CN1300418A - 磁头线圈、磁头、及磁光记录器 - Google Patents

Abstract

一种用于磁头的线圈,包括:(1)一个螺旋线圈图案,围绕着磁场产生中心并且能供有电流;(2)和一个导体图案,提供在线圈图案之外,围绕着产生中心,及不能供有电流。对于导体图案的导体占有率R满足公式1至3,其中S是离线圈图案的最外周缘的距离,及P是节距,并且在由公式1定义的第一区域(A1)中,导体图案不形成围绕线圈图案的封闭环。公式1:0≤R≤0.3在其中0≤S≤1.5P的第一区域(A1)中;公式2:0≤R≤0.8在其中1.5P<S≤6.0P的第二区域(A2)中;公式3:0.3<R≤1在其中6.0P<S的第三区域(A3)中。

Description

磁头线圈、磁头、及磁光记录器

本发明涉及一种适于用来以高速记录信息信号的磁头线圈、一种使用它的磁头、及一种磁光记录设备。

常规已知的磁光记录设备把由信息信号调制的磁场施加到诸如磁光盘之类的磁光记录介质上，并且用光照射介质以记录信息信号。这种磁光记录设备包括一个用来施加磁场的磁头。磁头包括各种类型的头。例如，图17是立体图，表示在日本公开专利申请No.4-74335中公开的一种磁头，而图18是表示磁头的剖视图。

标号50指示一个由可弯曲印刷布线板形成的扁平线圈元件(下文称作线圈)；而51指示由诸如铁氧体之类的磁性材料制成的铁心。线圈50由一个聚酰亚胺或聚酯制成的可弯曲基座52、一个用作由形成在基座52上的铜箔制成的导体图案的螺旋线圈图案53、及终端54a和54b构成。线圈50用粘合剂55粘合到铁心51上。

线圈50的终端54a和54b连接到磁光记录设备的磁头驱动电路上。磁光记录设备包括一个光学头。为了记录信息信号，光学头用激光束照射磁光记录介质的磁记录层，以便把激光束会聚成一个小光点。同时，磁头驱动电路向线圈图案53供给电流以产生由来自线圈图案53的中心的信息信号调制的磁场，并且把该磁场竖直施加到磁记录层的激光束照射位置。

按常规，象这种先有技术那样，只有一个用作用于正向供给电流的路径的导体图案，即电气功能必需的导体图案，形成在使用导体图案的元件上，这些元件包括一个用于磁头的扁平线圈元件。

在最近几年，由于对较高信息信号记录速度的需要一直在上升，所以在磁头中使用的扁平线圈元件必须减小尺寸。伴随着这种情况，必须增大扁平线圈元件的尺寸精度和平面度，以便以较高精度调节对于光学头的相对位置和离磁光记录介质的距离。磁场必须准确、高效地施加到磁光记录介质的磁记录层上的光点位置。然而，上述扁平线圈的刚度和机械强度较低，容易在制造磁头时变形，并且难以调节到准确位置。因而，不能满足以上需要。该问题将详细解释。

为了在以上磁头中更有效地产生磁场，线圈图案53必须非常靠近铁心51形成。为此目的，基座52必须尽可能地薄。为了高效地把磁场施加到磁光记录介质上，线圈50的表面必须带到非常靠近磁光记录介质。

尽管在以上参考资料中没有描述，但构成线圈50的基座52由20μm厚聚酰亚胺板制成。由于薄树脂材料板非常软，所以线圈50刚度不足，在制造磁头时出现如下问题。

更具体地说，在粘合线圈50和铁心51时，线圈50不能抵抗操作力并且容易变形，例如，在其中没有形成线圈图案53的部分处弯曲。结果，不能准确地确定线圈50的固定位置，引起误差。对于光学头的相对位置偏离，从而不能正常记录信息信号。

形成一个用来把线圈图案连接到终端54b上的导体图案，以从面对着铁心51的线圈50的表面上的基座52突出。因而，面对着铁心51的线圈50的表面不是平的。在把线圈50粘合到铁心51上时，面对着磁光盘的线圈50的表面部分容易变形，例如突出或倾斜。这阻止面对着磁光记录介质的线圈50的表面非常靠近磁光记录介质以便高效地施加磁场。

为了增大信息信号记录速度，必须增大磁场调制频率。然而，在铁心51和线圈图案53上的RF损失几乎与调制频率成比较地增大，从而磁头的温度上升。形成铁心51的诸如铁氧体之类的磁性材料随温度升高饱和磁通密度Bs减小。随着磁场调制频率增大，形成铁心51的铁氧体的饱和磁通密度Bs减小到等于铁心51的内部磁通密度。如果磁场调制频率进一步增大，铁心51的内部磁通密度与磁通密度Bs一起减小，并且由磁头产生的磁场强度也减小。结果，施加到磁光记录介质上的磁场减弱，不能记录信息信号。

如果磁头的温度超过其构造件的耐热极限，则变形或电气绝缘失效可能发生。

在这些情况下，调制频率的增大受到限制，并且信息信号记录速度不能进一步增大。

在本发明中，一种用于磁头的扁平线圈(下文称作线圈)由至少一个用作由导电材料膜制成的导体图案的线圈图案、和一个用来把电流供给到线圈图案的终端组成。线圈图案是能够供给电流以便绕磁场产生中心流动的螺旋导体图案。在本发明中，把其中形成该线圈图案的区域定义为其中能供给有助于磁场产生的有效电流的“有效区域”。把其中不形成能够供给以便绕磁场产生中心流动的至少导体图案的线圈图案外的区域，定义为“无效区域”。在如下描述中，除用作至线圈图案的电流供给路径的导体图案之外形成在无效区域中的导体图案，如用来把终端彼此连接和把一个终端连接到线圈图案上的导体图案，将称作“哑图案”。

已经形成本发明来克服常规缺陷，并且其目的在于提供一种用于磁头的扁平线圈，其中一个导体图案形成在无效区域中，并且按照离线圈图案的距离在一个预定范围内定义导体占有率R(在给定区域中由导电材料膜形成的所有导体图案的总面积与区域总面积的比值)，由此改进机械强度、平面度、和尺寸精度，而不降低线圈、使用扁平线圈的磁头、及磁光记录设备的电气特性。

本发明者已经进行了广泛研究，发现能这样解决以上问题，此时让S是离线圈图案外边缘(有效区域外边缘)的距离，P是线圈图案的节距(或当节距不是常数时的最小值)，及R是导体占有率，根据距离S把有效区域外的无效区域划分成多个区域，把导体图案放置在各区域中，从而同时满足不等式1、2、和3，并且在第一区域A1中的导体图案不形成任何封闭环：

不等式1：0≤R≤0.3在其中0≤S≤1.5P的第一区域A1中

不等式2：0≤R≤0.8在其中1.5P＜S≤6.0P的第二区域A2中

不等式3：0.3＜R≤1在其中6.0P＜S的第三区域A3中

更具体地说，形成在无效区域中的导体图案的导体占有率R靠近线圈图案设置得较低，并且远离线圈图案设置得较高。在这种情况下，线圈的电气特性和机械强度能彼此一致。如有必要，不用作至线圈图案的电流供给路径的哑图案形成在无效区域中，从而在无效区域中的导体图案的导体占有率R同时满足不等式1、2、和3。这将详细解释。

如果形成在最靠近线圈图案的无效区域的第一区域A1中的导体图案的面积较大，则在线圈图案与形成在第一区域A1中的导体图案之间产生大的静电容。这种大的静电容减小供给到线圈的电流的变化率，以减小在产生由磁头调制的磁场时的磁场转换速度。结果，信息信号变得难以以高速记录。在线圈制造时或长期使用之后，在形成在第一区域A1中的导体图案与线圈图案之间的绝缘可靠性变坏。为了防止这种情形，在第一区域A1中不形成导体图案，或者把导体图案的导体占有率R抑制为0.3或更小。

如果导体图案靠近线圈图案形成一个围绕线圈图案的封闭环路，则在把电流供给到线圈图案和产生由磁头调制的磁场时，在导体图案中产生与至线圈图案的供给电流反向的电流(涡流)。因此，抵消要产生的磁场的变化，在正常信息信号记录时失败。为了防止这种情况，最好通过在线圈图案的螺旋方向上把导体图案划分成两个或多个，间断地形成在第一区域A1中的导体图案，并且所有划分导体图案具有0.2P或更大的间隔。这抑制在导体图案中产生涡流。

