CN216245516U - 电烧炉自动投料设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了电烧炉自动投料设备，包括上下料装置，所述上下料装置的上方固定安装有真空吸嘴机构，所述上下料装置的右侧安装有搬运机构，所述搬运机构的前方安装有撒料装置，所述撒料装置的对立面安装有积材机构，所述撒料装置和积材机构的下方安装有递进机构，所述撒料装置和积材机构的前方安装有输送机构，所述输送机构的上方安装有抓取机构，所述抓取机构的右侧安装有整体搬运机构，本实用新型能够完全实现全自动的封闭式加工，矩阵式积材，粘连率极低，实现了全自动补偿的柔性生产，可满足无人化生产条件，实现产品的柔性加工过程，布局设计合理，机构紧凑，使空间利用最大化，人员操作方便。

Description

电烧炉自动投料设备

技术领域

本实用新型涉及半导体加工制造领域，特别是涉及电烧炉自动投料设备。

背景技术

半导体是一种电导率在绝缘体至导体之间的物质，其电导率容易受控制，可作为信息处理的元件材料。从科技或是经济发展的角度来看，半导体非常重要。很多电子产品，如计算机、移动电话、数字录音机的核心单元都是利用半导体的电导率变化来处理信息。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，而硅更是各种半导体材料中，在商业应用上最具有影响力的一种。

在半导体加工时，传统技术中多采用人工进行撒料然后上下料，效率低、人工成本高、人为撒料会造成堆积然后粘连，积材率也低，人为因素也会产生不良品，为此，我们提出电烧炉自动投料设备。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型提供电烧炉自动投料设备，能够完全实现全自动的封闭式加工，矩阵式积材，粘连率极低，实现了全自动补偿的柔性生产，可满足无人化生产条件，实现产品的柔性加工过程，布局设计合理，机构紧凑，使空间利用最大化，人员操作方便。

为解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：电烧炉自动投料设备，包括上下料装置，所述上下料装置的上方固定安装有真空吸嘴机构，所述上下料装置的右侧安装有搬运机构，所述搬运机构的前方安装有撒料装置，所述撒料装置的对立面安装有积材机构，所述撒料装置和积材机构的下方安装有递进机构，所述撒料装置和积材机构的前方安装有输送机构，所述输送机构的上方安装有抓取机构，所述抓取机构的右侧安装有整体搬运机构。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述真空吸嘴机构包括电机、第一同步带、第一直线导轨和第一同步带轮，所述电机的下端固定安装有支撑结构，且支撑机构的外端与第一直线导轨固定连接，所述电机的输出端通过输出轴与第一同步带连接，所述第一同步带的两端与第一同步带轮转动连接，且所述真空吸嘴机构共设置有两个。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述搬运机构包括***、直线电机和限位传感器，所述***与直线电机滑动连接，且所述限位传感器设置在直线电机的下方。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述撒料装置包括直震送料器、封口气缸和光纤传感器，所述直震送料器的外端与封口气缸相连接，所述直震送料器的两侧安装有光纤传感器。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述积材机构包括翻转电机、提升电机、第二直线导轨、第二同步带、滚珠丝杠、夹紧气缸、肌腱和真空吸盘，所述翻转电机的输出端与第二同步带转动连接，所述提升电机，所述第二直线导轨上滑动连接移动座，移动座的内端面固定安装有滚珠丝杠，移动座的中心处转动连接有转轮，且转轮与第二同步带传动连接，转轮的外端固定连接有夹料机构，夹料机构的两侧固定安装有夹紧气缸，夹料机构的上端面固定安装有肌腱，所述肌腱的前方安装有真空吸盘。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述递进机构包括递进电机、第二同步带轮和第三同步带，所述递进机构与第二同步带轮通过皮带连接，所述第二同步带轮对称设置有两个，且两个所述第二同步带轮之间通过第三同步带相连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述抓取机构包括电缸、真空发生器、真空吸嘴和整型气缸，所述电缸的输出端固定连接有横板，横板的边角处安装有真空吸嘴，且横板的上方安装有整型气缸，所述电缸的外侧壁固定安装有支架，支架的上方与所述真空发生器的上端固定连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述整体搬运机构包括输送电机、第三同步带轮、输送带、反射传感器和传递滚轮，所述输送电机的输出端通过皮带传动连接有驱动轮，驱动轮与所述第三同步带轮之间通过连杆相连接，且驱动轮与第三同步带轮为同心圆设置，横向两个所述第三同步带轮之间通过输送带相连接，所述反射传感器设置有多个，且固定安装有在整体搬运机构上，所述传递滚轮设置在整体搬运机构的前方。

