CN217655855U - 硅片承载花篮以及制绒装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及太阳能电池片生产设备技术领域，具体而言，涉及一种硅片承载花篮以及制绒装置。硅片承载花篮包括两个端板、多个花篮杆以及加热元件；两个端板间隔设置；每个花篮杆的相对两端分别与两个端板连接；多个花篮杆与两个端板共同围设成用于容纳硅片的容纳槽；加热元件用于对花篮杆进行加热。将本申请提供的硅片承载花篮放置于制绒工序的槽体内，可以有效提高制绒工序中硅片表面的绒面一致性以及硅片表面的洁净度，有利于提高硅片的电性能。

Description

硅片承载花篮以及制绒装置

技术领域

本申请涉及太阳能电池片生产设备技术领域，具体而言，涉及一种硅片承载花篮以及制绒装置。

背景技术

制绒工序是太阳能电池片制备过程中的重要工序。制绒工序可以有效去除硅片表面的机械损伤、增加硅片的表面面积、降低硅片的表面反射率以及去除硅片表面的油污和金属杂质。

制绒工序主要包括采用腐蚀液在硅片表面形成绒面、采用清洗液对硅片表面进行清洗以及对硅片进行烘干等三个步骤。制绒工序的上述三个步骤均都需要借助于花篮，将硅片放置于花篮中，再将花篮放置于相应的槽体中以进行相应的步骤操作。但是，在制绒槽内，采用腐蚀液在硅片表面形成绒面的步骤中，硅片靠近花篮的花篮杆的区域处腐蚀液(例如强碱溶液)的流动和循环效果不佳，导致硅片靠近花篮杆区域处的绒面比硅片其他区域处的绒面大，进而导致硅片表面的绒面一致性较差，不利于保障后续镀膜工序的膜色一致性以及后续钝化工序中硅片的钝化效果，进而导致硅片的电性能不佳。在清洗槽内，在采用清洗液对硅片表面进行清洗的步骤中，硅片靠近花篮的花篮杆区域处清洗液的流动和循环效果不佳，导致清洗液对硅片靠近花篮杆的区域的清洗效果不佳，使得硅片表面靠近花篮杆的区域存在油污或金属杂质残留，进而会影响硅片的电性能。在烘干槽内，在对硅片进行烘干的步骤中，花篮杆上的残留液滴会由于重力作用流至或滴落至硅片表面而污染硅片，不利于保障硅片的电性能。

实用新型内容

本申请的目的在于提供一种硅片承载花篮以及制绒装置，其旨在改善现有的制绒工序中使用的花篮会导致硅片电性能不佳的技术问题。

第一方面，本申请提供一种硅片承载花篮，包括：

两个端板，两个端板间隔设置。

多个花篮杆，每个花篮杆的相对两端分别与两个端板连接；多个花篮杆与两个端板共同围设成用于容纳硅片的容纳槽；以及

加热元件，加热元件用于对花篮杆进行加热。

将本申请提供的硅片承载花篮放置于制绒槽或清洗槽内时，由于硅片承载花篮上设置有用于对花篮杆进行加热的加热元件，被加热的花篮杆可以对花篮杆周围的腐蚀液或者清洗液进行有效加热，以提高花篮杆附近的腐蚀液或者清洗液的活性以及分子热运动速率，有利于提高硅片靠近花篮杆区域的腐蚀液的流动和循环效果，进而提高硅片靠近花篮杆的区域的绒面与硅片表面其他区域的绒面一致性，有利于提高硅片的电性能；也有利于提高清洗液对硅片靠近花篮杆的区域的清洗效果以避免硅片表面靠近花篮杆的区域存在油污或金属杂质残留而影响硅片的电性能。将本申请提供的硅片承载花篮放置于烘干槽内时，由于硅片承载花篮上设置有用于对花篮杆进行加热的加热元件，被加热的花篮杆可以快速烘干残留于花篮杆表面的液滴，有利于避免花篮杆上的残留液滴滴落或流至硅片表面而导致的硅片表面被污染的情况，有利于提高硅片的电性能。

