CN1865713A - 线性致动器及其处理方法 - Google Patents
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Abstract
弯曲部分(76)形成在滑动台(24)的一端，其朝向主气缸体(22)大致垂直弯曲。此外一对球滚动凹槽(90a、90b)形成在滑动台(24)与导向部分(28)相对的侧表面上，其中，多个球轴承(30)在该对球滚动凹槽(90a、90b)内滚动。卸荷槽(92)形成在置于弯曲部分(76)一侧的球滚动凹槽(90a、90b)的端部，其中，所述卸荷槽(92)的宽度大于球滚动凹槽(90a、90b)之间的间隔距离，并在处理球滚动凹槽(90a、90b)时，能够改变处理工具(102)的方向。
Description
技术领域
本发明涉及一种线性致动器，以及一种用于处理线性致动器从而提供用于滑动部的滚动凹槽的方法，其中，在所述线性致动器中，通过从流体入口/出口引入压力流体，使得滑动部沿着主气缸体的轴向往复移动。
背景技术
线性致动器迄今用作输送工件等的装置。通过容许滑动台沿着主气缸体做线性往复移动，这种线性致动器得以输送置于滑动台上的工件。
本申请人已经提出了一种线性致动器，其包括主气缸体、杆和滑动台，其中，主气缸体内可移动地设置有活塞，所述杆连接到活塞上并从主气缸体向外伸出，所述滑动台包括连接到活塞杆一端的端板和连接到端板上的平台(参见日本未审定专利号9-141533)。在这个线性致动器中，滑动台可置换地设置在主气缸体的轴向上。一对导向块以扩展方式形成在主气缸体的上表面上。
在线性致动器中，滑动台的导向部分***一对导向块的空间中。球槽(球在其上滚动)形成在导向部分和导向块的相互对置的侧表面上。在空气供给到主气缸体的开口时，活塞移动，且滑动台在球和导向块的配合作用下整体移动，其中，该滑动台连接到主气缸体的上表面上。
本申请人还提出一种线性致动器，其中，该线性致动器设有多个柱形滚柱轴承，并设有滑动部的滚动凹槽和用于容许滚柱轴承滚动的导轨(参见日本未审定专利号7-110011)。各个滚动凹槽具有大致为V形的横截面。设置滚柱轴承和滚动凹槽，以取代上述的日本未审定专利号9-141533中线性致动器中的球和球槽。在这个线性致动器中，多个滚柱轴承沿着滚动凹槽交替地倾斜90°。在滑动台沿着主气缸体移动时，滚柱轴承沿着滚动凹槽滚动。
通常，在如上所述的线性致动器的情况下，在形成滑动台时，对球槽和滚动凹槽作附加处理。因而，提高了球槽和滚动凹槽的精确度，以降低在球和滚柱轴承滚动时所造成的滑动阻力。例如，这样进行所述处理，即在旋转的抛光工具(jig)抵靠球槽和滚动凹槽的情况下，该旋转的抛光工具沿着球槽和滚动凹槽移动。
就如上所述的传统的技术而言，需要一体地形成滑动台的端板和平台，以便降低线性致动器的零件数目和线性致动器的装配步骤的数目。
发明内容
本发明的目的是提供一种线性致动器和用于处理该线性致动器的方法，其中，可以有效地处理带有弯曲部分的滑动台的滚动凹槽，以使滚动部件在滚动凹槽内滚动。
本发明的上述和其他目的、特点和优点将从下面结合附图的叙述中变得更加清楚，其中，在附图中以说明性示例的方式示出本发明的优选实施例。
附图说明
图1是示出依照本发明的一个实施例的整个线性致动器的透视图；
图2是图1所示的线性致动器的分解透视图；
图3是图1所示的沿着线III-III所示的纵向截面图；
图4是示出图1所示的线性致动器的沿着轴向所看到的局部省略的示意性侧视图；
图5是示出图1所示的滑动台的透视图以及用于处理滑动台的球滚动凹槽的处理工具的透视图；
图6是示出通过使用处理工具来处理图5所示的滑动台的球滚动凹槽的状态的示意性平面图；
