CN220438196U - 晶圆检测装置 - Google Patents
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 92
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 26
- 239000004579 marble Substances 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 27
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 5
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 33
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 6
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 description 5
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
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Abstract
本实用新型公开了一种晶圆检测装置包括：底座、检测组件、横向移动组件及纵向移动组件，底座上开设有检测通孔；检测组件包括第一CCD检测模组及第二CCD检测模组，检测通孔位于第一CCD检测模组与第二CCD检测模组之间；横向移动组件包括横向移动板及横向驱动模组，横向移动板滑动设置于底座上；纵向移动组件包括检测放置板及纵向驱动模组，纵向驱动模组与检测放置板连接。本实用新型的晶圆检测装置通过设置底座、检测组件、横向移动组件及纵向移动组件，从而能够对半导体晶圆进行双面检测操作，使得整体的生产效率得到提高，同时，通过横向移动组件及纵向移动组件对半导体晶圆进行检测移动，从而使得整体的检测调节操作更加快速便捷。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种检测机构，特别是涉及一种晶圆检测装置。
背景技术
在半导体晶圆的生产加工中，通常需要对半导体晶圆进行检测，从而判断半导体晶圆是否具有尺寸不良或者电路不良等缺陷。而现有的半导体晶圆检测设备通常采用单摄像头移动检测的方式进行视觉检测，如此，不但生产效率不高，而且单摄像头移动的范围有限，使得需要对检测的半导体晶圆进行位置调节，或者在更换不同规格的半导体晶圆进行检测时，需要对整体检测设备进行调试，由此使得检测操作变得较为繁琐。
实用新型内容
本实用新型的目的是克服现有技术中的不足之处，提供一种能够对半导体晶圆进行双面检测操作，且整体检测效率较高的晶圆检测装置。
本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：
一种晶圆检测装置包括：底座、检测组件、横向移动组件及纵向移动组件，所述底座上开设有检测通孔；所述检测组件包括第一CCD检测模组及第二CCD检测模组，所述第一CCD检测模组设置于所述底座的正上方，所述第二CCD检测模组设置于所述底座的正下方，且所述检测通孔位于所述第一CCD检测模组与所述第二CCD检测模组之间；所述横向移动组件包括横向移动板及横向驱动模组，所述横向移动板滑动设置于所述底座上，所述横向驱动模组与所述横向移动板连接，所述横向移动板上开设有第一避位孔，所述第一避位孔与所述检测通孔连通；所述纵向移动组件包括检测放置板及纵向驱动模组，所述检测放置板滑动设置于所述横向移动板上，所述纵向驱动模组与所述检测放置板连接，所述检测放置板上开设有第二避位孔，所述第二避位孔与所述第一避位孔连通。
在其中一个实施例中，所述底座上设置有导向轨道，所述横向移动板与所述导向轨道滑动连接。
在其中一个实施例中，所述第一CCD检测模组包括支撑架、升降调节器及CCD检测器，所述支撑架设置于所述底座上，所述升降调节器设置于所述支撑架上，所述CCD检测器与所述升降调节器连接，所述升降调节器用于带动所述CCD检测器向所述检测通孔的方向进行升降运动。
在其中一个实施例中，所述升降调节器为升降电机。
在其中一个实施例中，所述横向移动组件还包括横向防撞固定块，所述横向防撞固定块设置于所述底座上，且所述横向防撞固定块位于所述横向移动板的一侧。
在其中一个实施例中，所述横向防撞固定块上设置有缓冲顶柱。
在其中一个实施例中，所述横向驱动模组和纵向驱动模组均为无铁芯直线电机。
在其中一个实施例中，所述检测放置板上开设有多个放置定位孔。
在其中一个实施例中，所述放置定位孔为真空吸附孔。
在其中一个实施例中，所述底座为大理石底座。
与现有技术相比，本实用新型至少具有以下优点：
