CN215772886U - 振动马达及触觉器件 - Google Patents

振动马达及触觉器件 Download PDF

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    • B06B1/045Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with electromagnetism using vibrating magnet, armature or coil system
    • HELECTRICITY
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    • H02K33/02Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system with armatures moved one way by energisation of a single coil system and returned by mechanical force, e.g. by springs
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Abstract

本实用新型提供振动马达及触觉器件。振动马达包括:静止部;可动部,能够相对于所述静止部沿着在上下方向上延伸的中心轴振动;以及弹性构件。静止部包括:框体,配置于比可动部更靠径向外侧处并包含沿着中心轴延伸的筒状的壳体;以及线圈,能够向可动部赋予驱动力。可动部包括:磁铁,沿着中心轴延伸;以及固持器,配置于比磁铁更靠上方处。固持器包括:上部,在与中心轴交叉的方向上扩展,并配置于磁铁的上表面的上方;以及侧面部,从上部的径向外缘部向下方延伸,并固定于磁铁的径向外侧面。弹性构件沿着所述中心轴配置于上部与框体之间。弹性构件的下端部固定于上部。本实用新型的振动马达可产生稳定的振动,触觉器件可实现稳定的触觉反馈。

Description

振动马达及触觉器件
技术领域
本实用新型涉及一种振动马达及包括所述振动马达的触觉器件。
背景技术
以往,在智能手机等便携设备等各种设备中,作为振动发生装置而包括振动马达。振动马达例如可用于向使用者通知来电或者警报等的功能,或者人机界面(humaninterface)中的触觉反馈的功能等用途。
现有的振动装置包括:移动体、磁性流体、电磁体以及收纳构件。磁性流体配设于移动体的往复移动方向的两端面侧。电磁体包括能够与规定的交流电源连接的电极。电磁体具有介隔磁性流体而与移动体各自的磁极面对面的磁极。收纳构件以能够在往复移动方向上滑动的方式收纳移动体(例如,日本专利公开公报特开2018-130655号公报)。
然而,在现有的振动装置中,磁性流体直接保持着移动体的磁体。因此,有时通过磁性流体难以精度良好地保持移动体,从而有时移动体的往复移动不稳定。
实用新型内容
鉴于所述状况,本实用新型的目的在于提供一种可产生稳定的振动的振动马达。
本实用新型的例示性的振动马达包括:静止部;可动部,相对于所述静止部沿着在上下方向上延伸的中心轴振动;以及弹性构件。所述静止部包括:框体,配置于比所述可动部更靠径向外侧处,并包含沿着所述中心轴延伸的筒状的壳体;以及线圈,能够向所述可动部赋予驱动力。所述可动部包括:磁铁,沿着所述中心轴延伸;以及固持器,配置于比所述磁铁更靠上方处。所述固持器包括:上部,在与所述中心轴交叉的方向上扩展,并配置于所述磁铁的上表面的上方;以及侧面部,从所述上部的径向外缘部向下方延伸,并固定于所述磁铁的径向外侧面。所述弹性构件沿着所述中心轴配置于所述上部与所述框体之间。所述弹性构件的下端部固定于所述上部。
在所述实施方式中,在所述径向外侧面与所述侧面部之间配置有粘接剂。
在所述实施方式中,所述侧面部为沿着所述中心轴延伸的筒状。
在所述实施方式中,所述侧面部为沿着所述中心轴延伸的圆筒状。所述磁铁的所述径向外侧面为沿着所述中心轴延伸的圆筒状。所述侧面部的径向内侧面遍及整周地固定于所述磁铁的径向外侧面。
在所述实施方式中,所述静止部包括筒状的轴承部,所述筒状的轴承部配置于比所述磁铁更靠径向外侧处并沿着所述中心轴延伸。所述轴承部的径向内侧面与所述磁铁的径向外侧面,在径向上相向地配置。
在所述实施方式中,所述轴承部包括:从所述轴承部的上端部向径向外侧扩展的凸缘部。所述侧面部的下表面与所述凸缘部的上表面,在上下方向上相向地配置。
在所述实施方式中,所述线圈为包围所述中心轴的环状,且固定于所述轴承部的径向外侧面。所述侧面部的至少一部分的径向位置与所述线圈的径向位置一致。
在所述实施方式中,所述框体包括顶面部,所述顶面部配置于比所述可动部更靠上方处并在与所述中心轴交叉的方向上扩展。所述弹性构件配置于比所述固持器更靠上方且比所述顶面部更靠下方处。所述弹性构件固定于所述顶面部与所述固持器此两者,并将所述可动部支撑为能够沿着所述中心轴振动。
在所述实施方式中,所述壳体的外径为4mm以下。所述磁铁的外径为3mm以下。所述侧面部的外径为3.5mm以下。
在所述实施方式中,所述可动部包括:含有所述磁铁的芯部。所述侧面部的上下方向上的长度为所述芯部的上下方向上的长度的10%以上且30%以下。
本实用新型的例示性的触觉器件包括:上文所述的振动马达。
根据本实用新型的例示性的振动马达,可产生稳定的振动。进而,由于触觉器件包括上文所述的振动马达,因此可实现稳定的触觉反馈。
有以下的本实用新型优选实施方式的详细说明,参照附图,可以更清楚地理解本实用新型的上述及其他特征、要素、步骤、特点和优点。
附图说明
图1是本实用新型的例示性的第一实施方式的振动马达的剖面立体图。
图2是图1所示的振动马达的侧面剖面图。
图3是第一变形例的振动马达的侧面剖面图。
图4是从上方观察第一轴承部的一部分的正面图。
图5是示意性地表示第一变形例中的空气逃逸的情形的图。
