CN219566716U - 一种具有双工位结构的搬运夹紧机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种具有双工位结构的搬运夹紧机构，包括双直线电机模组、两组大板组件，双直线电机模组分别安装于两组大板组件上，该双直线电机模组相对设置且间隔有一段距离；由双直线电机模组输送方向，搬运夹紧机构还包括夹紧机构、压紧机构和定位机构，夹紧机构设于两组大板组件上，该夹紧机构具有抖料部和定位部，抖料部对定位前的料盘抖料，定位部对抖料后的料盘定位；压紧机构设于两组大板组件上且设有至少一组，压紧机构对进入的料盘自动压紧；定位机构设于两组大板组件上，对进入的料盘再定位。本实用新型方便各个工序检测位置的准确性。本实用新型搬运夹紧机构设计有微调机构，为CCD在判定位置或检测外观时能够更准确。

Description

一种具有双工位结构的搬运夹紧机构

技术领域

本实用新型涉及半导体行业的外观检测技术领域，具体的说是涉及一种具有双工位结构的搬运夹紧机构。

背景技术

在半导体行业中对芯片产品的外观、综合性能等要求较高。

传统的搬运夹紧机构设计，通常采用多个丝杆模组对多平台的方式进行检测，亦或者在工序上缺少定位与夹紧机构，该两种方式主要的弊端在于机械结构过于臃肿，且成本较高，在一些客户小机台上非常不适用，占用较大的空间，容易导致浪费。故此需提出新的机构方案来解决上述技术问题。

实用新型内容

针对现有技术中的不足，本实用新型要解决的技术问题在于提供了一种具有双工位结构的搬运夹紧机构，设计该搬运夹紧机构的目的是采用一站式双工位的新结构，在原有的机构上去掉模组和平台，并且多工位参考基准都一致，以达到一条轨道多工位工作。

为解决上述技术问题，本实用新型通过以下方案来实现：本实用新型的一种具有双工位结构的搬运夹紧机构，包括双直线电机模组、两组大板组件，所述双直线电机模组分别安装于两组大板组件上，该双直线电机模组相对设置且间隔有一段距离；

由所述双直线电机模组输送方向，所述搬运夹紧机构还包括：

夹紧机构，设于所述两组大板组件上，该夹紧机构具有抖料部和定位部，所述抖料部对定位前的料盘抖料，所述定位部对抖料后的料盘定位；

压紧机构，设于所述两组大板组件上且设有至少一组，所述压紧机构对进入的料盘自动压紧；

定位机构，设于所述两组大板组件上，对进入的料盘再定位。

进一步的，所述双直线电机模组的动子和滑台板滑接在导轨上，导轨、定子安装于所述大板组件上。

进一步的，所述定位部设有两组，两组定位部相对的设置于所述两组大板组件上，任意一组定位部中，包括：

第一气缸，输出轴朝上的安装于所述大板组件上；

托板，用于接收外部的上料机分送下来的料盘，该托板具有过孔，其水平的安装于所述大板组件的内侧；

定位轴，安装于所述第一气缸的输出轴上，其穿过所述过孔并向上延伸一段距离，所述定位轴为来料的料盘定位基准；

回转臂，可转动的安装于所述大板组件上；

第一回转轴，端部与所述回转臂的可转动端连接固定且在所述回转臂和所述第一回转轴的转动支点上安装有扭簧；

拉簧，该拉簧一端固定于所述大板组件上，其另一端固定于所述第一回转轴非转动端；

第四气缸，固定于所述大板组件上；

加硬轴，和所述第四气缸的输出轴连接，所述加硬轴还与所述第一回转轴的外端连接。

进一步的，所述定位部还包括多组第二气缸，各第二气缸分别安装于两组大板组件的顶面且对称相对设置，各第二气缸的输出轴连接有推板。

进一步的，所述抖料部设有多组，多组抖料部分别安装于两组大板组件的顶面且对称相对设置，所述抖料部包括第三气缸和与所述第三气缸驱动连接的抖料头。

进一步的，所述压紧机构包括两组压紧组，两组压紧组分别安装于两组大板组件的顶面且相对设置，所述压紧组包括压块、压紧安装板、第二回转轴和弹簧片，所述压紧安装板固定于所述大板组件的顶面，其压紧面设有至少一个凹槽，在该凹槽中安装有第二回转轴，所述第二回转轴上安装有能够上下活动的压块，在所述压块和凹槽底壁之间设置有所述弹簧片，该弹簧片一侧延伸至所述压块上端并形成向下的压力。

