CN218286231U - 碎片盒、供液***及线切割机 - Google Patents

Abstract

本申请涉及线切割技术领域，具体提供一种碎片盒、供液***及线切割机，旨在解决已经切开的切片部分温度快速下降，导致切片发生变形的问题。为此目的，本申请的碎片盒包括碎片盒本体和传热部。碎片盒本体的顶部敞开，碎片盒本体能够盛放切割液。传热部设置在碎片盒本体中，且传热部与外部热源连接，用于向切割液提供热量。本申请提供的技术方案传热部可以向碎片盒本体中的切割液提供热量，使切割液的温度升高，进而避免已经切开的切片部分温度快速下降而导致切片发生变形。

Description

碎片盒、供液***及线切割机

技术领域

本申请涉及线切割技术领域，具体涉及一种碎片盒、供液***及线切割机。

背景技术

多线切割是一种通过切割线的高速往复运动，把磨料带入待切割件的加工区域进行研磨，将待切割件一次同时切割为数百片薄片的一种切割加工方法。

在切割过程中，待加工件(例如晶棒)与切割线摩擦，使晶棒及切片的温度升高。随着切割过程的进行，已经切开的切片部分的温度快速降低，容易导致切片发生变形，进而影响切片的品质。

相应地，本领域需要一种新的技术方案来解决上述问题。

实用新型内容

本申请旨在解决上述技术问题，即，解决已经切开的切片部分温度快速下降，导致切片发生变形的问题。

为了解决现有技术中的上述问题，本申请提供一种碎片盒，该碎片盒包括：

碎片盒本体，所述碎片盒本体的顶部敞开，所述碎片盒本体能够盛放切割液；

传热部，所述传热部设置在所述碎片盒本体中，且所述传热部与外部热源连接，用于向所述切割液提供热量。

在采用上述技术方案的情况下，传热部可以将外部热源的热量传导至碎片盒本体中，为切割液提供热量，使切割液的温度升高，进而避免已经切开的切片部分温度快速下降而导致切片发生变形。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述传热部包括热流管，所述热流管至少部分设置在所述碎片盒本体中，所述热流管具有进液口和出液口，所述进液口与所述外部热源连接，所述出液口与所述碎片盒本体的内部连通。

在采用上述技术方案的情况下，热流管内经过加热的液体例如切割液可以直接进入碎片盒本体中，进一步提高传热效率，进一步避免已经切开的切片部分温度快速下降而导致切片发生变形。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述热流管部分伸出所述碎片盒本体，且所述热流管伸出所述碎片盒本体的部分与所述碎片盒本体连接，所述进液口设置于所述热流管伸出所述碎片盒本体的部分。

在采用上述技术方案的情况下，加热后的切割液可以通过热流管伸出碎片盒本体部分的进液口进入热流管。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述进液口设置于所述热流管伸出所述碎片盒本体的部分的端部，所述端部连接有接头。

在采用上述技术方案的情况下，进液口可以通过接头与外部热源连接。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述热流管伸出所述碎片盒本体的部分连接于所述碎片盒本体沿宽度方向的侧壁上。

在采用上述技术方案的情况下，可以避免热流管与线网发生干涉影响切割。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述热流管伸出所述碎片盒本体的部分通过法兰固定在所述碎片盒本体的外侧壁上；或者

所述热流管伸出所述碎片盒本体的部分设置有螺纹，所述热流管伸出所述碎片盒本体的部分螺接在所述碎片盒本体的外侧壁上。

在采用上述技术方案的情况下，可以通过法兰或者螺纹将热流管固定在碎片盒本体上，避免热流管晃动扰动碎片盒本体内部的液体。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述热流管位于所述碎片盒本体内的部分位于所述碎片盒本体的底部并沿所述碎片盒本体的长度方向延伸。

在采用上述技术方案的情况下，热流管沿碎片盒本体的长度方向设置，可以使热量均匀扩散。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述出液口设置于所述热流管设置在所述碎片盒本体内部的部分的外侧面上。

在采用上述技术方案的情况下，出液口可以顺利的出液。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述出液口设置有多个，多个所述出液口沿所述热流管的长度方向排列。

在采用上述技术方案的情况下，可以同时在多个出液口出液，提高传热效率。

在上述碎片盒的具体实施方式中，多个所述出液口分布在所述热流管的上侧面；并且/或者

所述出液口为长条孔或圆孔。

在采用上述技术方案的情况下，可以顺利出液，进一步提高传热效率。此外，长条孔或圆孔可以简单实现出液口的设置。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述碎片盒还包括第一温度传感器，所述第一温度传感器设置在所述碎片盒本体上，用于监控所述碎片盒本体中的切割液的温度。

在采用上述技术方案的情况下，可以通过第一温度传感器监控碎片盒本体中的切割液的温度，以根据实际情况的需求调整传热量。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述第一温度传感器上设置有螺纹，所述碎片盒本体上开设有第二螺孔，所述第一温度传感器螺接在所述碎片盒本体上并部分伸入所述碎片盒本体内部。

在采用上述技术方案的情况下，可以将第一温度传感器螺接在碎片盒本体上，避免第一温度传感器晃动而导致测得的温度值发生波动。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述碎片盒本体上设置有排液口，所述碎片盒还包括调节板，所述调节板设置在所述碎片盒本体上，用于调节所述排液口的大小。

在采用上述技术方案的情况下，可以根据实际情况的需要通过调节板调节排液口的大小，进而调整排液量。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述调节板上设置有第一连接结构，所述第一连接结构可移动地连接于所述碎片盒本体的待安装位置上设置的第二连接结构上，使得所述调节板能够调节所述排液口的大小。

在采用上述技术方案的情况下，可以通过第一连接结构相对于第二连接结构的移动实现调节板对排液口的调节，进而调整排液量。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述碎片盒还包括固定板，所述固定板设置于所述碎片盒本体的侧壁上，所述第二连接结构设置于所述固定板上。

在采用上述技术方案的情况下，调节板可以通过设置在固定板上的第二连接结构进行移动实现调节板对排液口的调节，进而调整排液量。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述第一连接结构与所述第二连接结构均为连接孔，螺栓穿过两个所述连接孔与螺母连接。

在采用上述技术方案的情况下，可以通过过螺栓与螺母连接位置的变化，简单实现调节板对排液口的调节，进而调整排液量。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述螺栓的螺帽抵靠在所述调节板上，所述螺母抵靠在所述固定板上；或者

所述螺栓的螺帽抵靠在所述固定板上，所述螺母抵靠在所述调节板上。

在采用上述技术方案的情况下，可以通过螺栓相对于固定板的移动或者螺栓相对于调节板的移动实现调节板对排液口的调节，进而调整排液量。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述螺栓上设置有至少两个所述螺母，一个所述螺母与所述螺栓的螺帽分别抵靠在所述调节板两侧用于固定所述调节板，一个所述螺母抵靠在所述固定板上；或者

所述螺栓上设置有至少两个所述螺母，两个所述螺母分别抵靠在所述调节板两侧用于固定所述调节板，所述螺栓的螺帽抵靠在所述固定板上。

在采用上述技术方案的情况下，可以在实现调节板对排液口的调节调整排液量的同时，避免调节板晃动影响对排液量的调整。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述第一连接结构与所述第二连接结构均为连接孔，螺柱穿过两个所述连接孔且所述螺柱的两端分别通过螺母连接。

在采用上述技术方案的情况下，可以通过螺栓实现调节板的移动，进而调整排液量。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述螺柱上设置有至少三个所述螺母，两个所述螺母分别抵靠在所述调节板的两侧用于固定所述调节板，一个所述螺母抵靠在所述固定板上。

在采用上述技术方案的情况下，可以在通过螺柱实现调节板对排液口的调节调整排液量的同时，避免调节板晃动影响对排液量的调整。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述第一连接结构为一体形成在所述调节板上的螺柱，所述第二连接结构为连接孔，所述螺柱穿过所述连接孔与螺母连接；或者

所述第一连接结构为连接孔，所述第二连接结构为一体形成在所述固定板上的螺柱，所述螺柱穿过所述连接孔与螺母连接。

在采用上述技术方案的情况下，可以通过与调节板或固定板一体成型的螺柱实现对调节板的移动调整排液口的大小，进而调整出液量。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述调节板包括竖直段、第一侧板、第二侧板和第一水平段，所述第一侧板与所述第二侧板分别设置在所述竖直段的左右两侧，所述第一水平段与所述竖直段的底部连接，所述第一连接结构设置于所述第一水平段，所述固定板为与所述调节板的上部开口相匹配的水平板；或者

所述固定板包括第二水平段、第三侧板和第四侧板，所述第三侧板与所述第四侧板分别设置在所述第二水平段的左右两侧，所述第二连接结构设置于所述第二水平段上，所述调节板包括竖直段和水平段，所述第一连接结构设置于所述水平段，所述竖直段与所述第三侧板和第四侧板之间的部位相匹配。

在采用上述技术方案的情况下，可以作为调节板或者固定板的一种设置方式。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述第一连接结构为第一长条孔，所述第二连接结构为所述碎片盒本体的侧壁上设置的第一通孔，所述第一长条孔与所述第一通孔之间通过螺栓螺母组件连接；或者

所述第一连接结构为第一长条孔，所述第二连接结构为所述碎片盒本体的侧壁上固定设置的螺栓或螺柱，所述第一长条孔通过螺母紧固于所述螺栓或所述螺柱上；或者，

所述第一连接结构为第二通孔，所述第二连接结构为所述碎片盒本体的侧壁上设置的第二长条孔，所述第二通孔与所述第二长条孔之间通过螺栓螺母组件连接；或者

所述第一连接结构为螺栓或螺柱，所述第二连接结构为所述碎片盒本体的侧壁上设置的第二长条孔，所述螺栓或所述螺柱通过螺母紧固于所述第二长条孔上。

在采用上述技术方案的情况下，可以通过调整调节板上的第一调节孔与第一通孔的连接位置移动调节板，实现对排液口大小的调整进而调整排液量。或者，通过调整碎片盒本体的侧壁上设置的第二长条孔与第二通孔的连接位置移动调节板，实现对排液口大小的调整进而调整排液量。

在上述碎片盒的具体实施方式中，在所述碎片盒本体的底部的四角均设置有所述调节板和所述排液口。

在采用上述技术方案的情况下，可以通过多个排液口将碎片盒中的废液排出，提高排液效率。同时，排液口均布在碎片盒本体的底部四角，可以均匀的排液，进而有利于碎片盒本体的平衡。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述碎片盒还包括液位传感器，所述液位传感器设置在所述碎片盒本体上，用于检测所述碎片盒本体中的液位。

在采用上述技术方案的情况下，可以通过液位传感器监测碎片盒本体中的液位，便于将液位控制在合适的范围。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述碎片盒本体沿长度方向相对设置的两侧壁的外部上分别设置有支架，所述支架用于将所述碎片盒本体固定在待安装位置上。

在采用上述技术方案的情况下，可以通过支架方便的进行碎片盒的安装。

第二方面，本申请提供一种供液***，该供液***包括：

上述的碎片盒；

供液组件，所述供液组件与所述传热部连通，用于向所述传热部提供热源。

在采用上述技术方案的情况下，可以通过供液组件向传热部提供热源，使碎片盒本体内的切割液温度升高，进而避免已经切开的切片部分温度快速下降而导致切片发生变形。

在上述供液***的具体实施方式中，所述供液组件包括：

供液缸本体，所述供液缸本体用于盛放切割液；

加热部，所述加热部设置在所述供液缸本体上，用于加热所述切割液；

供液泵，所述供液泵设置在所述供液缸本体上，用于向所述传热部提供加热后的所述切割液。

在采用上述技术方案的情况下，可以通过加热部加热供液缸本体中的切割液，并通过供液泵将加热后的切割液输送至传热部。

在上述供液***的具体实施方式中，所述供液组件还包括隔板，所述隔板竖直设置在所述供液缸本体中，将所述供液缸本体分隔为沉淀区和加热区，所述加热部伸入所述供液缸本体并位于所述加热区。

在采用上述技术方案的情况下，可以只对加热区的切割液进行加热，避免能源浪费，而且废液可以在沉淀区沉淀后再次利用，节约成本。

在上述供液***的具体实施方式中，所述供液组件还包括第二温度传感器，所述第二温度传感器设置在所述供液缸本体的加热区。

在采用上述技术方案的情况下，可以通过第二温度传感器监测加热区的温度。

在上述供液***的具体实施方式中，所述供液组件还包括回液部，所述回液部与所述供液缸本体的沉淀区连通，用于将废液回收至所述沉淀区。

在采用上述技术方案的情况下，可以通过回液部回收废液并在沉淀区沉淀后再次利用，节约成本。

第三方面，本申请提供一种线切割机，所述线切割机包括上述的碎片盒、上述的供液***。

在采用上述技术方案的情况下，线切割机切割后的切片进入碎片盒本体后，进入升温后的切割液中，可以避免切片降温过快而发生变形。

附图说明

图1为本申请一实施例提供的碎片盒结构图。

图2为本申请一实施例提供的另一碎片盒结构图。

图3为本申请一实施例提供的供液组件结构图。

图4为本申请一实施例提供的供液组件的侧剖图。

附图标记列表

1、碎片盒，11、碎片盒本体，111、排液口，12、热流管，121、出液口，13、调节板，14、固定板，15、第一温度传感器，16、支架；

2、接头；

3、螺栓；

4、螺母；

5、法兰；

6、供液组件，61、供液缸本体，611、沉淀区，612、加热区，62、加热部，63、供液泵，64、隔板，65、第二温度传感器。

具体实施方式

下面参照附图来描述本申请的优选实施方式。本领域技术人员应当理解的是，这些实施方式仅用于解释本申请的技术原理，并非用于限制本申请的保护范围。本领域技术人员可以根据需要对其作出调整，以便适应具体的应用场合。例如，尽管说明书中的供液***是结合为碎片盒供液来描述的，但是，本申请的供液***显然可以同时用于为主轴、轴承箱等提供冷却液。

需要说明的是，在本申请的描述中，“顶部”、“外”、“水平”、“上”、“底部”、“竖直”、“左右”等指示位置关系的术语是基于附图所示的方向或位置关系，这仅仅是为了便于描述，而不是指示或暗示相关装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，序数词“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，还需要说明的是，在本申请的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”等应作广义理解。例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接或一体连接；可以是机械连接，也可以是其他连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域技术人员而言，可根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

