CN204356395U - 一种掩膜板 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种掩膜板，其包括有掩膜、固定框与掩膜框，其中该掩膜固定连接在固定框上，该掩膜与固定框形成一个整体，该掩膜框套合在该固定框内，该掩膜框与固定框能组合与拆卸。本实用新型可通过将掩膜与掩膜框分成两部分，使用时进行组合，不使用时可进行拆卸，使不同的掩膜可共用同一个掩膜框，达到节约成本的目的。
Description
技术领域
本实用新型有关一种掩膜板，特别是指一种能够拆分，且能共用掩膜框的真空蒸镀掩膜板。
背景技术
在真空环境中，将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀，在蒸镀过程中，需用到掩膜板。如图1所示，现有蒸镀用掩膜板，其掩膜6是直接固定在掩膜框7上，即掩膜板为一体构造，当采用不同的掩膜时，只能相应更换不同的掩膜框；同时由于掩膜固定在掩膜框上，使掩膜张力无法调整。
实用新型内容
有鉴于此，本实用新型的主要目的在于提供一种能够拆分，且能共用掩膜框的掩膜板。
为达到上述目的，本实用新型提供一种掩膜板，其包括有掩膜、固定框与掩膜框，其中该掩膜固定连接在固定框上，该掩膜与固定框形成一个整体，该掩膜框套合在该固定框内，该掩膜框与固定框能组合与拆卸。
所述掩膜框外侧设有第一凹槽，所述固定框的内侧相对该第一凹槽位置处设有凸块，该掩膜框套合在该固定框内时，该凸块嵌合在该第一凹槽内。
所述固定框的内侧设有第一凹槽，所述掩膜框的外侧相对该第一凹槽位置处设有凸块，该掩膜框套合在该固定框内时，该凸块嵌合在该第一凹槽内。
所述掩膜板至少一个边的外侧设有多个第二凹槽，该第二凹槽内设有能对掩膜张力调整的垫片。
所述固定框的至少一个边的内侧设有多个第二凹槽，该第二凹槽内设有能对掩膜张力调整的垫片。
所述第二凹槽设于所述掩膜框外侧靠近所述掩膜处。
所述第二凹槽设于所述固定框内侧靠近所述掩膜处。
各所述第二凹槽内的垫片的长度不同或相同。
所述固定框的四个边分别独立，相邻两个边之间设有缺口。
所述掩模与固定框激光焊接连接。
本实用新型可通过将掩膜与掩膜框分成两部分，使用时进行组合，不使用时可进行拆卸，使不同的掩膜可共用同一个掩膜框，达到节约成本的目的。
附图说明
图1为现有技术中掩膜板的结构示意图；
图2为本实用新型掩膜板的分解立体图；
图3为本实用新型掩膜板组装后示意图。
具体实施方式
为便于对本实用新型的结构及达到的效果有进一步的了解，现结合附图并举较佳实施例详细说明如下。
如图2与图3所示，本实用新型的掩膜板包括有掩膜1、固定框2与掩膜框3，其中掩膜1四周固定连接在固定框2上，使掩膜1与固定框2形成一个整体，掩膜框3套合在固定框2内，使掩膜框3与固定框2可组合与拆卸。掩膜1与固定框2可通过激光焊接连接。
本实用新型的掩膜框3外侧设有第一凹槽30，该固定框2的内侧相对第一凹槽30位置处设有多个凸块20，当将掩膜框3套合在固定框2内时，可将固定框2内侧的凸块20嵌合在掩膜框3外侧的第一凹槽30内，以此将掩膜框3与固定框2安装在一起。
本实用新型中，第一凹槽也可设于固定框2的内侧，而凸块设于掩膜框3的外侧与第一凹槽相对的位置处，当将掩膜框3套合在固定框2内时，可将掩膜框3外侧的凸块嵌合在固定框2内侧的第一凹槽内，以此将掩膜框3与固定框2安装在一起。
本实用新型中的掩膜框3至少一个边的外侧还设有至少一个第二凹槽31，当掩膜1张力需要调整时，在需要调整的位置处第二凹槽31内可设有垫片32，将掩膜框3与固定框2安装后，通过第二凹槽31内的垫片32调整掩膜框3与固定框2的间隙，借以对掩膜1的张力进行调整，垫片32的长度可根据调整间隙的需要可长可短。当设有多个第二凹槽31时，第二凹槽31内可设置相同或不同尺寸的垫片32，在张力需要调整处选择或长或短的垫片，根据需要对掩膜1张力进行不同程度的调整。
本实用新型中的第二凹槽还可设于固定框2的至少一个边的内侧，通过垫片进行掩膜张力的调整可见上述，不再赘述。本实用新型中的第二凹槽可设于固定框2内侧靠近掩膜1处或设于掩膜框3外侧靠近掩膜1处，以更利于借其中的垫片32调整掩膜张力。
本实用新型中的固定框2的四个边可分别独立，相互之间设有缺口，可以方便拆装。
本实用新型可通过将掩膜与掩膜框分成两部分，使用时进行组合，不使用时可进行拆卸，使不同的掩膜可共用同一个掩膜框，达到节约成本的目的；同时通过在掩膜框上的第二凹槽内增加垫片,可调节掩膜张力。
以上所述，仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用于限定本实用新型的保护范围。
Claims (8)
1.一种掩膜板，其特征在于，其包括有掩膜、固定框与掩膜框，其中该掩膜固定连接在固定框上，该掩膜与固定框形成一个整体，该掩膜框套合在该固定框内，该掩膜框与固定框能组合与拆卸；
所述掩膜框外侧设有第一凹槽，所述固定框的内侧相对该第一凹槽位置处设有凸块，该掩膜框套合在该固定框内时，该凸块嵌合在该第一凹槽内；或，
所述固定框的内侧设有第一凹槽，所述掩膜框的外侧相对该第一凹槽位置处设有凸块，该掩膜框套合在该固定框内时，该凸块嵌合在该第一凹槽内。
2.如权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜板至少一个边的外侧设有多个第二凹槽，该第二凹槽内设有能对掩膜张力调整的垫片。
3.如权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述固定框的至少一个边的内侧设有多个第二凹槽，该第二凹槽内设有能对掩膜张力调整的垫片。
4.如权利要求2所述的掩膜板，其特征在于，所述第二凹槽设于所述掩膜框外侧靠近所述掩膜处。
5.如权利要求3所述的掩膜板，其特征在于，所述第二凹槽设于所述固定3框内侧靠近所述掩膜处。
6.如权利要求2或3所述的掩膜板，其特征在于，各所述第二凹槽内的垫片的长度不同或相同。
7.如权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述固定框的四个边分别独立，相邻两个边之间设有缺口。
8.如权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜与固定框激光焊接连接。
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Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN108034923A (zh) * | 2018-01-24 | 2018-05-15 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 掩模组件、掩模框架以及掩模支撑架 |
| CN110331364A (zh) * | 2019-08-02 | 2019-10-15 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 蒸镀金属掩膜板 |
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2014
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