CN218827022U - 一种半导体用料盘式上下料机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种半导体用料盘式上下料机构，包括支架，其特征在于，所述支架上设有料盘供应模块和料盘回收模块，支架上还设有将料盘从料盘供应模块处搬运至取料区并由取料区搬运至料盘回收模块处的料盘搬运模块，料盘搬运模块包括移动台，移动台通过使其能沿XY轴方向运动的驱动组件设置在支架上，移动台安装有用于限位料盘的若干限位柱，移动台上还通过驱动件安装有用于与限位柱相配合的夹板，驱动件能带动夹板靠近或者远离限位柱。

Description

一种半导体用料盘式上下料机构

技术领域

本实用新型属于半导体技术领域，涉及一种半导体用料盘式上下料机构。

背景技术

半导体元器件在生产过程中，需要将散装的半导体元器件分别输送到各个测试工位上进行测试，对产品进行分类。现有测试时，将放有半导体元器件的料盘放置在芯片测试机的取料工位处，每次只能存放一个料盘，当料盘上的半导体元器件取完后，需要人工更换新的料盘，该种操作导致要人工频繁更换料盘，因此，设计出一种半导体用料盘式上下料机构是很有必要的。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种半导体用料盘式上下料机构。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：一种半导体用料盘式上下料机构，包括支架，其特征在于，所述支架上设有料盘供应模块和料盘回收模块，支架上还设有将料盘从料盘供应模块处搬运至取料区并由取料区搬运至料盘回收模块处的料盘搬运模块，料盘搬运模块包括移动台，移动台通过使其能沿XY轴方向运动的驱动组件设置在支架上，移动台安装有用于限位料盘的若干限位柱，移动台上还通过驱动件安装有用于与限位柱相配合的夹板，驱动件能带动夹板靠近或者远离限位柱。

所述支架上水平安装有电动直线导轨滑台一，电动直线导轨滑台一的滑座上水平安装有电动直线导轨滑台二，且电动直线导轨滑台二与电动直线导轨滑台一相互垂直，移动台安装在电动直线导轨滑台二的滑座上。

所述驱动件为气缸一；移动台上还水平安装有导杆，导杆上设置有导块，夹板还和导块相连。

所述移动台的形状为U型。

所述料盘供应模块包括立板一、升降供应板和料盘存储框一，料盘存储框一安装在支架上，立板一安装在支架上，升降供应板通过使其能沿Z轴方向运动的驱动结构一相连，料盘存储框一的两侧均安装有气缸二，气缸二的活塞杆水平设置，气缸二的活塞杆上安装有能对料盘存储框一内的料盘进行托持的托持块。

所述驱动结构一包括伺服电机、丝杆、螺母、轨道一和滑块一，轨道一竖直安装在立板一上，滑块一设置在轨道一上，伺服电机安装在立板一上，伺服电机的输出轴竖直布置，丝杆连接在伺服电机的输出轴上，且丝杆与轨道一相互平行，螺母螺纹连接在丝杆上，升降供应板连接在滑块一与螺母两者之间。

所述料盘回收模块包括立板二、升降回收板和料盘存储框二，料盘存储框二安装在支架上，立板二安装在支架上，升降回收板通过使其能沿Z轴方向运动的驱动结构二相连，料盘存储框二的两侧均安装有能对料盘存储框二内的料盘进行支撑的单向活动型支撑件。

所述驱动结构二包括气缸二、轨道二和滑块二，轨道二竖直安装在立板二上，滑块二设置在轨道二上，气缸二安装在立板二上，气缸二的活塞杆竖直布置，气缸二的活塞杆和升降回收板相连，升降回收板还和滑块二相连。

与现有技术相比，本半导体用料盘式上下料机构具有该优点：

1、本实用新型中通过将装有半导体的料盘从上往下存放在料盘存储框一，在升降供应板和托持块的配合下，将装有半导体的料盘从下往上逐个由移动台搬运至取料区，由取料区的吸嘴将半导体吸取进行后续测试，将空的料盘从下往上逐个搬运至料盘存储框二处，并在升降回收板和单向活动型支撑件的作用下，将空的料盘储存在料盘存储框二内，由于料盘存储框一内可存储多个料盘进行备料，从而不需要人工频繁更换料盘，上下料方便。