与现有技术相比，本实用新型能达到的有益效果是：

本实用新型能够完全实现全自动的封闭式加工，矩阵式积材，粘连率极低，实现了全自动补偿的柔性生产，可满足无人化生产条件，实现产品的柔性加工过程，布局设计合理，机构紧凑，使空间利用最大化，人员操作方便。

附图说明

图1为本实用新型的立体图；

图2为本实用新型中真空吸嘴机构的立体图；

图3为本实用新型中搬运机构的立体图；

图4为本实用新型中撒料装置的立体图；

图5为本实用新型中积材机构的立体图；

图6为本实用新型中递进机构的立体图；

图7为本实用新型中抓取机构的立体图；

图8为本实用新型中整体搬运机构的立体图。

其中：1、上下料装置；2、真空吸嘴机构；3、搬运机构；4、撒料装置；5、积材机构；6、递进机构；7、输送机构；8、抓取机构；9、整体搬运机构；10、***；11、直线电机；12、限位传感器；13、电缸；14、真空发生器；15、真空吸嘴；16、整型气缸；17、电机；18、第一同步带；19、第一直线导轨；20、第一同步带轮；21、直震送料器；22、封口气缸；23、光纤传感器；24、翻转电机；25、提升电机；26、第二直线导轨；27、第二同步带；28、滚珠丝杠；29、夹紧气缸；30、肌腱；31、真空吸盘；32、递进电机；33、第二同步带轮；34、第三同步带；35、输送电机；36、第三同步带轮；37、输送带；38、反射传感器；39、传递滚轮。

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型，但下述实施例仅仅为本实用新型的优选实施例，并非全部。基于实施方式中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得其它实施例，都属于本实用新型的保护范围。下述实施例中的实验方法，如无特殊说明，均为常规方法，下述实施例中所用的材料、试剂等，如无特殊说明，均可从商业途径得到。

实施例：

如图1-8所示，电烧炉自动投料设备，包括上下料装置1，上下料装置1的上方固定安装有真空吸嘴机构2，上下料装置1的右侧安装有搬运机构3，搬运机构3的前方安装有撒料装置4，撒料装置4的对立面安装有积材机构5，撒料装置4和积材机构5的下方安装有递进机构6，撒料装置4和积材机构5的前方安装有输送机构7，输送机构7的上方安装有抓取机构8，抓取机构8的右侧安装有整体搬运机构9；

撒料装置4负责晶圆的供料，递进机构6负责晶圆的取放料，输送机构7负责供料盒与移栽转台之间的搬运工作，搬运机构3负责判断晶圆的形状及位置，与此同时积材机构5和输送机构7进行移动，来保证晶圆放在移栽转台的正中心，积材机构5负责把晶圆移送到焊接头下方，而且自身可以水平移动和旋转运动，转台可升降，抓取机构8负责将完成加工的产品运输至整体搬运机构9上，整体搬运机构9负责对完成加工的产品进行整体的搬运，在实际工作时，装有网片的***10放入设备后，由直线电机11配合真空吸嘴机构2吸取网片后，放到递进机构6进行周转递进，从而从第一工位递进到中间工位后，撒料装置4在递进的同时同步工作，撒料装置4将半导体材料撒到料碗中，搬运机构3平移至积材机构5，积材机构5内的肌腱30、真空吸盘31和夹紧气缸29配合动作完成矩阵式积材，完成后放至中间工位的网片上，递进机构6平移至三工位，通过抓取机构8将盖网片运送到整体搬运机构9上进行整体输送，对网片的位置进行检测判断，并转化坐标数据，配合高精度的搬运机构3，进行数据化补偿加工，实现产品的柔性全自动加工过程，上述零部件之间均设计传感器到位检测判断，每个运动部件均自动反馈动作形态，并通过控制软件程序实现互锁、互动。