图7是示出处理图6所示的滑动台的状态的示意性纵向截面图；
图8是示出处理图6所示的滑动台的状态的示意性侧面图；
图9是示出依照第一优化实施例的形成有卸荷槽的滑动台的透视图，其中，所述卸荷槽带有一对圆弧形表面；
图10是从弯曲部分的侧面所看到的图9所示的滑动台的示意性平面图；
图11是依照第二优化实施例的滑动台的透视图，其中，所述滑动台设有卸荷槽，以大致平行于弯曲部分穿过；
图12是从弯曲部分的侧面所看到的图11所示的滑动台的示意性平面图；
图13是依照第三优化实施例的滑动台的透视图，其中，所述滑动台安装有带有球滚动凹槽的滚动轨道，所述球滚动凹槽分别由滑动台形成；以及
图14是从弯曲部分的侧面所看到的图13所示的滑动台的示意性平面图。
具体实施方式
参考图1，附图标记20指示线性致动器，按照本发明的实施例的处理方法对其进行处理。
如图1和2所示，线性致动器20包括主气缸体22、滑动台(滑动部)24和传感器联接导轨26，其中，所述滑动台24沿着主气缸体22的轴向往复移动，所述传感器联接导轨固定到主气缸体22的一个侧表面上。
导向部分28在主气缸体22的上表面部分上扩展形成，其中，所述导向部分28沿着主气缸体22的轴向(箭头A和B所示的方向)延伸。球滚动凹槽(滚动凹槽)32a、32b沿着轴向形成在导向部分28的相对的侧表面上，其中，多个球轴承(滚动部件)30(参见图2)在该球滚动凹槽上滚动。各个球滚动凹槽32a、32b为凹形从而具有大体为半圆形的横截面，其与球轴承30的横截面形状相应。
如图2和3所示，通孔34形成在主气缸体22的轴向上。活塞40和活塞杆42容纳在通孔34内，其中，活塞密封圈36和缓冲器38安装在活塞40的外圆周表面上，活塞杆42连接到活塞40上。
通孔34的一端由端盖44封闭。将端盖44紧固，使得紧固件48与形成在端盖44(参见图3)上的紧固凹槽44a(参见图2)接合，其中，所述紧固件48沿着孔46从主气缸体22的底表面***。也就是说，端盖44借助于紧固件48来防止与通孔34的外部脱离接合。
通孔34的另一端由推杆密封环50和杆套52封闭，其中，该推杆密封环50和杆套52与活塞杆42的外圆周表面滑动接触，并被保持在通孔34内。
杆套52由树脂材料形成，大致为圆柱形。杆套52由端板55紧固，该端板55安装到主气缸体22的端表面上。端板55由螺钉54紧固到主气缸体22上(参见图2)。
杆套52用作活塞杆42的支撑。杆套52具有形成在圆周方向上的多个孔58a至58d。设置孔58a至58d，以便在通过下文叙述的真空口56a(56b)来执行真空抽吸时，抽吸在活塞杆42的支撑部分和相对于推杆密封环50的滑动移动部分所产生的灰尘等。
在这种排列中，第一气缸内腔60和第二气缸内腔62分别通过封闭通孔34的端盖44和杆套52形成(参见图3)。
一对第一流体入口/出口64a、64b和一对第二流体入口/出口66a、66b设在主气缸体22的相互对置的侧表面上。第一流体入口/出口64a、64b和第二流体入口/出口66a、66b分别设置在关于主气缸体22的轴线中心对称的位置上(参见图4)。第一流体入口/出口64a、64b与第一气缸内腔60连通，第二流体入口/出口66a、66b与第二气缸内腔62连通。
浮动机构设置在活塞杆42的尖端，其用来缓冲滑动台24和活塞杆42之间的偏斜。浮动机构包括第一轴套70和第二轴套72，以用于将滑动台24放入间隙68内(参见图3)。
滑动台24形成有L形的横截面，包括平板形平台部分(平面部分)74和弯曲部分76。滑动台24借助于金属注射模型法而一体形成。滑动台24可通过铸造而一体形成。在这种配置中，将未示出的缓冲部件***弯曲部分76的孔内。在弯曲部分76紧靠主气缸体22的端表面时，缓冲部件用来降低在滑动台24的一个可移动终端所产生的冲击。
