CN211347871U - 一种koh腐蚀实验设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种KOH腐蚀实验设备，包括框架组件，所述框架组件包括安装架，所述安装架的内部固定安装有透明防护箱，所述安装架的顶部固定连接有驱动组件，所述驱动组件包括驱动架，所述驱动架的底部与所述安装架的顶部之间固定连接，并且驱动架的顶部固定连接有提拉电机，所述安装架的顶部固定连接有控制箱，本实用新型涉及芯片生产技术领域。该KOH腐蚀实验设备通过增加旋转机构，让腐蚀液体流动，温度更均匀，解决了温场均匀性的问题；通过订制的镍篮，解决了KOH腐蚀效果不好问题；通过增加透明有机玻璃，既能对工艺过程方便观察，又对加热过程产生的废气进行限制，让其通过特定的管道排放，改善了易发生安全事故。

Description

一种KOH腐蚀实验设备

技术领域

本实用新型涉及芯片生产技术领域，具体为一种KOH腐蚀实验设备。

背景技术

晶圆片是半导体集成和封装的基础材料，需求日益旺盛，在晶圆品生产后需要对晶圆片进行腐蚀试验，晶圆片KOH腐蚀实验，适用于对晶圆片进行生产、研究和使用。

目前市场尚无成型的设备，一般为自行搭建的简易装置，只能进行简单实验，存在诸多缺陷，控温不稳定，温场不均匀，KOH腐蚀效果不好，易发生安全事故等。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种KOH腐蚀实验设备，解决了温场不均匀的问题。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种KOH腐蚀实验设备包括框架组件，所述框架组件包括安装架，所述安装架的内部固定安装有透明防护箱，所述安装架的顶部固定连接有驱动组件，所述驱动组件包括驱动架，所述驱动架的底部与所述安装架的顶部之间固定连接，并且驱动架的顶部固定连接有提拉电机，所述安装架的顶部固定连接有控制箱，所述透明防护箱内壁的通过转动轴转动连接有加热组件，所述安装架的底部设置有配电箱，所述安装架的背部设置有排放组件。

进一步地，所述提拉电机的输出端固定连接有驱动杆，所述驱动杆的表面螺纹连接有提拉架，所述提拉架的表面与所述驱动架的表面滑动连接，并且提拉架上固定安装有旋转电机，所述旋转电机的输出端固定连接有旋转杆，所述旋转杆的底部贯穿所述提拉架及所述安装架且延伸至所述透明防护箱的内部。

进一步地，所述加热组件包括加热炉，所述加热炉的底部与所述透明防护箱内壁的底部固定连接，并且加热炉的内部设置有镍篮，所述旋转杆延伸至所述透明防护箱内部的一端固定连接有保温盖。

进一步地，所述排放组件包括排气管，所述排气管与所述安装架之间设置有排气风扇，所述排气管的输入端与所述透明防护箱的内部相互连通。

进一步地，还包括限位安装环，所述限位安装环的外表面与所述排气管的内表面固定连接，并且限位安装环的左侧开设有连接槽，所述连接槽的外侧且位于所述限位安装环上开设有内螺纹面，所述限位安装环的左侧设置有过滤盘。

进一步地，所述过滤盘的内侧固定连接有过滤网，所述过滤网采用活性炭吸附过滤层的结构，所述过滤盘的右侧固定连接有连接环。

进一步地，所述连接环的外表面设置有外螺纹面，所述外螺纹面与所述内螺纹面之间相适配，并且连接环的内侧和外侧均设置有密封环，所述过滤盘的左侧固定连接有转动杆。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

该KOH腐蚀实验设备，通过增加旋转机构，让腐蚀液体流动，温度更均匀，解决了温场均匀性的问题；通过订制的镍篮，解决了KOH腐蚀效果不好问题；通过增加透明有机玻璃，既能对工艺过程方便观察，又对加热过程产生的废气进行限制，让其通过特定的管道排放，改善了易发生安全事故。

附图说明

图1为本实用新型提供的第一实施例的三维图；

图2为图1所示整体的正视图；

图3为图2所示A-A处的截面图；

图4为本实用新型提供的第二实施例的结构示意图；

图5为图4所示B处的放大图。

图中：1-框架组件、11-安装架、12-透明防护箱、2-驱动组件、21-驱动架、22-提拉电机、23-驱动杆、24-提拉架、25-旋转电机、26-旋转杆、3-控制箱、4-加热组件、41-加热炉、42-镍篮、43-保温盖、5-配电箱、6-排放组件、61-排气管、62-排气风扇、7-限位安装环、71-连接槽、72-内螺纹面、8-过滤盘、81-过滤网、82-连接环、83-外螺纹面、84-密封环、9-转动杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种KOH腐蚀实验设备包括框架组件1，所述框架组件1包括安装架11，所述安装架11的内部固定安装有透明防护箱12，所述安装架11的顶部固定连接有驱动组件2，所述驱动组件2包括驱动架21，所述驱动架21的底部与所述安装架11的顶部之间固定连接，并且驱动架21的顶部固定连接有提拉电机22，所述安装架11的顶部固定连接有控制箱3，所述透明防护箱12内壁的通过转动轴转动连接有加热组件4，所述安装架11的底部设置有配电箱5，所述安装架11的背部设置有排放组件6。

