CN212275626U - 一种绷膜环晶圆检查机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种绷膜环晶圆检查机，包括检查机主体、晶圆提篮、工作台、纵向移动组件、横向移动组件、安装座、X轴移动组件、Y轴移动组件、吸附平台、支架、INKER标记仪、CCD对位仪、检查组件和扫描仪；该实用新型，通过增设纵向移动组件、横向移动组件、X轴移动组件、Y轴移动组件、吸附平台和检查组件，并配合CCD对位仪和扫描仪，从而使晶圆检查机能实时定位待检查晶圆的位置，自动对待检查晶圆完成移动、夹取、夹持、吸附和检查的动作，不仅提高了晶圆检查机的自动化程度，降低了人员的劳动强度，提高了晶圆检查的效率，还避免了人为操作失误对晶圆表面造成损伤的问题，减少了晶圆检查的次品率，节省了资源。

Description

一种绷膜环晶圆检查机

技术领域

本实用新型涉及晶圆检查机技术领域，具体为一种绷膜环晶圆检查机。

背景技术

晶圆指制造半导体晶体管或集成电路的衬底，也叫基片，由于是晶体材料，其形状为圆形，所以称为晶圆。一般通过硅元素加以纯化制成硅晶棒，再经过照相制版、研磨、抛光和切片等程序，将多晶硅融解拉出单晶硅晶棒，然后切割成一片片薄薄的晶圆。

目前，行业内普遍使用晶圆检查机对切割制成的晶圆的外观进行检查，检查晶圆形貌和缺陷，量测数据等，筛选出表面有缺陷的次品晶圆。

然而，传统的晶圆检查机大多需要人工进行操作，不仅提高了人员的劳动强度，晶圆检查的效率低，还容易因人为操作失误而对晶圆的表面造成损伤，不可避免的增加了晶圆检查的次品率，造成了不必要的资源浪费。

因此，设计一种绷膜环晶圆检查机是很有必要的。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种绷膜环晶圆检查机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种绷膜环晶圆检查机，包括检查机主体、晶圆提篮、工作台、纵向移动组件、横向移动组件、安装座、X轴移动组件、Y轴移动组件、吸附平台、支架、INKER标记仪、CCD对位仪、检查组件和扫描仪，所述检查机主体顶部的一角与晶圆提篮的底部固定连接，且检查机主体的顶部与工作台的底部固定连接，所述工作台顶部的一侧通过支撑柱与纵向移动组件的底部固定连接，所述纵向移动组件顶部一侧的正上方设置有横向移动组件，所述横向移动组件底部的两侧通过安装座与工作台顶部的相邻一侧固定连接，所述工作台顶部的中心与X轴移动组件的底部固定连接，所述X轴移动组件上固定安装有Y轴移动组件，所述Y轴移动组件上固定安装有吸附平台；所述工作台顶部的相邻两侧与支架底部的两侧固定连接，所述支架侧面中心的两侧分别固定安装INKER标记仪和CCD对位仪，且支架另一侧面的中心和一侧分别固定安装有检查组件和扫描仪，所述检查组件位于X轴移动组件中段的正上方。

进一步的，所述纵向移动组件由第一固定板、纵向滑轨、纵向移动座、夹取机械手、第一皮带和第一主动带轮组成，所述第一固定板的底部过支撑柱与工作台顶部的一侧固定连接，且第一固定板顶部的两侧固定安装有纵向滑轨，所述纵向滑轨的中段通过滑块与纵向移动座底部的两侧固定连接，所述纵向移动座的顶部固定安装有夹取机械手，且纵向移动座底部的一侧与第一皮带的中段固定连接，所述第一皮带一端的内圆周与第一从动带轮的外圆周固定套接，且第一皮带另一端的内圆周与第一主动带轮的外圆周固定套接，所述第一主动带轮底部的中心与纵向移动电机的输出端固定连接，所述纵向移动电机的顶部与第一固定板底部的一侧固定连接。

进一步的，所述横向移动组件由第二安装板、横向滑轨、横向移动座、夹持机械手、第二皮带、第二从动带轮、第二主动带轮和横向移动电机组成，所述第二安装板底部的两侧通过安装座与工作台顶部的相邻一侧固定连接，且第二安装板正面的顶端和底端均固定安装有横向滑轨，所述横向滑轨的中段通过滑块与横向移动座背面的顶端和底端固定连接，所述横向移动座正面的顶端固定安装有夹持机械手，且横向移动座背面的一侧与第二皮带的中段固定连接，所述第二皮带一端的内圆周与第二从动带轮的外圆周固定套接，且第二皮带另一端的内圆周与第二主动带轮的外圆周固定套，所述第二主动带轮的背面的中心与横向移动电机的输出端固定连接，所述横向移动电机固定安装在第二安装板背面的一侧。

进一步的，所述X轴移动组件由第三安装板、X轴移动滑轨和X轴移动气缸组成，所述第三安装板的底部与工作台顶部的中心固定连接，且第三安装板顶部的一侧固定安装有X轴移动滑轨，所述X轴移动滑轨的一端与X轴移动气缸的输出端固定连接，且X轴移动滑轨的中段通过滑块与Y轴移动组件底部的中心固定连接。

进一步的，所述Y轴移动组件由第四安装板、Y轴移动滑轨和Y轴移动气缸组成，所述第四安装板底部的中心通过滑块与X轴移动滑轨的中段固定连接，且第四安装板顶部的中心固定安装有Y轴移动滑轨，所述Y轴移动滑轨一端与Y轴移动气缸的输出端固定连接，且Y轴移动滑轨的中段通过滑块与吸附平台底部的中心固定连接。

进一步的，所述检查组件由第五安装板、升降座、显微镜和升降电机组成，所述第五安装板的侧面与支架另一侧面的中心固定连接，且第五安装板另一侧面的两侧固定安装有升降滑轨，所述升降滑轨的中段通过滑块与升降座侧面的两侧固定连接，所述升降座的顶部固定安装有显微镜，且升降座侧面的中心通过滚珠螺母与螺纹丝杆的中段固定连接，所述螺纹丝杆的两端通过丝杆固定座与第五安装板另一侧面的顶端和底端固定连接，且螺纹丝杆的一端通过联轴器与升降电机的输出端固定连接，所述升降电机固定安装在第五安装板顶部的中心。

与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果是：该绷膜环晶圆检查机，通过增设纵向移动组件、横向移动组件、X轴移动组件、Y轴移动组件、吸附平台和检查组件，并配合CCD对位仪和扫描仪，从而使晶圆检查机能实时定位待检查晶圆的位置，自动对待检查晶圆完成移动、夹取、夹持、吸附和检查的动作，不仅提高了晶圆检查机的自动化程度，降低了人员的劳动强度，提高了晶圆检查的效率，还避免了人为操作失误对晶圆表面造成损伤的问题，减少了晶圆检查的次品率，节省了资源。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型的整体结构俯视图；

图2是图1中A处的局部放大图；

图3是图1中B处的局部放大图；

图4是图1中C处的局部放大图；

图5是图1中D处的局部放大图；

图中：1、检查机主体；2、晶圆提篮；3、工作台；4、纵向移动组件；41、第一固定板；42、纵向滑轨；43、纵向移动座；44、夹取机械手；45、第一皮带；46、第一主动带轮；5、横向移动组件；51、第二安装板；52、横向滑轨；53、横向移动座；54、夹持机械手；55、第二皮带；56、第二从动带轮；57、第二主动带轮；58、横向移动电机；6、安装座；7、X轴移动组件；71、第三安装板；72、X轴移动滑轨；73、X轴移动气缸；8、Y轴移动组件；81、第四安装板；82、Y轴移动滑轨；83、Y轴移动气缸；9、吸附平台；10、支架；11、INKER标记仪；12、CCD对位仪；13、检查组件；131、第五安装板；132、升降座；133、显微镜；134、升降电机；14、扫描仪。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：一种绷膜环晶圆检查机，包括检查机主体1、晶圆提篮2、工作台3、纵向移动组件4、横向移动组件5、安装座6、X轴移动组件7、Y轴移动组件8、吸附平台9、支架10、INKER标记仪11、CCD对位仪12、检查组件13和扫描仪14，检查机主体1顶部的一角与晶圆提篮2的底部固定连接，且检查机主体1的顶部与工作台3的底部固定连接，工作台3顶部的一侧通过支撑柱与纵向移动组件4的底部固定连接，纵向移动组件4由第一固定板41、纵向滑轨42、纵向移动座43、夹取机械手44、第一皮带45和第一主动带轮46组成，第一固定板41的底部过支撑柱与工作台3顶部的一侧固定连接，且第一固定板41顶部的两侧固定安装有纵向滑轨42，纵向滑轨42的中段通过滑块与纵向移动座43底部的两侧固定连接，纵向移动座43的顶部固定安装有夹取机械手44，且纵向移动座43底部的一侧与第一皮带45的中段固定连接，第一皮带45一端的内圆周与第一从动带轮的外圆周固定套接，且第一皮带45另一端的内圆周与第一主动带轮46的外圆周固定套接，第一主动带轮46底部的中心与纵向移动电机的输出端固定连接，纵向移动电机的顶部与第一固定板41底部的一侧固定连接，纵向移动组件4顶部一侧的正上方设置有横向移动组件5，横向移动组件5由第二安装板51、横向滑轨52、横向移动座53、夹持机械手54、第二皮带55、第二从动带轮56、第二主动带轮57和横向移动电机58组成，第二安装板51底部的两侧通过安装座6与工作台3顶部的相邻一侧固定连接，且第二安装板51正面的顶端和底端均固定安装有横向滑轨52，横向滑轨52的中段通过滑块与横向移动座53背面的顶端和底端固定连接，横向移动座53正面的顶端固定安装有夹持机械手54，且横向移动座53背面的一侧与第二皮带55的中段固定连接，第二皮带55一端的内圆周与第二从动带轮56的外圆周固定套接，且第二皮带55另一端的内圆周与第二主动带轮57的外圆周固定套，第二主动带轮57的背面的中心与横向移动电机58的输出端固定连接，横向移动电机58固定安装在第二安装板51背面的一侧，横向移动组件5底部的两侧通过安装座6与工作台3顶部的相邻一侧固定连接，工作台3顶部的中心与X轴移动组件7的底部固定连接，X轴移动组件7由第三安装板71、X轴移动滑轨72和X轴移动气缸73组成，第三安装板71的底部与工作台3顶部的中心固定连接，且第三安装板71顶部的一侧固定安装有X轴移动滑轨72，X轴移动滑轨72的一端与X轴移动气缸73的输出端固定连接，且X轴移动滑轨72的中段通过滑块与Y轴移动组件8底部的中心固定连接，X轴移动组件7上固定安装有Y轴移动组件8，Y轴移动组件8由第四安装板81、Y轴移动滑轨82和Y轴移动气缸83组成，第四安装板81底部的中心通过滑块与X轴移动滑轨72的中段固定连接，且第四安装板81顶部的中心固定安装有Y轴移动滑轨82，Y轴移动滑轨82一端与Y轴移动气缸83的输出端固定连接，且Y轴移动滑轨82的中段通过滑块与吸附平台9底部的中心固定连接，Y轴移动组件8上固定安装有吸附平台9；工作台3顶部的相邻两侧与支架10底部的两侧固定连接，支架10侧面中心的两侧分别固定安装INKER标记仪11和CCD对位仪12，且支架10另一侧面的中心和一侧分别固定安装有检查组件13和扫描仪14，检查组件13位于X轴移动组件7中段的正上方，检查组件13由第五安装板131、升降座132、显微镜133和升降电机134组成，第五安装板131的侧面与支架10另一侧面的中心固定连接，且第五安装板131另一侧面的两侧固定安装有升降滑轨，升降滑轨的中段通过滑块与升降座132侧面的两侧固定连接，升降座132的顶部固定安装有显微镜133，且升降座132侧面的中心通过滚珠螺母与螺纹丝杆的中段固定连接，螺纹丝杆的两端通过丝杆固定座与第五安装板131另一侧面的顶端和底端固定连接，且螺纹丝杆的一端通过联轴器与升降电机134的输出端固定连接，升降电机134固定安装在第五安装板131顶部的中心，通过增设纵向移动组件4、横向移动组件5、X轴移动组件7、Y轴移动组件8、吸附平台9和检查组件13，并配合CCD对位仪12和扫描仪14，从而使晶圆检查机能实时定位待检查晶圆的位置，自动对待检查晶圆完成移动、夹取、夹持、吸附和检查的动作，不仅提高了晶圆检查机的自动化程度，降低了人员的劳动强度，提高了晶圆检查的效率，还避免了人为操作失误对晶圆表面造成损伤的问题，减少了晶圆检查的次品率，节省了资源；该实用新型工作时，先将待检查晶圆放入晶圆提篮2中，再将相应数据输入检查机主体1中，使检查机主体1自动开启纵向移动组件4中的纵向移动电机，进而使第一主动带轮46配合第一从动带轮带动第一皮带45，进而带动纵向移动座43在纵向滑轨42上进行移动，通过夹取机械手44夹取晶圆提篮2中待检查晶圆并进行纵向移动，接着检查机主体1使横向移动组件5中的夹持机械手54对待检查晶圆进行夹取，同时使夹取机械手44松开待检查晶圆，然后自动开启横向移动电机58，使第二主动带轮57配合第二从动带轮56带动第二皮带55，进而带动横向移动座53在横向滑轨52上进行移动，通过夹持机械手54将待检查晶圆横向移动到吸附平台9的正上方，再通过检查机主体1使吸附平台9自动上升到相应的高度，对待检查晶圆进行吸附，同时使夹持机械手54松开松开待检查晶圆，随后通过检查机主体1自动开启X轴移动组件7中的X轴移动气缸73，使Y轴移动组件8中的第四安装板81在X轴移动滑轨72上进行X轴方向移动，同时开启Y轴移动气缸83，使吸附平台9在Y轴移动滑轨82上进行Y轴方向移动，进而使待检查晶圆的在检查组件13中显微镜133的正下方进行X轴和Y轴方向的移动，最后通过检查机主体1自动开启升降电机134调节升降座132的高度，将通过显微镜133调节的合适的高度，进而对待检查晶圆的外观进行全面的检查，并通过INKER标记仪11对表面有缺陷的晶圆进行次品标记，整个过程中检查机主体1能通过相互配合的CCD对位仪12和扫描仪14实时定位待检查晶圆的位置，从而完成自动的夹取、夹持、移动、吸附和检查，不仅提高了晶圆检查机的自动化程度，降低了人员的劳动强度，提高了晶圆检查的效率，还避免了人为操作失误对晶圆表面造成损伤的问题，减少了晶圆检查的次品率，节省了资源。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种绷膜环晶圆检查机，包括检查机主体(1)、晶圆提篮(2)、工作台(3)、纵向移动组件(4)、横向移动组件(5)、安装座(6)、X轴移动组件(7)、Y轴移动组件(8)、吸附平台(9)、支架(10)、INKER标记仪(11)、CCD对位仪(12)、检查组件(13)和扫描仪(14)，其特征在于：所述检查机主体(1)顶部的一角与晶圆提篮(2)的底部固定连接，且检查机主体(1)的顶部与工作台(3)的底部固定连接，所述工作台(3)顶部的一侧通过支撑柱与纵向移动组件(4)的底部固定连接，所述纵向移动组件(4)顶部一侧的正上方设置有横向移动组件(5)，所述横向移动组件(5)底部的两侧通过安装座(6)与工作台(3)顶部的相邻一侧固定连接，所述工作台(3)顶部的中心与X轴移动组件(7)的底部固定连接，所述X轴移动组件(7)上固定安装有Y轴移动组件(8)，所述Y轴移动组件(8)上固定安装有吸附平台(9)；所述工作台(3)顶部的相邻两侧与支架(10)底部的两侧固定连接，所述支架(10)侧面中心的两侧分别固定安装INKER标记仪(11)和CCD对位仪(12)，且支架(10)另一侧面的中心和一侧分别固定安装有检查组件(13)和扫描仪(14)，所述检查组件(13)位于X轴移动组件(7)中段的正上方。

2.根据权利要求1所述的一种绷膜环晶圆检查机，其特征在于：所述纵向移动组件(4)由第一固定板(41)、纵向滑轨(42)、纵向移动座(43)、夹取机械手(44)、第一皮带(45)和第一主动带轮(46)组成，所述第一固定板(41)的底部过支撑柱与工作台(3)顶部的一侧固定连接，且第一固定板(41)顶部的两侧固定安装有纵向滑轨(42)，所述纵向滑轨(42)的中段通过滑块与纵向移动座(43)底部的两侧固定连接，所述纵向移动座(43)的顶部固定安装有夹取机械手(44)，且纵向移动座(43)底部的一侧与第一皮带(45)的中段固定连接，所述第一皮带(45)一端的内圆周与第一从动带轮的外圆周固定套接，且第一皮带(45)另一端的内圆周与第一主动带轮(46)的外圆周固定套接，所述第一主动带轮(46)底部的中心与纵向移动电机的输出端固定连接，且纵向移动电机的顶部与第一固定板(41)底部的一侧固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种绷膜环晶圆检查机，其特征在于：所述横向移动组件(5)由第二安装板(51)、横向滑轨(52)、横向移动座(53)、夹持机械手(54)、第二皮带(55)、第二从动带轮(56)、第二主动带轮(57)和横向移动电机(58)组成，所述第二安装板(51)底部的两侧通过安装座(6)与工作台(3)顶部的相邻一侧固定连接，且第二安装板(51)正面的顶端和底端均固定安装有横向滑轨(52)，所述横向滑轨(52)的中段通过滑块与横向移动座(53)背面的顶端和底端固定连接，所述横向移动座(53)正面的顶端固定安装有夹持机械手(54)，且横向移动座(53)背面的一侧与第二皮带(55)的中段固定连接，所述第二皮带(55)一端的内圆周与第二从动带轮(56)的外圆周固定套接，且第二皮带(55)另一端的内圆周与第二主动带轮(57)的外圆周固定套，所述第二主动带轮(57)的背面的中心与横向移动电机(58)的输出端固定连接，所述横向移动电机(58)固定安装在第二安装板(51)背面的一侧。

4.根据权利要求1所述的一种绷膜环晶圆检查机，其特征在于：所述X轴移动组件(7)由第三安装板(71)、X轴移动滑轨(72)和X轴移动气缸(73)组成，所述第三安装板(71)的底部与工作台(3)顶部的中心固定连接，且第三安装板(71)顶部的一侧固定安装有X轴移动滑轨(72)，所述X轴移动滑轨(72)的一端与X轴移动气缸(73)的输出端固定连接，且X轴移动滑轨(72)的中段通过滑块与Y轴移动组件(8)底部的中心固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种绷膜环晶圆检查机，其特征在于：所述Y轴移动组件(8)由第四安装板(81)、Y轴移动滑轨(82)和Y轴移动气缸(83)组成，所述第四安装板(81)底部的中心通过滑块与X轴移动滑轨(72)的中段固定连接，且第四安装板(81)顶部的中心固定安装有Y轴移动滑轨(82)，所述Y轴移动滑轨(82)一端与Y轴移动气缸(83)的输出端固定连接，且Y轴移动滑轨(82)的中段通过滑块与吸附平台(9)底部的中心固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种绷膜环晶圆检查机，其特征在于：所述检查组件(13)由第五安装板(131)、升降座(132)、显微镜(133)和升降电机(134)组成，所述第五安装板(131)的侧面与支架(10)另一侧面的中心固定连接，且第五安装板(131)另一侧面的两侧固定安装有升降滑轨，所述升降滑轨的中段通过滑块与升降座(132)侧面的两侧固定连接，所述升降座(132)的顶部固定安装有显微镜(133)，且升降座(132)侧面的中心通过滚珠螺母与螺纹丝杆的中段固定连接，所述螺纹丝杆的两端通过丝杆固定座与第五安装板(131)另一侧面的顶端和底端固定连接，且螺纹丝杆的一端通过联轴器与升降电机(134)的输出端固定连接，所述升降电机(134)固定安装在第五安装板(131)顶部的中心。

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