CN202492371U - 冷氢化反应气体的冷凝液分离装置 - Google Patents

冷氢化反应气体的冷凝液分离装置 Download PDF

Info

Publication number
CN202492371U
CN202492371U CN2012200205614U CN201220020561U CN202492371U CN 202492371 U CN202492371 U CN 202492371U CN 2012200205614 U CN2012200205614 U CN 2012200205614U CN 201220020561 U CN201220020561 U CN 201220020561U CN 202492371 U CN202492371 U CN 202492371U
Authority
CN
China
Prior art keywords
tower
heat exchanger
heat
primary
inlet
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN2012200205614U
Other languages
English (en)
Inventor
邓洪斌
刘耀成
裴锡理
解晓锋
任国明
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SICHUAN YAODA TECHNOLOGY Co Ltd
Original Assignee
SICHUAN YAODA TECHNOLOGY Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SICHUAN YAODA TECHNOLOGY Co Ltd filed Critical SICHUAN YAODA TECHNOLOGY Co Ltd
Priority to CN2012200205614U priority Critical patent/CN202492371U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN202492371U publication Critical patent/CN202492371U/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Silicon Compounds (AREA)

Abstract

本实用新型公开了一种冷氢化反应气体的冷凝液分离装置,它包括初馏塔(1)和精馏塔(2),初馏塔(1)顶部和热交换器一(3)的入口连接,热交换器一(3)的导热部和初馏塔(1)塔釜再沸器连接,精馏塔(2)的出口和热交换器三(5)的入口连接,热交换器三(5)的导热部和精馏塔(2)塔釜再沸器连接,热交换器三(5)的出口和初馏塔(1)的入口连接,热交换器二(4)的入口和精馏塔(2)的顶部连接,热交换器二(4)的导热部和初馏塔(1)塔釜再沸器连接。本实用新型的优点在于,无需外供热量,无需冷却水即可完成SiCl4和SiHCl3的分离,由于热交换器中的物料不含水,即使热交换器泄漏,也不会对设备造成腐蚀。

Description

冷氢化反应气体的冷凝液分离装置
技术领域
本实用新型涉及多晶硅制备技术领域,具体涉及冷氢化反应气体的冷凝液分离装置。 
背景技术
SiHCl3是制取多晶硅的主要材料,在多晶硅的制备过程中会产生大量的SiCl4,SiCl4可以通过冷氢化工艺转化为SiHCl3。SiCl4冷氢化工艺是目前转化SiCl4耗能最低的工艺。申请号为“200910065761.4”,名称为“四氯化硅冷氢化生产三氯氢硅”的发明专利即公开了一种SiCl4冷氢化制取SiHCl3的方法。在SiCl4冷氢化制取SiHCl3的过程中,SiCl4不会全部转化为SiHCl3,会产生包含SiCl4和SiHCl3的混合气体,为了提高转化率,需要将SiCl4和SiHCl3分离,分离得到的SiCl4再次通过冷氢化工艺转化成SiHCl3。现在的冷氢化反应气体的冷凝液分离装置是采用蒸汽或导热油对蒸馏塔进行加热,蒸馏塔顶部采用水冷冷凝器进行散热。这种装置需要外供热量,能耗高,若冷凝器泄露将造成设备腐蚀。 
实用新型内容
本实用新型的目的即在于克服现有技术的不足,提供一种节能,安全的冷氢化反应气体的冷凝液分离装置。 
本实用新型的目的通过以下技术方案实现: 
冷氢化反应气体的冷凝液分离装置,它包括初馏塔和精馏塔,初馏塔顶部和热交换器一的入口连接,热交换器一的导热部和初馏塔塔釜再沸器连接,精馏塔的出口和热交换器三的入口连接,热交换器三的导热部和精馏塔塔釜再沸器连接,热交换器三的出口和初馏塔的入口连接,热交换器二的入口和精馏塔的顶部连接,热交换器二的导热部和初馏塔塔釜再沸器连接。
初馏塔的出口与泵一连接,泵一和精馏塔(2)连接;泵二和热交换器二的出口连接,泵二和精馏塔连接。 
本实用新型的优点在于,无需外供热量,无需冷却水即可完成冷氢化反应气体的冷凝液中SiCl4和SiHCl3的分离,并且由于热交换器中的物料不含水,即使热交换器泄漏,也不会对设备造成腐蚀。 
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图 
图中,1-初馏塔,2-精馏塔,3-热交换器一,4-热交换器二,5-热交换器三,6-泵一,7-泵二。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明,本实用新型的保护范围不限于以下所述。 
如图1所示,冷氢化反应气体的冷凝液分离装置,它包括初馏塔1和精馏塔2,初馏塔1顶部和热交换器一3的入口连接,热交换器一3的导热部和初馏塔1塔釜再沸器连接,精馏塔2的出口和热交换器三5的入口连接,热交换器三5的导热部和精馏塔2塔釜再沸器连接,热交换器三5的出口和初馏塔1的入口连接,热交换器二4的入口和精馏塔2的顶部连接,热交换器二4的导热部和初馏塔1塔釜再沸器连接。 
初馏塔1的出口与泵一6连接,泵一6和精馏塔2连接;泵二7和热交换器二4的出口连接,泵二7和精馏塔2连接。 
本实用新型的工作原理如下: 
从脱氢塔出来的物料进入初馏塔1,分离SiCl4粗品和SiHCl3粗品,初馏塔1塔釜再沸器与热交换器二4相连,精馏塔2顶部的气体在热交换器二4中冷凝产生热量,为初馏塔1提供部分热量;初馏塔1塔釜再沸器与热交换器一3相连,冷氢化反应气体在热交换器一3中冷凝产生热量为初馏塔1提供另一部分热量。
SiCl4粗品进入精馏塔2,分离SiCl4蒸汽与SiCl4精馏残液,精馏塔2塔釜再沸器与热交换器一3相连,冷氢化反应气体在热交换器一3中冷凝产生热量为精馏塔2提供热量。 
其中初馏塔1中的物料受热沸腾,分离出SiHCl3蒸汽和SiCl4粗品,SiHCl3蒸汽在热交换器一3中冷却得到SiHCl3粗品。SiCl4粗品被泵一6抽入精馏塔2,在精馏塔2中被热交换器三5提供的热量加热沸腾,得到精馏塔2顶部的SiCl4蒸汽和SiCl4精馏残液。精馏塔2顶部的SiCl4蒸汽在热交换器二4中冷却,释放的热量加热初馏塔1,热交换器二4中的SiCl4蒸汽冷却后得到高纯SiCl4,剩余的气体被泵二7抽回精馏塔2。SiCl4精馏残液通过精馏塔2排出。 
实施例一: 
初馏塔1的进料流量为210kmol/h,初馏塔1再沸腾所需热量为1.5x106Kcal/h,一部分由精馏塔2顶部的气体在热交换器二4中冷却提供,提供热量为1.0x106Kcal/h,另一部分由冷氢化反应气体在热交换器三5中冷凝提供,提供热量为0.5x106Kcal/h。从初馏塔1出来的SiCl4粗品进入精馏塔2,精馏塔2再沸腾所需热量为1.1x106Kcal/h,由冷氢化反应气体在热交换器三5中冷凝提供。
在本实施例中,共节约热量2.6x106Kcal/h,与现在的外供热源流程相比,相应节约天然气400Nm3/h,节约循环冷却水(按6℃温差计)600t/h。 

