CN1785673A - 液滴喷出装置及喷出方法、电光学装置及其制造方法 - Google Patents

Abstract

提供液滴喷出装置、液滴喷出方法、电光学装置的制造方法、和电光学装置及电子仪器，即使是大型工件，液滴喷出装置也能够对工件容易喷出液滴，能够提高工件的生产效率。本发明的液滴喷出装置(10)，从喷头(120)的喷嘴向工件(W)喷出液体，具备：工作台(20)，其用于搭载工件(W)；第(1)移动部(41)，其可以将工作台(20)向第(1)方向(X)和与第(1)方向(X)大致正交的第(2)方向(Y)移动；多个承载器(50)，其具备喷头(120)；和第(2)移动部(42)，其可以将各承载器(50)沿着第(2)方向(Y)方向相互移动并定位。

Description

液滴喷出装置及喷出方法、电光学装置及其制造方法

技术领域

本发明涉及一种将液体从喷头的喷嘴向工件喷出的液滴喷出装置、液滴喷出方法、电光学装置的制造方法、电光学装置及电子仪器。

背景技术

液滴喷出装置可以作为描绘***来使用，该描绘***是以用喷墨式将液滴向工件喷出的方式制成的。该描绘***利用于例如在平板显示器那样的光电元件的制造中。

以喷墨式喷出液体的液滴喷出装置，具有用于喷出液滴的喷头。已提出有利用这样的喷头，对于玻璃基板喷出滤色器用的墨水的装置(专利文献1)。

专利文献1：日本专利第3159919号公报(第4页～第6页、图1)

这种液滴喷出装置，具有保持喷头的承载器(carriage)，其结构是当承载器的喷头结束玻璃基板的某一区域的描绘时，该承载器移动到下一个不同的区域。

另一方面，例如平面型的显示装置向大型化发展，使用在这样的平面型显示装置中的玻璃基板随之向大型化发展。因此，在经过大型玻璃基板的整个面而喷出液体并进行描绘时，会出现具有喷头的承载器的移动距离变长、而且不能提高由液体喷出的工件的生产效率的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种解决上述课题、即使是大型工件，也能够将液滴对工件容易地喷出、能够提高工件的生产效率的液滴喷出装置、液滴喷出方法、电光学装置的制造方法、电光学装置及电子仪器。

上述目的通过液滴喷出装置来实现，在第1发明中，液滴喷出装置从喷头的喷嘴向工件喷出液体，其特征在于，具备：工作台，其用于搭载上述工件；第1移动部，其可以将上述工作台向第1方向和与上述第1方向大约正交的第2方向移动；多个承载器，其具有上述喷头；第2移动部，其可以将上述各承载器沿着上述第2方向相互移动而定位。

根据第1发明的构成，工作台是搭载工件的设备。第1移动部可以将工作台移动到第1方向、和与第1方向大致正交的第2方向。多个承载器具有喷头。第2移动部可以将各承载器沿着第2方向相互移动而定位。

由此，具备喷头的多个承载器可以通过第2移动部沿着第2方向相互移动而预先定位。可以将多个承载器的各喷头的相互间的位置正确定位。并且在工作台搭载工件的状态下，向第1方向和第2方向移动时，多个承载器的喷头通过从喷头的喷嘴对工件喷出液体，可以对工件喷出液滴而进行正确的描绘。由于多个承载器的喷头能够对工件喷出液体，因此，即使是描绘面积大的大型工件，也能够以高的生产效率进行对工件的液滴喷出作业。

第2发明，其特征在于，在第1发明的构成中，上述喷头具有多个上述喷嘴，多个上述喷嘴沿着上述第2方向排列着。

根据第2发明的构成，喷头具有多个喷嘴，多个喷嘴沿着第2方向排列着。

由此，例如喷头的多个喷嘴也能够喷出各个不同种类的液体，当然多个喷嘴也可以喷出相同种类的液体。由此，可以更快地进行对工件的描绘。

第3发明，根据第1发明或第2发明，其特征在于，上述第2移动部具有：固定元件，其保持各上述承载器；可动元件，其设在各上述承载器上而将上述承载器对上述固定元件沿着上述第2方向相互移动并定位。

根据第3发明的构成，第2移动部的固定元件是用于保持各承载器的元件。第2移动部的可动元件被设在各承载器上。该可动元件是将承载器对固定元件沿着第2方向相互移动而定位的元件。

由此，各承载器可以通过第2移动部沿着第2方向相互移动而定位，而且可以预先正确地调整各承载器上的喷头的相对位置。

第4发明，根据第1发明的构成，其特征在于，使用于恢复上述喷头的上述喷嘴的喷出能力的维护部，配置在上述第2方向的至少一方的位置上。

在第4发明的构成中，用于恢复喷头的喷嘴的喷出能力的维护部，配置在第2方向的至少一方的位置上。

由此，承载器的喷头只要通过第2移动部移动到第2方向，就能够通过维护部进行喷嘴的喷出能力的恢复。

上述目的，在第5发明中通过液滴喷出方法来实现，该液滴喷出方法将液体从喷头的喷嘴喷出到工件上，其特征在于，具有：工件移动工序，其将搭载上述工件的工作台移动到第1方向和与上述第1方向大致正交的第2方向上；和液体喷出工序，其从被配置在沿着上述第2方向相互移动而预先定位的多个承载器上的上述喷头的上述喷嘴对上述工件喷出上述液体。

由此，具有喷头的承载器，可以通过第2移动部沿着第2方向相互移动而预先定位。可以正确地定位多个承载器的各喷头的相互间的位置。并且在工作台搭载工件的状态下，沿第1方向和第2方向移动时，多个承载器的喷头通过从喷头的喷嘴对工件喷出液体，可以对工件喷出液滴进行正确的描绘。由于多个承载器的喷头能够对工件喷出液体，因此，即使是描绘面积大的大型工件，也能够以高的生产效率进行对工件的液滴喷出作业。

第6发明，根据第5发明的构成，其特征在于，上述第1方向是将上述工作台相对上述喷头移动并由此液体对上述工件描绘的描绘方向。上述第2方向是将上述工作台相对上述喷头移动一定量而进行上述工件中的上述液体的喷出位置的移行的移行方向。

根据第6发明的构成，第1方向是将工作台相对喷头移动并通过液体对工件描绘的描绘方向。第2方向是将工作台相对喷头移动一定量而进行工件中的液体的喷出位置的移行的移行方向。

由此，工件能够沿着第2方向移行并沿着第1方向进行描绘，经过工件的大约整个面而容易快速地进行描绘。

第7发明，根据第5发明或第6发明的构成，其特征在于，不在上述液滴的喷出中使用的上述承载器沿着上述第2方向移动到维护部，并在上述维护部中进行上述喷头的上述喷嘴的喷出能力恢复。

根据第7发明的构成，不在液滴的喷出中使用的承载器，沿着第2方向移动到维护部，并在维护部中进行喷头的喷嘴的喷出能力恢复。

由此，不在液滴的喷出中使用的承载器，只要沿着第2方向向维护部侧移动，维护部就能够进行喷头的喷嘴的喷出能力的恢复。

上述目的，在第8发明中通过液滴喷出方法来实现，该液滴喷出方法从喷头的喷嘴将液体喷出到工件上，其特征在于，具备：扫描工序，其将搭载上述工件的工作台沿第1方向扫描；和喷出工序，其从被配设在沿着与上述第1方向大致正交的第2方向移动而预先定位的多个承载器上的上述喷头的上述喷嘴相对上述工件喷出上述液体，其中每当进行所定次数的上述扫描工序时，将上述工作台向上述第2方向移动所定量。

由此，工作台在扫描工序中向第1方向扫描，多个承载器的喷头的喷嘴在喷出工序中对工件能够喷出液体。在这时，每当进行所定次数的扫描工序时，通过工作台向上述第2方向移动所定量，对工件喷出液体而能够正确地进行描绘。由于多个承载器的喷头可以对工件喷出液体，所以即使描绘面积大的工件，也能以高生产率来对工件进行液滴喷出作业。

上述目的，在第9发明中，通过电光学装置的制造方法来实现，该电光学装置的制造方法，通过从喷头的喷嘴向工件喷出液体制造电光学装置，其特征在于，在将搭载上述工件的上述工作台向第1移动部与第1方向和上述第1方向大致正交的第2方向移动时，沿着上述第2方向相互移动而预先定位的多个承载器的上述喷头，通过从上述喷头的上述喷嘴对上述工件喷出上述液体制造上述电光学装置。

由此，具备喷头的多个承载器可以通过第2移动部沿着第2方向相互移动并预先定位。可以正确定位多个承载器的各喷头的相互间的位置。并且，在工作台以搭载工件的状态下，向第1方向和第2方向移动时，多个承载器的喷头能够通过从喷头的喷嘴对工件喷出液体，对工件喷出液体而正确地进行描绘。由于多个承载器的喷头可以对工件喷出液体，因此，即使是描绘面积大的大型工件，也能够以高的生产率对工件进行液滴喷出作业。

通过使用该多个承载器的喷头，即使是大型工件也能够以高的生产率进行描绘，因此能够提高电光学装置的生产效率。

上述目的，在第10发明中，通过电光学装置来实现，该电光学装置通过从喷头的喷嘴向工件喷出液体而制造，其特征在于，在将搭载上述工件的上述工作台向第1移动部与第1方向和上述第1方向大致正交的第2方向移动时，沿着上述第2方向相互移动而预先定位的多个承载器的上述喷头，通过从上述喷头的上述喷嘴对上述工件喷出上述液体制造上述电光学装置。