为了解决已经切开的切片部分温度快速下降，导致切片发生变形的问题，本申请提供一种碎片盒，该碎片盒包括碎片盒本体和传热部。碎片盒本体的顶部敞开，碎片盒本体能够盛放切割液。传热部设置在碎片盒本体中，且传热部与外部热源连接，用于向切割液提供热量。

本申请的技术方案中，传热部可以向碎片盒本体中的切割液提供热量，使切割液的温度升高，进而避免已经切开的切片部分温度快速下降而导致切片发生变形。

下面结合图1至图4对本申请的碎片盒进行描述。

如图1至图2所示，本申请提供一种碎片盒1，该碎片盒1包括碎片盒本体11和传热部。碎片盒本体11的顶部敞开，碎片盒本体11能够盛放切割液。传热部设置在碎片盒本体11中，且传热部与外部热源连接，用于向切割液提供热量。

如此，传热部可以向碎片盒本体11中的切割液提供热量，使切割液的温度升高，进而避免已经切开的切片部分温度快速下降而导致切片发生变形，提高切割质量和硅片良率。

参见图1，在上述碎片盒1的优选实施方式中，传热部包括热流管12，热流管12至少部分设置在碎片盒本体11中，热流管12具有进液口(图中未示出)和出液口121，进液口与外部热源连接，出液口121与碎片盒本体11的内部连通。

进一步地，热流管12部分伸出碎片盒本体11，且热流管12伸出碎片盒本体11的部分与碎片盒本体11连接，进液口设置于热流管12伸出碎片盒本体11的部分。

进一步地，进液口设置于热流管12伸出碎片盒本体11的部分的端部，该端部上连接有接头2。

进一步地，热流管12伸出碎片盒本体11的部分连接于碎片盒本体11沿宽度方向的侧壁上。

优选地，热流管12伸出碎片盒本体11的部分通过法兰5固定在碎片盒本体11的外侧壁上。

进一步地，热流管12位于碎片盒本体11内的部分位于碎片盒本体11的底部并沿碎片盒本体11的长度方向延伸的直管。

进一步地，出液口121设置于热流管12设置在碎片盒本体11内部的部分的外侧面上。

优选地，出液口121设置有多个，多个出液口121沿热流管12的长度方向排列。

更优选地，多个出液口121(例如图1中所示的长条孔)均匀分布在热流管12的上侧面。

如此，经过加热后的切割液可以通过热流管12的进液口进入热流管12，通过热流管12上设置的多个出液口121直接进入碎片盒本体11中，使碎片盒本体11内的切割液温度升高，避免已经切开的切片部分温度快速下降而导致切片发生变形。

而且，热流管12伸出碎片盒本体11的部分连接于碎片盒本体11沿宽度方向的侧壁上，可以避免热流管12与线网发生干涉影响切割。

此外，通过法兰5将热流管12固定在碎片盒本体11上，可以避免热流管12晃动扰动碎片盒本体11内部的液体。并且，热流管12沿碎片盒本体11的长度方向设置，可以使热量均匀扩散。热流管12位于碎片盒本体11的底部，可以避免与待切割件干涉。多个出液口121均匀分布在传热管上，进一步提高传热均匀性。

当然，出液口121也可以设置为其他形式的孔，例如圆孔、方孔、不规则孔等。出液口121的设置位置除热流管12的上侧面外，还可以设置在热流管12端部、下侧面等。出液口121除沿热流管12的长度方向排列，还可以沿其周向排列等。此外，热流管12也可以通过其他方式固定在碎片盒本体11的外侧壁上。例如，热流管12伸出碎片盒本体11的部分设置有螺纹，热流管12伸出碎片盒本体11的部分螺接在碎片盒本体11的外侧壁上，该螺接可以是热流管12螺接在碎片盒本体11的螺孔中，也可以是热流管12伸出碎片盒本体11的部分通过螺母螺接在碎片盒本体11的外侧壁上。

此外，热流管12在碎片盒本体11内部的部分上也可以不设置出液口121。例如，热流管12的两端穿设在碎片盒本体11上，通过热流管12内部的换热介质(例如加热后的液体、气液混合物或蒸汽)与碎片盒本体11内的切割液换热使切割液的温度升高。然后，热流管12也可以设置为多个，多个热流管12的进口可以为一个，也可以为多个。此外热流管12也可以为其他形式的管，例如，蛇形管或者管的外壁上带有翅片。

继续参见图1，在上述碎片盒1的优选实施方式中，碎片盒1还包括第一温度传感器15，第一温度传感器15设置在碎片盒本体11的沿宽度方向上的侧壁的下方，用于监控碎片盒本体11中的切割液的温度。

优选地，第一温度传感器15上设置有螺纹，碎片盒本体11上开设有第二螺孔，第一温度传感器15螺接在碎片盒本体11上并部分伸入碎片盒本体11内部。

如此，可以通过第一温度传感器15监控碎片盒本体11中的切割液的温度，以根据实际情况的需求调整传热量。此外，第一温度传感器15螺接在碎片盒本体11上，避免第一温度传感器15晃动而导致测得的温度值发生波动。

需要说明的是，温度传感器也可以设置在碎片盒本体11的其它位置，如碎片盒本体11的底部或其他侧壁等。此外，也可以设置多个第一温度传感器15，可以多部位监测切割液的温度。另外，第一温度传感器15可以通过其他方式固定在碎片盒本体11上，例如通过法兰固定在碎片盒本体11上。

参见图1和图2，在上述碎片盒1的优选实施方式中，碎片盒本体11上设置有排液口111，碎片盒1还包括调节板13，调节板13设置在碎片盒本体11上设置的固定板14上，用于调节排液口111的大小。优选地，在碎片盒本体11的底部的四角均设置有调节板13和排液口111，同时在碎片盒本体11的底部的四角设置有调节板13的部位均设置有固定板14。更优选地，固定板14包括第二水平段、第三侧板和第四侧板(图中未示出)，第三侧板与第四侧板分别设置在第二水平段的左右两侧，第二连接结构设置于第二水平段上，调节板13包括竖直段和水平段，第一连接结构设置于水平段，竖直段与第三侧板和第四侧板之间的部位相匹配。

进一步地，调节板13上设置有第一连接结构，第一连接结构可移动地连接于碎片盒本体11的待安装位置上设置的第二连接结构上，使得调节板13能够调节排液口111的大小。

进一步地，固定板14设置于碎片盒本体11的侧壁上，第二连接结构设置于固定板14上。

进一步地，第一连接结构与第二连接结构均为连接孔，螺栓3穿过两个连接孔与螺母4连接。

优选地，螺栓3的螺帽抵靠在调节板13上，螺母4抵靠在固定板14上。

更优选地，在螺栓3上设置有至少两个螺母4，优选地本申请中螺母4设置有三个，一个螺母4与螺栓3的螺帽分别抵靠在调节板13两侧用于固定调节板13，一个螺母4抵接于抵靠在调节板13一侧的螺母4上部，即两个螺母4叠加，一个螺母4抵靠在固定板14上。

进一步优选地，碎片盒1还包括液位传感器(图中未示出)，液位传感器设置在碎片盒本体11上，用于检测碎片盒本体11中的液位。

如此，可以根据实际情况的需要，通过螺栓3相对于固定板14的移动，移动调节板13相对于排液口111的位置，调节排液口111的大小，进而调整排液量。同时，在不移动调节板13时，通过螺帽和一个螺母4固定调节板13的位置，而且两个螺母4之间接触面的摩擦力可以阻止螺栓松动，进而避免调节板13晃动影响对排液量的调整。然后，在碎片盒本体11的四角均设置排液口111，可以通过多个排液口111将碎片盒1中的废液排出，提高排液效率。同时，排液口111均布在碎片盒本体11的底部四角，可以均匀的排液，进而有利于碎片盒本体11的平衡。此外，可以通过液位传感器监测碎片盒本体11中的液位，便于将液位控制在合适的范围。

本领域技术人员能够理解的是，第一连接结构与第二连接结构并非唯一，可以通过设置不同形式的第一连接结构、第二连接结构，或者调整第一连接结构、第二连接结构与连接件之间的连接关系，移动调节板13相对于排液口111的位置。例如，螺栓3的螺帽抵靠在固定板14上，螺母4抵靠在调节板13上。优选地，螺栓3上设置有至少两个螺母4，两个螺母4分别抵靠在调节板13两侧用于固定调节板13，螺栓3的螺帽抵靠在固定板14上。此时，可以通过螺栓3相对于调节板13的移动实现调节板13对排液口111的调节，进而调整排液量。同时，在不移动调节板13时，通过两个螺母4固定调节板13的位置，避免调节板13晃动影响对排液量的调整。当然，以上实施方式及可替换方式中的螺母4数量并非唯一，本领域技术人员可以对其调整，例如螺母4的数量还可以为1个、2个、4个或者更多，只要能够实现对调节板13的调节即可。

又例如，第一连接结构与第二连接结构均为连接孔，螺柱穿过两个连接孔且螺柱的两端分别通过螺母4连接。优选地，螺柱上设置有至少三个螺母4，两个螺母4分别抵靠在调节板13的两侧用于固定调节板13，一个螺母4抵靠在固定板14上。此时，可以通过螺柱相对于调节板13或者固定板14的移动实现调节板13对排液口111的调节，进而调整排液量。同时，在不移动调节板13时，通过两个螺母4固定调节板13的位置，避免调节板13晃动影响对排液量的调整。