Claims (2)

1.冷氢化反应气体的冷凝液分离装置,其特征在于,它包括初馏塔(1)和精馏塔(2),初馏塔(1)顶部和热交换器一(3)的入口连接,热交换器一(3)的导热部和初馏塔(1)塔釜再沸器连接,精馏塔(2)的出口和热交换器三(5)的入口连接,热交换器三(5)的导热部和精馏塔(2)塔釜再沸器连接,热交换器三(5)的出口和初馏塔(1)的入口连接,热交换器二(4)的入口和精馏塔(2)的顶部连接,热交换器二(4)的导热部和初馏塔(1)塔釜再沸器连接。
2.根据权利要求1所述的冷氢化反应气体的冷凝液分离装置,其特征在于,初馏塔(1)的出口与泵一(6)连接,泵一(6)和精馏塔(2)连接;泵二(7)和热交换器二(4)的出口连接,泵二(7)和精馏塔(2)连接。
CN2012200205614U 2012-01-17 2012-01-17 冷氢化反应气体的冷凝液分离装置 Expired - Fee Related CN202492371U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2012200205614U CN202492371U (zh) 2012-01-17 2012-01-17 冷氢化反应气体的冷凝液分离装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2012200205614U CN202492371U (zh) 2012-01-17 2012-01-17 冷氢化反应气体的冷凝液分离装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN202492371U true CN202492371U (zh) 2012-10-17

Family

ID=46998607

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2012200205614U Expired - Fee Related CN202492371U (zh) 2012-01-17 2012-01-17 冷氢化反应气体的冷凝液分离装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN202492371U (zh)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101704524B (zh) 高纯三氯氢硅热泵精馏生产装置和方法
CN101874935B (zh) 精馏段塔底再沸型内部热集成节能精馏装置及方法
CN103449443B (zh) 一种多晶硅还原炉水***热能回收***及工艺
CN203710716U (zh) 一种环己酮精制过程中提高醇酮组分收率的装置
CN101538045A (zh) 三氯氢硅差压耦合精馏***及操作方法
CN102716596A (zh) 一种五塔差压节能酒精蒸馏装置
CN212395912U (zh) 一种精馏塔热量的回收利用装置
CN202492371U (zh) 冷氢化反应气体的冷凝液分离装置
CN2906514Y (zh) 高效热水器淋浴废水余热回收器
CN102583395A (zh) 一种精制三氯氢硅的热泵精馏方法
CN204767516U (zh) 一种精馏强制循环加热装置
CN206069388U (zh) 一种四氯化硅汽化装置
CN203976674U (zh) 环己烯法制环己酮生产过程中环己醇分离装置
CN107501100A (zh) 一种间苯二胺减压精馏塔的抽真空工艺***
CN203833651U (zh) 一种蒸馏水制备设备
CN202446838U (zh) 一种精馏装置
CN201507917U (zh) 一种除氧器排气回收装置
CN207267848U (zh) 一种间苯二胺减压精馏塔的抽真空工艺***
CN202880904U (zh) 一种氢化尾气、还原尾气热能回收***
CN202315941U (zh) 实验室用蒸馏水生产装置的冷凝罩
CN206843114U (zh) 一种节能废水汽提塔
CN202063735U (zh) 一种提纯HCl液体和氯硅烷混合溶液的***
CN213396696U (zh) 一种蒸馏热能利用装置
CN205759794U (zh) 一种硝基苯粗馏塔
CN202492370U (zh) 冷氢化反应气体热量回收***

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20121017

Termination date: 20130117

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee