CN201072389Y - 一种负压封闭式取样装置 - Google Patents

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Abstract

本实用新型提供了一种负压封闭式取样装置，包括：产生负压的负压发生器；吸收尾气的尾气吸收室，通过可拆卸的负压管连接负压发生器；放置取样容器的取样室，通过可拆卸的尾气管连接尾气吸收室，通过可拆卸的取样管连接样品源，通过可拆卸的进气管进入常压气体，上述进气管和/或负压管和/或尾气管和/或取样管上带有一个或一个以上的调节阀。本实用新型的有益效果是：仅取样管伸入原料容器内，减少原料被污染的可能性；取样容器置于封闭的取样室中，避免污染；尾气吸收室收集化学品原料挥发的蒸汽，避免扩散造成危害。

Description

一种负压封闭式取样装置
技术领域
本实用新型涉及一种取样装置，特别是一种负压封闭式取样装置。
背景技术
随着半导体工艺制程的日益先进，晶片制造过程中所使用的电子级化学品原料对洁净度要求越来越高，而这些化学品原料本身往往对人体具有危害性，因此在分析化学品原料的取样时，既需避免对化学品原料和样品造成污染，又须注意危险化学品的泄漏和扩散，故在取样工具上须力求洁净与安全要求。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了方便对化学品原料及酸槽等的提取，在保护样品不受污染，工作人员不会受到样品的侵害的同时使得取样工具易于可以达到洁净和安全的要求。
鉴于上述目的，本实用新型提供了一种负压封闭式取样装置，包括：
产生负压的负压发生器；
吸收尾气的尾气吸收室，通过可拆卸的负压管连接负压发生器；
放置取样容器的取样室，通过可拆卸的尾气管连接尾气吸收室，通过可拆卸的取样管连接样品源，通过可拆卸的进气管进入常压气体，上述进气管和/或负压管和/或尾气管和/或取样管上带有一个或一个以上的调节阀。
作为优选，上述负压发生器连接可拆卸的压力管的一端，从压力管通入气体。
作为优选，上述尾气吸收室连接可拆卸的水洗管，通过水洗管通入清洗用液体。
作为优选，上述尾气吸收室中带有预定体积的清洗用液体，水洗管***尾气吸收室内的一端的端口为漏斗状，该端口处设有化学滤网，并浸入尾气吸收室内的清洗用液体中。
作为优选，上述取样室和上述尾气吸收室分别带有可开启的窗状结构。
作为优选，上述取样室和上述尾气吸收室的下部分别具有排出管和排出管上的排出阀。
作为优选，上述清洗用液体为去离子水。
作为优选，上述取样室和上述尾气接收室安装有测定内部压力的量表。
作为优选，上述取样室内有搁置取样容器的平台。
本实用新型的有益效果是：仅取样管伸入原料容器内，减少原料被污染的可能性；取样容器置于封闭的取样室中，避免污染；尾气吸收室收集化学品原料挥发的蒸汽，避免扩散造成危害。
附图说明
图1是本实用新型一较佳实施例的负压封闭式取样装置。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步地介绍，但不作为对本实用新型的限定。
本实用新型一较佳实施例的负压封闭式取样装置如图1所示，该装置包括负压发生器10，在此实施例中，其包括文丘里(Ventury)真空产生器11和相关管路，该装置的主要流程为：文丘里真空产生器11提供负压，使与之相连通的取样室30内外形成压差，从而将取样的液体吸入封闭的取样室30中收集。为防止化学品原料蒸汽扩散造成危害，在文丘里真空产生器11与取样室30之间连通一尾气吸收室20，以去离子水(DI water)24来溶解吸收蒸汽。
本实用新型一较佳实施例的负压封闭式取样装置具体包括以下装置，首先是文丘里真空产生器11，其上带有压力调节管和压力调节阀41，在需要文丘里真空产生器11产生负压时，压力调节阀41开启，文丘里真空产生器11产生负压，使相连的尾气吸收室20内外有压力差；在文丘里真空产生器11不需要产生负压时，压力调节阀41关闭，尾气吸收室呈正压。
尾气吸收室20为气密式的，包括外壳，外壳上开有带锁的窗31，以便于通过打开窗31来整理、擦拭、调整尾气吸收室20。尾气吸收室20与文丘里真空产生器11通过管道连接，从而在文丘里真空产生器11产生负压时，尾气吸收室20也呈现负压状态。尾气吸收室20可以连接可拆卸的水洗管22和水洗阀43，以便根据需要通入吸收蒸汽的清洗用液体22，例如去离子水，状尾气吸收室20可以将利用水洗管清洗用液体22装入预定的标记位置，水洗管22的下方***清洗用液体22中，水洗管22的下方端口为漏斗状，以防止倒抽，端口处设有化学滤网23，使清洗用液体22能够充分吸收化学品挥发的蒸汽。尾气吸收室20还可以连接量表51，测量内部压力。尾气吸收室20的下部具有排出管和排出管上的排出阀47，用以排出清洗用液体。
取样室30为气密室的，包括外壳37，内部含有安置取样容器36的平板38，开有带锁的窗32，以便于取出取样容器36，清洁取样室30连接带有控水阀44的控水管，以便根据需要通入吸收蒸汽的清洗用液体22，例如去离子水；清洁取样室30连接带有取样阀46的取样管，用以使样品流入取样容器36中；清洁取样室30连接带有调节阀42的调节管，用以使取样室30根据需要通入气体，变为正压；清洁取样室30连接带有尾气阀45的尾气管，用以使取样室30根据需要变为负压，使尾气流入尾气吸收室20。在本实施例中，尾气管与调节管在取样室30的一端连接一体。上述取样室30还可以连接量表52，测量内部压力。取样室30的下部也具有排出管和排出管上的排出阀48，用以排出清洗用液体。
本实用新型一较佳实施例的负压封闭式取样装置的使用过程包括以下步骤，这些步骤仅为示例性表示，所属技术领域的技术人员根据以上的装置说明可以得出多种不同的实施方法。
步骤1、取样前，将负压封闭式取样装置通过压力调节管外接气体源，例如使压力为10～20psi压缩干燥空气或N2气体源，通过控水管通入去离子水。
步骤2、取样时，首先开启控水阀43对尾气吸收室20进行补水至标订液位后关闭控水阀43。
步骤3、开启压力阀41，使文丘里真空产生器11产生负压，因而使与之相连通的尾气吸收室20内外形成压差。
步骤4、开启调节阀42，保持取样室30正压，而后开启取样室30的窗32，将干净的取样容器36置于取样管出口下方，容器的入口基本对准取样管的出口。
步骤5、关闭取样室30的窗32后关闭调节阀42。
步骤6、开启尾气阀45，文丘里真空产生器11与尾气吸收室20通过管道连接，而尾气吸收室20与取样室30通过带有尾气阀45的尾气管连接，所以取样室30同呈负压状态。
步骤7、将洗净的取样管***待取样容器，开启取样管的取样阀46即可取样。
步骤8、目视取样容器中样品的液位至适当液位(一般为90％)后关闭取样阀46。
步骤9、关闭尾气阀45，开启调节阀42，使气体从调节管中进入取样室30，使取样室30达到正压状态。
步骤10、开启取样室30的窗32，将取样容器36盖上上盖后取出取样容器36，并盖紧瓶盖。
步骤11、取样容器36以样品化学品进行洗瓶，而后倒至废液收集槽或桶。
步骤12、重复程序步骤4～步骤11三次，取得真实样品。
步骤13、取样完毕后，从取样室30中取出取样容器36，取一量杯替换取样容器36，置于取样容器36的原位置，重复步骤4～步骤7，将取样管内的化学品抽干。
步骤14、将取样管拆下，进行洗净后置于干净的容器中，例如塑料袋中保存。
步骤15、开启调节阀42，取样室30通入气体，恢复至正常压力状态，开启取样室30的窗32取出量杯，将废液倒至废液收集槽或桶。
步骤16、开启尾气阀45，关闭压力阀41，使得尾气吸收室20通入气体，呈正压状态。
步骤17、开启排出阀48将尾气吸收室20内的废水排放后关闭。
步骤18、开启水洗阀43对尾气吸收室重新进行补入去离子水，至标订液位后关闭水洗阀43。
步骤19、重复步骤17～步骤18步骤三次，而后将尾气吸收室20内的去离子水放空。
步骤20、开启控水阀44通入去离子水，将取样室20用去离子水洗净，而后开启排出阀47，将取样室20内的废水排放后分别关闭控水阀44及排出阀47。
步骤21、为避免取样室20中的残留的等离子水，将取样室20以无尘布擦干，关上取样室30的窗32。
步骤22、关闭调节阀42及尾气阀45，将外接的10～20psi的压缩干燥空气或N2气源及去离子水移除，完成取样程序。
表1为本实用新型的取样步骤中的阀开关一览表，从中可以清楚的看出每个阶段的阀开关情况。
表1
  阀编号   41   42   43   44   45   46   47   48
  通入等离子水   关   关   开   关   关   关   关   关
  产生负压   开   关   关   关   开   关   关   关
  化学品取样   开   关   关   关   开   开   关   关
  释放取样室内的压力   关   开   关   关   关   关   关   关
  清洁   关   开   关   关   开   开   关   关
  排放   关   开   关   关   开   关   开   开
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并非因此限定本实用新型的专利保护范围，故凡运用本实用新型的说明书及图示内容所谓的等效结构变化，或直接或间接运用于其他相关技术领域均同理皆包含于本实用新型所涵盖的范围内。

