CN213042902U - 一种晶圆自动夹取双手臂机械手 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆自动夹取双手臂机械手，包括升降电机、升降主动轮、升降滑轨、旋转组件、第一旋转电机、移动组件、移动电机、连接主动轮、连接皮带、连接从动轮、晶圆手臂、底板、第一挡板、升降丝杆、L型座、安装板、限位滑轨、顶板、安装台、支撑块、移动板、第二挡板、转动轴、转环、第二旋转电机和安装盒，所述底板的顶端一侧中心两端分别与第一挡板的底端固定连接，所述第一挡板的一侧与第二挡板的一侧中心两端固定连接，该实用新型，结构简单，使用方便，利用安装的两个相互对应的晶圆手臂，有利于在对晶圆取放料的过程中进行交替夹取，提高了工作效率，同时利用安装的旋转组件和移动组件，扩大了该实用新型在对晶圆取料转运范围。

Description

一种晶圆自动夹取双手臂机械手

技术领域

本实用新型涉及四轴双手臂机械手机构技术领域，具体为一种晶圆自动夹取双手臂机械手。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品，其中在制造生产的晶圆的过程中常需使用到检查机对晶圆进行检测，其中晶圆检查机中的夹取机构通过是对晶圆进行转运，但传统的夹取机构通常为单一的取料方式，该夹取方式降低了工作效率，同时在进行转运的过程中缩短了对晶圆的转运范围。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆自动夹取双手臂机械手，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆自动夹取双手臂机械手，包括升降电机、升降主动轮、升降滑轨、旋转组件、第一旋转电机、移动组件、移动电机、连接主动轮、连接皮带、连接从动轮、晶圆手臂、底板、第一挡板、升降丝杆、L型座、安装板、限位滑轨、顶板、安装台、支撑块、移动板、第二挡板、转动轴、转环、第二旋转电机和安装盒，所述底板的顶端一侧中心两端分别与第一挡板的底端固定连接，所述第一挡板的一侧与第二挡板的一侧中心两端固定连接，所述第二挡板的底端与底板的顶端一侧固定连接，所述第一挡板和第二挡板相互垂直，所述第一挡板的顶端分别与顶板的底端一侧中心两端固定连接，所述顶板的底端一侧与第二挡板的顶端固定连接，所述底板的顶端中心两侧分别与L型座的底端固定连接，所述L型座的顶端分别与安装板的底端两侧固定连接，所述安装板的顶端与升降电机的底端底端固定连接，所述升降电机的输出端贯穿安装板的中心处开设的通孔与升降主动轮的中心处套接固定连接，所述升降滑轨的一侧分别与第二挡板的一侧中心两端固定连接，所述第二挡板的另一侧中心两端分别与支撑块的一侧固定连接，所述支撑块的顶端分别与安装台的底端中心两侧固定连接，所述安装台的底端一侧与第二挡板的顶端固定连接，所述安装台的底端另一侧中心处通过连接块与第一旋转电机固定连接，所述安装台的顶端安装有保护罩，且保护罩的顶端与第二旋转电机的底端固定连接，所述第二旋转电机的输出端固定连接的齿轮与第一旋转电机的输出端固定连接的齿轮相互配合连接，所述第二旋转电机输出端固定连接的齿轮与第一旋转电机的输出端固定连接的齿轮均位于由安装台和安装台的顶端安装的保护罩组成的内部空间中，所述第二旋转电机的顶端与转环的底端固定连接，所述转环的顶端四角分别与转动轴的底端固定连接，所述转动轴的顶端分别贯穿顶板的中心处开设的通孔与安装盒的底端中心四角固定连接，所述安装盒的顶端两侧分别与移动电机的底端固定连接，所述限位滑轨的底端分别与安装盒的顶端中心两侧固定连接。

进一步的，所述移动组件包括移动电机、连接主动轮、连接皮带、连接从动轮、晶圆手臂、限位滑轨和安装盒组成。

进一步的，所述旋转组件包括第一旋转电机、转动轴、转环和第二旋转电机组成。

进一步的，所述升降主动轮与升降丝杆的底端安装的升降从动轮上均绕接有升降皮带，所述升降丝杆的两端分别与第二挡板的一侧中心两端安装的固定座中心处套接固定的轴承内部套接固定连接，所述升降丝杆上安装有滚珠螺母，且该滚珠螺母与移动板的一侧中心处固定连接，所述移动板的一侧中心两端分别安装有滑块，且该滑块均位于升降滑轨上。

进一步的，所述移动电机的输出端均安装有连接主动轮，所述安装盒的顶端两侧安装通过U型座安装有连接从动轮，且连接主动轮和连接从动轮上均安装有连接皮带，所述连接皮带上均固定安装有连接块，且连接块的顶端分别与晶圆手臂的底端一侧中心两端固定连接，所述晶圆手臂的底端中心处分别通过滑块位于限位滑轨上。

与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果是：该实用新型，通过安装的移动电机、连接主动轮、连接皮带和连接从动轮，有利于使晶圆手臂位于限位滑轨上移动，进而利用安装的两个相互对应的晶圆手臂，有利于在对晶圆夹取的过程中进行交替夹取，提高了工作效率，同时利用升降电机、升降主动轮和升降丝杆，有利于使移动板位于升降滑轨上移动，从而调节移动组件与底板之间的距离，且利用安装的第一旋转电机、第二旋转电机和转动轴，有利于带动移动组件的转动，扩大了该实用新型在对晶圆取料转运范围。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。

在附图中：

图1是本实用新型的整体结构示意图；

图2是本实用新型的整体结构俯视图；

图3是本实用新型的整体结构立体图；

图中：1、升降电机；2、升降主动轮；3、升降滑轨；4、旋转组件；5、第一旋转电机；6、移动组件；7、移动电机；8、连接主动轮；9、连接皮带；10、连接从动轮；11、晶圆手臂；12、底板；13、第一挡板；14、升降丝杆；15、L型座；16、安装板；17、限位滑轨；18、顶板；19、安装台；20、支撑块；21、移动板；22、第二挡板；23、转动轴；24、转环；25、第二旋转电机；26、安装盒。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆自动夹取双手臂机械手，包括升降电机1、升降主动轮2、升降滑轨3、旋转组件4、第一旋转电机5、移动组件6、移动电机7、连接主动轮8、连接皮带9、连接从动轮10、晶圆手臂11、底板12、第一挡板13、升降丝杆14、L型座15、安装板16、限位滑轨17、顶板18、安装台19、支撑块20、移动板21、第二挡板22、转动轴23、转环24、第二旋转电机25和安装盒26，底板12的顶端一侧中心两端分别与第一挡板13的底端固定连接，第一挡板13的一侧与第二挡板22的一侧中心两端固定连接，第二挡板22的底端与底板12的顶端一侧固定连接，第一挡板13和第二挡板22相互垂直，第一挡板13的顶端分别与顶板18的底端一侧中心两端固定连接，顶板18的底端一侧与第二挡板22的顶端固定连接，底板12的顶端中心两侧分别与L型座15的底端固定连接，L型座15的顶端分别与安装板16的底端两侧固定连接，安装板16的顶端与升降电机1的底端底端固定连接，升降电机1的输出端贯穿安装板16的中心处开设的通孔与升降主动轮2的中心处套接固定连接，升降主动轮2与升降丝杆14的底端安装的升降从动轮上均绕接有升降皮带，升降丝杆14的两端分别与第二挡板22的一侧中心两端安装的固定座中心处套接固定的轴承内部套接固定连接，升降丝杆14上安装有滚珠螺母，且该滚珠螺母与移动板21的一侧中心处固定连接，移动板21的一侧中心两端分别安装有滑块，且该滑块均位于升降滑轨3上，有利于移动板21位于升降滑轨3上移动，升降滑轨3的一侧分别与第二挡板22的一侧中心两端固定连接，第二挡板22的另一侧中心两端分别与支撑块20的一侧固定连接，支撑块20的顶端分别与安装台19的底端中心两侧固定连接，安装台19的底端一侧与第二挡板22的顶端固定连接，安装台19的底端另一侧中心处通过连接块与第一旋转电机5固定连接，安装台19的顶端安装有保护罩，且保护罩的顶端与第二旋转电机25的底端固定连接，第二旋转电机25的输出端固定连接的齿轮与第一旋转电机5的输出端固定连接的齿轮相互配合连接，第二旋转电机25输出端固定连接的齿轮与第一旋转电机5的输出端固定连接的齿轮均位于由安装台19和安装台19的顶端安装的保护罩组成的内部空间中，旋转组件4包括第一旋转电机5、转动轴23、转环24和第二旋转电机25组成，第二旋转电机25的顶端与转环24的底端固定连接，转环24的顶端四角分别与转动轴23的底端固定连接，转动轴23的顶端分别贯穿顶板18的中心处开设的通孔与安装盒26的底端中心四角固定连接，安装盒26的顶端两侧分别与移动电机7的底端固定连接，移动电机7的输出端均安装有连接主动轮8，安装盒26的顶端两侧安装通过U型座安装有连接从动轮10，且连接主动轮8和连接从动轮10上均安装有连接皮带9，连接皮带9上均固定安装有连接块，且连接块的顶端分别与晶圆手臂11的底端一侧中心两端固定连接，晶圆手臂11的底端中心处分别通过滑块位于限位滑轨17上，有利于晶圆手臂11位于限位滑轨17上移动，移动组件6包括移动电机7、连接主动轮8、连接皮带9、连接从动轮10、晶圆手臂11、限位滑轨17和安装盒26组成，限位滑轨17的底端分别与安装盒26的顶端中心两侧固定连接；当使用该实用新型时，通过打开移动电机7，随着移动电机7的打开带动连接主动轮8的转动，从而带动连接皮带9和连接从动轮10的转动，随着连接皮带9的转动使升降电机1位于第一挡板13上移动，从而调节晶圆手臂11与晶圆之间的位置关系，当晶圆手臂11位于晶圆的正下方时，随后通过打开升降电机1，且随着升降电机1的打开带动升降主动轮2的转动，从而带动升降丝杆14的转动，利用升降丝杆14的转动使移动板21位于升降滑轨3上移动，从而调节移动组件6的底端与底板12的底端之间的距离，进而使晶圆手臂11对上只有晶圆的铁环进行夹取，随后通过打开升降电机1、移动电机7、第一旋转电机5和第二旋转电机25，且随着第一旋转电机5和第二旋转电机25的打开带动转动轴23的转动，进而带动移动组件6的转动，且随着升降电机1和移动电机7的打开对放置有晶圆的铁环在水平平面以及竖直平面上的位置关系的转运，从而对放置有晶圆的铁环进行转运即可。