CN213041183U - 一种晶圆微观自动检查平台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆微观自动检查平台，包括X轴电机、X轴丝杆、X轴滑轨、Y轴电机、Y轴丝杆、Y轴滑轨、Z轴电机、Z轴丝杆、Z轴滑轨、箱体、操作盒、显示屏、工作桌、工作台、顶板、第一移动板、第一支撑板、安装板、第一连接板、第二移动板、横板、竖直板、接线孔、挡板、第二连接板、载盘、拖链、显微镜、固定板、第二支撑板和第三支撑板，该实用新型有利于调节晶圆与显微镜之间的位置关系，便于对晶圆进行观察，同时利用安装的显示屏和操作盒提高了工作效率，同时有利于直接显示出晶圆的观察形状。

Description

一种晶圆微观自动检查平台

技术领域

本实用新型涉及晶圆检查技术领域，具体为一种晶圆微观自动检查平台。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品，晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅，其中在制作生产晶圆的过程中常需使用到检查平台易便于观察晶圆的形状，检查晶圆形貌(包含图形，外观等)、缺陷(包含异物，缺失，划痕等)和量测数据(包含CD关键尺寸，Overlay套刻尺寸，线路尺寸等)，但传统的检查平台，同时使用显微镜这单一结构对其进行观察，在观察的过程中不利于调节对晶圆位置的移动，操作繁琐，降低了工作效率，同时不利于直接的显示出晶圆的观察形貌。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆微观自动检查平台，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆微观自动检查平台，包括X轴电机、X轴丝杆、X轴滑轨、Y轴电机、Y轴丝杆、Y轴滑轨、Z轴电机、Z轴丝杆、Z轴滑轨、箱体、操作盒、显示屏、工作桌、工作台、顶板、第一移动板、第一支撑板、安装板、第一连接板、第二移动板、横板、竖直板、接线孔、挡板、第二连接板、载盘、拖链、显微镜、固定板、第二支撑板和第三支撑板，所述箱体的顶端另一侧与工作台的底端固定连接，所述工作台的两侧分别与第一支撑板和第二支撑板的底端固定连接，且第二支撑板位于靠近操作盒的一侧，所述第一支撑板和第二支撑板的顶端分别与顶板的底端中心两侧固定连接，所述顶板的顶端两侧分别与Y轴滑轨的底端固定连接，且第二连接板和固定板的底端中心两侧安装的滑块均位于Y轴滑轨上，所述第二连接板的顶端一侧中心处与X轴电机的底端固定连接，所述X轴电机的输出端与X轴丝杆的一端通过联轴器连接，且X轴丝杆的两端分别与固定安装在第二连接板上的安装座中心处嵌入安装的轴承内部套接固定连接，所述第二支撑板靠近操作盒的一侧中心处与第三支撑板的一侧固定连接，所述第三支撑板的顶端一侧中心处与Y轴电机的底端固定连接，所述Y轴电机的输出端与Y轴丝杆的一端固定连接，且Y轴丝杆的两端分别与固定安装在第三支撑板上的安装座中心处嵌入安装的轴承内部套接固定连接，所述Y轴丝杆上安装有滚珠螺母，且滚珠螺母与第二连接柱的一端固定连接，第二连接柱的另一端与第二连接板的底端一侧中心处固定连接，所述工作台的顶端中心另一侧分别与竖直板的底端固定连接，所述竖直板的数目为两个，且相互对应，所述竖直板的一侧分别与挡板的一侧中心两端固定连接，所述挡板的顶端与横板的中心处固定连接，所述横板的顶端中心处与Z轴电机的底端固定连接，所述Z轴电机的输出端贯穿横板的中心处开设的通孔与Z轴丝杆的一端固定连接，所述横板与Z轴电机的输出端连接处安装有联轴器，所述Z轴丝杆的两端分别与固定安装在挡板的另一侧中心两端安装的安装座中心处嵌入安装的轴承内部套接固定连接，所述Z轴丝杆上安装有滚珠螺母，且滚珠螺母与第三连接柱的一端固定连接，第三连接柱的另一端与第二移动板的一侧底端中心处固定连接，所述第二移动板的一侧中心两端分别安装有滑块，且该滑块均位于Z轴滑轨上，所述Z轴滑轨的一侧分别与挡板的另一侧中心两端固定连接，所述第二移动板的另一侧中心两侧分别与第一连接板的一侧固定连接。

进一步的，所述箱体的内部顶端安装有第一移动板，所述箱体的顶端与工作桌的底端固定连接，所述工作桌的顶端一侧中心一端安装有显示屏，所述工作桌的顶端一侧中心另一端安装有操作盒。