更进一步的，所述压块的底面为弧面，该弧面的两边低位为料盘的运动方向上。

进一步的，所述定位机构包括料盘托板机构、凸轮轴和导槽定位组；

所述料盘托板机构设有两组，两组料盘托板机构分别安装于所述两组大板组件上并对进入的料盘托起；

所述凸轮轴设有两组，两组凸轮轴分别安装于所述两组大板组件上，其均为偏心结构，该凸轮轴通过其上的回转凸轮与料盘侧面不同位置的接触，以使所述料盘位置微调。

更进一步的，所述导槽定位组包括导槽块、第一定位调节块、第二定位调节块以及第五气缸；

所述导槽块设有两个，两个导槽块，其朝向料盘的进入方向设有直角槽，其中的一个导槽块固定于一组大板组件的顶面内边缘；

所述第五气缸设有一组，其固定于其中一块大板组件的顶面，该第五气缸倾斜设置且其驱动端连接有连接板，该连接板的Y轴方向开槽且在该开槽处安装所述第二定位调节块，所述第二定位调节块上安装所述第一定位调节块，所述第一定位调节块上安装另一个可活动的导槽块；

所述第一定位调节块、第二定位调节块分别开有X轴方向、Y轴方向的长槽口，通过X轴方向、Y轴方向的长槽口以微调可活动的导槽块的位置。

进一步的，所述定位机构还包括多个感应器，所述多个感应器分别安装于所述两组大板组件上以感应料盘是否到位。

相对于现有技术，本实用新型的有益效果是：

1.本实用新型提出一种新的上料定位、检测定位、后工序再定位的新机构，方便各个工序检测位置的准确性，该工序好坏直接影响产品生产良率。

2.为了让检测的位置更准确，本实用新型的搬运夹紧机构在对应的位置上设计微调机构，为CCD在判定位置或检测外观时能够更准确。

附图说明

图1为本实用新型搬运夹紧机构的整机结构图。

图2为本实用新型双直线电机模组结构图。

图3为本实用新型夹紧机构的结构图。

图4为本实用新型压紧机构的结构图。

图5为本实用新型定位机构的结构图。

附图中标记：双直线电机模组Ⅰ、夹紧机构Ⅱ、压紧机构Ⅲ、定位机构Ⅳ、第一气缸1、托板2、定位轴3、第二气缸4、推板5、第三气缸6、加硬轴7、回转臂8、扭簧9、第一回转轴10、拉簧11、第四气缸12、压块13、压紧安装板14、第二回转轴15、弹簧片16、料盘托板机构17、第一感应器18、第二感应器19、第三感应器20、第四感应器21、第五感应器22、第六感应器23、导槽块24、凸轮轴25、第一定位调节块26、第二定位调节块27、第五气缸28。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

实施例1：本实用新型的具体结构如下：

请参照附图1-5，本实用新型的一种具有双工位结构的搬运夹紧机构，包括双直线电机模组Ⅰ、两组大板组件，所述双直线电机模组Ⅰ分别安装于两组大板组件上，该双直线电机模组Ⅰ相对设置且间隔有一段距离；

