CN202880904U - 一种氢化尾气、还原尾气热能回收*** - Google Patents
一种氢化尾气、还原尾气热能回收*** Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型公开了一种氢化尾气、还原尾气热能回收***，其特征在于，包括水冷器、汽化器，所述水冷器的被冷却流体入口与80～150℃的尾气入口连通，所述水冷器的被冷却流体出口与所述汽化器的被冷却流体入口连通。本实用新型实现了对氢化尾气或还原尾气携带的大量热量以及-40℃氯化氢液体携带的大量冷量进行综合利用。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种多晶硅生产领域，具体涉及改良西门子法生产多晶硅的氢化尾气、还原尾气回收领域。
背景技术
在改良西门子法生产多晶硅的氢化尾气、还原尾气回收***，低压冷凝区主要是采用逐级冷却的方式进行冷却，同时尾气回收***中液态氯化氢的采用电加热器进行加热汽化后输送至三氯氢硅合成使用，氢化尾气、还原尾气回收***高压解析区的解析塔塔釜排出的高温贫液氯硅烷通过换热器水冷后，再用泵进行输送。合成尾气回收***中高压解析区塔釜再沸器使用蒸汽进行加热，具体流程如下：
氢化尾气或还原尾气回收***低压区：80～150℃尾气中的氢气、氯化氢、二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅等成分经过尾气水冷器、尾气气-气换热器、-20℃冷冻盐水换热器和尾气过冷器，将尾气温度降低至-30～-45℃，利用尾气中各组分的沸点不同，其中的二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅被冷凝下来储存在氯硅烷缓冲罐中。
在解析塔塔顶，-40氯化氢液体被采出，送至汽化器进行电加热汽化。
在上述过程中尾气携带大量热量需要冷媒进行逐渐冷却消耗冷量，而-40℃氯化氢液体携带大量冷量需要热源进行加热消耗热量。在此过程可以看出改良西门子法生产多晶硅的氢化尾气、还原尾气回收***中尾气携带的热量及-40℃氯化氢液体携带的冷量并未进行有效利用，氢化尾气、还原尾气回收***热能综合利用不合理。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是针对生产多晶硅的改良西门子法中氢化尾气、还原尾气回收***热能利用不合理性，提供一种氢化尾气、还原尾气回收***热能综合利用的***，降低氢化尾气、还原尾气回收***的能耗。
本实用新型的目的通过以下技术方案来具体实现：
一种氢化尾气或还原尾气热能回收***，包括水冷器、汽化器，所述水冷器的被冷却流体入口与80～150℃的尾气入口连通，所述水冷器的被冷却流体出口与所述汽化器的被冷却流体入口连通。
所述汽化器的被冷却流体入口上设有旁路阀，使所述汽化器的被冷却流体出口的尾气的温度降至15～25℃。
所述汽化器的被加热流体入口与-40℃氯化氢液体源连通，所述汽化器的被加热流体出口处形成10～20℃氯化氢气体。
所述汽化器上设有氯硅烷出口，并且所述氯硅烷出口连接的收集管道与氯硅烷缓冲罐连通。
在所述收集管道上设有汽化器管程排液管线导淋阀。
本实用新型实现了对氢化尾气或还原尾气携带的大量热量以及-40℃氯化氢液体携带的大量冷量进行综合利用。
与现有氢化尾气回收工艺及还原尾气回收工艺比较，本实用新型方法工艺流程简单，能耗低，解析塔塔顶采出得到的-40℃氯化氢液体可直接作为氢化尾气或还原尾气回收***中尾气的冷却介质，而尾气可直接作为-40℃氯化氢液体汽化的热源。即-40℃氯化氢液体被尾气加热成氯化氢气体，同时尾气被-40℃氯化氢液体冷却降温。本实用新型降低了氢化尾气、还原尾气回收***低压冷凝区冷量的消耗，使氢化尾气、还原尾气回收***的冷热量得到合理充分的利用。
附图说明
下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。
图1是本实用新型实施例所述氢化尾气或还原尾气热能回收***的结构图。
具体实施方式
如图1所示，本实用新型实施例所述的氢化尾气或还原尾气热能回收***，包括水冷器1、汽化器2，所述水冷器1的被冷却流体入口与80～100℃的尾气入口连通，所述水冷器1的被冷却流体出口与所述汽化器2的被冷却流体入口连通。
所述汽化器2的被冷却流体入口上设有旁路阀3，使所述汽化器2的被冷却流体出口的尾气的温度降至15～25℃。