进一步的，所述X轴丝杆上安装有滚珠螺母，且滚珠螺母与第一连接柱的一端固定连接，第一连接柱的底端两侧安装的滑块均位于X轴滑轨上，所述X轴滑轨的底端分别与固定板的顶端中心处固定连接，所述固定板的相向一侧中心处安装有限位板，且限位板的顶端安装有旋转电机，旋转电机通过同步带与载盘连接，所述载盘的顶端吸附有晶圆，且载盘的底端安装有真空外接管。

进一步的，所述第二连接板的底端一侧与拖链的一端固定连接，所述拖链的另一端与工作台的顶端一侧中心一端固定连接，所述工作台的顶端中心一侧开设有接线孔，且接线孔位于工作桌和箱体的顶端中心一侧开设的通孔正上方。

进一步的，所述第一连接板的顶端分别与安装板的底端中心处以及安装板的底端中心一侧固定连接，所述安装板的顶端与显微镜的底端一侧固定连接，且显微镜的底端另一侧安装有光电传感器，所述显微镜的底端另一侧位于晶圆的上方。

进一步的，所述X轴电机、Y轴电机和Z轴电机的输出端均套接有摇杆

与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果是：该实用新型，利用安装的X轴电机、Y轴电机和Z轴电机有利于分别带动X轴丝杆、Y轴丝杆、Y轴滑轨和Z轴丝杆的转动，且X轴丝杆上安装有滚珠螺母，滚珠螺母与第一连接柱的一端固定连接，第一连接柱的底端两侧安装的滑块位于X轴滑轨上滑动，且第二连接板和固定板的底端两侧安装的滑块位于Y轴滑轨上移动，第二移动板上安装的滑块位于Z轴滑轨上移动，从而使有利于调节晶圆与显微镜之间的位置关系，便于对晶圆进行观察，同时利用安装的显示屏和操作盒提高了工作效率，同时有利于直接的显示出晶圆的检查晶圆形貌和缺陷，量测数据。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型的整体结构示意图；