由所述双直线电机模组Ⅰ输送方向，所述搬运夹紧机构还包括：

夹紧机构Ⅱ，设于所述两组大板组件上，该夹紧机构Ⅱ具有抖料部和定位部，所述抖料部对定位前的料盘抖料，所述定位部对抖料后的料盘定位；

压紧机构Ⅲ，设于所述两组大板组件上且设有至少一组，所述压紧机构Ⅲ对进入的料盘自动压紧；

定位机构Ⅳ，设于所述两组大板组件上，对进入的料盘再定位。

本实施例的一种优选技术方案：所述双直线电机模组Ⅰ的动子和滑台板滑接在导轨上，导轨、定子安装于所述大板组件上。

本实施例的一种优选技术方案：所述定位部设有两组，两组定位部相对的设置于所述两组大板组件上，任意一组定位部中，包括：

第一气缸1，输出轴朝上的安装于所述大板组件上；

托板2，用于接收外部的上料机分送下来的料盘，该托板2具有过孔，其水平的安装于所述大板组件的内侧；

定位轴3，安装于所述第一气缸1的输出轴上，其穿过所述过孔并向上延伸一段距离，所述定位轴3为来料的料盘定位基准；

回转臂8，可转动的安装于所述大板组件上；

第一回转轴10，端部与所述回转臂8的可转动端连接固定且在所述回转臂8和所述第一回转轴10的转动支点上安装有扭簧9；

拉簧11，该拉簧11一端固定于所述大板组件上，其另一端固定于所述第一回转轴10非转动端；

第四气缸12，固定于所述大板组件上；

加硬轴7，和所述第四气缸12的输出轴连接，所述加硬轴7还与所述第一回转轴10的外端连接。

本实施例的一种优选技术方案：所述定位部还包括多组第二气缸4，各第二气缸4分别安装于两组大板组件的顶面且对称相对设置，各第二气缸4的输出轴连接有推板5。

本实施例的一种优选技术方案：所述抖料部设有多组，多组抖料部分别安装于两组大板组件的顶面且对称相对设置，所述抖料部包括第三气缸6和与所述第三气缸6驱动连接的抖料头。

本实施例的一种优选技术方案：所述压紧机构Ⅲ包括两组压紧组，两组压紧组分别安装于两组大板组件的顶面且相对设置，所述压紧组包括压块13、压紧安装板14、第二回转轴15和弹簧片16，所述压紧安装板14固定于所述大板组件的顶面，其压紧面设有至少一个凹槽，在该凹槽中安装有第二回转轴15，所述第二回转轴15上安装有能够上下活动的压块13，在所述压块13和凹槽底壁之间设置有所述弹簧片16，该弹簧片16一侧延伸至所述压块13上端并形成向下的压力。

本实施例的一种优选技术方案：所述压块13的底面为弧面，该弧面的两边低位为料盘的运动方向上。

本实施例的一种优选技术方案：所述定位机构Ⅳ包括料盘托板机构17、凸轮轴25和导槽定位组；

所述料盘托板机构17设有两组，两组料盘托板机构17分别安装于所述两组大板组件上并对进入的料盘托起；

所述凸轮轴25设有两组，两组凸轮轴25分别安装于所述两组大板组件上，其均为偏心结构，该凸轮轴25通过其上的回转凸轮与料盘侧面不同位置的接触，以使所述料盘位置微调。

本实施例的一种优选技术方案：所述导槽定位组包括导槽块24、第一定位调节块26、第二定位调节块27以及第五气缸28；

所述导槽块24设有两个，两个导槽块24，其朝向料盘的进入方向设有直角槽，其中的一个导槽块24固定于一组大板组件的顶面内边缘；

所述第五气缸28设有一组，其固定于其中一块大板组件的顶面，该第五气缸28倾斜设置且其驱动端连接有连接板，该连接板的Y轴方向开槽且在该开槽处安装所述第二定位调节块27，所述第二定位调节块27上安装所述第一定位调节块26，所述第一定位调节块26上安装另一个可活动的导槽块24；

