CN214988395U - 一种用于半导体自动加工的拨料装置 - Google Patents
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Abstract
本申请涉及一种用于半导体自动加工的拨料装置，属于半导体加工设备技术领域，其主要方案包括：安装在机架上的固定座；竖直安装在固定座上且顶部设置有用于输送物料的输送轨道的安装板；转动安装在安装板上相对称的旋转臂；安装在安装板上用于驱动旋转臂转动的驱动件；安装在安装板上与旋转臂转动连接的连杆组件；以及设置在连杆组件远离旋转臂一端用于将输送轨道上的物料逐个转移到预定位置的拨料件。本申请的拨料装置在使用时，能降低周围环境对设备元器件的影响，提高对环氧塑封料推送的精准度，有效提高加工质量。
Description
技术领域
本申请涉及半导体加工设备的技术领域，尤其是涉及一种用于半导体自动加工的拨料装置。
背景技术
在半导体加工领域中，比如在半导体的自动冲切***中，就需要使用到产品上的环氧塑封体进行定位送料，并且，在加工过程一般会涉及到较多的工序，其中，就需要利用设备定位产品上的环氧塑封体，逐个转移到下一个工序上。因此，都会产生大量的粉尘，对元器件造成损害！
目前，在对产品上的环氧塑封体进行定位送料时，一般采用的是较为精密的器件，比如采用气缸与直线滑轨，利用气缸将产品上的环氧塑封体沿着预定的方向逐个推送到下一个工序上，从而完成产品上的环氧塑封体的转移工作。
针对上述相关技术，发明人发现，在气缸推送产品上的环氧塑封体的过程中，单个的环氧塑封体比较难被精准的推送到预定位置上，同时，由于车间内在加工的过程中常常会产生大量的粉尘，这些粉尘容易造成设备大量元器件的损坏，尤其是对气缸与直线滑轨的影响比较大，这更会影响环氧塑封体的精准推送，对此有待改进。
实用新型内容
本申请的目的在于提供一种用于半导体自动加工的拨料装置，能够降低周围环境对设备元器件的影响，提高对环氧塑封料推送的精准度，有效提高加工质量。
本申请的上述目的是通过以下技术方案得以实现的：
一种用于半导体自动加工的拨料装置，包括：安装在机架上的固定座；竖直安装在固定座上且顶部设置有用于输送物料的输送轨道的安装板；转动安装在安装板上相对称的旋转臂；安装在安装板上用于驱动旋转臂转动的驱动件；安装在安装板上与旋转臂转动连接的连杆组件；以及设置在连杆组件远离旋转臂一端用于将输送轨道上的物料逐个转移到预定位置的拨料件。
通过采用上述技术方案，设置的驱动件，在开启时，可以驱动旋转臂进行旋转，从而通过连杆组件带动拨料件运动，本申请的拨料件会在驱动件与连杆组件的配合下进行往复的规则运动，从而可以代替人工很方便的将输送轨道内的物料逐个推送到预定的位置上，此方案操作简单，且受到粉尘的影响较小，可以精准的将物料逐个推送。
本申请进一步设置: 所述连杆组件包括：端部转动连接在对应的旋转臂远离安装板一端上的连接杆；转动连接在旋转臂远离安装板一端上的驱动杆；以及安装在安装板上用于限制驱动杆沿预定轨道摆动的限位件。
通过采用上述技术方案，旋转臂在转动过程中，会通过连接杆带动驱动杆进行运动，使得拨料件可以对输送轨道内的物料进行拨送，而设置的限位件，则可以对驱动杆的摆动轨迹进行限制，使得驱动杆按照预定的轨迹运动。
本申请进一步设置: 所述限位件为转动安装在安装板上的摆动臂，所述摆动臂远离安装板的一端与驱动杆的中间位置转动连接。
通过采用上述技术方案，设置的摆动臂，可以有效的对驱动杆的摆动范围进行限制，操作简单，易于实现。
本申请进一步设置: 所述驱动杆与安装板之间的距离大于旋转臂与摆动臂的厚度。
通过采用上述技术方案，在驱动杆与安装板之间形成的距离空间，使得驱动杆在摆动的过程中，旋转臂与摆动臂可以容纳其中，既可以保证驱动杆旋转的稳定性，同时还可以有效的利用空间。
本申请进一步设置: 所述拨料件包括：与驱动杆远离安装板一端通过转杆转动连接的拨料杆；以及沿拨料杆的延伸方向间隔安装在拨料杆靠近输送轨道一侧的拨料块。
通过采用上述技术方案，在驱动杆按照预定的轨迹运动过程中，会带动拨料杆做往复运动，使得拨料杆底部的拨料块可以对输送轨道内的物料进行稳定的推送。
本申请进一步设置: 所述拨料杆与连接杆以及两驱动杆共同组成矩形或平行四边形结构。
通过采用上述技术方案，限制拨料杆、连接杆与驱动杆三者之间的关系，既可以提高整个拨料装置的稳定性，同时，拨料杆始终与连接杆处于平行的位置，有利于拨料杆精准的对物料进行推送。
本申请进一步设置: 所述拨料块远离拨料杆的一端两侧均设置有倾斜面。
通过采用上述技术方案，在拨料块与物料接触过程中，设置的倾斜面可以减少拨料块底部与物料的接触面积，使得拨料块可以更加顺畅的拨动物料。
本申请进一步设置: 所述转杆远离驱动杆的端部螺纹连接有限位环。
通过采用上述技术方案，设置的限位环，可以对拨料板进行限定，使得拨料杆稳定的处于预定的位置上，有利于拨料杆的拨料，同时，在需要拆卸拨料杆时，只需要通过旋转限位环即可。
本申请进一步设置: 所述摆动臂的长度大于旋转臂的长度。
通过采用上述技术方案，限制摆动臂的长度，使得驱动件可以驱动旋转臂旋转完整的一周，有利于拨料杆对物料进行循环推送。
综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
通过设置连杆组件以及拨料件，在驱动件的驱动下，可以通过连杆组件带动拨料件对输送轨道上的物料进行推送，此操作既可以代替人工，受外界的粉尘影响小，同时，还可以保证物料输送的精准度；
设置的摆动臂，其可以对驱动杆摆动的幅度进行限制，使得在驱动件的驱动下，拨料杆可以循环对输送轨道内的物料进行推送，有效的提高了本申请的稳定性与精准度。
附图说明
图1是本申请实施例的整体结构示意图；
图2是本申请实施例中限位环的结构示意图；
图3-8是本申请实施例中拨料装置一个完整拨料周期的状态示意图。
附图标记说明：1、固定座；2、安装板；20、输送轨道；3、旋转臂；31、连接杆；32、驱动杆；33、摆动臂；4、拨料杆；40、转杆；41、拨料块；42、倾斜面；43、限位环。
具体实施方式
以下结合附图对本申请作进一步详细说明。
本申请实施例公开一种用于半导体自动加工的拨料装置，如图1和图2所示，包括：安装在机架上的固定座1，固定座1为相对称的两个，且在两固定座1上竖直安装有安装板2，在安装板2的顶部设置有输送轨道20，输送轨道20沿着安装板2顶部的延伸方向凹陷设置，使得本申请中的环氧塑封料可以在输送轨道20内被输送到下一个工序。
本实施例中，在安装板2的其中一侧转动安装有两旋转臂3，两旋转臂3相对于地面的高度位置相同，在安装板2的另一侧还安装有驱动件，驱动件（本实施例可以是伺服电机）可以驱动其中一个旋转臂3进行旋转，为了两个旋转臂3一起旋转，在旋转臂3远离安装板2的一端转动连接有一连接杆31，连接杆31的延伸方向与输送轨道20的输送方向相一致。
其中，在旋转臂3与连接杆31转动连接的端部还均转动连接有驱动杆32，也就是说，驱动杆32与连接杆31均转动连接在旋转臂3远离安装板2的一端上。为了限制驱动杆32的摆动范围，在安装板2上还转动安装有摆动臂33，摆动臂33的长度大于旋转臂3的长度，且摆动臂33远离安装板2的一端均转动连接在驱动杆32的中间位置上。
另外，在驱动杆32远离安装板2的一端还安装有转杆40，在转杆40上安装有拨料杆4，拨料杆4的延伸方向与连接杆31的延伸方向相一致，且在拨料杆4的底部固定有多个拨料块41，拨料块41沿着拨料杆4的延伸方向分布。
当需要对输送轨道20内的物料进行逐个输送时，可以开启驱动件，驱动件会带动旋转臂3进行旋转，旋转臂3通过连接杆31会带动两旋转臂3同步旋转，旋转臂3在旋转时，会带动驱动杆32也进行旋转摆动，由于摆动臂33对驱动杆32摆动范围的限制，使得驱动杆32在预定的范围内摆动，在驱动杆32运动过程中，会带动拨料杆4底部的多个拨料块41对输送轨道20内的物料进行推送，随着驱动杆32的循环摆动，拨料杆4就可以将输送轨道20内的物料逐个推送到下一个工序的预定位置上，此操作可以实现精准推送，且受粉尘的影响也较小。
本实施例中，为了有效利用拨料装置的空间，驱动杆32与安装板2之间的距离需要设置成大于旋转臂3与摆动臂33的厚度，这样可以使得驱动杆32在摆动的过程中，旋转臂3与摆动臂33可以容纳其中。
另外，需要说明的是，拨料杆4与连接杆31以及两驱动杆32共同组成矩形或平行四边形的结构，这样的设置，既可以提高整个拨料装置的整体稳定性，同时，拨料杆4始终与连接杆31处于平行的位置，有利于拨料杆4精准的对输送轨道20内的物料进行推送。
其中，在拨料块41远离拨料杆4的一端两侧均设置有倾斜面42，在拨料块41与物料接触过程中，设置的倾斜面42有利于拨料块41快速的***输送轨道20内的预定位置处，在减少拨料块41底部与物料的接触面积的基础上，使得拨料块41可以更加顺畅的拨动物料。
此外，为了方便拨料杆4的拆装，在转杆40远离驱动杆32的端部螺纹连接有限位环43，通过旋转限位环43，既可以将拨料杆4限制在预定的位置上，同时，还可以方便拨料杆4的整体更换。
如图3-图8所示，是拨料装置推送输送轨道20内物料完整一个周期的状态示意图。当拨料时，驱动件带动旋转臂3按顺时针旋转，拨料杆4从图中左边往右边推拨物料，当驱动件驱动拨料杆4如图6中所示的状态时，拨料杆4拨料结束。
当返回时，驱动件带动旋转臂3继续按顺时针方向旋转，此时，拨料杆4会被摆动臂33抬起（如图7所示），当驱动件继续旋转，拨料杆4将从图中右边往左边移动（如图8所示），当驱动件启动时（如图3所示），拨料杆4已经完成一个拨料周期，会下压到拨料前的状态。
以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种用于半导体自动加工的拨料装置，其特征在于，包括：安装在机架上的固定座（1）；
竖直安装在固定座（1）上且顶部设置有用于输送物料的输送轨道（20）的安装板（2）；
转动安装在安装板（2）上相对称的旋转臂（3）；
安装在安装板（2）上用于驱动旋转臂（3）转动的驱动件；
安装在安装板（2）上与旋转臂（3）转动连接的连杆组件；
以及设置在连杆组件远离旋转臂（3）一端用于将输送轨道（20）上的物料逐个转移到预定位置的拨料件。
2.根据权利要求1所述的一种用于半导体自动加工的拨料装置，其特征在于，所述连杆组件包括：端部转动连接在对应的旋转臂（3）远离安装板（2）一端上的连接杆（31）；转动连接在旋转臂（3）远离安装板（2）一端上的驱动杆（32）；以及安装在安装板（2）上用于限制驱动杆（32）沿预定轨道摆动的限位件。
3.根据权利要求2所述的一种用于半导体自动加工的拨料装置，其特征在于，所述限位件为转动安装在安装板（2）上的摆动臂（33），所述摆动臂（33）远离安装板（2）的一端与驱动杆（32）的中间位置转动连接。
4.根据权利要求3所述的一种用于半导体自动加工的拨料装置，其特征在于，所述驱动杆（32）与安装板（2）之间的距离大于旋转臂（3）与摆动臂（33）的厚度。
5.根据权利要求1所述的一种用于半导体自动加工的拨料装置，其特征在于，所述拨料件包括：与驱动杆（32）远离安装板（2）一端通过转杆（40）转动连接的拨料杆（4）；以及沿拨料杆（4）的延伸方向间隔安装在拨料杆（4）靠近输送轨道（20）一侧的拨料块（41）。
6.根据权利要求5所述的一种用于半导体自动加工的拨料装置，其特征在于，所述拨料杆（4）与连接杆（31）以及两驱动杆（32）共同组成矩形或平行四边形结构。
7.根据权利要求5所述的一种用于半导体自动加工的拨料装置，其特征在于，所述拨料块（41）远离拨料杆（4）的一端两侧均设置有倾斜面（42）。
8.根据权利要求5所述的一种用于半导体自动加工的拨料装置，其特征在于，所述转杆（40）远离驱动杆（32）的端部螺纹连接有限位环（43）。
9.根据权利要求3所述的一种用于半导体自动加工的拨料装置，其特征在于，所述摆动臂（33）的长度大于旋转臂（3）的长度。
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| CN202121435874.1U CN214988395U (zh) | 2021-06-25 | 2021-06-25 | 一种用于半导体自动加工的拨料装置 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113334473A (zh) * | 2021-06-25 | 2021-09-03 | 深圳市华龙精密模具有限公司 | 一种用于半导体自动加工的拨料装置 |
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- 2021-06-25 CN CN202121435874.1U patent/CN214988395U/zh not_active Expired - Fee Related
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