图2是本实用新型的整体结构俯视图；

图3是本实用新型的整体结构立体图；

图4是图3中A区域的放大图；

图5是本实用新型中局部结构立体图；

图中：1、X轴电机；2、X轴丝杆；3、X轴滑轨；4、Y轴电机；5、Y轴丝杆；6、Y轴滑轨；7、Z轴电机；8、Z轴丝杆；9、Z轴滑轨；10、箱体；11、操作盒；12、显示屏；13、工作桌；14、工作台；15、顶板；16、第一移动板；17、第一支撑板；18、安装板；19、第一连接板；20、第二移动板；21、横板；22、竖直板；23、接线孔；24、挡板；25、第二连接板；26、载盘；27、拖链；28、显微镜；29、固定板；30、第二支撑板；31、第三支撑板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆微观自动检查平台，包括X轴电机1、X轴丝杆2、X轴滑轨3、Y轴电机4、Y轴丝杆5、Y轴滑轨6、Z轴电机7、Z轴丝杆8、Z轴滑轨9、箱体10、操作盒11、显示屏12、工作桌13、工作台14、顶板15、第一移动板16、第一支撑板17、安装板18、第一连接板19、第二移动板20、横板21、竖直板22、接线孔23、挡板24、第二连接板25、载盘26、拖链27、显微镜28、固定板29、第二支撑板30和第三支撑板31，箱体10的内部顶端安装有第一移动板16，箱体10的顶端与工作桌13的底端固定连接，工作桌13的顶端一侧中心一端安装有显示屏12，工作桌13的顶端一侧中心另一端安装有操作盒11，有利于操作显微镜28以及观看显微镜28所观察的晶圆形状，箱体10的顶端另一侧与工作台14的底端固定连接，工作台14的两侧分别与第一支撑板17和第二支撑板30的底端固定连接，且第二支撑板30位于靠近操作盒11的一侧，第一支撑板17和第二支撑板30的顶端分别与顶板15的底端中心两侧固定连接，顶板15的顶端两侧分别与Y轴滑轨6的底端固定连接，且第二连接板25和固定板29的底端中心两侧安装的滑块均位于Y轴滑轨6上，第二连接板25的顶端一侧中心处与X轴电机1的底端固定连接，X轴电机1的输出端与X轴丝杆2的一端通过联轴器连接，且X轴丝杆2的两端分别与固定安装在第二连接板25上的安装座中心处嵌入安装的轴承内部套接固定连接，X轴丝杆2上安装有滚珠螺母，且滚珠螺母与第一连接柱的一端固定连接，第一连接柱的底端两侧安装的滑块均位于X轴滑轨3上，X轴滑轨3的底端分别与固定板29的顶端中心处固定连接，固定板29的相向一侧中心处安装有限位板去，且限位板的顶端安装有旋转电机，旋转电机通过同步带与载盘26连接，载盘26的顶端吸附有晶圆，且载盘26的底端安装有真空外接管，有利于固定晶圆，第二支撑板30靠近操作盒11的一侧中心处与第三支撑板31的一侧固定连接，第三支撑板31的顶端一侧中心处与Y轴电机4的底端固定连接，Y轴电机4的输出端与Y轴丝杆5的一端固定连接，且Y轴丝杆5的两端分别与固定安装在第三支撑板31上的安装座中心处嵌入安装的轴承内部套接固定连接，Y轴丝杆5上安装有滚珠螺母，且滚珠螺母与第二连接柱的一端固定连接，第二连接柱的另一端与第二连接板25的底端一侧中心处固定连接，第二连接板25的底端一侧与拖链27的一端固定连接，拖链27的另一端与工作台14的顶端一侧中心一端固定连接，工作台14的顶端中心一侧开设有接线孔23，且接线孔23位于工作桌13和箱体10的顶端中心一侧开设的通孔正上方，有利于接线，工作台14的顶端中心另一侧分别与竖直板22的底端固定连接，竖直板22的数目为两个，且相互对应，竖直板22的一侧分别与挡板24的一侧中心两端固定连接，挡板24的顶端与横板21的中心处固定连接，横板21的顶端中心处与Z轴电机7的底端固定连接，X轴电机1、Y轴电机4和Z轴电机7的输出端均套接有摇杆，Z轴电机7的输出端贯穿横板21的中心处开设的通孔与Z轴丝杆8的一端固定连接，横板21与Z轴电机7的输出端连接处安装有联轴器，Z轴丝杆8的两端分别与固定安装在挡板24的另一侧中心两端安装的安装座中心处嵌入安装的轴承内部套接固定连接，Z轴丝杆8上安装有滚珠螺母，且滚珠螺母与第三连接柱的一端固定连接，第三连接柱的另一端与第二移动板20的一侧底端中心处固定连接，第二移动板20的一侧中心两端分别安装有滑块，且该滑块均位于Z轴滑轨9上，Z轴滑轨9的一侧分别与挡板24的另一侧中心两端固定连接，第二移动板20的另一侧中心两侧分别与第一连接板19的一侧固定连接，第一连接板19的顶端分别与安装板18的底端中心处以及安装板18的底端中心一侧固定连接，安装板18的顶端与显微镜28的底端一侧固定连接，且显微镜28的底端另一侧安装有光电传感器，显微镜28的底端另一侧位于晶圆的上方，有利于通过安装的显微镜28观察晶圆；当使用该实用新型时，通过晶圆搬送机或机械手臂将晶圆放置载盘26上，并对晶圆吸附固定，通过打开X轴电机1带动X轴丝杆2的转动，且X轴丝杆2上安装有滚珠螺母，且滚珠螺母与第一连接柱的一端固定连接，从而使第一连接柱的底端两侧安装的滑块位于X轴滑轨3上移动，从而改变晶圆与显微镜28在X轴方向上的位置关系，且通过Y轴电机4带动Y轴丝杆5的转动，且Y轴丝杆5上安装有滚珠螺母，且滚珠螺母与第二连接柱的一端固定连接，第二连接柱的另一端与第二连接板25的底端一侧中心处固定连接，随着Y轴丝杆5的转动，从而使第二连接板25和固定板29位于Y轴滑轨6上移动，从而改变晶圆与显微镜28在Y轴方向上的位置关系，且通过打开Z轴电机7，带动Z轴丝杆8的转动，且Z轴丝杆8上安装有滚珠螺母，滚珠螺母与第三连接柱的一端固定连接，第三连接柱的另一端与第二移动板第二移动板20的一侧底端中心处固定连接，进而随着Z轴丝杆8的转动使第二移动板20上安装的滑块位于Z轴滑轨9上移动，进而带动显微镜28的移动，从而改变晶圆与显微镜28在Z轴方向上的位置关系，且利用X轴电机1、Y轴电机4和Z轴电机7的输出端套接固定的摇杆，有利于手动转动带动X轴丝杆2、Y轴丝杆5和Z轴丝杆8的转动，有利于手动调节晶圆与显微镜28，进而利用安装的显微镜28对晶圆进行检查，且通过显微镜28对晶圆的微观图像直接投放在显示屏12上，有利于直接检查晶圆形貌和缺陷，量测数据。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种晶圆微观自动检查平台，包括X轴电机(1)、X轴丝杆(2)、X轴滑轨(3)、Y轴电机(4)、Y轴丝杆(5)、Y轴滑轨(6)、Z轴电机(7)、Z轴丝杆(8)、Z轴滑轨(9)、箱体(10)、操作盒(11)、显示屏(12)、工作桌(13)、工作台(14)、顶板(15)、第一移动板(16)、第一支撑板(17)、安装板(18)、第一连接板(19)、第二移动板(20)、横板(21)、竖直板(22)、接线孔(23)、挡板(24)、第二连接板(25)、载盘(26)、拖链(27)、显微镜(28)、固定板(29)、第二支撑板(30)和第三支撑板(31)，其特征在于：所述箱体(10)的顶端另一侧与工作台(14)的底端固定连接，所述工作台(14)的两侧分别与第一支撑板(17)和第二支撑板(30)的底端固定连接，且第二支撑板(30)位于靠近操作盒(11)的一侧，所述第一支撑板(17)和第二支撑板(30)的顶端分别与顶板(15)的底端中心两侧固定连接，所述顶板(15)的顶端两侧分别与Y轴滑轨(6)的底端固定连接，且第二连接板(25)和固定板(29)的底端中心两侧安装的滑块均位于Y轴滑轨(6)上，所述第二连接板(25)的顶端一侧中心处与X轴电机(1)的底端固定连接，所述X轴电机(1)的输出端与X轴丝杆(2)的一端通过联轴器连接，且X轴丝杆(2)的两端分别与固定安装在第二连接板(25)上的安装座中心处嵌入安装的轴承内部套接固定连接，所述第二支撑板(30)靠近操作盒(11)的一侧中心处与第三支撑板(31)的一侧固定连接，所述第三支撑板(31)的顶端一侧中心处与Y轴电机(4)的底端固定连接，所述Y轴电机(4)的输出端与Y轴丝杆(5)的一端固定连接，且Y轴丝杆(5)的两端分别与固定安装在第三支撑板(31)上的安装座中心处嵌入安装的轴承内部套接固定连接，所述Y轴丝杆(5)上安装有滚珠螺母，且滚珠螺母与第二连接柱的一端固定连接，第二连接柱的另一端与第二连接板(25)的底端一侧中心处固定连接，所述工作台(14)的顶端中心另一侧分别与竖直板(22)的底端固定连接，所述竖直板(22)的数目为两个，且相互对应，所述竖直板(22)的一侧分别与挡板(24)的一侧中心两端固定连接，所述挡板(24)的顶端与横板(21)的中心处固定连接，所述横板(21)的顶端中心处与Z轴电机(7)的底端固定连接，所述Z轴电机(7)的输出端贯穿横板(21)的中心处开设的通孔与Z轴丝杆(8)的一端固定连接，所述横板(21)与Z轴电机(7)的输出端连接处安装有联轴器，所述Z轴丝杆(8)的两端分别与固定安装在挡板(24)的另一侧中心两端安装的安装座中心处嵌入安装的轴承内部套接固定连接，所述Z轴丝杆(8)上安装有滚珠螺母，且滚珠螺母与第三连接柱的一端固定连接，第三连接柱的另一端与第二移动板(20)的一侧底端中心处固定连接，所述第二移动板(20)的一侧中心两端分别安装有滑块，且该滑块均位于Z轴滑轨(9)上，所述Z轴滑轨(9)的一侧分别与挡板(24)的另一侧中心两端固定连接，所述第二移动板(20)的另一侧中心两侧分别与第一连接板(19)的一侧固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆微观自动检查平台，其特征在于：所述箱体(10)的内部顶端安装有第一移动板(16)，所述箱体(10)的顶端与工作桌(13)的底端固定连接，所述工作桌(13)的顶端一侧中心一端安装有显示屏(12)，所述工作桌(13)的顶端一侧中心另一端安装有操作盒(11)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆微观自动检查平台，其特征在于：所述X轴丝杆(2)上安装有滚珠螺母，且滚珠螺母与第一连接柱的一端固定连接，第一连接柱的底端两侧安装的滑块均位于X轴滑轨(3)上，所述X轴滑轨(3)的底端分别与固定板(29)的顶端中心处固定连接，所述固定板(29)的相向一侧中心处安装有限位板，且限位板的顶端安装有旋转电机，旋转电机通过同步带与载盘(26)连接，所述载盘(26)的顶端吸附有晶圆，且载盘(26)的底端安装有真空外接管。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆微观自动检查平台，其特征在于：所述第二连接板(25)的底端一侧与拖链(27)的一端固定连接，所述拖链(27)的另一端与工作台(14)的顶端一侧中心一端固定连接，所述工作台(14)的顶端中心一侧开设有接线孔(23)，且接线孔(23)位于工作桌(13)和箱体(10)的顶端中心一侧开设的通孔正上方。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆微观自动检查平台，其特征在于：所述第一连接板(19)的顶端分别与安装板(18)的底端中心处以及安装板(18)的底端中心一侧固定连接，所述安装板(18)的顶端与显微镜(28)的底端一侧固定连接，且显微镜(28)的底端另一侧安装有光电传感器，所述显微镜(28)的底端另一侧位于晶圆的上方。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆微观自动检查平台，其特征在于：所述X轴电机(1)、Y轴电机(4)和Z轴电机(7)的输出端均套接有摇杆。

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