第二区域A2也是一个其中施加通过向线圈图案供给电流产生的磁场的影响的范围，没到象第一区域A1那样一种程度。如果形成在第二区域A2中的导体图案的导体占有率R超过0.8，则产生的涡流或与线圈图案的静电容降低线圈特性。为了防止这种情况，在第二区域A2中，没有导体图案形成或者把导体图案的导体占有率R抑制到0.8或更小，如由不等式2表示的那样。

在第三区域A3中，如果导体图案的导体占有率R是0.3或更小，则基本上没有得到加强效应。如果形成在第三区域A3中的导体图案的导体占有率R比线圈图案的导体占有率低0.6倍，则偏置电镀时的电流密度，以在通过电镀制造导电和线圈图案把电流集中在线圈图案上。在第三区域A3中的导体图案变得比线圈图案薄，从而线圈图案有害地突出。为了高效产生磁场，线圈图案的导体占有率希望是0.5或更大。因此，如由不等式3表示的那样，在第三区域A3中把导体图案的导体占有率R设置为0.3＜R≤1。这缓和了在电镀时电流的局部集中，并且平均在图案内的金属离子扩散率。因而，使通过电镀形成的导体图案的膜厚度均匀，以防止线圈图案突出。

注意导体占有率R是包括形成在区域中的哑图案和用来彼此连接终端和把终端连接到线圈图案上的导体图案的所有导体图案的总面积与每个区域的总面积的比值。当区域包括其中不能形成导体图案的部分，例如形成在线圈部分中的一个孔时，该面积不包括在区域的总面积中。如果无效区域包括其中宽度部分等于或小于线圈图案的节距P的部分，并且导体图案难以形成，则导体图案不必总是形成在该部分处。

形成在无效区域中的导体图案(哑图案)可以具有任意形状。特别当周期地放置线性、缝隙状、点状、或多边形导体图案时，导体图案的导体占有率R在每个区域上平均，以减小热膨胀和收缩分布。因而，能改进导电电路的平面度、翘曲和尺寸精度，并且能加强机械强度。而且当施加电镀时，平均电流密度和离子扩散速率以使电镀膜厚度更均匀。这种导体图案的布置周期(节距)可以是恒定的或随机的。通过把周期(节距)设置成等于或大于线圈图案的节距P并且等于或小于5P，能使膜厚度更均匀。

由于线圈图案的周缘边缘(诸如线圈的外边缘或形成在线圈中的孔的周缘边缘之类的边缘部分)需要足够的机械强度，所以导体图案(哑图案)希望沿线圈的周缘边缘形成。然而，如果导体图案放置成在一个形成在线圈图案内部中以***磁极的孔或一个用作光传输部分的孔的周缘边缘处形成封闭环，则在导体图案中产生的涡流抵消要产生的磁场。为此，至少形成封闭环的导体图案不布置在形成在线圈图案靠内部分处的孔的周缘边缘处。

最好形成在线圈周缘边缘处的导体图案具有带形，并且其宽度等于或大于线圈图案的节距P且等于或小于4P。较窄导体图案基本上不加强周缘边缘；或者较宽导体图案增大金属离子在电镀溶液中的扩散速率，并且在通过电镀形成导体图案时把厚度增大到远大于线圈图案。如果形成该带状导体图案以联接到无效区域中的另一个导体图案上，则加强线圈并且使之更平。导体图案甚至不必总形成在线圈的周缘边缘处，只要在该周缘边缘与线圈图案的外边缘之间的间隔等于或小于线圈图案的节距P。以这种方式，沿线圈的周缘边缘的导体图案不必总是完全连续地形成封闭环，而是可以是部分间断的。

诸如形成在线圈外周缘中的圆形或椭圆形孔或凹口之类的定位部分形成在无效区域中，并且导体图案形成在定位部分的周缘边缘处。这增大定位部分周围的机械强度。在如下描述中，形成在定位部分的周缘边缘处的导体图案将称作“导向图案”。形成导向图案防止线圈在把线圈的定位部分装配在固定到诸如磁头的滑块之类的另一个构造件上的锁定件上时变形。对于光学头的相对位置精确度能进一步提高。

形成在无效区域中的导体图案消散由形成在有效区域中的线圈图案或铁心产生的热量，由此防止磁头的温度升高。带有与导体图案紧密接触的散热件的磁头能获得较高的散热效率。

在无效区域中，具有适当形状的导体图案按照该目的能形成在适当的位置处。如果这样形成所有导体图案，从而其导体占有率R满足不等式1、2、和3，则线圈的机械强度提高，而不降低线圈的电气特性。包括线圈图案的所有导体图案几乎具有相同的厚度，这防止导体图案的一些从线圈表面突出。在把线圈的上表面粘合到诸如铁心之类的另一件上时，线圈的下表面(面对着磁光记录介质的表面)不会突出或倾斜。结果，线圈能以高精度布置，以便在制造磁头时满意地减小在其下表面与磁光记录介质的表面之间的距离。磁场能高效地施加到磁光记录介质上。

本发明实现一种在散热特性方面优良的磁头，这种特性能提高在线圈与光学头之间的相对位置精度和离开磁光记录介质的距离精度，同时减小线圈尺寸以减小其电感。这允许把磁场调制频率设置到8MHz或更大，并且增大信息信号记录速度。

用于根据本发明的磁头的扁平线圈元件能通过图案形成的组合和通过影印石版的蚀刻、电镀等制造。特别是，当本发明应用于由具有大于线圈图案宽度的厚度，即具有高长宽比和大膜厚度，的导体图案形成的线圈时，使用液态光敏树脂的影印石版是最佳的。就是说，具有高长宽比的厚脂凝固图案使用液态光敏树脂形成，并且作为导电材料膜的导体图案通过电镀形成几乎与树脂凝固图案一样厚。如果液态光敏树脂的凝固物质不除去而用作绝缘件，则能制造用于磁头的扁平线圈元件，其中导体图案几乎与绝缘件一样厚，这防止导体图案突出。另外，可以除去液态光敏树脂的凝固物质，并且然后可以把热固树脂制成的绝缘件等埋到几乎与导体图案相同的厚度。绝缘件可以形成得比导体图案厚，以便覆盖导体图案的端表面。特别当绝缘件形成为与粘合到另一件上的线圈的上表面侧的导体图案一样厚或比其厚时，导体图案不会突出，并且线圈表面变得非常平。这进一步防止线圈的下表面在粘合时突出或倾斜。

图1是剖视图，表示根据本发明例1的线圈；

图2A和2B是平面图，表示根据本发明例1的线圈；

图3A和3B是平面图，表示根据本发明例2的线圈；

图4A和4B是平面图，表示根据本发明例3的线圈；

图5A和5B是平面图，表示根据本发明例4的线圈；

图6A和6B是平面图，表示根据本发明例5的线圈；

图7A和7B是平面图，表示根据本发明例6的线圈；

图8A和8B是平面图，表示根据本发明例7的线圈；

图9A和9B是平面图，表示根据本发明例8的线圈；

图10A和10B是平面图，表示根据本发明例9的线圈；

图11A和11B分别是视图，表示根据本发明例1的磁头；

图12A和12B分别是视图，表示根据本发明例9的磁头；

图13A和13B分别是视图，表示根据本发明例10的磁头；

图14A和14B分别是视图，表示根据本发明例11的磁头；

图15是方块图，表示根据本发明例1的磁光记录设备的布置；

图16是方块图，表示根据本发明例2的磁光记录设备的布置；

图17是立体图，表示用于磁光记录的常规磁头；

图18是剖视图，表示用于磁光记录的常规磁头；

图19A和19B是平面图，表示根据比较例1的线圈的结构；及

图20A和20B是平面图，表示根据比较例2的线圈结构。

下面详细描述本发明的例子。注意本发明不受例子限制。

[例1]

图11A和11B表示磁头1的结构。图11A是侧剖视图，而图11B是仰视图。磁头1由诸如铁氧体之类的磁性材料制成的铁心12、线圈13、及安装他们的滑块14构成。标号4指示用作磁光记录介质的磁光盘。

铁心12由诸如具有扁平形状的铁氧体之类的磁性材料制成，并且其中心带有一个具有棱形的凸起磁极p1。线圈13是扁平的，并且其中心带有一个方孔h1。铁心12的磁极p1***在孔h1中。线圈13与铁心12一起安装在滑块14上。滑块14由树脂材料、陶瓷材料等制成，并且带有一个用来在磁光盘4上滑动或在其上方浮动/滑翔的滑动表面As或浮动表面Af，以便面对着磁光盘4。

图1、2A、和2B表示线圈13的详细结构。图1是剖视图，图2A是当从顶部看时的平面图，及图2B是从底部看时的平面图。线圈13的组成包括一个基座15；一个螺旋线圈图案16a；一个哑图案17a；一个绝缘件18a；终端19b和19a；一个保护涂层20a，其中图案16a和17a、绝缘件18a、终端19b和19a、涂层20a形成在基座15的上表面侧(面对着铁心12的侧面)；一个螺旋线圈图案16b；一个哑图案17b；一个绝缘件18b；及一个保护涂层20b；其中图案16b和17b、绝缘件18b、涂层20b形成在基座15的下表面侧(面对着磁光盘4的侧面)。其中形成线圈图案16a和16b的区域是有效区域。绕磁场产生中心(孔h1)流动的电流能供给到线圈图案16a和16b。在其中形成诸如哑图案17a和17b及终端19a和19b之类的导体图案的有效区域外的区域是无效区域。绕磁场产生中心(孔h1)流动的电流不供给到形成在无效区域中的导体图案。

作为导体图案的线圈图案16a和16b、哑图案17a和17b、及终端19a和19b由诸如铜膜之类的导电材料膜制成，并且具有50μm的厚度H。线圈图案16a和16b具有25μm的宽度W、和从内周缘到外周缘的40μm恒定节距P。绝缘件18a和18b由非导电材料膜-例如在形成线圈图案16a和16b时使用的光敏树脂或热固性树脂膜-制成。绝缘件18a和18b在厚度上与诸如线圈图案16a和16b之类的导体图案相等。以这种方式，导体图案和绝缘件18a的厚度及导体图案和绝缘件18b的那些在线圈13的上和下表面侧上分别设置成相等。这防止诸如线圈图案16a和16b之类的导体图案从线圈13的上和下表面突出。线圈13的表面因此能制成平的。在图2A和2B中，所有黑色部分是由导电材料膜制成的导体图案，并且所有围绕的空白部分是绝缘件18a(上表面侧)或18b(下表面侧)。

线圈图案16a和16b经一个通孔21a连接在内周缘部分处。终端19a连接到线圈图案16a的外周缘部分上，而终端19b经一个通孔21b连接到线圈图案16b的终端上。终端19a和19b能向线圈图案16a和16b供给直流电流。

形成基座15以电气绝缘线圈图案16a和16b，并且基座15由诸如聚酰亚胺板之类的薄树脂材料板制成。在线圈图案16a与16b之间的间隔Tb(在例1中几乎等于基座15的厚度)是20μm。保护涂层20a和20b是由诸如树脂材料之类的非导电材料制成的薄膜或板，并且防止线圈图案16a和16b的表面的损坏和腐蚀。保护涂层20a和20b具有20μm的厚度Tc。

由于哑图案17a和17b形成在绕线圈图案16a和16b的无效区域中，所以线圈13的厚度T在几乎整个表面上均匀地是160μm。与其中不形成哑图案的情形相比，线圈13的机械强度增大。线圈13满意地刚硬，并且当在制造磁头时把线圈13粘合到铁心12上、安装在滑块14上、及固定时不会变形，例如不会弯曲。由于线圈13的上表面(面对着铁心12的表面)是平的，所以其下表面(面对着磁光盘4的表面)在粘合到铁心12上时不会变形，例如不会突出或倾斜。

当线圈13由多个线圈图案形成时，象例1那样，在这些线圈图案之间的间隔Tb必须是70μm或更小，并且希望是35μm或更小。这能增大线圈图案空间因数(截面上导体图案与剩余部分的比值)以高效地产生磁场。形成在无效区域中的线圈图案和导体图案(哑图案)希望这样形成，从而把线圈13的厚度T设置到70μm或更大。

如果线圈图案形成在线圈的上和下表面侧，并且导体图案(哑图案)形成在两侧上的无效区域中，象例1那样，则由温度变化引起的膨胀/收缩在线圈上和下表面侧发生到几乎相同的程度，并且线圈不会变形，例如不会翘曲。

将详细描述在例1中在无效区域中形成的导体图案，即哑图案17a和17b。

在例1中，线圈图案16a和16b的节距P是40μm。按照不等式1、2、和3把一个其中离线圈图案16a和16b每一个的外边缘的距离S满足0μm≤S≤60μm的区域定义为线圈13上和下表面侧的第一区域A1；把一个其中距离S满足60μm＜S≤240μm的区域定义为第二区域A2；及把一个其中距离S满足240μm＜S的区域定义为第三区域A3。在图2A和2B中，虚线B1代表在第一与第二区域A1与A2之间的边界，而虚线B2代表在第二与第三区域A2与A3之间的边界。

哑图案17a和17b按如下形成在各区域中。没有哑图案形成在线圈13的上和下表面侧的第一区域A1中。因此，导体图案的导体占有率R在上和下表面侧的第一区域A1中是0。哑图案17a和17b由条状导体图案形成在线圈13的上和下表面侧的第二和第三区域A2和A3中。条状导体图案具有40μm的宽度和60μm节距。终端19a和19b形成在线圈13的上表面侧的第三区域A3中。导体图案的导体占有率R在线圈13的上和下表面侧的第二区域A2中是约0.60，在上表面侧的第三区域A3中是约0.63，及在下表面侧的第三区域A3中是约0.60。

以这种方式，根据离线圈图案外边缘(有效区域的外边缘)的距离S把无效区域划分成多个区域。导体图案布置在各区域中，从而同时满足不等式1、2、和3。在第一区域A1中，没有导体图案形成任何封闭环。因而，能得到加强效果而不降低线圈的电气特性。

[例2]

将描述本发明的例2。例2中的磁头具有与图11中所示例1中的相同结构，并且将省略其描述。图3A和3B表示例2中线圈13的详细结构。图3A是当从顶部看时的平面图，而图3B是从底部看时的平面图。

除形成在无效区域中的导体图案之外的结构与图1和2中所示例1中的相同，并且将省略其描述。

将描述在例2中的无效区域中形成的导体图案，即哑图案17a和17b。

而且在例2中，按照不等式1、2、和3把一个其中离线圈图案16a和16b每一个的外边缘的距离S满足0μm≤S≤60μm的区域定义为线圈13上和下表面侧的第一区域A1；把一个其中距离S满足60μm＜S≤240μm的区域定义为第二区域A2；及把一个其中距离S满足240μm＜S的区域定义为第三区域A3。在图1中，虚线B1代表在第一与第二区域A1与A2之间的边界，而虚线B2代表在第二与第三区域A2与A3之间的边界。

哑图案按如下形成在各区域中。没有哑图案形成在线圈13的上和下表面侧的第一区域A1中。因此，导体图案的导体占有率R在上和下表面侧的第一区域A1中是0。哑图案17a和17b由方块-点-状导体图案形成在线圈13的上和下表面侧的第二和第三区域A2和A3中。方块-点-状导体图案具有60μm的边长和80μm的布置节距。终端19a和19b形成在线圈13的上表面侧的第三区域A3中。导体图案的导体占有率R在线圈13的上和下表面侧的第二区域A2中是约0.56，在上表面侧的第三区域A3中是约0.59，及在下表面侧的第三区域A3中是约0.56。

[例3]

将描述本发明的例3。例3中的磁头具有与图11A和11B中所示例1中的相同结构，并且将省略其描述。图4A和4B表示例3中线圈13的详细结构。图4A是当从顶部看时的平面图，而图4B是从底部看时的平面图。