图6是表示第一变形例中的可动部移动至越过槽部的位置的状态的图。
图7是第二变形例的振动马达的侧面剖面图。
图8是第四变形例的振动马达的侧面剖面图。
图9是示意性地表示第四变形例中的空气逃逸的情形的图。
图10是表示第四变形例中的可动部移动至越过空气孔的位置的状态的图。
图11是第五变形例的振动马达的侧面剖面图。
图12是第六变形例的振动马达的侧面剖面图。
图13是第七变形例的振动马达的侧面剖面图。
图14是本实用新型的例示性的第二实施方式的振动马达的剖面立体图。
图15是本实用新型的例示性的第三实施方式的振动马达的纵剖面立体图。
图16是本实用新型的例示性的第三实施方式的振动马达的纵剖面图。
图17是表示与基板和线圈的电连接相关的结构的立体图。
图18是表示变形例的轴承部的一部分结构的纵剖面图。
图19是表示另一变形例的轴承部的下端部的立体图。
图20是表示固持器的变形例的立体图。
图21是示意性地表示搭载了本实用新型的例示性的振动马达的触摸笔的图。
具体实施方式
以下,参照附图对本实用新型的例示性的实施方式进行说明。
此外,在附图中,将振动马达的中心轴J延伸的方向表示为“上下方向”,将上方表示为X1,将下方表示为X2。此外,所述上下方向不限定将振动马达搭载于设备时的振动马达的安装方向。另外,将相对于中心轴J的径向简称为“径向”。
首先,对本实用新型的例示性的第一实施方式进行说明。图1是本实用新型的例示性的第一实施方式的振动马达10的剖面立体图。图2是图1所示的振动马达10的侧面剖面图。
振动马达10包括:静止部1、可动部2以及弹性构件3。可动部2相对于静止部1能够沿着在上下方向(X方向)上延伸的中心轴J振动。
静止部1包括:壳体11、顶面部13以及线圈14。静止部1还包括第一套筒轴承12。壳体11为沿着中心轴J延伸的圆筒状的构件。此外,壳体11不限于圆筒状,例如也可为四方筒状等。壳体11包含磁性体。作为所述磁性体,例如为不锈钢。壳体11在内部收容后述的可动部2。
第一套筒轴承12包括第一盖部121以及第一轴承部122。即,静止部1包括第一盖部121以及第一轴承部122。第一盖部121为大致圆盘状。第一轴承部122为从第一盖部121向上方突出并在上下方向上延伸的大致圆筒状。即,静止部1包括沿着中心轴J延伸的筒状的第一轴承部122。此外,第一盖部121不限于大致圆盘状,例如也可为大致四方板状,第一轴承部122不限于大致圆筒状,例如也可为大致四方筒状。第一盖部121与第一轴承部122构成作为单一构件的第一套筒轴承12。此外,第一盖部121与第一轴承部122也可为分体。在此情况下,第一盖部121与壳体11也可构成单一构件。
第一套筒轴承12从壳体11的下方***至壳体11的内部并固定于壳体11。第一盖部121堵塞壳体11的下端部。第一轴承部122在比第一盖部121更靠上方处配置于壳体11的内部。
第一套筒轴承12例如包含低摩擦系数且低磨耗性的树脂。作为所述树脂,例如为聚甲醛(polyformaldehyde,POM)(聚缩醛)。
静止部1包括顶面部13。顶面部13为大致圆盘状,且堵塞壳体11的上端部并固定于所述上端部。此外,顶面部13不限于大致圆盘状,例如也可为大致四方板状。框体包括:壳体11、第一盖部121及顶面部13。即,静止部1包括框体,所述框体配置于比可动部2更靠径向外侧处并包含沿着中心轴J延伸的筒状的壳体11。另外,框体包括顶面部13,所述顶面部13配置于比可动部2更靠上方处并在与中心轴J交叉的方向上扩展。
线圈14是绕在可动部2的上下方向上延伸的中心轴J卷绕导线而形成,并固定于壳体11的内表面。线圈14为包围中心轴J的环状。壳体11在内部收容线圈14。线圈14通过进行通电而产生磁场。即,静止部1包括能够向可动部2赋予驱动力的线圈14。线圈14固定于第一轴承部122的上端面。
可动部2包括沿着中心轴J延伸的磁铁21。可动部2还包括磁性体22以及固持器23,并收容于壳体11内部。磁铁21包括下方的磁铁部21A以及上方的磁铁部21B。磁性体22被磁铁部21A、磁铁部21B从上下方向两侧夹持。磁铁部21A、21B及磁性体22为在上下方向上延伸的大致圆柱状。此外,磁铁部21A、磁铁部21B及磁性体22不限于大致圆柱状,例如也可为大致四方柱状。
磁铁部21A的上方为N极,下方为S极。磁铁部21B的下方为N极,上方为S极。即,N极彼此隔着磁性体22在上下方向上相向。通过由磁性体构成壳体11,可抑制由磁铁21及线圈14产生的磁场泄漏至振动马达10的外部,从而可提高磁力。此外,S极彼此也可隔着磁性体22在上下方向上相向。
固持器23保持磁铁部21B(磁铁21)的上方部分。即,可动部2包括配置于比磁铁21更靠上方处的固持器23。固持器23包括向上方呈圆柱状凹陷的柱状凹部23A。磁铁部21B的上方部分212嵌合于柱状凹部23A。固持器23作为配重(重物)发挥功能,且例如包含钨合金。线圈14的第一方向另一侧面14A与固持器23的第一方向其中一侧面23B在第一方向上相向地配置。由此,与线圈14的第一方向另一侧面14A全部配置于比固持器23的第一方向其中一侧面23B更靠径向外侧的情况相比,可减小振动马达10的径向上的尺寸。
上方部分212通过粘接剂固定于柱状凹部23A。在上方部分212的径向外侧面与柱状凹部23A的径向外侧面之间配置有粘接剂。上方部分212的上表面与柱状凹部23A的上表面(底面)之间可接触,也可配置有粘接剂。固持器23包括上部231以及侧面部232。上部231在与中心轴J交叉的方向上扩展,并配置于磁铁21(磁铁部21B)的上表面的上方。侧面部232从上部231的径向外缘部向下方延伸,并固定于磁铁21的外侧面。此外,磁铁21也可通过压入而固定于固持器23。在此情况下,侧面部232与磁铁21的外侧面接触。
弹性构件3为绕中心轴J卷绕的螺旋弹簧。弹性构件3的下端部固定于上部231(固持器23)的上端面,弹性构件3的上端部固定于顶面部13的内表面。弹性构件3的固定例如通过粘接来进行。即,弹性构件3沿着中心轴J配置于上部231与框体之间。弹性构件3的下端部固定于上部231。此外,弹性构件3的固定不限于粘接,例如也可通过焊接、嵌合、铆接等进行。