在本申请第一方面的一些实施例中，上述加热元件设置于每个花篮杆的内部。

加热元件设置于每个花篮杆的内部，可以有效提高花篮杆自身的升温速率，也可以使得花篮杆表面的热量分布较为均匀；在将硅片承载花篮放置于制绒槽或清洗槽内时，有利于使得花篮杆周围的液体温度较为一致，进而提高硅片表面的绒面一致性或清洗液对硅片的清洗效果；在将硅片承载花篮放置于烘干槽内时，也可以使得花篮杆上残留的液滴快速烘干，以避免花篮杆上的残留液滴滴落或流至硅片表面而导致的硅片表面被污染的情况。此外，加热元件设置于每个花篮杆的内部，也有利于避免加热元件与硅片表面直接接触而导致的硅片表面被划伤的情况。

在本申请第一方面的一些实施例中，沿上述花篮杆的延伸方向，加热元件的长度与花篮杆的长度相等。

上述设置方式，有利于提高花篮杆表面上各处的温度分布一致性，有利于提高硅片表面的绒面一致性、清洗液对硅片表面的清洗效果或者烘干步骤时花篮杆表面的液滴烘干速率。

在本申请第一方面的一些实施例中，上述加热元件为加热电阻丝。

在本申请第一方面的一些实施例中，两个端板的内部均设置有电极，加热电阻丝与电极连接；端板上还设置有与电极连接的导线，导线用于与外接电源连接。

在本申请第一方面的一些实施例中，容纳槽具有用于装卸硅片的装卸口；硅片承载花篮还设置有阻挡元件，阻挡元件设置于装卸口处且阻挡元件的相对两端分别与两个端板可拆卸连接。

当阻挡元件与两个端板处于连接状态时，装卸口处于关闭状态，有利于避免硅片从容纳槽的装卸口处掉落，进而确保制绒工序中各步骤的顺利进行；当阻挡元件与两个端板处于分离状态时，装卸口处于打开状态，可以实现从装卸口处将硅片装入容纳槽内或从装卸口处将容纳槽内的硅片取出。

在本申请第一方面的一些实施例中，上述阻挡元件为档杆。

阻挡元件为档杆，进而有利于避免硅片从容纳槽中掉落；且由于档杆的空间占位较小，腐蚀液或清洗液可以从装卸口未被档杆阻挡的区域处进出容纳槽，有利于促进容纳槽中液体的循环流动；也可以使得在对硅片进行烘干的步骤中，烘干槽内的吹风可以经装卸口未被档杆阻挡的区域处进入容纳槽内以快速高效对硅片表面进行烘干。

在本申请第一方面的一些实施例中，沿每个花篮杆的延伸方向，每个花篮杆朝向容纳槽的一侧均间隔设置有多个花篮齿，每个花篮齿的截面积自靠近花篮杆至远离花篮杆的方向逐渐减小。

花篮齿的设置，可以有利于避免容纳槽内相邻的硅片相互接触而影响硅片表面的绒面一致性、硅片的清洗或者烘干效果。每个花篮齿的截面积自靠近花篮杆至远离花篮杆的方向逐渐减小，可以有效减小硅片表面被花篮齿遮挡处的区域面积，进而有利于避免在形成绒面过程硅片靠近花篮齿的区域的绒面相对于硅片表面其他区域处的绒面较大，也有利于避免在清洗过程中清洗液对硅片靠近花篮齿的区域的清洗效果不佳，也有利于避免在烘干过程中花篮齿上的液滴低落至硅片表面而污染硅片。

第二方面，本申请提供一种制绒装置，包括：

槽体，槽体内壁连接有花篮托架；以及

上述第一方面提供的硅片承载花篮，硅片承载花篮与花篮托架可拆卸连接。

本申请提供的制绒装置可以有效提高制绒工序中硅片表面的绒面一致性以及硅片表面的洁净度，有利于提高硅片的电性能。

在本申请第二方面的一些实施例中，制绒装置还包括驱动元件，驱动元件设置于槽体外；驱动元件用于带动花篮托架相对于槽体摆动，以使花篮托架能够带动硅片承载花篮绕花篮杆的延伸方向摆动。

上述设置方式，在将硅片承载花篮放置于制绒槽或清洗槽内时，在硅片承载花篮摆动的过程中可以提高花篮杆周围的液体流动性，进而有利于避免在形成绒面过程中硅片靠近花篮杆的区域的绒面相对于硅片表现的其他区域的绒面较大，也有利于避免在清洗过程中清洗液对硅片靠近花篮杆的区域的清洗效果不佳；在将硅片承载花篮放置于烘干槽内时，在硅片承载花篮摆动的过程中可以使得花篮杆上残留的液体朝向远离硅片的方向脱离于花篮杆，进而有利于避免在烘干过程中花篮杆上的液滴低落至硅片表面而污染硅片。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1示出了本申请实施例提供的硅片承载花篮的结构示意图。

图2示出了图1中沿A-A方向的剖视图。

图3示出了本申请实施例提供的硅片承载花篮中花篮杆的剖视图。

图4示出了本申请实施例提供的硅片承载花篮中端板的结构示意图。

图5示出了本申请实施例提供的制绒装置的第一视角结构示意图。

图6示出了本申请实施例提供的制绒装置的第二视角结构示意图。

图标：100-硅片承载花篮；101-装卸口；110-端板；111-安装槽；1111-第一端；1112-第二端；120-花篮杆；121-花篮齿；130-加热元件；140-导线；150-阻挡元件；200-制绒装置；210-槽体；220-花篮托架；230-驱动元件；240-第一连接臂；250-第二连接臂。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本申请实施例的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

在本申请实施例的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

实施例

图1示出了本申请实施例提供的硅片承载花篮100的结构示意图，图2示出了图1中沿A-A方向的剖视图，请参阅图1和图2，本实施例提供了一种硅片承载花篮100，硅片承载花篮100包括两个端板110、多个花篮杆120以及加热元件130。两个端板110间隔设置，每个花篮杆120的相对两端分别与两个端板110连接；且多个花篮杆120与两个端板110共同围设成用于容纳硅片的容纳槽。加热元件130用于对花篮杆120进行加热。

将硅片放置于硅片承载花篮100的容纳槽内，并将硅片承载花篮100放置于容纳有腐蚀液的制绒槽内以在硅片表面形成绒面时，由于硅片承载花篮100设置有用于对花篮杆120进行加热的加热元件130，被加热的花篮杆120可以对花篮杆120周围的腐蚀液进行有效加热，以提高花篮杆120附近的腐蚀液的活性以及分子热运动速率，有利于避免由于硅片靠近花篮杆120区域的腐蚀液的流动和循环效果不佳，而导致的硅片靠近花篮杆120的区域的绒面与硅片表面其他区域的绒面不一致的情况，有利于提高硅片表面的绒面一致性，进而有利于提高硅片的电性能。

将硅片承载花篮100放置于容纳有清洗液的清洗槽内以对硅片表面进行清洗时，由于硅片承载花篮100设置有用于对花篮杆120进行加热的加热元件130，被加热的花篮杆120可以对花篮杆120周围的清洗液进行有效加热，以提高花篮杆120附近的清洗液的活性以及分子热运动速率，有利于避免由于硅片靠近花篮杆120区域的清洗液的流动和循环效果不佳，而导致的清洗液对硅片靠近花篮杆120的区域的清洗效果不佳的情况，有利于避免硅片表面靠近花篮杆120的区域存在油污或金属杂质残留进而影响硅片的电性能。

将硅片承载花篮100放置于烘干槽内以对硅片表面进行烘干时，由于硅片承载花篮100设置有用于对花篮杆120进行加热的加热元件130，被加热的花篮杆120可以快速烘干残留于花篮杆120表面的液滴，有利于避免花篮杆120上的残留液滴滴落或流至硅片表面而导致的硅片表面被污染的情况，有利于提高硅片的电性能。

在本实施例中，花篮杆120的数量为8根。需要说明的是，本申请不对花篮杆120的数量进行限定。

图3示出了本申请实施例提供的硅片承载花篮100中花篮杆120的剖视图，请参阅图3，在本实施例中，加热元件130设置于每个花篮杆120的内部，可以有效提高花篮杆120自身的升温速率；也可以使得花篮杆120表面的热量分布较为均匀；在将硅片承载花篮100放置于制绒槽或清洗槽内时，有利于使得花篮杆120周围的液体温度较为一致，进而提高硅片表面的绒面一致性或清洗液对硅片的清洗效果；在将硅片承载花篮100放置于烘干槽内时，也可以使得花篮杆120上残留的液滴快速烘干，以避免花篮杆120上的残留液滴滴落或流至硅片表面而导致的硅片表面被污染的情况。此外，加热元件130设置于每个花篮杆120的内部，也有利于避免加热元件130与硅片表面直接接触而导致硅片表面被划伤的情况。