除形成在无效区域中的导体图案之外的结构与图1、2A和2B中所示例1中的相同，并且将省略其描述。

将描述在例3中的无效区域中形成的导体图案，即哑图案17a和17b。

而且在例3中，按照不等式1、2、和3把一个其中离线圈图案16a和16b每一个的外边缘的距离S满足0μm≤S≤60μm的区域定义为线圈13上和下表面侧的第一区域A1；把一个其中距离S满足60μm＜S≤240μm的区域定义为第二区域A2；及把一个其中距离S满足240μm＜S的区域定义为第三区域A3。在图1中，虚线B1代表在第一与第二区域A1与A2之间的边界，而虚线B2代表在第二与第三区域A2与A3之间的边界。

哑图案按如下形成在各区域中。没有哑图案形成在线圈13的上和下表面侧的第一区域A1中。因此，导体图案的导体占有率R在上和下表面侧的第一区域A1中是0。哑图案17a和17b由方块-矩阵-状导体图案形成在线圈13的上和下表面侧的第二和第三区域A2和A3中。方块-矩阵-状导体图案具有40μm的宽度和100μm的节距。终端19a和19b形成在线圈13的上表面侧的第三区域A3中。导体图案的导体占有率R在线圈13的上和下表面侧的第二区域A2中是约0.64，在上表面侧的第三区域A3中是约0.67，及在下表面侧的第三区域A3中是约0.64。

[例4]

将描述本发明的例4。例4中的磁头具有与图11A和11B中所示例1中的相同结构，并且将省略其描述。图5A和5B表示例4中线圈13的详细结构。图5A是当从顶部看时的平面图，而图5B是从底部看时的平面图。

除形成在无效区域中的导体图案之外的结构与图1、2A和2B中所示例1中的相同，并且将省略其描述。

将描述在例4中的无效区域中形成的导体图案，即哑图案17a和17b。

而且在例4中，按照不等式1、2、和3把一个其中离线圈图案16a和16b每一个的外边缘的距离S满足0μm≤S≤60μm的区域定义为线圈13上和下表面侧的第一区域A1；把一个其中距离S满足60μm＜S≤240μm的区域定义为第二区域A2；及把一个其中距离S满足240μm＜S的区域定义为第三区域A3。在图1中，虚线B1代表在第一与第二区域A1与A2之间的边界，而虚线B2代表在第二与第三区域A2与A3之间的边界。

哑图案17a和17b按如下形成在各区域中。没有哑图案形成在线圈13的上和下表面侧的第一区域A1中。因此，导体图案的导体占有率R在上和下表面侧的第一区域A1中是0。哑图案17a和17b由条状导体图案形成在线圈13的上和下表面侧的第二和第三区域A2和A3中。条状导体图案具有115μm的宽度和150μm的节距。终端19a和19b形成在线圈13的上表面侧的第三区域A3中。导体图案的导体占有率R在线圈13的上和下表面侧的第二和第三区域A2和A3中是约0.77。

[例5]

将描述本发明的例5。例5中的磁头具有与图11A和11B中所示例1中的相同结构，并且将省略其描述。图6A和6B表示例5中线圈13的详细结构。图6A是当从顶部看时的平面图，而图6B是从底部看时的平面图。

除形成在无效区域中的导体图案之外的结构与图1、2A和2B中所示例1中的相同，并且将省略其描述。

将描述在例5中的无效区域中形成的导体图案，即哑图案17a和17b。

而且在例5中，按照不等式1、2、和3把一个其中离线圈图案16a和16b每一个的外边缘的距离S满足0μm≤S≤60μm的区域定义为线圈13上和下表面侧的第一区域A1；把一个其中距离S满足60μm＜S≤240μm的区域定义为第二区域A2；及把一个其中距离S满足240μm＜S的区域定义为第三区域A3。在图1中，虚线B1代表在第一与第二区域A1与A2之间的边界，而虚线B2代表在第二与第三区域A2与A3之间的边界。

哑图案17a和17b按如下形成在各区域中。没有哑图案形成在线圈13的上和下表面侧的第一区域A1中。因此，导体图案的导体占有率R在上和下表面侧的第一区域A1中是0。哑图案17a和17b由条状导体图案形成在线圈13的上和下表面侧的第二和第三区域A2和A3中。条状导体图案具有40μm的宽度和80μm的节距。在第三区域A3中，哑图案17a和17b进一步由沿线圈13的外边缘形成的70μm宽带状导体图案形成。沿外边缘的带状导体图案和条状导体图案彼此联接。终端19a和19b形成在线圈13的上表面侧的第三区域A3中。导体图案的导体占有率R在线圈13的上和下表面侧的第二区域A2中是约0.50，在上表面侧的第三区域A3中是约0.55，及在下表面侧的第三区域A3中是约0.52。

[例6]

将描述本发明的例6。例6中的磁头具有与图11A和11B中所示例1中的相同结构，并且将省略其描述。图7A和7B表示例6中线圈13的详细结构。图7A是当从顶部看时的平面图，而图7B是从底部看时的平面图。

除形成在无效区域中的导体图案之外的结构与图1、2A和2B中所示例1中的相同，并且将省略其描述。

将描述在例6中的无效区域中形成的导体图案，即哑图案17a和17b。

而且在例6中，按照不等式1、2、和3把一个其中离线圈图案16a和16b每一个的外边缘的距离S满足0μm≤S≤60μm的区域定义为线圈13上和下表面侧的第一区域A1；把一个其中距离S满足60μm＜S≤240μm的区域定义为第二区域A2；及把一个其中距离S满足240μm＜S的区域定义为第三区域A3。在图1中，虚线B1代表在第一与第二区域A1与A2之间的边界，而虚线B2代表在第二与第三区域A2与A3之间的边界。

哑图案17a和17b按如下形成在各区域中。没有哑图案形成在线圈13的上和下表面侧的第一和第二区域A1和A2中。因而，导体图案的导体占有率R在上和下表面侧的第一和第二区域A1和A2中是0。在线圈13的上和下表面侧的第三区域A3中，哑图案17a和17b由具有40μm宽度和80μm的节距的条状导体图案、和沿线圈13的外边缘形成的70μm宽带状导体图案形成。沿外边缘的带状导体图案和条状导体图案彼此联接。终端19a和19b形成在线圈13的上表面侧的第三区域A3中。导体图案的导体占有率R在线圈13的上表面侧的第三区域A3中是约0.55，及在下表面侧的第三区域A3中是约0.52。

[例7]

将描述本发明的例7。例7中的磁头具有与图11A和11B中所示例1中的相同结构，并且将省略其描述。图8A和8B表示例7中线圈13的详细结构。图8A是当从顶部看时的平面图，而图8B是从底部看时的平面图。

除形成在无效区域中的导体图案之外的结构与图1、2A和2B中所示例1中的相同，并且将省略其描述。

将描述在例7中的无效区域中形成的导体图案，即哑图案17a和17b。

而且在例7中，按照不等式1、2、和3把一个其中离线圈图案16a和16b每一个的外边缘的距离S满足0μm≤S≤60μm的区域定义为线圈13上和下表面侧的第一区域A1；把一个其中距离S满足60μm＜S≤240μm的区域定义为第二区域A2；及把一个其中距离S满足240μm＜S的区域定义为第三区域A3。在图1中，虚线B1代表在第一与第二区域A1与A2之间的边界，而虚线B2代表在第二与第三区域A2与A3之间的边界。

哑图案17a和17b按如下形成在各区域中。在线圈13的上和下表面侧的第一区域A1中，哑图案17a和17b由在线圈图案16a和16b的螺旋方向上布置的多个导体图案形成。导体图案具有25μm的宽度和60μm的长度，并且在各导体图案之间的间隔是30μm。导体图案与线圈图案16a或16b的外边缘之间的间隔是35μm。导体图案的导体占有率R在第一区域A1中是约0.28。在线圈13的上和下表面侧的第二和第三区域A2和A3中，哑图案17a和17b由条状导体图案形成。条状导体图案具有40μm宽度和80μm的节距。在第三区域A3中，哑图案17a和17b进一步由沿线圈13的外边缘形成的70μm宽带状导体图案形成。沿外边缘的带状导体图案和条状导体图案彼此联接。终端19a和19b形成在线圈13的上表面侧的第三区域A3中。导体图案的导体占有率R在线圈13的上和下表面侧的第二区域A2中是约0.50，在上表面侧的第三区域A3中是约0.55，及在下表面侧的第三区域A3中是约0.52。

[例8]

将描述本发明的例8。例8中的磁头具有与图11A和11B中所示例1中的相同结构，并且将省略其描述。图9A和9B表示例8中线圈13的详细结构。图9A是当从顶部看时的平面图，而图9B是从底部看时的平面图。

