CN1400106A - 喷墨打印制备金属薄膜的方法 - Google Patents
喷墨打印制备金属薄膜的方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN1400106A CN1400106A CN 01128004 CN01128004A CN1400106A CN 1400106 A CN1400106 A CN 1400106A CN 01128004 CN01128004 CN 01128004 CN 01128004 A CN01128004 A CN 01128004A CN 1400106 A CN1400106 A CN 1400106A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- ink
- metallic film
- solvent
- prepare
- raw material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 18
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 title claims abstract description 14
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 13
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims abstract description 13
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims abstract description 15
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims abstract description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 12
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 7
- 239000000654 additive Substances 0.000 claims abstract description 5
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 claims abstract description 5
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 claims description 18
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 claims description 9
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 claims description 9
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 claims description 6
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 claims description 5
- 239000002280 amphoteric surfactant Substances 0.000 claims description 3
- 239000003945 anionic surfactant Substances 0.000 claims description 3
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 claims description 2
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 claims description 2
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 claims description 2
- 239000002082 metal nanoparticle Substances 0.000 claims description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 6
- 238000001035 drying Methods 0.000 abstract description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 25
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 6
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- NKFNBVMJTSYZDV-UHFFFAOYSA-N 2-[dodecyl(2-hydroxyethyl)amino]ethanol Chemical compound CCCCCCCCCCCCN(CCO)CCO NKFNBVMJTSYZDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SNRUBQQJIBEYMU-UHFFFAOYSA-N Dodecane Natural products CCCCCCCCCCCC SNRUBQQJIBEYMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RCEAADKTGXTDOA-UHFFFAOYSA-N OS(O)(=O)=O.CCCCCCCCCCCC[Na] Chemical compound OS(O)(=O)=O.CCCCCCCCCCCC[Na] RCEAADKTGXTDOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 2
- 125000002252 acyl group Chemical group 0.000 description 2
- ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N diethanolamine Chemical compound OCCNCCO ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229940043237 diethanolamine Drugs 0.000 description 2
- 125000003438 dodecyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- QIQXTHQIDYTFRH-UHFFFAOYSA-N octadecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC(O)=O QIQXTHQIDYTFRH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920001495 poly(sodium acrylate) polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 2
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- NNMHYFLPFNGQFZ-UHFFFAOYSA-M sodium polyacrylate Chemical compound [Na+].[O-]C(=O)C=C NNMHYFLPFNGQFZ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 1
- 238000006555 catalytic reaction Methods 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 239000002322 conducting polymer Substances 0.000 description 1
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 235000019441 ethanol Nutrition 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 1
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Inks, Pencil-Leads, Or Crayons (AREA)
- Chemically Coating (AREA)
- Ink Jet (AREA)
Abstract
一种喷墨打印制备金属薄膜的方法，操作步骤：1)取可加热分解生成金属的化合物为原料，将其溶解在溶剂中，所述原料与溶剂的重量比为1－20∶100；2)加入添加剂调节粘度、表面张力和干燥速度等性能，加入量为溶剂重量的0.1－5％，控制溶液粘度为20－60mPa·s、表面张力为20－50mNm－1，配成喷墨墨水；3)将所述墨水注入到墨盒中，采用常规喷墨打印技术按预定图形沉积到基片上；4)将所述沉积到基片上的膜层经200－600℃的热处理，形成金属薄膜。它工艺简单、成本低，可逐点控制图形和成份。
Description
技术领域
本发明涉及金属薄膜制备技术，具体地说是一种喷墨打印制备金属薄膜的方法。
背景技术
金属薄膜应用广泛，特别在微电子领域具有一定图形和物理化学性能的金属薄膜构成了几乎所有微电子器件的基础。金属薄膜不仅用于连接导线、触点，而且可用于完成传感、催化、电磁屏蔽等多种功能。现在常规的金属薄膜制备工艺一般需要镀膜和刻蚀等工艺，制备过程复杂，成本较高。
喷墨打印技术是现***公印刷中普遍采用的主要技术之一，按照喷墨方式分为连续式和随机式两类。连续喷墨技术利用压电驱动装置对喷头中墨水施加固定压力，使其连续喷射，利用偏转电极改变墨滴的飞行方向而形成图案。随机式喷墨技术只在需要时喷墨，它主要有气泡式和压电式两种。气泡式在喷头的管壁上设置加热器，在电脉冲作用下，加热器上形成很小的气泡，气泡受热膨胀产生压力驱动墨滴喷出喷嘴。压电式利用微压电元件作换能器，在脉冲电压作用下产生压力波驱动墨滴喷出喷嘴。一般打印机中配置多个喷墨***，每个喷墨***同装有不同颜色墨水的墨盒连接，可以打印丰富多彩的图案。近年来，研究人员开始尝试把它用于平面功能材料的制备，并取得一些初步的结果，如制备聚合物导电膜(D.Pede，G.erra，andDe Rossi，Mater.Sci.Eng.C.5(1998)289)，制备彩色有机发光二极管(S.-C.Chang，et al，Adv.Mater.11(1999)734)，通过含有表面活性剂的具有自组织功能墨水制备功能纳米结构图形(H.Y.Fan，et al，Nature，405(2000)56)。喷墨打印技术作为功能材料特别是平面功能材料的制备手段，由于它具有易于制备复杂图形，并可逐点控制成份的特点，可望在一定情况下用于取代现有的复杂的镀膜、光刻工艺。但利用喷墨打印技术来制备金属薄膜还未见报道。
发明内容
本发明的目的是提供一种工艺简单、成本低的喷墨打印制备金属薄膜的方法。
为了实现上述目的，本发明的技术方案是：按如下步骤操作：1)取可加热分解生成金属的化合物为原料，将其溶解在溶剂中，所述原料与溶剂的重量比为1-20∶100；2)加入添加剂调节粘度、表面张力和干燥速度等性能，加入量为溶剂重量的0.1-5％，控制溶液粘度为20-60mPa·s、表面张力为20-50mNm-1，配成喷墨墨水；3)将所述墨水注入到墨盒中，采用常规喷墨打印技术按预定图形喷涂沉积到基片上；4)将所述沉积到基片上的膜层经200-600℃的热处理，形成金属薄膜；
另外，步骤1)中所述原料为金属纳米颗粒，将其分散在水或有机溶剂中；
还有，步骤4)后，将形成金属薄膜的基片放入化学镀液中，按常规技术进行所需金属的化学镀膜；
所述溶剂可为去离子水；所述溶剂可为醇类、酯类等有机溶剂；所述添加剂为阴离子型表面活性剂如硬脂酸钠、十二烷基硫酸钠、十二烷基苯磺酸钠，阳离子型表面活性剂如十六烷基三甲基溴化铵，非离子型表面活性剂如十二烷基二乙醇胺、十二烷基酰二乙醇胺，两性表面活性剂，高分子表面活性剂如聚乙烯醇、聚丙烯酸钠等。
本发明具有如下优点：
1.本发明利用喷墨打印技术的打印高精度特点，简单方便地逐点控制膜层的图形和成份，使图形精度较高，边界清晰，分布均匀，无需镀膜和刻蚀等复杂工艺。
2.采用本发明自制墨水，适应喷嘴孔径小的要求，能制备多种金属薄膜和多层金属薄膜，如Fe、Au、Cu、Ag、Pb、Pt等一元和多元金属薄膜材料；周期短，成本低，可广泛应用于电子器件的制备过程。
3.本发明不仅可以直接制备金属薄膜，而且可以应用于沉积贵金属薄膜活化基片诱导下一步的化学镀过程。
具体实施方式
下面结合实施例对本发明作进一步祥细描述。
实施例1
制备金导线
按如下步骤操作：1)取1g可加热分解生成金属金Au的化合物AuCl3为原料，将其溶解在50ml去离子水中，所述原料与去离子水的重量比为2∶100；2)加入十二烷基硫酸钠0.1g，加入量为去离子水重量的0.2％，以控制墨水的粘度为50mPa·s(室温)、表面张力为30mNm-1配成金墨水；3)将所述墨水注入到墨盒中，采用常规喷墨打印技术按预定图形沉积到基片上；4)将所述沉积到基片上的膜层经250℃的热处理，反应形成具有预定图案的金薄膜。
实施例2
制备银导线
按如下步骤操作：1)取2g可加热分解生成金属Ag的化合物AgNO3为原料，将其溶解在50ml有机溶剂无水乙醇中，所述原料与有机溶剂的重量比为4∶100；2)加入十六烷基三甲基溴化铵0.1g，加入量为有机溶剂重量的0.2％，以控制墨水的粘度为40mPa·s(室温)、表面张力为40mNm-1配成银墨水；3)将所述墨水注入到墨盒中，采用常规喷墨打印技术按预定图形沉积到基片上；4)将所述沉积到基片上的膜层经500℃的热处理，反应形成具有预定图案的银薄膜。
实施例3
喷墨打印辅助化学镀工艺制备铜导线：
按如下步骤操作：1)取1g可加热分解生成金属的化合物AuCl3为原料，将其溶解在50ml去离子水中，所述原料与水或有机溶剂的重量比为2∶100；2)加入非离子型表面活性剂十二烷基二乙醇胺0.2g，加入量为水或有机溶剂重量的0.4％，以控制墨水的粘度为30mPa·s(室温)、表面张力为30mNm-1配成金墨水；3)将所述墨水注入到墨盒中，采用常规喷墨打印技术按预定图形沉积到基片上；4)将所述沉积到基片上的膜层经250℃的热处理，反应形成金薄膜。
将所述基片放入常规化学镀铜溶液中，在60℃温度下，经10分钟，在金膜的表面沉积出铜，在基片上形成预定图形的铜薄膜。
另外，作为另一个实施例，与实施例1不同之处在于：本发明步骤1)中所述原料亦为金粉，将其分散在水或无水乙醇中。
本发明还可采用阴离子型表面活性剂中的硬脂酸钠、十二烷基苯磺酸钠、非离子型表面活性剂中的十二烷基酰二乙醇胺、高分子表面活性剂中的聚乙烯醇、聚丙烯酸钠或两性表面活性剂等。
采用本发明可制备出如Fe、Au、Cu、Ag、Pb、Pt等多种金属薄膜和多层金属薄膜。
Claims (6)
1.一种喷墨打印制备金属薄膜的方法，其特征在于按如下步骤操作：1)取可加热分解生成金属的化合物为原料，将其溶解在溶剂中，所述原料与溶剂的重量比为1-20∶100；2)加入添加剂，加入量为溶剂重量的0.1-5％，控制溶液粘度为20-60mPa·s、表面张力为20-50mNm-1，配成喷墨墨水；3)将所述墨水注入到墨盒中，采用常规喷墨打印技术按预定图形沉积到基片上；4)将所述沉积到基片上的膜层经200-600℃的热处理，形成金属薄膜。
2.按照权利要求1所述喷墨打印制备金属薄膜的方法，其特征在于：步骤1)中所述原料为金属纳米颗粒，将其分散在水或有机溶剂中。
3.按照权利要求1或2所述喷墨打印制备金属薄膜的方法，其特征在于：步骤4)后，将形成金属薄膜的基片按常规技术进行所需金属的化学镀膜。
4.按照权利要求1或2所述喷墨打印制备金属薄膜的方法，其特征在于：所述溶剂可为去离子水。
5.按照权利要求1或2所述喷墨打印制备金属薄膜的方法，其特征在于：所述溶剂可为醇类、酯类有机溶剂。
6.按照权利要求1或2所述喷墨打印制备金属薄膜的方法，其特征在于：所述添加剂为阴离子型表面活性剂、阳离子型表面活性剂、非离子型表面活性剂、高分子表面活性剂或两性表面活性剂。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 01128004 CN1199794C (zh) | 2001-08-03 | 2001-08-03 | 喷墨打印制备金属薄膜的方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 01128004 CN1199794C (zh) | 2001-08-03 | 2001-08-03 | 喷墨打印制备金属薄膜的方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN1400106A true CN1400106A (zh) | 2003-03-05 |
| CN1199794C CN1199794C (zh) | 2005-05-04 |
Family
ID=4667907
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 01128004 Expired - Fee Related CN1199794C (zh) | 2001-08-03 | 2001-08-03 | 喷墨打印制备金属薄膜的方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN1199794C (zh) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100403511C (zh) * | 2003-05-12 | 2008-07-16 | 精工爱普生株式会社 | 图案及其形成法、器件及其制法、电光学装置、电子仪器 |
| CN101522557B (zh) * | 2006-09-29 | 2012-06-20 | Lg化学株式会社 | 用于喷墨印刷的墨水以及其中所使用的金属纳米粒子的制备方法 |
| CN102529479A (zh) * | 2011-12-23 | 2012-07-04 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 一种提高电子材料印刷平整度的后处理方法 |
| US8492183B2 (en) | 2009-08-14 | 2013-07-23 | Boe Technology Co., Ltd. | Manufacturing method of film pattern of micro-structure and manufacturing method of TFT-LCD array substrate |