O形圈78a、78b分别配合到用于放入弯曲部分76的第一和第二轴套70、72的接触表面上的环形凹槽内。在第一和第二轴套70、72浮动时，O形圈78a、78b用来避免灰尘流出到外部。
如图1和2所示，平台部分74形成有四个工件保持孔80a至80d、定位孔82a、82b(为圆孔和长孔)以及四个贯通孔86a至86d，其中，所述贯通孔86a至86d与主气缸体22的联接孔84a至84d相应(参见图2)。定位孔82a、82b设置在一条直线上，从而置于平台部分74的轴线上。
在这个配置中，联接螺栓(未示出)能够经由通孔86a至86d从平台部分74的上表面拧到主气缸体22的联接孔84a至84d上，从而将主气缸体22连接到另一个部件上。可替换地，联接螺栓可从主气缸体22的底表面直接拧紧到联接孔84a至84d上，以实现连接。如上所述，在选择线性致动器20的连接的向上方向和向下方向中的任一方向时，操作者都可将线性致动器20连接。
另一方面，如图4到6所示，导向凹槽88形成在滑动台24的下表面部分上，该导向凹槽88沿着纵向延伸。一对球滚动凹槽(滚动凹槽)90a、90b(其彼此相对)沿着纵向形成在导向凹槽88内形成。球滚动凹槽90a、90b形成并为凹形从而大致为半圆形横截面，以与球轴承30的横截面形状一致。
导向凹槽88与主气缸体22的导向部分28相应。滑动台24通过导向凹槽88与主气缸体22的上部接合。
卸荷槽(凹槽)92邻接滑动台24的下表面部分上的弯曲部分76形成，该卸荷槽(凹槽)92为凹陷的从而大体为矩形。卸荷槽92与球滚动凹槽90a、90b和导向凹槽88连通。也就是说，卸荷槽92形成在导向凹槽88和球滚动凹槽90a、90b的端部。
卸荷槽92的深度与导向凹槽88的深度大致相等(参见图7)。此外，卸荷槽92的宽度尺寸W1(其沿着大致垂直于滑动台24的轴线的方向)设置成大于一个球滚动凹槽90a和另一个球滚动凹槽90b之间的间隔距离W2(W1＞W2，如图6所示)。换句话说，形成卸荷槽92的内壁表面，使得内壁表面分别沿着大体垂直于滑动台24的轴线的方向与球滚动凹槽90a、90b分离开。
也就是说，球滚动凹槽90a、90b朝向弯曲部分76(沿着箭头A的方向)在滑动台24的下表面部分上延伸一预定长度，同时形成卸荷槽92，该卸荷槽92与弯曲部分76的壁表面毗连，并且其宽度尺寸大于球滚动凹槽90a、90b之间的间隔距离W2。
板94通过螺钉54安装到平台部分74的一个端表面上，其中，所述板94将导向凹槽88和球滚动凹槽90a、90b封闭。因而，就防止了球轴承30与滑动台24脱离结合，其中，所述球轴承30沿着球滚动凹槽90a、90b滚动，所述滑动台24包括平台部分74。
滑动台24由导向机构95沿着主气缸体22的轴向引导。导向机构95包括导向部分28、导向凹槽88和一对球滚动凹槽90a、90b，其中，所述导向部分28扩展在主气缸体22的上表面部分上并具有形成在其两侧表面上的一对球滚动凹槽32a、32b，所述导向凹槽88形成在滑动台24的下表面部分上，所述一对球滚动凹槽90a、90b形成在导向凹槽88的两侧表面上。
如图2所示，传感器联接导轨26通过螺栓96可拆卸地设置在主气缸体22的一个侧表面上。传感器联接导轨26成形为U形横截面。传感器联接导轨26的两端分别由螺栓96固定。一个长孔98沿着轴向形成在传感器联接导轨26上，其横截面为圆弧形。传感器(未示出)可选择地安装到其预定部分上。
