CN203811982U - 一种清洁设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种清洁设备，包括：一箱体；设置于所述箱体内，位置可移动的清洁装置；设置于所述箱体内用于承载待清洁掩膜板的承载装置；检测装置，用于对所述待清洁掩膜板的所有检测点进行检测，获取一检测结果；控制器，用于根据所述检测结果控制所述清洁装置对所述待清洁掩膜板上存在的灰尘进行定点清除。本实用新型的有益效果是：检测装置发现灰尘的具***置、通过可移动的清洁装置定点清除灰尘，以在曝光工艺中提高产品的良率。

Description

一种清洁设备

技术领域

本实用新型涉及液晶产品制作技术领域，尤其涉及一种用于掩模板清洁的清洁设备。 

背景技术

目前设计的TFT-LCD各类产品，采用掩膜板曝光技术，进行图形形成，但是如果曝光掩膜板（photo mask），放置时间太长，就会落置小灰尘（particle），即使在洁净间也无法避免，这样在曝光工艺中，就会形成重复性的不良，导致产品良率大幅度下降。而且在mask清洁完成后，向设备装入过程中由于位置偏移，容易引起down机，降低生产效率。 

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种清洁设备，提高产品良率。 

为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种清洁设备，包括： 

一箱体； 

设置于所述箱体内，位置可移动的清洁装置； 

设置于所述箱体内用于承载待清洁掩膜板的承载装置； 

检测装置，用于对所述待清洁掩膜板的所有检测点进行检测，获取一检测结果； 

控制器，用于根据所述检测结果控制所述清洁装置对所述待清洁掩膜板上存在的灰尘进行定点清除。 

进一步的，所述检测装置具体为一位置可移动的测试探头，能够通过位置移动扫描所述待清洁掩膜板的各检测点，获取所有检测点的检测结果。 

进一步的，所述测试探头和所述清洁装置成对设置，同步移动。 

进一步的，所述检测装置和所述清洁装置相互独立设置，所述控制器具体 包括： 

定位模块，用于根据所述检测结果定位所述待清洁掩膜板上存在的灰尘，获取一定位信息； 

第一驱动模块，用于根据所述定位信息确定一目标位置，并控制所述清洁装置在所述目标位置处进行清洁操作。 

进一步的，所述检测装置和所述清洁装置相互独立设置，所述检测装置具体为一用于采集所述待清洁掩膜板的图像的图像采集模块，所述控制器具体包括： 

图像分析器，用于分析所述图像，确定所述待清洁掩膜板上存在的灰尘在所述图像中的第一位置信息； 

转换单元，用于根据所述图像采集模块采集到的图像中的位置信息与预先建立的坐标系的对应关系，将第一位置信息转换为一目标坐标； 

第二驱动模块，用于根据所述目标坐标控制所述清洁装置对位于所述目标坐标处的灰尘进行清洁操作。 

进一步的，还包括： 

第一机械手； 

第一位置检测器，用于检测所述待清洁掩膜板在所述箱体中的第二位置信息； 

第三驱动模块，用于根据所述第二位置信息控制所述第一机械手将所述待清洁掩膜板放置到所述承载装置的预定位置。 

进一步的，所述清洁装置包括吸尘设备和/或吹扫设备。 

进一步的，所述箱体的顶部和底部均设置有进风通道，所述箱体的至少一个侧壁上设置有出风通道。 

进一步的，还包括将所述待清洁掩模板搬入或搬出所述箱体的搬运车，所述搬运车包括： 

第二机械手； 

第二位置检测器，用于检测所述待清洁掩膜板在所述搬运车上的第三位置信息； 

第四驱动模块，用于根据所述第三位置信息控制所述第二机械手将所述待 清洁掩膜板放置到所述搬运车上的预定位置。 

本实用新型的有益效果是：检测装置发现灰尘的具***置、通过可移动的清洁装置定点清除灰尘，以在曝光工艺中提高产品的良率。 

附图说明

图1表示箱体结构示意图； 

图2表示箱体内部结构示意图； 

图3表示搬运车结构示意图； 

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的结构和原理进行详细说明，所举实施例仅用于解释本实用新型，并非以此限定本实用新型的保护范围。 