在其他实施例中，真空吸嘴机构2包括电机17、第一同步带18、第一直线导轨19和第一同步带轮20，电机17的下端固定安装有支撑结构，且支撑机构的外端与第一直线导轨19固定连接，电机17的输出端通过输出轴与第一同步带18连接，第一同步带18的两端与第一同步带轮20转动连接，且真空吸嘴机构2共设置有两个；

开启电机17，在电机17的作用下能够带动第一同步带轮20转动，而第一同步带轮20之间通过第一同步带18传动连接，而通过设置第一直线导轨19对装置的移动进行限位，通过设置真空吸嘴机构2能够将完成搬运的网片运输至递进机构6上，操作简单。

在其他实施例中，搬运机构3包括***10、直线电机11和限位传感器12，***10与直线电机11滑动连接，且限位传感器12设置在直线电机11的下方；

通过设置***10能够对网片进行承接，通过设置直线电机11能够对***10的垂直高度进行调节，通过设置限位传感器12能够对运动路径进行限定，避免脱落，操作简单。

在其他实施例中，撒料装置4包括直震送料器21、封口气缸22和光纤传感器23，直震送料器21的外端与封口气缸22相连接，直震送料器21的两侧安装有光纤传感器23；

通过设置直震送料器21能够实现晶圆的上料，通过设置封口气缸22能够实现封口，通过设置光纤传感器23能够对晶圆的数量进行监控，而通过设置撒料装置4能够实现晶圆的供料功能。

在其他实施例中，积材机构5包括翻转电机24、提升电机25、第二直线导轨26、第二同步带27、滚珠丝杠28、夹紧气缸29、肌腱30和真空吸盘31，翻转电机24的输出端与第二同步带27转动连接，提升电机25，第二直线导轨26上滑动连接移动座，移动座的内端面固定安装有滚珠丝杠28，移动座的中心处转动连接有转轮，且转轮与第二同步带27传动连接，转轮的外端固定连接有夹料机构，夹料机构的两侧固定安装有夹紧气缸29，夹料机构的上端面固定安装有肌腱30，肌腱30的前方安装有真空吸盘31；

通过设置翻转电机24能够带动第二同步带27转动，转轮与第二同步带27传动连接，转轮的外端固定连接有夹料机构，而第二同步带27能够带动夹料机构转动，实现翻转的功能和目的，通过设置滚珠丝杠28能够对移动座的移动路径进行限定，且兼具限位作用，通过设置夹紧气缸29能够实现夹料的功能，且能够满足不同尺寸的材料的夹持要求，通过设置真空吸盘31能够完成材料的吸紧固定，积材机构5负责把晶圆移送到焊接头下方，而且自身可以水平移动和旋转运动，可升降。

在其他实施例中，递进机构6包括递进电机32、第二同步带轮33和第三同步带34，递进机构6与第二同步带轮33通过皮带连接，第二同步带轮33对称设置有两个，且两个第二同步带轮33之间通过第三同步带34相连接；

通过递进电机32能够带动第二同步带轮33转动，而第二同步带轮33之间通过第三同步带34相连接，从而能够实现上方托盘的移动，通过设置递进机构6能够实现产品在工位之间移动。

在其他实施例中，抓取机构8包括电缸13、真空发生器14、真空吸嘴15和整型气缸16，电缸13的输出端固定连接有横板，横板的边角处安装有真空吸嘴15，且横板的上方安装有整型气缸16，电缸13的外侧壁固定安装有支架，支架的上方与真空发生器14的上端固定连接；

通过设置电缸13能够对产品进行垂直方向的移动，通过设置真空吸嘴15能够完成材料的夹持和紧固，通过设置整型气缸16能够进一步的提升夹持的稳定性，实用性强。

在其他实施例中，整体搬运机构9包括输送电机35、第三同步带轮36、输送带37、反射传感器38和传递滚轮39，输送电机35的输出端通过皮带传动连接有驱动轮，驱动轮与第三同步带轮36之间通过连杆相连接，且驱动轮与第三同步带轮36为同心圆设置，横向两个第三同步带轮36之间通过输送带37相连接，反射传感器38设置有多个，且固定安装有在整体搬运机构9上，传递滚轮39设置在整体搬运机构9的前方；

通过输送电机35带动驱动轮转动，在驱动轮和连杆的作用下能够带动第三同步带轮36转动，而横向两个第三同步带轮36之间通过输送带37相连接，能够实现物料的移动，通过设置反射传感器38能够检测有无产品的靠近，实用性强，通过设置传递滚轮39能够物料运输的平稳性。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的仅为本实用新型的优选例，并不用来限制本实用新型，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (8)