间隙形成在传感器联接导轨26的另一个侧表面上，其与主气缸体22的侧表面(除了两端以外)分离开预定的间隔距离。此外，磁性部件100借助于连接装置固定到滑动台24的侧表面的预定部分上。磁性部件100设置在传感器联接导轨26和主气缸体22之间的间隙内。因此，磁性部件100的磁场由安装到传感器联接导轨26的传感器(未示出)来检测，其中，该磁性部件100可与滑动台24一起移动。因而，可检测到滑动台24的位置。
真空口56a、56b分别设在主气缸体22的侧表面上。抽吸机构如未示出的真空泵连接到真空口56a(56b)上，从而通过形成用于杆套52的孔58a至58d来真空抽吸第二气缸内腔62泄漏的空气和因活塞杆42和推杆密封环50的滑动移动所产生的灰尘。因而，线性致动器20例如可适用于如要求干净的干净房间的环境中。
依照本发明的实施例的线性致动器20主要构造如上所述。接下来，将叙述利用处理工具102来处理和抛光滑动台24的球滚动凹槽90a、90b的方法。在例如通过金属注射成型法形成滑动台24之后，利用处理工具102来对球滚动凹槽90a、90b进行抛光处理，以便在球轴承30滚动时降低滑动阻力。
如图5到8所示，处理工具102包括轴部104和盘形抛光部分(处理部分)106(例如，砂轮)，其中，所述轴部104连接到未示出的旋转驱动源(例如，马达)上，所述盘形抛光部分106连接到轴部104的端部上。
抛光部分106的外圆周部分成形为大致圆弧形的横截面，以与球滚动凹槽90a、90b的横截面形状相应(参见图7和8)。在旋转驱动源旋转时，抛光部分106与轴部104一起旋转。处理工具102可借助于未示出的运动单元沿着水平方向(箭头A和B的方向)和垂直方向(大致垂直于轴线)移动，其中，所述水平方向大致平行于滑动台24的轴线。
在利用处理工具102来处理和抛光球滚动凹槽90a、90b时，处理工具102在旋转驱动源的驱动作用下被驱动旋转。如图6和7所示，抛光部分106从滑动台24与外部连通的一端移动到球滚动凹槽90a、90b之间的空间。抛光部分106容许抵靠一个球滚动凹槽90a，从而沿着直线以预定速度将抛光部分106朝向弯曲部分76线性地移动(箭头A的方向)。因而，球滚动凹槽90a由抛光部分106沿着轴向(箭头A的方向)抛光。
抛光部分106到达球滚动凹槽90a的端部，同时进行旋转，完成球滚动凹槽90a的抛光处理。之后，抛光部分106还朝向弯曲部分76(箭头A的方向)移动，并且抛光部分106进入卸荷槽92。处理工具102沿着大致水平方向的移动停止，其中，该处理工具102受到未示出的运动单元的作用。在这种情况下，处于旋转状态的抛光部分106的外圆周表面不与滑动台24接触，这是因为与球滚动凹槽90a相比，卸荷槽92在该方向上的宽度很大，从而与滑动台24的轴线分离。
结果，能够避免与滑动台24的接触，使得旋转抛光部分106在完成一个球滚动凹槽90a的抛光处理之后就移动到卸荷槽92。因此，能够防止抛光部分106受到磨损。此外，可防止利用抛光部分106对滑动台24进行不必要和过度地抛光。
随后，抛光部分106(其处于旋转状态)借助于未示出的运动单元在卸荷槽92内朝向球滚动凹槽90b移动。也就是说，抛光部分106沿着滑动台24的宽度方向移动，因此，抛光部分106接近另一个球滚动凹槽90b。抛光部分106沿着滑动台24的轴向从卸荷槽92朝向另一个球滚动凹槽90b移动(沿着箭头B的方向)。在这种情况下，抛光部分106不与卸荷槽92内的球滚动凹槽90b接触。因此，球滚动凹槽90b不被抛光部分106抛光。
处理工具102沿着宽度方向相对于滑动台24的移动量设置成能够使抛光部分106的外圆周表面紧靠一个球滚动凹槽90a或者另一个球滚动凹槽90b的这样一个移动量。