由此，具有喷头的多个承载器，可以通过第2移动部沿着第2方向相互移动并预先定位。可以正确定位多个承载器的各喷头的相互间的位置。并且，在工作台以搭载工件的状态下，向第1方向和第2方向移动时，多个承载器的喷头能够通过从喷头的喷嘴对工件喷出液体，对工件喷出液体而正确地进行描绘。由于多个承载器的喷头可以对工件喷出液体，因此，即使是描绘面积大的大型工件，也能够以高的生产效率对工件进行液滴喷出作业。

通过使用该多个承载器的喷头，即使是大型工件也能够以高的生产效率进行描绘，因此能够提高电光学装置的生产效率。

第11发明，其特征在于，其搭载如第10发明中的上述电光学装置。

由此，实现电子仪器的生产效率的提高。

附图说明

图1表示包含本发明的液滴喷出装置的描绘***的结构例的俯视图。

图2表示在图1中所示的液滴喷出装置的结构例的立体图。

图3表示在图2中的液滴喷出装置的俯视图。

图4表示线性电动机的结构例的图。

图5表示承载器及喷头的配置例的图。

图6表示维护部的结构例的图。

图7表示第1次到第3次的描绘结束状态的图。

图8表示进一步详细的第1次描绘结束状态的图。

图9表示进一步详细的第2次描绘结束状态的图。

图10表示进一步详细的第3次描绘结束状态的图。

图11表示通过本发明的液滴喷出装置制造的有机EL装置的形状例的剖视图。

图12表示通过本发明的液滴喷出装置制造的液晶显示装置的结构例的剖视图。

图13表示具备通过本发明的实施方式制造的显示装置的电子仪器的一例中的移动电话机的立体图。

图14表示电子仪器的另外一例中的计算机的立体图。

图中：1-描绘***，10-液滴喷出装置，20-工作台，41-第1移动部，42-第2移动部，50-承载器，120-喷头，X-第1方向(描绘方向)，Y-第2方向(移行方向)，W-工件。

具体实施方式

下面，参照附图说明本发明的实施方式。

图1是包含本发明的液滴喷出装置的优选实施方式的描绘***之例的俯视图。

图1所示的描绘***1由多个单元2构成的。在图1中为了附图的简单化，单元2只图示了3个，但是单元2的数也可以是4个以上，当然也可以是1个或者2个。

该描绘***，作为其一例编入在所谓的平板显示器之一种的例如有机EL(电致发光)装置的制造线中。该液滴喷出装置10可以形成例如成为有机EL装置的各像素的发光元件。

图1所示的各单元2都是相同的。单元2具有：液滴喷出装置10、腔室装置12、工件搬出入装置14、干燥空间16、控制部100。液滴喷出装置10是用于对工件W喷出液体的装置。

腔室装置12具有腔室主体12A和空气调节装置12B。腔室主体12A收容有液滴喷出装置10。空气调节装置12B在一定温度条件下将腔室主体12A内进行温度管理，腔室主体12A是所谓的热腔室。由此，腔室主体12A内的液滴喷出装置10在一定温度环境下以进行对工件W的液滴喷出(液体喷出)作业的描绘动作的方式制成的。

图1的工件搬出入装置14是用于搬入从单元2的外部在工作台20上进行描绘的工件W、或向单元2的外部搬出在工作台20上的描绘后的工件W的装置。干燥空间16是用于干燥根据状况向工件W喷出液体的溶剂的装置。液滴喷出装置10喷出的液体可以称为功能性液体。

液滴喷出装置10可以作为喷墨式描绘装置来使用。液滴喷出装置10是用于以液滴喷出法(喷墨法)来形成例如有机EL装置的发光元件的装置。液滴喷出装置10的喷头(也称为功能液滴喷出喷头)，可以形成有机EL元件的发光元件。具体而言，在有机EL元件的制造工序中，通过经过围堰部形成工序及等离子体处理工序来对形成围堰部的基板(工件的一例)，相对地扫描导入发光功能材料的喷头，液滴喷出装置10与基板的像素电极的位置对应而形成空穴注入/传输层及发光层的成膜部。

通过例如液滴喷出装置10准备2台，第1台液滴喷出装置10形成空穴注入/传输层，相邻的另外1台液滴喷出装置10可以形成R(红)、G(绿)、B(蓝)的3色的发光层。

接着，参照图2和图3说明如图1所示的液滴喷出装置10的结构例。

液滴喷出装置10具有：液滴喷出部30、一方和另外一方的维护部31，32、工作台20、第1移动部41、第2移动部42、多个承载器50、架台45。在图2和图3中，图示了X方向、Y方向、和Z方向。X方向为第1方向，Y方向为第2方向，并且Z方向相当于第3方向。X方向和Y方向处于架台45的表面45A上，Z方向为对X方向和Y方向相互垂直的方向。虽然Y方向对X方向大致成为直角或者是直角，但是优选与X方向正交。