| CN103753995A (zh) * | 2014-01-09 | 2014-04-30 | 湖南大学 | 一种基于彩色喷墨打印制备渐变折射率增透膜的方法 |
| CN106098545A (zh) * | 2016-08-12 | 2016-11-09 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种显示基板及其制作方法、显示装置 |
| CN106274110A (zh) * | 2015-05-13 | 2017-01-04 | 广东聚华印刷显示技术有限公司 | 一种低温喷墨印刷纳米金属图案的方法 |
| CN106335298A (zh) * | 2015-07-09 | 2017-01-18 | 广东聚华印刷显示技术有限公司 | 喷墨印刷金属图案及其制备方法 |
| CN106972115A (zh) * | 2017-05-27 | 2017-07-21 | 深圳市华星光电技术有限公司 | Oled显示面板的制作方法及oled显示面板 |
| CN107230747A (zh) * | 2017-05-27 | 2017-10-03 | 深圳市华星光电技术有限公司 | Oled显示面板的制作方法及oled显示面板 |
| CN107690269A (zh) * | 2016-08-31 | 2018-02-13 | 江苏汉印机电科技股份有限公司 | 电磁屏蔽层的喷墨打印制造方法 |
| US10505154B2 (en) | 2017-05-27 | 2019-12-10 | Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Manufacturing method of organic light emitting diode display panel and organic light emitting diode display panel |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20080308037A1 (en) * | 2007-06-14 | 2008-12-18 | Massachusetts Institute Of Technology | Method and apparatus for thermal jet printing |
-
2001
- 2001-08-03 CN CN 01128004 patent/CN1199794C/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100403511C (zh) * | 2003-05-12 | 2008-07-16 | 精工爱普生株式会社 | 图案及其形成法、器件及其制法、电光学装置、电子仪器 |
| CN101522557B (zh) * | 2006-09-29 | 2012-06-20 | Lg化学株式会社 | 用于喷墨印刷的墨水以及其中所使用的金属纳米粒子的制备方法 |
| US8492183B2 (en) | 2009-08-14 | 2013-07-23 | Boe Technology Co., Ltd. | Manufacturing method of film pattern of micro-structure and manufacturing method of TFT-LCD array substrate |
| CN102529479B (zh) * | 2011-12-23 | 2014-10-08 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 一种提高电子材料印刷平整度的后处理方法 |
| CN102529479A (zh) * | 2011-12-23 | 2012-07-04 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 一种提高电子材料印刷平整度的后处理方法 |
| CN103753995B (zh) * | 2014-01-09 | 2016-01-20 | 湖南大学 | 一种基于彩色喷墨打印制备渐变折射率增透膜的方法 |
| CN103753995A (zh) * | 2014-01-09 | 2014-04-30 | 湖南大学 | 一种基于彩色喷墨打印制备渐变折射率增透膜的方法 |
| CN106274110A (zh) * | 2015-05-13 | 2017-01-04 | 广东聚华印刷显示技术有限公司 | 一种低温喷墨印刷纳米金属图案的方法 |
| CN106274110B (zh) * | 2015-05-13 | 2018-11-06 | 广东聚华印刷显示技术有限公司 | 一种低温喷墨印刷纳米金属图案的方法 |
| CN106335298B (zh) * | 2015-07-09 | 2018-08-10 | 广东聚华印刷显示技术有限公司 | 喷墨印刷金属图案及其制备方法 |
| CN106335298A (zh) * | 2015-07-09 | 2017-01-18 | 广东聚华印刷显示技术有限公司 | 喷墨印刷金属图案及其制备方法 |
| CN106098545A (zh) * | 2016-08-12 | 2016-11-09 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种显示基板及其制作方法、显示装置 |
| CN107690269A (zh) * | 2016-08-31 | 2018-02-13 | 江苏汉印机电科技股份有限公司 | 电磁屏蔽层的喷墨打印制造方法 |
| CN106972115A (zh) * | 2017-05-27 | 2017-07-21 | 深圳市华星光电技术有限公司 | Oled显示面板的制作方法及oled显示面板 |
| CN107230747A (zh) * | 2017-05-27 | 2017-10-03 | 深圳市华星光电技术有限公司 | Oled显示面板的制作方法及oled显示面板 |
| WO2018218741A1 (zh) * | 2017-05-27 | 2018-12-06 | 深圳市华星光电技术有限公司 | Oled显示面板的制作方法及oled显示面板 |