进一步地，为了提高花篮杆120表面上各处的温度分布一致性，以进一步提高硅片表面的绒面一致性、清洗液对硅片表面的清洗效果或者烘干步骤时花篮杆120表面的液滴烘干速率，在本实施例中，沿花篮杆120的延伸方向，加热元件130的长度与花篮杆120的长度相等。

在本实施例中，加热元件130为加热电阻丝，通过在两个端板110内设置电极(图中未示出)，将每个花篮杆120内的加热电阻丝分别与两个端板110内的电极连接，并将端板110内的电极通过导线140(如图1所示)引出，导线140用于与外界电源连接，以实现对加热电阻丝的通电产热，进而有效对花篮杆120进行加热。进一步地，在导线140的外周设置防腐蚀绝缘外膜，以避免导线140被腐蚀液等腐蚀。

需要说明的是，在其他可行的实施方式中，加热元件130也可以不设置于花篮杆120的内部，例如加热元件130可以设置于花篮杆120远离容纳槽的一侧；加热元件130也可以不为加热电阻丝，例如加热元件130也可以发热膜等。

图4示出了本申请实施例提供的硅片承载花篮100中端板110的结构示意图，请参阅图4，为了便于硅片承载花篮100更方便地装卸于不同的槽体内，在本实施例中，端板110远离花篮杆120的一面设置有安装槽111，安装槽111的槽内壁体用于与槽体内的托架可拆卸连接，以实现硅片承载花篮100能够装卸于槽体内。定义图4中由上至下的方向为端板110的高度方向，沿端板110的高度方向，安装槽111具有相对的第一端1111和第二端1112，第一端1111位于端板110的非边缘位置，第二端1112贯穿端板110的下表面。在安装硅片承载花篮100于槽体内的过程中，硅片承载花篮100从槽体上方放入槽体内部，位于槽体内侧壁的托架的连接端先与安装槽111的第二端1112接触，经第二端1112进入安装槽111内，再与安装槽111的第一端1111卡接，进而实现硅片承载花篮100安装于槽体内；在将硅片承载花篮100从槽体内拆卸时，硅片承载花篮100从槽体上方取出，位于槽体内侧壁的托架的连接端经第二端1112脱离安装槽111，进而实现硅片承载花篮100从槽体内拆卸。

承上所述，多个花篮杆120与两个端板110共同围设成用于容纳硅片的容纳槽。请再次参阅图1和图2，容纳槽具有用于装卸硅片的装卸口101，在本实施例中，在容纳槽的装卸口101处设置阻挡元件150，阻挡元件150设置于装卸口101处且阻挡元件150的相对两端分别与两个端板110可拆卸连接。当阻挡元件150与两个端板110处于连接状态时，装卸口101处于关闭状态，有利于避免硅片从容纳槽的装卸口101处掉落，进而确保制绒工序中各步骤的顺利进行；当阻挡元件150与两个端板110处于分离状态时，装卸口101处于打开状态，可以实现从装卸口101处将硅片装入容纳槽内或从装卸口101处将容纳槽内的硅片取出。

在本实施例中，阻挡元件150为档杆，档杆的相对两端可伸缩，并在两个端板110靠近花篮杆120的表面设置凹槽(图中未示出)；将档杆与端板110连接时，先将档杆的一端与一个端板110上的凹槽卡接，将档杆的另一端伸长并与另一个端板110上的凹槽卡接；将档杆从端板110上拆卸时，将档杆的相对两端收缩，实现档杆的相对两端与端板110上凹槽的脱离。阻挡元件150为档杆结构，当档杆与两个端板110处于连接状态时，档杆能够与其他花篮杆120共同抵触于硅片厚度方向的四周，有利于避免硅片从容纳槽中掉落；且由于档杆的空间占位较小，腐蚀液或清洗液可以从装卸口101未被档杆阻挡的区域处进出容纳槽，进而促进容纳槽中液体的循环流动；也可以使得在对硅片进行烘干的步骤中，烘干槽内的吹风可以经装卸口101未被档杆阻挡的区域处进入容纳槽内以快速高效对硅片表面进行烘干。

需要说明的是，在其他可行的实施方式中，阻挡元件150也可以为阻挡网或者设置有多个通孔的阻挡板，只要能够满足腐蚀液、清洗液或吹风可以从装卸口101未被阻挡处进入容纳槽内即可。