如此,在本实施方式中,在可动部2设置固持器23而将弹性构件3固定于固持器23,因此与将弹性构件3直接固定于磁铁21相比,更容易将弹性构件3固定于可动部2。由此,可动部2的振动稳定。另外,由于固持器23的侧面部232固定于磁铁21的径向外侧面,因此可通过固持器23牢固地保持磁铁21。进而,通过设置侧面部232,可增加固持器23的重量,进而增加可动部2的重量,从而可提高振动马达10的振动特性。
另外,在磁铁21的径向外侧面与侧面部232之间配置有粘接剂。由此,可通过简单的方法牢固地保持磁铁21。
另外,侧面部232为沿着中心轴J延伸的圆筒状。即,侧面部232为沿着中心轴J延伸的筒状。此外,侧面部232也可为四方筒状等。由此,可更牢固地保持磁铁21。
另外,如上所述,侧面部232为圆筒状。而且,磁铁21的径向外侧面为沿着中心轴J延伸的圆筒状。在侧面部232的径向内侧面与磁铁21的径向外侧面之间,遍及整周地配置有粘接剂。即,侧面部232的径向内侧面遍及整周地固定于磁铁21的径向外侧面。由此,当将固持器23安装于磁铁21时,不需要考虑固持器23的绕中心轴J的位置,从而可动部2的组装变得容易。进而,可均衡地保持磁铁21。
另外,弹性构件3配置于比固持器23更靠上方且比顶面部13更靠下方处。弹性构件3固定于顶面部13与固持器23此两者,并将可动部2支撑为能够沿着中心轴J振动。由此,可动部2的振动更稳定。
第一轴承部122包括圆筒状的轴承内侧面122A。在不对线圈14进行通电而可动部2为静止状态即非运转状态的情况下,磁铁部21A的下方的一部分与轴承内侧面122A隔开间隙S1而收容于第一轴承部122的内部。即,第一轴承部122包括相对于可动部2的下方部分P1的外侧面隔开间隙S1而配置的轴承内侧面122A。第一轴承部122配置于比磁铁21更靠径向外侧处。第一轴承部122的径向内侧面122A与磁铁21的径向外侧面在径向上相向地配置。此外,图1及图2表示非运转状态下的振动马达10。另外,第一轴承部122为轴承部的一例。即,静止部1包括筒状的轴承部,所述筒状的轴承部配置于比磁铁21更靠径向外侧处并沿着中心轴J延伸。
在非运转状态下,磁性体22位于线圈14的内侧。另外,在非运转状态下,弹性构件3为自然长度,但通过固持器23容易将弹性构件3固定于可动部2。
通过向线圈14通电,利用由线圈14产生的磁场与由磁铁21产生的磁场的相互作用,向磁铁21赋予驱动力。即,通过向可动部2赋予驱动力,可动部2在上下方向上振动。
另外,如图2所示,可动部2的下表面2BT整体与第一盖部121直接在上下方向上相向。即,可动部2的下表面2BT整体与振动马达10的下端部直接在上下方向上相向。由此,可动部2的下部由第一轴承部122支撑,但在上下方向上未被支撑。由此,与利用弹性构件等从上下方向此两个方向支撑可动部的情况相比,可抑制可动部在上下方向上的恢复力必要以上地变大。因此,可增大可动部在上下方向上的振动。另外,不需要在比可动部2更靠下方处配置弹性构件,因此振动马达10的结构变得简化,从而量产性提高。另外,若为此种可动部2的基于弹性构件3的悬臂结构,则重要的是将弹性构件3固定于顶面部13与可动部2此两者。
此外,在图2的结构中也可不设置第一盖部121,可动部2的下表面2BT整体也可与振动马达10的外部空间直接相向。
另外,当可动部2振动时,在可动部2与第一轴承部122的轴承内侧面122A接触的情况下,可动部2相对于静止的第一轴承部122滑动,因此可动部2的移动被限制为一方向的移动。由此,可使可动部2稳定地运转。此外,在壳体11包含磁性体的情况下,可动部2沿着第一轴承内侧面122A被驱动,因此可抑制可动部2因吸引力而被吸引并贴附于包含磁性体的壳体11的现象的发生。
另外,当可动部2向下方移动时,可动部2压入由第一轴承部122与第一盖部121包围的空间中所收容的空气,由此发挥阻尼器(damper)的效果。由此,可适当地保持可动部2与第一盖部121在第一方向上的距离。
另外,假设在通过将弹性构件分别配置于上方、下方而设置两个弹性构件的振动马达的结构的情况下,有各个弹性构件的特性产生不一致之虞,从而难以使共振频率等制品性能稳定化。相对于此,在本实施方式的结构中,由于弹性构件3为一个,因此可实现制品性能的稳定化。另外,与如上所述那样在设置两个弹性构件的情况下在下方设置固持器及弹性构件的结构相比,在本实施方式的结构中,可将所述固持器及所述弹性构件替换成第一轴承部122,因此可削减成本。
以下,对上文所说明的例示性的第一实施方式的各种变形例进行叙述。此外,以下说明的各种变形例能够适当地组合来实施。
图3是第一变形例的振动马达101的侧面剖面图。如图3所示,在第一变形例中,在第一轴承部122设置槽部1221。槽部1221设置于轴承内侧面122A。槽部1221沿着上下方向延伸。此外,槽部1221包含于间隙S1中。
图4是从上方观察第一轴承部122的一部分的正面图。如图4所示,槽部1221设置有多个。此外,槽部1221也可为一个。即,轴承内侧面122A包括沿着上下方向设置的至少一个槽部1221。
槽部1221的上端1221A在第一轴承部122的上端122B开口。即,槽部1221的上端1221A位于第一轴承部122的上端122B。
另外,槽部1221的下端1221B位于比第一轴承部122的下端122C更靠上方处。
在此种第一变形例中,如图5所示,当可动部2(磁铁部21A)在运转状态下向下方移动时,被可动部2压入的空气逃逸至槽部1221。此外,在图5中,示出空气的流动F1。由此,阻尼器的效果减弱,可提高可动部2的滑动性。
另外,逃逸至槽部1221的空气从上端1221A流出至外部,因此空气容易逃逸,可进一步提高可动部2的滑动性。
另外,如图6所示,当可动部2在上下方向上移动时,若可动部2向下方越过下端1221B,则空气的逃逸得到抑制,由空气产生的阻力变大。因此,可适当地保持可动部2与第一盖部121在第一方向上的距离。
图7是第二变形例的振动马达102的侧面剖面图。振动马达102包括缓冲构件410、缓冲构件420。缓冲构件410、缓冲构件420例如包含硅橡胶、热塑性聚氨基甲酸酯等。
缓冲构件410固定于第一盖部121的与可动部2(磁铁部21A)的下端面T1在上下方向上相向的内表面。缓冲构件420固定于顶面部13的与可动部2(固持器23)的上端面T2在上下方向上相向的内表面。缓冲构件410、缓冲构件420的固定例如利用双面胶带进行。
此外,缓冲构件410、缓冲构件420也可仅设置任一者。即,静止部1包括缓冲构件410、缓冲构件420,所述缓冲构件410、缓冲构件420配置于第一盖部121的与可动部2的下端面T1在上下方向上相向的内表面和顶面部13的与可动部2的上端面T2在上下方向上相向的内表面的至少一者。
可动部2在通常运行时不与缓冲构件410、缓冲构件420接触。然而,在使振动马达102落下等的情况下,可动部2的下端面T1与缓冲构件410接触,或者可动部2的上端面T2与缓冲构件420接触。因此,可抑制因可动部2与静止部1接触而产生的噪音等。
作为第三变形例,在所述例示性的第一实施方式的振动马达10中,也可在间隙S1配置润滑剂或者磁性流体。润滑剂例如为油。此外,在配置磁性流体的情况下,磁性流体与磁铁部21A一起移动。
由此,可动部2容易在上下方向上移动。另外,可抑制可动部2的磨耗,从而可实现长寿命化。进而,可抑制由可动部2与第一轴承部122的摩擦引起的声音的产生,从而可提高静音性。
图8是第四变形例的振动马达104的侧面剖面图。如图8所示,在振动马达104中,第一轴承部122包括空气通路1222以及空气孔1223。空气通路1222沿着上下方向配置。空气孔1223与空气通路1222连通并配置于轴承内侧面122A。
此外,图8的空气通路1222的上方未延伸至第一轴承部122的上端面。此外,如后述的实施方式那样,空气通路也可延伸至第一轴承部122的上端面并开口。另外,空气通路也可向比空气孔1223更靠下方延伸。在此情况下,空气通路也可延伸至第一盖部121的下端面并开口。
根据图8所示的结构,如图9所示,当可动部2在上下方向上移动时,在可动部2位于比空气孔1223更靠上方处的情况下,被可动部2压入的空气经由空气孔1223而流入至空气通路1222,从而可动部2容易向下方移动。此外,在图9中示出空气的流动F2。而且,如图10所示,若可动部2向下方越过空气孔1223,则空气孔1223被堵塞而空气的逃逸得到抑制,由空气产生的阻力变大。因此,可适当地保持可动部2与第一盖部121在第一方向上的距离。
此外,空气通路及空气孔的组并不限于一组,也可在第一轴承部122的周向上排列设置多个组。
图11是第五变形例的振动马达105的侧面剖面图。如图11所示,在振动马达105中,形成有覆盖磁铁部21A的外周面的第一滑动构件24。即,可动部2的下方部分P1包括磁铁21(磁铁部21A)的一部分211、及配置于一部分211的外周面的第一滑动构件24。第一滑动构件24包含摩擦系数低的例如氟层等。此外,磁铁部21A可为圆柱状的构件,也可为四棱柱状等的构件。只要在磁铁部21A的径向外侧面形成有第一滑动构件24即可。
根据此种结构,可抑制由与轴承内侧面122A接触的可动部2的滑动动作引起的磁铁21的磨耗,可抑制磨耗所致的磁通变化。另外,可抑制由因可动部2的磨耗而产生的可动部2的上方部分的上下方向以外的移动所引起的偏差。因此,可改善可动部2的同轴度。此外,同轴度表示轴直线从应一致的规定的轴直线的偏移。此处,所述规定的轴直线是中心轴J。
图12是第六变形例的振动马达106的侧面剖面图。如图12所示,在振动马达106中,可动部2包括第二滑动构件25。第二滑动构件25配置于固持器23的外周面且相对于壳体11的内表面滑动。第二滑动构件25与第一滑动构件24同样地例如包含氟层等。
根据此种结构,可抑制由可动部2的上方部分的上下方向以外的移动引起的偏差,从而可改善可动部2的同轴度。另外,假设在不设置第二滑动构件25且壳体11包含磁性体的情况下,为了抑制可动部2因吸引力而被吸引并贴附于包含磁性体的壳体11,需要在某种程度上设置固持器23的外周面与壳体11的内表面的间隙。如此,在使振动马达小型化时,作为配重的固持器23的尺寸变小。相对于此,若为本实施方式,则由于设置第二滑动构件25,因此即便固持器23的外周面接近壳体11的内表面,也可抑制可动部2被吸引并贴附,从而可使可动部2稳定地运转。另外,在使振动马达106小型化时,也可增大作为配重的固持器23的尺寸。因此,可提高振动马达106的振动性能。此外,在振动马达106中,也可在第二滑动构件25与壳体11之间配置润滑剂或者磁性流体。即,在第二滑动构件25的径向外侧面与壳体11之间配置润滑剂或者磁性流体。润滑剂例如为油。此外,在配置磁性流体的情况下,磁性流体与第二滑动构件25一起移动。
图13是第七变形例的振动马达107的侧面剖面图。如图13所示,在振动马达107中,第一盖部121具有在上下方向上贯通的贯通孔121A。贯通孔121A设置有多个。此外,贯通孔121A也可为一个。即,第一盖部121具有至少一个在上下方向上贯通的贯通孔121A。另外,贯通孔121A配置于第一盖部121的与可动部2的下端面T1在一方向上相向的内表面。
根据此种结构,当可动部2在上下方向上移动时,空气从贯通孔121A逃逸至外部,因此可动部2容易移动。
接着,对本实用新型的例示性的第二实施方式进行叙述。图14是本实用新型的例示性的第二实施方式的振动马达20的剖视立体图。振动马达20的结构上的与例示性的第一实施方式的不同点是振动马达20包括第二套筒轴承15。
静止部1包括第二套筒轴承15。第二套筒轴承15包括第二盖部151以及第二轴承部152。即,静止部1包括第二盖部151以及第二轴承部152。
