一种便于切割刀具冷却与清洗的刀架
【技术领域】
本实用新型涉及一种用于晶圆切割机切割设备的刀架,特别涉及一种便于切割刀具冷却与清洗的刀架。
【背景技术】
目前,在切割晶圆等材料时使用的喷水切割刀架,通常采用简单的喷水冲击砂轮来清洗和冷却砂轮,用这种切割刀架切割时,需要耗费大量的水以及对出水速度有更高的要求,尤其是切割速度过大时,切割产生的热量无法快速散热,以及切割过程产生的碎屑不能及时冲洗干净,均会影响切割效率,甚至影响晶圆等敏感材料造成破坏,因此,作为电子工业的一个重要环节,晶圆的来料制备,对切割时散热和清洗提出了新的挑战。
【实用新型内容】
本实用新型的目的在于克服现有技术的不足,提供一种便于切割刀具冷却与清洗的刀架,解决目前刀架对刀具清洗和散热效率低的问题,实现在高速切割下,及时有效的冷却刀具以及清洁刀具,提高切割机的生产效率和保障制品的品质。
本实用新型的技术方案是这样实现的:本实用新型的一种便于切割刀具冷却与清洗的刀架,它包括刀架主体,其改进之处在于:所述刀架主体的一侧设有水气喷头,水气喷头分别设有喷水通道和喷气通道,喷气通道围绕喷水通道设置。
上述结构中,所述水气喷头包括用于喷水的喷管和环扣在喷管的外壁上的环形管体,环形管体的内壁与喷管的外壁形成喷气通道。
上述结构中,所述水气喷头通过可调支架与刀架主体上的双轨滑槽相连。
上述结构中,所述可调支架上固定有与喷气通道相通的进气管和与喷水通道相通的进水管。
上述结构中,所述刀架主体包括刀架固定架和刀架活动架,刀架活动架通过销钉与刀架固定架转轴连接。
上述结构中,所述刀架主体内设有容纳切割刀具的拱形腔,刀架主体设有吹气管,吹气管露出于拱形腔的内壁与切割刀具位于同一平面,吹气管的风向与切割刀具的转动方向相对。
上述结构中,所述切割刀具为砂轮,刀架主体上于砂轮两侧分别设有喷水管,喷水管与刀架主体的外端上的喷水管进水口相通。
上述结构中,所述喷水管和与喷水管相通的喷水管进水口分别固定在刀架固定架和刀架活动架上,转动刀架活动架时,刀架活动架上的喷水管和喷水管进水口随刀架活动架一起绕销钉转动。
上述结构中,所述喷水管上均匀分布有若干喷水孔,喷水孔将水分别喷向砂轮的两侧面。
上述结构中,所述刀架活动架的外侧面通过螺钉可拆卸连接有盖板,盖板的尺寸与拱形腔的侧面形状相适配。
本实用新型的有益效果在于:本实用新型提供了一种便于切割刀具冷却与清洗的刀架,解决目前刀架对刀具清洗和散热效率低的问题,实现在高速切割下,及时有效的冷却刀具以及清洁刀具,提高切割机的生产效率和保障制品的品质。
【附图说明】
图1为本实用新型的刀架结构图。
图2为本实用新型的刀架立体图。
图3为本实用新型的刀架另一视角的立体图。
图4为本实用新型一种便于切割刀具冷却与清洗的刀架的安装使用状态示意图。
图5为本实用新型刀架在安装使用状态的局部放大图。
图6为本实用新型刀架安装砂轮后沿砂轮中心面的剖视图。
图7为图六中关于刀架的水气喷头构件的局部放大图。
图中:1、刀架,2、安装支架,3、电机,4、进水管,5、进气管,6、可调支架,7、双轨滑槽,8、刀架固定架,9、刀架活动架,10、吹气管进气口,11、固定架喷水管进水口,12、活动架喷水管进水口,13、销钉,14、盖板,15、固定架喷水管,16、活动架喷水管,17、水气喷头,18、拱形腔,19、砂轮,20、吹气管,171、喷水通道,172、喷气通道。
【具体实施方式】
下面结合附图及具体实施方式对本实用新型作进一步描述:
参照图1至图7所示,本实用新型揭示的一种便于切割刀具冷却与清洗的刀架1,刀架1通过安装支架2固定在电机3的壳体上,电机3的转轴安装用于切割的刀具,本实用新型的刀架包括刀架主体,刀架主体的一侧设有水气喷头17,水气喷头17分别设有喷水通道171和喷气通道172,喷气通道172围绕喷水通道171设置。喷水通道171喷出的水在喷气通道172喷出的气流下,具有更快的冷却效果,同时可以迅速将切割产生的碎屑清理掉,有效保证切割效率和产品质量。
进一步地,水气喷头17包括用于喷水的喷管和环扣在喷管的外壁上的环形管体,环形管体的内壁与喷管的外壁形成喷气通道172,使喷气通道172吹出的气流旋绕水流,增加清洁与降温的效果。
进一步地,水气喷头17通过可调支架6与刀架主体上的双轨滑槽7相连,可调支架6可以用来调节水气喷头17的位置,使喷出的水汽对准切割刀具,采用双轨滑槽的连接结构,方便调节可调支架6的位置,且便于日常维护保养。
进一步地,可调支架6上固定有与喷气通道172相通的进气管5和与喷水通道171相通的进水管4。
进一步地,上述刀架主体包括刀架固定架8和刀架活动架9,刀架活动架9通过销钉13与刀架固定架8转轴连接,可以很便利的将刀架活动架9与刀架固定架8分开,便于刀具的维护及更换。
进一步地,上述刀架主体内设有容纳切割刀具的拱形腔18,该刀架主体设有吹气管20,吹气管20露出于拱形腔18的内壁与切割刀具位于同一平面,吹气管20的风向与切割刀具的转动方向相对,本实施例中,与吹气管20相通的吹气管进气口10设在刀架主体的壳体上,切割刀具切割时,吹气管20吹出的风将切割刀具上的碎屑吹离刀具,达到清洁刀具的目的。
进一步地,上述切割刀具为砂轮19,上述刀架主体上于砂轮19两侧分别设有喷水管,喷水管与刀架主体的外端上的喷水管进水口相通。具体地,本实施例中,砂轮19两侧的喷水管包含固定在刀架固定架8上的固定架喷水管15和刀架活动架9上的活动架喷水管16,相应地,与固定架喷水管15相通的固定架喷水管进水口11固定在刀架固定架8上;与活动架喷水管16相通的活动架喷水管进水口12固定在刀架活动架9上。刀架活动架9上的活动架喷水管16和活动架喷水管进水口12随刀架活动架一起绕销钉13转动。
进一步地,上述喷水管上均匀分布有若干喷水孔,喷水孔将水分别喷向砂轮19的两侧面,对砂轮19的切割部位进行降温,同时清洁砂轮19上的碎屑。
进一步地,刀架活动架9的外侧面通过螺钉可拆卸连接有盖板14,盖板14的尺寸与拱形腔18的侧面形状相适配,通过拆卸盖板14可以方便的对刀架内部结构进行维护。
以上所描述的仅为本实用新型的较佳实施例,上述具体实施例不是对本实用新型的限制。在本实用新型的技术思想范畴内,可以出现各种变形及修改,凡本领域的普通技术人员根据以上描述所做的润饰、修改或等同替换,均属于本实用新型所保护的范围。