CN218286245U - 喷淋装置、切割液***及线切割机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及线切割机技术领域，具体提供一种喷淋装置、切割液***及线切割机，本申请旨在解决如何使得喷淋装置的切割流量满足不同尺寸的带切割材料的冷却要求的问题。为此目的，本申请喷淋装置包括：溢流盒，溢流盒上设置有第一进液口和溢流口，溢流盒内部设置有溢流槽；调流板，调流板安装在溢流盒上，用于调节溢流口的大小，使得喷淋装置能够根据待切割材料的尺寸调整溢流口的大小，进而改变切割液的流量，以满足不同尺寸的待切割材料的要求，提高了切割材料的切割质量和切割效率。

Description

喷淋装置、切割液***及线切割机

技术领域

本实用新型涉及线切割机技术领域，具体提供一种喷淋装置、切割液***及线切割机。

背景技术

目前，线切割技术由于具有生产效率高、作业成本低、作业精度高等特点，被广泛应用于半导体工件切割生产中。以金刚线线切割硅棒为例，金刚线在对硅棒切片时，金刚线高速运动并在线切割机的切割主辊带动下在硅棒表面高速往复磨削，将硅棒切削加工为硅片。但是切割过程中由于金刚线与硅棒之间的摩擦会产生高温和硅粉，使得硅片线痕和TTV(Total Thickness Variation，硅片厚度变化量)占比升高，硅片的切割良率降低。

现有的线切割机，无论是金刚线切割机还是砂浆线切割机，均会设置喷淋装置，通过喷洒切割液的方式对硅棒降温，清洁切割下来的硅粉，从而增加硅片的切割良率。

但是，目前的喷淋装置的切割液流量固定，该切割液流量只适应于特定尺寸的材料，而对于其他尺寸的材料的冷却效果较差，从而导致设备的切割质量不稳定。

因此，本领域需要一种新的技术方案来解决上述问题。

实用新型内容

为了解决现有技术中的至少一个问题，即为了解决如何实现喷淋装置的切割液流量满足不同尺寸的待切割材料的冷却要求的问题，本申请提供了一种喷淋装置包括：溢流盒，所述溢流盒上设置有第一进液口和溢流口，所述溢流盒内部设置有溢流槽；调流板，所述调流板安装在所述溢流盒上，用于调节所述溢流口的大小。

在上述喷淋装置的优选技术方案中，所述调流板上设置有第一连接结构，所述溢流盒上设置有第二连接结构，所述第一连接结构通过紧固件与所述第二连接结构连接，使得所述调流板能够沿直线方向调节。

通过在调流板上设置第一连接结构，溢流盒上设置第二连接结构，两个连接结构通过紧固件连接，使得调流板能够沿着直线方向移动改变溢流口的大小，从而改变切割液流量，实现了喷淋装置能够根据待切割材料的尺寸调整切割液的流量。

在上述喷淋装置的优选技术方案中，所述第一连接结构为腰孔，所述第二连接结构为圆孔；或者所述第一连接结构为圆孔，所述第二连接结构为腰孔；或者所述第一连接结构为圆孔，所述第二连接结构为定位孔，且所述定位孔设置有多个；或者所述第一连接结构为定位孔，且所述定位孔设置有多个，所述第二连接结构为圆孔。

通过第一连接结构为腰孔，第二连接结构为圆孔，或者第一连接结构为圆孔，第二连接结构为腰孔，或者第一连接结构为圆孔，第二连接结构为定位孔，且定位孔设置多个，再或者第一连接结构为定位孔，且定位孔设置多个，第二连接结构为圆孔，能够调整调流板位置，改变溢流口的大小，使得喷淋装置能够适应不同尺寸的待切割材料，进而提高了不同尺寸的待切割材料的冷却效果。

在上述喷淋装置的优选技术方案中，所述喷淋装置还包括导流板，所述导流板设置在所述调流板下方的所述溢流盒上，并且所述导流板从所述溢流口沿远离所述溢流盒的方向延伸。

通过在调流板下方的溢流盒上设置导流板，能够引导溢流口流出的切割液流向待切割材料，从而提高待切割材料的冷却效果。

在上述喷淋装置的优选技术方案中，所述调流板包括竖直段和倾斜段，所述第一连接结构设置在所述竖直段，所述倾斜段沿所述竖直段的底部向远离所述溢流盒的方向倾斜延伸。

通过将调流板设置为竖直段和倾斜段，竖直段能够调整溢流口的大小，从而改变切割液的流量，倾斜段与导流板之间能够形成流通通道，供切割液流通。

在上述喷淋装置的优选技术方案中，所述调流板还包括挡流段，所述挡流段沿所述倾斜段的底部向靠近所述导流板的方向延伸。

通过在倾斜段的底部设置挡流段，挡流段沿倾斜段的底部向靠近导流板的方向延伸，挡流段能够改变流通通道出口的大小，当切割液流量变大时，能够减小出液流量，达到节省切割液的目的。同时，挡流段的设置还能够对从溢流口流出的切割液进行稳流，提高切割液的流动持续性和稳定性，进而提高切割液的冷却效果的一致性。

在上述喷淋装置的优选技术方案中，所述调流板上设置有第三连接结构，所述溢流盒上设置有第四连接结构，所述第三连接结构通过紧固件与所述第四连接结构连接，使得所述调流板能够相对于所述溢流盒枢转。

通过在调流板上设置第三连接结构，溢流盒上设置第四连接结构，两个连接结构通过紧固件连接，使得调流板能够相对于溢流盒枢转，改变溢流口大小，从而改变切割液流量，实现了喷淋装置能够根据待切割材料的尺寸调整切割液的流量。

在上述喷淋装置的优选技术方案中，所述喷淋装置还包括两端封闭的喷淋管，所述喷淋管至少部分设置在所述溢流盒内，且位于所述溢流槽的上方，所述喷淋管上设置有第二进液口以及喷淋孔，所述第二进液口与所述第一进液口连通，所述喷淋孔与所述溢流槽连通；并且/或者所述溢流盒上设置有安装板，能够将所述喷淋装置安装在线切割机上。

通过在溢流槽的上方设置喷淋管，使得切割液先通过喷淋管再流入到溢流槽内，能够稳定切割液的流量，使得切割液能够持续对待切割材料进行冷却，提高待切割材料的冷却效果。

本领域技术人员可以理解的是，本实用新型的喷淋装置包括溢流盒和调流板，溢流盒上设置有第一进液口和溢流口，溢流盒内部设置有溢流槽，调流板安装在溢流盒上，用于调节溢流口的大小，使得喷淋装置能够根据待切割材料的尺寸调整溢流口的大小，进而改变切割液的流量，以满足不同尺寸的待切割材料的要求，使得不同尺寸的待切割材料在切割时均具有良好的冷却效果，提高切割材料的切割质量。

本实用新型喷淋装置在对切割材料进行冷却时，切割液由进液口进入到溢流盒内，先集聚在溢流槽，当溢流槽内的切割液的液位超过溢流口时，切割液从溢流口流出对待切割材料进行冷却，能够减少切割液流量波动，使得切割液能够持续地对待切割材料进行冷却，提高待切割材料的冷却效果。

本实用新型还提供了一种切割液***，所述切割液***包括上述喷淋装置。

需要说明的是，该切割液***具有前述的喷淋装置的所有技术效果，在此不再赘述。

本实用新型还提供了一种线切割机，所述线切割机包括上述喷淋装置，或者上述切割液***。

需要说明的是，该线切割机具有前述的喷淋装置的所有技术效果，在此不再赘述。

附图说明

下面结合附图来描述本实用新型的优选实施方式，附图中：

图1是本实用新型一种实施例的喷淋装置的结构图；

图2是本实用新型一种实施例的喷淋装置的剖面图。

附图标记列表：

1、溢流盒；11、溢流口；12、第一进液口；13、溢流槽；14、安装板；2、调流板；21、竖直段；22、倾斜段；23、挡流段；24、挡板；25、腰孔；26、螺栓；27、螺母；3、导流板；4、喷淋管；41、第二进液口；42、喷淋孔。

具体实施方式

下面参照附图来描述本申请的优选实施方式。本领域技术人员应当理解的是，这些实施方式仅仅用于解释本申请的技术原理，并非旨在限制本申请的保护范围。例如，虽然本实施方式是结合适用于线切割机进行介绍的，但是这并非旨在于限制本申请的保护范围，在不偏离本申请原理的条件下，本领域技术人员可以将本申请应用于其他应用场景。例如，本申请的喷淋装置显然还能够应用于其他类型的切割机，如适用于等离子切割机、激光切割机等。

需要说明的是，在本申请的描述中，术语“上”、“下”、“内”、“底部”等指示的方向或位置关系的术语是基于附图所示的方向或位置关系，这仅仅是为了便于描述，而不是指示或暗示所述装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，还需要说明的是，在本申请的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“连通”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域技术人员而言，可根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

首先参照图1至图2，对本申请的喷淋装置进行描述。其中，图1为本申请的喷淋装置的结构图，图2为本申请的喷淋装置的剖视图。

如图1所示，为了解决如何实现喷淋装置的切割流量满足不同尺寸的待切割材料的冷却要求的问题，本申请的喷淋装置包括溢流盒1，溢流盒1上设置有第一进液口12和溢流口11，溢流盒1内部设置有溢流槽13；调流板2，调流板2安装在溢流盒1上，用于调节溢流口11的大小。

当采用本实用新型喷淋装置在对待切割材料进行冷却时，切割液由第一进液口12进入到溢流盒1内，先集聚在溢流槽13，当溢流槽13内的切割液的液位超过溢流口11时，切割液从溢流口11流出对待切割材料进行冷却，这样的设置方式能够减少切割液流量波动，使得切割液能够持续地对待切割材料进行冷却，提高待切割材料的冷却效果。

本申请中，通过在溢流盒1上安装调流板2，调流板2能够改变溢流口11的大小，使得喷淋装置能够根据待切割材料的尺寸调整溢流口11的大小，进而改变切割液的流量，使得切割液流量能够满足不同尺寸的待切割材料的冷却要求，提高了切割材料的切割质量和切割效率。

下面进一步参照图1-2，对本申请的喷淋装置的一种优选实施方式进行介绍。本领域技术人员能够理解，以下介绍的实施方式仅仅用于阐述本申请的原理，并非旨在限制本申请的保护范围。在满足喷淋装置至少包括溢流盒1、调流板2和溢流槽13，且溢流盒1上设置有第一进液口和溢流口11的前提下，本领域技术人员可以对以下设置方式进行调整，以便本申请能够适用于更加具体的应用场景。

如图1和图2所示，在一种较为优选的实施方式中，喷淋装置包括溢流盒1、调流板2和导流板3。

参照图1，溢流盒1顶部设置有两个第一进液口12和一个安装板14，第一进液口12为快装卡箍接头，其截面为圆形，并且通过卡箍能够将第一进液口12与供液管道或通道连接。安装板14位于两个第一进液口12之间，切割液由第一进液口12进入溢流盒1内，安装板14的设计能够将喷淋装置安装在线切割机上，对待切割材料进行冷却。

当然，本申请对于第一进液口12、安装板14的具体设置位置、数量以及形状并非一成不变，本领域技术人员可以基于具体应用场景来改变其设置位置、数量以及形状。如，第一进液口12的截面还以为三角形、方形、椭圆形、多边形等，并且/或者第一进液口12还可以为螺纹口、或扳把式快装接头等，并且/或者溢流盒1顶部敞开作为第一进液口12，并且/或者安装板14还可以设置在溢流盒1的侧面或底面上。

需要说明的是，第一进液口12与供液管道或通道连接方式并非一成不变，本领域技术人员可以基于具体应用场景来改变其设置方式。如，通过螺纹的连接方式将螺纹的第一进液口12与供液管道或通道连接到一起，或者通过C型快速接头将扳把式快装接头第一进液口12与供液管道或通道连接到一起。

接着参照图1和图2，溢流盒1的侧面中间位置设置有溢流口11，溢流口11沿溢流盒1的长度方向开设在溢流盒1的侧壁上，溢流口11下方的溢流盒1内部形成溢流槽13，当切割液由第一进液口12进入到溢流盒1内后，先集聚在溢流槽13内，当溢流槽13内的切割液的液位超过溢流口11时，切割液从溢流口11流出。

当然，溢流口11的设置位置以及设置方式并非一成不变，本领域技术人员可以基于具体应用场景来改变其设置位置以及设置方式。如，溢流口11可以设置在溢流盒1任意位置，只要溢流口11下方的溢流盒1内部能够形成溢流槽13即可。溢流口11可以设置多个，多个溢流口11可以沿着溢流盒1的长度方向开设在溢流槽13的侧壁上。该溢流口11可以为圆孔、椭圆孔、十字孔等规则孔，或者不规则孔等。

需要说明的是，本申请中溢流槽13设置成倒梯形槽，使得切割液的流量更加稳定，保证切割液能够持续地、稳定地对待切割材料进行冷却。显然，溢流槽13还存在其他结构，本领域技术人员可以根据具体的应用场景灵活选择溢流槽13的结构，只要能够稳定切割液的流量，使得切割液能够对待切割材料进行冷却即可。其中，溢流槽13不仅可以作为溢流盒1一部分，而且溢流槽13与溢流盒1还可以相互独立，如，溢流盒1下方设置具有溢流槽13的盒体，溢流盒1底部敞开，或者设置出液口，溢流盒1内的切割液可以自溢流盒1底部或者出液口流动到溢流槽13内，对应的溢流口11可以设置在溢流盒1上或者具有溢流槽13的盒体上，只要能够实现切割液溢流，本领域技术人员可以基于具体应用场景来选择溢流槽13的设置方式。

下面对调流板2的具体实施方式进行介绍。首先需要说明的是，实现改变溢流口11大小有多种方式，例如调节板2沿直线方向改变溢流口11的大小，或者调流板2以转动的方式改变溢流口11的大小。

在一种可能的实施方式中，调流板2上设置有第一连接结构，溢流盒1上设置有第二连接结构，第一连接结构通过紧固件与第二连接结构连接，使得调流板2能够沿线条方向改变位置，进而改变溢流口11大小，使得喷淋装置能够根据材料的尺寸改变切割液的流量，用于满足不同尺寸的待切割材料的冷却需求，使得喷淋装置的适用范围更广泛。

具体地，参照图1和图2，溢流盒1的外侧设置有调流板2，调流板2靠近溢流口11设置，调流板2上纵向设置有腰孔25，调流盒的侧面设置有圆孔(图中未示出)，圆孔设置在溢流口11上方，腰孔25与圆孔之间通过螺栓26、螺母27连接。在调整溢流口11大小前，旋松螺栓26，根据腰孔25的方向调整调流板2的位置，进而改变溢流口11的大小，再旋紧螺栓26将调流板2与溢流盒1固定，从而实现调流板2沿竖直方向调节溢流口11的大小。优选地，为方便螺栓26的旋紧和旋松，可以将螺母27固定在溢流盒1上，如焊接、粘接或卡接等。

当然，第一连接结构与第二连接结构具体的设置方式并非一成不变，本领域技术人员可以基于具体应用场景来改变其设置方式。例如，第一连接结构与第二连接结构是可以互换，如第一连接结构为圆孔，第二连接结构为腰孔，同样能够使得调流板2沿着溢流盒1上腰孔的方向移动，进而改变溢流口11的大小，从而实现切割液流量的调整。当然，本申请对调流板2的设置位置并非一成不变，本领域技术人员可以基于具体应用场景来改变其设置位置。如，调流板2还可以部分或全部设置在溢流盒1内。另外，腰孔不仅可以是竖直腰孔，还可以倾斜腰孔，或者曲线腰孔，或者任意长条形，或者任意弧形。圆孔不是必须要是横截面为圆形，还可以为方形、其他多边形等，只要能够在改变调流板2的位置时改变溢流口11大小，本领域技术人员可以基于具体应用场景来改变其设置方式。调流板2上腰孔数量以及溢流盒1上对应的圆孔的数量可以为1个，也可以为多个，本领域技术人员可以在实际应用中根据需求灵活地设置腰孔25、圆孔的具体数量。

需要说明的是，第一连接结构与第二连接结构也不仅限于圆孔和腰孔25，可以采用其他形式，如第一连接结构为圆孔，第二连接结构为与圆孔内径相等或稍大的定位孔，且定位孔设置有多个，多个定位孔沿竖直方向排列，定位孔与圆孔之间通过螺栓、螺母连接，调流板2根据溢流盒1上定位孔的位置可改变调流板2的位置，进而改变溢流口11的大小。或者，第一连接结构为定位孔，第二连接结构可为圆孔，且定位孔设置有多个，多个定位孔沿竖直方向排列，使得调流板2能够根据其上的定位孔调整调流板2与溢流盒1的相对位置，进而改变溢流口11的大小。本领域技术人员对多个定位孔的排列方向并非一成不变，本领域技术人员可以基于具体应用场景来改变其排列方向。如多个定位孔可以沿斜线方向排列，也可以沿曲线方向排列，还可以按照不规则的方向排列等；另外，定位孔的横截面可以为圆形、方形或者其他形状等，圆孔也不是必须要是横截面为圆形，还可以为方形、其他多边形等，只要能够在改变调流板2的位置时改变溢流口11大小即可。

需要说明的是，紧固件除了可以螺栓26、螺母27，还可以是能够实现拆装的卡合件，又可以是其他能够拆装的结构。第一连接结构与第二连接结构之间可以通过一个紧固件连接，也可以通过多个紧固件连接，本领域技术人员可以在实际应用中根据需求灵活地设置紧固件的具体数量。

继续参照图1和图2，导流板3设置在调流板2下方的溢流盒1上，并且导流板3从溢流口11的下边缘沿远离溢流盒1的方向延伸并向下倾斜，使得溢流口11流出的切割液能够沿着导流板3流动至待切割材料上，提高了待切割材料的冷却效果，提高切割材料的切割质量和切割效率。

当然，导流板3的设置方式并非一成不变，只要能够将溢流槽13内的切割液引导流出，本领域技术人员可以基于具体应用场景来改变其设置方式。例如，导流板3除了可以是直线导流板，还可以为弧形导流板，并且/或者导流板3可以水平设置，甚至还可以从溢流口11沿远离溢流盒1的方向延伸向上。而当导流板3水平或者从溢流口11沿远离溢流盒1的方向延伸向上设置时，为了使得切割液能够沿着导流板3流至待切割材料上，可以在导流板3两侧设置挡板24，挡板24与溢流盒1一体成型并沿着溢流盒1向远离导流板3的方向延伸，避免切割液从导流板3两侧流出，造成切割液的浪费。当然，参见图1，导流板3从溢流口11沿远离溢流盒1的方向延伸向下时，也可以在导流板3两侧设置挡板24。两个挡板24与导流板3形成供液通道，使得切割液能够通过供液通道流至待切割材料上，避免切割液浪费。

需要说明的是，挡板24可以固定在导流板3上，能够使得切割液的流动方向固定，也可以相对导流板3或溢流盒1枢转摆动，能够改变切割液的流动方向。如，挡板24可以通过螺丝固定在导流板3上；或者挡板24上可设置螺纹轴，溢流盒1或导流板3上设置螺纹孔，部分螺纹轴伸出孔后通过螺母紧固，使得挡板24能够以螺纹轴为中心转动，改变挡板24的位置，进而实现切割液流动方向的改变；或者挡板24上可设置螺纹孔，溢流盒1或导流板3上设置螺纹轴，部分螺纹轴伸出孔后通过螺母紧固，同样能够实现切割液流动方向的改变。

