CN218286221U - 碎片盒、供液***及线切割机 - Google Patents

Abstract

本申请涉及线切割技术领域，具体提供一种碎片盒、供液***及线切割机，旨在解决已经切开的切片部分温度快速下降，导致切片发生变形的问题。为此目的，本申请的碎片盒包括碎片盒本体和加热器。碎片盒本体的顶部敞开，能够盛放切割液。加热器设置在碎片盒本体中，用于加热碎片盒本体内部的切割液。本申请提供的技术方案加热器可以加热碎片盒本体内部的切割液，使切割液的温度升高，避免已经切开的切片部分温度快速下降而导致切片发生变形。

Description

碎片盒、供液***及线切割机

技术领域

本申请涉及线切割技术领域，具体涉及一种碎片盒、供液***及线切割机。

背景技术

多线切割是一种通过切割线的高速往复运动，把磨料带入待切割件的加工区域进行研磨，将待切割件一次同时切割为数百片薄片的一种切割加工方法。

在切割过程中，待加工件(例如晶棒)与切割线摩擦使晶棒及切片的温度升高。随着切割过程的进行，已经切开的切片部分的温度快速降低，容易导致切片发生变形，进而影响切片的品质。

相应地，本领域需要一种新的技术方案来解决上述问题。

实用新型内容

本申请旨在解决上述技术问题，即，解决已经切开的切片部分温度快速下降，导致切片发生变形的问题。

为了解决现有技术中的上述问题，本申请提供一种碎片盒，包括：

碎片盒本体，所述碎片盒本体的顶部敞开，所述碎片盒本体能够盛放切割液；

加热器，所述加热器设置在所述碎片盒本体中，用于加热所述碎片盒本体内部的切割液。

在采用上述技术方案的情况下，加热器可以加热碎片盒本体内部的切割液，使切割液的温度升高，避免已经切开的切片部分温度快速下降而导致切片发生变形。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述加热器为电加热器，所述电加热器与外部电源连接。

在采用上述技术方案的情况下，可以通过与外部电源连接的电加热器方便地加热碎片盒本体内部的切割液，使切割液的温度升高，避免已经切开的切片部分温度快速下降而导致切片发生变形。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述电加热器的加热方式为电阻加热、电磁加热或红外线加热。

在采用上述技术方案的情况下，电加热器可以通过多种方式进行加热。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述电加热器包括彼此连接的接线端和加热体，所述接线端连接于所述碎片盒本体的侧壁上，所述加热体伸入所述碎片盒本体的内部。

在采用上述技术方案的情况下，接线端可以与外部电源连接给加热体供电，加热体加热碎片盒本体中的切割液，使切割液的温度升高，避免已经切开的切片部分温度快速下降而导致切片发生变形。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述接线端连接在所述碎片盒本体沿宽度方向的侧壁上。

在采用上述技术方案的情况下，可以避免连接端与线网发生干涉影响切割。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述加热体设置在所述碎片盒本体的底部并沿所述碎片盒本体的长度方向延伸。

在采用上述技术方案的情况下，加热体沿碎片盒本体的长度方向设置，可以使热量均匀扩散。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述加热体为加热棒；或者

所述加热体为加热盘管。

在采用上述技术方案的情况下，可以实现加热体的简单设置。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述接线端通过法兰固定在所述碎片盒本体的外侧壁上；或者

所述接线端上设置有螺纹，所述碎片盒本体的外侧壁上开设有第一螺孔，所述接线端螺接在所述碎片盒本体的外侧壁上。

在采用上述技术方案的情况下，可以避免加热体晃动扰动碎片盒本体内部的液体。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述碎片盒还包括温度传感器，所述温度传感器设置在所述碎片盒本体上，用于监控所述碎片盒本体中的切割液的温度。

在采用上述技术方案的情况下，可以通过温度传感器监控碎片盒本体中的切割液的温度，以根据实际情况的需求调整加热器的加热量。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述温度传感器上设置有螺纹，所述碎片盒本体上开设有第二螺孔，所述温度传感器螺接在所述碎片盒本体的侧壁上。

在采用上述技术方案的情况下，可以将温度传感器螺接在碎片盒本体上，避免温度传感器晃动而导致测得的温度值发生波动。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述碎片盒本体上设置有排液口，所述碎片盒还包括调节板，所述调节板设置在所述碎片盒本体上，用于调节所述排液口的大小。