再例如，第一连接结构为一体形成在调节板13上的螺柱，第二连接结构为连接孔，螺柱穿过连接孔与螺母4连接。或者，第一连接结构为连接孔，第二连接结构为一体形成在固定板14上的螺柱，螺柱穿过连接孔与螺母4连接。此时，可以通过螺柱相对于调节板13或者固定板14的移动实现调节板13对排液口111的调节，进而调整排液量。

还例如，第一连接结构为第一长条孔，第二连接结构为碎片盒本体11的侧壁上设置的第一通孔，第一长条孔与第一通孔之间通过螺栓3螺母4组件连接。或者，第一连接结构为第一长条孔，第二连接结构为碎片盒本体11的侧壁上固定设置的螺栓3或螺柱，第一长条孔通过螺母4紧固于螺栓3或螺柱上。又或者，第一连接结构为第二通孔，第二连接结构为碎片盒本体11的侧壁上设置的第二长条孔，第二通孔与第二长条孔之间通过螺栓3螺母4组件连接。再或者，第一连接结构为螺栓3或螺柱，第二连接结构为碎片盒本体11的侧壁上设置的第二长条孔，螺栓3或螺柱通过螺母4紧固于第二长条孔上。此时，可以通过调整调节板13上的第一调节孔与第一通孔的连接位置移动调节板13实现对排液口111大小的调整进而调整排液量。或者，通过调整碎片盒本体11的侧壁上设置的第二长条孔与第二通孔的连接位置移动调节板13实现对排液口111大小的调整进而调整排液量。

此外，本领域技术人员能够理解，调节板13和固定板14的结构并非唯一，本领域技术人员可以对其进行调整，只要满足调节板13相对于固定板14的移动可以实现对排液口大小的调整即可。例如，调节板13包括竖直段、第一侧板、第二侧板和第一水平段，第一侧板与第二侧板分别设置在竖直段的左右两侧，第一水平段与竖直段的底部连接，第一连接结构设置于第一水平段，固定板14为与调节板13的上部开口相匹配的水平板。当然，也可以不设置调节板13和固定板14。

需要说明的是，排液口111也可为其他数量，例如1个，2个或3个等，另外，排液口111也可以设置在碎片盒本体11的其他位置，此时调节板13的数量相应调整。此外，也可以不设置液位传感器。

继续参见图1，在上述碎片盒1的优选实施方式中，碎片盒本体11沿长度方向相对设置的两侧壁的外部上分别设置有支架16，支架16用于将碎片盒本体11固定在待安装位置上。

如此，可以通过支架16将碎片盒1安装在待安装位置例如线切割机的框架上。

需要说明的是，也可以只在碎片盒本体11沿长度方向相对设置的两侧壁的一侧设置支架16。

参见图1至图4，第二方面，本申请提供一种供液***，该供液***包括碎片盒1、供液组件6。供液组件6与传热部连通，用于向传热部提供热源。

如此，可以通过供液组件6向传热部提供热源，使碎片盒本体11内的切割液温度升高，进而避免已经切开的切片部分温度快速下降而导致切片发生变形。

在上述供液***的优选实施方式中，供液组件6包括供液缸本体61、加热部62、供液泵63、隔板64、第二温度传感器65和回液部(图中未示出)。

供液缸本体61用于盛放切割液。加热部62设置在供液缸本体61上，用于加热切割液。供液泵63设置在供液缸本体61上，用于向传热部提供加热后的切割液。隔板64竖直设置在供液缸本体61中，将供液缸本体61分隔为沉淀区611和加热区612，加热部62伸入供液缸本体61并位于加热区612。第二温度传感器65设置在供液缸本体61的加热区612。回液部与供液缸本体61的沉淀区611连通，用于将废液回收至沉淀区611。

如此，可以通过加热部62加热供液缸本体61的加热区612中的切割液，并通过供液泵63将加热后的切割液输送至传热部例如热流管12。而且，隔板64将供液缸本体61分隔为沉淀区611和加热区612可以只加热的切割液，避免能源浪费，而且经回液部回收的废液可以在沉淀区611沉淀后再次利用，节约成本。此外，可以通过第二温度传感器65监测加热区612的温度。

需要说明的是，也可以设置多个第二温度传感器65，更精确的监控加热区612的切割液的温度。当然也可也不设置第二温度传感器65。此外也可以不设置隔板64和回液部。

本申请中，加热部62、回液部的结构均为本领域的常规结构，在此不再赘述。例如，加热部62可以是电加热器(例如电阻加热、电磁加热或红外线加热等)，也可以是其他加热方式的加热器(如燃气加热器)。另外，本申请的供液***还可以包括供液框架组件(供液框架主要用于对切割液进行过滤、控温、流量分配)。此外，本申请的供液***也可以用于提供冷却液，以冷却线切割机的主轴、轴承箱、电机等。