进一步参照图2，调流板2包括竖直段21、倾斜段22和挡流段23，腰孔25设置在竖直段21，倾斜段22沿竖直段21的底部向远离溢流盒1的方向倾斜延伸向下，挡流段23沿倾斜段22的底部向靠近导流板3的方向延伸。其中，竖直段21用于改变溢流口11的大小，倾斜段22与导流板3之间能够形成用于切割液流通的通道，挡流段23能够对流出的切割液进行阻挡稳流，提高通道内切割液流动的平稳性。

当然，调流板2的设置方式并非一成不变，只要切割液能够流至待切割材料，提高了待切割材料的冷却效果，进而提高了切割材料的切割质量和切割效率，本领域技术人员可以基于具体应用场景来改变其设置方式。例如，调流板2可以只包括竖直段21，或者调流板2包括竖直段21和倾斜段22。

在另一种可替换的实施方式中，调流板2上设置有第三连接结构，溢流盒1上设置有第四连接结构，第三连接结构通过紧固件与第四连接结构连接，使得调流板2能够相对于溢流盒1枢转，使得调流板2能够以转动的方式改变溢流口11的大小，满足不同尺寸的待切割材料的冷却需求，使得喷淋装置的适用范围更广。

具体地，第三连接结构为水平设置的螺纹轴，第四连接结构为豁口，螺纹轴至少一部分插设在豁口内，其余部分螺纹轴伸出豁口后通过螺母紧固，使得调流板2能够以螺纹轴为中心上下转动，从而改变溢流口11的大小，进而改变切割液的流量。

当然，第三连接结构与第四连接结构的具体的设置方式并非一成不变，本领域技术人员可以基于具体应用场景来改变其设置方式。例如，第三连接结构与第四连接结构是可以互换，如第三连接结构为豁口，第四连接结构为螺纹轴，同样调流板2能够以螺纹轴为中心转动，从而改变溢流口11的大小，进而改变切割液的流量。第三连接结构与第四连接结构也不仅限于螺纹轴、豁口，可以采用其他形式，如第三连接结构为螺纹孔，第四连接结构为通孔，螺纹孔的孔壁上开设有螺纹，通过螺栓穿过通孔螺接在螺纹孔固定调流板2，使得调流板2能够以螺栓轴为中心转动，从而改变溢流口11的大小。或者第三连接结构为通孔，第四连接结构为螺纹孔，螺栓穿过通孔与螺纹孔紧固，使得调流板2能够以螺栓轴为中心转动，从而改变溢流口11的大小。

需要说明的是，螺纹轴除了可以水平设置之外，还可以倾斜设置，只要能够改变溢流口11的大小，本领域技术人员可以基于具体应用场景来改变其设置方式。

参照图1和图2，喷淋装置还包括两端封闭的喷淋管4，喷淋管4呈圆筒状，喷淋管4至少部分设置在溢流盒1内，且位于溢流槽13的上方，两端伸出溢流盒1，溢流盒1内喷淋管4顶部设置有第二进液口41，底部设置有喷淋孔42，第二进液口41与第一进液口12连通，喷淋孔42与溢流槽13连通。切割液先通过喷淋管4再流入到溢流槽13内，能够稳定切割液的流量，使得切割液能够持续对待切割材料进行冷却，提高了待切割材料的冷却效果。

当然，喷淋管4的形状以及设置位置并非一成不变，本领域技术人员可以基于具体应用场景来改变其形状以及设置位置。如，喷淋管4还可以呈方筒状，或者其他形状；喷淋管4还可以完全设置在溢流盒1内，或者喷淋管4还可以完全设置在溢流盒1外。当喷淋管4完全设置在溢流盒1外时，喷淋孔42与溢流槽13可以通过连接件连通。另外，喷淋孔42的数量可以是1个，也可以是多个，本领域技术人员可以基于具体应用场景灵活改变喷淋孔42的数量。当喷淋孔42的数量为1时，喷淋孔42可以长条孔，沿喷淋管4的长度方向延伸设置；当喷淋孔42的数量为多个时，喷淋孔42可以为圆孔、方孔等，多个喷淋孔42可以沿喷淋管4的长度方向设置。