所述第一定位调节块26、第二定位调节块27分别开有X轴方向、Y轴方向的长槽口，通过X轴方向、Y轴方向的长槽口以微调可活动的导槽块24的位置。

本实施例的一种优选技术方案：所述定位机构Ⅳ还包括多个感应器，所述多个感应器分别安装于所述两组大板组件上以感应料盘是否到位。

实施例2：

本实用新型的搬运夹紧机构包括四个部分，具体工作过程如下：

双直线电机模组Ⅰ用于将料盘搬运至各个工作处，双直线电机可单独工作，当一个直线电机处于工作状态，另一个则处于待料状态。

夹紧机构Ⅱ用于夹紧料盘，当下料机构把料盘送至夹紧机构Ⅱ处，由托板2作为载具支撑料盘，各位置感应器分别感应料盘位置，料盘位置无论是否准确都进一次定位，第一气缸1带动定位轴3上升进行单边定位，第四气缸12推动加硬轴7滑动，由拉簧11绷紧的回转臂8顶回，通过第一回转轴10以及扭簧9相互作用进行一次料盘定位。在定位之前为防止料盘内物料没完全分开，故有第三气缸6进行一次伸出，保证所有物料是成功分离开来的。该部分主要作用是通过气缸、扭簧、弹簧等一系列工件作用，可对料盘进行定位以及夹紧。

压紧机构Ⅲ用于压紧料盘，当直线电机料盘送至该区域，无需任何操作，弹簧片能自动将料盘压紧。由于此处工艺需求，需对此处进行料盘压紧，该处压紧的主要原理是：由直线电机直接推送进入，压块13两侧均有导向倒角且配合第二回转轴15是一个活动的下压机构，方便料盘顺利进入，下压力度的大小由弹簧片16控制，调节该零件可达到工况需求。

定位机构Ⅳ：当直线电机将料盘搬运至该处时，为后一道工序进行一次料盘、料盘盖检测与定位，料盘托板机构17将来料托放好，第一感应器18、第二感应器19、第三感应器20、第四感应器21、第五感应器22、第六感应器23分别检测料盘所处的位置有没有在工艺需求的位置。凸轮轴25对原始的位置进行调节，通过第五气缸28驱动其中的一个导槽块24对料盘进行位置调整。

综上所述，本实用新型提出一种新的上料定位、检测定位、后工序再定位的新机构，方便各个工序检测位置的准确性，该工序好坏直接影响产品生产良率。为了让检测的位置更准确，本实用新型的搬运夹紧机构在对应的位置上设计微调机构，为CCD在判定位置或检测外观时能够更准确。

以上所述仅为本实用新型的优选实施方式，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种具有双工位结构的搬运夹紧机构，其特征在于，包括双直线电机模组(Ⅰ)、两组大板组件，所述双直线电机模组(Ⅰ)分别安装于两组大板组件上，该双直线电机模组(Ⅰ)相对设置且间隔有一段距离；

