CN1493925A - 曝光设备及传送掩模和工件的方法 - Google Patents

Abstract

一种曝光设备，其包括：设置在加载/卸载位置与曝光位置之间处于不同高度的第一传送通道和第二传送通道；第一和第二工作台，其中之一设置在所述的加载/卸载位置，而另一个设置在所述的曝光位置；升降机构，其将所述第一和第二工作台的其中之一提升至所述的第一传送通道，并将所述第二和第一工作台中的另一个下降至所述的第二传送通道；和传送机构，其分别将所述的第一和第二工作台传送至所述的加载/卸载位置和曝光位置。所述的第一和第二工作台中的每一都具有其上设置有工件的载物台板和事先安装有掩模的透光板。

Description

曝光设备及传送掩模和工件的方法

技术领域

本发明涉及一种在诸如印刷电路板的板状工件的曝光中使用的曝光设备，和传送掩模和工件的方法。本发明尤其涉及一种曝光设备和曝光方法，用于在加载/卸载位置和曝光位置轮流地调整和曝光工件。

背景技术

为了将电子电路的图案的象图转印到诸如印刷电路板、液晶板和液晶滤色镜的工件上，已有多种曝光设备用于通过辐射具有特定波长的紫外光对工件进行曝光。这种曝光设备包括通过工人来手动加载和卸载工件的所谓的半自动曝光设备，和自动操作所述工件的加载和卸载的所谓的自动曝光设备。

日本专利申请公开No.8-43950(见(0043)至(0082)段)中公开了半自动曝光设备的示例之一，且参照图14对其进行说明。图14是常规的半自动曝光设备的示意图。如图14所示，半自动曝光设备100包括：传送机构103，其在加载/卸载位置H1与曝光下方位置(under exposureposition)R1之间往复地传送用于支撑工件的第一和第二工作台101，102；升降机构104，其在所述的工作台101(102)被所述的传送机构103从加载/卸载位置H1传送到曝光下方位置R1之后，将其上放置有工件W和掩模(mask)M的一个工作台101(102)的支撑板101a(102a)提升到曝光位置R2，和将定位在所述的曝光位置R2的其上放置有工件W和掩模M的另一支撑板102a(101a)降低到曝光下方位置R1，以将所述的支撑板102a(101a)放置在所述的工作台102(101)上；顶架105，其吸引和支撑被所述的升降机构104提升的支撑板101a，102a的其中之一；光照射机构107，其将诸如紫外线的光通过光学***106辐射到所述的顶架105上；和设置在所述的加载/卸载位置H1处的成像装置108、调整工作台109和掩模支撑机构110。

在所述的半自动曝光设备(下文称为曝光设备)100的操作中，工人将工件W放置在定位在所述的加载/卸载位置H1的第一工作台101的支撑板101a上，且同时，工人设置与该工件W相一致的掩模M。所述的成像装置108拍摄(picture)所述掩模M和工件W的对准标记(未示出)。当所述的工件W被移动以对准时，所述的掩模支撑机构110吸住所述的掩模M并将该掩模M的至少一部分从所述的工件W移动一定距离，在该过程中所述的对准工作台109为了对准的目的而移动所述的支撑板101a。然后下降所述的掩模支撑机构110，将所述的掩模M叠置在所述的工件W上。如果由所述的成像装置108拍摄(picture)的对准标记(未示出)都在允许的范围内的话，则所述掩模M和工件W的对准操作完成。然后工人通过固定装置，诸如胶带，将所述的掩模M固定在所述的支撑板101a上。

接着，致动所述的传送机构103，以朝所述的曝光下方位置R1运送所述的处于加载/卸载位置H1的第一工作台101，而朝所述的加载/卸载位置H1运送所述的处于曝光下方位置R1的第二工作台102。所述的升降机构104提升在所述的曝光下方位置R1被承载的第一工作台101的支撑板101a，以使所述的支撑板101a在真空的作用下与设置在曝光位置的R2的顶架105紧密配合。然后所述的光照射机构107通过所述的光学***106将光辐射到所述的掩模M和工件W上，所述的掩模和工件夹在所述的顶架105和支撑板101a之间，以使所述掩模M的像图转印到所述的工件W上。

在所述的曝光操作完成之后，所述的顶架105与支撑板101a之间的真空密封解除，且所述的工件W和掩模M从所述的顶架105松开。所述的升降机构104接收所述的工件W和掩模M以将它们放置在所述的支撑板101a上，通过所述升降机构104的下降运动将所述的工件和掩模降至定位在所述的曝光下方位置R2处的第一工作台101。

在曝光操作中，以与对所述的第一工作台101执行的对准操作类似的方式在所述的加载/卸载位置H1处对所述的第二工作台102执行工件W和掩模M的对准操作。

因此，在处于所述的加载/卸载位置H1的第一和第二工作台101，102的其中之一处执行所述的对准操作，而在相对于定位在所述的曝光下方位置R1的第二和第一工作台102，101中的另一个的曝光位置R2处执行所述的曝光操作，因此所述的对准操作和曝光操作被轮替且重复地执行。应注意所述的第一工作台101和第二工作台102在曝光下方位置R1处于不同高度处。但是，所述的第一和第二工作台101，102的支撑板101a，102a通过改变所述升降机构104的行程长度(升降距离)与所述的顶架105连接和脱离。

在另一种公知的曝光设备中，在半自动曝光设备100的曝光下方位置R1执行曝光操作。在该曝光设备中，这样构造这两个工作台以使保持掩模的透光板打开和关闭，从而允许将工件设置在面对所述掩模的位置。在该曝光设备中，通过改变相应工作台的曝光时间，对在所述曝光下方位置的不同高度处的被轮流传送的这两个工作台上的工件执行适当的曝光操作。

但是，常规的曝光设备具有以下缺点：

(1)由于通过所述的升降机构提升被第一和第二工作台轮流传送的且与所述的工作台分离的支撑板，以将工件设置在曝光位置且使所述的工件与顶架配合，因此很困难保持所述的工具与掩模之间的对准位置，直到将它们设置在曝光位置。而且，由于两个工作台被承载在所述加载/卸载位置的不同高度处，因此不得不在不同的高度执行所述的对准操作。这与在处于同一高度的对准工作台上执行的对准操作相比还需要进一步的可操作的控制(operational control)。

(2)由于在与所述掩模相邻的透光板的周围设置金属架，因此无论何时更换或开始设置所述的透光板都需要进行所述透光板的设置操作。

(3)在所述掩模和工件的对准操作的过程中，当所述的掩模被所述的掩模支撑机构110保持时，移动工件以进行对准。但是，这需要复杂的结构。另外，工人通过胶带固定所述的掩模和工件，会导致工人的工作量增加。

(4)在对准掩模与工件时，工人不得不设置所述的掩模和工件两者，这使得加载/卸载操作复杂化。在这种曝光设备中，其中所述的透光板能够打开和关闭以用于工件的放置，工人打开/关闭所述的透光板的操作需要极大的力量，还有，在透光板的打开/关闭动作的过程中不得不缩回所述的成像装置，以避免碰撞所述的透光板。