安装架11和透明防护箱12分别由铝合金型材框架及透明箱体组成，透明箱体内包含加热部分和废气排放部分，控制箱3的内部设置有自动控制***，自动控制***由PLC触摸屏控制，根据设定的目标温度，自动进行高频加热输出调节，确保目标样品温度稳定，为了确保***运行时的安全性，设有超温报警装置，漏电保护装置，为了操作和监控方便，采用集控***，所有电控部件输出控制，温度监控均可通过触摸屏实现，并预留备用接口，方便数据导出。

通过在安装架11上增加旋转机构，让腐蚀液体流动，温度更均匀，解决了温场均匀性的问题；通过订制的镍篮42，解决了KOH腐蚀效果不好问题；通过增加透明有机玻璃，既能对工艺过程方便观察，又对加热过程产生的废气进行限制，让其通过特定的管道排放，改善了易发生安全事故

所述提拉电机22的输出端固定连接有驱动杆23，所述驱动杆23的表面螺纹连接有提拉架24，所述提拉架24的表面与所述驱动架21的表面滑动连接，并且提拉架24上固定安装有旋转电机25，所述旋转电机25的输出端固定连接有旋转杆26，所述旋转杆26的底部贯穿所述提拉架24及所述安装架11且延伸至所述透明防护箱12的内部。

提拉电机22和旋转电机25均为伺服电机，并且在使用时外接电源和控制开关。

旋转提拉的过程由两个伺服电机带动，一个实现提拉，提拉部分带动加热炉41内腔的保温盖43一起升降，在下压的过程中带动保温盖43紧密的改在加热炉41上，保证在腐蚀过程中腔室是密闭的；不至于热量的流失及废气的大量排放；另一个伺服电机实现镍篮42的旋转功能，晶圆片放在镍篮42中，旋转部分沉在腐蚀液体内部，使腐蚀液体流动，使温度更均匀，解决了晶圆片在温场中均匀性的问题。

所述加热组件4包括加热炉41，所述加热炉41的底部与所述透明防护箱12内壁的底部固定连接，并且加热炉41的内部设置有镍篮42，所述旋转杆26延伸至所述透明防护箱12内部的一端固定连接有保温盖43。

加热炉41的内部设置有腐蚀液体，加热部分对加热炉41内腔的腐蚀液体进行加热，炉体内腔采用高耐腐材料纯镍，确保腐蚀安全，并在腔外设有保护层，也确保加热安全。

所述排放组件6包括排气管61，所述排气管61与所述安装架11之间设置有排气风扇62，所述排气管61的输入端与所述透明防护箱12的内部相互连通。

排放组件6形成废气排放部分，废气排放部分由排气风扇62及排气管61部分组成，在加热及打开内腔时产生的废气可以及时排放到外部，以免发生安全事故。

工作时：

提拉部分带动加热炉41内腔的保温盖43一起升降，在下压的过程中带动保温盖43紧密的改在加热炉41上，保证在腐蚀过程中腔室是密闭的；不至于热量的流失及废气的大量排放；另一个伺服电机实现镍篮42的旋转功能，晶圆片放在镍篮42中，旋转部分沉在腐蚀液体内部，使腐蚀液体流动，使温度更均匀，解决了晶圆片在温场中均匀性的问题，

通过增加旋转机构，让腐蚀液体流动，温度更均匀，解决了温场均匀性的问题；通过订制的镍篮42，解决了KOH腐蚀效果不好问题；通过增加透明有机玻璃，既能对工艺过程方便观察，又对加热过程产生的废气进行限制，让其通过特定的管道排放，改善了易发生安全事故。

第二实施例：

基于本申请的第一实施例提供的一种KOH腐蚀实验设备，本申请的第二实施例提出另一种KOH腐蚀实验设备。第二实施例仅仅是第一实施例优选的方式，第二实施例的实施对第一实施例的单独实施不会造成影响。

下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。

请参阅图4和图5，本实用新型提供另一种技术方案：还包括限位安装环7，所述限位安装环7的外表面与所述排气管61的内表面固定连接，并且限位安装环7的左侧开设有连接槽71，所述连接槽71的外侧且位于所述限位安装环7上开设有内螺纹面72，所述限位安装环7的左侧设置有过滤盘8。