1.电烧炉自动投料设备，包括上下料装置(1)，其特征在于：所述上下料装置(1)的上方固定安装有真空吸嘴机构(2)，所述上下料装置(1)的右侧安装有搬运机构(3)，所述搬运机构(3)的前方安装有撒料装置(4)，所述撒料装置(4)的对立面安装有积材机构(5)，所述撒料装置(4)和积材机构(5)的下方安装有递进机构(6)，所述撒料装置(4)和积材机构(5)的前方安装有输送机构(7)，所述输送机构(7)的上方安装有抓取机构(8)，所述抓取机构(8)的右侧安装有整体搬运机构(9)。

2.根据权利要求1所述的电烧炉自动投料设备，其特征在于：所述真空吸嘴机构(2)包括电机(17)、第一同步带(18)、第一直线导轨(19)和第一同步带轮(20)，所述电机(17)的下端固定安装有支撑结构，且支撑机构的外端与第一直线导轨(19)固定连接，所述电机(17)的输出端通过输出轴与第一同步带(18)连接，所述第一同步带(18)的两端与第一同步带轮(20)转动连接，且所述真空吸嘴机构(2)共设置有两个。

3.根据权利要求1所述的电烧炉自动投料设备，其特征在于：所述搬运机构(3)包括***(10)、直线电机(11)和限位传感器(12)，所述***(10)与直线电机(11)滑动连接，且所述限位传感器(12)设置在直线电机(11)的下方。

4.根据权利要求1所述的电烧炉自动投料设备，其特征在于：所述撒料装置(4)包括直震送料器(21)、封口气缸(22)和光纤传感器(23)，所述直震送料器(21)的外端与封口气缸(22)相连接，所述直震送料器(21)的两侧安装有光纤传感器(23)。

5.根据权利要求1所述的电烧炉自动投料设备，其特征在于：所述积材机构(5)包括翻转电机(24)、提升电机(25)、第二直线导轨(26)、第二同步带(27)、滚珠丝杠(28)、夹紧气缸(29)、肌腱(30)和真空吸盘(31)，所述翻转电机(24)的输出端与第二同步带(27)转动连接，所述提升电机(25)，所述第二直线导轨(26)上滑动连接移动座，移动座的内端面固定安装有滚珠丝杠(28)，移动座的中心处转动连接有转轮，且转轮与第二同步带(27)传动连接，转轮的外端固定连接有夹料机构，夹料机构的两侧固定安装有夹紧气缸(29)，夹料机构的上端面固定安装有肌腱(30)，所述肌腱(30)的前方安装有真空吸盘(31)。

6.根据权利要求1所述的电烧炉自动投料设备，其特征在于：所述递进机构(6)包括递进电机(32)、第二同步带轮(33)和第三同步带(34)，所述递进机构(6)与第二同步带轮(33)通过皮带连接，所述第二同步带轮(33)对称设置有两个，且两个所述第二同步带轮(33)之间通过第三同步带(34)相连接。

7.根据权利要求1所述的电烧炉自动投料设备，其特征在于：所述抓取机构(8)包括电缸(13)、真空发生器(14)、真空吸嘴(15)和整型气缸(16)，所述电缸(13)的输出端固定连接有横板，横板的边角处安装有真空吸嘴(15)，且横板的上方安装有整型气缸(16)，所述电缸(13)的外侧壁固定安装有支架，支架的上方与所述真空发生器(14)的上端固定连接。

8.根据权利要求1所述的电烧炉自动投料设备，其特征在于：所述整体搬运机构(9)包括输送电机(35)、第三同步带轮(36)、输送带(37)、反射传感器(38)和传递滚轮(39)，所述输送电机(35)的输出端通过皮带传动连接有驱动轮，驱动轮与所述第三同步带轮(36)之间通过连杆相连接，且驱动轮与第三同步带轮(36)为同心圆设置，横向两个所述第三同步带轮(36)之间通过输送带(37)相连接，所述反射传感器(38)设置有多个，且固定安装有在整体搬运机构(9)上，所述传递滚轮(39)设置在整体搬运机构(9)的前方。

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