为了有效避免容纳槽内相邻的硅片相互接触而影响硅片表面的绒面一致性、硅片的清洗或者烘干效果，在本实施例中，沿每个花篮杆120的延伸方向，每个花篮杆120朝向容纳槽的一侧均间隔设置有多个花篮齿121。需要说明的是，本申请不对每个花篮杆120上的花篮齿121的数量进行限定。

进一步地，在本实施例中，每个花篮齿121的截面积自靠近花篮杆120至远离花篮杆120的方向逐渐减小，可以有效减小硅片表面被花篮齿121遮挡处的区域面积，进而有利于避免在形成绒面过程硅片靠近花篮齿121的区域的绒面相对于硅片表面其他区域处的绒面较大，也有利于避免在清洗过程中清洗液对硅片靠近花篮齿121的区域的清洗效果不佳，也有利于避免在烘干过程中花篮齿121上的液滴低落至硅片表面而污染硅片。

本申请提供的硅片承载花篮100至少具有以下优点：

将本申请提供的硅片承载花篮100放置于制绒槽或清洗槽内时，由于硅片承载花篮100上设置有用于对花篮杆120进行加热的加热元件130，被加热的花篮杆120可以对花篮杆120周围的腐蚀液或者清洗液进行有效加热，以提高花篮杆120附近的腐蚀液或者清洗液的活性以及分子热运动速率，有利于提高硅片靠近花篮杆120区域的腐蚀液的流动和循环效果，进而提高硅片靠近花篮杆120的区域的绒面与硅片表面其他区域的绒面一致性，有利于提高硅片的电性能；也有利于提高清洗液对硅片靠近花篮杆120的区域的清洗效果以避免硅片表面靠近花篮杆120的区域存在油污或金属杂质残留而影响硅片的电性能。将本申请提供的硅片承载花篮100放置于烘干槽内时，由于硅片承载花篮100上设置有用于对花篮杆120进行加热的加热元件130，被加热的花篮杆120可以快速烘干残留于花篮杆120表面的液滴，有利于避免花篮杆120上的残留液滴滴落或流至硅片表面而导致的硅片表面被污染的情况，有利于提高硅片的电性能。

本实施例还提供一种制绒装置200，图5示出了本申请实施例提供的制绒装置200的第一视角结构示意图，图6示出了本申请实施例提供的制绒装置200的第二视角结构示意图，请参阅图5和图6，制绒装置200包括槽体210、花篮托架220以及硅片承载花篮100。花篮托架220连接于槽体210的内壁，硅片承载花篮100与花篮托架220可拆卸连接。作为示例性地，槽体210也可以为制绒槽、清洗槽或者烘干槽。

在本实施例中，由于端板110上设置安装槽111，安装槽111的槽内壁体与花篮托架220可拆卸连接。

进一步地，在本实施例中，花篮托架220的数量为两个且分别位于槽体210的相对两端；硅片承载花篮100的两个端板110分别与位于槽体210的相对两端的花篮托架220可拆卸连接，以提高硅片承载花篮100在槽体210内的稳定性。需要说明的是，在其他可行的实施方式中，花篮托架220的数量也可以为一个，硅片承载花篮100中的一个端板110与花篮托架220可拆卸连接。

在本实施例中，制绒装置200还包括驱动元件230，驱动元件230设置于槽体210外，驱动元件230用于带动花篮托架220相对于槽体210摆动，以使花篮托架220能够带动硅片承载花篮100绕花篮杆120的延伸方向摆动。

若槽体210为制绒槽或清洗槽时，在硅片承载花篮100摆动的过程中可以提高花篮杆120周围的液体流动性，进而有利于避免在形成绒面过程中硅片靠近花篮杆120的区域的绒面相对于硅片表现的其他区域的绒面较大，也有利于避免在清洗过程中清洗液对硅片靠近花篮杆120的区域的清洗效果不佳。若槽体210为烘干槽时，在硅片承载花篮100摆动的过程中可以使得花篮杆120上残留的液体朝向远离硅片的方向脱离于花篮杆120，进而有利于避免在烘干过程中花篮杆120上的液滴低落至硅片表面而污染硅片。