2、两侧采用托持块，既能托住料盘，也能实现相邻两料盒的分离。

3、采用滑轨设计，提高动作时的稳定性。

4、移动台可实现XY轴方向运动，相当于活动抓手，提高了经济性。

5、整个机构采用模组化设计，可以根据不同要求，对整个模组替换，实现模组灵活性运用。

附图说明

图1是本实用新型的立体结构示意图；

图2是本实用新型拆去部分的立体结构示意图；

图3是本实用新型中料盘搬运模块的立体结构示意图；

图4是本实用新型中料盘搬运模块的平面结构示意图；

图5是本实用新型中料盘供应模块的立体结构示意图；

图6是本实用新型中料盘供应模块处拆去部分的立体结构示意图；

图7是本实用新型中料盘回收模块的立体结构示意图；

图8是本实用新型中料盘回收模块处拆去部分的立体结构示意图；

图9是本实用新型中单向活动型支撑件的立体结构示意图；

图中，1、支架；2、电动直线导轨滑台一；3、电动直线导轨滑台二；4、移动台；5、立板二；6、气缸二；7、料盘存储框二；8、伺服电机；9、立板一；10、料盘存储框一；11、气缸一；12、导块；13、夹板；14、限位柱；15、单向活动型支撑件；16、托持块；17、气缸二；18、导杆；19、升降供应板；20、丝杆；21、滑块一；22、轨道一；23、螺母；24、升降回收板；25、轨道二；26、滑块二；27、料盘。

具体实施方式

以下是本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的描述，但本实用新型并不限于这些实施例。

如图1-图9所示，本半导体用料盘式上下料机构，包括支架1，支架1上设有料盘供应模块和料盘回收模块，支架1上还设有将料盘27从料盘供应模块处搬运至取料区并由取料区搬运至料盘回收模块处的料盘搬运模块，料盘搬运模块包括移动台4，移动台4的形状为U型；移动台4通过使其能沿XY轴方向运动的驱动组件设置在支架1上，移动台4安装有用于限位料盘27的若干限位柱14，移动台4上还通过驱动件安装有用于与限位柱14相配合的夹板13，驱动件能带动夹板13靠近或者远离限位柱14，在料盘27放入到移动台4上，通过使夹板13运动，夹板13在限位柱14的配合下，可将料盘27牢牢定位在移动台4上，避免料盘27意外掉落；支架1上水平安装有电动直线导轨滑台一2，电动直线导轨滑台一2的滑座上水平安装有电动直线导轨滑台二3，且电动直线导轨滑台二3与电动直线导轨滑台一2相互垂直，移动台4安装在电动直线导轨滑台二3的滑座上，采用该结构，通过电动直线导轨滑台一2和电动直线导轨滑台二3的共同配合，可使移动台4实现XY轴方向运动。

驱动件为气缸一11；移动台4上还水平安装有导杆18，导杆18上设置有导块12，夹板13还和导块12相连，采用该结构，可使夹板13移动时候更加稳定可靠。

料盘供应模块包括立板一9、升降供应板19和料盘存储框一10，料盘存储框一10安装在支架1上，立板一9安装在支架1上，升降供应板19通过使其能沿Z轴方向运动的驱动结构一相连，料盘存储框一10的两侧均安装有气缸二6，气缸二6的活塞杆水平设置，气缸二6的活塞杆上安装有能对料盘存储框一10内的料盘27进行托持的托持块16；在本实施例中，通过托持块16与升降供应板19共同配合，将料盘存储框一10内最底下的料盘27转移到升降供应板19上，此时，移动台4可移动到升降供应板19处并将该料盘27夹住后，再移动到取料区，由取料区的吸嘴将半导体吸取进行后续测试，吸嘴采用的是现有技术；驱动结构一包括伺服电机8、丝杆20、螺母23、轨道一22和滑块一21，轨道一22竖直安装在立板一9上，滑块一21设置在轨道一22上，伺服电机8安装在立板一9上，伺服电机8的输出轴竖直布置，丝杆20连接在伺服电机8的输出轴上，且丝杆20与轨道一22相互平行，螺母23螺纹连接在丝杆20上，升降供应板19连接在滑块一21与螺母23两者之间。

料盘回收模块包括立板二5、升降回收板24和料盘存储框二7，料盘存储框二7安装在支架1上，立板二5安装在支架1上，升降回收板24通过使其能沿Z轴方向运动的驱动结构二相连，料盘存储框二7的两侧均安装有能对料盘存储框二7内的料盘27进行支撑的单向活动型支撑件15；在本实施例中，将空的料盘27从下往上逐个搬运至料盘存储框二7处，通过单向活动型支撑件15与升降回收板24共同配合，将空的料盘27储存在料盘存储框二7内。