Claims (9)

1.一种负压封闭式取样装置，其特征在于包括：
产生负压的负压发生器；
吸收尾气的尾气吸收室，通过可拆卸的负压管连接负压发生器；
放置取样容器的取样室，通过可拆卸的尾气管连接尾气吸收室，通过可拆卸的取样管连接样品源，通过可拆卸的进气管进入常压气体，上述进气管和/或负压管和/或尾气管和/或取样管上带有一个或一个以上的调节阀。
2.根据权利要求1所述的负压封闭式取样装置，其特征在于：上述负压发生器连接可拆卸的压力管的一端，从压力管通入气体。
3.根据权利要求1或2所述的负压封闭式取样装置，其特征在于：上述尾气吸收室连接可拆卸的水洗管，通过水洗管通入清洗用液体。
4.根据权利要求3所述的负压封闭式取样装置，其特征在于：上述尾气吸收室中带有预定体积的清洗用液体，水洗管***尾气吸收室内的一端的端口为漏斗状，该端口处设有化学滤网，并浸入尾气吸收室内的清洗用液体中。
5.根据权利要求4所述的负压封闭式取样装置，其特征在于：上述取样室和上述尾气吸收室分别带有可开启的窗状结构。
6.根据权利要求5所述的负压封闭式取样装置，其特征在于：上述取样室和上述尾气吸收室的下部分别具有排出管和排出管上的排出阀。
7.根据权利要求6所述的负压封闭式取样装置，其特征在于：上述清洗用液体为去离子水。
8.根据权利要求6所述的负压封闭式取样装置，其特征在于：上述取样室和上述尾气接收室安装有测定内部压力的量表。
9.根据权利要求8所述的负压封闭式取样装置，其特征在于：上述取样室内有搁置取样容器的平台。
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