再一方面，本申请提供一种线切割机，线切割机包括上述的碎片盒1或上述的供液***。

如此，线切割机切割后的切片进入碎片盒本体11后，进入升温后的切割液中，可以避免切片降温过快而发生变形，提高切割质量和硅片良率。

本领域的技术人员能够理解，尽管在此的一些实施例包括其它实施例中所包括的某些特征而不是其它特征，但是不同实施例的特征的组合意味着处于本申请的范围之内并且形成不同的实施例。例如，在本申请的权利要求书中，所要求保护的实施例的任意之一都可以以任意的组合方式来使用。

至此，已经结合附图所示的优选实施方式描述了本申请的技术方案，但是，本领域技术人员容易理解的是，本申请的保护范围显然不局限于这些具体实施方式。在不偏离本申请的原理的前提下，本领域技术人员可以对相关技术特征作出等同的更改或替换，这些更改或替换之后的技术方案都将落入本申请的保护范围之内。

Claims (32)

1.一种碎片盒，其特征在于，包括：

碎片盒本体，所述碎片盒本体的顶部敞开，所述碎片盒本体能够盛放切割液；

传热部，所述传热部设置在所述碎片盒本体中，且所述传热部与外部热源连接，用于向所述切割液提供热量。

2.根据权利要求1所述的碎片盒，其特征在于，所述传热部包括热流管，所述热流管至少部分设置在所述碎片盒本体中，所述热流管具有进液口和出液口，所述进液口与所述外部热源连接，所述出液口与所述碎片盒本体的内部连通。

3.根据权利要求2所述的碎片盒，其特征在于，所述热流管部分伸出所述碎片盒本体，且所述热流管伸出所述碎片盒本体的部分与所述碎片盒本体连接，所述进液口设置于所述热流管伸出所述碎片盒本体的部分。

4.根据权利要求3所述的碎片盒，其特征在于，所述进液口设置于所述热流管伸出所述碎片盒本体的部分的端部，所述端部连接有接头。

5.根据权利要求3所述的碎片盒，其特征在于，所述热流管伸出所述碎片盒本体的部分连接于所述碎片盒本体沿宽度方向的侧壁上。

6.根据权利要求3所述的碎片盒，其特征在于，所述热流管伸出所述碎片盒本体的部分通过法兰固定在所述碎片盒本体的外侧壁上；或者

所述热流管伸出所述碎片盒本体的部分设置有螺纹，所述热流管伸出所述碎片盒本体的部分螺接在所述碎片盒本体的外侧壁上。

7.根据权利要求2所述的碎片盒，其特征在于，所述热流管位于所述碎片盒本体内的部分位于所述碎片盒本体的底部并沿所述碎片盒本体的长度方向延伸。

8.根据权利要求3所述的碎片盒，其特征在于，所述出液口设置于所述热流管设置在所述碎片盒本体内部的部分的外侧面上。

9.根据权利要求8所述的碎片盒，其特征在于，所述出液口设置有多个，多个所述出液口沿所述热流管的长度方向排列。

10.根据权利要求9所述的碎片盒，其特征在于，多个所述出液口分布在所述热流管的上侧面；并且/或者

所述出液口为长条孔或圆孔。

11.根据权利要求1所述的碎片盒，其特征在于，所述碎片盒还包括第一温度传感器，所述第一温度传感器设置在所述碎片盒本体上，用于监控所述碎片盒本体中的切割液的温度。

12.根据权利要求11所述的碎片盒，其特征在于，所述第一温度传感器上设置有螺纹，所述碎片盒本体上开设有第二螺孔，所述第一温度传感器螺接在所述碎片盒本体上并部分伸入所述碎片盒本体内部。

13.根据权利要求1至12任一项所述的碎片盒，其特征在于，所述碎片盒本体上设置有排液口，所述碎片盒还包括调节板，所述调节板设置在所述碎片盒本体上，用于调节所述排液口的大小。

14.根据权利要求13所述的碎片盒，其特征在于，所述调节板上设置有第一连接结构，所述第一连接结构可移动地连接于所述碎片盒本体的待安装位置上设置的第二连接结构上，使得所述调节板能够调节所述排液口的大小。

15.根据权利要求14所述的碎片盒，其特征在于，所述碎片盒还包括固定板，所述固定板设置于所述碎片盒本体的侧壁上，所述第二连接结构设置于所述固定板上。

16.根据权利要求15所述的碎片盒，其特征在于，所述第一连接结构与所述第二连接结构均为连接孔，螺栓穿过两个所述连接孔与螺母连接。

17.根据权利要求16所述的碎片盒，其特征在于，所述螺栓的螺帽抵靠在所述调节板上，所述螺母抵靠在所述固定板上；或者

所述螺栓的螺帽抵靠在所述固定板上，所述螺母抵靠在所述调节板上。

18.根据权利要求17所述的碎片盒，其特征在于，所述螺栓上设置有至少两个所述螺母，一个所述螺母与所述螺栓的螺帽分别抵靠在所述调节板两侧用于固定所述调节板，一个所述螺母抵靠在所述固定板上；或者