抛光部分106容许抵靠球滚动凹槽90b，抛光部分106以预定速度沿着该方向(箭头B的方向)线性地沿直线移动，从而与弯曲部分76分离开。因而，另一个球滚动凹槽90b由抛光部分106沿着轴向(箭头B的方向)抛光。在抛光部分106到达滑动台24的开放的一端时，完成对滑动台24的球滚动凹槽90a、90b的抛光处理。
如上所述，在本发明的实施例中，卸荷槽92邻接弯曲部分76设置在滑动台24的下表面部分上，该卸荷槽92凹进为矩形。因此，在处理滑动台24的一对球滚动凹槽90a、90b时，则在用处理工具102处理球滚动凹槽90a之后，该处理工具102就可一次移动到卸荷槽92，并且处理工具102的移动方向可借助于卸荷槽92转换，以便再次处理另一个球滚动凹槽906。
因而，即使在滑动台24具有弯曲部分76(其设在平台部分74的端部上，同时相对于该平台部分74弯曲)并且具有由弯曲部分76封闭的球滚动凹槽90a、90b的端部的情况下，可以执行处理使处理工具102(其从滑动台24的一端***)沿着一个球滚动凹槽90a移动，且处理工具102可借助于卸荷槽92转向，从而使处理工具102沿着另一个球滚动凹槽90b移动。以这种方式，可借助于处理工具102对滑动台24的一对球滚动凹槽90a、90b进行有效地抛光处理，其中，所述滑动台24具有弯曲部分76。
处理工具102的抛光部分106在处理一个球滚动凹槽90a和处理另一个球滚动凹槽90b之间的期间移动到卸荷槽92。因而，抛光部分106可暂时相对于滑动台24处于非接触状态。因此，能够抑制产生热，其中，所述热另外还在抛光部分106和滑动台24之间产生。能够提高处理工具102的耐久性。
接下来，将叙述线性致动器20的操作，其中，滑动台24的球滚动凹槽90a、90b由处理工具102进行处理。
首先，未示出的流体压力供给源被激励，从而将压力流体供给到第一流体入口/出口64a。在这种情况下，第二流体入口/出口66a在未示出的定向控制阀的切换作用下朝向大气开放。
压力流体供给到置于与第一流体入口/出口64a连通的一侧上的第一气缸内腔60。压力流体将活塞40朝向杆套52挤压(沿着箭头A的方向)。滑动台24在活塞40的挤压作用下沿着箭头A的方向移动，滑动台与活塞杆42接合。滑动台24在球轴承30的滚动作用下移动。
另一方面，在滑动台24沿着箭头B的方向与以上所述相对地移动时，在未示出的定向控制阀的切换作用下，压力流体(其已经供给到第一流体入口/出口64a)供给到置于另一侧上的第二流体入口/出口66a。在这种情况下，第一流体入口/出口64a朝向大气开放。
从第二流体入口/出口66a供给的压力流体被引入第二气缸内腔62中。压力流体将活塞40朝向端盖44挤压(沿着箭头B的方向)。滑动台24在活塞40的挤压作用下沿着箭头B的方向移动，该滑动台24与活塞杆42结合。
已经叙述了处理如上所述的滑动台24的方法，其中，借助于处理工具102从一个球滚动凹槽90a执行所述处理。然而，并不具体限制为此种情况。可利用处理工具102首先处理另一个球滚动凹槽90b，然后借助于卸荷槽92来处理一个球滚动凹槽90a。
在上述线性致动器20中可采用柱形滚柱轴承来替代球轴承30，其中，在日本未审定专利号7-110011中采用了滚柱轴承。此外，形成滑动台24和导向部分28的球滚动凹槽32a、32b、90a、90b的横截面形状可由大致半圆形的形状变成与滚柱轴承相应的V形。
另一方面，滑动台24的卸荷槽92不限于沿着平行于弯曲部分76的方向成形为如上所述的长形的矩形形状。例如，也容许采用长孔形，其中，一对圆弧形表面154a、154b设在卸荷槽152的内壁表面上，如图9和10所示的第一优化实施例的滑动台150内的卸荷槽152。