如图1-图3所示，本实施例提供一种清洁设备，提高产品良率。 

为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种清洁设备，包括： 

一箱体1； 

设置于所述箱体1内，位置可移动的清洁装置3； 

设置于所述箱体1内用于承载待清洁掩膜板的承载装置； 

检测装置2，用于对所述待清洁掩膜板的所有检测点进行检测，获取一检测结果； 

控制器，用于根据所述检测结果控制所述清洁装置3对所述待清洁掩膜板上存在的灰尘进行定点清除。 

采用检测装置2对待清洁掩模板的所有检测点进行检测，发现灰尘的具***置，在控制器的控制下，清洁装置3移动至灰尘所对应的位置对待清洁掩模板上的灰尘进行定点清除，提高产品曝光工艺中产品的良率。 

所述箱体1的一侧设有方便掩模板进出的门，关上此门后，所述箱体1内部形成一封闭空间。 

本实施例中，所述箱体1内设有导轨，所述清洁装置3和所述检测装置2可沿着所述导轨移动。 

如图2所示，本实施例中所述导轨的设置方式如下：所述箱体1内壁上设 有与X轴方向平行的第一导轨11、与Y轴方向平行的第二导轨12、与Z轴方向平行的第三导轨13，所述第一导轨11设置于相对的两个所述第二导轨12之间，所述第一导轨11可沿着所述第二导轨12移动，所述第二导轨12设置在相对的所述第三导轨13之间，所述第二导轨12可沿着所述第三导轨13移动，所述第三导轨13可沿着所述第二导轨12移动，所述清洁装置3和所述检测装置2设置在所述第一导轨11上，所述清洁装置3和所述检测装置2可沿着所述第一导轨11在X轴方向移动，当所述第一导轨11沿着所述第二导轨12移动时，所述清洁装置3和所述检测装置2随之在Y轴方向移动，当所述第二导轨12带动所述第一导轨11沿着所述第三导轨13移动时，所述清洁装置3和所述检测装置2随之在Z轴方向移动，由此实现所述清洁装置3、所述检测装置2在X轴、Y轴、Z轴方向的三维运动，达到待清洁掩模板上灰尘的全面定位与清除。 

本实施例中，所述第三导轨13设有4个，分别位于所述箱体1的四个边角处，所述第二导轨12设有4个，每2个所述第二导轨12并排设置在对应的、相邻的所述第三导轨13之间，所述第一导轨11设有2个，并排设置在对应的、相邻的所述第二导轨12之间。 

本实施例中，所述检测装置2具体为一位置可移动的测试探头，能够通过位置移动扫描所述待清洁掩膜板的各检测点，获取所有检测点的检测结果。每一所述第一导轨11上设有2个测试探头，但不以此为限。 

所述测试探头与所述清洁装置3可以成对设置、同步移动，测试探头发现待清洁掩模板上的灰尘，则可控制所述清洁装置3直接进行清除；所述测试探头与所述清洁装置3也可以独立设置，此时由于所述清洁装置3与所述测试探头不是同时移动的，在进行清洁时，则需要将获得灰尘所在位置信息转换为坐标，以便所述控制器控制所述清洁装置3移动到目标位置进行定点清除。 