此外，本实用新型还提供了一种切割液***，该切割液***为上述任一实施方式中所述的喷淋装置。

此外，本实用新型还提供了一种线切割机，该线切割机包括上述任一实施方式中所述的喷淋装置，或者上述的切割液***。

综上所述，本实用新型的线切割机配置有喷淋装置。该喷淋装置溢流口11的大小可以调整，当待切割材料的尺寸小时，溢流口11在调流板2的作用下变小，当待切割材料的尺寸大时，溢流口11在调流板2的作用下变大，使得溢流口11的大小能够根据待切割材料的尺寸大小进行调整，由于切割液的流量与溢流口11的大小正相关，使得喷淋装置能够根据待切割材料大小调整切割液的流量，以满足不同尺寸的待切割材料的冷却要求，提高了切割材料的切割质量和切割效率。

本领域的技术人员能够理解，尽管在此所述的一些实施例包括其它实施例中所包括的某些特征而不是其它特征，但是不同实施例的特征的组合意味着处于本申请的范围之内并且形成不同的实施例。例如，在本申请的权利要求书中，所要求保护的实施例的任意之一都可以以任意的组合方式来使用。

至此，已经结合附图所示的优选实施方式描述了本申请的技术方案，但是，本领域技术人员容易理解的是，本申请的保护范围显然不局限于这些具体实施方式。在不偏离本申请的原理的前提下，本领域技术人员可以对相关技术特征作出等同的更改或替换，这些更改或替换之后的技术方案都将落入本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种喷淋装置，其特征在于，所述喷淋装置包括：

溢流盒，所述溢流盒上设置有第一进液口和溢流口，所述溢流盒内部设置有溢流槽；

调流板，所述调流板安装在所述溢流盒上，用于调节所述溢流口的大小。

2.根据权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于，所述调流板上设置有第一连接结构，所述溢流盒上设置有第二连接结构，所述第一连接结构通过紧固件与所述第二连接结构连接，使得所述调流板能够沿直线方向调节。

3.根据权利要求2所述的喷淋装置，其特征在于，所述第一连接结构为腰孔，所述第二连接结构为圆孔；或者

所述第一连接结构为圆孔，所述第二连接结构为腰孔；或者

所述第一连接结构为圆孔，所述第二连接结构为定位孔，且所述定位孔设置有多个；或者

所述第一连接结构为定位孔，且所述定位孔设置有多个，所述第二连接结构为圆孔。

4.根据权利要求2所述的喷淋装置，其特征在于，所述喷淋装置还包括导流板，所述导流板设置在所述调流板下方的所述溢流盒上，并且所述导流板从所述溢流口沿远离所述溢流盒的方向延伸。

5.根据权利要求4所述的喷淋装置，其特征在于，所述调流板包括竖直段和倾斜段，所述第一连接结构设置在所述竖直段，所述倾斜段沿所述竖直段的底部向远离所述溢流盒的方向倾斜延伸。

6.根据权利要求5所述的喷淋装置，其特征在于，所述调流板还包括挡流段，所述挡流段沿所述倾斜段的底部向靠近所述导流板的方向延伸。

7.根据权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于，所述调流板上设置有第三连接结构，所述溢流盒上设置有第四连接结构，所述第三连接结构通过紧固件与所述第四连接结构连接，使得所述调流板能够相对于所述溢流盒枢转。

8.根据权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于，所述喷淋装置还包括两端封闭的喷淋管，所述喷淋管至少部分设置在所述溢流盒内，且位于所述溢流槽的上方，所述喷淋管上设置有第二进液口以及喷淋孔，所述第二进液口与所述第一进液口连通，所述喷淋孔与所述溢流槽连通；并且/或者

所述溢流盒上设置有安装板，能够将所述喷淋装置安装在线切割机上。

9.一种切割液***，其特征在于，所述切割液***包括权利要求1-8任一项所述的喷淋装置。

10.一种线切割机，其特征在于，所述线切割机包括权利要求1-8任一项所述的喷淋装置，或者权利要求9所述的切割液***。

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