关于圆弧形表面154a、154b，内壁表面(其邻接工件保持孔80c、80d设置)是分别朝向工件保持孔80c、80d形成的圆弧形的凹面。优选地，圆弧形表面154a、154b的半径设置成大致等于抛光部分106的半径，其中，该抛光部分106构成了处理工具102。因而，在处理工具102移动到卸荷槽152时，处理工具102因圆弧形表面154a、154b而不与卸荷槽152接触。适当地避免了与处理工具102的接触。
此外，卸荷槽202可大致平行于弯曲部分76设置，且卸荷槽202可容许沿着滑动台204的宽度方向穿过预定深度，如在图11和12所示的第二优化实施例中的滑动台200中。也就是说，卸荷槽202延伸，使得卸荷槽202大致垂直于滑动台200的轴线，其中，所述卸荷槽202邻接弯曲部分76设置。
因而，与形成用于如上所述的线性致动器20的滑动台24中的平台部分74的大致矩形的卸荷槽92(参见图6)的情况相比，可容易地处理卸荷槽202，并且通过容许卸荷槽202沿着平台部分204的宽度方向穿过，可以降低处理时间。
此外，已经叙述了如上所述的本发明的实施例，其中，一对球滚动凹槽90a、90b直接形成在滑动台24上。然而，没有具体限定为此种情况。例如，如在图13和14所示的依照第三优化实施例的滑动台250中，一对滚动轨道252a、252b(球滚动凹槽90a、90b形成在其上)可与滑动台250分离地设置，且滚动轨道252a、252b可安装到一对安装凹槽254a、254b上，其中，所述安装凹槽254a、254b分别形成在滑动台250的导向凹槽88内。例如，借助于焊接、粘结、压接等方法可将滚动轨道252a、252b一体地固定到滑动台250上。
在滑动台250安装到主气缸体22上时，安装凹槽254a、254b形成在分别与导向部分28的球滚动凹槽32a、32b相对置的导向凹槽88的内壁表面上。在滚动轨道252a、252b安装到安装凹槽254a、254b上时，滚动轨道252a、252b的球滚动凹槽90a、90b与导向部分28的球滚动凹槽32a、32b相对。
也就是说，滚动轨道252a、252b(其设有球滚动凹槽90a、90b)可由不同于滑动台250的材料形成。因此，在滚动轨道252a、252b由强度高于滑动台250的高强度的材料形成时，能够适当地降低由球轴承30的滚动移动所造成的滚动轨道252a、252b的磨损。
滑动台24、150、200、250不限于这种情况，即，其中，所述滑动台借助于集成构造形成，从而具有大致L形的横截面。平台部分74、204可分别与弯曲部分76分离地形成，且平台部分74、204容许抵靠弯曲部分76，从而借助于任何连接方法(例如包括焊接、粘结和铜焊)来进行一体连接。
尽管已经参考优选实施例来具体地示出并叙述本发明，将可以理解，本领域技术人员可对其作各种改变和优化，而没有偏离由所附权利要求书所限定的本发明的精神和范围。
Claims (6)
1.一种线性致动器，包括：
主气缸体(22)，其形成有与流体入口/出口(64a、64b、66a、66b)连通的气缸内腔(60、62)；
滑动部(24、150、200、250)，其沿着所述主气缸体(22)的轴向往复移动，并具有平坦的表面部分(74)和弯曲部分(76)，其中，该平坦的表面部分(74)大体平行于所述轴线设置，该弯曲部分(76)在所述平坦的表面部分(74)的一端形成并弯曲；
导向机构(95)，其包括导轨(28)和多个滚动部件(30)，其中，所述导轨(28)沿着所述主气缸体(22)的所述轴线形成，所述多个滚动部件(30)沿着形成在所述导轨(28)和与所述导轨(28)相对的所述滑动部(24、150、200、250)的侧表面上形成的滚动凹槽(32a、32b、90a、90b)滚动，所述导向机构(95)沿着所述主气缸体(22)的所述轴向引导所述滑动部(24、150、200、250)；以及