(5)常规的曝光设备包括：在所述的加载/卸载位置与曝光位置之间通过两条传送通道轮流运送两个工作台的机构，所述的两条通道中的一条设置在另一个的顶部；和从所述的传送机构分离所述的工作台以在加载/卸载位置和曝光位置分别执行对准操作和曝光操作的机构。因此，常规的曝光设备需要所述支撑板的竖直移动的控制以及移动所述支撑板所需的大的驱动力。

综上所述，本发明提供一种曝光设备和曝光方法，其中工件的对准位置与曝光位置处于大致相同的高度方向中，能省略围绕所述透光板周围的金属架，且设置掩模的透光板的操作易于完成。

发明内容

根据本发明的第一方面，提供一种曝光设备，其包括：

第一工作台和第二工作台，每个工作台都包括其上放置有工件的载物台板(stage plate)和事先安装有掩模的透光板，所述的第一和第二工作台在加载/卸载位置与曝光位置之间被轮流传送，其中在所述的加载/卸载位置加载/卸载所述的工件，以及在所述的曝光位置使所述的已对准的工件和掩模曝光。

第一传送通道和第二传送通道，其设置在所述的加载/卸载位置与曝光位置之间的不同高度处，其中所述的第一传送通道轮流传送所述的第一工作台和第二工作台，而所述的第二传送通道轮流传送所述的第二工作台和第一工作台；

升降机构，其将所述的第一和第二工作台的其中之一提升至所述的第一传送通道，以及将所述的第二和第一工作台的另一个下降至所述的第二传送通道；

传送机构，其沿所述的第一和第二传送通道传送被所述的升降机构提升或降低的第一和第二工作台，将其中一个工作台从所述的加载/卸载位置传送到所述的曝光位置，和将另一个从所述的曝光位置传送到所述的加载/卸载位置；

对准机构(alignment mechanism)，其将放置在被传送到所述的加载/卸载位置的其中一个工作台上的工件与所述的掩模对准；和

光照射机构，其对放置在被传送到所述曝光位置的另一个工作台上的工件辐射光。

在所述的第一传送通道位于所述的第二传送通道的上方的情况下，基于具有这种结构的曝光设备，在完成所述第一和第二工作台的曝光操作和对准操作之后，通过所述的升降机构将所述的第一工作台提升至所述的第一传送通道和通过所述的升降机构将所述的第二工作台下降至所述的第二传送通道。通过所述的传送机构将支撑所述掩模和工件的第一工作台和第二工作台的每一个轮流传送至所述的加载/卸载位置和曝光位置。所述加载/卸载位置与曝光位置的其中之一可以设置在所述的第一传送通道或第二传送通道上，且另一个可以设置在第二传送通道或第一传送通道上。另外，由于所述的掩模被设置在每个工作台的透光板上，因此所述的对准机构直接拍摄所述掩模和工件的对准标志。

在上述的曝光设备中，所述的升降机构通过升降引导装置分别与所述的第一和第二工作台接合，和所述的传送机构通过与所述的升降引导装置接合的驱动装置传送所述的第一和第二工作台。

就上述结构的曝光设备而言，工件被放置在位于所述的加载/卸载位置的第一工作台的载物台板上，和利用对准机构使该工件与设置在所述透光板上的掩模对准。当这样做的时候，在完成所述的对准操作之后，通过所述的光照射机构对已被传送到所述的曝光位置的第二工作台进行曝光操作。在完成所述的第一工作台的对准操作和第二工作台的曝光操作之后，利用所述的升降机构且通过所述的升降引导装置将所述的第一工作台提升至所述的第一传送通道，且利用所述的升降机构且通过所述的升降引导装置将所述的第二工作台下降至所述的第二传送通道。之后，利用由所述的传送机构的驱动装置传送的升起引导装置沿相应的传送通道传送所述的第一和第二工作台，因此所述的第一工作台被传送到所述的曝光位置且所述的第二工作台被传送到所述的加载/卸载位置。

根据本发明的第二方面，提供一种传送掩模和工件的方法，其中其上设置有掩模和工件的第一工作台通过第一传送通道从第一位置被传送到第二位置，而其上设置有掩模和工件的第二工作台通过第二传送通道从第二位置被传送到第一位置，所述的方法包括以下步骤：

对准处于所述第一位置的第一工作台上的掩模和工件，在第二位置通过所述的掩模对第二工作台上的工件进行曝光；和

沿一个环路循环地传送所述的第一工作台和第二工作台，该环路延伸穿过所述的第一和第二位置并包括所述的第一和第二传送通道。

利用这种方法，沿所述的环路循环地传送的第一工作台和第二工作台。这样实现了所述曝光设备的有限内部空间的有效利用并提供小尺寸的曝光设备。

简要说明

下面将通过示例的方式并参照附图来说明本发明的优选实施例，其中：

图1是根据本发明的曝光设备的分解立体图，示意地表示该曝光设备的整体构造；

图2是表示所述曝光设备的第一工作台(第二工作台)的结构的立体图；

图3是表示处于所述曝光设备的加载/卸载位置的接合基准位置的立体图；

图4是表示所述的曝光设备的对准工作台的结构的示意图；

图5是表示处于所述曝光设备的加载/卸载位置的对准工作台的结构的示意图；

图6是表示所述的曝光设备的整体机构的示意图；

图7是表示所述曝光设备的两条传送通道的俯视图；

图8A至图8E是说明所述曝光设备的对准操作的示意图；

图9A-1至9D-2是说明所述曝光设备的升降操作和传送操作的示意图；

图10A至10F是表示所述曝光设备的升降操作和传送操作的示意图；

图11A和11B是表示分别设置在所述的传送通道中的曝光设备的两个工作台的示意图；

图12A-1至12D-2是表示处于传送通道中的工作台的透光板和载物台板的结构的示意图；

图13A至13G是表示所述曝光设备的工作台的全部操作的示意图；和

图14是表示常规的曝光设备的整体结构的示意图。

具体实施方式

下面参照附图来说明本发明的一个优选实施例。这里，作为本发明的一个示例的曝光设备属于使基板(substrate)的一侧曝光的类型。

如图1，2和6所示，曝光设备1设有：作为第一位置的加载/卸载位置P1，其中工人在壳体2的前方将工件W加载在该处或者从该处卸载所述的工件，和作为第二位置的曝光位置P2，其中工件W在该位置处在壳体2的后方被曝光。

所述的曝光设备1包括：第一传送通道L1和第二传送通道L2，这两条通道设置在所述的加载/卸载位置P1与曝光位置P2之间的两个不同高度处，以使所述的第一和第二传送通道L1，L2形成经过所述第一位置P1和第二位置P2的环路的一部分；第一工作台10和第二工作台10，以循环的方式沿所述的第一和第二传送通道L1，L2分别传送这两个工作台(图6)；传送机构5，其沿所述的两条传送通道L1，L2分别传送所述的两个工作台10，20；升降机构6，其提升和下降分别位于所述的加载/卸载位置P1和曝光位置P2的两个工作台10，20，以切换它们的传送通道；透光板滑动机构9，当工作台10，20的其中之一从所述的曝光位置P2被传送到所述的加载/卸载位置P1时，该透光板滑动机构滑动地打开和关闭第一工作台10(或第二工作台20)的透光板11(21)和载物台板12(22)；成像装置3A和对准工作台4，作为对准机构3，设置在加载/卸载位置P1处；和光照射机构8，其辐射包括紫外光在内的光并设置在所述的曝光位置P2处。所述的透光板滑动机构9包括滑动装置9A，滑动致动装置9B，和透光板引导装置9C。如图6所示，所述的环路为矩形，且所述的第一传送通道L1设置在所述第二传送通道L2的竖直上方。如图6所示，所述第一工作台10和第二工作台20以循环的方式沿所述的环路移动。

第一工作台10和第二工作台20的结构如下所述。由于所述的第一工作台10和第二工作台20的结构大致相同，除了它们的右和左部分相对于工作台的传送方向为对称设置之外，因此这里只描述第一工作台10的结构，省略第二工作台20的描述。

如图1和2所示，所述的第一工作台10包括：外形为U形的构件16，其具有一中部空间(mid space)，用于定位工件W的对准工作台4通过该部分支撑所述的载物台板12；由所述的透光板滑动机构9和构件16间接地且相对地支撑的透光板11和载物台板12；滑动装置9A，其相对所述的构件16可滑动地支撑所述的透光板11；传送滚筒14，其相对所述构件16的传送方向设置在右和左侧的其中一侧上；和连接部分16a，其设置在所述构件16的侧边与所述的传送滚筒14相对的位置处。

如图1和2所示，所述的透光板11包括：板件11a，其由允许传输特定波长的紫外线的材料制成，诸如丙烯酸板、石英玻璃板或有机玻璃板；前板支撑件11b，其设置在所述板件11a的前侧(处于面对当所述的板件11a从所述的曝光位置传送到所述的加载/卸载位置时的前侧的一侧)；和定位凸起11c，其固定在所述的前板支撑件11b上并从该支撑件水平延伸。所述上透光板11的定位凸起11c沿所述前板支撑件11b的长度等距设置。每个定位凸起11c都是由U形钢架制成的，且在与下面将要描述的邻接件2A邻接的区域具有圆形的横截面。

在本优选实施例中设置了两个定位凸起11c。但是，可以只设置一个定位凸起或多于三个的定位凸起。所述的定位凸起11c也可以用作手柄，因此工人可以抓握该手柄，从所述的第一工作台10上卸下所述的透光板11。

如图2所示，后板支撑件11d在板接收件9a4的后部固定到所述滑动装置9A的板接收件9a4。所述的透光板11放置在板接收件9a4上且其后侧(与所述的前板支撑件11b相对)与所述的后板支撑件11d接合。所述的后板支撑件11d向上弯曲成易于与所述透光板11a的后侧接合的形状。

所述的后板支撑件11d沿所述透光板11a的后侧延伸。但是，只要所述的后板支撑件11d牢固地与所述的透光板11a接合并被放置在所述的板接收件9a4上，与所述透光板11a接合的所述后板支撑件11d的长度和深度可以不同。如图4所示，所述的透光板11a的两侧沿工作台的传送方向由L形的限制件15引导。这样构造所述的透光板11以使工人能抓握定位凸起11c且能容易地从所述后板支撑件11d抽出所述的透光板11。

如图2所示，所述的滑动装置9A沿所述的传送方向使所述的透光板11滑动，且所述的透光板11放置在该滑动装置上。所述的滑动装置9A包括：作为滑动装置设置在所述构件16两侧的滑动凸起9a1；与所述的滑动凸起9a1相接合且可滑动引导该滑动凸起的滑动引导件9a2；滑动架9a3，所述的滑动引导件9a2固定在该滑动件上且所述的工件W和掩模N通过该滑动架进行曝光；形成在所述滑动架9a3的顶面上且用于放置所述透光板11的板接收件9a4；相对于所述滑动架9a3的传送方向横向延伸的挡板9a5；和固定在所述板接收件9a4的后端上的后板支撑件11d。

如图2和4所示，所述的滑动架9a3具有足够的高度以使所述的透光板11相对于支撑在所述构件16上的载物台板12可滑动，且所述的掩模M和工件W被设置在所述的透光板11和载物台板12上。

当所述的挡板9a5抵靠在沿所述的第二传送通道L2(图6)设置的邻接止挡9b1时，该挡板9a5沿所述的滑动凸起9a1使所述的滑动件9a3滑动。所述的挡板9a5相对于从所述曝光位置P2至加载/卸载位置P1的传送方向设置在所述滑动架9a3的前侧。所述挡板9a5的形状和位置可以变化，只要其能使所述的滑动架9a3滑动即可。

如图2和4所示，所述第一工作台10的载物台板12放置在在所述构件16上形成的板支撑部分上且具有良好的平面特性。所述的载物台板具有树脂板12a，且在所述树脂板12a的圆周部分上形成有凹槽部分12c。所述的载物台板12放置在构件16上并具有横跨所述构件16的前框架12b。所述的前框架12b限制所述载物台板12的收缩。

所述载物台板12的凹槽部分12c与引导销(引导装置)13接合，所述的引导销从所述构件16的板支撑部分上突出，从而使所述的载物台板12总被保持在预定的位置处。如图4所示，所述凹槽部分12c在其开口处具有倾斜的表面或者所述的引导销13具有从最高点至圆周边缘的倾斜表面。这样在所述的曝光操作完成且所述载物台板12对所述透光板11的真空吸引作用解除时，便于对所述载物台板12进行定位。当所述的载物台板12与所述的透光板11脱离且落在所述的构件16上时，将所述的载物台板12引导至预定的位置且所述的引导销13***所述的凹槽12c中。

如图2和4所示，所述第一工作台10的构件16相对所述的透光板11间接地且相对地支撑所述的载物台板12。所述的构件16包括用于接收载物台板12的板支撑部分16b。如图9A-1所示，所述的构件16沿所述传送方向在一侧边的中心处具有连接部分16a。所述的连接部分16a与下面将要描述的升降机构6的升降引导件7相接合，且所述升降机构6的第一升降杆6f1固定在所述的连接部分16a上。

如图2和7所示，所述的传送滚筒14设置在与所述的连接部分16a相对的两个沿所述的传送方向对准的位置处。每个传送滚筒14都包括上滚筒14a和下滚筒14b，所述的上滚筒和下滚筒都由角板14c支撑。从图11中可知，当所述的下滚筒14b不接触所述的第一传送通道L1时，所述的上滚筒14a沿所述的第一传送通道L1移动。同时，当所述的上滚筒14a不接触所述的第二传送通道L2时，所述的下滚筒14b沿所述的第二传送通道L2移动。

如图8所示，吸引机构18将所述载物台板12上的工件W可分离地吸引抵靠设置在所述透光板11上掩模M。所述的吸引机构18包括：通过所述的透光板11、载物台板12和周边密封(密封橡胶)11e吸引所述掩模M和工件W的主吸引装置18a，和将所述的工件W保持在载物台板12上的工件吸引装置18b。

当工人将工件W设置在处于加载/卸载位置P1的所述载物台板12上(图9)时，所述的工件吸引装置18b致动并吸引所述的工件W抵靠在所述的载物台板12上。当所述的掩模M和工件W以邻接的方式被吸引时，所述的主吸引装置18a致动。

参照图2，下面将描述所述的透光板滑动机构9，其包括滑动装置9A，滑动致动装置9B和透光板引导装置9C。由于上文已经描述了所述的滑动装置9A，因此下面将对所述的滑动致动装置9B和透光板引导装置9C进行描述。

如图2所示，所述的滑动致动装置9B包括：邻接止挡9b1，其沿所述的第二传送通道L2(图6)定位并伸入或远离所述挡板9a5的滑动轨迹(sliding locus)；和驱动部分9b2，用于朝所述挡板9a5或远离挡板9a5的方向移动所述的邻接止挡9b1。所述的滑动致动装置9B沿所述的第二传送通道L2设置在某一位置，该位置与所述第一和第二工作台10，20的传送方向的一侧相对应。所述的挡板9a5在垂直于所述传送滚筒14的传送方向的方向中延伸并远离所述的传送方向。

如图2所示，所述的透光板引导装置9C包括：透光板传送/驱动装置9c1，其沿所述的第二传送通道L2设置在沿所述的第二传送通道L2传送的第一工作台10或第二工作台20的下方；和透光板推动引导装置9c2，其由所述的透光板传送/驱动装置9c1驱动并朝所述的加载/卸载位置P1引导所述的透光板11，且与所述透光板11的后板支撑件11d相接合。这里，透光板引导装置9c的透光板推动引导装置9c2也用作推动引导装置，用于引导所述透光板11的定位凸起11c抵靠所述的邻接件2A(图3)。形成所述的透光板推动引导装置9c2，以在其推动所述的后板支撑件11d时提升和在所述的推动/引导操作完成之后缩回。

参照图1和2，下面将描述设置在所述的加载/卸载位置P1中作为对准机构3的成像装置3A，对准工作台4和邻接件2A。

所述的对准机构3包括：成像装置3A，诸如CCD照相机；和对准工作台4，其计算由所述的成像装置3A拍摄的掩模M和工件W的对准标记Mm，Wm的位置，以算出工件W为了对准所需要的距离，然后移动所述的工件W以进行对准。为了确保所述标记Mm，Wm的良好可见性，所述的成像装置3A在拍摄对准标记Mm，Wm的方面采用不会加速曝光操作的亮度。所述的成像装置3A优选地发射激光束作为表示工件W放置在所述载物台板12上的预定的位置的标记。在所述的加载/卸载位置P1上方设置显示器D，因此工人能视觉地检查由所述的成像装置3A拍摄的图像。

如图1和5所示，所述的对准工作台4包括：用于放置载物台板12的对准/放置工作台4a；吸垫(sucking pad)4b，其移动穿过所述对准/放置工作台4a的孔并在真空的作用下将所述的载物台板12吸引至所述对准/放置工作台4a上；和对准/驱动部分4c，其在Z轴线方向(向上/向下的方向)中，X和Y轴线方向(垂直于所述Z轴线的水平方向)，和θ方向(绕Z轴线的转动方向)中移动被所述的吸垫4c吸引的且保持在所述对准/放置工作台4a上的载物台板12。

如图3所示，所述的邻接件2A包括：两个邻接定位部分2c，朝定位在第二传送通道12的透光板11的定位凸起11c方向和朝远离所述的定位凸起的方向引导该邻接定位部分；两个基部2b，每个都支撑所述的邻接定位部分2c；和两个驱动部分2a，每个驱动部分都固定在所述的基部2b上且朝向相应的定位凸起11c和远离相应的定位凸起的方向引导所述的邻接定位部分2c。每个定位部分2c具有两个管状表面，这两个表面的其中之一设置在另一个的顶部，且由所述的基部2b可转动地支撑。所述的定位部分2c可以具有任何公知的形状，只要它们能将所述的定位凸起11c停止在预定的位置处。在该优选实施例中，所述的邻接件2A缩回直到所述的透光板11被传送到所述加载/卸载部分P1(图6)的结束位置为止，且在完成传送所述的透光板11至所述的加载/卸载位置P1的操作时，由所述的驱动部分2a朝所述的定位凸起11c推动所述的邻接件。

接着，下面将描述升降引导件7，传送机构5，和升降机构6。

如图1所示，所述的升降引导件7包括：与所述的第一和第二工作台10，20的接合部分16a，26a接合的且使工作台10，20滑动的滑动部分7a；以及设置在滑动部分7a的相反侧且与所述的传送机构5滑动接合的滑动连接部分7b。所述的升降引导件7连接到所述的驱动带5b上的预定的位置处作为传送机构5的驱动装置。

如图1和13所示，所述的传送机构5包括：环绕所述加载/卸载位置P1和曝光位置P2的驱动带5b；将所述的驱动带5b支撑在预定的高度且引导所述驱动带5b的移动的带引导件5c；和传送致动器5a，其夹持其中一个升降引导件7并使其往复运动以驱动所述的驱动带5b。

所述的驱动带5b是环形带，其具有面对所述的带引导件5c且以特定的间隔形成的粗糙表面(图5)。每个带引导件5c都具有与所述的驱动带5b的粗糙表面相接合并引导所述的驱动带5b的齿。线性引导件5d以与所述升降引导件7的滑动接合部分7b接合且往复地引导所述的升降引导件7的方式固定在所述壳体2的一位置处，该位置与所述的传送致动器5a相对并远离该致动器。所述的传送致动器5a可以是任何公知的机构，诸如LM引导件，液压缸，气压缸和螺旋进给机构，只要其夹持所述的升降引导件7并可靠地使其产生往复运动。

除了在所述工作台10，20的传送方向的一侧提供传送致动器5a之外，还可以同步或异步的方式在所述工作台10，20的传送方向的两侧都设置传送致动器5a。在设置两个传送致动器5a的示例中，不需要驱动带5b和带引导件5c。

如图7，10，11所示，所述的第一传送通道L1平行于所述工作台10，20的传送方向延伸。所述的第一传送通道L1具有：设置在所述加载/卸载位置P1与曝光位置P2之间的右和左上滚筒引导轨道31；切缺部分(cutout)31a1，每个都形成在所述的上滚筒引导轨道31的传送方向(纵向方向)的中心处；用于用辅助传送通道向所述的切缺部分31a1进行供给的辅助轨道机构35，和定位在相应的上滚筒引导轨道31的两端且由所述的升降机构6提升和下降的升降辅助轨道6g1，6g2。

如图7和10所示，所述的上滚筒引导轨道31固定在所述的壳体2上。每个上滚筒引导轨道31具有一定的长度，从而当工作台10，20都定位在所述的架/卸载位置P1和曝光位置P2时，一个传送滚筒14(24)放置在升降辅助轨道6g1(6g2)上且另一个滚筒14(24)放置在所述的切缺部分31a1(31a2)上。在这些上滚筒引导轨道中，右上和左上滚筒引导轨道31的其中之一用于引导所述第一工作台10的传送滚筒14，且右上和左上滚筒引导轨道31中的另一个用于引导所述第二工作台20的传送滚筒24。