一实施例中，所述检测装置2和所述清洁装置3相互独立设置，所述控制器具体包括： 

定位模块，用于根据所述检测结果定位所述待清洁掩膜板上存在的灰尘，获取一定位信息； 

第一驱动模块，用于根据所述定位信息确定一目标位置，并控制所述清洁 装置3在所述目标位置处进行清洁操作。 

其中第一驱动模块可以为一驱动马达。 

一实施例中，所述检测装置2和所述清洁装置3相互独立设置，所述检测装置2具体为一用于采集所述待清洁掩膜板的图像的图像采集模块，所述控制器具体包括： 

图像分析器，用于分析所述图像，确定所述待清洁掩膜板上存在的灰尘在所述图像中的第一位置信息； 

转换单元，用于根据所述图像采集模块采集到的图像中的位置信息与预先建立的坐标系的对应关系，将第一位置信息转换为一目标坐标； 

第二驱动模块，用于根据所述目标坐标控制所述清洁装置3对位于所述目标坐标处的灰尘进行清洁操作。 

其中，所述图像分析器可以为一计算机***，所述转换单元为一转换器，所述第二驱动模块可以为一驱动马达。 

进一步的，清洁设备还包括： 

第一机械手； 

第一位置检测器，用于检测所述待清洁掩膜板在所述箱体1中的第二位置信息； 

第三驱动模块，用于根据所述第二位置信息控制所述第一机械手将所述待清洁掩膜板放置到所述承载装置的预定位置。 

其中，所述第一位置检测器可以为一测试探头，所述第三驱动模块为一驱动马达。 

如图2所示，本实施例中，所述第一机械手包括设置在每一所述第三导轨13上设有一所述夹持结构，四个夹持结构位于同一水平面，且同步运动以夹持掩模板，所述夹持结构包括一活动连接于所述第三导轨13上的第一连接杆110，在所述连接杆的外端连接有呈L型结构的第二连接杆111，所述第二连接杆111与所述第一连接杆110之间形成一与掩模板厚度相适配的凹槽。 

进一步的，所述第一连接杆110与所述第三导轨13之间设有伸缩结构，该伸缩结构的设置使得所述第一连接杆110和所述第二连接杆111可在X轴方向伸缩以夹持不同大小的掩模板。 

每一所述第一连接杆110或第二连接杆111上设有所述作为第一位置检测器的测试探头，但不以此为限。 

进一步的，所述清洁装置3包括吸尘设备和/或吹扫设备。 

所述清洁装置3可以只包括吸尘设备，对待清洁掩模板进行强力吸尘；所述清洁装置3也可以只包括吹扫设备，将待清洁掩模板上的灰尘吹扫掉；所述清洁装置3可以同时包括吸尘设备和吹扫设备，先通过吹扫设备将待清洁掩模板上的灰尘吹起，然后通过吸尘设备将灰尘吸走。 

进一步的，所述箱体1的顶部和底部均设置有进风通道14，所述箱体1的至少一个侧壁上设置有出风通道15。在掩模板上灰尘较多时，通过进风通道14和出风通道15的设置，可以大面积的进行粗略的清扫，节省清洁时间。 

如图1所示，本实施例中，在所述箱体1的顶部和底部分别设有进风通道14，所述箱体1的侧壁和背部设有出风通道15，但并不以此为限。 

进一步的，如图3所示，清洁设备还包括将所述待清洁掩模板搬入或搬出所述箱体1的搬运车4，所述搬运车4包括： 

第二机械手； 

第二位置检测器41，用于检测所述掩膜板在所述搬运车上的第三位置信息； 

第四驱动模块，用于根据所述第三位置信息控制所述第二机械手将所述待清洁掩膜板或清洁后的掩模板放置到所述搬运车4上的预定位置。 

其中所述第二位置检测器41可以为测试探头，所述第四驱动模块可以为一驱动马达， 

在掩模板清洁完毕后，通过第二位置检测器41和第四驱动模块的设置，使得清洁后的掩模板放置到所述搬运出的预定位置，以防止掩模板在进入下一工艺设备的位置的偏移、从而造成设备down机4的现象。 

以下对本实施例清洁设备的使用原理进行具体介绍： 

待清洁的曝光掩膜板（photo mask），将其从曝光设备取出时，搬运车4会通过第二位置检测器41和第四驱动模块配合将掩模板放置到搬运车4的预定位置，第二位置检测器41的工作原理为光学光线感应探头传感器，当待清洁掩模板放在搬运车4上之后，设置在搬运车4四个边角上的第二位置检测器 41会利用光线的传送和反射，感应待清洁掩模板的位置，如果待清洁掩模板没有放到预定位置，搬运车4上还设有微调装置（第四驱动模块），会将待清洁掩模板移动校正到合适的位置，进行固定。 

然后利用上面设计的搬运小车，运送待清洁掩模板，将箱体1的门打开，将待清洁沿模板送至箱体1内部，关闭箱体1的门。 

所述控制器包括设于所述箱体1上用于人机交互的操作面板，对操作面板进行操作，第一位置检测器感应小车上面待清洁掩模板的位置（也可与搬运车4上面的第二位置检测器41进行信号感应），第一机械手可自动进行前后伸缩，并可以沿着Z轴方向的导轨进行夹持操作，将待清洁掩模板夹持固定到预定位置。 

检测装置2会对待清洁掩模板上下表面进行自动扫描，图像分析器分析检测装置2采集的图像，确定所述待清洁掩膜板上存在的灰尘在所述图像中的第一位置信息，转换单元根据所述图像采集模块采集到的图像中的位置信息与预先建立的坐标系的对应关系，将第一位置信息转换为一目标坐标，从而定位小灰尘的坐标位置。 