凹槽(92、152、202)，其形成在所述平坦的表面部分(74)上与所述导轨(28)相对的所述弯曲部分(76)的一侧，其与所述滑动部(24、150、200、250)的一对所述滚动凹槽(90a、90b)连通，且所述凹槽具有垂直于所述滑动部(24、150、200、250)的轴线的宽度尺寸(W1)，所述宽度尺寸(W1)大于一个所述滚动凹槽(90a)与另一个所述滚动凹槽(90b)之间的间隔距离(W2)。
2.如权利要求1所述的线性致动器，其特征在于，所述凹槽(92、152、202)大于处理工具(102)的处理部分(106)的直径，所述处理工具(102)可在旋转驱动源的驱动作用下旋转并处理所述滚动凹槽(90a、90b)。
3.如权利要求2所述的线性致动器，其特征在于，所述滚动凹槽(90a、90b)成形为大致半圆形的横截面形状，其与球形的所述滚动部件(30)相应，所述处理部分(106)的外圆周表面成形为大致圆弧形的横截面形状，其具有大致相同的半径，与所述滚动凹槽(90a、90b)的所述横截面形状相应。
4.如权利要求3所述的线性致动器，其特征在于，所述凹槽(152)具有一对圆弧形表面(154a、154b)，该对圆弧形表面(154a、154b)沿着垂直于所述滑动部(150)的所述轴线的方向为凹形，并且与所述处理部分(106)的所述形状相应，所述处理部分(106)的半径大致与所述圆弧形表面(154a、154b)的半径相同。
5.如权利要求3所述的线性致动器，其特征在于，所述凹槽(202)大致平行于所述弯曲部分(76)延伸，从而沿着所述平坦的表面部分(74)的宽度方向穿过。
6.一种用于处理线性致动器的方法，该线性致动器包括主气缸体(22)，其具有流体入口/出口(64a、64b、66a、66b)；滑动部(24、150、200、250)，其沿着所述主气缸体(22)的轴向往复移动，并具有大致平行于所述轴线设置的平坦的表面部分(74)和在所述平坦的表面部分(74)的一端形成并弯曲的弯曲部分(76)；以及多个滚动部件(30)，其沿着形成在所述滑动部(24、150、200、250)的侧表面上的一对滚动凹槽(90a、90b)滚动，所述滑动部(24、150、200、250)与沿着所述主气缸体(22)的所述轴线形成的导轨(28)相对；借助于处理工具(102)来处理所述滚动凹槽(90a、90b)；用于处理所述线性致动器的所述方法包括步骤：
通过使所述旋转的处理工具(102)抵靠所述一个滚动凹槽(90a)，并将所述处理工具(102)沿着所述一个滚动凹槽(90a)朝向所述滑动部(24、150、200、250)的所述弯曲部分(76)移动来处理所述一个滚动凹槽(90a)；
将已经移动到所述一个滚动凹槽(90a)的一端的所述处理工具(102)移动到凹槽(92、152、202)，并将所述处理工具(102)在所述凹槽(92、152、202)内从所述一个滚动凹槽(90a)的一侧移动到另一个滚动凹槽(90b)的一侧，其中，所述凹槽(92、152、202)与所述一个滚动凹槽(90a)连通并且形成在所述弯曲部分(76)的一侧上，所述另一个滚动凹槽(90b)与所述一个滚动凹槽(90a)相对；并且
通过将所述处理工具(102)从所述凹槽(92、152、202)的内部朝向所述另一个滚动凹槽(90b)移动，并且在所述处理工具(102)抵靠所述另一个滚动凹槽(90b)的情况下，沿着所述另一个滚动凹槽(90b)移动所述处理工具(102)来处理所述另一个滚动凹槽(90b)。
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