图2和图3所示的工作台20是可装卸地保持工件W的平板状的部件。工作台20具有工件W的搭载面20A。搭载面20A具有吸附部20B。该吸附部20B连接在吸引泵20C上。当控制部100动作吸引泵20C时，吸引泵20C通过吸附部20B可装卸地吸引工件W而保持在搭载面20A上。由此，工件W相对搭载面20A不会移动而能够可装卸地可靠地固定。

图2的工件W是例如比较大型的玻璃基板。工作台20可以通过第1移动部41沿着X方向和Y方向分别移动而定位。因此，第1移动部41具有底座60、滑块部件61、1组的线性电动机62、和另1组的线性电动机63。

图2的底座60固定在架台45的表面45A上。在底座60的上面沿着X方向平行地固定线性电动机62，62。滑块部件61可以通过线性电动机62，62的动作沿着X方向移动而定位。

在滑块部件61的上面固定着线性电动机63，63。线性电动机63，63可以沿着Y方向移动工作台20而定位。

根据上述，搭载了工件W的工作台20可以沿着X方向和Y方向分别移动而定位。各线性电动机62，63分别通过从控制部100的指令来动作。如图3所示，虽然线性电动机62，62沿着X方向被配置，但是如图3所示的底部60及线性电动机62，62通过第2移动部42的下部被配置的。

接着，说明第2移动部42。

第2移动部42，如图2和图3所示，配置在相对第1移动部41垂直的方向上。而且，第2移动部42相对第1移动部41向Z(+)方向离开而被配置。第2移动部42可以将各承载器50沿着X方向相互移动而定位。

第2移动部42具有1组的线性电动机70，70、和多根支柱79。第2移动部42的线性电动机70，70沿着Y方向隔开所定间隔而平行地配置，并且分别通过支柱79水平地支撑在架台45的上部。

多个承载器50，通过该线性电动机70，70可以沿着Y方向相互自由地移动而定位。在图2和图3的例中，7台承载器50可以向Y方向相互独立移动而定位。如上所述的利用多台承载器50是为了可以对大型工件W短时间内喷出液滴，而在根据工件W描绘的工件W的制造工序中提高生产效率。

图4(A)表示图2所示的线性电动机70的结构例。线性电动机70具备固定元件71和可动元件72。固定元件71如图2所示保持在支柱79侧。对此，可动元件72分别设在各承载器50上。通过对可动元件72的线圈73通电，通过线圈73产生的磁性和磁铁71A的S极和N极产生的磁场的相互作用，可动元件72可以沿着Y方向(第2方向)相互独立移动而定位。

图4(B)表示图2所示的线性电动机62，63的结构例。线性电动机62具备固定元件89和可动元件82。固定元件89具备磁铁81A。该固定元件89被固定在底座60。可动元件82被设在滑块部件61侧。通过对可动元件82的线圈83通电，通过线圈83产生的磁场和磁铁81A的N极和S极产生的磁场的相互作用，滑块部件61在图2中可以沿着X方向(第1方向)移动而定位。

另外，在图4(B)所示的线性电动机63的情况下，固定元件89被固定在滑块部件61的上面。可动元件82被固定在工作台20侧。籍此，通过向线圈83通电，工作台20可以对滑块部件61沿着Y方向(第2方向)移动而定位。

图4所示的线性电动机70，62，63的结构并不局限于上述的一例，当然也可以采用其他结构。

接着，参照图5说明图2和图3中所示的承载器50的结构例。

各承载器具有相同的结构。各承载器50具有液体储存部80和电器(装)单元81。液体储存部80储存对承载器50的喷头供给的功能性的液体。电器单元81，通过由控制部100的指令对压电元件供给电压而驱动压电元件。籍此，可以从与压电元件对应的喷嘴喷出该液体。

图5表示定位在图2所示的位置P1的例如4个承载器50的结构图。在图2中，除了喷出位置P1以外，还具有维护位置P2，P3。定位在各位置的承载器50的结构都相同。

在这里如图5所示那样，对定位在位置P1的4各承载器50说明其结构例。在承载器50的上面侧搭载上述的液体储存部80和电器单元81。在承载器50的中央部分，其下面侧搭载喷头120。该喷头120也称为功能性液体的喷出喷头或喷墨式喷头。

各喷头120设有多个喷嘴，例如具有喷嘴组PN，GN，BN。各个喷嘴组由多个喷嘴构成，但是也包含一个喷嘴的情况。喷嘴组PN由用于例如喷出红色(R)的液体的喷嘴构成。喷嘴组GN由用于例如喷出绿色(G)的液体的喷嘴构成。喷嘴组BN由用于例如喷出蓝色(B)的液体的喷嘴构成。

在图5中喷嘴组RN由网眼表示，喷嘴组GN中的右下由剖面线表示，喷嘴组BN中的右上由剖面线表示。

各喷头120中的喷嘴组RN，GN，BN的排列方向为大致沿着Y方向，但是在该例中各喷嘴组RN，GN，BN沿着合成X方向和Y方向的斜方向125排列着。各喷头120设在承载器50的下面侧，即与工件W对面的一侧。由此，喷头120能够位于与工件W对面的工件W的上方。

接着，说明图2和图3中所示的左右维护部31，32。

维护部31，32配置在第1移动部41的右侧和第1移动部41的左侧。左右的维护部31，32沿着Y方向隔开间隔而配置着。通过这样的维护部31，32配置在第2移动部42的支柱79内侧，维护部31，32不露出在支柱79的外侧和架台45的外侧，因此实现液滴喷出装置10的小型化。

在对工件W喷出液滴的过程中不使用承载器50的情况下，对于不使用的承载器50，例如维护部31或维护部32可以进行喷头120的各喷嘴中的功能性液体的喷出能力的恢复。在如上所述那样进行喷头120的喷嘴的维护时，承载器50优选从液滴喷出部30或喷出位置P1沿着维护位置P2或者维护位置P3向Y方向移动定位。

参照图6说明维护部31，32的结构例。

如图3所述，维护部31，32分别具备吸引部160和擦拭部161。吸引部160如图6(A)所述具有壳体199、吸收部件162、泵163、废液容器64。壳体199通过密接喷头120的喷嘴120A，可以密封喷嘴板120A的各喷嘴。吸收部件162收容在承载器199内部，具有吸收想要吸引的液体的功能。

壳体199通过例如由升降机构165向Z1方向上升，能够密封承载器199的喷嘴板120A。承载器199在上部具有开口部166。

当控制部100动作泵163时，泵163通过管子167，168使壳体199处于负压状态。根据上述喷头120的喷嘴内部的液体或气泡被吸引在吸收部件162侧并通过泵163可以回收在废液容器164侧。由此，在喷头120的喷嘴内中通过干燥吸引堵眼的状态或气泡等而实现喷头的喷嘴的喷出能力的恢复。

其后，为了擦拭付着在喷嘴板120A的液体200而利用擦拭部161。擦拭部161通过例如将刮板201对喷嘴板120A相对地接触移动，能够擦拭付着在喷嘴板120A的液体200。

如上进行，喷头120吸引后通过刮板擦拭，能够实现喷头120的喷出能力的功能的恢复。

此外维护部31，32也可以具有防水板单元或喷出检验单元或重量测量单元等。

防水板单元用于接受从喷头120预先喷出的喷出用液体。喷出检验单元检验从喷头120喷出的液体的喷出状态。重量测量单元测量从喷头120喷出的液体的重量。

接着，参照图7至图10说明本发明的液滴喷出方法的优选实施方式。

图7表示用于对工件W描绘3种液体(R，G，B)的液滴喷出方法的概略。图7(A)表示将工件W向X(+)的描绘方向移动而第1次描绘喷出结束了的状态。图7(B)表示将工件W向Y(+)的移行方向移行之后向X(-)的描绘方向移动而第2次描绘喷出结束了的状态。

图7(C)表示进一步将工件W向Y(+)的移行方向移动之后再向X(+)的描绘方向移动而第3次描绘喷出结束了的状态。

在结束图7(A)的第1描绘后，与工作台一同将工件W向Y(+)的移行方向只移动一定量D，在图7(B)中，第2次描绘结束后也与工作台一同将工件W向Y(+)的移行方向只移行一定量D。

在图7中，简化表示如图5所示的喷头120。例如4个承载器50如图5和图2所示那样定位在预先喷出位置P1。并且各承载器50的相互间隔，通过使各个承载器50向Y方向稍微移动，能够以各喷头120成为适当的相互间隔的方式预先调整。由此，能够将各喷头120的喷嘴之间的间隔预先沿着Y方向正确地定位，能够确保从各喷头向工件W上喷出的喷出精确度。

在本发明的液滴喷出方法的实施方式中，将搭载工件的工作台向X方向(第1方向)和Y方向(第2方向)移动的工序称为工件移动工序。将搭载工件的工作台向X方向扫描的工序称为扫描工序。Y方向对X方向垂直或者大致正交。

另外，从配设在沿着Y方向预先定位的多个承载器上的喷头的喷嘴，对工件喷出液体的工序称为液体喷出工序或喷出工序。

图8进一步具体地表示如图7(A)所示的第1次描绘结束后的状态。

各喷头120的喷嘴组RN由网眼表示，喷嘴组GN中的右下由剖面线表示，喷嘴组BN中的右上由剖面线表示。并且为了区别被描绘在工件W的液体的描绘部分，从喷嘴组PN喷出的液体的描绘部分由200R表示，从喷嘴组GN喷出的液体的描绘部分由200G表示，从喷嘴组BN喷出的液体的描绘部分由200B表示。

如图8和图7(A)所述，例如4个喷头120的总计的配列宽度E1大致与工件W的宽度E2对应。4个喷头120定位在与工件W对应的位置。在图3中，4个承载器50预先定位在喷出位置P1，在Y方向上不移动而固定位置。

通过图2所示的第1移动部41与滑块部件61一同将工作台20如图7(A)所示那样向X(+)的描绘方向移动，在图7(A)中工件W从以1点点划线表示的位置通过4个喷头120的下面。根据上述，各喷头120的各喷嘴组PN，GN，BN在对应的位置上将200R，200G，200B分别描绘在所定的位置。图8和图7(A)表示第1次描绘结束了的状态。

接着，在图8和图7(A)中，与工作台一同将工件W向Y(+)的移行方向只移行D部分。并且，如图7(B)所示，通过再与工作台20一同将工件W向X(-)的描绘方向从1点点划线的位置移动，工件W通过4个喷头的下面。由此，在只移行一定量D的位置上，各喷头120的喷嘴RN喷出液体的描绘部分，喷嘴组GN喷出液体的描绘部分200G，并且喷嘴组BN喷出液体的描绘部分200B。

如图9所述，第2次描绘结束。

其后，进一步工件W同工作台20进行第2次的移行移动。图7(C)的工件W已经向Y(+)的移行方向移行移动一次的一定量D部分。

其后，如图7(C)和图10所述，再将工件W向X(+)的描绘方向移动，工件W从1点点划线的位置移动到4个喷头120的下面。其结果，如图7(C)和图10所述那样可以进行第3次描绘。根据上述，经过整个区域能够描绘液体200R，200G，200B，可以形成R，G，B的3种颜色的发光层。在图10和图7(C)的状态中，移行的总计量达到2D。

在图2和图3的例中，在喷出位置P1中例如4个承载器50并排着。并且不使用在喷出作业中的剩余的3个承载器50分别分成1个和2个通过左右的维护部31，32可以进行维护。

使用中的承载器50的数根据工件W的大小(面积)并不局限于4个，当然也可以是1个以上3个以下或5个以上7个以下。另外，当然也可以搭载7个以上的承载器50来使用。

设在各承载器50中的喷头120，如图5所述，并不局限于喷嘴组RN，GN，BN，当然也可以是2个或4个以上。并且各喷嘴的排列方向也考虑到沿着Y方向形成的方向，也考虑到沿着X方向形成的方向。另外当然也可以沿着X方向和Y方向合成的方向排列。

在本发明的实施方式中，为了将工作台20向X方向和Y方向移动，使用线性电动机62，63。另外为了将多个承载器50能够相互间隔变更地向Y方向移动，仍然使用线性电动机70。

但是也可以采用利用电机和进给丝杆及螺帽构成的普通送进机构来代替采用线性电动机。

在本发明的实施方式中，具有喷头120的多个承载器50可以通过第2移动部42沿着第2方向(Y)相互移动并定位。

由此，能够预先正确定位多个承载器的各喷头的相互间的位置。并且在工作台20搭载工件W的状态下，向第1方向(X)和第2方向(Y)移动时，多个承载器的喷头通过从喷头的喷嘴对工件喷出液体，能够对工件喷出液体进行描绘。由于多个承载器的喷头能够对工件喷出液体，因此可以根据工件的大小选择承载器的数，即使是描绘面积大的大型工件，也能够以高的生产效率对工件进行液滴喷出作业。

另外，在本实施方式中，由于多个承载器也可以向第2方向(Y)移动，因此在对工件进行描绘时，也可以将承载器向第2方向(Y)移动而代替将工作台20向第2方向(Y)移动。在这种情况下，如移动的承载器数为多个，则对移动时的定位需要时间，即使是只移动工作台20也需要时间。因此，通过使用的承载器数，也可以选择是否将任一的工作台20和承载器向第2方向移动。

此外，在移动承载器的情况下，通过施加在包含喷头内的流路、液体储存部等承载器上存在的液体的震动或压力变动等、或施加在承载器整体上的震动等，有时可以产成在喷出时由飞行弯曲的弹落位置的偏差或喷出量的变动等不良反映。对此，在将工作台20向第1方向(X)和第2方向(Y)移动而进行描绘的情况下，没有如上所述的不良反映，在变更描绘位置时移动承载器的情况下，也能够进行精确度高的稳定的描绘，所以优选。

在本发明的实施方式中，例如喷头的多个喷嘴也能够喷出各种不同种类的液体，当然多个喷嘴也可以喷出相同种类的液体，由此，能够进一步快速地进行对工件的描绘。另外，也可以变化喷出在每一个喷头的液体的种类，对此，由于以喷头单位进行液体的管理，因此更容易进行有关液体的供给或喷头的维护的管理。

在本发明的实施方式中，承载器50的喷头120只要通过第2移动部42向第2方向(Y)移动，就能够通过维护部进行喷嘴的喷出能力。

在本发明的实施方式中，工件沿着第2方向(Y)移行，同时能够沿着第1方向(X)进行描绘。

在图2和图3的例中，维护部31，32配置在喷出位置P1的两侧。但是并不局限于此，维护部也可以设在沿着Y方向的至少一侧。例如维护部也可以设在喷出位置P1的左侧或右侧的任一方。

本发明的液滴喷出装置的实施方式，可以在制造电光学装置(装置)的过程中使用。作为该电光学装置(器件)考虑到液晶显示装置、有机EL(Electro-Luminescence)装置、电子发射装置、PDP(Plasma DisplayPanel)装置及电泳显示装置等。此外，电子发射装置是包含所谓的FED(Field Emission Display)装置的概念。并且，作为电光学装置考虑到包含金属配线形成、透镜形成、抗蚀剂形成及光扩散体形成等的各种装置。

图11表示将本发明的液滴喷出装置作为描绘装置来使用，并使用在平板显示器的一种的有机EL装置的制造时的有机EL装置的结构例。有机EL装置701，将挠性基板(图示省略)的配线及驱动IC(图示省略)连接在由基板711、电路元件部721、像素电极731、围堰部741、发光元件751、阴极761(对向电极)、及密封用基板771构成的有机EL元件702上。

有机EL元件702的基板711上面形成电路元件部721，电路元件部721上面排列着多个像素电极731。并且，在各像素电极731之间以格子状形成有围堰部741，在通过围堰部741产生的凹部开口744上形成着发光元件751。在围堰部741及发光元件751的上部整个面上形成阴极761，在阴极761的上面层叠有密封用基板771。

有机EL元件702的制造过程具备：围堰部形成工序，其形成围堰部741；等离子体处理工序，其用于适当地形成发光元件751；发光元件形成工序，其形成发光元件751；对向电极形成工序，其形成阴极761；密封工序，其将密封用基板771层叠在阴极761上并进行密封。

即，有机EL元件702，在预先形成电路元件部721及像素电极731的基板711(工件W)的所定位置上形成围堰部741后，依次进行等离子体处理、发光元件751及阴极761(对向电极)的形成，进一步通过将密封用基板771层叠在阴极761上密封而制造。此外，有机EL元件702由于受到空气中的水分等影响而容易劣化，因此，优选：有机EL元件702的制造由干空气泵或惰性气体(氮气、氩气、氦气等)气氛中进行。

另外，各发光元件751以由着色在空穴注入/传输层752及R(红)·G(绿)·B(篮)的任一色的发光层752形成的成膜部构成，在发光元件形成工序中包含着：形成空穴注入/传输层752的空穴注入/传输层形成工序；和形成3种颜色的发光层753的发光层形成工序。

有机EL装置701，在制造有机EL装置702后，通过在有机EL装置702的阴极761上连接挠性基板的配线，同时在驱动IC上连接电路元件部721的配线而制造。

接着，说明对于适用于液晶显示装置的制造的情况下的本发明的实施方式的液滴喷出装置10。

图12表示液晶显示装置801的剖面结构。液晶显示装置801由滤色器802、对向基板803、填充在滤色器802和对向基板803之间的液晶组合物804、和背光(图示省略)构成的。在对向基板803的内侧面，像素电极805、和TFT(薄膜晶体管)元件(图示省略)形成为矩阵状。在与像素电极805对向的位置上，排列成滤色器802的红、绿、篮的着色层813。在滤色器802及对向基板803的各个内侧面上形成有将液晶分子以一定方向排列的取向膜806，在滤色器802及对向基板803的各个外侧面上粘接着偏光板807。

滤色器802具备透光性的透明基板811、在透明基板811上以矩阵状排列的多个像素(滤波元件)812、形成在像素812上的着色层813、和隔开各像素812的遮光性的间壁814。着色层813及间壁814上面形成有覆盖(overcoat)层815及电极层816。

如说明液晶显示装置801的制造方法，则首先，在透明基板811上作成间壁814后，在像素812部分上形成R(红)/G(绿)/B(篮)的着色层813。并且，旋涂透明丙稀树脂涂料形成覆盖层815，而且，形成由ITO(Indium Tin Oxide)构成的电极层816，制成滤色器802。

在对向基板803中制成像素电极805和TFT元件。接着，在已形成有制成的滤色器802及像素电极805的对向基板803上进行取向膜806的涂敷后，粘贴这些。并且，在滤色器802及对向基板803之间填充液晶组合物804后，层叠偏光板807及背光灯。

本发明的液滴喷出装置的实施方式可以用于上述滤色器的滤波元件(R(红)/G(绿)/B(篮)着色层813)的形成上。另外，通过使用与像素电极805对应的液体材料，也可以用于像素电极805的形成上。

另外，作为其他的电光学装置，除了金属配线形成、透镜形成、抗蚀剂形成及光扩散体形成等之外，还要考虑到包含显微镜用标本形成的装置。通过将上述的液滴喷出装置使用在各种电光学装置(装置)的制造上，能够有效地制造各种电光学装置。

本发明的电子仪器搭载有上述电光学装置。在这种情况下，作为电子仪器，所谓的搭载平板显示器的移动电话机、微型计算机、和其他各种电气制品相当于此。

图13表示电子仪器之一例的移动电话机1000的形状例。移动电话机1000具有主体部1001和显示部1002。显示部1002使用如上所述的电光学装置的例如有机EL装置701或液晶显示装置801。

图14表示电子仪器的其他一例的微型计算机1100。微型计算机1100具有主体部1101和显示部1102。显示部1102可以使用如上所述的电光学装置之一例的有机EL装置701或液晶显示装置801。

本发明的液滴装置的实施方式也可以使用在黑白或彩色印刷(印字)。在这种情况下，液体储存部是墨水筒，该墨水筒将1种或多个墨水(例如黑色、黄色、红色、青绿色、浅青绿色、浅红色等)分别储存。墨水是液体的一例。

本发明并不局限于上述实施方式，不脱离本发明宗旨的范围内可以进行各种变更。并且，上述各实施方式也可以互相组合而构成。

Claims (11)

1、一种液滴喷出装置，其从喷头的喷嘴向工件喷出液体，其特征在于，具备：

工作台，其用于搭载上述工件；

第1移动部，其可以将上述工作台向第1方向和与上述第1方向大约正交的第2方向移动；

多个承载器，其具有上述喷头；和

第2移动部，其可以将各上述承载器沿着上述第2方向相互移动而定位。

2、根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，

上述喷头具有多个上述喷嘴，多个上述喷嘴是沿着上述第2方向排列着的。

3、根据权利要求1和权利要求2中所述的液滴喷出装置，其特征在于，

上述第2移动部具有：固定元件，其保持各上述承载器；和可动元件，其设在各上述承载器上而将上述承载器对上述固定元件沿着上述第2方向相互移动并定位。

4、根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，

用于恢复上述喷头的上述喷嘴的喷出能力的维护部，配置在上述第2方向的至少一方的位置上。

5、一种液滴喷出方法，是将液体从喷头的喷嘴喷出到工件的方法，其特征在于，具有：

工件移动工序，其将搭载上述工件的工作台移动到第1方向和与上述第1方向大致正交的第2方向上；和

液体喷出工序，其从配置在沿着上述第2方向相互移动而预先定位的多个承载器上的上述喷头的上述喷嘴，对上述工件喷出上述液体。

6、根据权利要求5所述的液滴喷出方法，其特征在于，

上述第1方向是将上述工作台对上述喷头移动并由此液体对上述工件描绘的描绘方向，上述第2方向是将上述工作台对上述喷头移动一定量而进行上述工件中的上述液体的喷出位置的移行的移行方向。

7、根据权利要求5或权利要求6所述的液滴喷出方法，其特征在于，

在上述液滴的喷出中不使用的上述承载器，沿着上述第2方向移动到维护部，并在上述维护部中进行上述喷头的上述喷嘴的喷出能力恢复。

8、一种液滴喷出方法，其从喷头的喷嘴向工件喷出液体，其特征在于，具有：

扫描工序，其将搭载上述工件的工作台向第1方向扫描；

喷出工序，其从配设在沿着与上述第1方向大致正交的第2方向移动而预先定位的多个承载器上的上述喷头的上述喷嘴，对上述工件喷出上述液体。

每当进行所定次数的上述扫描工序时，将上述工作台向上述第2方向移动所定量。

9、一种电光学装置的制造方法，是通过从喷头的喷嘴向工件喷出液体而制造电光学装置的制造方法，其特征在于，

在将搭载上述工件的上述工作台向第1移动部与第1方向和上述第1方向大致正交的第2方向移动时，沿着上述第2方向相互移动而预先定位的多个承载器的上述喷头，通过从上述喷头的上述喷嘴对上述工件喷出上述液体而制造上述电光学装置。

10、一种电光学装置，其通过从喷头的喷嘴向工件喷出液体而制造，其特征在于，

在将搭载上述工件的上述工作台向第1移动部与第1方向和上述第1方向大致正交的第2方向移动时，沿着上述第2方向相互移动而预先定位的多个承载器的上述喷头，通过从上述喷头的上述喷嘴，对上述工件喷出上述液体制造上述电光学装置。

11、一种电子仪器，其特征在于，

其搭载了权利要求10中所述的上述电光学装置。

Images