| WO2018218740A1 (zh) * | 2017-05-27 | 2018-12-06 | 深圳市华星光电技术有限公司 | Oled显示面板的制作方法及oled显示面板 |
| CN106972115B (zh) * | 2017-05-27 | 2019-03-12 | 深圳市华星光电技术有限公司 | Oled显示面板的制作方法及oled显示面板 |
| US10355248B2 (en) | 2017-05-27 | 2019-07-16 | Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Manufacturing method of organic light emitting diode display panel and organic light emitting diode display panel |
| US10505154B2 (en) | 2017-05-27 | 2019-12-10 | Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Manufacturing method of organic light emitting diode display panel and organic light emitting diode display panel |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1199794C (zh) | 2005-05-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN1199794C (zh) | 喷墨打印制备金属薄膜的方法 | |
| CN100594262C (zh) | 无电沉积方法和*** | |
| CA2461338C (en) | Low viscosity precursor compositions and methods for the deposition of conductive electronic features | |
| KR100678419B1 (ko) | 기판의 표면처리방법, 배선형성방법 및 배선기판 | |
| CN101541894B (zh) | 碳纳米管油墨 | |
| JP4059260B2 (ja) | 多層構造形成方法、配線基板の製造方法、および電子機器の製造方法 | |
| Jung et al. | Studies on inkjet-printed conducting lines for electronic devices | |
| US20070221887A1 (en) | Low viscosity precursor compositions and methods for the deposition of conductive electronic features | |
| JP2008500151A (ja) | パターン膜形成方法、装置と材料および製品 | |
| KR100602811B1 (ko) | 잉크젯 프린터용 전도성 잉크 조성물, 잉크젯 프린팅에의한 금속패턴 형성 방법 및 이에 의해 제조된 인쇄회로기판 | |
| KR20060050702A (ko) | 다층 구조 형성 방법, 배선 기판의 제조 방법, 및 전자기기의 제조 방법 | |
| Ma et al. | Fabrication of highly electrically conducting fine patterns via substrate-independent inkjet printing of mussel-inspired organic nano-material | |
| JP5453924B2 (ja) | 導電膜パターン及び導電膜パターンの形成方法 | |
| Kwon et al. | A novel method for fine patterning by piezoelectrically induced pressure adjustment of inkjet printing | |
| Cao et al. | Numerical analysis of droplets from multinozzle inkjet printing | |
| CN1400107A (zh) | 喷墨打印制备金属氧化物功能薄膜的方法 | |
| US20140231124A1 (en) | Base material for forming electroconductive pattern, circuit board, and method for producing each | |
| JP2010265420A (ja) | インクジェット用インク及び導電性パターン形成方法 | |
| EP2159270A1 (de) | Verfahren zur Herstellung von elektrisch leitfähigen Strukturen | |
| KR101808741B1 (ko) | 잉크젯 프린팅에 의한 도전층 패턴 형성방법 | |
| CN100404260C (zh) | 成膜方法、液体供给头及液体供给装置 | |
| WO2017091831A1 (en) | Metallic, geometrically discrete nanoparticle composition and methods of forming the same | |
| WO2010029934A1 (ja) | 基板及び導電性パターン形成方法 | |
| CN100475001C (zh) | 多层构造形成方法、配线基板和电子仪器的制造方法 | |
| WO2010134536A1 (ja) | 導電膜パターンおよび導電膜パターンの形成方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C19 | Lapse of patent right due to non-payment of the annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |