CN1550333A - 液滴喷出装置及方法、电光装置及其制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明的液滴喷出装置(1)通过从排列在功能性液滴喷出头(5)上的喷嘴列(6)中选择性地喷出功能性液体，在工件(W)上进行描绘，该装置带有下述部件：由线性标尺(52)和面对该线性标尺的线性传感器(51)构成的线性编码器(50)、基于线性传感器对线性标尺的计数结果，驱动控制从喷嘴列中喷出功能性液体的驱动控制机构，其中上述线性标尺(52)由在工件上形成标记的标记列构成，线性标尺带有基准标记(M1)，该基准标记(M1)示出了排列在垂直于线性传感器的检测方向的方向上的各描绘区域列的检测开始位置，该基准标记以与其它标记不同的形态形成标记。由此，即使当温度变化引起工件的尺寸发生变化时，也能保持功能性液体的喷出精度。

Description

液滴喷出装置及方法、电光装置及其制造方法

技术领域

本发明涉及从排列在功能性液滴喷出头上的喷嘴列中选择性地喷出功能性液体，从而在工件上进行描绘的液滴喷出装置、液滴喷出方法、电光装置的制造方法、电光装置、电子设备及基板。

背景技术

一直以来，由于采用喷墨方式的打印头的喷墨打印机(液滴喷出装置)可高精度地点状地喷出微小的墨滴(功能性液体)，因此有望在各种部件的制造领域广泛应用。近年来，在例如，有机EL显示装置及液晶显示装置等的所谓平面显示装置的制造方法中也有所使用，向玻璃基板(工件)上喷出发光材料及滤光材料等的功能性液体，形成有机EL(场致发射)显示装置中的各像素的EL发光层和空穴注入层等，并形成液晶显示装置中的R、G、B的滤光元件等(参照例如日本专利文献1)。此时，为了喷出被堤坝(bank)隔开的微小腔室内的功能性液体，要进行包含喷出位置及喷出时刻在内的更高精度的喷出控制。但在这种显示装置的制造方法中，一般来说，并不是在使负载打印头的滑架或工件低速动作的前提下，计数控制电路内的时钟数地进行喷出控制，而是采用编码器(旋转编码器或线性编码器)，检测出滑架或工件的位置，基于其检测结果(编码器信号的输出)进行喷出控制。

日本专利文献1：特开平10-12377号公报

制造上述有机EL显示装置及液晶显示装置时，如上所述地基于编码器信号，控制墨水的喷出时刻，从而对打印头侧的喷出精度进行一定程度的补偿，由于大多采用玻璃基板作为基板，温度变化引起的热膨胀会导致基板的尺寸发生改变，结果出现功能性液体击打在偏离所需喷出位置的位置上的问题。

因此，采用例如线性编码器时，提出下述对策：用与玻璃基板相同的材料构成线性标尺，对热膨胀引起的位置偏移进行补正，但是根据玻璃的大小和厚度的不同等，相互的膨胀率有所差异。并且，由于线性标尺主要设在搭载玻璃基板的移动台的侧部等处，由于温度分布的不同，玻璃基板与线性标尺的设置位置处的膨胀率也有所变化。因此，采用由玻璃等的温度变化产生热膨胀及变形的材质而构成的基板时，即使采用线性编码器，也难以消除温度变化所导致的喷出位置的偏移。

发明内容

本发明正是鉴于上述问题作出的，目的在于提供即使温度变化导致基板尺寸发生变化时，也能保持功能性液体的喷出精度的液滴喷出装置、液滴喷出方法、电光装置的制造方法、电光装置、电子设备及基板。

本发明提供一种液滴喷出装置，该装置通过从排列在功能性液滴喷出头上的喷嘴列中选择性地喷出功能性液体，在工件上进行描绘，该装置带有下述部件：将前述功能性液滴喷出头搭载在滑架上的喷出头单元、实现前述喷出头单元与工件之间的相对移动的移动机构、由线性标尺和面对该线性标尺的线性传感器构成的线性编码器、基于前述线性传感器对前述线性标尺的计数结果，驱动控制从前述喷嘴列中喷出功能性液体的驱动控制机构，其中上述工件设有矩阵状配置的多个描绘区域和划分该描绘区域的非描绘区域，上述线性标尺由在前述工件上连续地形成标记的标记列构成，上述线性编码器检测前述喷出头单元与前述工件之间的相对移动位置，前述线性标尺带有基准标记，该基准标记示出了排列在垂直于前述线性传感器的检测方向的方向上的各描绘区域列的检测开始位置，该基准标记以与其它标记不同的形态作标记，前述驱动控制机构基于检测到的前述基准标记，使前述线性传感器对前述线性标尺的计数归零。

本发明另一方面提供一种液滴喷出方法，该液滴喷出方法通过从排列在功能性液滴喷出头上的喷嘴列中选择性地喷出功能性液体，在工件上进行描绘，该方法由下述工序构成：实现将前述功能性液滴喷出头搭载在滑架上的喷出头单元与工件之间的相对移动的工序；用线性标尺和面对该线性标尺的线性传感器检测前述喷出头单元与前述工件之间的相对移动位置的工序；基于前述移动位置的检测结果，对从前述喷嘴列中喷出功能性液体进行驱动控制的工序，其中上述工件设有矩阵状配置的多个描绘区域和划分该描绘区域的非描绘区域，上述线性标尺由在前述工件上连续地形成标记的标记列构成，在前述线性标尺上以与其它标记不同的形态作标记，形成基准标记，该基准标记示出了排列在垂直于前述线性传感器的检测方向的方向上的各描绘区域列的检测开始位置，前述驱动控制工序基于检测到的前述基准标记，使前述线性传感器对前述线性标尺的计数归零。

采用上述构成，由于线性标尺由在工件上作标记的标记列构成，因此即使温度变化引起工件的大小发生变化时，也能保持功能性液体的喷出精度。而且，由于以与其它标记不同的形态形成基准标记，并且基准标记在每个描绘区域列中都有，基于检测到的基准标记，可使线性传感器对线性标尺的计数归零，因此，万一发生跳读或重复计数等检测误差时，可在每个描绘区域列中对其进行补偿。而且，由于基准标记示出了各描绘区域列的检测开始位置，因此产生检测误差后，可从后续的描绘区域的喷出开始位置起保持喷出精度。而且，由于标记列在工件上连续地作标记，因此在整个区域(描绘区域和非描绘区域)中，可用线性传感器连续地检测。因而，可进一步提高喷出精度。

线性标尺最好形成在非描绘区域中。

采用该构成，由于线性标尺形成在非描绘区域中，因此不会对以后切下并被用作产品的描绘区域造成影响。

此时，标记列的与各描绘区域列相对应的标记个数最好等于向该描绘区域喷出功能性液体的次数。

采用该构成，由于标记列的对应于各描绘区域列的标记个数等于向该描绘区域喷出功能性液体的次数，因此在描绘区域中，一旦检测出标记，可利用一次喷出这种简单的结构来驱动控制功能性液体的喷出时刻。从而可减轻控制装置(CPU等)的负担。

此时，最好描绘区域包含在喷出功能性液体的同时构成像素的多个腔室部和划分该腔室部的堤坝部，线性传感器检测代替标记列的堤坝部。

采用该构成，可将划分像素(腔室部)的堤坝部用作线性标尺。因此，即使采用随温度变化而产生热膨胀或变形的工件时，也无需形成线性标尺的工序(在工件上作标记的工序)，即可保持喷出精度。

此时，最好非描绘区域带有与描绘区域的堤坝部材质相同的检测用堤坝部，且该检测用堤坝部可用作标记列，线性传感器检测检测用堤坝部。

采用该构成，由于可在与描绘区域的堤坝部相同的工序形成检测用堤坝部，并可将其用作线性标尺，因此无需形成线性标尺的工序(在工件上作标记的工序)。而且，由于检测用堤坝部是在非描绘区域中形成的，因此可根据功能性液体的喷出次数等自由设定堤坝的间隔。

此时，最好构成线性标尺的标尺个数相当于喷出头单元对工件的相对扫描次数。

采用该构成，由于具有的标尺个数相当于扫描次数，因此喷出头单元和线性传感器的位置是固定的，即使分多次进行描绘时，也能保持喷出精度。

此时，最好通过喷出多种功能性液体来描绘描绘区域，由相当于功能性液体的种类数的标尺个数构成线性标尺，线性编码器通过对应于各线性标尺的线性传感器来检测如上所述构成的线性标尺。

采用该构成，可对例如每种功能性液体检测线性标尺。因此，即使当喷出多种功能性液体时，也无需表示标记位置与检测该标记时喷出的功能性液体的种类之间的关联的表格或处理程序等，可简单地驱动控制各喷嘴列。

此时，最好多个喷嘴列通过功能性液滴喷出头排列在喷出头单元上，当该喷嘴列之间的距离为l时，线性标尺的标记列具有l/n(n为大于等于1的整数)的标记间隔，液滴喷出装置还带有对照表，该对照表表现出标记列的标记位置与检测该标记位置时的各喷嘴列的喷出/不喷射功能性液体之间的对应关系，驱动控制机构参照对照表，对从各喷嘴列中喷出功能性液体进行驱动控制。

采用该构成，多个喷嘴列排列在喷出头单元上时，其喷嘴列之间当然会产生距离为l，但是通过以是该喷嘴列之间距离l的整数倍的间隔来设置标记，可采用表现出标记位置与检测该标记位置时的各喷嘴列的喷出/不喷射功能性液体之间的对应关系的对照表。即，通过参照该对照表，可简单地决定各喷嘴列的喷出/不喷射，不会由于喷嘴列之间产生的距离致使喷出位置产生偏差。因而，即使用多个喷嘴列进行描绘时，也无需处理程序等，可容易地驱动控制各喷嘴列。

此时，最好多个喷嘴列通过功能性液滴喷出头排列在喷出头单元上，将该多个喷嘴列中的任意一个作为基准喷嘴列，同时由相当于喷嘴列数量的标尺个数构成线性标尺，线性编码器通过对应于各喷嘴列的线性传感器来检测如上所述构成的线性标尺时，构成各线性标尺的标记列位于在前述线性传感器的检测方向上，仅错开对应的喷嘴列距基准喷嘴列的距离的位置上。

采用该构成，多个喷嘴列排列在喷出头单元上时，喷嘴列之间产生距离，但是在具有对应于喷嘴列数量的标尺个数的线性标尺中，将各标尺的标记位置设置在仅错开从成为基准的基准喷嘴列离开的距离的位置上，喷嘴列之间产生的距离不会导致喷出位置的偏差。而且，线性标尺具有对应于喷嘴列数量的标尺个数，由于对每个喷嘴列检测线性标尺，因此，无需表示标记位置与检测该标记时喷出的喷嘴列之间的关联的表格或处理程序等，可简单地驱动控制各喷嘴列。

本发明另一方面提供一种液滴喷出装置，该液滴喷出装置通过从排列在功能性液滴喷出头上的喷嘴列中选择性地喷出功能性液体，在工件上进行描绘，该装置带有下述部件：将前述功能性液滴喷出头搭载在滑架上的喷出头单元、实现前述喷出头单元与工件之间的相对移动的移动机构、由形成在前述工件上的线性标尺和面对该线性标尺的线性传感器构成的线性编码器、基于前述线性编码器的检测结果，驱动控制从前述喷嘴列中喷出功能性液体的驱动控制机构，其中上述工件设有矩阵状配置的多个描绘区域和划分该描绘区域的非描绘区域，上述线性编码器检测前述喷出头单元与前述工件之间的相对移动位置，前述描绘区域包含在喷出前述功能性液体的同时构成像素的多个腔室部和划分该腔室部的堤坝部，前述线性标尺由前述堤坝部构成。

本发明另一方面提供一种液滴喷出方法，该液滴喷出方法通过从排列在功能性液滴喷出头上的喷嘴列中选择性地喷出功能性液体，在工件上进行描绘，该方法由下述工序构成：实现将前述功能性液滴喷出头搭载在滑架上的喷出头单元与工件之间的相对移动的工序；用形成在前述工件上的线性标尺检测前述喷出头单元与前述工件之间的相对移动位置的工序；基于前述移动位置的检测结果，对从前述喷嘴列中喷出功能性液体进行驱动控制的工序，其中上述工件设有矩阵状配置的多个描绘区域和划分该描绘区域的非描绘区域，在前述描绘区域中形成在喷出前述功能性液体的同时构成像素的多个腔室部和划分该腔室部的堤坝部，前述线性标尺由前述堤坝部构成。

采用上述构成，由于线性标尺形成在工件上，即使温度变化引起工件的大小发生变化时，也能保持功能性液体的喷出精度。而且，由于划分像素的堤坝部用作线性标尺，因此可省略形成线性标尺的工序(在工件上作标记的工序)。

最好构成线性传感器的检测对象的堤坝部在其检测方向上，连续地形成在非描绘区域中。

采用上述构成，在非描绘区域中也可以用线性传感器连续地进行检测。因此可进一步提高喷出精度。

最好非描绘区域带有与描绘区域的堤坝部材质相同的检测用堤坝部，且该检测用堤坝部可用作标记列，线性标尺由检测用堤坝部构成。

采用上述构成，由于可用与描绘区域的堤坝部相同的工序形成检测用堤坝部，并可将其用作线性标尺，因此无需形成线性标尺的工序(在工件上作标记的工序)。而且，由于检测用堤坝部形成在非描绘区域中，因此可根据功能性液体的喷出次数等，自由地设定堤坝的间隔。

本发明另一方面提供一种电光装置的制造方法，采用上述液滴喷出装置，在工件上用从功能性液滴喷出头中喷出的功能性液体形成成膜部。

本发明另一方面提供一种电光装置，采用上述液滴喷出装置，在工件上用从功能性液滴喷出头中喷出的功能性液体形成成膜部。

采用上述构成，由于采用即使温度变化引起基板尺寸发生变化时，也能保持功能性液体的喷出精度的液滴喷出装置来制造，因此可制成高品质的电光装置。另外，作为电光装置(设备)，可以是液晶显示装置、有机EL(场致发光)装置、电子发射装置、PDP(等离子显示屏)装置及电泳显示装置等。另外，电子发射装置是包含所谓FED(场致发射显示)装置的概念。进而，作为电光装置是指包含形成金属布线、形成透镜、形成保护层及形成光扩散体等的装置。

本发明另一方面提供一种电子设备，它搭载有上述电光装置。

此时，作为电子设备，除了搭载有所谓平板显示器的移动电话、个人计算机以外，还包括其它各种电子产品。

本发明另一方面提供一种基板，它被用作上述液滴喷出装置的工件。

此时，作为基板，可采用玻璃或树脂(薄膜)等对应于要制造的电光装置的各种材质。

附图说明

图1是本发明一个实施形态的有机EL装置的剖视图。

图2是表示实施形态的R、G、B像素的排列情况的说明图。

图3是实施形态的液滴喷出装置的平面示意图。

图4是表示实施形态的工件和在该工件上形成的线性标尺的一例的平面图。

图5是表示实施形态的液滴喷出装置的控制构成的控制框图。

图6是表示实施形态的线性标尺和像素排列的一例的平面图。

图7是表示实施形态的线性标尺和像素排列的一例的立体图。

图8是表示实施形态的标记位置与检测其标记位置时的喷嘴的喷出/不喷出的相互关联的对照表的一例的图。

图9是表示工件和形成在该工件上的线性标尺的其它例子的平面图。

图10A、图10B是表示第二实施形态的描绘区域的腔室部、划分该腔室部的堤坝部、及检测该堤坝部的线性传感器的立体图。

图11是表示第二实施形态的形成在非描绘区域中的检测用堤坝部和检测该检测用堤坝部的线性传感器的立体图。

图12是表示第三实施形态的线性标尺和像素排列的一例的平面图。

图13是表示第三实施形态的线性标尺和像素排列的一例的平面图。

图14是表示第三实施形态的标记位置与检测其标记位置时的各喷嘴的喷出/不喷出的相互关联的对照表的一例的图。

图15是表示第三实施形态的线性标尺和像素排列的一例的平面图。

图16是表示第三实施形态的线性标尺和像素排列的一例的平面图。

图17是表示第四实施形态的工件与在该工件上形成的线性标尺的一例的平面图。

图18是表示第四实施形态的线性标尺和像素排列的一例的平面图。

图19是表示第五实施形态的工件与在该工件上形成的线性标尺的一例的平面图。

图20是表示第五实施形态的工件的输送偏差的平面图。

图21是表示第五实施形态的各喷嘴的喷出时刻的补正处理的流程图。

具体实施方式

下面参照附图，说明本发明的一个实施形态的液滴喷出装置、电光装置的制造方法、电光装置、电子设备及基板。本实施形态的液滴喷出装置被组装在所谓平板显示器的一种，即有机EL装置的生产线中，形成构成有机EL装置的各像素的发光元件(成膜部)。

此处，首先，在说明液滴喷出装置之前，简单说明有机EL装置的构造和制造工序。图1是表示有机EL装置的剖视图的图。如该图所示，有机EL装置701将挠性基板(图中未示出)的布线和驱动IC(图中未示出)连接到有机EL元件702上，该有机EL元件702由基板711、电路元件部721、像素电极731、堤坝部741、发光元件751、阴极761(相对电极)及封闭用基板771构成。

如该图所示，在有机EL元件702的基板711上形成电路元件部721，多个像素电极731整列地排列在电路元件部721上。在各像素电极731之间格子状地形成堤坝部741，在由堤坝部741生成的凹部开口744(腔室部62，参照图7等)中形成发光元件751。在堤坝部741和发光元件751的上部的整个面上形成阴极761，在阴极761上层叠着封闭用基板771。

有机EL元件702的制造过程包括形成堤坝部741的堤坝部形成工序、用于适当地形成发光元件751的等离子处理工序、形成发光元件751的发光元件形成工序、形成阴极761的相对电极形成工序、将封闭用基板771层叠在阴极761上并封闭的封闭工序。即，在预先形成了电路元件部721和像素电极731的基板711(工件W，参照图4等)的描绘区域W1中形成堤坝部741之后，依次进行等离子处理、发光元件751及阴极761(相对电极)的形成工序，进而，在阴极761(相对电极)上层叠封闭用基板771，并封闭，从而制成有机EL元件702。由于有机EL元件702受到大气中水分等的影响，容易恶化，因此有机EL元件702的制造最好在干燥空气或惰性气体(氮气、氩气、氦气等)保护气体中进行。

由空穴注入/输送层752及着色为R(红)、G(绿)、B(蓝)中任意一种颜色的发光层753形成的成膜部构成各发光元件751，发光元件形成工序中包括形成空穴注入/输送层752的空穴注入/输送层形成工序、形成3色发光层753的发光层形成工序。此时，相对于由上述堤坝部741划分出的矩阵状的多个凹部开口744，已知的3色发光层753的排列方式有：例如图2所示的线条排列(图2(a))、马赛克排列(图2(b))及三角形排列(图2(c))。

制成有机EL元件702之后，使挠性基板的布线与有机EL元件702的阴极761连接，同时使电路元件部721的布线与驱动IC连接，从而制成有机EL装置701。

本实施形态的液滴喷出装置有的在注入/输送层形成工序中使用，有的在发光层形成工序中使用，但是由于装置主体采用同一构造，此处以用于形成R、G、B三色发光层753的液滴喷出装置为例，详细说明。

如图3的平面示意图所示，实施形态的液滴喷出装置1带有机架2、放置在机架2上的整个区域中的描绘装置3、附加在描绘装置3中地放置在机架2上的喷出头功能复原装置4，描绘装置3用功能性液体对工件W上的描绘区域W1进行描绘，同时通过喷出头功能复原装置4适当地进行描绘装置3中的功能性液滴喷出头5的功能复原处理(维护)。

描绘装置3带有由X轴工作台(主扫描机构)12和与X轴工作台12相垂直的Y轴工作台13构成的X·Y移动机构11、可自由移动地安装在Y轴工作台13上的主滑架14、垂直设在主滑架14上的喷出头单元15。排列有R色、G色及B色的三个喷嘴列6的功能性液滴喷出头5通过副滑架16搭载在喷出头单元15上，同时线性传感器51与形成在工件W上的线性标尺52的位置相对应地搭载在喷出头单元15上。

此时，基板，即工件W由透光性(透明)的玻璃基板构成，在进入X轴工作台12的阶段，用面对工件的一对工件识别照相机18、18来识别一对工件基准标记54、54，在定位在X轴工作台12上的状态下放置工件。在工件W上设置着矩阵状配置同时喷出功能性液体(进行描绘)的描绘区域W1和划分该描绘区域W1同时形成有线性标尺52的非描绘区域W2。另外，一个排列有3个喷嘴列6的功能性液滴喷出头5搭载在图示的副滑架16上，但是上述3个喷嘴列6排列在不同的功能性液滴喷出头5上并搭载在副滑架16上也可以。也可以由多列与各种颜色相对应的喷嘴列6构成。

线性传感器51是由隔着工件W上下配置的发光部和受光部(图示都省略了)构成的光学式受光传感器，检测形成在工件W上的线性标尺52。从而由上述线性传感器51和线性标尺52构成线性编码器50。

如图4所示，线性标尺52由标记列52a构成，而标记列52a由多个标记M构成，沿线性传感器51检测的方向(X轴方向)延伸。标记列52a从矩阵状配置在工件W上的描绘区域W1的位于图示最上部(用线性传感器51检测的开始侧)的描绘区域列W1-a的检测开始位置，直到位于图示最下部(用线性传感器51检测的结束侧)的描绘区域列W1-d的检测结束位置为止连续地作标记，在各描绘区域列W1-a～W1-d的检测开始位置上形成基准标记M1。该基准标记M1用于使线性传感器51对线性标尺52的计数归零，万一产生跳读及重复计数等检测误差时，对每个描绘区域列W1-a～W1-d，可对其进行补偿。基于线性标尺52的检测和其检测结果，对功能性液体的喷出进行驱动控制将在后面详细描述。

采用上述构成，线性编码器50从发光部发光并照射，由受光部5接受通过标记M之间(透光部)的光，并将其转换为电信号，从而生成编码器信号。此后，基于其编码器信号，求出主滑架14(喷出头单元15)的移动位置信息，功能性液滴喷出头5与其移动位置信息相应地生成功能性液体的喷出信号(确定喷出时刻)，在工件W上的所定位置处进行描绘。

另外，本实施形态采用光学式线性编码器，但是也可以采用磁性线性编码器，该编码器用磁性传感器检测由经过磁化的标记构成的线性标尺。

另一方面，喷出头功能复原装置4带有放置在机架2上的移动工作台21、放置在移动工作台21上的保管单元22、抽吸单元23及擦拭单元24。保管单元22在装置停止工作时，要防止功能性液滴喷出头5的喷嘴5a干燥，要将其封闭。抽吸单元23从功能性液滴喷出头5中强制性地吸出功能性液体，同时抽吸单元23具有接受从功能性液滴喷出头5的所有喷嘴5a中废弃喷出的功能性液体的冲洗盒的功能。擦拭单元24主要用于擦拭吸出功能性液体之后的功能性液滴喷出头5的喷嘴面5b。

与例如功能性液滴喷出头5相对应的封闭盖帽26可自由升降地设在保管单元22上，装置停止工作时，面对喷出头单元(的功能性液滴喷出头5)15地上升，使封闭盖帽26紧密接触功能性液滴喷出头5的喷嘴面5b，将其封闭。由此抑制功能性液滴喷出头5的喷嘴面5b中的功能性液体的气化，防止所谓的喷嘴堵塞。

同样地，与例如功能性液滴喷出头5相对应的抽吸盖帽27可自由升降地设在抽吸单元23上，向喷出头单元(的功能性液滴喷出头5)15填充功能性液体时，或除去功能性液滴喷出头5内粘度增加的功能性液体时，使抽吸盖帽27紧密接触功能性液滴喷出头5，用泵抽吸。停止喷出功能性液体(描绘)时，使抽吸盖帽27稍稍离开功能性液滴喷出头5，进行冲洗(废弃喷出)。由此，可防止喷嘴堵塞或可使发生喷嘴堵塞的功能性液滴喷出头5的功能复原。

例如，擦拭片28可自由抽出或卷起地设在擦拭单元24上，一边输送抽出的擦拭片28，移动工作台21一边使擦拭单元24向X轴方向移动，以便擦拭功能性液滴喷出头5的喷嘴面5b。由此，除去附着在功能性液滴喷出头5的喷嘴面5b上的功能性液体，防止功能性液体喷出时飞行倾斜等。

另外，作为喷出头功能复原装置4，除了上述各单元以外，最好搭载有用于检查从功能性液滴喷出头5中喷出的功能性液体的飞行状态的喷出检查单元、及用于测定从功能性液滴喷出头5中喷出的功能性液体的重量的重量测定单元等。进而，虽然图中未示出，但是控制装置(控制机构，将在后面描述)等组装在该液滴喷出装置1中，上述控制装置统一控制向各功能性液滴喷出头5供给功能性液体的功能性液体供给机构、上述描绘装置3、及功能性液滴喷出头5等的构成装置。

X轴工作台12带有构成X轴方向的驱动***的马达驱动的X轴滑块31，由吸附工作台33和θ工作台34等构成的固定工作台32可自由移动地搭载在其上，构成X轴工作台12。同样地，Y轴工作台13带有构成Y轴方向的驱动***的马达驱动的Y轴滑块36，上述主滑架14通过θ工作台37可自由移动地搭载在其上，构成Y轴工作台13。

此时，X轴工作台12直接支撑在机架2上，另一方面，Y轴工作台13支撑在立在机架2上的左右支柱38，38上。X轴工作台12与喷出头功能复原装置4沿X轴方向相互平行地设置，Y轴工作台13跨越X轴工作台12与喷出头功能复原装置4的移动工作台21地延伸。

Y轴工作台13使搭载在其上的喷出头单元(功能性液滴喷出头5)15在位于喷出头功能复原装置4之上部的功能复原区域41与位于X轴工作台12之上部的描绘区域42之间适当地移动。即，Y轴工作台13使功能性液滴喷出头5的功能复原时，使喷出头单元15面对功能复原区域41，并在导入X轴工作台12的工件W上进行描绘时，使喷出头单元15面对描绘区域42。

另一方面，X轴工作台12的一个端部构成用于将工件W放置(改放)在X轴工作台12上的转移区域43，在转移区域43上设有上述一对工件识别照相机18，18。利用该一对工件识别照相机18，18同时识别被供给到吸附工作台33上的工件W的2处工件基准标记54，54，基于其识别结果调整工件W。

实施形态的液滴喷出装置(描绘装置3)1以工件W沿X轴方向的移动为主扫描，以功能性液滴喷出头(喷出头单元15)5沿Y轴方向的移动为副扫描，基于上述控制机构中存储的喷出图案数据和上述线性编码器50的检测结果(编码器信号)进行描绘。

在被导入描绘区域42中的工件W上进行描绘时，使功能性液滴喷出头(喷出头单元15)5面对描绘区域42，在利用X轴工作台12进行主扫描(工件W的往复运动)的同时，基于线性编码器50的检测结果，驱动功能性液滴喷出头5喷出液体(功能性液体的选择性喷出)。并利用Y轴工作台13适当地进行副扫描(喷出头单元15的移动)。通过该一连串的动作，在工件W的描绘区域Wa上选择性地喷出所需的功能性液体，即进行描绘。

使功能性液滴喷出头5的功能复原时，移动工作台21使抽吸单元23向功能复原区域41移动，同时Y轴工作台13使喷出头单元15向功能复原区域41移动，对功能性液滴喷出头5进行冲洗或泵抽吸。进行泵抽吸时，接着移动工作台21使擦拭单元24向功能复原区域41移动，擦拭功能性液滴喷出头5。同样地，作业结束，装置停止工作时，保管单元22盖住功能性液滴喷出头5。

下面参照图5的控制框图，说明液滴喷出装置1的控制构成。液滴喷出装置1由下述部分构成：带有接口111，获取从主机300送出的喷出图案数据(用于决定各喷嘴5a喷出功能性液体/不喷出功能性液体的数据)、驱动波形数据(为了驱动各喷嘴5a的压电元件(压电元件等)而施加的波形数据)及各种控制数据，同时向主机300输出有关液滴喷出装置1内部的处理状况等数据的数据输入输出部110、带有电源开关121，进行电源的供给及切断的电源部120、带有线性传感器51及线性标尺52，检测工件W的移动位置的线性编码器50、带有功能性液滴喷出头5，在工件W上进行描绘的描绘部140、带有滑架马达151及输送马达152，移动·输送搭载有功能性液滴喷出头5的主滑架14(喷出头单元15)及工件W的输送部150(移动机构)、带有喷出头驱动器161、滑架马达驱动器162及输送马达驱动器163，驱动各部分的驱动部160、与各部分连接，控制整个液滴喷出装置10的控制部200。

控制部200带有CPU210、ROM220、RAM230及输入输出控制装置(以下称为“IOC：输入输出控制器”)250，相互通过内部总线260连接。ROM220除了用于驱动控制各喷嘴5a(喷嘴列6)的喷出的程序以外，还带有用于存储由CPU210处理的各种程序的控制程序块221和用于存储包含各种图表在内的控制数据的控制数据块222。

RAM230除了用作特征位等的工件区域块231以外，还带有用于存储从主机300送出的喷出图案数据的喷出图案数据块232，被用作控制处理的作业区域。RAM230通常要备份，以便即使切断电源，仍然能够保持存储的数据。

在辅助CPU210的功能的同时，用于处理与各种周边电路的接口信号的逻辑电路由门阵列及常规LSI等构成，并装进IOC250中。由此，IOC250将来自主机300的喷出图案数据和控制数据照原样或经过加工后送入内部总线260中，同时与CPU210联动地将从CPU210输出到内部总线260中的数据和控制信号照原样或经过加工后输出到驱动部160中。

CPU210采用上述构成，按照ROM220内的控制程序，通过IOC250从主机300及液滴喷出装置10内的各部分输入各种信号、数据，处理RAM230内的各种数据，再通过IOC250向液滴喷出装置1内的各部分输出各种信号、数据，驱动控制从各喷嘴5a喷出功能性液体的时刻，在工件W上进行描绘。另外，本实施形态中喷嘴列6方向上的喷嘴间隔与像素间距相配合，驱动控制每个喷嘴列6的喷出时刻，这将在后面详细描述。

另一方面，主机300带有下述部分：输出喷出图案数据、驱动波形数据及各种控制数据，同时输入从液滴喷出装置1送出的有关装置内部的处理状况等的数据的接口310、带有CPU、ROM及RAM等存储器，控制整个计算机的中央控制部320、视窗(注册商标)等OS330、用于控制液滴喷出装置1的驱动器340。中央控制部320内(RAM等)带有线性标尺52的标记位置和用于确定对应于该标记位置的喷出/不喷射的对照表350(参照图8)，参照该对照表350，生成用于确定从各喷嘴列6中喷出功能性液体的时刻的喷出图案数据。

也可以不基于从主机300送出的喷出图案数据，驱动控制功能性液体的喷出，而是在液滴喷出装置1内存储上述对照表350，并基于该对照表，确定各喷嘴列6的功能性液体的喷出/不喷射。

下面说明基于喷出图案数据(喷出信号)和线性标尺52的检测结果的功能性液体的喷出驱动控制。图6是表示在描绘区域W1上的像素排列的平面图，图7是其立体图。此处为便于说明，特说明用排列有一列喷嘴列6的功能性液滴喷出头5进行描绘时的情况。图6中，线性标尺52(标记)下附带的数字表示标记位置和计数值，实际上并未记录在工件W上。

如图所示，描绘区域W1带有在喷出功能性液体的同时构成像素的腔室部61和划分它们的堤坝部62，堤坝部62经过防水处理(导入氟基)。因此，即使喷出位置存在一定误差时，也是可以允许的。腔室部61的大小是沿X轴方向为300(μm)，沿Y轴方向为100(μm)，在X轴方向和Y轴方向上，分别以100(μm)的间隔配置。

在非描绘区域W2上形成由沿X轴方向延伸的一个标记列52a构成的线性标尺52，在各描绘区域W1的检测开始位置(在图中是位于各描绘区域W1的左侧侧端部的延长线上的位置)上设有基准标记M1。向各像素(腔室部61)各喷出3次功能性液体，从而进行描绘，与其喷出的次数相对应，各像素对应分别3个标记(例如标记1、标记2、标记3)。考虑到线性传感器51的检测时刻与基于该检测，从各喷嘴5a喷出功能性液体的时刻之间的偏差(工件W输送引起的偏差)，沿输送方向(X轴方向)，在功能性液体的击打位置(图中的圆圈)之前一些形成这3个标记。

另一方面，在非描绘区域W2中形成标记，与对应于描绘区域W1的标记(例如标记1～4)形成同一列。即，此时形成工件W，以便可用同一列来标记描绘区域W1和非描绘区域W2。这样，与非描绘区域W2相对应的标记与对应于描绘区域W1的标记形成同一列，通过测定检测时刻，当发生跳读或重复计数(连续计数同一标记)等检测误差时，可将其检测出来。总之，所谓同一列标记连续是指可将标记之间的距离设定在所定范围内(图示的标记1-2之间的距离(最小)～标记3-4之间的距离(最大)的范围)，检测时刻的间隔比前述最小的标记之间的距离的输送时间更短时、及相反地，检测时刻的间隔比前述最大的标记之间的距离的输送时间更长时，可将其视为检测误差。

另外，并不限于此，也可以在非描绘区域W2中，以对应于描绘区域W1的标记的最大间隔(标记3-4之间的距离)以下的一定间隔形成标记，通过测定其检测时刻，可检测出检测误差。

如图所示，上述基准标记M1由比其它标记宽一些的标记构成，通过检测该基准标记M1，使线性传感器51对线性标尺52的计数归零(参照图8的对照表350)。图示的例子中，检测出标记1～57之后，通过检测基准标记M1，使计数回到0，从描绘区域W1直到位于其相邻的非描绘区域W2为止，再次检测对应的标记1～57。这样，描绘区域W1每列都带有基准标记M1，万一发生检测误差时，对每个描绘区域列(检测标记0～1之间)可对其进行补偿。由于基准标记M1示出了沿X轴方向排列的各描绘区域列W1-a～W1-d(参照图4)的检测开始位置，因此发生检测误差后，从后续的描绘区域列的喷出开始位置起可保持喷出精度。

另外，基准标记M1的形态并不限于加宽的标记，也可以是“+”或“×”等其它形状，也可以使其颜色或浓度与其它标记不同，通过光照射检测反射率的不同。也可以与线性传感器51相邻地设置基准标记用传感器，并使基准标记M1的尺寸比其它标记更大(加长直线)，用基准标记用传感器检测出基准标记M1。

功能性液滴喷出头5上设有由多个喷嘴5a构成的喷嘴列6，且其喷嘴间距与像素间距相对应。喷嘴列6的长度构成与整个描绘区域W1相对应的长度(用一次主扫描可描绘整个描绘区域的长度)。因此，可对每个喷嘴列6驱动控制功能性液体的喷出/不喷射。但是此时，平时可将在Y轴方向上相当于非描绘区域W2(描绘区域W1的间隔)的喷嘴设定为非驱动状态，使用例示的工件W专用的功能性液滴喷出头5，相当于非描绘区域W2的喷嘴5a最好不存在。

下面参照图8，说明检测如上所述构成的线性标尺52时使用的对照表350。如图8所示，对于与描绘区域W1相对应的标记群(标记1～36)，生成喷出信号，从各喷嘴5a(喷嘴列6)中喷出功能性液体(为ON)。对于与非描绘区域W2相对应的标记群(标记37～57)，不从各喷嘴5a中喷出功能性液体(为OFF)。这样，按照对照表350，生成各喷嘴列6的喷出图案数据，基于该喷出图案数据和线性标尺52的检测时刻，驱动控制从各喷嘴列6中喷出功能性液体。

另外，对照表350在描绘整个工件W时，也可以采用相当的表格，如上所述，由于标记0～57的周期反复进行，因此也可以仅准备标记0～57部分的表格，以便减少用于存储对照表350的存储器的数量。

如上所述，采用本实施形态的液滴喷出装置1，由于线性标尺52由在工件W上作标记的标记列52a构成，即使温度变化引起工件W的大小发生变化时，也可以保持功能性液体的喷出精度。由于每个描绘区域列W1-a～W1-d都带有以与其它标记不同形态作标记的基准标记M1，基于检测出基准标记M1，使线性传感器51对线性标尺52的计数归零，因此万一发生跳读或重复计数等检测误差时，每个描绘区域列W1-a～W1-d都可对其进行补偿。由于基准标记M1示出了各描绘区域列的检测开始位置，因此产生检测误差之后，从后续的描绘区域列的喷出开始位置起可保持喷出精度。

由于线性标尺52形成在非描绘区域W2中，不会对以后切下并被用作产品的描绘区域W1造成影响。进而，由于对应于线性标尺52的各描绘区域列W1-a～W1-d的标记个数等于向各描绘区域W1喷出功能性液体的次数，因此描绘区域W1中，一旦检测出标记，可利用一次喷出、简单的结构来驱动控制功能性液体的喷出时刻。从而可减轻CPU210的负担。

上述实施形态中，对应于各像素的标记个数与向各像素喷出功能性液体的次数相等，但将标记个数增至2倍，每一次的检测每个标记，喷出功能性液体(生成喷出信号)等，可适当地改变标记个数。

线性标尺52沿主扫描方向(X轴方向)延伸，但是也可以形成在副扫描方向(Y轴方向)上，其构成使得可正确地检测出在喷出头单元15的副扫描方向上的移动量。

上述实施形态中，检测出相当于非描绘区域W2的标记M(标记37～57)，则不喷出功能性液滴，但是在非描绘区域W2中也可以与描绘区域W1同样地喷出功能性液滴，并将其用作用于检测击打位置偏差的测试图案。即，可通过比较喷到非描绘区域W2中的功能性液滴的击打位置与标记位置，测定击打位置的偏差量，基于此调整喷出时刻。采用该构成，可进一步提高喷出精度。另外，由于形成测试图案的喷嘴5a消除了功能性液体的无效消耗，因此在一个喷嘴列6中最好限于1～2个。

上述实施形态中，喷嘴列6的长度为对应于整个描绘区域W1的长度(用一次主扫描可描绘整个描绘区域的长度)，用一次主扫描可对整个描绘区域进行描绘，但是当喷嘴列6的长度不足对应于整个描绘区域的长度时，必须通过多次扫描(沿工件W的主扫描方向的移动)进行描绘。此时最好与其扫描次数相对应地形成标记列52a。例如，如图9所示，沿Y轴方向分离地形成2个描绘区域列W1-e、W1-f，采用通过分别一次扫描可描绘各描绘区域列W1-e、W1-f的喷嘴列6时，必须要进行共计2次扫描进行描绘。此处，例如仅标记出图示右侧的一个标记列52a作为线性标尺52时，由于功能性液滴喷出头5和线性传感器51的位置是固定的(参照图3)，描绘图示左侧的描绘区域列W1-e时，就不能检测标记列52a了。但是，在图9的例子中，由于在与图示左侧的描绘区域列W1-e相对应的位置上也形成有标记列52a，因此与图示右侧的描绘区域列同样地可基于线性传感器51(线性编码器50)的检测结果进行描绘。即，带有与功能性液滴喷出头5(喷出头单元15)相对工件W的相对扫描次数相当的标尺个数(标记列数)，分多次扫描进行描绘时，也可以保持喷出精度。

下面参照图10和图11说明本发明的第二实施形态。上述实施形态中，用在非描绘区域W2中作标记的标记列52a构成线性标尺52，本实施形态中，用堤坝部62构成相当于线性标尺52的线性传感器51的检测对象。下面集中说明与第一实施形态的不同之处。

图10(a)是表示在描绘区域W1中矩阵状配置的像素(腔室部61)和划分它们的堤坝部62的立体图。如上所述，腔室部61的大小是沿X轴方向为300(μm)，沿Y轴方向为100(μm)，与此相对，堤坝部62的高度为1～2(μm)。此处，为了便于理解，重点示出堤坝部62。

如该图所示，线性传感器51通过检测图示中最前列的像素列中的堤坝部62，输出编码器信号。此处，例如对1个腔室部61喷出3次功能性液滴时，对于一个堤坝部62的检测，生成3次喷出信号。在非描绘区域W2中，在构成检测对象的像素列(图示时为最前列的像素列)的延长线上连续地形成堤坝部62(仅构成检测对象的一列)(图中未示出)。

本实施形态中，由于在描绘区域W1内也形成有构成检测对象的堤坝部62，因此最好不要如第一实施形态那样，在对应于各描绘区域W1的最初的检测位置(堤坝部62)上形成相当于基准标记M1(参照图6等)的例如加宽的堤坝部62。这是因为基准标记M1是补偿喷出误差的，喷嘴驱动为“不喷射(OFF)”。总之，如果在对应于各描绘区域W1的最初的堤坝部62处形成基准标记M1，就会产生不向最初的(沿Y轴方向排列的)像素列喷出功能性液体的故障。因此，本实施形态中，对应于各描绘区域W1的最后的堤坝部62a加宽地构成，通过检测该最后的堤坝部62a，可使计数归零。由此，万一发生检测误差时，也可对其进行补偿。

另外，如果采用上述构成，在检测基准标记时(检测出加宽的堤坝部时)生成喷出信号，则也可以在对应于各描绘区域W1的最初的检测位置上形成基准标记M1。如图10(b)所示，也可以采用下述构成：构成检测对象的仅一列(沿X轴方向排列的)像素列，可在堤坝部62之间设置堤坝高度低一些的堤坝部62，并使对一个像素喷出的次数与其堤坝部的个数相等。采用该构成，可通过简单的驱动控制实现每次检测堤坝部62，并生成喷出信号。在构成检测对象的一列像素列中，通过降低添加的堤坝部62的堤坝高度，可向与其它像素列相同的区域(腔室部61)中喷出功能性液体，不会只有检测对象的像素列，像素的大小减小。

下面参照图11说明本实施形态的变形例。如图所示，例如在非描绘区域W2中，用与堤坝部62相同的材质和工艺设置检测用堤坝部63，用于线性传感器51检测位置时使用。此时，对一个堤坝部63生成一个喷出信号。则如图所示，例如，对一个像素喷出3次功能性液滴。本例中，对应于各描绘区域W1的最后的堤坝部63a也是加宽地构成，通过检测该最后的堤坝部63a使计数归零。

另外，检测用堤坝部63的堤坝间隔不一定非要形成相同的间隔。本例中，由于在非描绘区域W2中形成有检测用堤坝部63，因此与第一实施形态同样，对应于各描绘区域W1的最初的堤坝部加宽地形成，由此也可使计数归零。

如上所述，采用本实施形态，由于将划分像素的堤坝部62用作线性标尺52，即使采用随温度变化而产生热膨胀或变形的工件W时，也可以保持喷出精度。

通过在非描绘区域W2中形成采用与描绘区域W1的堤坝部62相同的工艺和材质的检测用堤坝部63，可将其用作线性标尺52。由于在非描绘区域W2中形成检测用堤坝部63，可根据功能性液体的喷出次数等，自由地设定堤坝的间隔。

在描绘区域W1中形成的构成检测对象的堤坝部62或在非描绘区域中形成的检测用堤坝部63都可以仅形成与沿Y轴方向排列的描绘区域列W1-a～W1-d相对应的部分。采用该构成，则无需形成非描绘区域W2的堤坝部62(或对应于非描绘区域W2的检测用堤坝部63)。此时，加宽的堤坝部62a、63a也没必要设置了。这样的仅在与描绘区域W1相对应的部分上设置检测对象(标记M)的结构将在后面的第四实施形态中说明。

下面参照图12至图16说明本发明的第三实施形态。本实施形态涉及用多种功能性液体(此处是R、G、B功能性液体)进行描绘时，从不同的喷嘴列6中喷出各功能性液体时的情况。此处，各喷嘴列R、喷嘴列G、喷嘴列B喷出R、G、B功能性液体，从初始位置以该顺序到达描绘区域W1那样地排列。

图12示出了在沿Y轴方向同色并列的线条排列的描绘区域W1上进行描绘时的线性标尺52。如图所示，各标记列52与各种颜色相对应(从图示的下侧开始与R、G、B相对应)，平行地沿X轴方向延伸。由于本实施形态中，也向各像素喷出3次功能性液滴，从而进行描绘，因此在各像素中相对应地分别作3个标记。在X轴方向上，由于像素以R、G、B的顺序排列，因此各标记列52a与各颜色相对应地位置偏移地形成。进而，各标记列52a在描绘区域W1的图示左侧侧端部的延长线上分别带有基准标记M1，由此可补偿检测误差。而且，将基准标记M1设置在同一延长线上，各线性传感器51检测的位置在X轴方向产生偏差时，可将其检测出来。线性传感器51并列设置在可分别检测对应于各种颜色的标记列52a的位置上。

由于采用本实施形态，可对每种颜色的功能性液体检测形成的标记列52a，因此无需表示标记位置与检测该标记时喷出的功能性液体的颜色之间的关联的表格或处理程序等，可简单地驱动控制各喷嘴列6。

如图13所示，当从各喷嘴列6中喷出不同颜色的功能性液体时，不同颜色的像素沿副扫描方向(Y轴方向)排列时，如果各喷嘴列6都在相同时刻生成喷出信号，可与各喷嘴列6之间的距离1相应地形成喷出位置(击打位置)的偏移。因此，考虑各喷嘴列6之间的距离，必须决定喷出时刻。采用考虑了各喷嘴列6之间距离1的对照表350(参照图14)，说明驱动控制各喷嘴列6的功能性液滴的喷出/不喷射的方法。另外，不同颜色的像素沿副扫描方向排列时，由于不能同时驱动排列在喷嘴列中的喷嘴5a，下面对于喷嘴列R说明喷嘴1(以下喷嘴代号用括号表示)、(4)…的喷嘴；对于喷嘴列G说明喷嘴(2)、(5)…的喷嘴；对于喷嘴列B说明喷嘴(3)、(7)…的喷嘴的驱动情况(喷嘴(4)～(7)图中未示出)。

例如，如图13所示，向各像素喷出3次各色功能性液体，在喷嘴列6之间的距离1中等间隔地与一个像素相对应地作标记时，通过标记1、标记4、标记7的位置检测，喷出R功能性液滴，通过标记2、标记5、标记8的位置检测，喷出G功能性液滴。即，如图14的对照表350所示，喷嘴列G相对于喷嘴列R，喷嘴列之间的距离各错开一个，通过检测该位置的标记来生成喷出信号。同样地，喷嘴列B相对于喷嘴列G，喷嘴列之间的距离各错开一个，通过检测该位置的标记来生成喷出信号。

由此，采用本实施形态，考虑到喷嘴列6之间的距离，采用对应于各喷嘴列6的对照表350，以便通过检测仅错开其距离大小的位置上的标记来生成喷出信号，即使用多个喷嘴列6进行描绘时，也可以不用处理程序等，容易地驱动控制各喷嘴列6。由此，可减少用于生成喷出信号(喷出图案数据)的控制程序所需的数据量，控制程序可存储在一般市场销售的便携存储媒体(CD-ROM或DVD等)中。

另外，标记之间的距离不一定与各喷嘴列之间的距离1相同，间隔是喷嘴列之间距离的整数分之一也可以。例如，如图13所示的标记列52a的标记个数增至2倍时，标记之间的距离为1/2，此时，可以检测标记位置2、标记位置8、标记位置14，来生成喷嘴列R的喷出信号。即，也可以与各标记位置相对应地生成表格，该表格可决定功能性液滴的喷出/不喷射。

而且，即使当每个喷嘴列6不会喷出不同种类的功能性液体，而是从多个喷嘴列6中喷出同样的功能性液体时，本实施形态也可适用。采用多个功能性液滴喷出头5时，也可以通过检测错开喷出头之间的距离(即喷嘴之间的距离)的标记位置，来生成喷出信号。

图13所示的例子中，用1个线性传感器51检测标记列52a，但是，也可以如图15所示，每种颜色设置线性传感器51，通过检测在仅错开1个喷嘴列之间距离的位置上形成的标记，来生成喷出信号。采用该构成，不用每个喷嘴列6用一个对照表，可用同一个对照表驱动控制所有的喷嘴列6。

如图16所示，进行沿副扫描方向同色的像素并列的线条排列的描绘时，每个喷嘴列6可生成喷出信号，相对于设置的对应于R像素的标记群Mr，对应于G像素的标记群Mg的设置仅错开1个喷嘴列R与喷嘴列G的喷嘴之间的距离。同样地，相对于设置的对应于R像素的标记群Mr，对应于B像素的标记群Mb的设置仅错开喷嘴列R与喷嘴列B的喷嘴之间的距离1的2倍的距离。采用该构成，与图15的例子同样，不用每个喷嘴列6用一个对照表，可用同一个对照表驱动控制所有的喷嘴列6。

下面参照图17和图18，说明本发明的第四实施形态。上述实施形态中，线性标尺52由沿X轴方向连续的标记列52a构成，但是，本实施形态的线性标尺52由每个描绘区域列分离地设置的标记列52a构成。在此集中说明与第一实施形态的不同之处。为了便于说明，假定用一列喷嘴列6进行描绘，并说明此时的情况。

如图17所示，构成本实施形态的线性标尺52的标记列52a在沿垂直于X轴方向(线性传感器51的检测方向)的方向排列的每个描绘区域列中分离地设置。因此，在由沿X轴方向排列的4个描绘区域列W1-a～W1-d构成的工件W上，由4个标记列52a构成线性标尺52。各标记列52a由全部相同形态的标记M形成标记，没有第一实施形态那样的基准标记M1。

如图18所示，标记列52a分别对应于从检测开始位置(标记1)开始的每个描绘区域列的标记位置1～36、37～72、73～108(标记位置40以后图中未示出)，对应于各像素(腔室部61)的标记个数等于功能性液滴的喷出次数，各设置3个。由于标记列52a仅在对应于各描绘区域列W1-a～W1-d的位置作标记，因此对应于所有这些标记位置的喷嘴列6为“喷出(ON)”状态。即，本实施形态中，每次标记检测，通过喷出一次功能性液滴的简单构成，即可驱动控制喷出时刻。因此，无需采用图8所示的对照表350。而且，由于每次标记检测都生成喷出信号(不计数标记位置)，因此即使万一产生跳读或重复计数时，也不会影响此后的功能性液体的喷出。

由此，采用本实施形态，构成线性标尺52的标记列52a分离地设置在沿垂直于线性传感器51的检测方向的方向排列的每个描绘区域列中，由于对应于标记列52a的各描绘区域列的标记个数等于向各描绘区域列喷出功能性液体的次数，因此每次标记检测，通过喷出一次功能性液体的简单构成，可驱动控制各喷嘴列6的喷出时刻。因此，可减轻CPU210的负担，同时即使不用表现标记位置与功能性液体的喷出/不喷射的对应关系的对照表，也可以仅通过检测标记来进行描绘。

另外，当向各像素喷出功能性液体的次数与标记个数单纯地不一致时，本实施形态也必须要用对照表350，此时，无需象第一实施形态那样地设置基准标记M1。这是因为，本实施形态通过标记列52a之间的分离距离，可辨认出各描绘区域W1的检测开始。因此，万一发生跳读或重复计数等检测误差时，可从后续的描绘区域W1的喷出开始位置起补偿检测误差，从而可保持喷出精度。

下面参照图19至图21，说明本发明的第五实施形态。上述实施形态中，用一个线性传感器51(进行R、G、B描绘时，用对应于各种颜色的3个线性传感器51)进行位置检测，但是，本实施形态用在Y轴方向上分开的2个线性传感器51、51进行位置检测，基于这两个线性传感器51、51的输出偏差，对各喷嘴5a的喷出时刻进行补正。采用该构成，可实现对工件W的输送偏差(偏转)所引起的功能性液体的喷出位置的偏差进行补正的效果。此处集中说明与上述实施形态的不同之处。

如图19所示，本实施形态中的线性标尺52由在Y轴方向上分开设置的2个标记列52a构成，分别平行设置在工件W的Y轴方向侧端部附近。而且，各标记列52a在X轴方向上的标记间隔、标记个数及配置位置不一定都一样。各标记列52a在每个描绘区域W1中设有用于补偿检测偏差的基准标记M1，该基准标记M1的配置位置在X轴方向上是一样的。

另一方面，线性传感器51设置在对应于各标记列52a的位置上，本实施形态时，由于线性标尺52由2个标记列52a构成，用2个线性传感器51a、51b检测各标记列52a。而且，线性传感器51a、51b设置在Y轴方向上的与功能性液滴喷出头5上的左右端的喷嘴5a、5a相同的位置上，或设置在距离喷嘴列6的中心位置65相同距离的位置上。

在本实施形态的情况下，通过使工件W相对于功能性液滴喷出头5移动，来进行主扫描方向的描绘，但是此时，如图20所示，假设工件W的移动偏离了垂直于功能性液滴喷出头5的方向。例如，如果线性传感器51a检测任意的标记M2的时刻为t1，线性传感器51b检测位于上述任意标记的延长线上(在X轴方向上的同一位置)的标记M3的时刻为t2，当t2＞t1时，产生了(t2-t1)的检测时刻的偏差。

此时，根据线性传感器51a与线性传感器51b的检测时刻的偏差，可检测出工件W的输送偏差(工件W倾斜地输送)，进而根据哪个线性传感器51先检测出来的，可检测出偏斜的方向。总之，由于t2＞t1时，线性传感器51a的设置侧(图中的左侧)在前地输送，考虑到其输送偏差，驱动控制时，延迟排列在功能性液滴喷出头5中的多个喷嘴中的线性传感器51b的设置侧(图中右侧)的喷出时刻。即，一个功能性液滴喷出头5中排列有n个喷嘴时，从喷嘴代号(n)向喷嘴代号(1)，使其喷出时刻各延迟(t2-t1)/n，从而可对功能性液滴喷到工件W上的位置(击打位置)进行补正。

但是，此时除了基准标记M1，标记形态全部相同，因此不能判断用线性传感器51a检测到的标记与用线性传感器51b检测到的标记在X轴方向上是否位于相同位置。当工件W的输送速度为v时，检测时刻的偏差(t2-t1)大于等于标记间距离1m(如图6所示，标记之间的距离不均等时，最好为最小值的标记间距离(例如标记1与标记2之间的距离))的输送时间1m/v的1/2时，进行错误报告。总之，如果检测时刻的偏差(t2-t1)大于等于标记间距离1m的输送时间1m/v的1/2，当线性传感器51a的标记M2与相邻的标记M4的检测时间为t3时，不能判断在X轴方向上与标记M3位于同一位置的标记是M2还是M4。因此，当(t2-t1)≥1m/v×1/2，即(t2-t1)×v≥1m/2时，进行错误报告，督促操作者注意中止描绘处理，并修正输送偏差。

下面参照图21的流程图，说明对各喷嘴5a的喷出时刻进行的补正处理。如果线性传感器51a为传感器A，线性传感器51b为传感器B，用传感器A或传感器B在时间t1检测任意标记之后(S1)，用另一个传感器在时间t2检测标记(S2)，根据它们的检测结果，当(t2-t1)×v≥1m/2时(S3为是)，即，线性传感器51a、51b的输出偏差超过所定量时，进行错误报告(S4)。错误报告可以通过显示器显示出来，也可以显示在与主机300连接的显示画面(图中未示出)上。或者也可以用声音等报知。

另一方面，当(t2-t1)×v＜1m/2(S3为否)时，对于各喷嘴5a仅补正(t2-t1)/n，即以传感器A与传感器B的检测时刻的偏差除以喷嘴个数所得到的时间补正喷出时刻(S5)。此时进行驱动控制，t2＞t1时，使喷嘴代号(1)侧延迟，当t2＜t1时，使喷嘴代号(n)侧延迟。

另外，(S3)中的判断为小于标记间距离1m的输送时间1m/v的1/2，且大于等于1/3时，可根据允许的输送偏差量适当地变更。而且，线性标尺52可以由不是2个标记列52a，而是多个标记列52a构成，但是此时，2个线性传感器51最好都设置在工件W的Y轴方向侧端部的附近。

如上所述，采用本实施形态，线性编码器50由由多个标记列52a构成的线性标尺52和面对该多个标记列52a的多个线性传感器51构成，基于上述多个线性传感器51的输出偏差，对各喷嘴5a的喷出时刻进行补正，因此随着功能性液滴喷出头5(喷出头单元15)和/或工件W的相对移动，即使喷出位置产生偏差时，也可在喷嘴单元中消除该偏差。即，不用设置特别的机构，通过简单的构成，即可利用线性传感器51消除伴随相对移动而产生的喷出位置的偏差。

由于多个标记列52a中的至少2个标记列52a分别设在工件W的两侧端部附近，因此可更确实地检测出伴随相对移动而产生的喷出位置的偏差。进而，由于当多个线性传感器51的输出偏差超过所定量时进行错误报告，因此可督促用户判断是否要继续进行处理。另外此时，可在错误报告的同时停止描绘处理。采用这种构成，可避免喷出位置的偏差造成的有效利用率的下降。

另外，上述实施形态举例说明了采用带有通过一次扫描可描绘整个描绘区域的喷嘴列6的功能性液滴喷出头5时的情况，但是，通过多次扫描进行描绘时，最好基于线性传感器51、51的位置与各次扫描时各喷嘴5a的位置，对喷出时刻进行补正。即，此时，对各喷嘴5a的喷出时刻的补正不是(t2-t1)/n，而是增加了从各线性传感器51、51起的在Y轴方向上的相对位置作为参数。

采用多个喷嘴列6时，或用R、G、B功能性液体进行描绘时，形成对应于各喷嘴列6的标记列52a时(例如图12所示的例子时)，最好由至少喷嘴个数的2倍以上的标记列52a来构成线性标尺52。采用该构成，对例如每个喷嘴列6检测线性标尺52，同时可消除伴随相对移动而产生的喷出位置的偏差。即，即使当采用多个喷嘴列6或者喷出多种功能性液体时，也无需表现标记位置与通过检测该标记而喷射的喷嘴列6之间的关联的表格或处理程序等，即可简单地驱动控制各喷嘴列6。

而且，在非描绘区域W2中设有检测用堤坝部63时(图11所示的例子)，最好多个检测用堤坝部63中的至少2个检测用堤坝部63分别设在工件W的两侧端部的附近。采用该构成，可更确实地检测出伴随喷出头单元15和/或工件W的相对移动而产生的喷出位置的偏差。

另外，图19示出了标记列52a连续设置在X轴方向上，且每个描绘区域列中都带有基准标记M1的相当于第一实施形态的例子，但是并不仅限于此，本实施形态当然也可适用于标记列52a分离的状态(第四实施形态)中。

以上说明了第一实施形态至第五实施形态，采用本发明的液滴喷出装置1，由于线性标尺52由在工件W上作标记的标记列52a构成，因此即使温度变化导致工件W的大小发生变化时，也可以保持功能性液体的喷出精度。

特别是采用本发明的第一实施形态，由于线性标尺52内带有基准标记M1，基准标记M1以与其它标记不同的形态作标记，同时在每个描绘区域列中都有，因此基于检测到的基准标记M1，可使线性传感器51对线性标尺52的计数归零，万一发生跳读或重复计数等检测误差时，可在每个描绘区域列中对其进行补偿(修正)。而且，由于基准标记M1示出了各描绘区域列的检测开始位置，因此产生检测误差后，可从后续的描绘区域W1的喷出开始位置起保持喷出精度。

采用本发明的第二实施形态所述的液滴喷出装置1，由于将划分像素(腔室部61)的堤坝部62用作线性标尺52，因此即使采用随着温度变化而产生热膨胀或变形的工件W时，也无需形成线性标尺52的工序(在工件W上作标记的工序)，即可保持喷出精度。而且，由于在非描绘区域W2中形成与描绘区域W1的堤坝部62采用相同工艺及相同材质的检测用堤坝部63，可将其用作线性标尺52，因此与上述同样地无需形成线性标尺52的工序。由于检测用堤坝部63是在非描绘区域W2中形成的，因此可根据功能性液体的喷出次数等自由设定堤坝的间隔。

采用本发明的第三实施形态所述的液滴喷出装置1，用多个喷嘴列6进行描绘时，由于考虑到喷嘴列6之间的距离，采用与各喷嘴列6相对应的对照表350，通过检测仅错开该距离的位置上的标记，来生成喷出信号，因此不用处理程序等，即可容易地驱动控制各喷嘴列6。由此，可减少用于生成喷出信号(喷出图案数据)的控制程序所需的数据量。

采用本发明第四实施形态所述的液滴喷出装置1，构成线性标尺52的多个标记列52a分离地设置在每个描绘区域列中，由于对应于标记列52a的各描绘区域列的标记个数等于向各描绘区域W1喷出功能性液体的次数，因此每次检测标记，可通过喷出功能性液体的简单构成来驱动控制各喷嘴列6的喷出时刻。由此，可减轻控制装置(CPU等)的负担，同时即使不用表现标记位置与功能性液体的喷出/不喷射之间的对应关联的对照表350，也可以仅通过检测标记来进行描绘。

采用本发明第五实施形态所述的液滴喷出装置1，多个标记列52a被与其分别对应的多个线性传感器51检测，由于基于上述多个线性传感器51输出的偏差，可对各喷嘴5a的喷出时刻进行补正，因此即使随着功能性液滴喷出头5(喷出头单元15)和/或工件W相对的输送偏移，产生喷出位置(击打位置)的偏差时，也可以在喷嘴单元中消除该偏差。即，利用线性传感器51，无需设置特别的机构，通过简单的构成可消除伴随相对移动而产生的喷出位置的偏差。

另外，上述例子举例说明了采用玻璃基板作为工件W时的情况，但是并不限于此，由树脂构成片层状的基板等，只要是由于温度变化而产生热膨胀或变形的基板都可以适用本发明。

本发明的电光装置(设备)并不仅限于上述有机EL装置701，也可适用于液晶显示装置、电子发射装置、PDP(等离子显示屏)装置及电泳显示装置等。另外，电子发射装置是包含所谓FED(场致发射显示)装置的概念。进而，作为电光装置是指包含形成金属布线、形成透镜、形成保护层及形成光扩散体等的装置。

作为搭载上述电光装置的电子设备，除了搭载所谓平板显示器的移动电话、个人计算机以外，还包括其它各种电子产品。

而且，在不脱离本发明的范围内，可对液滴喷出装置1的装置构成、构成线性标尺52的标记的形态等进行适当地变更。

如上所述，采用本发明的液滴喷出装置、液滴喷出方法、电光装置的制造方法、电光装置、电子设备及基板，由于线性标尺由在工件上作标记的标记列构成，因此即使温度变化引起工件的大小产生变化时，也能保持功能性液体的喷出精度。而且，由于线性标尺在每个描绘区域列中都有基准标记，基于该基准标记的检测可使线性传感器对线性标尺的计数归零，因此万一发生跳读或重复计数等检测误差时，每个描绘区域列都可对其进行补偿。

Claims (18)

1、一种液滴喷出装置，该液滴喷出装置通过从排列在功能性液滴喷出头上的喷嘴列中选择性地喷出功能性液体，在工件上进行描绘，其特征在于，该装置带有下述部件：

将前述功能性液滴喷出头搭载在滑架上的喷出头单元，

实现前述喷出头单元与工件之间的相对移动的移动机构，

由线性标尺和面对该线性标尺的线性传感器构成的线性编码器，和

基于前述线性传感器对前述线性标尺的计数结果，驱动控制从前述喷嘴列中喷出功能性液体的驱动控制机构；

其中上述工件设有矩阵状配置的多个描绘区域和划分该描绘区域的非描绘区域，上述线性编码器检测前述喷出头单元与前述工件之间的相对移动位置，上述线性标尺由在前述工件上连续形成标记的标记列构成，

前述线性标尺带有基准标记，该基准标记示出了排列在垂直于前述线性传感器的检测方向的方向上的各描绘区域列的检测开始位置，该基准标记以与其它标记不同的形态作标记，

前述驱动控制机构基于检测到的前述基准标记，使前述线性传感器对前述线性标尺的计数归零。

2、根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，前述线性标尺形成在前述非描绘区域中。

3、根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，前述标记列的与各描绘区域列相对应的标记个数等于向该描绘区域喷出功能性液体的次数。

4、根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，前述描绘区域包含在喷出前述功能性液体的同时构成像素的多个腔室部和划分该腔室部的堤坝部，前述线性传感器检测代替前述标记列的前述堤坝部。

5、根据权利要求4所述的液滴喷出装置，其特征在于，前述非描绘区域带有与前述描绘区域的堤坝部材质相同的检测用堤坝部，且该检测用堤坝部可用作前述标记列，前述线性传感器检测前述检测用堤坝部。

6、根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，构成前述线性标尺的标尺个数相当于前述喷出头单元对前述工件的相对扫描次数。

7、根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，通过喷出多种功能性液体来描绘前述描绘区域，由相当于前述功能性液体的种类数的标尺个数构成线性标尺，前述线性编码器通过对应于各线性标尺的前述线性传感器来检测如上所述构成的线性标尺。

8、根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，多个喷嘴列通过前述功能性液滴喷出头排列在前述喷出头单元上，当该喷嘴列之间的距离为1时，前述线性标尺的标记列具有1/n(n为大于等于1的整数)的标记间隔，该液滴喷出装置还带有对照表，该对照表表现出前述标记列的标记位置与检测该标记位置时的各喷嘴列的喷出/不喷射功能性液体之间的对应关系，前述驱动控制机构参照前述对照表，对从各喷嘴列中喷出功能性液体进行驱动控制。

9、根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，多个喷嘴列通过前述功能性液滴喷出头排列在前述喷出头单元上，将该多个喷嘴列中的任意一个作为基准喷嘴列，同时由相当于前述喷嘴列数量的标尺个数构成线性标尺，前述线性编码器通过对应于各喷嘴列的前述线性传感器来检测如上所述构成的线性标尺时，构成各线性标尺的标记列位于在前述线性传感器的检测方向上，仅错开对应的喷嘴列距前述基准喷嘴列的距离的位置上。

10、一种液滴喷出方法，该液滴喷出方法通过从排列在功能性液滴喷出头上的喷嘴列中选择性地喷出功能性液体，在工件上进行描绘，其特征在于，该方法由下述工序构成：

实现将前述功能性液滴喷出头搭载在滑架上的喷出头单元与工件之间的相对移动的工序，

用线性标尺和面对该线性标尺的线性传感器检测前述喷出头单元与前述工件之间的相对移动位置的工序，和

基于前述移动位置的检测结果，对从前述喷嘴列中喷出功能性液体进行驱动控制的工序；

其中上述工件设有矩阵状配置的多个描绘区域和划分该描绘区域的非描绘区域，上述线性标尺由在前述工件上连续形成标记的标记列构成，

在前述线性标尺上以与其它标记不同的形态作标记，形成基准标记，该基准标记示出了排列在垂直于前述线性传感器的检测方向的方向上的各描绘区域列的检测开始位置，

前述驱动控制工序基于检测到的前述基准标记，使前述线性传感器对前述线性标尺的计数归零。

11、一种液滴喷出装置，该液滴喷出装置通过从排列在功能性液滴喷出头上的喷嘴列中选择性地喷出功能性液体，在工件上进行描绘，其特征在于，该装置带有下述部件：

将前述功能性液滴喷出头搭载在滑架上的喷出头单元，

实现前述喷出头单元与工件之间的相对移动的移动机构，

由形成在前述工件上的线性标尺和面对该线性标尺的线性传感器构成的线性编码器，和

基于前述线性编码器的检测结果，驱动控制从前述喷嘴列中喷出功能性液体的驱动控制机构；

其中上述工件设有矩阵状配置的多个描绘区域和划分该描绘区域的非描绘区域，上述线性编码器检测前述喷出头单元与前述工件之间的相对移动位置，

前述描绘区域包含在喷出前述功能性液体的同时构成像素的多个腔室部和划分该腔室部的堤坝部，前述线性标尺由前述堤坝部构成。

12、根据权利要求11所述的液滴喷出装置，其特征在于，构成前述线性传感器的检测对象的堤坝部在其检测方向上，连续形成在前述非描绘区域中。

13、根据权利要求11所述的液滴喷出装置，其特征在于，前述非描绘区域带有与前述描绘区域的堤坝部材质相同的检测用堤坝部，且该检测用堤坝部可用作前述标记列，前述线性标尺由前述检测用堤坝部构成。

14、一种液滴喷出方法，该液滴喷出方法通过从排列在功能性液滴喷出头上的喷嘴列中选择性地喷出功能性液体，在工件上进行描绘，其特征在于，该方法由下述工序构成：

实现将前述功能性液滴喷出头搭载在滑架上的喷出头单元与工件之间的相对移动的工序，

用形成在前述工件上的线性标尺检测前述喷出头单元与前述工件之间的相对移动位置的工序，和

基于前述移动位置的检测结果，对从前述喷嘴列中喷出功能性液体进行驱动控制的工序；

其中上述工件设有矩阵状配置的多个描绘区域和划分该描绘区域的非描绘区域，

前述描绘区域中形成在喷出前述功能性液体的同时构成像素的多个腔室部和划分该腔室部的堤坝部，前述线性标尺由前述堤坝部构成。

15、一种电光装置的制造方法，其特征在于，采用权利要求1或权利要求11所述的液滴喷出装置，在前述工件上用功能性液体形成成膜部。

16、一种电光装置，其特征在于，采用权利要求1或权利要求11所述的液滴喷出装置，在前述工件上用功能性液体形成成膜部。

17、一种电子设备，其特征在于，它搭载有权利要求16所述的电光装置。

18、一种基板，其特征在于，它被用作权利要求1或权利要求11所述的液滴喷出装置的前述工件。

Images