另外，每个切缺部分31a1，31a2具有一定的长度，从而当工作台10，20都定位在所述的加载/卸载位置P1和曝光位置P2时，所述的传送滚筒14的上滚筒14a和传送滚筒24的上滚筒24a能放置在其上。

每个辅助轨道机构35包括：与所述上滚筒引导轨道31的切缺部分31a1，31a2处于同一平面的辅助轨道35b；和用于可缩回地驱动所述的辅助轨道35b的辅助轨道驱动部分35a。所述的辅助轨道机构35与下面将要描述的升降机构的升降辅助轨道6g1(6g2)同步操作。

所述的第二传送通道L2在第一传送通道L1的下方延伸，并包括有其横向设置宽度小于第一传送通道L1的右上和左上滚筒引导轨道31的宽度的右下和左下滚筒轨道32。在这些下滚筒引导轨道中，所述的右下和左下滚筒引导轨道32的其中之一用于引导所述第一工作台10的下滚筒14b，且所述的右下和左下滚筒引导轨道32中的另一个用于引导所述第二工作台20的下滚筒24b。

下面参照图1和9来描述升降机构6。所述的升降机构6包括：第一转动中心杆6e1和第二转动中心杆6e2，它们从所述的加载/卸载位置P1延伸至曝光位置P2且沿工作台10，20的传送方向相互平行定位在所述的第一和第二工作台10，20的下方；板状第一连接件6c1和第二连接件6c2，它们分别固定在第一转动中心杆6e1或第二转动中心杆6e2的端部；第一升降杆6f1和第二升降杆6f2，与所述的第一转动中心杆6e1和第二转动中心杆6e2平行且分别与所述的第一连接件6c1和第二连接件6c2接合；接合杆6d，其与所述的第一连接件6c1和第二连接件6c2接合且同步操作这些连接件6c1，6c2；和连接驱动装置6a和推杆6b，用于通过所述的接合杆6d绕第一转动中心杆6e1和第二转动中心杆6e2以一定角度转动所述的第一连接件6c1和第二连接件6c2。最佳如图10所示，所述的升降机构6也在第一和第二连接件6c1，6c2处与升降辅助轨道6g接合且与第一升降杆6f1和第二升降杆6f2相对，从而提升和下降所述的升降辅助轨道6g。

升降机构6的第一升降杆6f1和第二升降杆6f2分别与设置在沿所述第一和第二工作台10，20的传送方向的一侧的中心处的接合部分16a和接合部分26a接合。连接件6c1，6c2距离其转动中心都具有一定的长度，以使第一和第二工作台10，20从第一传送通道L1转换到第二传送通道L2或者从第二传送通道L2转换到第一传送通道L1。所述的连接件6c1(6c2)可以具有任意形状、大小和结构，只要其能与第一升降杆6f1(第二升降杆6f2)和升降辅助轨道6g接合，且第一转动中心杆6e1(第二转动中心杆6e2)定位在其间。

参照附图6，下面描述光照射机构8。在该优选实施例中，构成所述的光照射机构8以向工件W发射平行光线。但是也可以使用其他公知的用于曝光设备的光照射机构，诸如发射散射光的金属卤化物灯。

所述的光照射机构8包括：诸如短弧灯(short-arc lamp)的放电灯8a，用于发射特定波长的紫外光；椭圆反射镜8b，其从后侧覆盖所述的放电灯8a；复眼透镜(fly-eye lens)8c，用于调节和平衡(equalizing)从所述的放电灯8a和椭圆反射镜8b发射到所述发射表面的光的能量；反射镜8d，用于反射来自复眼透镜8c的发射光；和反射镜8e，用于将来自反射镜8d的发射光反射为平行光线作用在曝光位置P2。

将设置有放电灯8a的区域和设置有工件W的区域用分隔物分开，且优选地设置诸如冷却风扇的冷却机构(未示出)，以冷却设置有放电灯8a的区域。

下面将描述曝光设备1的不同操作，涉及加载/卸载操作，对准操作，升降操作，传送操作，曝光操作，透光板分离操作，和透光板滑动操作。

首先，参照图6和13来描述曝光设备1的整个操作。

如图6和13A所示，当第二工作台20上的工件W在曝光位置P2进行曝光时，在加载/卸载位置P1加载工件W并使其与第一工作台10上的掩模M对准。在曝光设备1的启动时，由于工件W没有被装载在第二工作台20上，因此不执行曝光操作。如图13B所示，在完成对准操作和曝光操作之后，当通过升降导引件7和升降机构6，将第二工作台20下降至第二传送通道时，通过升降导引件7以及升降机构6提升所述的第一工作台10至第一传送通道L1。

如图13C所示，通过传送机构5沿第一传送通道L1将第一工作台10传送到曝光位置P2。同时，通过传送机构5沿第二传送通道L2将第二工作台传送至加载/卸载位置P1。当这样做时，所述第二工作台20的透光板21通过透光板滑动机构9在第二工作台20的传送方向的反向中从载物台板22滑落，且载物台板22被传送至加载/卸载位置P1。同时，通过光照射机构8对已经传送到曝光位置P2的第一工作台10施加曝光操作。

如图13D和6所示，当工件W装载在已传送到加载/卸载位置P1的第二工作台20的载物台板22上时，所述的透光板滑动机构9朝载物台板12的方向滑动所述的透光板21，以通过对准机构3和对准工作台4完成对准操作。如图13E所示，将定位在加载/卸载位置P1并已经对其施加对准操作的所述的第二工作台20，通过升降机构6将其提升至第一传送通道L1。同时，将定位在曝光位置P2并已经对其施加曝光操作的第一工作台10，通过升降机构6将其下降至第二传送通道L2。

如图13F和6所示，然后通过传送机构5沿第二传送通道L2将第一工作台10传送到加载/卸载位置P1。同时，通过传送机构5沿第一传送通道L1将第二工作台20传送到曝光位置P2。这样做时，第一工作台10的透光板11通过透光板滑动机构9在第一工作台10的传送方向的反方向中从载物台板12滑落，且所述的载物台板12被传送至加载/卸载位置P1。然后工人将已曝光的工件W从所述的载物台板12上卸除，并将另一工件W放置在所述的载物台板12上。如图13G和6所示，当工件W被设置在第一工作台10的载物台板12上时，透光板滑动机构9朝所述载物台板12的方向滑动所述的透光板11，以通过对准机构3和对准工作台4完成所述的对准操作。

所述的曝光设备利用重复进行图13A至13G所示的上述操作来轮流地对工件W执行对准操作和曝光操作。下面将详细描述上述的每一个操作。

工件W的装载操作

如图1和6所示，所述的第一工作台10和第二工作台20分别定位在加载/卸载位置P1和曝光位置P2，所述的加载/卸载位置和曝光位置设置在所述第一和第二传送通道L1，L2的两个传送端。在加载/卸载位置P1，所述的第一工作台10做好准备，以利用从所述载物台板22滑落的透光板11将工件W放置在载物台板12上。为了确定工件W的对准标记Wm，对准机构3的未示出的激光发射装置辐射红外线激光束。工人将工件W放置在第一工作台10的载物台板12上与对准标记Wm对准。

当工件W被放置在载物台板12上时，所述的曝光设备1操作以使吸引机构18的工件吸引装置18b致动并吸引载物台板12上的工件W。同时，如图12C-1至12D-2所示，所述透光板滑动机构9的透光板传送/驱动装置9c1这样操作，以使透光板推动引导装置9c2推动所述透光板11的后板支撑件11d并沿所述的滑动凸起9a1使所述滑动架9a3滑动直到所述透光板11的掩模M面对所述载物台板12的工件W为止。

当所述的掩模M面对工件W时，曝光设备1致动邻接件2A的驱动部分2a，以使所述的邻接定位部分2c前进来邻接抵靠第一工作台10的定位凸起11c，如图3所示。这样做时，所述的透光板推动引导装置9c2(图12D-2)连续地推动所述透光板11的后板支撑件11d，从而将所述的透光板11定位在预定的邻接基准位置。

对准操作

如图8A和8B最佳地所示。当定位已设置有掩模M的透光板11时，对准工作台4(图5)的吸垫4b升高以吸引并保持所述的载物台板12。同时，对准/放置工作台4a升高以使所述的载物台板12升高远离构件16的板支撑部分直到工件W与掩模M邻接抵靠为止。当掩模M和工件W相互邻接在一起时，主吸引装置18a致动以在真空的作用下保持所述的掩模M和工件W。

所述的对准机构3拍摄掩模M和工件W的对准标记Mm，Wm(图1)。如果所述的对准标记Mm，Wm不在允许的范围内，则所述的曝光设备1计算对准所需的距离并向对准工作台4传送信号。之后，如图8C所示，所述的曝光设备1通过主吸引装置18a解除对掩模M和工件W的保持作用。同时，曝光设备1致动所述的工件吸引装置18b以吸引工件W抵靠在所述的载物台板12上。所述的曝光设备1通过对准/驱动部分4c降低对准工作台4并在X，Y或θ的方向中调整所述对准工作台4的位置，且保持工件W被吸引抵靠所述的载物台板12。

如图8D所示，所述的曝光设备1提升所述的对准工作台4，以使主吸引装置18a再次吸引掩模M和工件W。所述的对准机构3拍摄所述的对准标记Mm，Wm(图1)，且如果所述的对准标记Mm，Wm在允许的范围内，则所述的对准工作台4下降，如图8E所示，因此完成所述的对准操作且所述的透光板11和载物台板12在真空的作用下被吸住。

下面将描述利用升降机构完成的升降操作。

如图9A-1至9B-2所示，当完成所述的对准操作时，所述的第一工作台10定位在处于第二传送通道L2的一个传送端的加载/卸载位置P1，且所述的第二工作台20定位在处于第一传送通道L1的另一传送端的曝光位置P2。如图9B-和9B-2所示，然后所述的升降机构6转换所述的第一和第二工作台10，20的传送通道。

更详细地说，所述的升降机构6致动所述的连接驱动装置6a并使所述的推杆6b延长一定长度，因此所述的第一连接件6c1绕第一转向中心杆6e1转动一定角度且第二连接件6c2通过接合杆6d绕第二转动中心杆6e2转动一定角度。所述的升降机构6提升所述的第一升降杆6f1和降低第二升降杆6f2，因此沿所述的升降引导件7将所述的第一工作台10提升至第一传送通道L1并沿所述的升降引导件7将所述的第二工作台20下降至第二传送通道L2。

在这种情况中，其上放置有第一工作台10的上滚筒14a的升降辅助轨道6g1升高到与上滚筒引导轨道31相同的高度处，且其上放置有第二工作台20的上滚筒24a的升降辅助轨道6g2下降。

在所述的升降操作中，第一工作台10升高，且连接部分16a沿升降引导件7滑动。如图10A，10B和7所示，当第一连接件6c1转动一定角度时，通过所述升降辅助轨道6g1的向上移动提升所述的前传送滚筒14，其中所述的前传送滚筒定位在相对于第一工作台(10)的传送方向的前侧(处于面朝所述加载/卸载位置P1的一侧)，且所述的后传送滚筒14从下往上经过所述的切缺部分31a1。因此，所述的第一工作台10从第二传送通道L2升高至第一传送通道L1。

同时，所述的第二工作台20下降，且连接部分16a沿升降引导件7滑动。如图10D，10E和7所示，当所述的第二连接件6c2转动一定角度时，通过升降辅助轨道6g2的向下运动使前传送滚筒24下降，其中所述的前传送滚筒定位在相对所述第二工作台20的传送方向中的前侧(处于面朝曝光位置P2的一侧)，且后传送滚筒24从上往下经过所述的切缺部分31a2。因此，第二工作台20从第一传送通道L1下降至第二传送通道L2。

如图11A所示，当定位在曝光位置P2的第二工作台20下降时，所述的载物台板22远离所述的透光板21。换句话说，在所述主吸引装置18a的吸引操作解除之后，载物台板22支撑在构件26上。同时，如图11B所示，当所述的第一工作台10升高至第一传送通道L1时，以通过主吸引装置18a吸引所述的载物台板12抵靠在所述的透光板11的方式将所述的载物台板12支撑在所述的构件16上。

如图9A-1至9D-2所示，所述的升降机构6轮流提升和下降处于加载/卸载位置P1和曝光位置P2的第一和第二工作台10，20，从而转换工作台10，20的传送方向。

下面将描述传送操作。

如图1和12A-1至12C-2所示，当传送机构5的传送致动器5a致动所述第二工作台20的升降引导件7并使其朝加载/卸载位置P1移动时，固定有升降引导件7的驱动带5b被传送且同时由所述的带引导件5c引导。因此，与第一工作台10接合的升降引导件7沿线性引导件被传送到曝光位置P2且传送滚筒14沿上滚筒引导轨道31被引导。

在这种情况中，如图10B，10C和10D所示，由于设置在第一传送通道L1的辅助轨道机构35为切缺部分31a1提供辅助轨道35b以保持所述的传送通道，第一工作台10的上滚筒14a沿所述的上滚筒引导轨道31平滑移动。已传送到曝光位置P2的第一工作台10的前上滚筒14a被放置在升降轨道6g1上，如图10D所示。

如图1和12A-1至12C-2所示，当传送机构5的传送致动器5a致动所述第二工作台20的升降引导件7并使其朝加载/卸载位置P1的方向移动时，所述第二工作台20的下滚筒24b沿所述的下滚筒引导轨道32朝加载/卸载位置P1移动。

当第二工作台20被传送到加载/卸载位置P1时，所述的透光板21和载物台板22被相互分离传送。换句话说，通过驱动部分9b2提升设置在第二传送通道L2的滑动致动装置9B的邻接止挡9b1并且该邻接止挡邻接抵靠所述的挡板9a5。如图2和12B-1至12B-2所示，当挡板9a5邻接抵靠所述的邻接止挡9b1时，滑动架9a3沿构件26的滑动凸起9a1滑动，以使构件26(载物台板22)以远离所述的透光板21的方式被传送到加载/卸载位置P1。

被传送到加载/卸载位置P1的第二工作台20的下滚筒24b沿第二传送通道L2的下滚筒引导轨道32移动，且第二工作台20的前上滚筒24a被放置在升降引导轨道692上。在已被传送到加载/卸载位置P1的载物台板22支撑已曝光的工件W的情况下，解除工件吸引装置18b的操作并卸除已曝光的工件W。在这种情况中，由于所述的透光板21滑动打开，因此工人只卸除已曝光的工件W。

如上所述，然后工人将工件W放置在第二工作台20的载物台板22上。然后通过驱动部分9b2降低所述滑动致动装置9B的邻接止挡9b1。如图2和12C-1至12D-2所示，透光板引导装置9C的透光板推动引导装置9c2操作所述的透光板传送/驱动装置9c1以推动透光板21的后板支撑件21d。然后所述的滑动架9a3沿构件26的滑动凸起9a1滑动直到所述的透光板21面对所述的载物台板22为止。在加载操作中，如上所述执行对准操作。

曝光操作

当第一工作台10被传送到曝光位置P2时，所述的光照射机构8的放电灯8a在预定长的时间段内发射诸如紫外线的光，通过所述的光学***(8b至8e)从而执行所述的曝光操作。由于第一和第二工作台10，20以相同的高度被传送到所述的曝光位置P2，且所述的掩模M被事先固定在所述的透光板11，21上，因此能以一种稳定且可靠的方式实现所述的曝光操作。

如上所述，所述的曝光设备1重复对准操作、曝光操作、升降操作和传送操作，因此所述的第一和第二工作台10，20被轮流传送到所述的曝光位置P2且其上设置的工件W依次进行曝光处理。

虽然上文已参照本发明的具体实施例对本发明进行了详细的描述，但是本领域技术人员应明白在不背离权利要求的情况下可对本发明作不同的变换和修改。

在该优选实施例中，所述的曝光位置P2设置在第一传送通道L1的一个传送端而所述的加载/卸载位置P1设置在第二传送通道L2的另一传送端。但是，所述的加载/卸载位置P1可以设置在第一传送通道L1，而所述的曝光位置P2可以设置在第二传送通道L2。

另外，在上文所述的曝光设备1中，将所述的升降机构6描述为连接机构。但是，通过设置在所述加载/卸载位置P1和曝光位置P2的起模针升降机构(lift pin hoist mechanism)(未示出)可以提升或下降所述的第一和第二工作台10，20。在这种情况中，优选地设置升降轨道7，7。在不设置升降轨道7，7的情况下，优选地设置接合钉(engage nail)(未示出)，其沿所述的传送通道可移动且可伸缩而不会妨碍第一和第二工作台10，20的移动。

另外，在上述的曝光设备1中，已经描述了传送机构5，其中利用驱动带5b和带引导件5c传送所述的第一和第二工作台10，20。但是，可以以同步的方式设置右和左传送致动器5a。

上述的曝光设备1具有下列优点：

(1)由于利用传送机构5和升降机构6将第一和第二工作台10，20轮流传送到加载/卸载位置P1和曝光位置P2，因此能实现所述的曝光操作，并且所述的第一和第二工作台10，20以相同的高度被传送到所述的曝光位置。另外，通过减少由工人操作的处理过程的数量能准确地完成所述的对准操作和曝光操作。

在曝光设备1中，可以简化透光板11和载物台板12的结构，且当所述的载物台板12离开构件16，26时，与其中整个工作台从传送机构被分别地提升和下降的现有技术的曝光设备不一样，仅需要最小的驱动力来提升和降低所述的载物台板12。

(2)由于利用所述的升降机构6将所述的工作台10，20通过所述的升降引导件7，7提升或下降至第一和第二传送通道L1，L2，从而将所述的第一和第二工作台10，20轮流传送到所述的加载/卸载位置P1和曝光位置P2，因此所述的第一和第二工作台10，20以相同的高度被传送到所述的曝光位置P2以执行曝光操作。另外，在曝光设备1中，在加载/卸载位置P1执行对准操作，且所述的掩模M和工件W相互面对。这样能实现具有改善的对准精确性的曝光操作。

(3)由于工人抓住设置在板件11a的前板支撑件11b的定位凸起11c，并从所述的工作台10，20上卸除透光板11，因此所述的透光板11能容易地且顺利地脱离工作台10，20并离开工作台。所述透光板11的结构简化。

(4)透光板引导装置9C推动所述透光板11的后板支撑件11d，使其抵靠设置在加载/卸载位置P1的邻接件2A，从而提高对准操作的精确性。

(5)所述第一和第二工作台10，20的构件16，26每一个都相对所述的透光板11间接且相对地支撑载物台板12。所述的对准机构3使得工件W在加载/卸载位置P1邻接抵靠掩模M，且升降机构6提升所述的工件和掩模，同时所述的工件W和掩模M受所述的吸引机构18，28吸引，之后所述的传送机构5将工件W和掩模M传送到曝光位置P2。在曝光位置P2中，所述的透光板11和其上放置有已曝光的工件W的载物台板12在吸引机构18，28的吸引作用解除之后由所述的构件16，26间接地支撑。所述的升降机构6降低所述的工件W和掩模M，且之后所述的传送机构5将它们传送至加载/卸载位置P1。因此，通过实际地拍摄掩模M和工件W的对准标记，实现所述的对准操作。由于所述的构件16，26以分离的方式支撑所述的载物台板12，因此所述的载物台板12总是被引导至基准位置。

(6)当所述的吸引机构18，28的操作在曝光位置P2处解除时，用于放置已曝光的工件W的载物台板12与所述的透光板11分离，并通过从所述构件16，26的板支撑部分突出的引导装置13，23被引导至预定的位置。因此，即使所述的载物台板12在对准操作的过程中移动，所述的对准操作总是能从相同的支撑基准位置开始。

(7)所述的传送机构5将第二工作台20(第一工作台10)传送至加载/卸载位置P1。当所述的挡板9a5邻接抵靠所述的邻接止挡9b1时，所述的透光板11沿所述的滑动凸起9a1滑动远离所述的构件26(16)，以使所述的载物台板12定位在加载/卸载位置P1准备卸除所述的曝光工件W。因此，所述的已曝光的工件W在所述的加载/卸载位置易于被另一工件W替换。另外，所述的透光板引导装置9C推动所述的透光板11直到所述的透光板沿滑动凸起9a1滑动且面对所述的载物台板12，从而起到推动引导装置的作用，用于沿工作台的传送方向连续地推动所述的透光板11。这样大大简化了透光板11的结构。

(8)通过所述的传送机构5沿第一和第二传送通道L1，L2传送第一和第二工作台10，20。由于所述的传送滚筒14，24沿所述的引导轨道31，32可滑动且接合部分16a，26a可与所述的升降引导件7连接，所以能稳定且可靠地传送第一和第二工作台10，20。另外，由于每个接合部分16a，26a沿所述的升降引导件7被提升或降低且所述的传送滚筒14，24通过所述引导轨道31，32的切缺部分31a1，31a2被提升或降低，所述的曝光设备1的尺寸变小，因此所述的工作台10，20从传送通道L1，L2中的一个转换到传送通道L2，L1中的另一个。

(9)由于设置驱动带5b和带引导件5c作为传送机构5的驱动装置，因此能简化所述传送机构的结构并准确且同步地传送第一和第二工作台10，20。

(10)升降机构6的连接驱动装置6a使所述的第一和第二连接件6c1，6c2绕第一和第二转动中心杆6e1，6e2转动一定角度。因此，提升或下降所述的第一和第二升降杆6f1，6f2以引导第一和第二工作台10，20。这导致需要更小的安装空间且可靠实现第一和第二工作台10，20在第一和第二传送通道L1，L2之间的转换操作。

(11)在加载/卸载位置P1，工人可以将已曝光的工件W从载物台板12上卸下并替换另一工件W，而不需要操作所述的透光板11。另外，由于以相同的高度实现对准操作和曝光操作，因此可以提高相应操作的准确性以及减小工人的工作负担。

(12)根据传送掩模M和工件W的方法，沿环路传送所述的掩模M和工件W。这样可以有效地利用所述曝光设备1的有限的内部空间并减小曝光设备1的尺寸大小。

Claims (16)

1、一种曝光设备，其包括：

第一工作台和第二工作台，每个工作台都包括其上放置有工件的载物台板，和事先安装有掩模的透光板，所述的第一和第二工作台轮流在加载/卸载位置和曝光位置之间传送，其中在加载/卸载位置上工件被加载/卸载并与所述的掩模对准，在曝光位置上对已对准的工件和掩模进行曝光；

第一传送通道和第二传送通道，它们设置在所述的加载/卸载位置与所述曝光位置之间的不同高度处，其中所述的第一传送通道轮流传送所述的第一工作台和第二工作台，而所述的第二传送通道轮流传送所述的第二工作台和第一工作台；

升降机构，其将所述的第一和第二工作台中的一个提升至所述的第一传送通道，且将所述的第二和第一工作台中的另一个下降至所述的第二传送通道；

传送机构，其沿所述的第一和第二传送通道传送由所述的升降机构提升或下降的第一和第二工作台，将所述工作台中的一个从所述的加载/卸载位置传送到曝光位置，且将其中的另一个从所述的曝光位置传送到加载/卸载位置；

对准机构，其使放置在被传送到所述加载/卸载位置的工作台中的一个上的工件与该掩模对准；和

光照射机构，其发射光至放置在被传送到所述曝光位置的工作台的另一个上的工件。

2、如权利要求1所述的曝光设备，其特征在于，所述的升降机构通过升降引导装置分别与所述的第一和第二工作台接合，且其中所述的传送机构通过与所述的升降引导装置可接合的驱动装置来传送所述的第一和第二工作台。

3、如权利要求2所述的曝光设备，其特征在于，所述的透光板包括：板件，其允许光传输且其上设置有所述的掩模；相对于所述的工作台从所述曝光位置至加载/卸载位置的传送方向设置在所述板件的前侧的前板支撑件；从所述的前板支撑件延伸的定位凸起；和与所述的前板支撑件相对且固定在所述工作台上从而与所述板件的后侧可接合的后板支撑件。

4、如权利要求3所述的曝光设备，其特征在于，在所述的加载/卸载位置设置邻接件，其朝着所述的透光板的定位凸起的方向和远离所述的定位凸起的方向移动，且其中设置透光板引导装置来推动所述透光板的后板支撑件，以使所述的定位凸起邻接抵靠所述的邻接件。

5、如权利要求4所述的曝光设备，其特征在于，所述的第一和第二工作台中的每一个都包括：一构件，其用于相对所述的透光板间接且相对地支撑所述的载物台板；和用于吸引所述的工件来抵靠所述掩模的吸引机构。

6 如权利要求5所述的曝光设备，其特征在于，所述的构件具有引导装置，用于将所述的载物台板保持于预定的位置。

7、如权利要求5所述的曝光设备，其特征在于，所述的第一和第二工作台中的每一个都包括透光板滑动机构，其滑动地与设置在所述构件上的滑动装置接合，因此所述载物台板对着所述的透光板可滑动。

8、如权利要求7所述的曝光设备，其特征在于，所述的第一和第二工作台中的每一个都包括：一挡板，其相对于从所述曝光位置延伸至加载/卸载位置的第二传送通道横向延伸，且设置有邻接止挡，以朝所述挡板的滑动轨迹的方向和远离所述挡板的滑动轨迹的方向移动。

9、如权利要求2至8中任一项权利要求所述的曝光设备，其特征在于，所述的第一和第二工作台中的每一个都设置有：位于沿所述的第一和第二传送通道延伸的其中一个侧边上的传送滚筒，以及在另一侧边上的与所述的升降引导装置可接合的接合部分，其中在所述第一和第二传送通道的两侧设置有引导轨道，因此所述的传送滚筒沿所述引导轨道移动，且其中第一传送通道的每个引导轨道都包括：一切缺部分，所述的传送滚筒通过所述的切缺部分被提升和下降；和一辅助轨道，其可朝所述切缺部分的方向和远离该切缺部分的方向移动。

10、如权利要求9所述的曝光设备，其特征在于，所述的驱动装置设置成环绕所述的加载/卸载位置和曝光位置且其包括：一驱动带，所述的驱动带与第一和第二工作台的升降引导装置可接合并沿所述的第一和第二传送通道传送所述的第一和第二工作台；和用于引导所述驱动带的带引导件。

11、如权利要求9所述的曝光设备，其特征在于，其还包括：通过所述的升降引导装置在所述的加载/卸载位置和曝光位置与第一工作台可接合的第一升降杆；通过所述的升降引导装置在所述的加载/卸载位置和曝光位置与第二工作台可接合的第二升降杆；第一转动中心杆，其通过一第一连接件与所述的第一升降杆连接，且其在通过所述的第一连接件提升或下降第一升降杆时作为转动支点；第二转动中心杆，通过一第二连接件与所述的第二升降杆连接，且其在通过所述的第二连接件下降或提升所述的第二升降杆时作为转动支点，和用于转动地且同步地移动所述的第一和第二连接件的连接驱动装置。

12、一种传送掩模和工件的方法，其中其上设置有掩模和工件的第一工作台通过第一传送通道从第一位置被传送到第二位置，而其上设置有掩模和工件的第二工作台通过第二传送通道从所述的第二位置被传送到所述的第一位置，所述方法包括下列步骤：

对准处于所述的第一位置的所述的第一工作台上的所述掩模和工件，而在所述的第二位置通过所述掩模对所述第二工作台上的工件进行曝光；和

沿一环路以环形的方式传送所述的第一和第二工作台，所述的环路延伸穿过所述的第一和第二位置并包括所述的第一和第二传送通道。

13、如权利要求12所述的传送掩模和工件的方法，其特征在于，所述的第一位置和第二位置是平行的。

14、如权利要求12所述的传送掩模和工件的方法，其特征在于，所述的第一传送通道和第二传送通道相互之间垂直地定位。

15、如权利要求14所述的传送掩模和工件的方法，其特征在于，所述的第一传送通道设置在所述第二传送通道的顶部。

16、如权利要求12所述的传送掩模和工件的方法，其特征在于，所述的环路为矩形。

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