在采用上述技术方案的情况下，可以根据实际情况的需要通过调节板调节排液口的大小，进而调整排液量，保持碎片盒内切割液处于稳定状态。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述调节板上设置有第一连接结构，所述第一连接结构可移动地连接于所述碎片盒本体的待安装位置上设置的第二连接结构上，使得所述调节板能够调节所述排液口的大小。

在采用上述技术方案的情况下，可以通过第一连接结构相对于第二连接结构的移动实现调节板对排液口的调节，进而调整排液量。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述碎片盒还包括固定板，所述固定板设置于所述碎片盒本体的侧壁上，所述第二连接结构设置于所述固定板上。

在采用上述技术方案的情况下，调节板可以通过设置在固定板上的第二连接结构进行移动实现调节板对排液口的调节，进而调整排液量。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述第一连接结构与所述第二连接结构均为连接孔，螺栓穿过两个所述连接孔与螺母连接。

在采用上述技术方案的情况下，可以通过螺栓与螺母连接位置的变化，简单实现调节板对排液口的调节，进而调整排液量。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述螺栓的螺帽抵靠在所述调节板上，所述螺母抵靠在所述固定板上；或者

所述螺栓的螺帽抵靠在所述固定板上，所述螺母抵靠在所述调节板上。

在采用上述技术方案的情况下，可以通过螺栓与螺母连接位置的变化，简单实现调节板对排液口的调节，进而调整排液量。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述螺栓上设置有至少两个所述螺母，一个所述螺母与所述螺栓的螺帽分别抵靠在所述调节板两侧用于固定所述调节板，一个所述螺母抵靠在所述固定板上；或者

所述螺栓上设置有至少两个所述螺母，两个所述螺母分别抵靠在所述调节板两侧用于固定所述调节板，所述螺栓的螺帽抵靠在所述固定板上。

在采用上述技术方案的情况下，可以在实现调节板对排液口的调节调整排液量的同时，避免调节板晃动影响对排液量的调整。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述第一连接结构与所述第二连接结构均为连接孔，螺柱穿过两个所述连接孔且所述螺柱的两端分别通过螺母连接。

在采用上述技术方案的情况下，可以通过螺栓实现调节板的移动，进而调整排液量。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述螺柱上设置有至少三个所述螺母，两个所述螺母分别抵靠在所述调节板的两侧用于固定所述调节板，一个所述螺母抵靠在所述固定板上。

在采用上述技术方案的情况下，可以在通过螺柱实现调节板对排液口的调节调整排液量的同时，避免调节板晃动影响对排液量的调整。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述第一连接结构为一体形成在所述调节板上的螺柱，所述第二连接结构为连接孔，所述螺柱穿过所述连接孔与螺母连接；或者

所述第一连接结构为连接孔，所述第二连接结构为一体形成在所述固定板上的螺柱，所述螺柱穿过所述连接孔与螺母连接。

在采用上述技术方案的情况下，可以通过与调节板或固定板一体成型的螺柱实现对调节板的移动调整排液口的大小，进而调整排液量。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述调节板包括竖直段、第一侧板、第二侧板和第一水平段，所述第一侧板与所述第二侧板分别设置在所述竖直段的左右两侧，所述第一连接结构设置于所述水平段，所述固定板为与所述调节板的上部开口相匹配的水平板；或者

所述固定板包括第二水平段、第三侧板和第四侧板，所述第三侧板与所述第四侧板分别设置在所述第二水平段的左右两侧，所述调节板包括竖直段和水平段，所述第一连接结构设置于所述水平段，所述竖直段与所述第三侧板和第四侧板之间的部位相匹配。

在采用上述技术方案的情况下，可以作为调节板或者固定板的一种设置方式。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述第一连接结构为第一长条孔，所述第二连接结构为所述碎片盒本体的侧壁上设置的第一通孔，所述第一长条孔与所述第一通孔之间通过螺栓螺母组件连接；或者

所述第一连接结构为第一长条孔，所述第二连接结构为所述碎片盒本体的侧壁上固定设置的螺栓或螺柱，所述第一长条孔通过螺母紧固于所述螺栓或所述螺柱上；或者

所述第一连接结构为第二通孔，所述第二连接结构为所述碎片盒本体的侧壁上设置的第二长条孔，所述第二通孔与所述第二长条孔之间通过螺栓螺母组件连接；或者

所述第一连接结构为螺栓或螺柱，所述第二连接结构为所述碎片盒本体的侧壁上设置的第二长条孔，所述螺栓或所述螺柱通过螺母紧固于所述第二长条孔上。

在采用上述技术方案的情况下，可以通过调整调节板上的第一调节孔与第一通孔的连接位置移动调节板，实现对排液口大小的调整进而调整排液量。或者，通过调整碎片盒本体的侧壁上设置的第二长条孔与第二通孔的连接位置移动调节板，实现对排液口大小的调整进而调整排液量。

在上述碎片盒的具体实施方式中，在所述碎片盒本体的底部的四角均设置有所述调节板和所述排液口。

在采用上述技术方案的情况下，可以通过多个排液口将碎片盒中的废液排出，提高排液效率。同时，排液口均布在碎片盒本体的底部四角，可以均匀的排液，进而有利于碎片盒本体保持平衡。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述碎片盒还包括液位传感器，所述液位传感器设置在所述碎片盒本体上，用于检测所述碎片盒本体中的液位。

在采用上述技术方案的情况下，可以通过液位传感器监测碎片盒本体中的液位，便于将液位控制在合适的范围。

在上述碎片盒的具体实施方式中，所述碎片盒本体沿长度方向相对设置的两侧壁的外部上分别设置有支架，所述支架用于将所述碎片盒本体固定在线切割机上。

第二方面，本申请提供一种供液***，该供液***包括上述的碎片盒。

在采用上述技术方案的情况下，供液***提供的切割液可以在碎片盒中进行加热，使切割液的温度升高，避免已经切开的切片部分降温过快而发生变形。

第三方面，本申请提供一种线切割机，所述线切割机包括上述的碎片盒或上述的供液***。

在采用上述技术方案的情况下，线切割机切割后的切片进入碎片盒本体后，进入加热器升温后的切割液中，可以避免切片降温过快而发生变形。

附图说明

图1为本申请一实施例提供的碎片盒结构图。

图2为本申请一实施例提供的另一碎片盒结构图。

附图标记列表

1、碎片盒，11、碎片盒本体，111、排液口，12、电加热器，121、加热体，122、接线端，13、调节板，14、固定板，15、温度传感器，16、支架；

2、螺栓；

3、螺母；

4、法兰。

具体实施方式

下面参照附图来描述本申请的优选实施方式。本领域技术人员应当理解的是，这些实施方式仅用于解释本申请的技术原理，并非用于限制本申请的保护范围。本领域技术人员可以根据需要对其作出调整，以便适应具体的应用场合。例如，尽管说明书中的供液***是结合为碎片盒的供液来描述的，但是，本申请的供液***显然也可以同时用于为主轴、轴承箱等提供冷却液。

需要说明的是，在本申请的描述中，“顶部”、“外”、“水平”、“上”、“底部”、“竖直”、“左右”等指示位置关系的术语是基于附图所示的方向或位置关系，这仅仅是为了便于描述，而不是指示或暗示相关装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，序数词“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，还需要说明的是，在本申请的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”等应作广义理解。例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接或一体连接；可以是机械连接，也可以是其他连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域技术人员而言，可根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

为了解决已经切开的切片部分温度快速下降，导致切片发生变形的问题，本申请提供一种碎片盒，该碎片盒包括碎片盒本体和加热器。碎片盒本体的顶部敞开，能够盛放切割液。加热器设置在碎片盒本体中，用于加热碎片盒本体内部的切割液。

本申请提供的技术方案中，加热器可以加热碎片盒本体内部的切割液，使切割液的温度升高，避免已经切开的切片部分温度快速下降而导致切片发生变形，提高切割质量和硅片良率。

下面结合图1至图2对本申请的碎片盒进行描述。

如图1和图2所示，本申请提供一种碎片盒1，该碎片盒1包括碎片盒本体11和加热器。碎片盒本体11的顶部敞开，能够盛放切割液。加热器设置在碎片盒本体11中，用于加热碎片盒本体11内部的切割液。

如此，加热器可以加热碎片盒本体11内部的切割液，使切割液的温度升高，避免已经切开的切片部分温度快速下降而导致切片发生变形。

参见图1和图2，在上述碎片盒1的优选实施方式中，加热器为电加热器12，电加热器12与外部电源连接。电加热器12包括彼此连接的接线端122和加热体121。接线端122连接在碎片盒本体11沿宽度方向的侧壁上，通过法兰4固定在碎片盒本体11的外侧壁上。加热体121伸入碎片盒本体11的内部，设置在碎片盒本体11的底部并沿碎片盒本体11的长度方向延伸。优选地，加热体121为直线型加热管，加热方式为电阻加热。