驱动结构二包括气缸二6、轨道二25和滑块二26，轨道二25竖直安装在立板二5上，滑块二26设置在轨道二25上，气缸二6安装在立板二5上，气缸二6的活塞杆竖直布置，气缸二6的活塞杆和升降回收板24相连，升降回收板24还和滑块二26相连。

在本实施例中，根据需要可安装现有的传感器，从而判读各个运动部件是否运动到位，同时，也判断有无料盘27。

以上部件均为通用标准件或本技术领域人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。

本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。

Claims (8)

1.一种半导体用料盘式上下料机构，包括支架(1)，其特征在于，所述支架(1)上设有料盘供应模块和料盘回收模块，支架(1)上还设有将料盘(27)从料盘供应模块处搬运至取料区并由取料区搬运至料盘回收模块处的料盘搬运模块，料盘搬运模块包括移动台(4)，移动台(4)通过使其能沿XY轴方向运动的驱动组件设置在支架(1)上，移动台(4)安装有用于限位料盘(27)的若干限位柱(14)，移动台(4)上还通过驱动件安装有用于与限位柱(14)相配合的夹板(13)，驱动件能带动夹板(13)靠近或者远离限位柱(14)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体用料盘式上下料机构，其特征在于，所述支架(1)上水平安装有电动直线导轨滑台一(2)，电动直线导轨滑台一(2)的滑座上水平安装有电动直线导轨滑台二(3)，且电动直线导轨滑台二(3)与电动直线导轨滑台一(2)相互垂直，移动台(4)安装在电动直线导轨滑台二(3)的滑座上。

3.根据权利要求1所述的一种半导体用料盘式上下料机构，其特征在于，所述驱动件为气缸一(11)；移动台(4)上还水平安装有导杆(18)，导杆(18)上设置有导块(12)，夹板(13)还和导块(12)相连。

4.根据权利要求1所述的一种半导体用料盘式上下料机构，其特征在于，所述移动台(4)的形状为U型。

5.根据权利要求1所述的一种半导体用料盘式上下料机构，其特征在于，所述料盘供应模块包括立板一(9)、升降供应板(19)和料盘存储框一(10)，料盘存储框一(10)安装在支架(1)上，立板一(9)安装在支架(1)上，升降供应板(19)通过使其能沿Z轴方向运动的驱动结构一相连，料盘存储框一(10)的两侧均安装有气缸二(6)，气缸二(6)的活塞杆水平设置，气缸二(6)的活塞杆上安装有能对料盘存储框一(10)内的料盘(27)进行托持的托持块(16)。

6.根据权利要求5所述的一种半导体用料盘式上下料机构，其特征在于，所述驱动结构一包括伺服电机(8)、丝杆(20)、螺母(23)、轨道一(22)和滑块一(21)，轨道一(22)竖直安装在立板一(9)上，滑块一(21)设置在轨道一(22)上，伺服电机(8)安装在立板一(9)上，伺服电机(8)的输出轴竖直布置，丝杆(20)连接在伺服电机(8)的输出轴上，且丝杆(20)与轨道一(22)相互平行，螺母(23)螺纹连接在丝杆(20)上，升降供应板(19)连接在滑块一(21)与螺母(23)两者之间。

7.根据权利要求1所述的一种半导体用料盘式上下料机构，其特征在于，所述料盘回收模块包括立板二(5)、升降回收板(24)和料盘存储框二(7)，料盘存储框二(7)安装在支架(1)上，立板二(5)安装在支架(1)上，升降回收板(24)通过使其能沿Z轴方向运动的驱动结构二相连，料盘存储框二(7)的两侧均安装有能对料盘存储框二(7)内的料盘(27)进行支撑的单向活动型支撑件(15)。

8.根据权利要求7所述的一种半导体用料盘式上下料机构，其特征在于，所述驱动结构二包括气缸二(6)、轨道二(25)和滑块二(26)，轨道二(25)竖直安装在立板二(5)上，滑块二(26)设置在轨道二(25)上，气缸二(6)安装在立板二(5)上，气缸二(6)的活塞杆竖直布置，气缸二(6)的活塞杆和升降回收板(24)相连，升降回收板(24)还和滑块二(26)相连。

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