而仅仅是为了描述的方便。
如图1至图6所示，本实用新型提供了一种取放治具FOUP的装置，包括车架1、用于放置治具FOUP7的洁净罩2、设置于车架1上且用于控制洁净罩2升降的第一升降机构、用于叉取洁净罩2中的治具FOUP7的伸缩叉臂和设置于车架1上且用于控制伸缩叉臂升降的第二升降机构。
具体地说，如图1至图4所示，第一升降机构包括可旋转的设置于车架1上的第一摇杆8、用于放置洁净罩2的升降平台、与升降平台连接的升降执行机构15以及与第一摇杆8和升降执行机构15连接的第一动力传递机构。洁净罩2为上端开口且内部中空的结构，升降平台为水平设置，升降执行机构15用于控制升降平台沿水平方向进行移动，升降平台带动洁净罩2升降。
如图4所示，作为优选的，第一动力传递机构包括带传动机构10和第一丝杆传动机构，带传动机构10的上端与第一摇杆8连接，带传动机构10的下端与第一丝杆传动机构的丝杆11连接，第一丝杆传动机构的螺母12与升降执行机构15连接，螺母12与丝杆11构成螺旋传动，丝杆11为可旋转的设置于车架1的底部，丝杆11为水平设置。
如图4所示，作为优选的，升降执行机构15为剪叉臂式升降机构，其是由两个转动连接的剪叉臂组成，升降执行机构15的两个剪叉臂的下端分别与螺母12和车架1转动连接，两个剪叉臂的下端与升降平台连接。第一摇杆8转动时，带动带传动机构10运转，带传动机构10带动第一丝杆传动机构丝杆11转动，第一丝杆传动机构的螺母12带动升降执行机构15进行运转，两个剪叉臂进行转动，从而可以实现升降平台及其上的洁净罩2的升降。
如图1至图3和图7所示，第二升降机构包括可旋转的设置于车架1上的第二摇杆9、与伸缩叉臂连接的第二丝杆传动机构以及与第二摇杆9和第二丝杆传动机构连接的第二动力传递机构。第二摇杆9位于第一摇杆8的上方，第一摇杆8的旋转中心线与第二摇杆9的旋转中心线相平行，第二丝杆传动机构的丝杆13为竖直设置在车架1上，第二动力传递机构的输入端与第二摇杆9连接，第二动力传递机构的输出端与第二丝杆传动机构的丝杆13连接，丝杆13与伸缩叉臂连接且两者构成螺旋传动。第二动力传递机构设置于车架1内部，第二动力传递机构用于将第二摇杆9的动力传递至丝杆13，带动第二丝杆传动机构的丝杆13进行转动，丝杆13带动伸缩叉臂在车架1上沿竖直方向进行移动，实现伸缩叉臂的升降控制。第二动力传递机构具有多种形式，可以为齿轮传动机构，如蜗轮蜗杆机构。
如图1至图3、图5和图6所示，伸缩叉臂包括与第二升降机构连接的支撑滑台5、可移动的设置于支撑滑台5上的推拉杆4和与推拉杆4连接且相配合用于叉取洁净罩2中的治具FOUP7的两个叉臂本体6，支撑滑台5位于洁净罩2的上方。支撑滑台5为可移动的设置于车架1上，支撑滑台5与第二丝杆传动机构的丝杆13为螺纹连接，两者构成螺旋传动。两个叉臂本体6和推拉杆4连接，两个叉臂本体6和推拉杆4为可移动的设置于支撑滑台5上，两个叉臂本体6和推拉杆4的移动方向与第一丝杆传动机构丝杆11的长度方向相平行，推拉杆4在受到操作人员施加的作用力后可以进行移动，并带动两个叉臂本体6同步进行移动，使两个叉臂本体6伸出支撑滑台5或收纳至支撑滑台5内部，两个叉臂本体6之间具有一定距离，两个叉臂本体6能够通过叉取治具FOUP7的蘑菇头，实现治具FOUP7的拾取。
如图1至图3所示，车架1上设置定位销3，定位销3用于在取放治具FOUP7时对车架1进行定位，定位销3用于***到生产设备上设置的定位孔中。车架1的底部设置万向轮14，万向轮14设置多个，方便推动取放治具FOUP7的装置整体进行移动。
取治具FOUP7的过程如下：
①先将取放治具FOUP7的装置推到制定的设备Port口位置进行定位，定位销3***到生产设备上设置的定位孔中；
②通过转动第一摇杆8和第二摇杆9，将洁净罩2和伸缩叉臂的高度调整到合适位置；
③推动推拉杆4将两个叉臂本体6从支撑滑台5中伸出，两个叉臂本体6叉取到治具FOUP7的蘑菇头下方；
④放下叉臂本体6前端设置的活动挡杆16；
⑤通过转动第二摇杆9，将伸缩叉臂及叉取的治具FOUP7向上提起；
⑥拉回推拉杆4把两个叉臂本体6收回，两个叉臂本体6带动治具FOUP7同步移动；
⑦再次通过转动第二摇杆9，控制伸缩叉臂及叉取的治具FOUP7下降；
⑧通过转动第一摇杆8，控制洁净罩2升起，最终洁净罩2罩住治具FOUP7，完成取治具FOUP7的动作。
放治具FOUP7的过程如下：
①先将取放治具FOUP7的装置推到制定的设备Port口位置进行定位，定位销3***到生产设备上设置的定位孔中；
②通过转动第一摇杆8，控制洁净罩2进行下降；
③通过转动第二摇杆9，将伸缩叉臂及叉取的治具FOUP7向上提起；
④继续调整伸缩叉臂的高度到合适位置；
⑤推动推拉杆4将两个叉臂本体6从支撑滑台5中伸出，伸出到治具FOUP7的定位的位置；
⑥升起叉臂前端的活动挡杆16；
⑦再次通过转动第二摇杆9，控制伸缩叉臂及叉取的治具FOUP7下降，将治具FOUP7放置到设备Port上；
⑧拉回推拉杆4把两个叉臂本体6收回，完成放FOUP的动作。
以上结合附图对本实用新型进行了示例性描述。显然，本实用新型具体实现并不受上述方式的限制。只要是采用了本实用新型的方法构思和技术方案进行的各种非实质性的改进；或未经改进，将本实用新型的上述构思和技术方案直接应用于其它场合的，均在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.取放治具FOUP的装置，其特征在于：包括车架、用于放置治具FOUP的洁净罩、设置于车架上且用于控制洁净罩升降的第一升降机构、用于叉取洁净罩中的治具FOUP的伸缩叉臂和设置于车架上且用于控制伸缩叉臂升降的第二升降机构。
2.根据权利要求1所述的取放治具FOUP的装置，其特征在于：所述第一升降机构包括可旋转的设置于所述车架上的第一摇杆、用于放置所述洁净罩的升降平台、与升降平台连接的升降执行机构以及与第一摇杆和升降执行机构连接的第一动力传递机构。
3.根据权利要求2所述的取放治具FOUP的装置，其特征在于：所述第一动力传递机构包括带传动机构和第一丝杆传动机构，带传动机构的上端与所述第一摇杆连接，带传动机构的下端与第一丝杆传动机构的丝杆连接，第一丝杆传动机构的螺母与所述升降执行机构连接。
4.根据权利要求3所述的取放治具FOUP的装置，其特征在于：所述升降执行机构为剪叉臂式升降机构。
5.根据权利要求1至4任一所述的取放治具FOUP的装置，其特征在于：所述第二升降机构包括可旋转的设置于所述车架上的第二摇杆、与所述伸缩叉臂连接的第二丝杆传动机构以及与第二摇杆和第二丝杆传动机构连接的第二动力传递机构。
6.根据权利要求1至4任一所述的取放治具FOUP的装置，其特征在于：所述伸缩叉臂包括与所述第二升降机构连接的支撑滑台、可移动的设置于支撑滑台上的推拉杆和与推拉杆连接且相配合用于叉取所述洁净罩中的治具FOUP的两个叉臂本体，支撑滑台位于所述洁净罩的上方。
7.根据权利要求1至4任一所述的取放治具FOUP的装置，其特征在于：所述车架上设置定位销。
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