如此，接线端122可以与外部电源连接给加热体121供电，加热体121加热碎片盒本体11中的切割液，使切割液的温度升高，避免已经切开的切片部分温度快速下降而导致切片发生变形，提高切割质量和硅片良率。此外，接线端122连接在碎片盒本体11沿宽度方向的侧壁上，可以避免连接端与线网发生干涉影响切割。并且，加热体121沿碎片盒本体11的长度方向设置，可以使热量均匀扩散。然后，加热体121通过法兰4固定在碎片盒本体11上，可以避免加热体121晃动扰动碎片盒本体11内部的液体。

需要说明的是，加热体121也可以设置在碎片盒本体11的其他合适的位置。并且，加热体121也可以为其他形式，例如加热体121为O型、S型、U型等加热盘管，优选为O型加热盘管。此外，接线端122也可以通过其他方式与碎片盒本体11连接，例如，接线端122上设置有螺纹，碎片盒本体11的外侧壁上开设有第一螺孔，接线端122螺接在碎片盒本体11的外侧壁上。然后，电加热器12的加热方式也可以为电磁加热或红外线加热等。

继续参见图1，在上述碎片盒11的优选实施方式中，碎片盒1还包括温度传感器15，温度传感器15设置在碎片盒本体11的沿宽度方向上的侧壁的下方，用于监控碎片盒本体11中的切割液的温度。

优选地，温度传感器15上设置有螺纹，碎片盒本体11上开设有第二螺孔，温度传感器15螺接在碎片盒本体11上并部分伸入碎片盒本体11内部。

如此，可以通过温度传感器15监控碎片盒本体11中的切割液的温度，以根据实际情况的需求调整加热量。此外，温度传感器15螺接在碎片盒本体11上，可以避免温度传感器15晃动而导致测得的温度值发生波动。

需要说明的是，温度传感器15也可以设置在碎片盒本体11的其它位置。此外，也可以设置多个温度传感器15，这样可以多部位监测切割液的温度。另外，温度传感器15可以通过其他方式固定在碎片盒本体11上，例如通过法兰4固定在碎片盒本体11上。

参见图1和图2，在上述碎片盒1的优选实施方式中，碎片盒本体11上设置有排液口111，碎片盒1还包括调节板13，调节板13设置在碎片盒本体11上设置的固定板14上，用于调节排液口111的大小。优选地，在碎片盒本体11的底部的四角均设置有调节板13和排液口111，同时在碎片盒本体11的底部的四角设置有调节板13的部位均设置有固定板14。更优选地，固定板14包括第二水平段、第三侧板和第四侧板(图中未示出)，第三侧板与第四侧板分别设置在第二水平段的左右两侧，第二连接结构设置于第二水平段上，调节板13包括竖直段和水平段，第一连接结构设置于水平段，水平段的两侧面、以及竖直段的两侧边分别与第三侧板和第四侧板的彼此相对的侧壁相匹配。

进一步地，调节板13上设置有第一连接结构，第一连接结构可移动地连接于碎片盒本体11的待安装位置上设置的第二连接结构上，使得调节板13能够调节排液口111的大小。

进一步地，固定板14设置于碎片盒本体11的侧壁上，第二连接结构设置于固定板14上。

进一步地，第一连接结构与第二连接结构均为连接孔，螺栓2穿过两个连接孔与螺母3连接。

优选地，螺栓2的螺帽抵靠在调节板13的水平段上，螺母3抵靠在固定板14上。

更优选地，在螺栓2上设置有至少两个螺母3，优选地本申请中螺母3设置有三个，一个螺母3与螺栓2的螺帽分别抵靠在调节板13两侧用于固定调节板13，一个螺母3抵接于抵靠在调节板13一侧的螺母3上部，即两个螺母3叠加，一个螺母3抵靠在固定板14上。