第二盖部151为大致圆盘状。第二轴承部152为从第二盖部151向下方突出并在上下方向上延伸的大致圆筒状。第二盖部151与第二轴承部152构成作为单一构件的第二套筒轴承15。此外,关于第二套筒轴承15的结构的各种变形,与上文所述的第一套筒轴承12相同。
第二套筒轴承15从壳体11的上方***至壳体11的内部并固定于壳体11。第二盖部151堵塞壳体11的上端部。第二轴承部152在第一轴承部122的上方且比第二盖部151更靠下方处配置于壳体11的内部。
第二套筒轴承15例如包含低摩擦系数且低磨耗性的树脂。作为所述树脂,例如为POM(聚缩醛)。
第二轴承部152包括圆筒状的轴承内侧面152A。在非运转状态的情况下,磁铁部21B的上方的一部分与轴承内侧面152A隔开间隙S2而收容于第二轴承部152的内部。即,第二轴承部152包括相对于可动部2的上方部分P2的外周面隔开间隙S2而配置的轴承内侧面152A。此外,图14表示非运转状态下的振动马达20。
通过向线圈14通电,而向磁铁21赋予驱动力,从而可动部2在上下方向上振动。当可动部2振动时,在可动部2与轴承内侧面122A、轴承内侧面152A接触的情况下,可动部2相对于静止的第一轴承部122及第二轴承部152滑动,因此将可动部2的移动限制为大致上下方向的移动。由此,可动部2的移动稳定。进而,在壳体11包含磁性体的情况下,可抑制可动部2的贴附,从而可使可动部2稳定地运转。
另外,当可动部2向上方移动时,可动部2压入由第二轴承部152与第二盖部151包围的空间内所收容的空气,由此发挥阻尼器的效果,从而可抑制可动部2与第二盖部151接触。
进而,在本实施方式中,与例示性的第一实施方式相比,由于将固持器及弹性构件替换成轴承部,因此可进一步削减成本。
此外,在图14所示的结构中,第一轴承部122包括空气通路1222及空气孔1223,第二轴承部152包括空气通路1522及空气孔1523。
空气通路1222向比空气孔1223更靠上方延伸至第一轴承部122的上端面并开口。即,空气通路1222的上端1222A位于第一轴承部122的上端面。
由此,当可动部2向下方移动时,被可动部2压入的空气经由空气孔1223而流入至空气通路1222,并从上端1222A流出至外部。因此,空气容易逃逸,可动部2容易向下方移动。
空气通路1522向比空气孔1523更靠下方延伸至第二轴承部152的下端面并开口。即,空气通路1522的下端1522A位于第二轴承部152的下端面。
由此,当可动部2向上方移动时,被可动部2压入的空气经由空气孔1523而流入至空气通路1522,并从下端1522A流出至外部。因此,空气容易逃逸,可动部2容易向上方移动。此外,若可动部2向上方越过空气孔1523,则空气孔1523被堵塞,因此阻尼器的效果增强,可适当地保持可动部2与第二盖部151在第一方向间的距离。
此外,在本实施方式中,能够适宜应用关于上文所述的例示性的第一实施方式的各种变形例。
图15是本实用新型的例示性的第三实施方式的振动马达30的纵剖面立体图。图16是图15所示的振动马达30的纵剖面图。
振动马达30包括静止部4以及可动部5。在本实施方式中,振动马达30还包括弹性构件6以及基板7。可动部5沿着中心轴J的方向延伸。可动部5能够相对于静止部4沿着中心轴J振动。中心轴J在上下方向上延伸。即,可动部5能够在上下方向上振动。
静止部4包括:壳体41、轴承部42以及线圈43。在本实施方式中,静止部4还包括顶面部44。
壳体41为在上下方向上延伸的圆筒状的构件。此外,壳体41不限于圆筒状,例如也可为四方筒状等。即,壳体41只要为在上下方向上延伸的筒状即可。壳体41包含磁性体。所述磁性体例如为不锈钢。壳体41在内部收容可动部5及线圈43。
轴承部42为沿着中心轴J延伸的筒状的套筒轴承。轴承部42例如包含低摩擦系数且低磨耗性的树脂。所述树脂例如为POM(聚缩醛)。此外,树脂也可为液晶聚合物(LiquidCrystal Polymer,LCP)。
轴承部42包括在上下方向上延伸的圆柱状的中空部42A。轴承部42包括第一区域部421、第二区域部422以及第三区域部423。第二区域部422配置于第一区域部421的下方。即,轴承部42包括配置于第一区域部421的下方的第二区域部422。第三区域部423配置于第一区域部421的上方。第一区域部421、第二区域部422及第三区域部423各自的内径大致相同。由此,构成在上下方向上直径大致一定的中空部42A。
第一区域部421、第二区域部422及第三区域部423一体地形成。第一区域部421为在上下方向上延伸的圆筒状。在第一区域部421的径向外周缠绕导线而形成线圈43。线圈43是通过绕中心轴J卷绕导线而形成。线圈43的径向内侧面与第一区域部421的径向外侧面接触。即,轴承部42包括第一区域部421,第一区域部421包括配置于线圈43的径向内侧的线圈内区域部421A。
第一区域部421的径向外端位置与线圈43的径向内端位置一致。由此,在制造振动马达30时,可在形成轴承部42后将线圈43缠绕于第一区域部421,因此振动马达30的量产性提高。
第二区域部422包括在上下方向上延伸的圆筒状的基部422A、以及从基部422A的下端部向径向外侧突出的第三凸部422B。即,第二区域部422包括向径向外侧突出的第三凸部422B。第三凸部422B为圆环状。在制造振动马达30时,轴承部42从下方***至壳体41内部。通过***,第三凸部422B的上表面与壳体41的下表面在上下方向上接触。由此,可相对于壳体41进行轴承部42在上下方向上的定位。
轴承部42配置于壳体41的内部。在将轴承部42收容于壳体41内的状态下,壳体41配置于比线圈43的径向外端更靠径向外侧处。即,静止部4包括筒状的壳体41,所述筒状的壳体41配置于比线圈43的径向外端更靠径向外侧处并在上下方向上延伸。
基部422A的径向外侧面配置于比线圈43的径向外侧面更靠径向外侧处。即,第二区域部422的径向外侧面配置于比第一区域部421的径向外侧面更靠径向外侧处。第二区域部422的上表面与线圈43的下端在上下方向上相向地配置。由此,可抑制线圈43向比第二区域部422的上表面更靠下方移动。
第三区域部423为在上下方向上延伸的圆筒状。第三区域部423的径向外端配置于比线圈43的径向内端更靠径向外侧处。第三区域部423的下表面与线圈43的上端在上下方向上相向地配置。由此,可抑制线圈43向比第三区域部423的下表面更靠上方移动。
可动部5包括芯部51以及固持器52。
芯部51为沿着中心轴J的方向延伸的圆柱状的构件。在本实施方式中,芯部51例如包括在上下方向上排列的两个磁铁、以及在上下方向上被所述磁铁夹持地配置的磁性体。即,可动部5包括磁铁以及磁性体。在此情况下,例如,上方的磁铁的下方为N极,上方为S极。下方的磁铁的上方为N极,下方为S极。即,N极彼此隔着所述磁性体在上下方向上相向。通过由磁性体构成壳体41,可抑制由磁铁及线圈43产生的磁场泄漏至振动马达30的外部,从而可提高磁力。此外,所述各磁铁的磁极也可在上下方向上与所述相反。
固持器52保持芯部51的上端部51T。固持器52包括向上方呈圆柱状凹陷的柱状凹部521。上端部51T配置于柱状凹部521内。上端部51T例如通过粘接而固定于柱状凹部521。即,固持器52固定于芯部51。
固持器52作为配重(重物)发挥功能,且例如包含金属。所述金属的一例为钨合金。
固持器52包括上部52A以及侧面部52B。上部52A配置于芯部51(磁铁)的上表面的上方。侧面部52B从上部52A的径向外缘部向下方延伸。在侧面部52B的径向内侧面与芯部51的径向外侧面之间配置有粘接剂。即,侧面部52B固定于磁铁的径向外侧面。通过侧面部52B,可牢固地保持磁铁,并且可增加可动部5的重量。
上部52A包括收容部522。即,可动部5包括收容部522。收容部522从固持器52的上表面向下方呈圆环状凹陷。更具体而言,收容部522包括:可动部5(固持器52)的上表面522A、从上表面522A的内缘向上方延伸的壁面522B、从上表面522A的外缘向上方延伸的壁面522C。即,收容部522包括可动部5的上表面522A、以及从上表面522A的内缘与上表面522A的外缘的至少一者向上方延伸的壁面522B、壁面522C。
在收容部522收容弹性构件6的下端部。弹性构件6向收容部522的固定例如通过粘接来进行。即,弹性构件6的下端部被收容并固定于收容部522。通过收容部522,可将弹性构件6定位于可动部5同时牢固地固定。另外,由于并非在磁铁而是在固持器52设置收容部522,因此可对磁特性影响少地形成收容部522。
静止部4包括顶面部44。顶面部44为以中心轴J为中心的大致圆盘状的构件。顶面部44配置于比可动部5更靠上方处并在与上下方向交叉的方向上扩展。顶面部44包括从下表面向上方呈圆环状凹陷的第一凹部441。即,顶面部44包括向上方凹陷的第一凹部441。弹性构件6的上端部被收容并固定于第一凹部441。由此,可将弹性构件6定位于顶面部44同时牢固地固定。
弹性构件6向第一凹部441的固定例如通过粘接来进行。即,弹性构件6的上端部通过收容于第一凹部441内的粘接剂固定。因此,可通过简单的方法实现牢固的固定。
顶面部44包括向径向突出的凸缘部442。在制造振动马达30时,顶面部44从上方***至壳体41内。此时,凸缘部442的下表面与壳体41的上表面在上下方向上接触。由此,可进行顶面部44相对于壳体41在上下方向上的定位,并且可实现振动马达30的强度提高。
通过此种结构,可动部5经由弹性构件6被顶面部44支撑。在弹性构件6为自然长度的状态下,如图16所示,芯部51的下方的一部分被收容于轴承部42的中空部42A内。由此,芯部51由轴承部42支撑为能够沿着中心轴J振动。即,轴承部42将可动部5支撑为能够沿着中心轴J振动。即,轴承部42沿着中心轴J延伸,并将可动部5支撑为能够沿着中心轴J振动。
由于弹性构件6固定于顶面部44与可动部5(固持器52)此两者,因此可动部5的振动稳定。
在芯部51的一部分被收容于轴承部42内的状态下,轴承部42的轴承内侧面42S与芯部51的径向外侧面在径向上相向。轴承内侧面42S是中空部42A的外周面。即,轴承部42包括与可动部5的径向外侧面在径向上相向地配置的轴承内侧面42S。当可动部5振动时,在可动部5与轴承部42的轴承内侧面42S接触的情况下,可动部5相对于静止的轴承部42滑动,因此可动部5的移动被限制为上下方向的移动。由此,可抑制可动部5因吸引力而被吸引并贴附于包含磁性体的壳体41的现象的发生,从而可使可动部5稳定地运转。
另外,可动部5的下方由轴承部42支撑,但在上下方向上未被支撑。由此,与利用弹性构件等从上下方向此两个方向支撑可动部的情况相比,可抑制可动部在上下方向上的恢复力必要以上地变大。因此,可增大可动部在上下方向上的振动。另外,不需要在比可动部5更靠下方处配置弹性构件,因此振动马达30的结构变得简化,从而量产性提高。另外,由于为此种通过弹性构件6支撑可动部5的悬臂结构,因此重要的是弹性构件6固定于顶面部44与可动部5此两者。
通过向线圈43进行通电,从线圈43产生磁场。通过所产生的磁场与由芯部51产生的磁场的相互作用,可动部5在上下方向上振动。即,线圈43能够通过通电向磁铁赋予驱动力。
由于第一区域部421包括线圈内区域部421A,因此可通过线圈内区域部421A将可动部5与线圈43隔开。由此,可减小线圈内区域部421A的径向厚度,从而能够使振动马达30在径向上小型化。
另外,第二区域部422配置于比线圈43的下端更靠下方处。因此,通过除了第一区域部421之外还在轴承部42设置第二区域部422,轴承部42的与可动部5在径向上相向的内侧面的上下方向长度变长,可抑制可动部5在振动时的倾斜。由此,振动马达30的振动稳定。
另外,如图16所示,可动部5的一部分配置于第一区域部421的径向内侧面及第二区域部422的径向内侧面的各自的径向内侧。若更具体地进行叙述,则在弹性构件6为自然长度的状态下,可动部5的一部分配置于第一区域部421的径向内侧面及第二区域部422的径向内侧面的各自的径向内侧。由此,与轴承部42的内侧面在径向上相向的可动部5的上下方向长度变长,可抑制可动部5在振动时的倾斜。因此,可使振动稳定化。此外,在弹性构件6为自然长度的状态下,可动部5的一部分也可不位于第二区域部422的径向内侧。
另外,轴承部42包括配置于比第一区域部421更靠上方的第三区域部423。由此,轴承部42的与可动部5在径向上相向的内侧面的上下方向长度变长,可进一步抑制可动部5在振动时的倾斜。此外,第三区域部423的径向外端也可配置于比线圈43的径向内端更靠径向内侧处。
即,轴承部42包括从轴承部42的上端部向径向外侧扩展的凸缘部423A。在本实施方式中,第三区域部423具有所述结构。侧面部52B的下表面与凸缘部423A的上表面在上下方向上对应地配置。由此,侧面部52B的下表面能够与凸缘部423A的上表面接触,从而可限制可动部5向下方的移动。特别是第二区域部422的内径在上下方向上大致一定,因此通过如上所述那样限制可动部5向下方的移动,可抑制可动部5向比第二区域部422更靠下方脱落。另外,如后所述,在基板7配置于第二区域部422的下方的情况下,可适当地保持可动部5与基板7在上下方向上的间隙。
另外,如图16所示,固持器52包括向上方突出的突出部523。突出部523、即固持器52的上表面523A与顶面部44的下表面44A在上下方向上直接相向地配置。由此,固持器52的上表面523A能够与顶面部44的下表面44A接触,从而可限制可动部5向上方的移动。
另外,如图16所示,线圈43为包围中心轴J的环状,且固定于轴承部42的径向外侧面。侧面部52B的至少一部分的径向位置与线圈43的径向位置一致。由此,与线圈43的上表面全部配置于比侧面部52B的下表面更靠径向外侧处的情况相比,可减小振动马达30的径向上的尺寸。
另外,如图16所示,弹性构件6的径向外端配置于比磁铁的径向外端面更靠径向外侧处。由此,弹性构件6尽量在径向外侧固定于可动部5,因此可动部5的振动更稳定。
另外,在本实施方式中,可动部5仅包括:包含磁铁的芯部51、固持器52以及将磁铁与固持器52固定的粘接剂。由此,不需要在可动部设置转轴,而可实现振动马达30的轻量化。另外,如图16所示,线圈43的第一方向另一侧面43A与固持器52的第一方向其中一侧面在第一方向上相向地配置。由此,与线圈43的第一方向另一侧面43A的全部配置于比固持器52的第一方向其中一侧面更靠径向外侧处的情况相比,可减小振动马达30的径向上的尺寸。
图17是表示与基板7和线圈43的电连接相关的结构的立体图。如图17所示,在第二区域部422的径向外侧面形成在上下方向上延伸且向径向内侧凹陷的凹部42B。从线圈43引出的引出线431的一部分被收容于凹部42B。此外,引出线431的全部也可被收容于凹部42B。即,只要引出线431的至少一部分收容于凹部42B即可。
由此,不需要在轴承部42的径向外侧引绕引出线431。因此,与在轴承部42的径向外侧引绕引出线431的情况相比,在振动马达30中,可抑制引出线431与其他部位或者其他构件发生干涉,可使振动马达30在径向上小型化。另外,振动马达30的制造效率提高。
另外,如图17所示,基板7配置于比第二区域部422更靠下方处,且在径向上扩展。基板7可为柔性印刷基板,也可为刚性印刷基板。
轴承部42包括从第二区域部422的下表面向下方突出的第一凸部42C。引出至下方的引出线431的下端部卷绕于第一凸部42C。即,引出线431捆绕于第一凸部42C。
基板7包括第一电极部71以及第二电极部72。第一电极部71与第二电极部72通过基板7内部的配线图案(在图17中未图示)电连接。在制造振动马达30时,进行以下作业:将基板7安装于第二区域部422,通过焊接等将第一电极部71与捆绕于第一凸部42C的引出线431电连接。所述作业可为自动也可为手动作业。因此,与将引出线直接连接于基板相比,可作业性良好地进行振动马达30的制造。另外,通过将引出线431捆绕于第一凸部42C的机构,即便在引出线的外径小的情况下,也提高引出线与基板7的电连接的可靠性。因此,无论在引出线的外径小的情况还是大的情况下,均提高引出线与基板的电连接的可靠性,因此可根据振动马达的用途来调整引出线的外径,从而容易调整线圈43的电阻或输出特性。
如此,从线圈43引出至下方的引出线431的下端部与基板7电连接。由此,可容易地进行用以将线圈43与基板7电连接的引出线431的引绕。
另外,基板7包括从基板7的径向外缘向接近中心轴J的方向凹陷的多个切口部7A。轴承部42包括从第二区域部422的下表面向下方突出的多个第二凸部42D。多个第二凸部42D被收容于多个切口部7A。由此,可进行基板7的定位。
图18是表示变形例的轴承部42的一部分结构的图。在图18所示的变形例中,线圈43的全部配置于第一区域部421的内部,且与第一区域部421一体地形成。线圈内区域部421A为第一区域部421的一部分。此外,线圈43的一部分也可配置于第一区域部421的内部。即,只要线圈43的至少一部分配置于第一区域部421的内部,且与第一区域部421一体地形成即可。由此,可将线圈43牢固地固定于轴承部42。
另外,在图18所示的结构中,从线圈43引出的引出线431配置于第二区域部422的内部,且与第二区域部422一体地形成。由此,可将引出线431牢固地固定于轴承部42。
图18所示的结构可通过嵌入成型来形成。
图19是表示另一变形例的轴承部42的下端部42BT的立体图。图19是卸下基板7的状态的图。轴承部42的下端部42BT相当于第二区域部422的下端部。
如图19所示,在下端部42BT形成在径向上延伸且从轴承部42的下表面向上方凹陷的槽状的连通部4221。连通部4221将下端部42BT的径向内侧的空间与径向外侧的空间连通。即,轴承部42包括将轴承部42的内部空间与轴承部42的外部空间连通的连通部4221。由此,在可动部5在上下方向上振动的情况下,轴承部42内部的气体穿过连通部4221排出至轴承部42外部,因此可抑制轴承部42内部的气体被压缩而振动的振幅下降。另外,在为如本实施方式那样基板7配置于轴承部42的下方的结构中,设置连通部4221将轴承部42内部的气体排出至轴承部42外部的结构特别有用。
此外,连通部4221不限于槽状,例如也可形成为在径向上贯通轴承部42的贯通孔。
图20是表示固持器52的变形例的立体图。图20所示的变形例的固持器52包括收容部524来代替上文所述的实施方式(图16)中的收容部522。收容部524包括以中心轴J为中心的圆环状的上表面524A、以及从上表面524A的径向内缘向上方延伸的壁面524B。即,收容部524包括仅从上表面524A的内缘与外缘中的内缘向上方延伸的壁面524B。收容部524相当于在呈圆环状凹陷的收容部522(图16)中不设置径向外侧的壁面的结构。
弹性构件6的下端部是通过收容于收容部524的粘接剂固定。根据收容部524的结构,即便在可动部5及弹性构件6的尺寸小的情况下,也容易将粘接剂注入至收容部524。
此外,壳体41的外径D1(图16)优选设为4mm以下。例如,D1=3mm。另外,磁铁的外径D2优选设为3mm以下。另外,侧面部52B的外径D3优选设为3.5mm以下。由此,可在小型的振动马达30中产生稳定的振动。特别是在将振动马达搭载于电子笔的情况下,需要在振动马达搭载于电子笔的状态下将电子笔的外径设为限制为人手大小的尺寸,因此重要的是减小振动马达的外径。其中,对于粗的电子笔,将振动马达的外径设为10mm以下,对于细的电子笔,通过将振动马达的外径设为4mm以下,可在各种形状的电子笔搭载振动马达。
另外,在壳体的形状为圆筒以外的情况下,与第一方向正交的面上的壳体的外缘的长边优选为10mm以下。另外,在壳体的形状为圆筒以外的情况下,与第一方向正交的面上的第一轴承部的内缘的长边优选为8mm以下。例如,可动部5包括包含磁铁的芯部51。侧面部52B的上下方向长度L1优选设为芯部51的上下方向长度L2的10%以上且30%以下。由此,可避免由于侧面部52B的上下方向长度L1过短而导致保持芯部51的功能变得不充分。另外,为了避免由于侧面部52B的上下方向长度L1过长而导致侧面部52B与其他构件(在图16中为轴承部42)发生干涉,可避免可动部5的振动时的振幅变小。
图21是示意性地表示作为搭载振动马达10的对象设备的一例的触摸笔50的图。触摸笔50是通过与智能手机或者输入板等设备的触摸屏接触来操作所述设备的装置。通过在触摸笔50搭载振动马达10,可使触摸笔50振动而给用户触觉反馈。即,触摸笔50为包括振动马达10的触觉器件的一例。即,触觉器件包括振动马达10。例如,通过触觉反馈,可给用户一种利用触摸笔50像在纸等上填写文字等的感觉。通过将振动马达10搭载于触觉器件,可实现稳定的触觉反馈。
另外,不限于触摸笔,振动马达10能够搭载于空中操作器件等各种设备。例如,能够将振动马达10搭载于电子笔或电子笔记用具、鼠标等设备,并将所述设备设为能够针对立体影像或虚拟现实的影像进行输入的电子设备。
此外,关于所述搭载对象设备,对于振动马达10以外的各种实施方式的振动马达也同样。
本实用新型例如可用于便携设备等各种设备中搭载的振动马达。

Claims (11)

1.一种振动马达,其特征在于,包括:
静止部;
可动部,能够相对于所述静止部沿着在上下方向上延伸的中心轴振动;以及
弹性构件,
其中,所述静止部包括:
框体,配置于比所述可动部更靠径向外侧处,并包含沿着所述中心轴延伸的筒状的壳体;以及
线圈,能够向所述可动部赋予驱动力,
所述可动部包括:
磁铁,沿着所述中心轴延伸;以及
固持器,配置于比所述磁铁更靠上方处,
在所述振动马达中,
所述固持器包括:
上部,在与所述中心轴交叉的方向上扩展,并配置于所述磁铁的上表面的上方;以及
侧面部,从所述上部的径向外缘部向下方延伸,并固定于所述磁铁的径向外侧面,所述弹性构件沿着所述中心轴配置于所述上部与所述框体之间,
所述弹性构件的下端部固定于所述上部。
2.根据权利要求1所述的振动马达,其特征在于,
在所述径向外侧面与所述侧面部之间配置有粘接剂。
3.根据权利要求1所述的振动马达,其特征在于,
所述侧面部为沿着所述中心轴延伸的筒状。
4.根据权利要求3所述的振动马达,其特征在于,
所述侧面部为沿着所述中心轴延伸的圆筒状,
所述磁铁的所述径向外侧面为沿着所述中心轴延伸的圆筒状,
所述侧面部的径向内侧面遍及整周地固定于所述磁铁的径向外侧面。
5.根据权利要求1所述的振动马达,其特征在于,
所述静止部包括筒状的轴承部,所述筒状的轴承部配置于比所述磁铁更靠径向外侧处并沿着所述中心轴延伸,
所述轴承部的径向内侧面与所述磁铁的径向外侧面,在径向上相向地配置。
6.根据权利要求5所述的振动马达,其特征在于,
所述轴承部包括:从所述轴承部的上端部向径向外侧扩展的凸缘部,
所述侧面部的下表面与所述凸缘部的上表面,在上下方向上相向地配置。
7.根据权利要求5所述的振动马达,其特征在于,
所述线圈为包围所述中心轴的环状,且固定于所述轴承部的径向外侧面,
所述侧面部的至少一部分的径向位置与所述线圈的径向位置一致。
8.根据权利要求1所述的振动马达,其特征在于,
所述框体包括顶面部,所述顶面部配置于比所述可动部更靠上方处并在与所述中心轴交叉的方向上扩展,
所述弹性构件配置于比所述固持器更靠上方且比所述顶面部更靠下方处,
所述弹性构件固定于所述顶面部与所述固持器此两者,并将所述可动部支撑为能够沿着所述中心轴振动。
9.根据权利要求1所述的振动马达,其特征在于,
所述壳体的外径为4mm以下,
所述磁铁的外径为3mm以下,
所述侧面部的外径为3.5mm以下。
10.根据权利要求1所述的振动马达,其特征在于,
所述可动部包括:含有所述磁铁的芯部,
所述侧面部的上下方向上的长度为所述芯部的上下方向上的长度的10%以上且30%以下。
11.一种触觉器件,其特征在于,包括:
如权利要求1至10中任一项所述的振动马达。
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