除形成在无效区域中的导体图案之外的结构与图1、2A和2B中所示例1中的相同，并且将省略其描述。

将描述在例8中在无效区域中形成的导体图案，即哑图案17a和17b。

而且在例8中，按照不等式1、2、和3把一个其中离线圈图案16a和16b每一个的外边缘的距离S满足0μm≤S≤60μm的区域定义为线圈13上和下表面侧的第一区域A1；把一个其中距离S满足60μm＜S≤240μm的区域定义为第二区域A2；及把一个其中距离S满足240μm＜S的区域定义为第三区域A3。在图1中，虚线B1代表在第一与第二区域A1与A2之间的边界，而虚线B2代表在第二与第三区域A2与A3之间的边界。

哑图案17a和17b按如下形成在各区域中。在线圈13的上和下表面侧的第一区域A1和第二区域A2中，哑图案17a和17b由多个径向导体图案形成。导体图案具有100μm的宽度和205μm的长度，并且在各导体图案之间的间隔是70至120μm。在该导体图案与线圈图案16a和16b的外边缘之间的间隔是35μm。导体图案的导体占有率R在第一区域A1中是约0.25，而在第二区域A2中是约0.55。在线圈13的上和下表面侧的第三区域A3中，哑图案17a和17b由具有40μm宽度和80μm节距的条状导体图案、和沿线圈13的外边缘形成的70μm宽带状导体图案形成。沿外边缘的带状导体图案和条状导体图案彼此联接。终端19a和19b形成在线圈13的上表面侧的第三区域A3中。导体图案的导体占有率R在线圈13的上表面侧的第三区域A3中是约0.55，而在下表面侧的第三区域A3中是约0.52。

[例9]

将描述本发明的例9。图12A和12B表示磁头1的结构。图12A是侧剖视图，而图12B是仰视图。磁头1由诸如铁氧体之类的磁性材料制成的铁心12、线圈13、及安装他们的滑块14构成。标号4指示用作磁光记录介质的磁光盘。

铁心12由诸如具有扁平形状的铁氧体之类的磁性材料制成，并且其中心带有一个具有棱形的凸起磁极p1。线圈13是扁平的，并且其中心带有一个方孔h1。铁心12的磁极p1***在孔h1中。线圈13与铁心12一起安装在滑块14上。滑块14由树脂材料、陶瓷材料等制成，并且带有一个用来在磁光盘4上滑动或在其上方浮动/滑翔的滑动表面As或浮动表面Af，以便面对着磁光盘4。

滑块14带有从线圈13的固定表面凸出的锁定件29、30、和31。线圈13带有定位部分23、24、和25。定位部分23和24是圆形孔，并且定位部分25是形成在线圈13的外边缘中的U形凹口。线圈13通过把定位部分23、24、和25装配在滑块14的锁定件29、30、和31上固定到滑块14上。

图10A和10B表示线圈13的详细结构。图10A是当从顶部看时的平面图，而图10B是从底部看时的平面图。线圈13的构成包括一个基座15；一个螺旋线圈图案16a；一个哑图案17a；导向图案26a、27a、和28a；一个绝缘件18a；终端19b和19a；一个保护涂层20a；其中图案16a、17a、26a、27a、和28a、件18a、终端19b和19a、涂层20a形成在基座15的上表面侧(面对着铁心12的侧面)；一个螺旋线圈图案16b；一个哑图案17b；导向图案26b、27b、和28b；一个绝缘件18b；及一个保护涂层20b；其中图案16b、17b、26b、27b、和28b、件18b、涂层20b形成在基座15的下表面侧(面对着磁光盘4的侧面)。线圈图案16a和16b形成在有效区域中，并且绕磁场产生中心(孔h1)流动的电流能供给到线圈图案16a和16b。哑图案17a和17b；导向图案26a、27a、28a、26b、27b、和28b；及终端19a和19b形成在无效区域中，并且绕磁场产生中心(孔h1)流动的电流不供给他们。

作为导体图案的线圈图案16a和16b；哑图案17a和17b；导向图案26a、27a、28a、26b、27b、和28b；及终端19a和19b由诸如铜膜之类的导电材料膜制成，并且具有50μm的厚度H。线圈图案16a和16b具有从内周缘到外周缘的40μm恒定节距P、和25μm的宽度W。绝缘件18a和18b由非导电材料膜-例如在形成线圈图案16a和16b时使用的光敏树脂或热固性树脂材料膜-制成。绝缘件18a和18b在厚度上与诸如线圈图案16a和16b之类的导体图案相等。以这种方式，导体图案和绝缘件18a的厚度及导体图案和绝缘件18b的那些在线圈13的上和下表面侧上分别设置成相等。这防止诸如线圈图案16a和16b之类的导体图案从线圈13的上和下表面突出。线圈13的表面因此能制成平的。在图10A和10B中，所有黑色部分是由导电材料膜制成的导体图案，并且所有围绕的空白部分是绝缘件18a(上表面侧)或18b(下表面侧)。

线圈图案16a和16b经一个通孔21a连接在内周缘部分处。终端19a连接到线圈图案16a的外周缘部分上，而终端19b经一个通孔21b连接到线圈图案16b的终端上。终端19a和19b能向线圈图案16a和16b供给直流电流。

形成基座15以电气绝缘线圈图案16a和16b，并且基座15由诸如聚酰亚胺板之类的薄树脂材料板制成。在线圈图案16a与16b之间的间隔Tb(在例9中几乎等于基座15的厚度)是20μm。保护涂层20a和20b是由诸如树脂材料之类的非导电材料制成的薄膜或板，并且防止线圈图案16a和16b的表面的损坏和腐蚀。保护涂层20a和20b具有20μm的厚度Tc。

由于哑图案17a和17b形成在绕线圈图案16a和16b的无效区域中，所以线圈13的厚度T在几乎整个表面上均匀地是160μm。与其中不形成哑图案的情形相比，线圈13的机械强度增大。线圈13足够刚硬，并且当在制造磁头时把线圈13粘合到铁心12上、安装在滑块14上、及固定时不会变形，例如不会弯曲。由于线圈13的上表面(面对着铁心12的表面)是平的，所以其下表面(面对着磁光盘4的表面)在粘合到铁心12上时不会变形，例如不会突出或倾斜。

当线圈13由多个线圈图案形成时，象例9那样，在这些线圈图案之间的间隔Tb必须是70μm或更小，并且希望是35μm或更小。这能增大线圈图案空间因数(截面上导体图案与剩余部分的比值)以高效地产生磁场。形成在无效区域中的线圈图案和导体图案(哑图案)希望这样形成，从而把线圈13的厚度T设置到70μm或更大。

如果线圈图案形成在线圈的上和下表面侧，并且导体图案(哑图案)形成在两侧上的无效区域中，象例9那样，则由温度变化引起的膨胀/收缩在线圈上和下表面侧发生到几乎相同的程度，并且线圈不会变形，例如不会翘曲。

将详细描述在例9中在无效区域中形成的导体图案，即哑图案17a和17b及导向图案26a、27a、28a、26b、27b、和28b。

在例9中，线圈图案16a和16b的节距P是40μm。按照不等式1、2、和3把一个其中离线圈图案16a和16b每一个的外边缘的距离S满足0μm≤S≤60μm的区域定义为线圈13上和下表面侧的第一区域A1；把一个其中距离S满足60μm＜S≤240μm的区域定义为第二区域A2；及把一个其中距离S满足240μm＜S的区域定义为第三区域A3。在图1中，虚线B1代表在第一与第二区域A1与A2之间的边界，而虚线B2代表在第二与第三区域A2与A3之间的边界。

