CN201567379U - 带有屏蔽装置的电镀槽 - Google Patents

带有屏蔽装置的电镀槽 Download PDF

Info

Publication number
CN201567379U
CN201567379U CN2009202105290U CN200920210529U CN201567379U CN 201567379 U CN201567379 U CN 201567379U CN 2009202105290 U CN2009202105290 U CN 2009202105290U CN 200920210529 U CN200920210529 U CN 200920210529U CN 201567379 U CN201567379 U CN 201567379U
Authority
CN
China
Prior art keywords
plating tank
shielding
cell body
shielding slab
plating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
CN2009202105290U
Other languages
English (en)
Inventor
王振荣
吕海波
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shanghai Xinyang Semiconductor Material Co Ltd
Original Assignee
Shanghai Xinyang Semiconductor Material Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shanghai Xinyang Semiconductor Material Co Ltd filed Critical Shanghai Xinyang Semiconductor Material Co Ltd
Priority to CN2009202105290U priority Critical patent/CN201567379U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN201567379U publication Critical patent/CN201567379U/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Electroplating Methods And Accessories (AREA)

Abstract

本实用新型公开了一种带有屏蔽装置的电镀槽，包括槽体，槽体内设置有阳极网，阳极网与引出电极电连接，其特征在于，所述的槽体内安装有屏蔽板，所述的屏蔽板位于阳极网上方，所述的屏蔽板上开设有贯通孔。本实用新型中的带有屏蔽装置的电镀槽，在电镀槽内增加屏蔽板，利用在屏蔽板上开设通孔来调节电镀液中的电流密度。可提高电镀的质量，提高电子元件的电镀合格率。而且本实用新型中的电镀槽，结构简单，成本低，使用方便。

Description

带有屏蔽装置的电镀槽
技术领域
本实用新型涉及一种带有屏蔽装置的电镀槽。
背景技术
半导体行业中，需要对电子元件进行表面电镀处理。集成电路中往往包含几十万甚至上百万个电子元件，因此，对电子元件的精度要求非常高。电子元件之间的连接是靠其表面的电镀层实现的，因此，对电子元件的电镀层的纯度要求也很高。
在电镀时，利用电镀液中的电流实现电镀。在电镀槽内放置一个阳极网，电子元件作为阴极，通电后，金属离子聚集在元件表面从而实现电镀。但现有技术中，电流分布并不均匀，因此而造成电子元件表面的镀层也不均匀，影响了电子元件的质量。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种可保证电流分别均匀的带有屏蔽装置的电镀槽。
为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案实现：
带有屏蔽装置的电镀槽，包括槽体，槽体内设置有阳极网，阳极网与引出电极电连接，其特征在于，所述的槽体内安装有屏蔽板，所述的屏蔽板位于阳极网上方，所述的屏蔽板上开设有贯通孔。
其中，所述的贯通孔形状为规则的圆形、椭圆形或多边形中的一种或几种、或者为不规则形状。
其中，所述的贯通孔数目为两个以上。
其中，所述的屏蔽板活动安装在槽体内。
其中，槽体内安装有两个基座，基座上开设内螺纹孔，屏蔽板两端分别设置一个U形通孔，螺栓的螺杆***所述U形通孔内，螺栓的螺杆上设置有限位片，屏蔽板夹于螺栓的螺帽和限位片之间，螺杆拧入内螺纹孔内。
其中，所述的槽体内安装有搅拌管，搅拌管的管壁上开设多个通孔，搅拌管通过管座固定安装于槽体内。
本实用新型中的带有屏蔽装置的电镀槽，在电镀槽内增加屏蔽板，利用在屏蔽板上开设通孔来调节电镀液中的电流密度。可提高电镀的质量，提高电子元件的电镀合格率。而且本实用新型中的电镀槽，结构简单，成本低，使用方便
附图说明
图1为本实用新型俯视图；
图2为图1中的B-B剖视图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型进行详细的描述：
如图1和图2所示，带有屏蔽装置的电镀槽，包括槽体1，槽体1内设置有阳极网2，阳极网2与引出电极3通过导电螺栓21电连接，阳极网2位于槽体1内的底部。
槽体1内安装有屏蔽板4，屏蔽板4两端分别设置一个U形通孔47，屏蔽板4上开设有矩形贯通孔45，椭圆形贯通孔46。贯通孔形状还可以是不规则形状。
贯通孔的数目和形状根据电镀液中的电流密度确定。首先测定屏蔽板上方各处的电流密度，如屏蔽板上方某处区域内电流密度小于其它区域或小于设定的标准值，则在该处开设贯通孔，贯通孔的形状与该区域相同，以减小屏蔽板对电子的阻碍，以使该区域的电流密度与其它区域或标准值相同。
槽体1内安装有两个基座44，基座44上开设内螺纹孔(图中未示出)，螺栓的螺杆43穿过所述U形通孔47，螺栓的螺杆43上设置有限位片42，屏蔽板2夹于螺栓的螺帽41和限位片42之间，螺杆43拧入内螺纹孔内。
将屏蔽板4夹在螺帽41和限位片42之间，随着螺杆43在内螺纹孔内拧入或拧出时，可将屏蔽板4向上或向下移动。屏蔽板4的上下移动，也可以调节屏蔽板4上方的电流密度。
屏蔽板4位于阳极网2上方，也就是屏蔽板位于阳极网与待镀电子元件之间。
本实用新型中的屏蔽板4采用绝缘的耐腐蚀材料制成。
槽体1内安装有搅拌管5，搅拌管5的管壁上开设多个通孔52，搅拌管5穿过管座51，管座51固定安装于槽体1内。
可使用输送泵向搅拌管5内注入电镀液，电镀液从通孔52内流入槽体1内，以引起槽体1内的电镀液流动，实现搅拌目的。
本实用新型中的实施例仅用于对本实用新型进行说明，并不构成对权利要求范围的限制，本领域内技术人员可以想到的其他实质上等同的替代，均在本实用新型保护范围内。

Claims (6)

1.带有屏蔽装置的电镀槽，包括槽体，槽体内设置有阳极网，阳极网与引出电极电连接，其特征在于，所述的槽体内安装有屏蔽板，所述的屏蔽板位于阳极网上方，所述的屏蔽板上开设有贯通孔。
2.根据权利要求1所述的带有屏蔽装置的电镀槽，其特征在于，所述的贯通孔形状为规则的圆形、椭圆形或多边形中的一种或几种、或者为不规则形状。
3.根据权利要求1或2所述的带有屏蔽装置的电镀槽，其特征在于，所述的贯通孔数目为两个以上。
4.根据权利要求1所述的带有屏蔽装置的电镀槽，其特征在于，所述的屏蔽板活动安装在槽体内。
5.根据权利要求1所述的带有屏蔽装置的电镀槽，其特征在于，槽体内安装有两个基座，基座上开设内螺纹孔，屏蔽板两端分别设置一个U形通孔，螺栓的螺杆***所述U形通孔内，螺栓的螺杆上设置有限位片，屏蔽板夹于螺栓的螺帽和限位片之间，螺杆拧入内螺纹孔内。
6.根据权利要求1所述的带有屏蔽装置的电镀槽，其特征在于，所述的槽体内安装有搅拌管，搅拌管的管壁上开设多个通孔，搅拌管通过管座固定安装于槽体内。
CN2009202105290U 2009-09-30 2009-09-30 带有屏蔽装置的电镀槽 Expired - Lifetime CN201567379U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2009202105290U CN201567379U (zh) 2009-09-30 2009-09-30 带有屏蔽装置的电镀槽

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2009202105290U CN201567379U (zh) 2009-09-30 2009-09-30 带有屏蔽装置的电镀槽

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN201567379U true CN201567379U (zh) 2010-09-01

Family

ID=42659663

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2009202105290U Expired - Lifetime CN201567379U (zh) 2009-09-30 2009-09-30 带有屏蔽装置的电镀槽

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN201567379U (zh)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103628120A (zh) * 2012-08-27 2014-03-12 郭明宏 电镀辅助板及应用其的电镀设备
CN105002548A (zh) * 2015-06-30 2015-10-28 苏州华日金菱机械有限公司 电镀槽
CN107916443A (zh) * 2017-12-11 2018-04-17 常德力元新材料有限责任公司 用于连续带状材料的电镀槽
CN110219038A (zh) * 2018-03-01 2019-09-10 株式会社荏原制作所 搅拌器、镀覆装置及镀覆方法
CN114703534A (zh) * 2022-04-13 2022-07-05 中山大学 一种可降低边缘效应并提升毛细性能的电沉积装置和方法

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103628120A (zh) * 2012-08-27 2014-03-12 郭明宏 电镀辅助板及应用其的电镀设备
CN105002548A (zh) * 2015-06-30 2015-10-28 苏州华日金菱机械有限公司 电镀槽
CN107916443A (zh) * 2017-12-11 2018-04-17 常德力元新材料有限责任公司 用于连续带状材料的电镀槽
CN110219038A (zh) * 2018-03-01 2019-09-10 株式会社荏原制作所 搅拌器、镀覆装置及镀覆方法
CN110219038B (zh) * 2018-03-01 2021-07-27 株式会社荏原制作所 搅拌器、镀覆装置及镀覆方法
CN114703534A (zh) * 2022-04-13 2022-07-05 中山大学 一种可降低边缘效应并提升毛细性能的电沉积装置和方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN201574206U (zh) 带有屏蔽板的电镀槽
CN201567379U (zh) 带有屏蔽装置的电镀槽
CN201525899U (zh) 一种用于电路板电镀的夹板治具
CN202148358U (zh) 一种管形件内孔镀铬电镀屏蔽装置
CN201574207U (zh) 电力线均匀分布的电镀槽
CN105088323B (zh) 板式电镀挂具
CN106167913B (zh) 电镀槽装置
CN104862767A (zh) 镀铜槽
CN105543940B (zh) 一种提升vcp电镀线电镀均匀性的装置及方法
CN202017059U (zh) 一种具有挡板的电镀设备
CN210030920U (zh) 一种管材镀件局部电镀装置
CN201545928U (zh) 带有遮蔽装置的电镀槽
CN202509147U (zh) 一种电镀槽
CN200999265Y (zh) 用于电镀的挡板
CN201990748U (zh) 电镀v形座
CN202284230U (zh) 电镀槽
CN203333803U (zh) 可调式不溶性阳极装置
CN203613294U (zh) 带有屏蔽装置的电镀槽
CN204298493U (zh) 一种用于具有背电场结构的太阳能电池片的电镀夹具
CN204752883U (zh) 电镀槽板镀均匀性改良装置
CN204097586U (zh) 多功能电解槽装置
CN203639592U (zh) 一种电解槽
CN205774869U (zh) 厚度和颜色高度均匀的电子元件电镀槽
CN204298492U (zh) 一种用于电镀或化学镀的新型实验夹具
CN203295644U (zh) 一种电镀阳极钛篮

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CX01 Expiry of patent term
CX01 Expiry of patent term

Granted publication date: 20100901