本实用新型的晶圆检测装置通过设置底座、检测组件、横向移动组件及纵向移动组件，从而能够对半导体晶圆进行双面检测操作，使得整体的生产效率得到提高，同时，通过横向移动组件及纵向移动组件对半导体晶圆进行检测移动，从而使得整体的检测调节操作更加快速便捷。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍。
图1为本实用新型一实施例中的晶圆检测装置的结构示意图。
具体实施方式
为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。请参阅图1，一种晶圆检测装置10包括：底座100、检测组件200、横向移动组件300及纵向移动组件400，底座100上开设有检测通孔110；检测组件200包括第一CCD检测模组210及第二CCD检测模组，第一CCD检测模组210设置于底座100的正上方，第二CCD检测模组设置于底座100的正下方，且检测通孔110位于第一CCD检测模组210与第二CCD检测模组之间；横向移动组件300包括横向移动板310及横向驱动模组320，横向移动板310滑动设置于底座100上，横向驱动模组320与横向移动板310连接，横向移动板310上开设有第一避位孔311，第一避位孔311与检测通孔110连通；纵向移动组件400包括检测放置板410及纵向驱动模组420，检测放置板410滑动设置于横向移动板310上，纵向驱动模组420与检测放置板410连接，检测放置板410上开设有第二避位孔411，第二避位孔411与第一避位孔311连通。
需要说明的是，底座100上设置有检测通孔110，从而能够对半导体晶圆进行双面检测操作。检测组件200由第一CCD检测模组210和第二CCD检测模组组成，其中，第一CCD检测模组210设置在底座100的正上方，从而能够对半导体晶圆的一面进行成像检测，第二CCD检测模组设置在底座100的正下方，从而能够对半导体晶圆的另一面进行成像检测。具体的，半导体晶圆放置在纵向移动组件400的检测放置板410上，通过纵向驱动模组420带动检测放置板410在横向移动板310上进行纵向移动，从而对检测放置板410上的半导体晶圆进行纵向检测移动操作，同时，横向移动板310滑动设置在底座100上，从而能够通过横向驱动模组320带动横向移动板310在底座100上进行横向移动，由此能够对检测放置板410上的半导体晶圆进行横向移动操作，如此，通过上下对称设置的第一CCD检测模组210与第二CCD检测模组，能够对半导体晶圆进行快速双面检测操作，从而使得检测效率得到提高，同时，横向移动板310和检测放置板410的移动操作，能够在检测过程中对半导体晶圆进行快速移动，从而使得检测操作更加便捷。本实用新型的晶圆检测装置10通过设置底座100、检测组件200、横向移动组件300及纵向移动组件400，从而能够对半导体晶圆进行双面检测操作，使得整体的生产效率得到提高，同时，通过横向移动组件300及纵向移动组件400对半导体晶圆进行检测移动，从而使得整体的检测调节操作更加快速便捷。
一实施方式中，请参阅图1，底座100上设置有导向轨道120，横向移动板310与导向轨道120滑动连接，如此，通过设置导向轨道120，从而能够对横向移动板310的移动方向进行限定，由此使得横向移动操作更快稳定；又如，横向移动组件300还包括横向防撞固定块330，横向防撞固定块330设置于底座100上，且横向防撞固定块330位于横向移动板310的一侧，如此，能够通过横向防撞固定块330对横向移动板310的移动位置进行限定，使得横向移动板310能够在设定范围内进行快速移动操作；在本实施例中，横向防撞固定块330上设置有缓冲顶柱331，例如，缓冲顶柱331为橡胶缓冲柱，从而能够在横向移动板310与横向防撞固定块330接触时起到缓冲作用，避免横向移动板310发生损坏。
请再次参阅图1，一实施方式中，第一CCD检测模组210包括支撑架211、升降调节器212及CCD检测器，支撑架211设置于底座100上，升降调节器212设置于支撑架211上，CCD检测器与升降调节器212连接，升降调节器212用于带动CCD检测器向检测通孔110的方向进行升降运动。
需要说明的是，升降调节器212为升降电机，从而能够带动CCD检测器进行升降运动，由此能够适应不同规格的半导体晶圆的检测调节；CCD检测器为CCD成像摄像头，从而能够对半导体晶圆进行成像检测操作。在本实施例中，第二CCD检测模组为CCD成像摄像头，通过设置在底座100的正下方，且与CCD检测器相对齐设置，从而能够对半导体晶圆的另一面进行成像检测操作，使得整体的检测效率提高。
一实施方式中，横向驱动模组和纵向驱动模组均为无铁芯直线电机，如此，能够提高横向移动板310和检测放置板410的移动速度和稳定性，使得整体的检测操作的效率和精度更高，另外，横向驱动模组和纵向驱动模组均为无铁芯直线电机，从而能够实现横向和纵向的高频运动，由此使得整体的检测效率更高；又如，检测放置板上开设有多个放置定位孔，如此，能够对半导体晶圆进行安装固定；例如，放置定位孔为真空吸附，如此，能够通过负压吸附的方式将半导体晶圆固定在检测放置板410上，从而能够实现对半导体晶圆的放置固定；又如，底座为大理石底座，如此，能够避免检测环境中的温度或湿度对底座造成影响，亦即，底座不会由于温度或湿度的变化发生微小的形变，进而使得整体的检测精度得到保证。
以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以作出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.一种晶圆检测装置，其特征在于，包括：
底座，所述底座上开设有检测通孔；
检测组件，所述检测组件包括第一CCD检测模组及第二CCD检测模组，所述第一CCD检测模组设置于所述底座的正上方，所述第二CCD检测模组设置于所述底座的正下方，且所述检测通孔位于所述第一CCD检测模组与所述第二CCD检测模组之间；
横向移动组件，所述横向移动组件包括横向移动板及横向驱动模组，所述横向移动板滑动设置于所述底座上，所述横向驱动模组与所述横向移动板连接，所述横向移动板上开设有第一避位孔，所述第一避位孔与所述检测通孔连通；及
纵向移动组件，所述纵向移动组件包括检测放置板及纵向驱动模组，所述检测放置板滑动设置于所述横向移动板上，所述纵向驱动模组与所述检测放置板连接，所述检测放置板上开设有第二避位孔，所述第二避位孔与所述第一避位孔连通。
2.根据权利要求1所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述底座上设置有导向轨道，所述横向移动板与所述导向轨道滑动连接。
3.根据权利要求1所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述第一CCD检测模组包括支撑架、升降调节器及CCD检测器，所述支撑架设置于所述底座上，所述升降调节器设置于所述支撑架上，所述CCD检测器与所述升降调节器连接，所述升降调节器用于带动所述CCD检测器向所述检测通孔的方向进行升降运动。
4.根据权利要求3所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述升降调节器为升降电机。
5.根据权利要求1所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述横向移动组件还包括横向防撞固定块，所述横向防撞固定块设置于所述底座上，且所述横向防撞固定块位于所述横向移动板的一侧。
6.根据权利要求5所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述横向防撞固定块上设置有缓冲顶柱。
7.根据权利要求1所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述横向驱动模组和纵向驱动模组均为无铁芯直线电机。
8.根据权利要求1所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述检测放置板上开设有多个放置定位孔。
9.根据权利要求8所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述放置定位孔为真空吸附孔。
10.根据权利要求1所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述底座为大理石底座。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202322007970.1U CN220438196U (zh) | 2023-07-27 | 2023-07-27 | 晶圆检测装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202322007970.1U CN220438196U (zh) | 2023-07-27 | 2023-07-27 | 晶圆检测装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN220438196U true CN220438196U (zh) | 2024-02-02 |
Family
ID=89690789
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202322007970.1U Active CN220438196U (zh) | 2023-07-27 | 2023-07-27 | 晶圆检测装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN220438196U (zh) |
-
2023
- 2023-07-27 CN CN202322007970.1U patent/CN220438196U/zh active Active
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