进一步优选地，碎片盒1还包括液位传感器(图中未示出)，液位传感器设置在碎片盒本体11上，用于检测碎片盒本体11中的液位。

如此，可以根据实际情况的需要，通过螺栓2相对于固定板14的移动，移动调节板13相对于排液口111的位置，调节排液口111的大小，进而调整排液量。同时，在不移动调节板13时，通过螺帽和两个螺母3固定调节板13的位置，而且两个螺母之间接触面的摩擦力可以阻止螺栓松动，进而避免调节板13晃动影响对排液量的调整。然后，在碎片盒本体11的四角均设置排液口111，可以通过多个排液口111将碎片盒1中的废液排出，提高排液效率。同时，排液口111均布在碎片盒本体11的底部四角，可以均匀的排液，进而有利于碎片盒本体11的平衡。此外，可以通过液位传感器监测碎片盒本体11中的液位，便于将液位控制在合适的范围。

本领域技术人员能够理解的是，第一连接结构与第二连接结构并非唯一，可以通过设置不同形式的第一连接结构、第二连接结构，或者调整第一连接结构、第二连接结构与连接件之间的连接关系，移动调节板13相对于排液口111的位置。例如，螺栓2的螺帽抵靠在固定板14上，螺母3抵靠在调节板13上。优选地，螺栓2上设置有至少两个螺母3，两个螺母3分别抵靠在调节板13两侧用于固定调节板13，螺栓2的螺帽抵靠在固定板14上。此时，可以通过螺栓2相对于调节板13的移动实现调节板13对排液口111的调节，进而调整排液量。同时，在不移动调节板13时，通过两个螺母3固定调节板13的位置，避免调节板13晃动影响对排液量的调整。当然，以上实施方式及可替换方式中的螺母3数量并非唯一，本领域技术人员可以对其调整，例如螺母3数量还可以为1个、2个、4个或者更多，只要能够实现对调节板13的调节即可。

又例如，第一连接结构与第二连接结构均为连接孔，螺柱穿过两个连接孔且螺柱的两端分别通过螺母3连接。优选地，螺柱上设置有至少三个螺母3，两个螺母3分别抵靠在调节板13的两侧用于固定调节板13，一个螺母3抵靠在固定板14上。此时，可以通过螺柱相对于调节板13或者固定板14的移动实现调节板13对排液口111的调节，进而调整排液量。同时，在不移动调节板13时，通过两个螺母3固定调节板13的位置，避免调节板13晃动影响对排液量的调整。

再例如，第一连接结构为一体形成在调节板13上的螺柱，第二连接结构为连接孔，螺柱穿过连接孔与螺母连接。或者，第一连接结构为连接孔，第二连接结构为一体形成在固定板14上的螺柱，螺柱穿过连接孔与螺母连接。此时，可以通过螺柱相对于调节板13或者固定板14的移动实现调节板13对排液口111的调节，进而调整排液量。

还例如，第一连接结构为第一长条孔，第二连接结构为碎片盒本体11的侧壁上设置的第一通孔，第一长条孔与第一通孔之间通过螺栓螺母组件连接。或者，第一连接结构为第一长条孔，第二连接结构为碎片盒本体11的侧壁上固定设置的螺栓或螺柱，第一长条孔通过螺母紧固于螺栓或螺柱上。又或者，第一连接结构为第二通孔，第二连接结构为碎片盒本体11的侧壁上设置的第二长条孔，第二通孔与第二长条孔之间通过螺栓螺母组件连接。再或者，第一连接结构为螺栓或螺柱，第二连接结构为碎片盒本体11的侧壁上设置的第二长条孔，螺栓或螺柱通过螺母紧固于第二长条孔上。此时，可以通过调整调节板13上的第一调节孔与第一通孔的连接位置移动调节板13实现对排液口111大小的调整进而调整排液量。或者，通过调整碎片盒本体11的侧壁上设置的第二长条孔与第二通孔的连接位置移动调节板13实现对排液口111的大小的调整进而调整排液量。

此外，本领域技术人员能够理解，调节板13和固定板14的结构并非唯一，本领域技术人员可以对其进行调整，只要满足调节板13相对于固定板14的移动可以实现对排液口大小的调整即可。例如，调节板13包括竖直段、第一侧板、第二侧板和第一水平段，第一侧板与第二侧板分别设置在竖直段的左右两侧，第一水平段与竖直段的底部连接，第一连接结构设置于第一水平段，固定板14为与调节板13的上部开口相匹配的水平板。当然，也可以不设置调节板13和固定板14。

需要说明的是，排液口111也可为其他数量，例如1个，2个或3个等，另外，排液口111也可以设置在碎片盒本体11的其他位置，此时调节板13的数量相应调整。此外，也可以不设置液位传感器或温度传感器15。

继续参见图1和图2，在上述碎片盒1的优选实施方式中，碎片盒本体11沿长度方向相对设置的两侧壁的外部上分别设置有支架16，支架16用于将碎片盒本体11固定在待安装位置上。

如此，可以通过支架16将碎片盒1安装在待安装位置例如线切割机的框架上。

需要说明的是，也可以只在碎片盒本体11沿长度方向相对设置的两侧壁的一侧设置支架16。

第二方面，本申请提供一种供液***，该供液***包括上述的碎片盒1。

如此，供液***提供的切割液可以在碎片盒1中进行加热，使切割液的温度升高，避免切片进入碎片盒本体11后降温过快而发生变形。

需要说明的是，本申请的供液***还可以包括供液框架组件该供液框架组件主要用于对切割液进行过滤、控温、流量分配。此外，本申请的供液***也可以用于提供冷却液，以冷却线切割机的主轴、轴承箱、电机等。

第三方面，本申请提供一种线切割机，线切割机包括上述的碎片盒1或上述的供液***。

如此，线切割机切割后的切片进入碎片盒本体11后，进入加热器12升温后的切割液中，可以避免切片降温过快而发生变形，提高切割质量和硅片良率。

本领域的技术人员能够理解，尽管在此的一些实施例包括其它实施例中所包括的某些特征而不是其它特征，但是不同实施例的特征的组合意味着处于本申请的范围之内并且形成不同的实施例。例如，在本申请的权利要求书中，所要求保护的实施例的任意之一都可以以任意的组合方式来使用。

至此，已经结合附图所示的优选实施方式描述了本申请的技术方案，但是，本领域技术人员容易理解的是，本申请的保护范围显然不局限于这些具体实施方式。在不偏离本申请的原理的前提下，本领域技术人员可以对相关技术特征作出等同的更改或替换，这些更改或替换之后的技术方案都将落入本申请的保护范围之内。

Claims (26)

1.一种碎片盒，其特征在于，包括：

碎片盒本体，所述碎片盒本体的顶部敞开，所述碎片盒本体能够盛放切割液；

加热器，所述加热器设置在所述碎片盒本体中，用于加热所述碎片盒本体内部的切割液。

2.根据权利要求1所述的碎片盒，其特征在于，所述加热器为电加热器，所述电加热器与外部电源连接。

3.根据权利要求2所述的碎片盒，其特征在于，所述电加热器的加热方式为电阻加热、电磁加热或红外线加热。

4.根据权利要求2所述的碎片盒，其特征在于，所述电加热器包括彼此连接的接线端和加热体，所述接线端连接于所述碎片盒本体的侧壁上，所述加热体伸入所述碎片盒本体的内部。

5.根据权利要求4所述的碎片盒，其特征在于，所述接线端连接在所述碎片盒本体沿宽度方向的侧壁上。

6.根据权利要求4所述的碎片盒，其特征在于，所述加热体设置在所述碎片盒本体的底部并沿所述碎片盒本体的长度方向延伸。

7.根据权利要求4所述的碎片盒，其特征在于，所述加热体为加热棒；或者

所述加热体为加热盘管。

8.根据权利要求4所述的碎片盒，其特征在于，所述接线端通过法兰固定在所述碎片盒本体的外侧壁上；或者

所述接线端上设置有螺纹，所述碎片盒本体的外侧壁上开设有第一螺孔，所述接线端螺接在所述碎片盒本体的外侧壁上。

9.根据权利要求1所述的碎片盒，其特征在于，所述碎片盒还包括温度传感器，所述温度传感器设置在所述碎片盒本体上，用于监控所述碎片盒本体中的切割液的温度。

10.根据权利要求9所述的碎片盒，其特征在于，所述温度传感器上设置有螺纹，所述碎片盒本体上开设有第二螺孔，所述温度传感器螺接在所述碎片盒本体的侧壁上。

11.根据权利要求1至10任一项所述的碎片盒，其特征在于，所述碎片盒本体上设置有排液口，所述碎片盒还包括调节板，所述调节板设置在所述碎片盒本体上，用于调节所述排液口的大小。

12.根据权利要求11所述的碎片盒，其特征在于，所述调节板上设置有第一连接结构，所述第一连接结构可移动地连接于所述碎片盒本体的待安装位置上设置的第二连接结构上，使得所述调节板能够调节所述排液口的大小。