定义花篮托架220具有相对的第一连接端和第二连接端，第一连接端即为与端板110连接的端部。

为了实现花篮托架220相对槽体210转动时，花篮托架220能够稳定带动硅片承载花篮100绕花篮杆120的延伸方向摆动，设置花篮托架220的第一连接端的形状为方形，且设置端板110上的安装槽111的形状与花篮托架220的第一连接端的形状相匹配。

请参阅图5和图6，在本实施例中，驱动元件230为气缸；花篮托架220贯穿槽体210的侧壁，花篮托架220的第二连接端位于槽体210外并与第一连接臂240固定连接，第一连接臂240的延伸方向与花篮托架220的由第一连接端指向第二连接端的方向相互垂直。第一连接臂240远离花篮托架220的一端与第二连接臂250固定连接，第一连接臂240的延伸方向与第二连接臂250的延伸方向共面，且第一连接臂240的延伸方向与第二连接臂250的延伸方向之间具有夹角。第二连接臂250远离第一连接臂240的一端与气缸连接，气缸与槽体210外壁可旋转连接。且槽体210侧壁与花篮托架220的连接处进行密封处理。

具体的，气缸带动花篮托架220相对于槽体210摆动的实现方式如下：气缸内的活塞在气缸内往复运动过程中，实现气缸能够带动第二连接臂250远离气缸的一端朝向远离气缸或者靠近气缸的方向往复运动；第二连接臂250在往复运动过程中带动第一连接臂240相对槽体210往复摆动，第一连接臂240在往复摆动过程中带动花篮托架220相对槽体210往复摆动。且由于第二连接臂250与第一连接臂240之间固定连接且第一连接臂240又与花篮托架220固定连接，在第二连接臂250往复运动过程中，第二连接臂250的延伸方向会不断发生改变，设置气缸可相对槽体210的外壁旋转，可以很好地实现第二连接臂250的延伸方向在往复运动过程中不断改变需要说明的是，在其他可行的实施例中，驱动元件230也可以为液压缸。

本申请提供的制绒装置200至少具有以下优点：

本申请提供的制绒装置200可以有效提高制绒工序中硅片表面的绒面一致性以及硅片表面的洁净度，有利于提高硅片的电性能。

以上所述仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种硅片承载花篮，其特征在于，包括：

两个端板，两个所述端板间隔设置；

多个花篮杆，每个所述花篮杆的相对两端分别与两个所述端板连接；多个所述花篮杆与两个所述端板共同围设成用于容纳硅片的容纳槽；以及

加热元件，所述加热元件用于对所述花篮杆进行加热。

2.根据权利要求1所述的硅片承载花篮，其特征在于，所述加热元件设置于每个所述花篮杆的内部。

3.根据权利要求2所述的硅片承载花篮，其特征在于，沿所述花篮杆的延伸方向，所述加热元件的长度与所述花篮杆的长度相等。

4.根据权利要求2或3所述的硅片承载花篮，其特征在于，所述加热元件为加热电阻丝。

5.根据权利要求4所述的硅片承载花篮，其特征在于，两个所述端板的内部均设置有电极，所述加热电阻丝与所述电极连接；所述端板上还设置有与所述电极连接的导线，所述导线用于与外接电源连接。

6.根据权利要求1所述的硅片承载花篮，其特征在于，所述容纳槽具有用于装卸所述硅片的装卸口；所述硅片承载花篮还设置有阻挡元件，所述阻挡元件设置于所述装卸口处且所述阻挡元件的相对两端分别与两个所述端板可拆卸连接。

7.根据权利要求6所述的硅片承载花篮，其特征在于，所述阻挡元件为档杆。

8.根据权利要求1所述的硅片承载花篮，其特征在于，沿每个所述花篮杆的延伸方向，每个所述花篮杆朝向所述容纳槽的一侧均间隔设置有多个花篮齿，每个所述花篮齿的截面积自靠近所述花篮杆至远离所述花篮杆的方向逐渐减小。

9.一种制绒装置，其特征在于，包括：

槽体，所述槽体内壁连接有花篮托架；以及

权利要求1-8任一项所述的硅片承载花篮，所述硅片承载花篮与所述花篮托架可拆卸连接。

10.根据权利要求9所述的制绒装置，其特征在于，所述制绒装置还包括驱动元件，所述驱动元件设置于所述槽体外；所述驱动元件用于带动所述花篮托架相对于所述槽体摆动，以使所述花篮托架能够带动所述硅片承载花篮绕所述花篮杆的延伸方向摆动。

Images