由所述双直线电机模组(Ⅰ)输送方向，所述搬运夹紧机构还包括：

夹紧机构(Ⅱ)，设于所述两组大板组件上，该夹紧机构(Ⅱ)具有抖料部和定位部，所述抖料部对定位前的料盘抖料，所述定位部对抖料后的料盘定位；

压紧机构(Ⅲ)，设于所述两组大板组件上且设有至少一组，所述压紧机构(Ⅲ)对进入的料盘自动压紧；

定位机构(Ⅳ)，设于所述两组大板组件上，对进入的料盘再定位。

2.根据权利要求1所述的一种具有双工位结构的搬运夹紧机构，其特征在于，所述双直线电机模组(Ⅰ)的动子和滑台板滑接在导轨上，导轨、定子安装于所述大板组件上。

3.根据权利要求1所述的一种具有双工位结构的搬运夹紧机构，其特征在于，所述定位部设有两组，两组定位部相对的设置于所述两组大板组件上，任意一组定位部中，包括：

第一气缸(1)，输出轴朝上的安装于所述大板组件上；

托板(2)，用于接收外部的上料机分送下来的料盘，该托板(2)具有过孔，其水平的安装于所述大板组件的内侧；

定位轴(3)，安装于所述第一气缸(1)的输出轴上，其穿过所述过孔并向上延伸一段距离，所述定位轴(3)为来料的料盘定位基准；

回转臂(8)，可转动的安装于所述大板组件上；

第一回转轴(10)，端部与所述回转臂(8)的可转动端连接固定且在所述回转臂(8)和所述第一回转轴(10)的转动支点上安装有扭簧(9)；

拉簧(11)，该拉簧(11)一端固定于所述大板组件上，其另一端固定于所述第一回转轴(10)非转动端；

第四气缸(12)，固定于所述大板组件上；

加硬轴(7)，和所述第四气缸(12)的输出轴连接，所述加硬轴(7)还与所述第一回转轴(10)的外端连接。

4.根据权利要求1所述的一种具有双工位结构的搬运夹紧机构，其特征在于，所述定位部还包括多组第二气缸(4)，各第二气缸(4)分别安装于两组大板组件的顶面且对称相对设置，各第二气缸(4)的输出轴连接有推板(5)。

5.根据权利要求1所述的一种具有双工位结构的搬运夹紧机构，其特征在于，所述抖料部设有多组，多组抖料部分别安装于两组大板组件的顶面且对称相对设置，所述抖料部包括第三气缸(6)和与所述第三气缸(6)驱动连接的抖料头。

6.根据权利要求1所述的一种具有双工位结构的搬运夹紧机构，其特征在于，所述压紧机构(Ⅲ)包括两组压紧组，两组压紧组分别安装于两组大板组件的顶面且相对设置，所述压紧组包括压块(13)、压紧安装板(14)、第二回转轴(15)和弹簧片(16)，所述压紧安装板(14)固定于所述大板组件的顶面，其压紧面设有至少一个凹槽，在该凹槽中安装有第二回转轴(15)，所述第二回转轴(15)上安装有能够上下活动的压块(13)，在所述压块(13)和凹槽底壁之间设置有所述弹簧片(16)，该弹簧片(16)一侧延伸至所述压块(13)上端并形成向下的压力。

7.根据权利要求6所述的一种具有双工位结构的搬运夹紧机构，其特征在于，所述压块(13)的底面为弧面，该弧面的两边低位为料盘的运动方向上。

8.根据权利要求1所述的一种具有双工位结构的搬运夹紧机构，其特征在于，所述定位机构(Ⅳ)包括料盘托板机构(17)、凸轮轴(25)和导槽定位组；

所述料盘托板机构(17)设有两组，两组料盘托板机构(17)分别安装于所述两组大板组件上并对进入的料盘托起；

所述凸轮轴(25)设有两组，两组凸轮轴(25)分别安装于所述两组大板组件上，其均为偏心结构，该凸轮轴(25)通过其上的回转凸轮与料盘侧面不同位置的接触，以使所述料盘位置微调。

9.根据权利要求8所述的一种具有双工位结构的搬运夹紧机构，其特征在于，所述导槽定位组包括导槽块(24)、第一定位调节块(26)、第二定位调节块(27)以及第五气缸(28)；

所述导槽块(24)设有两个，两个导槽块(24)，其朝向料盘的进入方向设有直角槽，其中的一个导槽块(24)固定于一组大板组件的顶面内边缘；

所述第五气缸(28)设有一组，其固定于其中一块大板组件的顶面，该第五气缸(28)倾斜设置且其驱动端连接有连接板，该连接板的Y轴方向开槽且在该开槽处安装所述第二定位调节块(27)，所述第二定位调节块(27)上安装所述第一定位调节块(26)，所述第一定位调节块(26)上安装另一个可活动的导槽块(24)；

所述第一定位调节块(26)、第二定位调节块(27)分别开有X轴方向、Y轴方向的长槽口，通过X轴方向、Y轴方向的长槽口以微调可活动的导槽块(24)的位置。

10.根据权利要求1所述的一种具有双工位结构的搬运夹紧机构，其特征在于，所述定位机构(Ⅳ)还包括多个感应器，所述多个感应器分别安装于所述两组大板组件上以感应料盘是否到位。