所述螺栓上设置有至少两个所述螺母，两个所述螺母分别抵靠在所述调节板两侧用于固定所述调节板，所述螺栓的螺帽抵靠在所述固定板上。

19.根据权利要求15所述的碎片盒，其特征在于，所述第一连接结构与所述第二连接结构均为连接孔，螺柱穿过两个所述连接孔且所述螺柱的两端分别通过螺母连接。

20.根据权利要求19所述的碎片盒，其特征在于，所述螺柱上设置有至少三个所述螺母，两个所述螺母分别抵靠在所述调节板的两侧用于固定所述调节板，一个所述螺母抵靠在所述固定板上。

21.根据权利要求15所述的碎片盒，其特征在于，所述第一连接结构为一体形成在所述调节板上的螺柱，所述第二连接结构为连接孔，所述螺柱穿过所述连接孔与螺母连接；或者

所述第一连接结构为连接孔，所述第二连接结构为一体形成在所述固定板上的螺柱，所述螺柱穿过所述连接孔与螺母连接。

22.根据权利要求15所述的碎片盒，其特征在于，所述调节板包括竖直段、第一侧板、第二侧板和第一水平段，所述第一侧板与所述第二侧板分别设置在所述竖直段的左右两侧，所述第一水平段与所述竖直段的底部连接，所述第一连接结构设置于所述第一水平段，所述固定板为与所述调节板的上部开口相匹配的水平板；或者

所述固定板包括第二水平段、第三侧板和第四侧板，所述第三侧板与所述第四侧板分别设置在所述第二水平段的左右两侧，所述第二连接结构设置于所述第二水平段上，所述调节板包括竖直段和水平段，所述第一连接结构设置于所述水平段，所述竖直段与所述第三侧板和第四侧板之间的部位相匹配。

23.根据权利要求14所述的碎片盒，其特征在于，所述第一连接结构为第一长条孔，所述第二连接结构为所述碎片盒本体的侧壁上设置的第一通孔，所述第一长条孔与所述第一通孔之间通过螺栓螺母组件连接；或者

所述第一连接结构为第一长条孔，所述第二连接结构为所述碎片盒本体的侧壁上固定设置的螺栓或螺柱，所述第一长条孔通过螺母紧固于所述螺栓或所述螺柱上；或者，

所述第一连接结构为第二通孔，所述第二连接结构为所述碎片盒本体的侧壁上设置的第二长条孔，所述第二通孔与所述第二长条孔之间通过螺栓螺母组件连接；或者

所述第一连接结构为螺栓或螺柱，所述第二连接结构为所述碎片盒本体的侧壁上设置的第二长条孔，所述螺栓或所述螺柱通过螺母紧固于所述第二长条孔上。

24.根据权利要求13所述的碎片盒，其特征在于，在所述碎片盒本体的底部的四角均设置有所述调节板和所述排液口。

25.根据权利要求1所述的碎片盒，其特征在于，所述碎片盒还包括液位传感器，所述液位传感器设置在所述碎片盒本体上，用于检测所述碎片盒本体中的液位。

26.根据权利要求1所述的碎片盒，其特征在于，所述碎片盒本体沿长度方向相对设置的两侧壁的外部上分别设置有支架，所述支架用于将所述碎片盒本体固定在待安装位置上。

27.一种供液***，其特征在于，包括：

权利要求1至26任一项所述的碎片盒；

供液组件，所述供液组件与所述传热部连通，用于向所述传热部提供热源。

28.根据权利要求27所述的供液***，其特征在于，所述供液组件包括：

供液缸本体，所述供液缸本体用于盛放切割液；

加热部，所述加热部设置在所述供液缸本体上，用于加热所述切割液；

供液泵，所述供液泵设置在所述供液缸本体上，用于向所述传热部提供加热后的所述切割液。

29.根据权利要求28所述的供液***，其特征在于，所述供液组件还包括隔板，所述隔板竖直设置在所述供液缸本体中，将所述供液缸本体分隔为沉淀区和加热区，所述加热部伸入所述供液缸本体并位于所述加热区。

30.根据权利要求29所述的供液***，其特征在于，所述供液组件还包括第二温度传感器，所述第二温度传感器设置在所述供液缸本体的加热区。

31.根据权利要求29所述的供液***，其特征在于，所述供液组件还包括回液部，所述回液部与所述供液缸本体的沉淀区连通，用于将废液回收至所述沉淀区。

32.一种线切割机，其特征在于，所述线切割机包括如权利要求1至26任一项所述的碎片盒、权利要求27至31任一项所述的供液***。

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