扫描灰尘的原理为，利用光线透过率进行判断是否为灰尘，当透过率与待清洁掩模板周围的透过率有差异，此处就为灰尘的位置，也可以用其他测试方法，只要可以检测灰尘位置即可。 

第一驱动模块根据所述定位信息确定一目标位置，并控制所述清洁装置3在所述目标位置处进行清洁操作。所述箱体1内壁上设有X轴、Y轴、Z轴方向的导轨，所述清洁装置3、所述检测装置2可沿着所述X轴、Y轴、Z轴方向的导轨在所述箱体1内移动，达到全面扫描和定点清除灰尘的目的。 

当掩模板清扫完成之后，第一机械手将清洁后的掩模板放到搬运车4上，并通过第二机械手和第二位置检测器41使得掩模板放置到预定位置，达到防止偏移的目的。 

可以根据实际情况，进行开关进风通道和出风通道，如果灰尘较多，可以先打开进风通道和出风通道进行大面积快速吹扫，如果灰尘数量较少，可以关闭进风通道和出风通道，进行上述的定点清除。 

以上所述为本实用新型较佳实施例，应当指出的是，对于本领域普通技术 人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型保护范围。 

Claims (9)

1.一种清洁设备，其特征在于，包括： 

一箱体； 

设置于所述箱体内，位置可移动的清洁装置； 

设置于所述箱体内用于承载待清洁掩膜板的承载装置； 

检测装置，用于对所述待清洁掩膜板的所有检测点进行检测，获取一检测结果； 

控制器，用于根据所述检测结果控制所述清洁装置对所述待清洁掩膜板上存在的灰尘进行定点清除。 

2.根据权利要求1所述的清洁设备，其特征在于，所述检测装置具体为一位置可移动的测试探头，能够通过位置移动扫描所述待清洁掩膜板的各检测点，获取所有检测点的检测结果。 

3.根据权利要求2所述的清洁设备，其特征在于，所述测试探头和所述清洁装置成对设置，同步移动。 

4.根据权利要求1所述的清洁设备，其特征在于，所述检测装置和所述清洁装置相互独立设置，所述控制器具体包括： 

定位模块，用于根据所述检测结果定位所述待清洁掩膜板上存在的灰尘，获取一定位信息； 

第一驱动模块，用于根据所述定位信息确定一目标位置，并控制所述清洁装置在所述目标位置处进行清洁操作。 

5.根据权利要求1所述的清洁设备，其特征在于，所述检测装置和所述清洁装置相互独立设置，所述检测装置具体为一用于采集所述待清洁掩膜板的图像的图像采集模块，所述控制器具体包括： 

图像分析器，用于分析所述图像，确定所述待清洁掩膜板上存在的灰尘在所述图像中的第一位置信息； 

转换单元，用于根据所述图像采集模块采集到的图像中的位置信息与预先建立的坐标系的对应关系，将第一位置信息转换为一目标坐标； 

第二驱动模块，用于根据所述目标坐标控制所述清洁装置对位于所述目标 坐标处的灰尘进行清洁操作。 

6.根据权利要求1所述的清洁设备，其特征在于，还包括： 

第一机械手； 

第一位置检测器，用于检测所述待清洁掩膜板在所述箱体中的第二位置信息； 

第三驱动模块，用于根据所述第二位置信息控制所述第一机械手将所述待清洁掩膜板放置到所述承载装置的预定位置。 

7.根据权利要求1所述的清洁设备，其特征在于，所述清洁装置包括吸尘设备和/或吹扫设备。 

8.根据权利要求1所述的清洁设备，其特征在于，所述箱体的顶部和底部均设置有进风通道，所述箱体的至少一个侧壁上设置有出风通道。 

9.根据权利要求1所述的清洁设备，其特征在于，还包括将所述待清洁掩模板搬入或搬出所述箱体的搬运车，所述搬运车包括： 

第二机械手； 

第二位置检测器，用于检测所述待清洁掩膜板在所述搬运车上的第三位置信息； 

第四驱动模块，用于根据所述第三位置信息控制所述第二机械手将所述待清洁掩膜板放置到所述搬运车上的预定位置。