13.根据权利要求12所述的碎片盒，其特征在于，所述碎片盒还包括固定板，所述固定板设置于所述碎片盒本体的侧壁上，所述第二连接结构设置于所述固定板上。

14.根据权利要求13所述的碎片盒，其特征在于，所述第一连接结构与所述第二连接结构均为连接孔，螺栓穿过两个所述连接孔与螺母连接。

15.根据权利要求14所述的碎片盒，其特征在于，所述螺栓的螺帽抵靠在所述调节板上，所述螺母抵靠在所述固定板上；或者

所述螺栓的螺帽抵靠在所述固定板上，所述螺母抵靠在所述调节板上。

16.根据权利要求15所述的碎片盒，其特征在于，所述螺栓上设置有至少两个所述螺母，一个所述螺母与所述螺栓的螺帽分别抵靠在所述调节板两侧用于固定所述调节板，一个所述螺母抵靠在所述固定板上；或者

所述螺栓上设置有至少两个所述螺母，两个所述螺母分别抵靠在所述调节板两侧用于固定所述调节板，所述螺栓的螺帽抵靠在所述固定板上。

17.根据权利要求13所述的碎片盒，其特征在于，所述第一连接结构与所述第二连接结构均为连接孔，螺柱穿过两个所述连接孔且所述螺柱的两端分别通过螺母连接。

18.根据权利要求17所述的碎片盒，其特征在于，所述螺柱上设置有至少三个所述螺母，两个所述螺母分别抵靠在所述调节板的两侧用于固定所述调节板，一个所述螺母抵靠在所述固定板上。

19.根据权利要求13所述的碎片盒，其特征在于，所述第一连接结构为一体形成在所述调节板上的螺柱，所述第二连接结构为连接孔，所述螺柱穿过所述连接孔与螺母连接；或者

所述第一连接结构为连接孔，所述第二连接结构为一体形成在所述固定板上的螺柱，所述螺柱穿过所述连接孔与螺母连接。

20.根据权利要求13所述的碎片盒，其特征在于，所述调节板包括竖直段、第一侧板、第二侧板和第一水平段，所述第一侧板与所述第二侧板分别设置在所述竖直段的左右两侧，所述第一连接结构设置于所述水平段，所述固定板为与所述调节板的上部开口相匹配的水平板；或者

所述固定板包括第二水平段、第三侧板和第四侧板，所述第三侧板与所述第四侧板分别设置在所述第二水平段的左右两侧，所述调节板包括竖直段和水平段，所述第一连接结构设置于所述水平段，所述竖直段与所述第三侧板和第四侧板之间的部位相匹配。

21.根据权利要求12所述的碎片盒，其特征在于，所述第一连接结构为第一长条孔，所述第二连接结构为所述碎片盒本体的侧壁上设置的第一通孔，所述第一长条孔与所述第一通孔之间通过螺栓螺母组件连接；或者

所述第一连接结构为第一长条孔，所述第二连接结构为所述碎片盒本体的侧壁上固定设置的螺栓或螺柱，所述第一长条孔通过螺母紧固于所述螺栓或所述螺柱上；或者

所述第一连接结构为第二通孔，所述第二连接结构为所述碎片盒本体的侧壁上设置的第二长条孔，所述第二通孔与所述第二长条孔之间通过螺栓螺母组件连接；或者

所述第一连接结构为螺栓或螺柱，所述第二连接结构为所述碎片盒本体的侧壁上设置的第二长条孔，所述螺栓或所述螺柱通过螺母紧固于所述第二长条孔上。

22.根据权利要求11所述的碎片盒，其特征在于，在所述碎片盒本体的底部的四角均设置有所述调节板和所述排液口。

23.根据权利要求1所述的碎片盒，其特征在于，所述碎片盒还包括液位传感器，所述液位传感器设置在所述碎片盒本体上，用于检测所述碎片盒本体中的液位。

24.根据权利要求1所述的碎片盒，其特征在于，所述碎片盒本体沿长度方向相对设置的两侧壁的外部上分别设置有支架，所述支架用于将所述碎片盒本体固定在线切割机上。

25.一种供液***，其特征在于，包括权利要求1至24任一项所述的碎片盒。

26.一种线切割机，其特征在于，所述线切割机包括如权利要求1至24任一项所述的碎片盒或权利要求25所述的供液***。

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