所述汽化器2的被加热流体入口与-40℃氯化氢液体源连通，所述汽化器2的被加热流体出口处形成10～20℃氯化氢气体。
所述汽化器2上设有氯硅烷出口，并且所述氯硅烷出口连接的收集管道与氯硅烷缓冲罐连通。
在所述收集管道上设有汽化器管程排液管线导淋阀4。
本实用新型实现了对尾气携带的大量热量以及-40℃氯化氢液体携带的大量冷量进行综合利用。
与现有氢化尾气回收工艺及还原尾气回收工艺比较，本实用新型方法工艺流程简单，能耗低，解析塔塔顶采出得到的-40℃氯化氢液体可直接作为氢化尾气或还原尾气回收***中尾气的冷却介质，而尾气可直接作为-40℃氯化氢液体汽化的热源。即-40℃氯化氢液体被尾气加热成氯化氢气体，同时尾气被-40℃氯化氢液体冷却降温。本实用新型降低了氢化尾气、还原尾气回收***低压冷凝区冷量的消耗，使氢化尾气、还原尾气回收***的冷热量得到合理充分的利用。
Claims (5)
1.一种氢化尾气、还原尾气热能回收***，其特征在于，包括水冷器、汽化器，所述水冷器的被冷却流体入口与80～150℃的尾气入口连通，所述水冷器的被冷却流体出口与所述汽化器的被冷却流体入口连通。
2.如权利要求1所述的氢化尾气、还原尾气热能回收***，其特征在于，所述汽化器的被冷却流体入口上设有旁路阀，使所述汽化器的被冷却流体出口的尾气的温度降至15～25℃。
3.如权利要求1所述的氢化尾气、还原尾气热能回收***，其特征在于，所述汽化器的被加热流体入口与-40℃氯化氢液体源连通，所述汽化器的被加热流体出口处形成10～20℃氯化氢气体。
4.如权利要求1所述的氢化尾气、还原尾气热能回收***，其特征在于，所述汽化器上设有氯硅烷出口，并且所述氯硅烷出口连接的收集管道与氯硅烷缓冲罐连通。
5.如权利要求4所述的氢化尾气、还原尾气热能回收***，其特征在于，在所述收集管道上设有汽化器管程排液管线导淋阀。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201220478607.7U CN202880904U (zh) | 2012-09-19 | 2012-09-19 | 一种氢化尾气、还原尾气热能回收*** |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201220478607.7U CN202880904U (zh) | 2012-09-19 | 2012-09-19 | 一种氢化尾气、还原尾气热能回收*** |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN202880904U true CN202880904U (zh) | 2013-04-17 |
Family
ID=48072351
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201220478607.7U Expired - Lifetime CN202880904U (zh) | 2012-09-19 | 2012-09-19 | 一种氢化尾气、还原尾气热能回收*** |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN202880904U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102838119A (zh) * | 2012-09-19 | 2012-12-26 | 特变电工新疆硅业有限公司 | 一种氢化尾气、还原尾气热能回收工艺及*** |
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2012
- 2012-09-19 CN CN201220478607.7U patent/CN202880904U/zh not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN102838119A (zh) * | 2012-09-19 | 2012-12-26 | 特变电工新疆硅业有限公司 | 一种氢化尾气、还原尾气热能回收工艺及*** |
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| GR01 | Patent grant | ||
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|
| CX01 | Expiry of patent term |