限位安装环7一方面对过滤盘8起到限位的作用，同时限位安装环7的内侧开设有通透的结构，方便空气的正常流通，同时限位安装环7左侧的内螺纹面72结构方便过滤盘8上的连接环82的安装和拆卸，通过过滤盘8上的过滤网81对气体中能够通过活性炭吸附的气体进行吸附，从而达到尾气的净化，提高尾气排放的安全性，同时方便对过滤盘8的维护和更换。

所述过滤盘8的内侧固定连接有过滤网81，所述过滤网81采用活性炭吸附过滤层的结构，所述过滤盘8的右侧固定连接有连接环82。

活性炭方便对尾气中便于被活性炭吸附的气体进行吸附和净化，从而提高尾气排放的安全性。

所述连接环82的外表面设置有外螺纹面83，所述外螺纹面83与所述内螺纹面72之间相适配，并且连接环82的内侧和外侧均设置有密封环84，所述过滤盘8的左侧固定连接有转动杆9。

转动杆9共设置有两个，两个转动杆9均为L型结构，并且两个转动杆9对称分布在过滤盘8的左侧，转动杆9的左侧延伸至所述过滤盘8的外侧，方便手动调节转动杆9，转动杆9转动时同步带动过滤盘8进行转动，从而方便对过滤盘8的转动调节实现对过滤盘8的安装和拆卸。

连接环82上的外螺纹面83的结构方便过滤盘8安装在限位安装环7上的内螺纹面72上，从而方便对过滤盘8的更换和维护，保障过滤网81的过滤质量和过滤效果。

工作时：

限位安装环7左侧的内螺纹面72结构方便过滤盘8上的连接环82的安装和拆卸，通过过滤盘8上的过滤网81对气体中能够通过活性炭吸附的气体进行吸附，从而达到尾气的净化，提高尾气排放的安全性，同时方便对过滤盘8的维护和更换。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种KOH腐蚀实验设备，包括框架组件（1），其特征在于：所述框架组件（1）包括安装架（11），所述安装架（11）的内部固定安装有透明防护箱（12），所述安装架（11）的顶部固定连接有驱动组件（2），所述驱动组件（2）包括驱动架（21），所述驱动架（21）的底部与所述安装架（11）的顶部之间固定连接，并且驱动架（21）的顶部固定连接有提拉电机（22），所述安装架（11）的顶部固定连接有控制箱（3），所述透明防护箱（12）内壁的通过转动轴转动连接有加热组件（4），所述安装架（11）的底部设置有配电箱（5），所述安装架（11）的背部设置有排放组件（6）。

2.根据权利要求1所述的一种KOH腐蚀实验设备，其特征在于：所述提拉电机（22）的输出端固定连接有驱动杆（23），所述驱动杆（23）的表面螺纹连接有提拉架（24），所述提拉架（24）的表面与所述驱动架（21）的表面滑动连接，并且提拉架（24）上固定安装有旋转电机（25），所述旋转电机（25）的输出端固定连接有旋转杆（26），所述旋转杆（26）的底部贯穿所述提拉架（24）及所述安装架（11）且延伸至所述透明防护箱（12）的内部。

3.根据权利要求2所述的一种KOH腐蚀实验设备，其特征在于：所述加热组件（4）包括加热炉（41），所述加热炉（41）的底部与所述透明防护箱（12）内壁的底部固定连接，并且加热炉（41）的内部设置有镍篮（42），所述旋转杆（26）延伸至所述透明防护箱（12）内部的一端固定连接有保温盖（43）。

4.根据权利要求3所述的一种KOH腐蚀实验设备，其特征在于：所述排放组件（6）包括排气管（61），所述排气管（61）与所述安装架（11）之间设置有排气风扇（62），所述排气管（61）的输入端与所述透明防护箱（12）的内部相互连通。

5.根据权利要求4所述的一种KOH腐蚀实验设备，其特征在于：还包括限位安装环（7），所述限位安装环（7）的外表面与所述排气管（61）的内表面固定连接，并且限位安装环（7）的左侧开设有连接槽（71），所述连接槽（71）的外侧且位于所述限位安装环（7）上开设有内螺纹面（72），所述限位安装环（7）的左侧设置有过滤盘（8）。

6.根据权利要求5所述的一种KOH腐蚀实验设备，其特征在于：所述过滤盘（8）的内侧固定连接有过滤网（81），所述过滤网（81）采用活性炭吸附过滤层的结构，所述过滤盘（8）的右侧固定连接有连接环（82）。

7.根据权利要求6所述的一种KOH腐蚀实验设备，其特征在于：所述连接环（82）的外表面设置有外螺纹面（83），所述外螺纹面（83）与所述内螺纹面（72）之间相适配，并且连接环（82）的内侧和外侧均设置有密封环（84），所述过滤盘（8）的左侧固定连接有转动杆（9）。

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