CN1756605A - 狭缝模具、和具有涂膜的基体材料的制造方法以及制造装置 - Google Patents

Abstract

一种狭缝模具，其通过一对相对的模唇的组合，在模唇之间具有模唇间隙和形成在该模唇间隙的下端的涂布液的吐出口，其特征在于，至少一方的模唇由沿着上下方向重合、并且可以沿着与所述吐出口的纵向成直角的方向相对移动的至少2个部件构成，进而，由以下各要件构成，即可调整这些部件的相对位置地与这些部件相配合的部件配合要件，在相对位置的调整后将这些部件相互连接的部件连结要件，安装在这些部件的与所述吐出口侧相反一侧的外面、规定部件的相对移动的位置的定位要件，以及，将所述定位要件固定在所述部件上的定位要件的固定要件。

Description

狭缝模具、和具有涂膜的基体材料的制造方法以及制造装置

技术领域

本发明涉及为了在基体材料表面形成涂膜而使用的狭缝模具(スリツトダイ)。本发明，涉及用该狭缝模具将涂布液涂布在基体材料表面，制造具有涂膜的基体材料的制造方法，以及制造装置。

作为利用本发明形成涂膜的的基体材料的形态，有薄片形态，或者长条的片状形态。作为薄片形态的代表例，有玻璃基板。利用本发明制造的薄片形态的基体材料，例如，作为彩色液晶显示器用滤色片、TFT用阵列基板、等离子显示器用背面板和前面板、光学滤波器、印制电路板、集成电路、半导体而被使用。利用本发明制造的长条的片状形态的基体材料，例如，作为薄膜、金属片、金属箔、纸而被使用。

背景技术

狭缝模具，有时也被称为模嘴(口金)、模具、开缝模具(スロツトダイ)、或者阴模(ダイス)。狭缝模具，被广泛应用于通过在相互间留有间隔地相对的一对模唇之间形成的模唇间隙，从作为模唇间隙的向外方开口的狭缝状的吐出口吐出涂布液，在与吐出口隔有间隔地相对配置的基体材料的表面上形成涂布液的涂膜。在涂膜的形成中，狭缝模具和基体材料相对地移动。

作为一例，说明在玻璃基板上具有3原色的细格子图案的滤色片的状况。滤色片，通过在玻璃基板上顺次涂布黑、红、蓝、绿的涂布液而制造。该滤色片的制造工序，包括在形成光致抗蚀剂材料的涂膜后，在通过光刻加工进行图形加工之后，形成用于形成注入到滤色片和阵列基板之间的液晶的空间的柱的工序，和形成用于使表面的凹凸细小的覆层涂膜的工序。

在这种涂膜形成工序中，使用的涂布液的粘度为数10mPa·s或其以下，为了可以很容易地形成均匀的涂膜，多使用旋转器(快速旋转工具)。但是，到了最近，削减高价的涂布液的消费的情况，和很难随着涂布的基板的大型化而将装置大型化的情况互起作用，代替旋转器，开始采用使用了狭缝模具的金属型涂料机。

作为该狭缝模具所需要的重要的功能之一，是形成厚度均匀的涂膜。特别是，在适用于彩色液晶显示器用滤色片和等离子显示器用背面板等显示器用部件的制造的狭缝模具中，随着显示器的大画面化，每年构成零件的长条化也在发展，对于较大的涂布面积上的涂膜的厚度的均匀性的要求变得越来越严格。最近，要求实现相对于涂膜的平均厚度的最大偏差在3％或其以下这样极高的涂布厚度精度。

为了满足该要求，在组装了模具时，通常，被设定为0.05mm至0.7mm的模唇间隙，必需用超微级的偏差均匀地形成。但是，用以往众所周知的狭缝模具，从其结构来看，不能达到超微级的模唇间隙精度，便不能达到上述的涂布厚度精度。

具体地说明以往的狭缝模具的问题。在第11、12以及13图中，分别展示了不同的众所周知的狭缝模具201、301以及401的横剖面。

在第11图中，狭缝模具201，具备模具漏斗205、右侧模唇202、以及左侧模唇203。右侧模唇202和左侧模唇203，隔着模唇间隙212相对地配置。右侧模唇202的上面和左侧模唇203的上面，分别与模具漏斗205的下面相接触，并且分别通过螺栓206、207被安装在模具漏斗205上，并被一体化。

模唇间隙212，具有模唇间隙宽L。该狭缝模具201，在JP10-264229A中被公开。在具有该结构的狭缝模具201中，必须有一面沿着模唇间隙212的纵向(垂直于纸面的方向)测定模唇间隙宽L，一面将双方的模唇202、203相对于模具漏斗205定位这样烦杂的组装操作。只用该组装操作，达到超微级的模唇间隙精度，实际上是不可能的。

在第12图中，狭缝模具301，具备右侧模唇302、左侧模唇303以及隔片(垫片)304。双方的模唇302、303，在介设有隔片304的状态下，由螺栓305结合在一起，被一体化。模唇间隙312，由隔片304的厚度St形成。

模唇间隙312，具有模唇间隙宽L。该狭缝模具301，在JP2001-46949A、或者、JP2001-191004A中被公开。在具备该结构的狭缝模具301中，模唇间隙312的模唇间隙宽L，与组装方法无关，和隔片304的厚度St相等。因而，在实现超微级的模唇间隙精度时，对于厚度St是0.05至0.7mm左右的较薄隔片304，便要求超微级的厚度精度。

但是，一般的，通过由轧制钢板制作的板材构成的隔片304，由于轧制不均，面内的厚度不均有时有数微米。进而，为了变薄，很难通过后续加工实现厚度精度的提高。因而，狭缝模具301的情况下，也不能实现超微级的模唇间隙精度。

在第13图中，狭缝模具401，包括右侧模唇402和左侧模唇403。双方的模唇402、403，在各自的上方部，具有接合面。右侧模唇402的模唇内面420，位于距接合面415具有阶梯差L处。左侧模唇403的内面421，与接合面415在同一面内，形成平坦的模唇。在右侧模唇402的模唇内面420和左侧模唇403的内面421之间，形成有模唇间隙412。

模唇间隙412，具有与前述阶梯差L相等的模唇间隙宽L。该狭缝模具401，在JP10-146556A、或者、JP10-151395A中被公开。在具有该结构的狭缝模具401中，由于模唇间隙412的模唇间隙宽L与设在模唇402上的阶梯差L相等，因此在实现超微级的模唇间隙精度时，模唇402的接合面415和模唇内面420之间的阶梯，必须用超微级的高精度的精加工形成。

但是，在使用众所周知的磨床等的机械加工或由人工的研磨操作中，很难以超微级的精度精加工模唇这样长条并且大面积的大型零件。因而，用狭缝模具401，也不能实现超微级的模唇间隙精度。

另一方面，作为采用了这些狭缝模具的金属型涂料机的一例，由可以往复移动的工作台和具有向下的吐出口的涂布头(狭缝模具)构成的金属型涂料机是众所周知的。在该金属型涂料机中，在将玻璃基板吸附保持在工作台上之后，当玻璃基板和工作台同时在涂布头的正下方移动时，从涂布头的吐出口吐出涂布液，在玻璃基板上连续地形成涂布液的涂膜。该金属型涂料机，在JP6-339656A中被公开。

在该金属型涂料机中，由于对每一块基板进行涂布，因此，为了提高基板整体上的涂膜的厚度精度，在各基板的涂布开始部、涂布结束部的涂布方法就变得很重要。从涂布开始部来看，有控制涂布液的供给泵的动作和基板的动作的关系的方案。该方案，在JP8-229482A中被公开。

还有通过预先从模具向辊子进行预备涂布(涂布准备)的方式，当在模具和辊子之间形成了涂布液的液筋(ビ一ド)之后，使模具和液筋同时向基板的方向移动，然后开始向基板的真正的涂布的方案。该方案，在JP2001-310147A中被公开。

进而，还有为了防止涂布开始部的厚膜化，将基板与模具之间的间隙，与涂布液的吐出以及模具相对于基板的水平移动相连动地控制的方案。该方案，在JP2002-113411A中被公开。

在上述的涂布开始方案中，在预先从模具向辊子进行预备涂布后，开始向基板的真正的涂布的方案，具有如下的不良状况，(i)因需要多余的设备而成本增加，(ii)为了进行多余的动作而使生产节拍延长，阻碍生产性提高，(iii)在辊子上进行了预备涂布后，在模具吐出口前端残存有微少量的涂布液，但该残存量并不是一定的，涂布开始部的涂膜的膜厚变动而不稳定，或者，(iv)由于预备涂布，在本来的涂布中不需要的无效涂布液量增多，因而成本增加等。

另一方面，如果利用不进行预备涂布的涂布方法，将使用了高挥发性的溶剂的涂布液，以湿的厚度20μm或其以下进行涂布，则如第16A图所示，在涂布开始部(先头部分)801上没有形成涂膜802的膜残缺803，有时就会在基板B的宽方向上产生多处。其原因，推测是(i)为了使涂布开始部801的状态始终相同，在涂布之前清扫模具的吐出口周边，但这时吐出口附近的模具内部的涂布液被抹去，在模具内部产生空隙，或者，(ii)在清扫模具的吐出口周边后，到开始涂布的较短的时间内，吐出口周边的涂布液的溶剂蒸发，与蒸发量相对应地在吐出口附近的模具内部产生空隙，因此，在模具内部存在没有装满涂布液的空隙，并且它就那样直接被复制到基板B的涂布开始部801，从而产生了膜残缺803。

该现象，在湿的涂布厚度超过20μm时，很难发生。其理由，可以考虑与涂布液的吐出量相对的空隙量的占有比例较小，因此即便产生空隙，也不会产生对涂布状态的影响。相对于此，在进行预备涂布的情况下，在预备涂布的阶段，吐出口附近的空隙被挤出，在模具内部不存在空隙的状态下，进行真正的涂布，因此不会出现在涂布开始部801上产生膜残缺803的不良状况。

发明内容

本发明的目的在于解决以往技术的问题点。本发明，其目的在于提供能够很容易地得到超微级的模唇间隙精度的狭缝模具。本发明的狭缝模具，在组装完模具后，即便不进行特别的调整，也能够以3％或其以下的极高的涂布厚度精度均匀地形成涂膜。

本发明，其目的在于提供使用了该狭缝模具的、具有涂膜的基体材料的制造方法、以及制造装置。

根据本发明制造的具有涂膜的基体材料，作为彩色液晶显示器用部件、或者等离子显示器用部件很好地被使用。

根据本发明，对于任何种类的涂布液、涂布厚度，不进行预备涂布，也可以很容易地在基板整面上形成膜厚均匀的涂膜。根据本发明，可以实现生产间隔时间的短缩、涂布液无效使用量的削减，并可谋求具有涂膜的基体材料的生产的生产成本的降低。

本发明的狭缝模具，具备第1模唇和第2模唇，并且所述第1模唇和所述第2模唇，以所述第1模唇的内面和所述第2模唇的内面相对的状态通过模唇连结要件被一体化，通过这些相对的内面的一部分相隔有间隔地配置，形成液体供给路和沿着所述模唇的纵向延伸的模唇间隙，所述模唇间隙的下端形成向外方打开的吐出口，所述模唇间隙的纵向的两侧端，相对于外方被封闭，所述模唇间隙的上端，连接在所述液体供给路上；其特征在于：

(a)所述第1模唇具备第1部件和第2部件构成；并具有

(b)可以调整与所述第1模唇的形成所述模唇间隙的面成直角的方向上的所述第1部件和所述第2部件的相对位置地，使所述第1部件和所述第2部件相配合的部件配合要件；

(c)在调整所述相对位置后，将所述第1部件和所述第2部件连结并一体化的部件连结要件；

(d)配合在与所述第1模唇的所述内面相反一侧的所述第1部件的外面和所述第2部件的外面上，规定所述第1部件和所述第2部件的所述相对位置的定位要件；

(e)将所述定位要件固定在所述第1模唇上的定位要件的固定要件；

(f)通过所述定位要件和所述定位要件的固定要件，所述模唇间隙的纵向上的间隙宽度分布可以调整。

在本发明的狭缝模具中，优选为所述定位要件，在所述模唇的纵向上置以间隔地设定有多个。

在本发明的狭缝模具中，优选为所述定位要件具备定位部件，该定位部件，具有与所述第1部件的外面和所述第2部件的外面中的至少一方的外面相接触的位置规定面，在存在不与另一方的外面接触的部位的情况下，具有与该部位和该外面相配合的位置规定辅助装置。

在本发明的狭缝模具中，优选为所述定位部件的所述位置规定面的表面粗糙度的最大高度Ry是0.1S至1.0S。

在本发明的狭缝模具中，优选为所述第1部件以及所述第2部件的与形成所述模唇间隙的面成直角方向的厚度，分别是30mm或其以上，所述定位部件的沿着所述位置规定面的方向的剖面形状是四边形，该四边形的所述模唇的纵向的长度，是20mm至100mm，与该纵向成直角的方向的长度，是20mm至100mm，至少配置所述位置规定面的部位的所述定位部件的厚度，是所述第2部件的厚度的30％或其以上。

在本发明的狭缝模具中，优选为所述定位部件沿着所述模唇的纵向置以间隔地设置有多个。在配置多个定位部件时，优选为彼此的配置间隔不到100mm。

在本发明的狭缝模具中，所述第2模唇，也可以具有与所述第1模唇同样的结构。

在本发明的狭缝模具中，优选为所述第1部件的内面和所述第2模唇的内面，相接触地配置，或者，填充隔片而配置，在所述第2部件的内面和所述第2模唇的内面之间形成有所述模唇间隙。

在本发明的狭缝模具中，与所述第1部件的内面相对的所述第2模唇的内面，和形成所述模唇间隙的所述第2模唇的内面，实质上也可以位于同一平面内。

在本发明的狭缝模具中，与所述第2模唇的内面相对的所述第1部件的内面，和形成所述模唇间隙的所述第2部件的内面，实质上也可以位于同一平面内。

本发明的具有涂膜的基体材料的制造方法，使用本发明的狭缝模具，向该狭缝模具的所述液体供给路提供涂布液，经过所述模唇间隙从所述吐出口吐出所述涂布液，同时使相对于所述吐出口置以间隔地配置的被涂布部件和所述狭缝模具中的至少一方相对地移动，将从所述吐出口吐出的所述涂布液涂布在所述被涂布部件上，在所述被涂布部件上形成由所述涂布液构成的涂膜。

在本发明的具有涂膜的基体材料的制造方法中，优选为包括：从所述狭缝模具的所述吐出口吐出一定体积Q1的所述涂布液的第1步骤；在第1步骤结束后，待机一定时间Ts的第2步骤；在第2步骤结束后，使所述吐出口相对于所述被涂布部件移动，在两者之间形成间隙S1的第3步骤；在第3步骤结束后，从所述吐出口吐出所述涂布液，同时使所述被涂布部件相对于所述狭缝模具相对地移动，从而在所述被涂布部件上形成涂膜的第4步骤。

在本发明的具有涂膜的基体材料的制造方法中，优选为将包含所述吐出口在内的面的涂布方向长度设为Ls，将所述吐出口的纵向的长度设为W，将所述间隙设为S1，以及，将系数设为α1，当该系数α1在0.05≤α1≤1.0的范围内时，所述一定体积Q1，满足Q1＝α1×S1×Ls×W的关系。

在本发明的具有涂膜的基体材料的制造方法中，优选为包括：使所述狭缝模具的所述吐出口相对于处于静止状态的所述被涂布部件移动，在两者之间形成间隙S2的第1步骤；在第1步骤结束后，从所述吐出口吐出一定体积Q2的所述涂布液的第2步骤；在第2步骤结束后，待机一定时间Ts的第3步骤；在第3步骤结束后，从所述吐出口吐出所述涂布液，同时使所述被涂布部件相对于所述狭缝模具相对地移动，在所述被涂布部件上形成涂膜的第4步骤。

在本发明的具有涂膜的基体材料的制造方法中，优选为包括：使所述狭缝模具的所述吐出口相对于处于静止状态的所述被涂布部件移动，在两者之间形成间隙S3的第1步骤；在第1步骤结束后，从所述吐出口吐出一定体积Q的所述涂布液的第2步骤；在第2步骤结束后，待机一定时间Ts的第3步骤；在第3步骤结束后，使所述狭缝模具的所述吐出口相对于处于静止状态的所述被涂布部件再次移动，在两者之间形成第2间隙S4的第4步骤；在第4步骤结束后，从所述吐出口吐出所述涂布液，同时使所述被涂布部件相对于所述狭缝模具相对地移动，在所述被涂布部件上形成涂膜的第5步骤。

在本发明的具有涂膜的基体材料的制造方法中，优选为所述第1间隙S3的大小，小于所述第2间隙S4的大小。

在本发明的具有涂膜的基体材料的制造方法中，优选为将包含所述吐出口在内的面的涂布方向长度设为Ls，将所述吐出口的纵向的长度设为W，将所述间隙设为S2，以及，将系数设为α2，当该系数α2在0.05≤α2≤1.0的范围内时，所述一定体积Q2，满足Q2＝α2×S2×Ls×W的关系。

本发明的具有涂膜的基体材料的制造装置，具备如下的构成：本发明的狭缝模具；与该狭缝模具的所述液体供给路相配合的涂布液供给装置；将供给给所述液体供给路的涂布液经由所述狭缝间隙从所述吐出口吐出的涂布液吐出装置；使相对于所述吐出口置以间隔地配置的被涂布部件和所述狭缝模具的至少一方相对地移动，将从所述吐出口吐出的所述涂布液涂布在所述被涂布部件上，在所述被涂布部件上形成由所述涂布液构成的涂膜的涂膜形成装置。

在本发明的具有涂膜的基体材料的制造装置中，优选为包括：从所述狭缝模具的所述吐出口吐出一定量的所述涂布液的装置；在吐出所述一定量的所述涂布液后，使其经过一定的待机时间的装置；在经过该待机时间后，使相对于所述吐出口置以间隔地配置的被涂布部件和所述狭缝模具的至少一方相对地移动，将从所述吐出口吐出的所述涂布液涂布在所述被涂布部件上，在所述被涂布部件上形成由所述涂布液构成的涂膜的涂膜形成装置。

附图说明

第1图是展示将本发明的狭缝模具的一个实施形态的各零件分解了的状态的立体图。

第2图是第1图的狭缝模具的横剖面图。

第3A图、第3B图以及第3C图是说明构成第1图的狭缝模具中的第1模唇的第1部件、第2部件、以及、定位部件的组装顺序的横剖面图。

第4图是本发明的狭缝模具的别的实施形态的横剖面图。

第5图是本发明的狭缝模具的又一别的实施形态的横剖面图。

第6图是本发明的狭缝模具的再别的实施形态的横剖面图。

第7图是本发明的狭缝模具的再又一别的实施形态的横剖面图。

第8图是本发明的狭缝模具的再还一别的实施形态的横剖面图。

第9图是用于实施具有本发明的涂膜的基体材料的制造方法的装置(金属型涂料机)的一例的概略立体图。

第10图是说明第9图的金属型涂料机中的涂布液的供给***、涂布液的涂布顺序、以及、用于它的控制***的一例的概略***图。

第11图是以往的狭缝模具的一例的横剖面图。

第12图是以往的狭缝模具的其他的例子的横剖面图。

第13图是以往的狭缝模具的再其他的例子的横剖面图。

第14图是说明用于实施具有本发明的涂膜的基体材料的制造方法的装置(金属型涂料机)的其他的一例中的涂布液的供给***、涂布液的涂布顺序、以及、用于它的控制***的一例的概略***图。

第15图是说明使用第14图的金属型涂料机向基板涂布涂布液时的各动作部的动作状况的时间线图。

第16A图是说明基板的涂布液的不理想的涂布状况的平面图。

第16B图是说明基板的涂布液的理想的涂布状况的平面图。

第17图是说明在第14图的狭缝模具和基板之间形成的液筋的形成状况的概略立体图。

具体实施方式

以下，参照附图，说明本发明的理想的实施形态。

在第1以及2图中，本发明的狭缝模具1，具备第1模唇3和第2模唇2。第1模唇3的内面15a、15b与第2模唇的内面17a、17b，在彼此相对的状态下通过模唇连结要件以可相互背离的方式被一体化。在该实施形态中，作为模唇连结要件，如第1图所示，采用相互间有间隔地配设的6根组装螺栓7。

相对的内面15a、15b、17a、17b的一部分，相隔有间隔地配置，由此，形成液体供给路(集管(マニホ一ルド))12和沿着模唇2、3的纵向延伸的模唇间隙13。模唇间隙13的下端，形成有向外方打开的吐出口14。模唇间隙13的纵向的两侧端，相对于外方被密封板6a、6b封闭。模唇间隙13的上端，连接在液体供给路(集管)12上。液体供给路(集管)12，具有涂布液供给口11，在涂布液供给口11上，经由供给管(图未示)连接着涂布液供给装置(图未示)。从涂布液供给装置提供的涂布液，从涂布液供给口11流入到集管12，通过集管12，涂布液的液流以涂布液供给口11为中心被向左右两侧引导，流入到模唇间隙13，并从吐出口14被吐出。

第1模唇3，具备第1部件4和第2部件5。第1部件4的下面和第2部件5的上面的纵向的长度相等。第2模唇2的内面17a和第1部件4的内面15a彼此相接触。第1部件4的下面和第2部件5的上面彼此相接触。

第1部件4和第2部件5，通过能够调整与第1模唇3的形成模唇间隙13的面(第2部件的内面)15b相垂直的方向上的相对位置的部件配合要件而相配合。在该实施形态中，作为部件配合要件使用螺栓8和螺母9。

第1部件4和第2部件5，在相对位置被调整后，由部件连结要件连结在一起而一体化。在该实施形态中，作为部件连结要件，使用螺栓8和螺母9。在该实施形态中，螺栓8和螺母9，作为部件配合要件，以及作为部件连结要件起作用。部件配合要件和部件连结要件，也可以以分别起到各自的功能的方式用不同的部件构成。

设置有与第1模唇3的内面15a相反一侧的第1部件4的外面16a和第2部件5的外面16b相配合，规定第1部件4和第2部件5的相对位置的定位要件。在该实施形态中，作为定位要件，使用彼此间隔地配设的5个阶梯形部件10。阶梯形部件10的上部的内面10a与第1部件4的外面16a相接触，阶梯形部件10的下部的内面10b与第2部件5的外面16b相接触。内面10a和内面10b，形成位置规定面。

设置有将定位要件(阶梯形部件10)固定在由第1部件4和第2部件5构成的第1模唇3上的定位要件的固定要件。在该实施形态中，作为定位要件(阶梯形部件10)的固定要件，使用螺栓20。在该实施形态中，与第1部件4的内面15a相对的第2模唇2的内面17a，和形成模唇间隙13的第2模唇2的内面17b，实际上位于同一平面。

通过定位要件(阶梯形部件10)和定位要件的固定要件(螺栓20)，模唇间隙13的模唇间隙宽Lg，在模唇间隙13的纵向上被调整为均匀。

在第1部件4的内面15a的位置和第2部件5的内面15b的位置之间，在与各个内面成直角的方向上，存在距离H的位置之差。将该距离H的差称为阶梯H，将该阶梯H的大小称为阶梯差H。

在阶梯形部件10的上部的内面10a的位置和下部的内面10b的位置之间，在与各个内面成直角的方向上，存在距离h的位置之差。将该距离h的差称为阶梯h，将该阶梯h的大小称为阶梯差h。

具有阶梯差H的阶梯H，通过将具有阶梯h的5个阶梯形部件10推压在第1部件4的外面16a和第2部件5的外面16b上而形成。

阶梯形部件10的个数和配设间隔，没有被特别限定，但狭缝模具1只要是长条的，阶梯形部件10，最好沿着纵向最少配设2个或其以上，更优选配设5个或其以上。配设间隔在100mm或其以下，会有助于在狭缝模具1的纵向上形成均匀的大小的阶梯差H，因此优选。

当将第1模唇3和第2模唇2用组装螺栓7组装在一起时，就形成了具有与第1部件4的内面15a和第2部件5的内面15b之间的阶梯差H相等的间隙宽Lg的模唇间隙13。

模唇间隙13，付与涂布液以流动阻力，担负以同样的分布使涂布液从吐出口14吐出的功能。根据各种涂布条件，为了付与涂布液以所要求的流动阻力，模唇间隙13的间隙宽Lg，优选为30μm至1000μm，更优选为50μm至600μm。吐出涂布液的方向上的模唇间隙13的长度Ld，优选为3mm至100mm，更优选为5mm至70mm。

成为涂布液的吐出宽的吐出口14的纵向的长度，由2片密封板6a、6b的配置间隔Lw决定。密封板6a、6b的材质和形状，只要能够不受到涂布液中所包含的溶剂等的影响，以涂布液***漏的方式进行密封，便没有特别的限制，但厚度和模唇间隙13的间隙宽Lg相同，或比它稍小的不锈钢等的金属板，或者相反厚度比间隙宽Lg稍大的弹性部件、聚对苯二甲酸乙二酯等的树脂薄板等很适合使用。

用第3A、3B以及3C图说明该实施形态中理想的第1模唇3的阶梯H的形成例。

如第3A图所示，第1部件4和第2部件5，为了使与各自的内面15a、15b成直角的方向上的各自的厚度Lt相等，而上下重合在一起，在由螺栓8和螺母9临时固定的状态下，被同时机械加工。在该状态下，如第3B图所示，将所有的阶梯形部件10用螺栓20结合在第1部件4的外面16a上。

接着，如第3C图所示，使第2部件5向与内面15b成直角的方向滑动，将第2部件5的外面16b推压在阶梯形部件10的下部的内面10b上，通过用螺栓20将阶梯形部件10固定在第2部件5上，完成第1部件4和第2部件5的相对位置的调整。

由此，在由第1部件4和第2部件5构成的第1模唇3上，就在两部件4、5的纵向上均匀地形成了与阶梯形部件10的阶梯差h相等的阶梯差H的阶梯H。

根据该构成，通过使各阶梯形部件10的阶梯差h微小地变化，可以微调整第1部件4和第2部件5之间的阶梯差H，其结果，是可以沿着模唇间隙13的纵向自如地微调整与阶梯差H相等的模唇间隙13的间隙宽Lg。通过该微调整，只要使第1模唇3和第2模唇2组合在一起，便可以很容易地形成偏差为超微级的具有间隙宽Lg的模唇间隙13。

作为使阶梯形部件10的阶梯差h微小地变化的方法，可以使用研磨、磨削等众所周知的加工方法。这时，为了正确地测定阶梯差h的微小变化，第1部件4和第2部件5的接触面，即，阶梯形部件10的上部的内面10a和下部的内面10b的表面粗糙度，是用JIS-B-0031(1994)定义的最大高度(Ry)，理想的是在0.1S至1.0S的范围内。

为了使第1部件4和第2部件5之间的阶梯差H的微调整较容易，第1部件4以及第2部件5最好是高刚性。因此，各自的厚度Lt，最好在30mm或其以上。当各自的厚度Lt不到30mm时，则各个部件4、5，在不存在阶梯形部件10的区间容易在各自的纵向上翘曲，很难进行阶梯差H的微调整。

阶梯形部件10的形状，狭缝模具1的纵向上的宽最好在20mm至100mm的范围内，与之正交的方向的高度最好在20mm至100mm的范围内。如果阶梯形部件10的形状小于这些范围的下限值，便不会充分表现出为了自如地微调整阶梯差H所必需的矫正力。相反，如果大于这些范围的上限值，便很难通过研磨或磨削等加工方法使阶梯差h微小地变化。阶梯形部件10，必须有为了微调整阶梯差H所必需的刚性。为此，阶梯形部件10的厚度，在厚度最薄的部分(例如，相当于第3B图中所示的尺寸Lb的部分)，最好相对于第2部件5的厚度Lt在其30％或以上。

为了在狭缝模具1的纵向上很容易地使模唇间隙13的间隙宽Lg的偏差超微级，沿着纵向配设的多个阶梯形部件10之间的阶梯差h的偏差，理想的是在1μm或其以下，更理想的是在0.5μm或其以下。

为了减少第1部件4和第2部件5之间的阶梯差H的调整量，最好对第2模唇2的内面17a、17b、第1部件4的内面15a以及外面16a、以及第2部件5的内面15b及外面16b进行精加工，使其各自的平面度优选在5μm或其以下，更优选在2μm或其以下。在此，所谓的平面度，是在JIS-B-0621(1984)的“几何偏差的定义以及表示”的项所定义的。

为了提高狭缝模具1的组装再现性，第1模唇3和第2模唇2的刚性最好相同。为此，最好预先使第2模唇2的厚度和第1部件4以及第2部件5的厚度Lt相等。

根据在该实施形态中展示的狭缝模具1，由于具有上述那样的构成，因此尽管是长条的，即，尽管是形成大面积的涂膜的狭缝模具，也可以很容易地得到超微级的模唇间隙精度。因而，根据狭缝模具1，阶梯形部件10被固定在第1模唇3上，在将狭缝模具1组装之后，可以不进行特别的调整，并可以形成具有3％或其以下的极高的涂布厚度精度的涂膜。

作为用于制造要求形成格外均匀的涂膜的彩色液晶显示器用滤色片或等离子显示器用背面板等显示器用部件的涂布装置中的狭缝模具，很适合使用狭缝模具1。

另外，在流经集管12的涂布液的粘度变化较大，因模唇间隙分布以外的原因而损害了涂膜的厚度均匀性的情况下，只要调节位于涂膜厚度变化较大的部分的阶梯形部件10的阶梯差h，就能够改善由该原因导致的涂膜的厚度不均。

为了对应各种作业条件，可以通过改变阶梯形部件10的阶梯差h的大小，来变更模唇间隙13的间隙宽Lg的大小，或者使沿着纵向配设的多个阶梯形部件10的各个阶梯差h变化，从而形成具有与任意的涂膜的厚度曲线相对应的分布的模唇间隙13。

作为使第1部件4和第2部件5相对地滑动而定位的定位要件，不限于阶梯形部件10。在以下说明阶梯形部件以外的定位要件的例子。

在第4图中，展示了本发明的狭缝模具的其他的实施形态。在第4图中，狭缝模具101，与第2图中所示的实施形态同样地，具备第1模唇3、第2模唇2、构成第1模唇3的第1部件4和第2部件5、以及使第1部件4和第2部件5相配合并且相紧固的螺栓8和螺母9。

狭缝模具101，与第2图中所示的实施形态同样地，具有模唇间隙13、吐出口14、以及集管12。狭缝模具101，与第2图中所示的实施形态同样地，与第1部件4的内面15a相对的第2模唇2的内面17a和形成模唇间隙13的第2模唇2的内面17b实际上位于同一平面。

狭缝模具101，代替第2图中所示的实施形态中的阶梯形部件10，具有由平坦部件110和隔片111(位置规定辅助装置)构成的定位要件。平坦部件110的内面110a，由单一的平面构成。内面110a与第2部件5的外面16b触接。

在第1部件4的外面16a和第2部件5的外面16b之间，存在阶梯。在由该阶梯形成的第1部件4的外面16a和平坦部件110的内面110a之间的间隙内，填充有隔片111。隔片111，是在用平坦部件110所具有的螺栓20固定平坦部件110和第2部件4时，被安装在前述间隙内的。隔片111的厚度，以成为模唇间隙13的间隙宽Lg的方式被调整。

第1部件4和第2部件5之间的阶梯差H的微调整，通过平坦部件110的内面110a的表面粗糙度的微调整，或者，隔片111的厚度的微调整来进行。通过该微调整，狭缝模具101的模唇间隙13的间隙宽Lg，被由平坦部件110、隔片111以及螺栓20构成的定位要件和定位要件的固定要件沿着模唇间隙13的纵向调整为均匀。

在第5图中，展示了本发明的狭缝模具的另一实施形态。在第5图中，狭缝模具102，与第2图中所示的实施形态同样地，包括第1模唇3、第2模唇2、构成第1模唇3的第1部件4和第2部件5、以及使第1部件4和第2部件5相配合并且连结(固定)的螺栓8和螺母9。

狭缝模具102，与第2图中所示的实施形态同样地，具有模唇间隙13、吐出口14、以及集管12。狭缝模具102，与第2图中所示的实施形态同样地，与第1部件4的内面15a相对的第2模唇2的内面17a，和形成模唇间隙13的第2模唇2的内面17b，实际上位于同一平面。

在第5图中，狭缝模具102，代替第2图中所示的实施形态中的阶梯形部件10，具有由平坦部件110和伸缩装置112(位置规定辅助装置)构成的定位要件。平坦部件110的内面110a，由单一的平面构成。内面110a，与第2部件5的外面16b触接。在第1部件4的外面16a和第2部件5的外面16b之间，存在阶梯。在由该阶梯形成的第1部件4的外面16a和平坦部件110的内面110a之间的间隙内，填充有伸缩装置112。伸缩装置112，例如，由测微头或直线运动执行元件构成。

伸缩装置112，被固定在平坦部件110的上部。伸缩装置112的伸缩部件112a，从平坦部件110的内面110a向第1部件4侧突出，其前端被推压在第1部件的外面16a上。从平坦部件110的内面110a到第1部件4的外面16a为止的伸缩部件112a的突出长度，被调整为模唇间隙13的间隙宽Lg。

第1部件4和第2部件5之间的阶梯差H的微调整，通过微调整伸缩装置112的伸缩部件112a的突出长度来进行。通过该微调整，狭缝模具102的模唇间隙13的间隙宽Lg，通过由平坦部件110、伸缩装置112以及螺栓20构成的定位要件和定位要件的固定要件而被沿着模唇间隙13的纵向调整为均匀。

在本发明的狭缝模具中，测定阶梯差H的方法，只要是能够以必要的分辨率高精度地测定的方法，便没有特别地限制。例如，将通过垂直地推压在精密平台等的均匀表面上而设定了零点的2根直线量规，垂直地推压在各第1部件4的内面15a和第2部件5的内面15b上，同时读取当一方的直线量规表示零时的另一方的直线量规上所表示的值的方法，可以高精度且简单地测定，因此很理想。

在本发明的狭缝模具中，所谓的模唇间隙精度，定义为在模唇间隙的纵向上在多点测定模唇间隙的间隙宽(例如，第2图中的间隙宽Lg)所得的值的最大偏差。作为测定方法，优选在用光学显微镜或显微镜等将吐出口(例如，第2图中的吐出口14)放大450倍至2000倍的状态下，测定吐出口的间隙宽，然后将其作为模唇间隙的间隙宽的方法。

其次，说明本发明的狭缝模具的其他形态。

在上述的实施形态中，为了在第2模唇3上设置阶梯H，使用了具有相等的厚度Lt的第1部件4和第2部件5。但是，阶梯H的形成方法不限于此。在第6图中，展示了阶梯H的其他的形成方法的一例。

在第6图中，本发明的狭缝模具103，与第2图中所示的实施形态同样地，具备第1模唇3、第2模唇2、构成第1模唇3的第1部件4a和第2部件5a、以及将第1部件4a和第2部件5a相配合并连结的螺栓8和螺母9。

狭缝模具103，与第2图中所示的实施形态同样地，具有模唇间隙13、吐出口14、以及集管12。狭缝模具103，与第2图中所示的实施形态同样地，与第1部件4a的内面15a相对的第2模唇2的内面17a，和形成模唇间隙13的第2模唇2的内面17b，实际上位于同一平面。

但是，狭缝模具103中的第1部件4a和第2部件5a，在与形成模唇间隙13的第2部件5a的内面15b垂直的方向上的各自的厚度不同。在这一点上，狭缝模具103，与第2、4以及5图所示的狭缝模具1、101以及102不同。在第6图中，第1部件4a，具有厚度Lta，第2部件5a，具有厚度Ltb。由厚度Lta和厚度Ltb的差，形成第1部件4a的内面15a和第2部件5a的内面15b之间的阶梯H1。

在第1部件4a的外面16a和第2部件5a的外面16b上，作为定位要件的平坦部件111，被作为固定要件的螺栓20固定。平坦部件111的内面111a，与第1部件4a的外面16a和第2部件5a的外面16b相接触。

当用组装螺栓7(参照第1图)将第1模唇3和第2模唇2组装在一起时，形成具有和第1部件4a的内面15a与第2部件5a的内面15b之间的阶梯差H1相等的间隙宽Lg的模唇间隙13。

形成具有间隙宽Lg的模唇间隙13的阶梯H(H1)的个数，如上述的实施形态那样，不限于1段。也可以通过将3个或其以上的部件重合在一起，在第1模唇3上形成2段或其以上的阶梯。

在上述的实施形态中，说明了第1模唇3由第1部件4(4a)和第2部件5(5a)这两个部件构成的形态，但不限于该形态。也可以是沿着上下用多个部件分别形成第1模唇3以及第2模唇2这双方，并能够调整各自的部件的相对位置的形态。

本发明的狭缝模具也可以适用于在被涂布部件上同时形成多层涂膜的狭缝模具，即，用3个或其以上的模唇形成2个或其以上的模唇间隙的同时涂布多层的狭缝模具。

形成模唇间隙13的方法，也不限于由形成在多个部件彼此之间的阶梯来形成的形态。

在第7图中，展示了别的阶梯形成的一例。在第7图中，本发明的狭缝模具104，与第2图中所示的实施形态同样地，具备第1模唇3、第2模唇2、构成第1模唇3的第1部件4和第2部件5、以及使第1部件4和第2部件5相配合并连结的螺栓8和螺母9。

狭缝模具104，与第2图中所示的实施形态同样地，具有模唇间隙13、吐出口14、以及集管12。

狭缝模具104，与第6图中所示的实施形态同样地，具有由平坦部件111构成的定位要件。平坦部件111的内面111a，由单一的平面构成。内面111a，和第1部件4的外面16a与第2部件5的外面16b触接。

在狭缝模具104中，与在第2图中所示的实施形态同样地，与第1部件4的内面15a相对的第2模唇2的内面17a，和形成模唇间隙13的第2模唇2的内面17b，实际上位于同一平面。

但是，在狭缝模具104中，在第1部件4的内面15a与第2部件5的内面15b之间没有阶梯，两个内面15a、15b位于同一平面内。在这一点上，狭缝模具104，和第2、4、5以及6图中展示的实施形态不同。

根据该构成，狭缝模具104，在第2模唇2的内面17a和第1部件4的内面15a之间具有间隙。该间隙，被隔片113填充。在组装狭缝模具104之际，隔片113，在被配置在第1模唇3和第2模唇2之间之后，被第1部件4和第2模唇2夹紧，并被固定。由隔片113，形成阶梯H2。

在第8图中，展示了本发明的狭缝模具的另外一个形态。第8图中的狭缝模具105，代替第7图中的狭缝模具104的隔片113，使第2模唇2的内面17a向第1部件4的内面15a方向突出相当于隔片113的厚度的量，并使内面17a和内面15a触接。由此，形成阶梯H3。狭缝模具105的其他的部分的结构，和第7图的狭缝模具104相同。

以上说明了几个实施形态，本发明的狭缝模具，必须是以下的结构，即可以用一对模唇的组合形成模唇间隙，用独立的至少2个部件构成至少一方的模唇，可通过相对于部件设置的部件间的相对的定位要件和该定位要件的固定要件，在模唇间隙的纵向上矫正模唇间隙的间隙宽。即，只要是满足该结构，各自的构成部件以及它们的组合，可以是任意的形态。

由第7图中所示的狭缝模具104或第8图中所示的狭缝模具105那样的结构构成的狭缝模具的超微级的模唇间隙精度通过以下方式而实现，即，通过按照模唇间隙精度，将构成第1模唇3的第1部件4和第2部件5的相对位置，在平坦部件111上设置微小的阶梯的方式进行。

位于狭缝模具1的内部的集管12，也可以不设在第2模唇2上而设在第1模唇3上，或者，还可以设在第1模唇3以及第2模唇2这两方上。

作为集管12的正面形状，如第1图所示，可以是以涂布液供给口11为中心向左右纵向延长的形状的T型，或以涂布液供给口11为中心向左右纵向倾斜的形状的衣架型。集管12，也可以不是一个，而是沿着涂布液的吐出方向设置多段。集管12，也可以使其在模唇的纵向两端贯通。这时，涂布液的吐出宽的限制和漏液密封，由安装在模唇的纵向两端的侧板进行。

省略了图示的涂布液供给装置，最好是众所周知的。作为涂布液供给装置，例如，使用齿轮泵、专用泵(モ一ノポンプ)、隔膜泵、或者注射泵。在涂布液供给装置和狭缝模具1之间的涂布液流路上，根据需要设置众所周知的过滤器或阀门类。

在本发明的狭缝模具中，模唇的材料没有特别地限定。作为原材料，例如，有超硬合金、陶瓷、不锈钢、或者在这些原料上实施了表面处理的材料。不锈钢，具有耐药品性，并且便宜，因此作为原材料较理想。

对于第2图中所示的第2模唇2的前端18的长度LA，以及，第1模唇3的前端19的长度LB，根据形成涂膜的方向，设定各自的长度。例如，在被涂布部件从第2模唇2向第1模唇3相对地移动，并且在第2模唇3的下游侧形成涂膜的情况下，第2模唇2的前端18的长度LA，理想的是0.1mm至15mm，更理想的是0.5mm至5mm，第1模唇3的前端19的长度LB，理想的是0.03mm至2mm，更理想的是0.05mm至1mm，并且，最好将第1模唇3的前端19的长度LB设定为比第2模唇2的前端18的长度LA短。

第2模唇2的前端18、以及第1模唇3的前端19的纵向的直线度，即，从宏观来看纵向的弯曲的大小，理想的是在10μm或其以下，更理想的是在5μm或其以下。

液体接触面的表面粗糙度，最大高度(Ry)优选为在0.4S或其以下，更优选为在0.2S或其以下。为了提高涂布品质，用0.1S或其以下精加工第2模唇2的前端18、以及第1模唇3的前端19的做法，更加理想。

其次，对使用了本发明的狭缝模具的具有涂膜的基体材料的制造方法以及制造装置的实施形态进行说明。

第9图，是采用了用于实施本发明的具有涂膜的基体材料的制造方法的本发明的狭缝模具的涂布装置(金属型涂料机)的概略立体图。第10图，是还包括涂布液的供给***而展示第9图的金属型涂料机的概略构成图。

在第9图中，展示了在玻璃基板等薄片基体材料(被涂布部件)上涂布涂布液，形成涂膜的涂布装置(金属型涂料机)21。金属型涂料机21，具备基台22。在基台22上，设有一对导引槽轨道24，在这些导引槽轨道24上，配置有载物台26。载物台26的上面被制作成吸取面。载物台26，经由一对滑动脚28，在导引槽轨道24上沿着水平方向自由地往复移动。

在一对导引槽轨道24之间，配置有沿着导引槽轨道24延伸的壳体32，壳体32内置有输送机构。输送机构，如第10图所示，具有由滚珠丝杠构成的进给丝杠34。进给丝杠34，被螺合在固定于载物台26的下面并具有螺母状部的连接器36的该螺母状部上，贯通连接器36而延伸。进给丝杠34的两端部，旋转自如地被图未示的轴承支撑着，其一端被连结在AC伺服马达38上。在壳体32的上面或侧面，形成有容许连接器36的移动的开口，但省略了该开口的图示。

在该实施形态中，采用了载物台26往复移动的方式，但不限于此，也可以是狭缝模具1相对于载物台26往复移动的方式。总之，只要载物台26以及狭缝模具1中的至少一方往复移动即可。

在基台22的上面，在其一端侧，配置有倒L字形的传感器支柱40。传感器支柱40的前端，延伸到一方的导引槽轨道24的上方，在那里安装有电动型的升降驱动器41在升降驱动器41上，向下地安装有厚度传感器42。作为厚度传感器42，使用激光位移计、超声波厚度计等，最好是使用了激光的仪器。

在基台22的上面，在比传感器支柱40更靠近基台22的中央侧的位置上，配置有和传感器支柱40同样成倒L字形的模具支柱44。模具支柱44的前端，位于一对导引槽轨道24之间的上方，即，位于载物台26的往复移动路径的上方。在模具支柱44的前端，安装有升降机构46。虽然在第9图中没有详细地展示，但升降机构46具备升降托架。该升降托架，被升降自如地安装在一对导杆上。在这些导杆之间，配置有由滚珠丝杠构成的进给丝杠，该进给丝杠被拧入升降托架的螺母部，并贯通该螺母部而延伸。

在进给丝杠的上端部，连结有AC伺服马达50，AC伺服马达50被安装在壳体48的上面。再者，前述导杆以及进给丝杠收容在壳体48内，并经由轴承旋转自如地被支撑。

在升降托架上，由平板和设置在平板的两端的侧板构成的模具架52，经由支撑轴(图未示)旋转自如地安装在垂直面内。模具架52，在一对导引槽轨道24的上方，横跨在这些导引槽轨道24之间而水平地延伸。

在升降托架上，在比模具架52更靠近上方的位置，固定着水平杆56，水平杆56沿着模具架52延伸。在水平杆56的两端部，分别安装有电动型的调整驱动器58。调整驱动器58，具有从水平杆56的下面突出的、可以伸缩的杆，这些伸缩杆的下端，分别触接在模具架52的两端上。

在模具架52内，安装有本发明的狭缝模具1。如第10图所示，涂布液90的供给管62从狭缝模具1延伸出来，供给管62的前端，连接在注射泵64的电磁切换阀66的供给口上。吸引管68从电磁切换阀66的吸引口延伸出来，该吸引管68的前端部，被***蓄有涂布液90的容器70内。

注射泵64的泵本体72，通过电磁切换阀66的切换动作，可以选择性地连接在供给管62以及吸引管68的一方上。电磁切换阀66以及泵本体72，被电连接在计算机74上，接受来自于该计算机74的控制信号，从而控制它们的动作。计算机74，还被电连接在升降驱动器41以及厚度传感器42上。

为了控制注射泵64的动作，计算机74还被电连接在序列发生器76上。序列发生器76，是依次控制载物台26侧的进给丝杠34的AC伺服马达38，和升降机构46的AC伺服马达50的动作的装置。为了进行该依次控制，将表示AC伺服马达38、50的动作状态的信号、来自于检测载物台26的移动位置的位置传感器78的信号、来自于检测狭缝模具1的动作状态的传感器(图未示)的信号等输入序列发生器76。另一方面，从序列发生器76向计算机74输出表示序列动作的信号。

代替使用位置传感器78，也可以在AC伺服马达38上组装上编码器，根据从该编码器输出的脉冲信号，用序列发生器76检测载物台26的位置。还可以在序列发生器76内***由计算机74实现的控制。

虽然图未示，但在金属型涂料机21上，具备向载物台26上提供作为被涂布部件的薄片基体材料、例如用于滤色片的玻璃基板A的装载机，和用于从载物台26取下玻璃基板A的卸载机。在这些装载机和卸载机中，在其主要构成部分上，可以使用例如圆筒坐标系工业用机器人。

正如从第9图所可知的那样，狭缝模具1，沿着与载物台26的往复移动方向正交的方向，即，沿着载物台26的宽方向水平地延伸，其两端被支撑在模具架52上。

狭缝模具1的水平调整，通过使设在水平杆56的两端的调整驱动器58的伸缩杆伸缩，并使模具架52沿着其支撑轴周围旋转的方式进行。

其次，说明有关滤色片的制造的一个工序，即，使用上述的金属型涂料机21进行的、具有涂膜的基体材料的制造方法。

在第9以及10图中，首先，进行金属型涂料机21中的各动作部的复位。在该阶段，载物台26位于厚度传感器42的下方。另外，在该阶段，在从容器70经由吸引管68以及供给管62，到达狭缝模具1内的集管12以及模唇间隙13内的路径内，灌满涂布液90。进而，在该阶段，作为涂布准备动作，注射泵64的电磁切换阀66进行切换动作，以使泵本体72连接到吸引管68侧的方式。由此，在泵本体72上，进行通过吸引管68吸引容器70内的涂布液90的动作。当在注射泵64内吸引了规定量的涂布液90时，注射泵64的电磁切换阀66，进行用于连接泵本体72和供给管62的切换动作。

在该状态下，从图未示的装载机向载物台26上提供玻璃基板A，玻璃基板A在载物台26上受到负压而被保持。这样就完成了玻璃基板A的装载。玻璃基板A，相对于狭缝模具1中的吐出口14的吐出宽度，即，密封板6a、6b之间的间隔Lw，具有基本相同或比其宽的宽度尺寸。

在玻璃基板A的装载完成后，厚度传感器42，下降到规定的位置，由厚度传感器42测定玻璃基板A的厚度。测定后，厚度传感器42，上升到原来的位置。

在玻璃基板A的装载完成后，载物台26向狭缝模具1移动，然后在狭缝模具1的跟前停止。之后，狭缝模具1下降，在狭缝模具1的下面和玻璃基板A的上面之间，确保规定的间隙，例如，100μm的间隙。考虑到由厚度传感器42测定的玻璃基板A的厚度，根据来自于测定载物台26和狭缝模具1之间的距离的距离传感器(图未示)的输出信号，决定狭缝模具1的下降位置，从而使间隙被正确地设定。

其次，进一步移动载物台26，在在玻璃基板A的上面应该开始形成涂膜的起始线来到狭缝模具1的吐出口14的正下方的时刻，暂时使载物台26停止。

与该载物台26的暂时停止基本同时地，使注射泵64开始涂布液90的吐出动作，向狭缝模具1提供涂布液90。由此，从狭缝模具1的吐出口14向玻璃基板A上吐出涂布液90。在此，吐出口14，由于其间隙沿着狭缝模具1的纵向，即，沿着与载物台26的往复移动方向垂直的方向是一定的，因此从吐出口14沿着玻璃基板A的起始线同样地吐出涂布液90。由此，在狭缝模具1和玻璃基板A之间，沿着起始线形成被称为液筋的涂布液的积存液C。

当在积存液C形成的同时，一面继续来自于吐出口14的涂布液90的吐出，一面使载物台26以一定的速度沿着往动方向行进时，如第10图所示，在玻璃基板A的上面，连续地形成涂布液90的涂膜D。

对于涂膜D的形成，也可以不是暂时停止载物台26的移动，而是当玻璃基板A的起始线通过狭缝模具1的吐出口14时，从吐出口14吐出涂布液90。

随着载物台26的行进，当在玻璃基板A上应该结束涂膜D的形成的终止线到达狭缝模具1的吐出口14的跟前位置时，在这一时刻，停止注射泵64的吐出动作。这样一来，即便停止从狭缝模具1的吐出口14吐出涂布液90，也可以一面消费玻璃基板A上的积存液C的涂布液，一面继续形成涂膜D直到终止线。也可以在玻璃基板A上的终止线通过了狭缝模具1的吐出口14的时刻，停止注射泵64的吐出动作。

在玻璃基板A上的终止线通过吐出口14的时刻或通过了吐出口14的时刻，稍稍进行注射泵64的吸引动作，由此，狭缝模具1的模唇间隙13内的涂布液90被吸引到集管12侧。同时，狭缝模具1上升到原来的位置，并结束由狭缝模具1实现的涂布液90的涂布。

其次，只付与注射泵64与吸引动作同等量的吐出动作，以使得狭缝模具1的模唇间隙13内不会残留空气。之后，注射泵64的电磁切换阀66，进行应该连接泵本体72和吸引管68的切换动作，在泵本体72上进行通过吸引管68吸引容器70内的涂布液的吸引动作。当在注射泵64内吸引了规定量的涂布液时，注射泵64的电磁切换阀66，进行应该连接泵本体72和供给管62的切换动作。之后，在狭缝模具1的上升位置，由清洁器(图未示)擦拭附着在其下端面上的涂布液90。

另一方面，即便涂布液90的涂布结束了，仍然继续载物台26的往动，当载物台26到达了导引槽轨道24的终端的时刻，停止该往动。在该状态下，形成了涂膜D的玻璃基板A，在解除了由该负压实现的吸附后，由卸载机从载物台26取下。之后，载物台26复动，返回到第9图所示的初期位置，一连串的涂布工序结束。在初期位置，载物台26待机，直到装载新的玻璃基板。

作为被使用于涂膜形成的涂布液90，只要是具有流动性的液体便没有特别地限定，例如，有着色用涂布液、抗蚀剂用涂布液、护膜用涂布液、防静电用涂布液、或者滑性用涂布液等。作为涂布液，多使用使高分子材料或玻璃、金属等无机材料溶解或分散在水或有机溶剂中而成的液体。

使用的涂布液90的粘度，理想的是1mPa·s至100,000mPa·s，更理想的是5mPa·s至50,000mPa·s。牛顿流体从涂布性来看较理想，但可以使用具有触变性的涂布液。

作为基板A，除了玻璃之外，还可以使用铝等的金属板、陶瓷板、硅片等。

作为使用的涂布条件，间隙(相对于必要的部件)，理想的是20μm至500μm，更理想的是50μm～400μm；涂布速度，理想的是0.1m/分至50m/分，更理想的是0.5m/分至10m/分；模唇间隙，理想的是30μm至1,000μm，更理想的是50μm至600μm；涂布厚度，理想的是3μm至500μm，更理想的是5μm至300μm。

本发明的具有涂膜的基体材料的制造方法，多使用于显示器用部件的制造。作为显示器用部件，有使用于液晶用显示器的滤色片、等离子显示器的背面板和前面板等。

在以上的实施形态中，说明了对于玻璃基板等薄片基体材料的涂布，对于薄膜、金属片或金属箔、纸等长条的辐板(长条的被涂布部件)的涂布，通过如下的方式实现，即在用辊子支撑、输送辐板的部分，使本发明的狭缝模具1靠近，然后从狭缝模具1的吐出口14对辐板吐出涂布液。

其次，对本发明的具有涂膜的基体材料的制造方法的其他形态进行说明。

第14图，是用于实施本发明的具有涂膜的基体材料的制造方法的涂布装置的一例的概略正面剖面图；第15图，是展示使用第14图的涂布装置涂布时的各动作部的动作状况的时间线图；第16A以及16B图，是说明基板上的涂膜的形成状况的平面图；第17图，是说明狭缝模具和基板之间的液筋的形成状况的概略立体图。

在第14图中，涂布装置(金属型涂料机)501，具备基台502，在基台502上，设有一对导轨504。在导轨504上，配置有载物台506，载物台506由图未示的直线电动机驱动而沿着箭头X方向自如地往复移动。载物台506的上面是由吸附孔构成的真空吸附面，可以吸附保持作为被涂布部件的基板B。

在基台502的中央，有门型的支柱510。在支柱510的两侧，具备上下升降单元570，在上下升降装置单元570上安装有进行涂布的本发明的狭缝模具520。

狭缝模具(模具)520，通过将沿着与箭头X方向垂直的方向、即垂直于纸面的方向延伸的前唇部522以及后唇部524，沿着X方向重合，并用图未示的多个连结螺栓一体地结合的方式构成。

再者，前唇部522，将厚度不同的2个部件沿着上下重合，并用定位部件532沿着水平方向(X方向)将外面侧定位而构成。该定位部件532，用定位部件532的固定要件(图未示)固定在构成前唇部522的2个部件上。

在模具520内的中央部，形成有集管526，集管526也沿着模具520的纵向(与X方向正交的水平方向)延伸。在集管526的下方，连通地形成有模唇间隙(狭缝)528。该狭缝528也沿着模具520的纵向延伸，其下端在作为模具520的最下端面的吐出口面536被打开，形成吐出口534。狭缝528的间隙宽度(狭缝宽度)(沿着X方向测定)，等于构成前唇部522的2个部件的厚度的差。

使模具520升降的上下升降装置单元570，由以悬挂方式保持模具520的悬挂保持台580、使悬挂保持台580升降的左右一对升降台578、沿着上下方向导引升降台578的导轨574、将马达572的旋转运动变换为升降台578的直线运动的滚珠丝杠576构成。

上下升降单元570，为了支撑模具520的纵向的两端部而在左右一对，由于可以分别独立地升降，因此可以任意地设定模具520的纵向的相对于水平的倾斜角度。由此，可以使模具520的吐出口面536和基板B在模具520的纵向上大致平行。进而，通过该上下升降单元570，可以在载物台506上的基板B和模具520的吐出口面536之间设置任意大小的间隙。

在第14图中，在基台502的右侧端部，擦拭单元590沿着X方向移动自如地被安装在导轨504上。在擦拭单元590上，具有与模具520的吐出口534周边相配合的形状的擦拭头592，经由托架594安装在滑块596上。滑块596，通过驱动单元598，沿着模具520的纵向，即，垂直于X方向的水平方向自如地移动。

驱动单元598和托盘600，被固定在台车602上。台车602，位于导轨504上，被导轨504导引，并通过图未示的直线电动机可以沿着X方向自如地往复移动，因此擦拭单元590整体可以沿着X方向往复移动。在进行擦拭时，使单元590整体沿着X方向移动，并将模具520下降，使其与擦拭头592相配合。然后，当驱动驱动单元598而使擦拭头592沿着模具520的纵向滑动时，可以除去、清扫残存在模具520的吐出口附近的涂布液566和其他的污染物。

除去的涂布液566及其他的污染物用托盘600回收。托盘600，连接在图未示的排出线上，可以将积存在内部的涂布液566等液体排出、回收到外部。托盘600，还可以用于回收从模具520被排气装置等吐出的涂布液566。擦拭头592，为了可以均等地与模具520相配合，最好用橡胶等弹性体、合成树脂形成。

在基台502的左侧，测定基板B的厚度的厚度传感器620被安装在支撑台622上。厚度传感器620，最好是使用了激光的仪器。通过由厚度传感器620测定基板B的厚度，无论对于什么厚度的基板B，总能够使作为模具520的吐出口面536和基板B的空隙的间隙一定。

模具520的集管526的上游侧，经由内部通路(图未示)总是连接在与涂布液供给装置540相连的供给管560上。由此，可以从涂布液供给装置540向集管526供给涂布液。进入了集管526的涂布液566，沿着模具520的纵向被均等地扩宽而流动，经由狭缝528，从吐出口534被吐出。

涂布液供给装置540，在供给管560的上游侧，具备供给阀542、注射泵550、吸引阀544、吸引管562、容器564。在容器564内，蓄有涂布液566，并被连结在气压源568上，从而可以在涂布液566上附加任意大小的背压。

容器564内的涂布液566，通过吸引管562，被提供给注射泵550。注射泵550，具有由注射器552和活塞554构成的泵本体556。活塞554，通过图未示的驱动源可以沿着上下方向自如地往复移动。注射泵550，在具有一定的内径的注射器552内填充涂布液566，并用活塞554将其推出，然后送给模具520。注射泵550，是通过1次动作，提供与一片基板B的涂布所需的量相平衡的量的涂布液566的定容量型的泵。

当在注射器552内填充涂布液566时，打开吸引阀544，关闭供给阀542，然后使活塞554向下方移动。另外，当向模具520提供填充在注射器552内的涂布液566时，通过关闭吸引阀544，打开供给阀542，并使活塞554向上方移动的方式，用活塞554将注射器552内部的涂布液566推上并排出。为了确保阳侧的活塞554和阴侧的注射器552之间的密封性，最好将图未示的O形环安装在活塞554上。

根据控制信号动作的直线电动机、马达572、涂布液供给装置540等，全部电连接在控制装置700上。遵循组入到控制装置中的自动运转程序，将控制指令信号发送给各机器，然后进行预先设定的动作。当变更条件时，只要在操作盘702上输入适当的变更参数，并将其传达给控制装置700，便能实现运转动作的变更。

其次，说明使用了金属型涂料机501的、具有涂膜的基体材料的制造方法。

首先，当进行金属型涂料机501的各动作部的复位时，各移动部移动到预备位置。即，载物台506移动到第14图的左端部(用虚线表示的位置)，模具520移动到最上部。擦拭单元590进行移动使托盘600来到模具520的下部位置。在此，假设在从容器564到模具520的涂布液流路中，已经充满有涂布液566，并且排出模具520内部的残留空气的操作也已经结束。

这时的涂布液供给装置540的状态，是在注射器552内填充涂布液566，关闭吸引阀544，打开供给阀542，活塞554位于最下端的位置，任何时候都可以向模具520提供涂布液566。

在该状态下，首先，相对于载物台506的表面使图未示的升降销上升，从图未示的装载机将基板B载置到升降销上部。其次，使升降销下降，将基板B载置在载物台506上面并加以吸附保持。

与此同时，使涂布液供给装置540工作，在向托盘600吐出少量的涂布液566后，使擦拭单元590移动使得擦拭头592来到模具520的吐出口534的正下方的位置。然后，使模具520下降，在模具520的吐出口面536与擦拭头592相配合之后，使擦拭头592沿着模具520的纵向滑动，从而清扫模具520的吐出口534附近。清扫完成后，擦拭单元590返回到原来的地方(第14图的右端)。

接着，再次使涂布液供给装置540工作，从模具520的吐出口534吐出一定量的涂布液566。由于这时吐出的涂布液566是微小量，因此不会从吐出口534滴落到下方，而以悬挂的形式残留在吐出口534以及其周围的吐出口面536上。这时，如果在狭缝528的吐出口534附近有微小的空隙，涂布液566便被推出到吐出口534的外部。由于从吐出口534吐出的涂布液566具有沿着吐出口534的纵向顺着吐出口534流动的性质，因此即便存在由于在狭缝528中有空隙而涂布液566没有被推出的部分，也会由于涂布液566顺着该纵向流动，而使空隙部分被排除，吐出口534下部被在纵向上连结的涂布液566填满。在该吐出口534下部连结的涂布液566的自吐出口534算起的悬垂量，由于表面张力的作用在模具520纵向上被均匀化。

这里的来自于吐出口534的吐出量，用第17图说明。在第17图中，如果将包括模具520的吐出口534的面，即，吐出口面536的涂布方向长度设为Ls，将吐出口534的模具520的纵向长度设为W，将后述的吐出口面536和基板B的涂布时的间隙设为S1，这时的吐出量，理想的是用S1×Ls×W表示的容积的5％至100％，更理想的是该容积的10％至50％。如果将相对于该容积的比例设为α1，比例α1的范围被表现为0.05≤α1≤1.0。

如果吐出量少于该范围，在从吐出口534吐出涂布液566后，由于沿着纵向移动的量较少，移动速度也较低，因此实际上不能消除在其他的部分形成的空隙。如果吐出量多于该范围，则因为涂布液566从在吐出口面536和基板B之间形成的间隙溢出，使得涂布开始时的涂膜的膜厚增厚到容许值或其以上。

在从吐出口534吐出了上述的吐出量之后，必须使其待机一定时间。该时间(待机时间)，是被吐出的涂布液566从吐出口534垂下，并通过表面张力的作用在模具520纵向上被均匀化所需要的时间。待机时间，理想的是0.1秒至10秒，更理想的是0.3秒至3秒。如果比这个短，便不会被均匀化；如果比这个长，则生产间隔时间大幅度延长，因此不理想。

与以上的动作同时开始载物台506的移动。计测通过厚度传感器620的下方的基板B的厚度。当基板B的涂布开始部801到达了模具520的吐出口534的正下方的时刻，停止载物台506的移动。驱动上下升降单元570，使模具520的吐出口面536接近确保相对于基板B的预先设定的大小的间隙的位置。在该间隙的设定时，使用所测定的基板B的厚度数据。

接着，用规定速度使注射泵550的活塞554上升，在经过一定时间从模具520吐出涂布液566后，用规定速度开始载物台506的移动，开始涂布液566的向基板B的涂布，并形成涂膜。

当基板B的涂布结束部来到模具520的吐出口534的位置时，使活塞554停止，并停止涂布液566的供给，接着，驱动上下升降单元570，使模具520上升。由此，切断在基板B和模具520之间形成的液筋，涂布结束。

在这些动作中，载物台506继续移动，到了终点位置后停止，并解除基板B的吸附，然后使升降销上升，从而举起基板B。这时，由图未示的卸载机保持基板B的下面，并将基板B向下一个工序输送。

在将基板B交接给卸载机后，载物台506使升降销下降，返回到原点位置。在载物台506返回到原点位置后，以托盘600位于模具520的吐出口534的下部的方式使擦拭单元590移动。

之后，使注射泵550工作，将10μL至500μL的少量的涂布液566送入模具520，用涂布液566填满残存在模具520的内部的空隙部。

在该动作完成后，打开注射泵550的吸引阀544，关闭供给阀542，用一定速度使活塞554下降，并将容器564的涂布液566填充到注射器552内。填充完成后，活塞554停止，关闭吸引阀544，打开供给阀542，待机直到下一个新的基板B到来。对每个新的基板B重复相同的动作。

在以上的具有涂膜的基体材料的制造方法中，在涂布开始前，从模具520的吐出口534吐出微小一定量的涂布液566，在利用该涂布液566形成在狭缝528内以及吐出口534附近没有空隙的状态后，才开始涂布，因此基板B的涂布开始部801的涂膜802的形成状态，不具有第16B图所示的膜残缺803，而是均匀的。在不采用这样微小一定量的涂布液566的吐出的情况下，如第16A图所示，基板B的涂布开始部801的涂膜802的形成状态，便成为具有膜残缺803的状态。如果在该状态下继续涂布，膜残缺803便形成线条疵点804。

在上述的实施形态中，说明了通过使弹性体制成的擦拭头592配合在模具520的吐出口534附近并使其滑动，来清扫模具520的吐出口534附近的方式，但也可以采用以布料或用溶剂湿润了的布料擦拭模具520的吐出口534附近的方式。

其次，对本发明的具有涂膜的基体材料的制造方法的另一形态进行说明。

在第14图的金属型涂料机501中，首先，从将涂布液566填充在从容器564到模具520的涂布液流路中，到将载物台506、模具520、擦拭单元590配置在预备的位置为止，与使用第14图的金属型涂料机501的上述具有涂膜的基体材料的制造方法完全相同。

对于这以后的载物台506、模具520、注射泵550的动作，参照第15图的时间图来说明。确认擦拭单元590移动到了基台502的右端，然后开始载置了基板B的载物台506的移动。这时，模具520位于离进行涂布的位置较远的上方的擦拭位置，另一方面，注射泵550待机并仍然停止。然后，当基板B通过厚度传感器620的下方时，测定基板B的厚度。当基板B的涂布开始部801到达了模具520的吐出口534的正下方时，使载物台506的移动停止。这时，利用测定的基板B的厚度数据，驱动上下升降单元570，然后以模具520的吐出口面536和基板B之间的间隙成为预先设定的第1间隙的方式使模具520下降到第1下降位置。然后，驱动注射泵550，从模具520的吐出口534吐出一定量的涂布液566，形成液筋。在经过一定时间后，以模具520的吐出口面536和基板B之间的间隙成为第2间隙的方式使模具520沿着上下方向移动到第2下降位置。第2间隙，最好是为了维持一度形成的液筋而设定。然后，在该状态下使注射泵550的活塞554以规定速度上升，从模具520吐出涂布液566，在一定时间后当液筋生长成规定的大小后，以规定速度开始载物台506的移动，并开始涂布液566的向基板B的涂布，在基板B上形成涂膜。

这时，来自于模具520的涂布液566的吐出，和载物台506与模具520的相对移动开始，可以是同时，也可以将载物台506与模具520的相对移动开始这一方提前。

注射泵550的活塞554达到规定速度的时间，和载物台达到规定速度的时间，可以是任意的，但理想的是同时，或载物台506达到规定速度是较慢的一方。

接着，当基板B的涂布结束部来到了模具520的吐出口534的位置时，使活塞554停止，然后停止涂布液566的供给，之后，残存在模具520的吐出口面536和基板B之间的涂布液的一部分，随着基板B的移动，被转印在基板B上，即所谓的刮拖涂布的状态。之后，驱动上下升降单元570，从而使模具520上升。由此，切断形成在基板B和模具520之间的液筋，涂布结束。

载物台506在这段期间内也继续动作，当来到了终点位置时，停止，并解除基板B的吸附，然后使升降销上升，从而抬起基板B。这时，由图未示的卸载机保持基板B的下面，并将基板B输送到下一个工序。在将基板B过渡到卸载机上之后，载物台506使升降销下降，并返回到原点位置。当载物台506返回到原点位置后，使擦拭单元590移动以使托盘600位于模具520的吐出口534的下部。

之后，使注射泵550工作，给模具520送入10μL至500μL的少量的涂布液566，并用涂布液566填满残存在模具520内部的空隙部。

在该动作完成后，使注射泵550工作，将涂布液566填充在注射器552内。填充完成后，使活塞554停止，使吸引阀544处于关闭的状态，使供给阀542处于打开的状态，然后待机直到下一个新的基板B到来。对每个新的基板B重复相同的动作。

在该涂布中，第1间隙最好是20μm至200μm，第2间隙最好是40μm至300μm。

在设定第1间隙后，通过模具520的吐出口534吐出一定量的涂布液566，由此，即便在狭缝528的吐出口534附近有微小的空隙，(a)空隙，被推出到吐出口534的外部，(b)从吐出口534吐出的涂布液566，通过一种毛细现象，沿着模具520的纵向，顺着形成在吐出口面536和基板B之间的间隙流动。由此，狭缝528的空隙被涂布液566推出，假设即便在吐出口534附近的吐出口面536和基板B之间的间隙内残留有空隙，也被利用毛细管现象顺着移动来的涂布液566从间隙排出。由此，在吐出口面536和基板B之间，沿着纵向形成涂布液566的连续的液筋，因此空隙不会给之后的涂布造成影响。

这里的来自于吐出口534的吐出量，用第17图说明。在第17图中，如果将模具520的吐出口面536的涂布方向(箭头的方向)长度设为Ls，将吐出口面536和基板B之间的第1间隙设为S2，将吐出口534的纵向长度设为W，该空间的容积V被表示为V＝Ls×S2×W。这时的吐出量，理想的是容积V的5％至100％，更理想的是10％至50％。如果将相对于该容积V的比例设为α2，则比例α2的范围被表现为0.05≤α2≤1.0。

根据由此规定的涂布液566的吐出量，在吐出口面536和基板B之间，形成涂布液566连结成的液筋630。如果涂布液566的吐出量小于该范围，涂布液566利用毛细现象沿着模具纵向流动的速度变得非常慢，涂布的生产间隔时间也变慢。另一方面，如果大于该范围，涂布液566沿着模具520纵向很快流动，虽然排出空隙的时间被大幅度缩减，但相反，涂布液566会从由吐出口面536和基板B形成的狭缝部溢出，从而存在不能正常地进行以后的涂布的情况。

如果第1间隙小于上述的范围，由于基板B的厚度不匀，存在基板B和吐出口面536碰撞的情况。如果第1间隙大于上述范围，则涂布液566利用毛细现象顺着在基板B和吐出口面536之间形成的狭缝部移动的速度变得极小，存在不能在短时间内利用涂布液566消除空隙，从而使涂布液566连结而形成液筋的情况。进而，如果第2间隙小于上述范围，则在涂布时作用于涂布液566的剪切力变大，存在在涂布时会出现膜残缺等缺点的情况。如果第2间隙大于上述范围，则存在由第1间隙形成的液筋被切断，并出现在涂布开始部801上没有涂布涂布液566的膜残缺803的情况。

第1间隙的大小，可以与第2间隙的大小相同，但理想的是第1间隙的大小小于第2间隙的大小。

在第1间隙的大小比第2间隙的大小小的情况下，由相对于从吐出口534吐出的涂布液566的毛细现象的效果实现的模具纵向的涂布液566的流动速度变快。另外，通过第2间隙增大，在吐出口面536和基板B之间形成的狭缝部所容许的上限涂布液吐出量变大，控制涂布开始部801的膜厚的操作机器变大，更容易进行涂布开始部801的膜厚控制。

相反，如果减小第2间隙的大小，存在发生在吐出口面536和基板B之间的狭缝部形成的涂布液566的积存处的容许容积变小，剩余的涂布液566溢出，从而污染基板B的没有被涂布的部分等不良状况的情况。

设定第1间隙，然后从吐出口534吐出一定量的涂布液566，在一定时间待机后，便可以设定第2间隙，但该待机时间，理想的是0.1秒至10秒，更理想的是0.3秒至3秒。如果比这短，涂布液566利用毛细现象顺着在基板B和吐出口面536之间形成的狭缝部消除空隙，然后使涂布液566连结而形成液筋的时间不够充分；如果比这长，存在生产间隔时间大幅度延长，成为生产性提高的阻碍原因的情况。

如以上所述，通过设定第1间隙然后吐出一定量的涂布液566，将狭缝528内的空隙排出到吐出口534外，同时在吐出口534附近残存在模具520外的空隙，通过毛细现象的效果，被沿着模具纵向移动的涂布液566进一步排除，因此涂布液566很容易地形成填满吐出口面536和基板B之间的狭缝部的、沿着纵向连结的液筋。

在能够维持该液筋的第2间隙的基础上，当接着开始涂布时，如第16A图所示，在涂布开始部801上不产生膜残缺803，如第16B图所示，从涂布开始部801开始没有涂布疵点地涂布涂布液566。通过消除膜残缺803，可以缩小以膜残缺803为起点而产生的线条疵点803，进而，因由膜残缺803产生的膜厚不均匀的存在而产生的非制品部分区域。

由于该方法可以无关于涂布液的种类和涂布量而适用，因此如果采用该方法，没必要为了消除涂布开始部的没有被涂布的部分而改变涂布液的组成和固体含量，或增大涂布量。特别是，可以完全消除由于增大涂布量，在到涂布后的干燥为止的区间内涂布液因基板倾斜而流动，从而妨碍了膜厚均匀性这样的不良状况。

另外，该方法，还可以适用于为了消除涂布开始部801的膜残缺803而使用于对辊子的预备涂布的涂料机，由于由此可以完全去掉对辊子的预备涂布，因此可以去掉伴随预备涂布的无用的涂布液的消费，同时仅是不进行预备涂布，就可以谋求生产间隔时间的短缩化。

该方法可以适用的涂布液566的粘度，理想的是1mPa·s至1,000mPa·s，更理想的是1mPa·s至50mPa·s。从涂布性来看，涂布液566最好是牛顿流体，但也可以是具有触变性的涂布液。尤其是当涂布在溶剂中使用了高挥发性的物质，例如，PGMEA、醋酸丁酯、乳酸乙酯等涂布液时，该方法很有效。

具体作为可以适用的涂布液566，除了滤色片用的黑底、彩色像素形成用涂布液之外，还有抗蚀剂液、护膜材料等。作为基板的被涂布部件，除了玻璃板之外，还有铝等的金属板、陶瓷板、硅片等。

使用的涂布状态和涂布速度，理想的是0.1m/分至10m/分，更理想的是0.5m/分至6m/分。模具的模唇间隙的间隙宽度，理想的是50μm至1,000μm，更理想的是80μm至200μm。在湿的状态下的涂布厚度，理想的是1μm至50μm，更理想的是2μm至20μm。尤其是，当湿的状态下的涂布厚度在20μm或其以下时，本发明的效果很显著。

其次，用具体的实施例进一步说明本发明。

实施例1、和比较例1以及2：

在宽度360mm×长度465mm×厚度0.7mm的无碱玻璃基板上，用在基板的宽方向上间距为254μm、在基板的纵向上间距为85μm、线宽为20μm、RGB像素形状数为4,800(基板纵向)×1,200(基板宽方向)、对角的长度为508mm(20英寸)(在基板宽方向上是305mm、在基板纵向上是406mm)的格子形状，制作厚度为1μm的黑底膜。

黑底膜，是将钛酸氮化物作为遮光材料，将聚酰胺酸作为粘合剂使用的。

接着，通过湿清洗，除去基板上的微粒。接着，将聚酰胺酸制成粘合剂，将γ-丁内酯、N-甲基-2-吡咯烷铜、和3-甲基-甲氧基丁酸的混合物制成溶剂，将颜料红177制成颜料，用固体含量10％混合，进而，准备将粘度调整到50mPa·s的R色的涂布液。

通过分别安装了第1图所示的本发明的狭缝模具1(实施例1)、第12图所示的以往的狭缝模具301(比较例1)、以及第13图所示的以往的狭缝模具401(比较例2)的第9图所示的金属型涂料机21，在以下所示的涂布条件下，将前述准备的涂布液涂布在玻璃基板整面上。

将用各个狭缝模具涂布完成的基板，用使用了加热板的干燥装置，在100℃下干燥20分钟。用干涉示非接触膜厚计在基板整面上测定干燥后的基板的涂膜的膜厚精度。在表1中展示了该测定结果。再者，表1中展示的涂布厚度精度，是将涂布厚度不匀的最大偏差除以涂布厚度的平均值，并用百分率(％)表示的。

涂布条件：

涂布厚度：20μm、涂布速度：3m/分、间隙：100μm

实施例1的狭缝模具中的各零件的概略形状尺寸和主要精度等如下。

第2模唇2：

外形尺寸：宽度400mm×高度75mm×厚度30mm

前端18的长度LA：0.5mm

内面17a的平面度：1.5μm

集管12的形状：宽度358mm×深度4mm的T型

模唇间隙13的吐出方向的长度Ld：30mm

第1模唇3：

第1部件4的外形尺寸：宽度400mm×高度35mm×厚度30mm

第2部件5的外形尺寸：宽度400mm×高度40mm×厚度30mm

第1部件4的内面15a的平面度：1.4μm

第2部件5的内面15b的平面度：1.5μm

阶梯部件10的外形尺寸：宽度26mm×高度26mm×厚度14mm

阶梯部件10的个数和配置间隔：8个、27mm

阶梯部件10的阶梯面10a、10b的表面粗糙度：0.5S

前端19的长度LB：0.05mm

第1模唇3的阶梯H，是通过研磨使8个阶梯部件10的各阶梯差h微小地变化来进行微调整，直到阶梯差H的最大偏差在整个纵向上在涂布宽度的范围内达到0.2μm为止。平均阶梯差H，是101.5μm。并且，设定2片厚度101.3μm的不锈钢制密封板6a、6b的间隔Lw使得吐出宽度为358mm，并以这样的方式对该二者进行填充，将第2模唇2和第1模唇3组合在一起。由此，形成了间隙宽度Lg的大小为101.5μm的模唇间隙13。这时的模唇间隙精度，是0.4μm。

对于比较例1以及2的以往的狭缝模具，将吐出宽度、模唇前端的形状、集管形状、模唇间隙的吐出方向的长度设为与实施例1的狭缝模具相同。其他的各零件的形状尺寸和精度如下。

比较例1：

右侧模唇302以及左侧模唇303的外形尺寸：宽度400mm×高度75mm×厚度30mm

右侧模唇302的内面的平面度：1.3μm

左侧模唇303的内面的平面度：1.4μm

隔片304的厚度(模唇间隙312的大小L)：101μm

模唇间隙精度：2.8μm

比较例2：

右侧模唇402以及左侧模唇403的外形尺寸：宽度400mm×高度75mm×厚度30mm

右侧模唇402的阶梯差(模唇间隙412的大小L)：103.3μm

右侧模唇402的阶梯差的偏差：1.2μm

左侧模唇403的内面的平面度：1.3μm

模唇间隙精度：1.4μm

                                    表1

	实施例1	比较例1	比较例2
				模唇间隙精度(μm)	0.4	2.8	1.4
涂布厚度精度(％)	1.0-2.5	6.0-7.0	4.0-5.0

通过表1可以明白，在本发明的狭缝模具(实施例1)中，实现了超微级的模唇间隙精度。另外，涂膜的厚度精度，与比较例1和比较例2相比，有飞越性的提高。

其次，在干燥的R色的涂膜上，涂布厚度10μm的固体含量10％、粘度8mPa·s的抗蚀剂液。涂布后，用90℃的加热板干燥10分钟。干燥后，进行曝光·显影·剥离，只在R像素部上残留彩色涂膜，用260℃的加热板加热30分钟，进行了固化(キユア)。

对于与G、B色同样的彩色涂膜的形成，利用实施例1的狭缝模具和金属型涂料机，用与R色同样的涂布条件以及相同的工序，分别制成彩色涂膜。

在此，在G色的涂布液中，采用了将R色的涂布液的颜料改为颜料绿36，将固体含量调整到10％，并将粘度调整到40mPa·s的材料。在B色的涂布液中，采用了将R色的涂布液的颜料改为颜料蓝15，将固体含量调整到10％，并将粘度调整到50mPa·s的材料。

最后，用喷溅使ITO附着，制作滤色片。得到的滤色片具有在基板整面上极为均匀且没有不匀的色度，品质上是无可挑剔的。

实施例2、和比较例3以及4：

在宽度340mm×长度440mm×厚度2.8mm的苏打玻璃基板上的整面上，将感光性银胶网板印刷成5μm的厚度。之后，经过用光掩模曝光、显影以及烧成等各工序，形成间隔220μm、条纹状的1,920根银电极。在该电极上，网板印刷了由玻璃和粘合剂构成的玻璃胶。之后，烧成基板，然后形成了介质层。

其次，在第9图所示的金属型涂料机21上顺次安装第4图所示的狭缝模具101(实施例2)、第11图所示的以往的狭缝模具201(比较例3)、以及第12图所示的以往的狭缝模具301(比较例4)。

用这些金属型涂料机21，将由玻璃粉末和感光性有机成分构成的粘度20,000mPa·s的感光性玻璃胶，涂布在基板上，其中涂布厚度是300μm，涂布速度是1m/分，间隙是350μm。涂布后，用移栽机从金属型涂料机21取出基板，然后投入到使用了辐射加热器的干燥炉中，用100℃干燥20分钟。干燥后，用激光聚焦式非接触膜厚计在基板整面上测定形成在基板上的涂膜的厚度精度。在表2中展示了该测定结果。再者，表2中展示的涂布厚度精度，是将涂布厚度不匀的最大偏差除以涂布厚度的平均值，并用百分率(％)表示的。

实施例2的狭缝模具101的概略形状尺寸和主要精度等如下。

第2模唇2：

外形尺寸：宽度470mm×高度100mm×厚度50mm

前端18的长度LA：2.5mm

内面17a的平面度：1.3μm

集管12的形状：宽度450mm×深度20mm的T型

模唇间隙13的吐出方向的长度Ld：20mm

第1模唇3：

第1部件4的外形尺寸：宽度490mm×高度100mm×厚度50mm

第2部件5的外形尺寸：宽度490mm×高度100mm×厚度50mm

第1部件4的内面15a的平面度：2.3μm

第2部件5的内面15b的平面度：1.5μm

平坦部件110的外形尺寸：宽度40mm×高度35mm×厚度18mm

平坦部件110的表面粗糙度：0.8S

平坦部件110的个数和配置间隔：5个、70mm

隔片111的尺寸：宽度40mm×高度15mm

隔片111的各厚度：501.0μm至501.8μm

前端19的长度LB：1.0mm

第1模唇3的阶梯，是通过研磨使5个隔片111的各厚度微小地变化来进行微调整，直到阶梯差H的最大偏差在纵向上在全部涂布宽度的范围内达到0.4μm为止。平均阶梯差H，是501.2μm。并且，以吐出宽度成为430mm的方式填充2片厚度501.3μm的不锈钢制密封板6a、6b并设定其间隔Lw，将第2模唇2和第1模唇3组合在一起。由此，形成了间隙宽度Lg的大小为501.6μm的模唇间隙13。这时的模唇间隙精度是0.5μm。

对于比较例3以及4的以往的狭缝模具，将吐出宽度、模唇前端的形状、集管形状、模唇间隙的吐出方向的长度设为与实施例2的狭缝模具相同。其他的各零件的形状尺寸和精度如下。

比较例3：

右侧模唇202以及左侧模唇203的外形尺寸：宽度490mm×高度100mm×厚度50mm

右侧模唇202的内面的平面度：1.7μm

左侧模唇203的内面的平面度：2.2μm

模唇之间的间隙L的平均值(模唇间隙212的大小L)：503.4μm

模唇间隙精度：8.3μm

比较例4：

右侧模唇302以及左侧模唇303的外形尺寸：宽度490mm×高度100mm×厚度50mm

右侧模唇302的内面平面度：1.8μm

左侧模唇303的内面的平面度：1.4μm

隔片304的厚度(模唇间隙312的大小L)：498μm

模唇间隙精度：5.0μm

                                 表2

	实施例2	比较例3	比较例4
				模唇间隙精度(μm)	0.5	8.3	5.0
涂布厚度精度(％)	0.5-1.0	7.0-8.0	4.0-5.0

从表2可以明白，在本发明的狭缝模具(实施例2)中，也实现了超微级的模唇间隙精度。另外，涂膜的厚度精度，与比较例3和比较例4相比，有飞越性的提高。

将用本发明的狭缝模具(实施例2)涂布涂液并制作的基板，用以在相邻的电极之间形成隔壁的方式设计的光掩模进行曝光，接着，进行显影和烧成，在各区域内形成间隔220μm、线宽30μm、高度130μm的1,921根隔壁。

之后，利用网板印刷顺次涂布R、G、B的荧光体胶，在80℃、15分钟的干燥后，最后进行460℃、15分钟的烧成，制作等离子显示器的背面板。得到的等离子显示器的背面板的品质无可挑剔。其次，将该等离子显示器的背面板和前面板合在一起，密封后，封入Xe5％、Ne95％的混合气体，并连接驱动电路。当驱动得到的等离子显示器时，确认是没有缺陷的、画质良好的等离子显示器。

实施例3：

用第14图所示的金属型涂料机501制造滤色片。在模具520中，将吐出口534的纵向长度设为360mm，将吐出口面536的涂布方向长度设为0.5mm，将狭缝528的间隙宽度设为100μm。该模具520，是能够在基板B上形成360mm宽度的涂膜的装置。

首先，清洗宽度360mm×长度465mm×厚度0.7mm的无碱玻璃基板。清洗后，将模具520和基板B之间的间隙设为100μm，将涂布速度设为3m/分，然后在基板B上涂布黑底用涂布液。

该涂布，是在用与吐出口形状相同形状的有机硅橡胶擦拭模具520的吐出口534附近后，在停止的基板B的涂布开始部，以成为100μm的间隙的方式使模具520接近基板B来进行。另外，该涂布，通过如下的方式进行，即从注射泵550送出以湿的厚度为10μm进行涂布的涂布液566，在从泵送液开始0.5秒后，开始基板的移动。

使用的黑底用涂布液，由酞酸氮化物的遮光材料、丙烯酸树脂的粘合剂、PGMEA的溶剂构成，是将固体含量调整到10％，将粘度调整到10mPa·s的具有感光性的液体。

由于形成的涂膜的厚度较小，因此在涂布开始部沿着基板的宽方向产生了5处膜残缺(没有涂布涂布液的部位)。为了消除该缺陷，在用与吐出口形状相同形状的有机硅橡胶擦拭模具520的吐出口534后，在停止的基板B的涂布开始部，使模具520以存在50μm的间隙的方式接近基板B，吐出5μL的黑底用涂布液，并使其待机3秒。

之后，使模具520和基板B之间的间隙成为100μm，并使其待机0.1秒。在该待机后，从注射泵550送出可进行湿的厚度为10μm的涂布的量的涂布液566，在泵送液开始0.2秒后，开始基板B的移动。由此，涂布开始部的膜残缺(没有涂布涂布液的部位)全部消除。涂布的生产间隔时间是30秒。

形成了涂膜的基板，用100℃的加热板干燥10分钟。干燥后，进行基板的曝光·显影·剥离处理。之后，用260℃的加热板加热30分钟，进行固化。

得到的基板，是在基板的宽方向上的间隔为254μm、在基板的纵向上的间隔为85μm、线宽为20μm、RGB像素数为4,800(基板纵向)×1,200(基板宽方向)、对角的长度为508mm(20英寸)(在基板宽方向上是305mm、在基板纵向上是406mm)的格子形状，具有厚度为1μm的黑底膜。再者，在干燥后的格子形状形成前的状态下，测定涂布厚度时，除了端部的10mm，在基板的扫描方向、宽方向上，厚度不匀相对于中央值都在±3％或其以下。

在将形成了黑底膜的基板湿洗后，在基板上涂布R色用涂布液，其中将模具520和基板B之间的间隙设为100μm，将涂布速度设为3m/分，将涂布厚度设为20μm。

R色用涂布液，是由丙烯酸树脂的粘合剂、PGMEA的溶剂、颜料红177的颜料构成，将它们以固体含量10％混合，粘度调整为5mPa·s的感光性的涂布液。

涂布后的基板在用90℃的加热板干燥10分钟后，进行曝光·显影·剥离处理，只在R像素部残留厚度2μm的R色涂膜，用260℃的加热板加热30分钟，进行固化。

接着，在形成了黑底以及R色的涂膜的基板上，涂布G色用涂布液，其中将厚度设为20μm，将模具520和基板B之间的间隙设为100μm，将涂布速度设为3m/分。在该涂布后，用100℃的加热板将基板干燥10分钟后，进行曝光·显影·剥离处理，只在G色像素部残留厚度为2μm的G色涂膜，用260℃的加热板加热30分钟，进行固化。

进而，在形成了黑底、R色以及G色的涂膜的基板上，涂布B色用涂布液，其中将涂布厚度设为20μm，将模具520和基板B之间的间隙设为100μm，将涂布速度设为3m/分。在该涂布后，用100℃的加热板将基板干燥10分钟后，进行曝光·显影·剥离处理，只在B色像素部残留厚度为2μm的B色涂膜，用260℃的加热板加热30分钟，进行固化。

再者，G色用涂布液，是将R色用涂布液的颜料改为颜料绿36，然后将固体含量调整到10％，将粘度调整到10mPa·s的液体。另外，B色用涂布液，是将R色用涂布液的颜料改为颜料蓝15，然后将固体含量调整到10％，将粘度调整到10mPa·s的液体。

R、G、B色涂布液的涂布，都是通过以下的方式进行的，即在用有机硅橡胶擦拭模具520的吐出口534附近后，在停止的基板B的涂布开始部，以存在100μm的间隙的方式使模具520接近基板B，从注射泵550送出与湿的厚度20μm相当的量的涂布液，在泵送液开始0.3秒后，开始基板B的移动。涂布的生产间隔时间是30秒。

得到的基板的涂膜的品质，是无可挑剔的。对于涂膜的膜厚分布，在干燥后，对各色进行测定时，除了端部10mm以外，在基板的扫描方向、宽方向上，厚度不匀相对于中央值都在±3％或其以下。

最后，在得到的基板上，用喷溅使ITO附着。用该制造方法，制造1,000片滤色片。在得到的各滤色片上，没有涂布不匀，各滤色片的色度在基板整面上都均匀，各滤色片在品质上无可挑剔。

工业上的可利用性

根据本发明，在具有涂膜的基体材料的制造中，由于实现了昂贵的涂布液的无效使用量的大幅度削减，获得了制造成本的降低；由于能够实现向越来越大型化的基体材料的涂布液的均匀，获得了制造的经济性的提高；或者，由于实现了生产间隔时间的短缩，获得了生产性的提高。

根据本发明，改善了以往金属型涂料机的优点不能充分发挥的问题点，无损于因涂布液的密封性良好而带来的金属型涂料机的优点，提供了用于具有稳定的涂膜的膜厚精度、具有极高品质的涂膜的基体材料的制造的狭缝模具、和具有使用了它的涂膜的基体材料的制造方法以及制造装置。

本发明，特别是有利于向薄片类型的被涂布材料的涂膜的形成，在彩色液晶显示器用滤色片、TFT用阵列基板、等离子显示器用背面板和前面板、光学滤波器、印制电路板等的显示器用部件、和集成电路、半导体等薄片涂敷制品的制造中，被广泛使用。

Claims (19)

1.一种狭缝模具，该狭缝模具具备第1模唇和第2模唇，所述第1模唇和前述第2模唇，以所述第1模唇的内面和所述第2模唇的内面相对的状态通过模唇连结要件而被一体化，通过这些相对的内面的一部分置以间隔地配置，从而形成液体供给路和沿着所述模唇的纵向延伸的模唇间隙，所述模唇间隙的下端，形成向外方打开的吐出口，所述模唇间隙的纵向的两侧端，相对于外方被封闭，所述模唇间隙的上端，连接在所述液体供给路上；其特征在于：

(a)所述第1模唇具备第1部件和第2部件；并具有

(b)可以调整与所述第1模唇的形成所述模唇间隙的面相垂直的方向上的所述第1部件和所述第2部件的相对位置地，使所述第1部件和所述第2部件相配合的部件配合要件；

(c)在调整所述相对位置后，将所述第1部件和所述第2部件连结并一体化的部件连结要件；

(d)配合在与所述第1模唇的所述内面相反一侧的所述第1部件的外面和所述第2部件的外面上，规定所述第1部件和所述第2部件的所述相对位置的定位要件；

(e)将所述定位要件固定在所述第1模唇上的定位要件的固定要件；

(f)通过所述定位要件和所述定位要件的固定要件，可以调整所述模唇间隙的纵向上的间隙宽度分布。

2.如权利要求1所述的狭缝模具，其中，所述定位要件，沿着所述模唇的纵向相隔有间隔地设定多个。

3.如权利要求1所述的狭缝模具，其中，所述定位要件，具备定位部件，该定位部件，具有与所述第1部件的外面和所述第2部件的外面中的至少一方的外面相接触的位置规定面，在存在不与另一方的外面接触的部位的情况下，具有与该部位和该外面相配合的位置规定辅助装置。

4.如权利要求3所述的狭缝模具，其中，所述定位部件的所述位置规定面的表面粗糙度的最大高度Ry是0.1S至1.0S。

5.如权利要求4所述的狭缝模具，其中，所述第1部件以及所述第2部件的与形成所述模唇间隙的面相垂直的方向的厚度，分别是30mm或其以上，所述定位部件的沿着所述位置规定面的方向的剖面形状是四边形，该四边形的所述模唇的纵向的长度，是20mm至100mm，与该纵向垂直的方向的长度，是20mm至100mm，至少所述位置规定面所位于的部位的所述定位部件的厚度，是所述第2部件的厚度的30％或其以上。

6.如权利要求5所述的狭缝模具，其中，所述定位部件，沿着所述模唇的纵向相隔有间隔地设置多个。

7.如权利要求1所述的狭缝模具，其中，所述第2模唇，具有与所述第1模唇同样的结构。

8.如权利要求1所述的狭缝模具，其中，所述第1部件的内面和所述第2模唇的内面，相接触地配置，或者填充隔片而配置，在所述第2部件的内面和所述第2模唇的内面之间形成所述模唇间隙。

9.如权利要求8所述的狭缝模具，其中，与所述第1部件的内面相对的所述第2模唇的内面，和形成所述模唇间隙的所述第2模唇的内面，实质上位于同一平面内。

10.如权利要求8所述的狭缝模具，其中，与所述第2模唇的内面相对的所述第1部件的内面，和形成所述模唇间隙的所述第2部件的内面，实质上位于同一平面内。

11.一种具有涂膜的基体材料的制造方法，其中，使用权利要求1至10的任意一项所述的狭缝模具，向该狭缝模具的所述液体供给路提供涂布液，经过所述模唇间隙从所述吐出口吐出所述涂布液，同时使相对于所述吐出口相隔有间隔地配置的被涂布部件和所述狭缝模具中的至少一方相对地移动，将从所述吐出口吐出的所述涂布液涂布在所述被涂布部件上，在所述被涂布部件上形成由所述涂布液构成的涂膜。

12.如权利要求11所述的具有涂膜的基体材料的制造方法，其中，包括从所述狭缝模具的所述吐出口吐出一定体积Q1的所述涂布液的第1步骤；在第1步骤结束后，待机一定时间Ts的第2步骤；在第2步骤结束后，使所述吐出口相对于所述被涂布部件移动，在两者之间形成间隙S1的第3步骤；在第3步骤结束后，从所述吐出口吐出所述涂布液，同时使所述被涂布部件相对于所述狭缝模具相对地移动，从而在所述被涂布部件上形成涂膜的第4步骤。

13.如权利要求12所述的具有涂膜的基体材料的制造方法，其中，将包含所述吐出口在内的面的涂布方向长度设为Ls，将所述吐出口的纵向的长度设为W，将所述间隙设为S1，以及，将系数设为α1，当该系数α1在0.05≤α1≤1.0的范围内时，所述一定体积Q1，满足Q1＝α1×S1×Ls×W的关系。

14.如权利要求11所述的具有涂膜的基体材料的制造方法，其中，包括使所述狭缝模具的所述吐出口相对于处于静止状态的所述被涂布部件移动，在两者之间形成间隙S2的第1步骤；在第1步骤结束后，从所述吐出口吐出一定体积Q2的所述涂布液的第2步骤；在第2步骤结束后，待机一定时间Ts的第3步骤；在第3步骤结束后，从所述吐出口吐出所述涂布液，同时使所述被涂布部件相对于所述狭缝模具相对地移动，从而在所述被涂布部件上形成涂膜的第4步骤。

15.如权利要求11所述的具有涂膜的基体材料的制造方法，其中，包括使所述狭缝模具的所述吐出口相对于处于静止状态的所述被涂布部件移动，在两者之间形成间隙S3的第1步骤；在第1步骤结束后，从所述吐出口吐出一定体积Q的所述涂布液的第2步骤；在第2步骤结束后，待机一定时间Ts的第3步骤；在第3步骤结束后，使所述狭缝模具的所述吐出口相对于处于静止状态的所述被涂布部件再次移动，在两者之间形成第2间隙S4的第4步骤；在第4步骤结束后，从所述吐出口吐出所述涂布液，同时使所述被涂布部件相对于所述狭缝模具相对地移动，从而在所述被涂布部件上形成涂膜的第5步骤。

16.如权利要求15所述的具有涂膜的基体材料的制造方法，其中，所述第1间隙S3的大小，小于所述第2间隙S4的大小。

17.如权利要求14所述的具有涂膜的基体材料的制造方法，其中，将包含所述吐出口在内的面的涂布方向长度设为Ls，将所述吐出口的纵向的长度设为W，将所述间隙设为S2，以及，将系数设为α2，当该系数α2在0.05≤α2≤1.0的范围内时，所述一定体积Q2，满足Q2＝α2×S2×Ls×W的关系。

18.一种具有涂膜的基体材料的制造装置，其中，包括如下的装置：权利要求1至10的任意一项所述的狭缝模具；与该狭缝模具的所述液体供给路相配合的涂布液供给装置；将供给到所述液体供给路的涂布液经由所述狭缝间隙从所述吐出口吐出的涂布液吐出装置；使相对于所述吐出口相隔有间隔地配置的被涂布部件和所述狭缝模具的至少一方相对地移动，将从所述吐出口吐出的所述涂布液涂布在所述被涂布部件上，在所述被涂布部件上形成由所述涂布液构成的涂膜的涂膜形成装置。

19.如权利要求18所述的具有涂膜的基体材料的制造装置，其中包括：从所述狭缝模具的所述吐出口吐出一定量的所述涂布液的装置；在吐出所述一定量的所述涂布液后，使其经过一定的待机时间的装置；在经过该待机时间后，使相对于所述吐出口相隔有间隔地配置的被涂布部件和所述狭缝模具的至少一方相对地移动，将从所述吐出口吐出的所述涂布液涂布在所述被涂布部件上，在所述被涂布部件上形成由所述涂布液构成的涂膜的涂膜形成装置。

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