哑图案按如下形成在各区域中。没有哑图案形成在线圈13的上和下表面侧的第一区域A1中。因此，导体图案的导体占有率R在上和下表面侧的第一区域A1中是0。哑图案17a和17b由条状导体图案形成在线圈13的上和下表面侧的第二和第三区域A2和A3中。条状导体图案具有40μm的宽度和80μm的节距。在第三区域中，哑图案17a和17b进一步由沿线圈13的外边缘形成的70μm宽带状导体图案形成。沿外边缘的带状导体图案和条状导体图案彼此联接。导向图案26a和27a形成在线圈13的上表面侧的第三区域A3中的定位部分23和24的周缘边缘处，而导向图案28a形成在第二和第三区域A2和A3中的定位部分25的周缘边缘处。导向图案26b和27b形成在线圈13的下表面侧的第三区域A3中的定位部分23和24的周缘边缘处，而导向图案28b形成在第二和第三区域A2和A3中的定位部分25的周缘边缘处。这些导向图案26a、27a、28a、26b、27b、和28b具有70μm宽带形状。终端19a和19b形成在线圈13的上表面侧的第三区域A3中。

导体图案的导体占有率R在线圈13的上和下表面侧的第二区域A2中是约0.50，在线圈13的上表面侧的第三区域A3中是约0.55，及在下表面侧的第三区域A3中是约0.52。

如上所述，也在例9中，根据离线圈图案外边缘(有效区域的外边缘)的距离S把无效区域划分成多个区域。导体图案布置在各区域中，从而同时满足不等式1、2、和3。在第一区域A1中，没有导体图案形成任何封闭环。因而，能得到加强效果而不降低线圈的电气特性。

如果不形成导向图案26a、27a、28a、26b、27b、和28b，并且定位部分23、24、和25的周缘仅由基座15和绝缘件18a和18b形成，则定位部分23、24、和25的周缘较弱，不能经受操作力，及在把定位部分23、24、和25安装在滑块14的锁定件29、30、和31上和在磁头制造期间把线圈13固定在滑块14上时容易变形。

然而，在例9中，由导电材料膜制成的导向图案26a、27a、28a、26b、27b、和28b形成在定位部分23、24、和25的周缘边缘处。因而，能保证足够强度以防止变形。

将解释根据例9的制造线圈13的方法。线圈13的形成能采用使用影印石版的图案形成方法。在这种情况下，对于导向和线圈图案都能以高位置精度形成曝光掩模。使用该掩模使导向图案对于线圈图案的相对位置恒定，并且基本上防止任何误差和制造变动。

带有导向图案26a、27a、28a、26b、27b、和28b的线圈13从一个方向用二氧化碳气体激光器或准分子激光器光束照射以进行激光处理。然后，从由导向图案26a、27a、28a、26b、27b、和28b围绕的靠内部分除去基座15和绝缘件18a和18b，由此形成用作定位部分23、24、和25的孔和凹口。该处理方法仅选择性地除去作为基座15和绝缘件18a和18b的构成材料的树脂材料。由诸如铜膜之类的导电材料膜制成的导向图案26a、27a、28a、26b、27b、和28b不受这种处理的影响，并且用作激光束屏蔽掩模。通过把光束发射到稍大于定位部分23、24、和25的范围，能仅从由导向图案26a、27a、28a、26b、27b、和28b围绕的靠内部分除去基座。

根据制造方法，定位部分23、24、和25的形成位置和尺寸由预先形成的导向图案26a、27a、28a、26b、27b、和28b确定。即使线圈13对于处理设备的固定位置是错误的，定位部分23、24、和25也免受任何误差的影响，并且能以非常高的位置和尺寸精度形成。

绕定位部分23、24、和25形成的导向图案26a、27a、28a、26b、27b、和28b对于线圈图案16a和16b的相对位置精度非常高。通过把锁定件29、30、和31装配在定位部分23、24、和25中，把线圈13以高位置精度固定到滑块14上。磁场产生中心(线圈图案中心)相对于滑块14是恒定的，并且不会改变。因此，由磁头1产生的磁场能准确地施加到磁光盘4上的记录光束的照射位置。

注意用作定位部分的孔和凹口的形成位置和形状、及在其周缘边缘处形成的导向图案的位置和形状不限于图10A和10B中所示的例9。要装配在形成在线圈上的定位部分中的锁定件，可以不形成在滑块上，而是形成在诸如铁心之类的另一个磁头建造件上。

将描述用于例1至9的比较例。

[比较例1]

图19A和19B表示线圈13的详细结构作为比较例1。图19A是当从顶部看时的平面图，而图19B是从底部看时的平面图。除形成在无效区域中的导体图案之外的结构与图1、2A和2B中所示例1中的相同，并且将省略其描述。

将描述在比较例1中在无效区域中形成的导体图案，即哑图案17a和17b。而且在该例子中，按照不等式1、2、和3把一个其中离线圈图案16a和16b每一个的外边缘的距离S满足0μm≤S≤60μm的区域定义为线圈13上和下表面侧的第一区域A1；把一个其中距离S满足60μm＜S≤240μm的区域定义为第二区域A2；及把一个其中距离S满足240μm＜S的区域定义为第三区域A3。在图19A和19B中，虚线B1代表在第一与第二区域A1与A2之间的边界，而虚线B2代表在第二与第三区域A2与A3之间的边界。

在除其中离线圈图案16a和16b每一个的外边缘的距离S满足S＜20μm的区域之外的整个区域A1中，哑图案17a和17b由方块-矩阵-状导体图案形成。方块-矩阵-状导体图案具有120μm的宽度和165μm的节距。终端19a和19b形成在线圈13的上表面侧的第三区域A3中。

在上和下表面侧，导体图案的导体占有率R在第一区域A1中是约0.58，而在第二区域A2中是约0.93。导体图案的导体占有率R在上表面侧的第三区域A3中是约0.94，而在下表面侧的第三区域A3中是约0.93。

在比较例1中，在第一区域A1和第二区域中的导体占有率R高于由不等式1和2定义的范围。

[比较例2]

图20A和20B表示线圈13的详细结构作为比较例2。图20A是当从顶部看时的平面图，而图20B是从底部看时的平面图。除形成在无效区域中的导体图案之外的结构与图1、2A和2B中所示例1中的相同，并且将省略其描述。

将描述在比较例2中在无效区域中形成的导体图案，即哑图案17a和17b。而且在该例子中，按照不等式1、2、和3把一个其中离线圈图案16a和16b每一个的外边缘的距离S满足0μm≤S≤60μm的区域定义为线圈13上和下表面侧的第一区域A1；把一个其中距离S满足60μm＜S≤240μm的区域定义为第二区域A2；及把一个其中距离S满足240μm＜S的区域定义为第三区域A3。在图20A和20B中，虚线B1代表在第一与第二区域A1与A2之间的边界，而虚线B2代表在第二与第三区域A2与A3之间的边界。

在除其中离线圈图案16a和16b每一个的外边缘的距离S满足S＜20μm的区域之外的整个区域A1中，哑图案17a和17b由方块-矩阵-状导体图案形成。方块-矩阵-状导体图案具有30μm的宽度和300μm的节距。终端19a和19b形成在线圈13的上表面侧的第三区域A3中。

在上和下表面侧，导体图案的导体占有率R在第一区域A1中是约0.09，而在第二区域A2中是约0.19μm。导体图案的导体占有率R在上表面侧的第三区域A3中是约0.22，而在下表面侧的第三区域A3中是约0.19。

在比较例2中，在第三区域A3中的导体占有率R低于由不等式3定义的范围。

表1表示根据例1至9和比较例1和2在实际制造线圈13的各区域中的导体占有率R、电气特性的测量值、平面度估计结果、及在使用线圈13的磁光记录设备中可实现的最大调制频率fmax。

表1在例子和比较例中的特性

		导体占有率R			电气特性		平面度	最大调制频率fmax[MHz]
									区域A1	区域A2	区域A3	Rp[Ω]	fr[MHz]
		例1	上表面	0	0.60	0.63								1320	377	良好	14
下表面	0						0.60	0.60
			例2	上表面	0	0.56			0.59	1300	392	良好	14
下表面	0	0.56					0.56
				例3	上表面	0		0.64	0.67					1320	374	良好	14
下表面	0	0.64	0.64
					例4	上表面	0	0.77	0.77	1290	372	良好	14
下表面	0	0.77	0.77
				例5		上表面	0	0.50	0.55					1300	395	良好	14
下表面	0	0.50	0.52
					例6	上表面	0	0	0.55	1310	401	良好	14
下表面	0	0	0.52
				例7		上表面	0.28	0.50	0.55					1190	356	良好	12
下表面	0.28	0.50	0.52
					例8	上表面	0.25	0.55	0.55	1160	362	良好	12
下表面	0.25	0.55	0.52
				例9		上表面	0	0.50	0.55					1330	393	良好	14
下表面	0	0.50	0.52
					比较例1	上表面	0.58	0.93	0.94	740	272	良好	7

	下表面	0.58	0.93	0.93
									比较例2	上表面	0.09	0.19	0.22	1300	388	差	10
下表面	0.09	0.19	0.19

线圈13的电气特性由在终端19a与19b之间测量的RF电阻Rp和自谐振频率fr计算。RF电阻Rp是与在20MHz频率下的电感分量L并联的电阻分量，而自谐振频率fr是使阻抗幅值|Z|最大的频率。

根据这些结果，把本发明(例1至9)与比较例1相比较发现，在本发明和比较例1中平面度都优良。然而，RF电阻Rp在本发明中高于在比较例1中。这意味着由在形成在无效区域中的导体图案内产生的涡流的影响引起的RF损失在本发明中较小。而且，自谐振频率fr在本发明中比在比较例1中高。这意味着在无效区域中形成的线圈图案与导体图案之间的静电容在本发明中较小。结果，在采用本发明的磁光记录设备中可达到的磁场最大调制频率fmax是约12至14MHz。在比较例1中，可达到的最大调制频率fmax是约7MHz。为了把磁场的最大调制频率fmax设置为8MHz或更大，至少RF电阻Rp和自谐振频率fr必须分别是800Ω或更大和290MHz或更大。

把本发明与比较例2相比较发现，电气特性相同。然而，在本发明中，平面度优良而在制造中没有任何变形。在比较例2中，形成在无效区域中的导体图案的加强效果不足，线圈容易在制造中变形，并且缺陷数量增大。即使筛分无缺陷的，线圈也难以带到靠近磁光记录介质。尽管电气特性与本发明中的相同，但磁场的可达到最大调制频率fmax是约10MHz，这低于本发明中的。

在本发明中，根据离线圈图案的距离定义形成在线圈无效区域中的导体图案的导体占有率R。因而，能得到具有优良电气特性和平面度的线圈，并且磁场的最大调制频率能增大。

[例10]

将描述本发明的例10。图13A和13B表示磁头1的结构。图13A是侧剖视图，而图13B是仰视图。磁头1由诸如铁氧体之类的磁性材料制成的铁心12、线圈13、散热件32、及安装他们的滑块14构成。标号4指示用作磁光记录介质的磁光盘。

铁心12由诸如具有扁平形状的铁氧体之类的磁性材料制成，并且其中心带有一个具有棱形的凸起磁极p1。线圈13是扁平的，并且其中心带有一个方孔h1。铁心12的磁极p1***在孔h1中。线圈13与铁心12一起安装在滑块14上。滑块14由树脂材料、陶瓷材料等制成，并且带有一个用来在磁光盘4上滑动或在其上方浮动/滑翔的滑动表面As或浮动表面Af，以便面对着磁光盘4。

在例10中，线圈13具有与图2A和2B中所示例1中相同的结构，并且将省略其详细描述。线圈13可以具有与图3A和3B至图10A和10B中所示的例2至9任一个中描述的相同的结构

散热件32由诸如铝之类的高导热率金属材料制成，并且直接或经高导热率粘合剂等布置成与形成在线圈13的上表面上的哑图案17a紧密接触。如果散热件32成形成诸如翅片之类的波纹结构，由此增大表面面积，如图13A和13B中所示，则能增大散热效率。

在记录信息信号时，把电流供给到线圈图案16a和16b，在铁心12及线圈图案16a和16b中产生RF和热量。由于哑图案17a和哑图案17b由诸如铜之类的高导热率材料制成，所以在铁心12及线圈图案16a和16b中产生热量经哑图案17a传导到散热件32，并且消散到空气中。热量也传导到哑图案17b，并且从哑图案17b的下表面消散到空气中。磁光盘4的转动靠近其表面产生气流。通过把哑图案17b带到靠近磁光盘4同时面对着盘4，能增大散热效率。

形成哑图案17a和17b能有效地散热以减小磁头1的温度升高。

将解释使用上述磁头1用来把信息信号记录在磁光盘4上的磁光记录设备。图15表示磁光记录设备的示意布置。磁光盘4由一个由透明树材料制成的基片40、一个形成在基片40上的磁性记录层41、及一层保护膜42构成。磁光盘4由一个主轴电机5以预定速度转动。在磁光盘4的上表面侧(带有保护膜42的侧面)，表示在图11A和11B、图12A和12B、或图13A和13B中的磁头1由弹性支撑件11的一端保持。磁头的滑动表面As或浮动表面Af几乎平行地压紧磁光盘4的表面。面对着磁头1且会聚记录和复制光束以经磁光盘4的基片40照射磁性记录层41的光学头2，布置在磁光盘4的下表面侧。支撑件11和光学头2由一个联接件3联接。

磁头1的线圈13连接到一个磁头驱动电路6上，磁头驱动电路6连接到一个记录信号产生电路7上。光学头2包括一个激光源、一个诸如物镜之类的光学***、一个用于检测反射光的光学传感器等。激光源连接到一个激光驱动电路8上；光学传感器连接到一个放大电路9上；及放大电路9连接到信息信号复制电路10上。

将详细描述信息信号的记录操作。在记录信息信号时，主轴电机5转动磁光盘4。然后，磁头1在磁光盘4的保护膜42上滑动或在其上方浮动/滑翔。

要记录的信息信号从记录信号产生电路7的一个输入终端T1输入。记录信号产生电路7对于信息信号进行诸如编码之类的调制以产生与时钟信号同步的记录信号，并且把记录信号输出到磁头驱动电路6。磁头驱动电路6把由记录信号调制的电流供给到磁头1的线圈13。因而，磁头1从磁极p1的远端产生一个按照信息信号在上和下方向之间变化的磁场。磁头1把磁场竖直的施加到磁光盘4的磁性记录层41上。

激光驱动电路8把与时钟信号同步的记录直流电流或脉冲电流供给到光学头2的激光源。然后，具有恒定强度或象脉冲闪烁的大功率记录光束会聚成一个光点，该光点经磁光盘4的基片40照射磁性记录层41。

由于磁性记录层41的温度升高以减小其在记录光束照射部分处的矫顽力，所以磁化直向施加的磁场。磁性记录层41的温度降低以增大其离开记录光束的照射部分的矫顽力。然后，固定磁化以形成与信息信号相对应的磁化区域。

将详细解释记录信息信号的复制操作。而且在复制记录的信息信号时，主轴电机5转动磁光盘4。由于磁头1一般不用于信息信号的复制，所以磁头1不必在磁光盘4的保护膜42上滑动或在其上方浮动/滑翔，并且可以缩回到磁光盘4上方以离开盘4。

激光驱动电路8把复制直流电流供给到光学头2的激光源。然后，把小功率复制光束会聚成一个光点，该光点经磁光盘4的基片40照射磁性记录层41。

来自磁化区域的复制光束的、用作信息信号的反射光束的极化平面，通过磁光效应(克尔效应)得到，从而极化平面按照磁化区域的磁化方向转动。光学头2的光学***把反射光束的极化平面的转动转换成强度变化。光学传感器检测这种强度变化，并且把它作为电信号输出。检测信号从光学头2输出。检测信号由放大电路9放大，并且经受通过信息信号复制电路10的信号处理，如二进制化和译码。结果，从终端T2复制和输出信息信号。

[例11]

将描述本发明的例11。图14A和14B是表示磁头1的结构的剖视图。磁头1由一个诸如铁氧体之类的磁性材料制成的铁心12；一个线圈13；一个由树脂材料、陶瓷材料等制成的并且安装铁心12和线圈13的滑块14；及一个在下表面上中心处带有凸起部分p2的半球形透镜22构成。标号4指示用作磁光记录介质的磁光盘。

透镜22布置成在使用磁光记录设备(要在以后描述)把信息信号记录在磁光盘4上或从其上复制信息信号时把用来从光学头照射磁光盘4的记录或复制光束会聚成一个小光点。铁心12是扁平的，并且其中心带有一个孔h2。线圈13的中心带有一个孔h1。透镜22的凸起部分p2***在铁心12的孔h2和线圈13的孔h1中。