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种晶圆自动夹取双手臂机械手，包括升降电机(1)、升降主动轮(2)、升降滑轨(3)、旋转组件(4)、第一旋转电机(5)、移动组件(6)、移动电机(7)、连接主动轮(8)、连接皮带(9)、连接从动轮(10)、晶圆手臂(11)、底板(12)、第一挡板(13)、升降丝杆(14)、L型座(15)、安装板(16)、限位滑轨(17)、顶板(18)、安装台(19)、支撑块(20)、移动板(21)、第二挡板(22)、转动轴(23)、转环(24)、第二旋转电机(25)和安装盒(26)，其特征在于：所述底板(12)的顶端一侧中心两端分别与第一挡板(13)的底端固定连接，所述第一挡板(13)的一侧与第二挡板(22)的一侧中心两端固定连接，所述第二挡板(22)的底端与底板(12)的顶端一侧固定连接，所述第一挡板(13)和第二挡板(22)相互垂直，所述第一挡板(13)的顶端分别与顶板(18)的底端一侧中心两端固定连接，所述顶板(18)的底端一侧与第二挡板(22)的顶端固定连接，所述底板(12)的顶端中心两侧分别与L型座(15)的底端固定连接，所述L型座(15)的顶端分别与安装板(16)的底端两侧固定连接，所述安装板(16)的顶端与升降电机(1)的底端底端固定连接，所述升降电机(1)的输出端贯穿安装板(16)的中心处开设的通孔与升降主动轮(2)的中心处套接固定连接，所述升降滑轨(3)的一侧分别与第二挡板(22)的一侧中心两端固定连接，所述第二挡板(22)的另一侧中心两端分别与支撑块(20)的一侧固定连接，所述支撑块(20)的顶端分别与安装台(19)的底端中心两侧固定连接，所述安装台(19)的底端一侧与第二挡板(22)的顶端固定连接，所述安装台(19)的底端另一侧中心处通过连接块与第一旋转电机(5)固定连接，所述安装台(19)的顶端安装有保护罩，且保护罩的顶端与第二旋转电机(25)的底端固定连接，所述第二旋转电机(25)的输出端固定连接的齿轮与第一旋转电机(5)的输出端固定连接的齿轮相互配合连接，所述第二旋转电机(25)输出端固定连接的齿轮与第一旋转电机(5)的输出端固定连接的齿轮均位于由安装台(19)和安装台(19)的顶端安装的保护罩组成的内部空间中，所述第二旋转电机(25)的顶端与转环(24)的底端固定连接，所述转环(24)的顶端四角分别与转动轴(23)的底端固定连接，所述转动轴(23)的顶端分别贯穿顶板(18)的中心处开设的通孔与安装盒(26)的底端中心四角固定连接，所述安装盒(26)的顶端两侧分别与移动电机(7)的底端固定连接，所述限位滑轨(17)的底端分别与安装盒(26)的顶端中心两侧固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆自动夹取双手臂机械手，其特征在于：所述移动组件(6)包括移动电机(7)、连接主动轮(8)、连接皮带(9)、连接从动轮(10)、晶圆手臂(11)、限位滑轨(17)和安装盒(26)组成。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆自动夹取双手臂机械手，其特征在于：所述旋转组件(4)包括第一旋转电机(5)、转动轴(23)、转环(24)和第二旋转电机(25)组成。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆自动夹取双手臂机械手，其特征在于：所述升降主动轮(2)与升降丝杆(14)的底端安装的升降从动轮上均绕接有升降皮带，所述升降丝杆(14)的两端分别与第二挡板(22)的一侧中心两端安装的固定座中心处套接固定的轴承内部套接固定连接，所述升降丝杆(14)上安装有滚珠螺母，且该滚珠螺母与移动板(21)的一侧中心处固定连接，所述移动板(21)的一侧中心两端分别安装有滑块，且该滑块均位于升降滑轨(3)上。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆自动夹取双手臂机械手，其特征在于：所述移动电机(7)的输出端均安装有连接主动轮(8)，所述安装盒(26)的顶端两侧安装通过U型座安装有连接从动轮(10)，且连接主动轮(8)和连接从动轮(10)上均安装有连接皮带(9)，所述连接皮带(9)上均固定安装有连接块，且连接块的顶端分别与晶圆手臂(11)的底端一侧中心两端固定连接，所述晶圆手臂(11)的底端中心处分别通过滑块位于限位滑轨(17)上。

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