线圈13具有与例1中描述的相同的结构，并且将省略其详细描述。

将解释使用上述磁头1用来把信息信号记录在磁光盘4上的磁光记录设备。图16表示磁光记录设备的示意布置。磁光盘4由一个由树材料制成的基片40、一个形成在基片40上的磁性记录层41、及一层透明材料制成的保护膜42构成。磁光盘4由一个主轴电机5以预定速度转动。在磁光盘4的上表面侧(带有保护膜42的侧面)，磁头1由弹性支撑件11的一端保持。磁头的滑动表面As或浮动表面Af几乎平行地压紧磁光盘4的表面。用来会聚记录和复制光束以经磁头1的透镜22和磁光盘4的基片40照射磁性记录层41的光学头2，布置在磁头1上方。支撑件11和光学头2由一个联接件3联接。

磁头1的线圈13连接到一个磁头驱动电路6上，磁头驱动电路6连接到一个记录信号产生电路7上。光学头2包括一个激光源、一个诸如物镜之类的光学***、一个用于检测反射光的光学传感器等。激光源连接到一个激光驱动电路8上；光学传感器连接到一个放大电路9上；及放大电路9连接到信息信号复制电路10上。

信息信号的记录操作和复制操作与例1中的相同。主轴电机5转动磁光盘4。在磁头1在磁光盘4的保护膜42上滑动或在其上方浮动/滑翔的同时，记录和复制信息信号。

在例11中，固定到磁头1上的透镜22的凸起部分p2的远端带到非常靠近磁光盘4，并且光学头2用记录复制光束经透镜22照射磁光盘4。光束能会聚成较小光点，由此增大信息信号记录密度。当光束不必会聚成较小光点时，磁头1不必包括透镜22。另外，磁头1可以或不必包括用来传送激光束的件(例如玻璃板)。

即使在这种情况下，光学头2也位于磁头1上方，并且记录或复制光束经磁光盘4的保护膜42照射磁性记录层41。为了实现这种布置，记录或复制光束传送部分，例如孔h1必须形成在线圈13的中心中，并且线圈图案必须围绕着光束传送部分。

而且在例11中，哑图案17a和17b形成在绕线圈图案16a和16b的无效区域中。线圈13的厚度T在几乎整个表面上均匀地是160μm。与其中不形成哑图案的情形相比，线圈13的机械强度增大。线圈13足够刚硬，并且当在制造磁头时把线圈13粘合到铁心12上、安装在滑块14上、及固定时不会变形，例如不会弯曲。由于线圈13的上表面(面对着铁心12的表面)是平的，所以其下表面(面对着磁光盘4的表面)在粘合到铁心12上时不会变形，例如不会突出或倾斜。

哑图案17a和17b能消散由线圈图案16a和16b及铁心12产生的热量，由此防止磁头的温度升高。如果磁头1包括散热件，象例10中那样，则能增大散热效率。

在例11中，线圈13可以具有与例2至8中描述的相同的结构。如在例9中描述的那样，线圈13和滑块14可以分别包括定位部分和锁定件。

如在上面已经描述的那样，在按照本发明用于磁头的扁平线圈元件中，根据离线圈图案的外边缘(有效区域的外边缘)的距离S把其中不形成能够供给电流以便绕磁场产生中心流动的导体图案的无效区域划分成第一、第二、和第三区域A1、A2、和A3。导体图案形成在各区域中以便同时满足不等式1、2、和3。在第一区域A1中，没有导体图案形成任何封闭环。因此，本发明提供一种用于磁头的扁平线圈元件，其中改进机械强度、平面度、及尺寸精度而不降低线圈的电气特性。当在制造磁头时把线圈粘合到铁心上、安装在滑块上、及固定时，使用这种线圈能防止诸如弯曲之类的任何变形。如果线圈图案形成在对其粘合另一件的线圈的上表面侧，并且导体图案形成在线圈图案外的无效区域中，则面对着磁光记录介质的线圈下表面在粘合时不会变形，例如不会突出或倾斜。

因此，本发明实现一种在线圈与光学头之间具有高相对位置精度和在线圈与磁光记录介质之间有高距离精度的磁头。即使当减小线圈尺寸以减小其电感时，磁场也能准确地施加到磁光记录介质的记录光束照射位置。这允许把磁场调制频率设置到8MHz和增大信息信号记录速度。

如果导向图案形成在带有定位部分的线圈的中的定位部分的周边边缘处，则绕定位部分的机械强度增大。在把锁定件上的定位部分装配到另一个建造件上时，线圈不会变形，并且线圈的位置精度能进一步提高。通过借助于影印石版形成导向和线圈图案，能以高位置和尺寸精度形成定位部分。即使当线圈尺寸进一步减小时，在线圈与光学头之间的位置精度也能提高。

在形成在无效区域中的线圈图案和铁心中产生的热量经形成在无效区域中的导体图案消散，这防止磁头的温度升高。特别是，带有一个与导体图案紧密接触的散热件的磁头能获得较高的散热效率。

因此，本发明能减小在高磁场调制频率下由铁心或线圈图案的RF损失引起的磁头温度升高。本发明能防止形成铁心的磁性材料的饱和磁通密度Bs的减小、和由磁头产生的磁场强度的减小。此外，本发明能防止磁头建造件的变形和任何电气绝缘失效。

因而，本发明与先有技术相比能增大磁场调制频率和信息信号记录密度。

Claims (13)

1．一种带有由导电材料膜制成的导体图案的磁头线圈，其特征在于导体图案包括：一个螺旋线圈图案，对其能供给电流以绕磁场产生中心流动；和一个导体图案，形成在线圈图案之外并且不能接收至少一种电流以便绕磁场产生中心流动，让S是离线圈图案的最外周缘的外边缘的距离，及P是线圈图案的节距(或当节距不是常数时的最小值)，形成在线圈图案之外的导体图案的导体占有率(形成在给定区域中的所有导体图案的总面积与区域总面积的比值)R同时满足不等式1、2、和3，并且在由不等式1给定的第一区域A1中导体图案不形成围绕线圈图案的任何封闭环：

不等式1：0≤R≤0.3在其中0≤S≤1.5P的第一区域A1中

不等式2：0≤R≤0.8在其中1.5P＜S≤6.0P的第二区域A2中

不等式3：0.3＜R≤1在其中6.0P＜S的第三区域A3中。

2．根据权利要求1所述的磁头线圈，其特征在于，在由不等式1给定的第一区域A1中，形成在线圈图案之外的导体图案是在线圈图案的螺旋方向上划分成至少两个的不连续导体图案。

3．根据权利要求2所述的磁头线圈，其特征在于，划分成至少两个的所有导体图案具有不小于0.2P的间隔。

4．根据权利要求1、2、和3任一项所述的磁头线圈，其特征在于，形成在线圈图案之外的导体图案，具有周期不小于P至不大于5P的周期形状。

5．根据权利要求1至4任一项所述的磁头线圈，其特征在于，形成在线圈图案之外的导体图案，包括沿用于磁头的扁平线圈元件的周缘边缘形成的导体图案。

6．根据权利要求5所述的磁头线圈，其特征在于，沿磁头线圈的周缘边缘形成的导体图案具有带形，并且联接到另一个导体图案上。

7．根据权利要求1至6任一项所述的磁头线圈，其特征在于，磁头线圈带有定位部分，并且形成在线圈图案之外的导体图案，包括形成在定位部分的周缘边缘处的导向图案。

8．根据权利要求1至7任一项所述的磁头线圈，其特征在于，磁头线圈带有一个用来接收磁极的孔或一个光透射部分，并且线圈图案绕孔或光透射部分形成。

9．一种带有一个平行面对着磁光记录介质的线圈的磁头，其特征在于，线圈是在权利要求1至8任一项中定义的磁头线圈。

10．根据权利要求9所述的磁头，其特征在于，进一步包括一个由磁性材料制成的铁心。

11．根据权利要求9或10所述的磁头，其特征在于，进一步包括一个透镜。

12．根据权利要求9、10、和11任一项所述的磁头，其特征在于，进一步包括一个与形成在线圈图案之外的导体图案紧密接触的散热件。

13．一种磁光记录设备，带有一个用来用光照射磁光记录介质的光学头和一个用来把由信息信号调制的磁场施加到磁光记录介质上的磁头，其特征在于，该磁头是在权利要求9至12任一项中定义的磁头。

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