JPH10255206A

JPH10255206A - 光磁気記録用磁気ヘッドおよびその製造方法および光磁気記録装置

Info

Publication number: JPH10255206A
Application number: JP5322797A
Authority: JP
Inventors: Kazunori Ishii; 和慶石井
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1997-03-07
Filing date: 1997-03-07
Publication date: 1998-09-25

Abstract

(57)【要約】【課題】光磁気記録装置において、記録用磁気ヘッド
のスライダーの磁極配設孔とコイルの中心孔との間の相
対位置誤差を小さくして、これらの孔を小径化して、更
に、コイルパターンの内径の小径化に伴うコイルパター
ンと磁極の接触の問題を解決して、磁極の小型化に対応
し、記録可能周波数を上げ、高密度記録を可能にする。【解決手段】スライダーに係止部を設け、コイルに位
置決め部位を設けて、係止部と位置決め部位とが嵌合す
るようにスライダーにコイルを取り付ける。ここで、位
置決め部位は、この周辺にガイドパターンを設け、ガイ
ドパターンをマスクとして、レーザ加工することにより
形成する。コイルの中心孔も、この周辺にガイドパター
ンを設け、同様にレーザ加工することにより形成する。
また、スライダーにコイルを取り付けて一体化した後
で、磁極配設孔と中心孔を同時に形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光磁気記録媒体に
情報信号を記録するための光磁気記録用磁気ヘッド、お
よび光磁気記録装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、光磁気ディスク等の光磁気記
録媒体に、高密度で情報信号を記録する光磁気記録装置
には、磁界変調方式を用いたものが知られている。この
方式の装置は、光ヘッド、磁気ヘッド、および光磁気記
録媒体の駆動手段を備え、光磁気記録媒体を駆動すると
同時に、光ヘッドにより光磁気記録媒体の磁気記録層に
レーザ光を微小なスポットに収束して照射するととも
に、磁気ヘッドにより光磁気記録媒体のレーザ光の照射
部位に、情報信号によって変調された磁界を垂直方向に
印加し、これにより光磁気記録媒体に情報信号の記録を
行うのである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、本願発明者
は、このような光磁気記録装置に使用される新規な構成
の磁気ヘッドを提案している。

【０００４】図８には、このような磁気ヘッドの側断面
図を、図９には、コイルの構成を示す。図９において、
（ａ）は、上面方向から見た図、（ｂ）は、側断面図、
（ｃ）は、下面方向から見た図である。

【０００５】コア５０は、角板状であり、フェライト等
の磁性材料から成る。コア５０の中央部には、突出した
四角柱状の磁極５０ａが光磁気記録媒体に略垂直に対向
するように形成される。

【０００６】コイル５１は、非導電性材料、例えば、ポ
リイミド等の樹脂から成る薄板である基材５３と、銅等
の導電性材料の膜から成り基材５３のコア５０と対向す
る面上に形成された第１のコイルパターン５４ａと、基
材５３の光磁気記録媒体と対向する面上に形成された第
２のコイルパターン５４ｂと、樹脂材料等の非導電性樹
脂材料から成り第１のコイルパターン５４ａ、第２のコ
イルパターン５４ｂを覆うように形成された保護コート
５５ａ，５５ｂとから構成される。また、コイル５１の
中央部に四角形の中心孔５６が形成される。コイル５１
は、光磁気記録媒体に対して略平行となるようにコア５
０に取り付けられ、中心孔５６の内部にコア５０の磁極
５０ａが配設される。

【０００７】第１のコイルパターン５４ａと、第２のコ
イルパターン５４ｂは、中心孔５６の周囲にスパイラル
状に形成され、第１のコイルパターン５４ａの内周部
と、第２のコイルパターン５４ｂの内周部とは、中心孔
５６の近傍に形成された接続部５７を介して直列に接続
される。

【０００８】また、基材５３のコア５０と対向する面上
には、第１の端子５９ａと第２の端子５９ｂとが形成さ
れ、第１のコイルパターン５４ａの外周部は、第１の端
子５９ａに、第２のコイルパターン５４ｂの外周部は、
接続部５８を介して第２の端子５９ｂに接続される。

【０００９】コア５０およびコイル５１は、耐摩耗性の
樹脂材料またはセラミック材料から成るスライダー５２
に搭載される。スライダー５２には、磁極配設孔６０が
形成され、コイル５１は、スライダー５２に対して、中
心孔５６がスライダー５２の磁極配設孔６０と重なり合
うように取り付けられる。

【００１０】さらに、コア５０がコイル５１上に取り付
けられ、コア５０の磁極５０ａは、コイル５１の中心孔
５６、およびスライダー５２の磁極配設孔６０内に配設
される。

【００１１】磁気ヘッドは、支持手段（図示せず）によ
って底面５２ａを光磁気記録媒体と対向させて保持さ
れ、光磁気記録媒体上を滑走する。

【００１２】コイル５１の第１の端子５９ａ、および第
２の端子５９ｂは、磁気ヘッド駆動回路（図示せず）に
接続され、磁気ヘッド駆動回路より第１のコイルパター
ン５４ａ、および第２のコイルパターン５４ｂに電流が
供給されることにより、磁極５０ａの端面から磁界が発
生し、光磁気記録媒体にこの磁界が垂直に印加される。

【００１３】ところで近年、情報信号の記録の高速化に
対する要求が高まり、それに伴って磁界の変調周波数を
高くする必要が生じている。しかしながら、上記の光磁
気記録装置において、磁界の変調周波数を高めようとし
た場合には、磁気ヘッドのコイル５１が有するインダク
タンスのため、変調周波数に比例した高い駆動電圧を磁
気ヘッドのコイル５１に印加しなければならず、装置の
消費電力が増大する。従って、装置の消費電力を増大さ
せることなく、情報信号の記録を高速化するためには、
磁気ヘッドのコイル５１のインダクタンスの低減が不可
欠である。

【００１４】ところで、磁気ヘッドのコイル５１のイン
ダクタンスは、コア５０の磁極５０ａの断面積を小さく
するとともに、第１のコイルパターン５４ａ、および第
２のコイルパターン５４ｂの内径を小さくするほど低減
することができる。このため、磁界の最高変調周波数を
８ＭＨｚ以上とする場合には、磁極の断面積は、０．０
４ｍｍ²以下とする（例えば、磁極の断面が四角形であ
る場合には、各辺の寸法を２００μｍ以下とする）とと
もに、コイル５１の中心孔５６、および第１のコイルパ
ターン５４ａ、および第２のコイルパターン５４ｂの内
径もそれに合わせて可能な限り小さくすることが必要と
なってくる。

【００１５】さらには、スライダー５２の磁極配設孔６
０もコア５０の磁極５０ａの形状、寸法に合わせて、可
能な限り小さくしなければならない。なぜならば、もし
磁極配設孔６０が磁極５０ａよりも過度に大きく、磁極
５０ａの周囲に大きな間隙が存在したとすると、スライ
ダー５２が光磁気記録媒体上を滑走する際に、光磁気記
録媒体上の塵埃がその間隙に徐々に堆積し、これがスラ
イダー５２と光磁気記録媒体との間の摩擦力を増大さ
せ、甚だしい場合には、この堆積した塵埃が磁気ヘッド
および光磁気記録媒体を破損させる恐れがあるからであ
る。

【００１６】しかしながら一方では、コイル５１の中心
孔５６、およびスライダー５２の磁極配設孔６０を小さ
くするほど、磁気ヘッドの製造時に、コイル５１の中心
孔５６とスライダー５２の磁極配設孔６０とが正確に重
なり合うように、コイル５１をスライダー５２上に取り
付けるのが困難となる。このため、コイル５１の中心孔
５６、およびスライダー５２の磁極配設孔６０を小さく
するには限界があった。

【００１７】また、第１のコイルパターン５４ａ、およ
び第２のコイルパターン５４ｂの内径を小さくし、中心
孔５６の寸法により近づけた場合には、コイル５１の製
造の際、中心孔５６を形成する工程において、コイル５
１の加工装置への取り付け位置のわずかな誤差によって
も、中心孔５６の形成位置がコイル５１の中心位置より
ずれて、その結果、中心孔５６の内壁にコイルパターン
が露出するといった事態が生じる。このような場合に
は、中心孔５６内に配設されるコア５０の磁極５０ａ
が、第１のコイルパターン５４ａ、または、第２のコイ
ルパターン５４ｂに接触し、第１のコイルパターン５４
ａ、および第２のコイルパターン５４ｂに供給されるべ
き電流が、コア５０を通して外部に流出するといった問
題点が生じる。

【００１８】上記のような問題点は、特にコアの磁極の
断面積を０．０４ｍｍ²以下とし、磁界の最高変調周波
数を８ＭＨｚ以上に高めようとする場合に深刻であっ
た。

【００１９】

【課題を解決するための手段】本発明による光磁気記録
用磁気ヘッドは、非導電性材料から成る基材と、前記基
材上にスパイラル状に形成され導電性材料の膜から成る
コイルパターンとによって構成されたコイルを備え、前
記基材に位置決め部位が形成され、前記位置決め部位の
周縁部に、導電性材料の膜から成るガイドパターンが形
成されていることを特徴とする。

【００２０】また、本発明による光磁気記録用磁気ヘッ
ドの製造方法は、非導電性材料から成る基材と、導電性
材料の膜から成り前記基材上にスパイラル状に形成され
たコイルパターンとによって構成されたコイルを備えた
光磁気記録用磁気ヘッドの製造において、前記基材上に
導電性材料の膜から成るガイドパターンを形成してお
き、前記ガイドパターンをマスクとするレーザ加工によ
り、前記基材の一部分を除去することによって位置決め
部位を形成することを特徴とする。

【００２１】また、本発明による光磁気記録用磁気ヘッ
ドは、１．磁性材料から成り突出した磁極を備えたコア、２．非導電性材料から成る基材、および導電性材料の膜
から成り前記基材上にスパイラル状に形成されたコイル
パターンとによって構成され、さらに、前記磁極を配設
する中心孔が形成されたコイル、を備え、前記中心孔の周縁部に、導電性材料の膜から成
るガイドパターンが形成されていることを特徴とする。

【００２２】また、前記ガイドパターンは、少なくとも
前記中心孔の全周囲を取り巻いて閉環状には形成されな
いことを特徴とする。

【００２３】また、本発明による光磁気記録用磁気ヘッ
ドの製造方法は、１．磁性材料から成り突出した磁極を備えたコア、２．非導電性材料から成る基材、および導電性材料の膜
から成り前記基材上にスパイラル状に形成されたコイル
パターンとによって構成され、さらに、前記磁極を配設
する中心孔が形成されたコイル、を備えた光磁気記録用磁気ヘッドの製造において、前記
基材上に導電性材料の膜から成るガイドパターンを形成
しておき、前記ガイドパターンをマスクとするレーザ加
工により、前記基材の一部分を除去することによって前
記中心孔を形成することを特徴とする。

【００２４】また、本発明による光磁気記録用磁気ヘッ
ドの製造方法は、１．磁性材料から成り突出した磁極を備えたコア、２．非導電性材料から成る基材、および導電性材料の膜
から成り前記基材上にスパイラル状に形成されたコイル
パターンとによって構成され、さらに、前記磁極を配設
する中心孔が形成されたコイル、３．非導電性材料から成り前記磁極を配設する磁極配設
孔が形成されたスライダー、を備えた光磁気記録用磁気ヘッドの製造において、前記
コイルを前記スライダーに取り付け、その後に前記コイ
ルの前記中心孔、および前記スライダーの前記磁極配設
孔を同時に形成することを特徴とする。

【００２５】また、本発明による光磁気記録装置は、光
磁気記録媒体に対して垂直方向に磁界を印加する磁気ヘ
ッド、および前記光磁気記録媒体の前記磁界の印加部位
に光ビームを照射する光ヘッドを備え、前記磁気ヘッド
が、上記のいずれかの特徴を備えた光磁気記録用磁気ヘ
ッドであることを特徴とする。

【００２６】これにより従来の光磁気記録用磁気ヘッ
ド、および光磁気記録装置における問題点を良好に解決
し得るのである。

【００２７】

【発明の実施の形態】

〔第１の実施形態〕図１に、本発明による光磁気記録装
置の概略構成を示す。ここで１は、情報信号が記録され
る光磁気記録媒体としてのディスクであり、透明な材料
から成る基板１０、および基板１０上に形成され磁性材
料から成る磁気記録層１１により構成される。ディスク
１は、スピンドルモータ２によって回転駆動される。デ
ィスク１の上面側に磁気ヘッド３が、また、下面側に磁
気ヘッド３と対向して光ヘッド４が配置される。

【００２８】磁気ヘッド３は、磁性材料から成り磁極２
０ａが形成されたコア２０と、コイル２１と、非磁性材
料から成りコア２０とコイル２１が搭載されるスライダ
ー２２とによって構成される。磁気ヘッド３は、図示し
ない支持手段によってスライダー２２の底面２２ａをデ
ィスク１と対向させて保持され、ディスク１の回転によ
りディスク１上を滑走する。また、コイル２１には、磁
気ヘッド駆動回路７が接続される。

【００２９】光ヘッド４は、レーザ光源５、光センサ
６、およびレーザ光をディスク１の磁気記録層１１に収
束して照射させるための光学系（図示せず）により構成
される。レーザ光源５には、レーザ駆動回路９が、ま
た、光センサ６には、再生回路８が接続される。

【００３０】ディスク１に情報信号を記録する場合に
は、スピンドルモータ２によりディスク１を回転させる
とともに、レーザ駆動回路９からの電流供給によってレ
ーザ光源５がレーザ光を発生する。レーザ光は、光学系
によって磁気記録層１１に微小な光スポットに収束して
照射される。

【００３１】一方、磁気ヘッド３のスライダー２２は、
ディスク１上を滑走し、この状態で磁気ヘッド駆動回路
７からコイル２１に対して記録されるべき情報信号によ
って変調された電流が供給される。これにより磁気ヘッ
ド３の磁極２０ａから情報信号で変調された磁界が発生
し、磁気記録層１１のレーザ光の照射部位にこの磁界が
垂直方向に印加される。

【００３２】その結果、磁気記録層１１には、印加され
る磁界の方向の変化に対応して磁化の方向が変化する磁
化領域が形成され、これにより情報信号が記録される。

【００３３】また、このようにして記録された情報信号
を再生する場合には、ディスク１を回転させながら、光
ヘッド６により記録時よりも低パワーのレーザ光を磁気
記録層１１に照射させる。レーザ光の磁気記録層１１か
らの反射光の偏光面は、磁化領域の磁化の方向に対応し
て回転する。これを光センサ６によって検出し、その検
出信号を基に再生回路８で情報信号を再生する。

【００３４】なお、記録時も再生時も光センサ６で検出
され再生回路８で処理された信号をもとにトラッキング
サーボやフォーカスサーボが行われる。

【００３５】次に、図２に本発明による光磁気記録用磁
気ヘッドの第１の実施形態である磁気ヘッド３の構成を
示す。図２において、（ａ）は上面方向から見た図、
（ｂ）は側断面図である。また、図３にコイル２１の構
成を示す。図３において、（ａ）は上面方向から見た
図、（ｂ）は側断面図、（ｃ）は下面方向から見た図で
ある。

【００３６】コア２０は、角板状であり、フェライト等
の磁性材料から成る。コア２０の中央部には、突出した
四角柱状の磁極２０ａがディスク１に略垂直に対向する
ように形成される。磁極２０ａの断面積は、０．０４ｍ
ｍ²以下であり、例えば、その断面は、各辺が１００〜
２００μｍの四角形とする。

【００３７】コイル２１は、非導電性材料、例えば、ポ
リイミド等の樹脂材料から成る薄板である基材２３と、
銅等の導電性材料の膜から成り基材２３のコア２０と対
向する面上に形成された第１のコイルパターン２４ａ
と、銅等の導電性材料の膜から成り基材２３のディスク
１と対向する面上に形成された第２のコイルパターン２
４ｂと、樹脂材料等の非導電性材料から成り第１のコイ
ルパターン２４ａと第２のコイルパターン２４ｂを覆う
ように形成された保護コート２５ａ，２５ｂとから構成
される。

【００３８】コイル２１の中央部には、四角形の中心孔
３２が形成され、第１のコイルパターン２４ａと、第２
のコイルパターン２４ｂは、中心孔３２の周囲にスパイ
ラル状に形成される。第１のコイルパターン２４ａの内
周部と、第２のコイルパターン２４ｂの内周部とは、中
心孔３２の近傍に形成された接続部３３を介して直列に
接続される。

【００３９】また、コア２０と対向する基材２３の面上
には、第１の端子３５ａと第２の端子３５ｂとが形成さ
れ、第１のコイルパターン２４ａの外周部は、第１の端
子３５ａに、第２のコイルパターン２４ｂの外周部は、
接続部３４を介して第２の端子３５ｂに接続される。

【００４０】また、コイルパターンの周囲には、位置決
め部位２６，２７，２８が形成される。位置決め部位２
６，２７，２８は、円形または長円形の孔であり、基材
２３の位置決め部位２６，２７，２８の周縁部の両面に
は、銅等の導電性材料の膜から成るガイドパターン２９
ａ，２９ｂ，３０ａ，３０ｂ，３１ａ，３１ｂが形成さ
れる。

【００４１】コア２０およびコイル２１は、耐摩耗性の
樹脂材料またはセラミック材料から成るスライダー２２
に搭載される。スライダー２２には、磁極配設孔４０、
およびコイル２１の取り付け面側に突出した係止部３
７，３８，３９が形成される。コイル２１は、位置決め
部位２６，２７，２８をスライダー２２の係止部３７，
３８，３９と嵌合することにより、スライダー２２上に
取り付けられる。この時、コイル２１の中心孔３２がス
ライダー２２の磁極配設孔４０に重なり合うように、コ
イル２１は、スライダー２２に対して位置決めされ固定
される。

【００４２】さらに、コア２０がコイル２１の上に取り
付けられ、コア２０の磁極２０ａは、コイル２１の中心
孔３２、およびスライダー２２の磁極配設孔４０内に配
設される。磁極２０ａの下端面は、スライダー２２の底
面２２ａと同一の高さとするか、または、図示のように
底面２２ａよりもやや高い位置（ディスク１からより隔
たる位置）とする。

【００４３】コイル２１の第１の端子３５ａ、および第
２の端子３５ｂは、磁気ヘッド駆動回路７に接続され、
磁気ヘッド駆動回路７より第１のコイルパターン２４
ａ、および第２のコイルパターン２４ｂに直列に電流が
供給されることにより、磁極２０ａの端面から磁界が発
生し、光磁気記録媒体にこの磁界が垂直に印加される。

【００４４】ここで、より効率的に磁界を発生するため
には、コイルパターンの占積率（コイルパターンの断面
積のコイルの断面積に対する割合）を高める必要があ
り、そのためには、基材２３の厚さＴｓは、少なくとも
７０μｍ以下、望ましくは、３５μｍ以下とするべきで
ある。従って、本実施形態では、コイル２１を構成する
基材２３は、厚さＴｓが１２μｍのポリイミドのフィル
ムとする。また、第１のコイルパターン２４ａ、第２の
コイルパターン２４ｂ、およびガイドパターン２９ａ，
２９ｂ，３０ａ，３０ｂ，３１ａ，３１ｂは、すべて厚
さＨが５０μｍの銅の膜や箔とし、また、保護コート２
５ａ，２５ｂの厚さを１０μｍとする。

【００４５】もしここで、ガイドパターン２９ａ，２９
ｂ，３０ａ，３０ｂ，３１ａ，３１ｂが形成されておら
ず、位置決め部位２６，２７，２８の周辺部分が基材２
３、および保護コート２５ａ，２５ｂのみから成ってい
たとすると、第１のコイルパターン２４ａ、第２のコイ
ルパターン２４ｂの形成部分においてはコイル２１の厚
さＴｃが１３２μｍ（１２μｍ＋２×（５０μｍ＋１０
μｍ））であるのに対して、位置決め部位２６，２７，
２８の周辺部分においてはコイル２１の厚さＴｃ′は３
２μｍ（１２μｍ＋２×１０μｍ）となり強度が不足す
る。そればかりでなく、コイル形成部分と位置決め部位
との間のこのような厚さの差のために、位置決め部位２
６，２７，２８の周辺部分は、スライダー２２の取り付
け面に密着固定されず、間隙を生じやすくなるので、一
層強度が不足する。この場合には、磁気ヘッドの製造の
際、コイル２１のスライダー２２への取り付けの工程に
おいて、位置決め部位２６，２７，２８の周辺部分に強
度の不足のため、作用する力に抗しきれずに変形が生じ
る。

【００４６】しかしながら、本実施形態においては、位
置決め部位２６，２７，２８の周縁部にガイドパターン
２９ａ，２９ｂ，３０ａ，３０ｂ，３１ａ，３１ｂが形
成されているため、位置決め部位２６，２７，２８の周
辺部分におけるコイル２１の厚さＴｃ′は、第１のコイ
ルパターン２４ａ、第２のコイルパターン２４ｂの形成
部分における厚さＴｃと同一で１３２μｍと十分に大き
く、そのため、スライダー２２の取り付け面に密着固定
されるので、一層高い強度を有しており、変形を生じる
ことが無い。

【００４７】なお、ここでガイドパターン２９ａ，２９
ｂ，３０ａ，３０ｂ，３１ａ，３１ｂの厚さは、位置決
め部位２６，２７，２８の周辺部分におけるコイル２１
の厚さが７０μｍ以上となるような厚さに形成するのが
望ましい。この実施形態においては、厚さＴｃ’は１３
２μｍであるので、この条件は満たされている。

【００４８】次に、本実施形態による光磁気記録用磁気
ヘッドの製造方法について説明する。上記の磁気ヘッド
の製造において、コイル２１の作成に、例えば、転写法
等のパターン形成手法を用いることができる。即ち、金
属板等の導電性の材料から成る２枚の基板を用意し、選
択的なメッキ等によって、一方の基板には、銅等の導電
性材料の膜から成る第１のコイルパターン２４ａ、およ
びガイドパターン２９ａ，３０ａ，３１ａを形成し、ま
た、他方の基板には、第２のコイルパターン２４ｂ，お
よびガイドパターン２９ｂ，３０ｂ，３１ｂを形成し、
これらの基板を樹脂材料から成る基材２３の両面に接着
した後に、基板のみを剥離除去することにより、基材に
第１のコイルパターン２４ａ、第２のコイルパターン２
４ｂ、およびガイドパターン２９ａ，２９ｂ，３０ａ，
３０ｂ，３１ａ，３１ｂを一括して転写形成し、コイル
２１を作成するのである。このような作成方法によれ
ば、ガイドパターン２９ａ，２９ｂ，３０ａ，３０ｂ，
３１ａ，３１ｂのコイルパターン２４ａ、２４ｂに対す
る位置が一定であり、ほとんど誤差や製造ばらつきを生
じることが無い。

【００４９】さらに、このようにガイドパターン２９
ａ，２９ｂ，３０ａ，３０ｂ，３１ａ，３１ｂが形成さ
れたコイル２１に、一方向から炭酸ガスレーザやエキシ
マレーザのビームを照射してレーザ加工を行い、ガイド
パターン２９ａ，２９ｂ，３０ａ，３０ｂ，３１ａ，３
１ｂで囲まれた内側部分の基材を除去して孔を形成し、
位置決め部位２６，２７，２８とする。このような加工
方法によれば、樹脂材料のみが選択的に除去され、ま
た、ガイドパターン２９ａ，２９ｂ，３０ａ，３０ｂ，
３１ａ，３１ｂは、加工による影響を受けず、レーザ光
に対するマスクとなるので、位置決め部位２６，２７，
２８よりも多少広範囲にビームを照射すれば、ガイドパ
ターン２９ａ，２９ｂ，３０ａ，３０ｂ，３１ａ，３１
ｂで囲まれた内側部分の基材のみを除去することができ
る。

【００５０】従って、このような製造方法によれば、位
置決め部位２６，２７，２８の形成位置や寸法は、予め
形成されたガイドパターン２９ａ，２９ｂ，３０ａ，３
０ｂ，３１ａ，３１ｂによって決定されており、たとえ
コイル２１の加工装置への取り付け位置に誤差を生じた
としても、その影響を受けることが無いので、非常に高
い位置精度、寸法精度で位置決め部位２６，２７，２８
を形成することが可能となる。

【００５１】このような理由で、本発明による光磁気記
録用磁気ヘッドの製造方法によれば、たとえコイル２１
の中心孔３２を小さくしても、コイル２１の中心孔３２
とスライダー２２の磁極配設孔４０とが正確に重なり合
うようにコイル２１をスライダー２２上に位置決めし、
固定することが可能となるのである。

【００５２】なお、位置決め部位、およびその周縁部に
形成するガイドパターンは、必ずしも上記の実施形態に
示した形状、位置に限られるものではなく、例えば、図
４、または図５に示すような形状、位置としても良い。

【００５３】図４に示す例においては、位置決め部位２
６，２７，２８は、コイル２１の端部に形成した切り欠
きであり、各位置決め部位２６，２７，２８の周縁部に
は、円弧状のガイドパターン２９ａ，２９ｂ，３０ａ，
３０ｂ，３１ａ，３１ｂが形成される。

【００５４】また、図５に示す例においては、円形また
は長円形の孔である位置決め部位２６，２７，２８の周
縁部のみでなく、第１のコイルパターン２４ａ、および
第２のコイルパターン２４ｂの形成部分を除くコイル２
１の両面の全面にわたってガイドパターン４１ａ，４１
ｂが形成される。

【００５５】〔第２の実施形態〕次に、本発明による光
磁気記録用磁気ヘッドの第２の実施形態について説明す
る。なお、本実施形態において、光磁気記録装置、およ
び磁気ヘッドの概略構成は、前記第１の実施形態と同様
であるので詳細な説明は省略する。

【００５６】図６には、磁気ヘッド３の構成を示す。図
６において、（ａ）は上面方向から見た図、（ｂ）は側
断面図である。また、図７には、コイル２１の構成を示
す。ここで、（ａ）は上面方向から見た図、（ｂ）は側
断面図、（ｃ）は下面方向から見た図である。

【００５７】本実施形態においても、前記第１の実施形
態と同様に、コイル２１は、基材２３、第１のコイルパ
ターン２４ａ、第２のコイルパターン２４ｂ、保護コー
ト２５ａ，２５ｂから構成される。また、中心孔３２、
および位置決め部位２６，２７，２８およびその周縁部
に形成されるガイドパターン２９ａ，２９ｂ，３０ａ，
３０ｂ，３１ａ，３１ｂについても第１の実施形態と同
様である。

【００５８】さらに、本実施形態においては、コイル２
１の両面の中心孔３２の周縁部にも、ガイドパターン４
２ａ，４２ｂが形成される。ガイドパターン４２ａ，４
２ｂは、各々中心孔３２の４辺に沿うように形成された
４つのパターンから構成される。ガイドパターン４２
ａ，４２ｂは、第１のコイルパターン２４ａ、第２のコ
イルパターン２４ｂとは電気的に分離され、また、各ガ
イドパターンを構成する４つのパターンは、少なくとも
互いに電気的に分離されるように形成されている。

【００５９】このように、中心孔３２の周縁部に形成さ
れるガイドパターン４２ａ，４２ｂは、少なくとも中心
孔３２の全周囲を取り巻いて閉環状に形成しないのが望
ましい。なぜならば、もしガイドパターンを、中心孔３
２の全周囲を取り巻いて閉環状に形成したとすると、ガ
イドパターンに、磁極２０ａ内の磁束の変化を相殺する
方向の環状の電流が発生するため、磁界の変調が困難と
なるからである。

【００６０】従って、このような環状の電流の発生を防
止するために、ガイドパターンには少なくとも１箇所以
上、望ましくは２箇所以上の切れ目（電気的な分断部）
を設けておくのが望ましい。

【００６１】コア２０およびコイル２１は、耐摩耗性の
樹脂材料またはセラミック材料から成るスライダー２２
に搭載される。スライダー２２には、磁極配設孔４０、
およびコイル２１の取り付け面に突出した係止部３７，
３８，３９が形成される。コイル２１は、位置決め部位
２６，２７，２８をスライダー２２の係止部３７，３
８，３９と嵌合することにより、スライダー２２上に取
り付けられる。この時、コイル２１の中心孔３２がスラ
イダー２２の磁極配設孔４０に重なり合うように、コイ
ル２１は、スライダー２２に対して位置決めされ固定さ
れる。

【００６２】さらに、コア２０がコイル２１上に取り付
けられ、コア２０の磁極２０ａは、コイル２１の中心孔
３２、およびスライダー２２の磁極配設孔４０内に配設
される。磁極２０ａの下端面は、スライダー２２の底面
２２ａと同一の高さとするか、または、図示のように底
面２２ａよりもやや高い位置（ディスク１からより隔た
る位置）とする。

【００６３】コイル２１の第１の端子３５ａ、および第
２の端子３５ｂは、磁気ヘッド駆動回路７に接続され、
磁気ヘッド駆動回路７より第１のコイルパターン２４
ａ、および第２のコイルパターン２４ｂに直列に電流が
供給されることにより、磁極２０ａの端面から磁界が発
生し、光磁気記録媒体に垂直にこの磁界が印加される。

【００６４】ここで、より効率的に磁界を発生するため
には、コイルパターンの占積率（コイルパターンの断面
積のコイルの断面積に対する割合）を高める必要があ
り、そのためには、基材２３の厚さＴｓは、少なくとも
７０μｍ以下、望ましくは、３５μｍ以下とするべきで
ある。従って、本実施形態では、コイル２１を構成する
基材２３は、厚さＴｓが１２μｍのポリイミドのフィル
ムとする。また、第１のコイルパターン２４ａ、第２の
コイルパターン２４ｂ、およびガイドパターン２９ａ，
２９ｂ，３０ａ，３０ｂ，３１ａ，３１ｂ，４２ａ，４
２ｂは、すべて厚さＨが５０μｍの銅の膜とし、また、
保護コート２５ａ，２５ｂの厚さを１０μｍとする。

【００６５】もしここで、ガイドパターン４２ａ，４２
ｂが形成されておらず、中心孔３２の周辺部分が基材２
３、および保護コート２５ａ，２５ｂのみから成ってい
たとすると、第１のコイルパターン２４ａ、第２のコイ
ルパターン２４ｂの形成部分においては、コイル２１の
厚さＴｃが１３２μｍであるのに対して、中心孔３２の
周辺部分においては、コイル２１の厚さＴｃ′が３２μ
ｍとなり強度が不足する。そればかりでなく、このよう
な部分的な厚さの差のために、中心孔３２の周辺部分
は、スライダー２２の取り付け面に密着固定されず、間
隙を生じやすくなるので、一層強度が不足する。このた
め、磁気ヘッドの製造の際、コア２０をコイル２１上へ
取り付ける工程において、中心孔３２の周辺部分の強度
の不足のため、磁極２０ａが中心孔３２の周辺部分に接
触した程度であってもコイル２１に変形が生じる。

【００６６】しかしながら、本発明においては、中心孔
３２の周縁部に、ガイドパターン４２ａ，４２ｂが形成
されているため、中心孔３２の周辺部分におけるコイル
２１の厚さＴｃ′は、第１のコイルパターン２４ａ、第
２のコイルパターン２４ｂの形成部分における厚さＴｃ
と同一で１３２μｍと十分に大きく、さらに、スライダ
ー２２の取り付け面に密着固定されるので、一層高い強
度を有し、変形を生じることが無い。

【００６７】また、中心孔３２の内壁に、第１のコイル
パターン２４ａ、または第２のコイルパターン２４ｂが
露出することもないので、中心孔３２内に配設されるコ
ア２０の磁極２０ａが、第１のコイルパターン２４ａ、
または第２のコイルパターン２４ｂに接触し、第１のコ
イルパターン２４ａ、および第２のコイルパターン２４
ｂに供給されるべき電流が、コア２０を通して外部に流
出することが防止される。なお、ガイドパターン４２
ａ，４２ｂは、第１のコイルパターン２４ａ，および第
２のコイルパターン２４ｂとは電気的に分離されている
ので、仮に磁極２０ａがガイドパターン４２ａ，４２ｂ
に接触したとしても問題はない。仮に、ガイドパターン
４２ａ，４２ｂに円周方向の切れ目が１箇所しかないと
すれば、この切れ目の部分に磁極２０ａが接触すると、
磁極の周りの電気的な閉回路がガイドパターンと磁極に
より形成されてしまうが、２箇所以上に切れ目を入れる
ことで、この事態を避けることができるので、これがよ
り一層望ましい。本実施形態では、切れ目が４箇所にあ
るので、この条件を満足している。

【００６８】ここで、ガイドパターン４２ａ，４２ｂの
厚さは、中心孔３２の周辺部分におけるコイル２１の厚
さが７０μｍ以上となるような厚さに形成するのが望ま
しい。本実施形態では、厚さＴｃ’は１３２μｍである
ので、この条件は満たされている。

【００６９】次に、本実施形態による光磁気記録用磁気
ヘッドの製造方法について説明する。上記の磁気ヘッド
の製造において、コイル２１の作成には、例えば、転写
法等のパターン形成手法を用いることができる。即ち、
金属板等の導電性の材料から成る２枚の基板を用意し、
選択的なメッキ等によって、一方の基板には、銅等の導
電性材料の膜から成る第１のコイルパターン２４ａ、お
よびガイドパターン２９ａ，３０ａ，３１ａ，４２ａを
形成し、また、他方の基板には、第２のコイルパターン
２４ｂ、およびガイドパターン２９ｂ，３０ｂ，３１
ｂ，４２ｂを形成し、これらの基板を樹脂材料から成る
基材２３の両面に接着した後に、基板のみを剥離除去す
ることにより、基材２３に第１のコイルパターン２４
ａ、第２のコイルパターン２４ｂ、およびガイドパター
ン２９ａ，２９ｂ，３０ａ，３０ｂ，３１ａ，３１ｂ，
４２ａ，４２ｂを一括して転写形成し、コイル２１を作
成するのである。このような作成方法によれば、ガイド
パターン２９ａ，２９ｂ，３０ａ，３０ｂ，３１ａ，３
１ｂ，４２ａ，４２ｂのコイルパターンに対する位置は
一定であり、ほとんど誤差や製造ばらつきを生じること
が無い。

【００７０】さらに、このようにガイドパターン２９
ａ，２９ｂ，３０ａ，３０ｂ，３１ａ，３１ｂ，４２
ａ，４２ｂが形成されたコイル２１に、一方向から炭酸
ガスレーザやエキシマレーザのビームを照射してレーザ
加工を行い、ガイドパターン２９ａ，２９ｂ，３０ａ，
３０ｂ，３１ａ，３１ｂで囲まれた内側部分の基材２３
を除去して孔を形成し、位置決め部位２６，２７，２８
とし、また、ガイドパターン４２ａ，４２ｂで囲まれた
部分の基材２３を除去して中心孔３２を形成する。

【００７１】このような加工方法によれば、樹脂材料の
みが選択的に除去され、また、ガイドパターン２９ａ，
２９ｂ，３０ａ，３０ｂ，３１ａ，３１ｂ，４２ａ，４
２ｂは、加工による影響を受けず、レーザ光に対するマ
スクとなるので、位置決め部位２６，２７，２８、およ
び中心孔３２よりも多少広範囲にビームを照射すれば、
ガイドパターン２９ａ，２９ｂ，３０ａ，３０ｂ，３１
ａ，３１ｂ，４２ａ，４２ｂで囲まれた内側部分の基材
のみを除去することができる。

【００７２】従って、このような製造方法によれば、位
置決め部位２６，２７，２８、および中心孔３２の形成
位置や寸法は、予め形成されたガイドパターン２９ａ，
２９ｂ，３０ａ，３０ｂ，３１ａ，３１ｂ，４２ａ，４
２ｂによって決定されており、たとえコイル２１の加工
装置への取り付け位置に誤差を生じたとしても、その影
響を受けることが無いので、非常に高い位置精度、寸法
精度で位置決め部位２６，２７，２８および中心孔３２
を形成することが可能となる。

【００７３】このような理由で、本発明による光磁気記
録用磁気ヘッドの製造方法によれば、たとえコイル２１
の中心孔３２を小さくしても、コイル２１の中心孔３２
とスライダー２２の磁極配設孔４０とが正確に重なり合
うようにコイル２１をスライダー２２上に位置決めし、
固定することが可能となるのである。

【００７４】〔第３の実施形態〕次に、本発明による光
磁気記録用磁気ヘッドの製造方法の第３の実施形態につ
いて説明する。なお、本実施形態において、光磁気記録
装置、および磁気ヘッドの概略構成は、前記第２の実施
形態と同様であるので詳細な説明は省略する。

【００７５】本実施形態においては、コイル２１をスラ
イダー２２に取り付ける工程において、コイル２１、お
よびスライダー２２の各々に、磁極２０ａを配設する中
心孔３２、および磁極配設孔４０を形成するよりも前
に、予めコイル２１をスライダー２２に取り付けて一体
化しておき、その後、レーザ加工等によってコイル２
１、およびスライダー２２に中心孔３２、および磁極配
設孔４０を同時に形成する。このような方法によれば、
たとえコイル２１の中心孔３２を小さくしても、これと
スライダー２２の磁極配設孔４０との間に位置の誤差が
生じることが無い。

【００７６】従って、この場合には、必ずしもコイル２
１に位置決め部位２６，２７，２８や中心孔３２の周縁
部のガイドパターン４２ａ，４２ｂを形成する必要は無
いが、さらに、位置決め部位２６，２７，２８を形成し
てコイル２１取り付け位置の精度を高めたり、また、中
心孔３２の周縁部にガイドパターン４２ａ，４２ｂを形
成して中心孔３２の形成位置の精度を高めるようにして
も良い。

【００７７】なお、本実施形態においては、媒体は光磁
気ディスクであるとして説明してきたが、媒体としてカ
ードなど他の形態の光磁気媒体であるとしても本発明を
適用できる。

【００７８】また、本実施形態においては、光磁気記録
装置に使われる磁気ヘッドの説明をしてきたが、磁気ヘ
ッドを利用する他の記録装置、例えば、磁気記録装置で
あるハードディスクドライブなどにもこのような形態の
磁気ヘッドを利用することができる。

【００７９】

【発明の効果】以上に説明したように、本発明による光
磁気記録用磁気ヘッド、およびその製造方法によれば、
コアの磁極の断面積を小さくするとともに、コイルの中
心孔とスライダーの磁極配設孔もそれに合わせて小さく
した場合であっても、コイルの中心孔とスライダーの磁
極配設孔とが正確に重なり合うように、コイルをスライ
ダーに取り付けることが可能となる。

【００８０】また、コアの磁極に合わせて、スライダー
の磁極配設孔も小さくすることが可能であり、これによ
りスライダーの磁極の周囲に大きな間隙が生じないか
ら、スライダーが光磁気記録媒体上を滑走する際に、光
磁気記録媒体上の塵埃がその間隙に堆積し、それが原因
で磁気ヘッドまたは光磁気記録媒体が破損する恐れが無
くなる。

【００８１】また、コイルパターンの内径を小さくし、
中心孔の寸法により近づけた場合にも、コイルの製造の
際、中心孔を形成する工程において、コイルの加工装置
への取り付け位置に誤差が生じたとしても、中心孔の形
成位置がコイルの中心位置よりずれることがなく、その
結果、中心孔の内壁にコイルパターンが露出して磁極と
接触し、コイルパターンに供給されるべき電流が、コア
を通して流出するといった事態を防止することができ
る。

【００８２】このように、コアの磁極の断面積を小さく
した場合の問題点が解決される結果、本発明による光磁
気記録用磁気ヘッドにおいて、コイルのインダクタンス
が十分に低減され、磁界の変調周波数を高めることがで
きるのである。特にコアの磁極の断面積を０．０４ｍｍ
²以下とした場合には、磁界の最高変調周波数を８ＭＨ
ｚ以上に高めることができる。

【００８３】さらに、本発明による光磁気記録装置によ
れば、上記の光磁気記録用磁気ヘッドを使用することに
より、消費電力を増大させることなく、情報信号の記録
周波数、従って、記録速度を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による光磁気記録装置の概略構成を示す
図である。

【図２】本発明による光磁気記録用磁気ヘッドの第１の
実施形態の構成を示す図である。

【図３】本発明による光磁気記録用磁気ヘッドの第１の
実施形態におけるコイルの構成を示す図である。

【図４】本発明による光磁気記録用磁気ヘッドの他のコ
イルの例を示す図である。

【図５】本発明による光磁気記録用磁気ヘッドの他のコ
イルの例を示す図である。

【図６】本発明による光磁気記録用磁気ヘッドの第２の
実施形態の構成を示す図である。

【図７】本発明による光磁気記録用磁気ヘッドの第２の
実施形態におけるコイルの構成を示す図である。

【図８】従来の光磁気記録用磁気ヘッドの構成を示す図
である。

【図９】従来の光磁気記録用磁気ヘッドのコイルの構成
を示す図である。

【符号の説明】

１ディスク２スピンドルモータ３磁気ヘッド４光ヘッド５レーザ光源６光センサ７磁気ヘッド駆動回路８再生回路９レーザ駆動回路１０基板１１磁気記録層２０コア２０ａ磁極２１コイル２２スライダー２３基材２４ａ第１のコイルパターン２４ｂ第２のコイルパターン２５ａ，２５ｂ保護コート２９ａ，２９ｂ，３０ａ，３０ｂ，３１ａ，３１ｂ，４
１ａ，４１ｂ，４２ａ，４２ｂガイドパターン３２中心孔３３，３４接続部３５ａ第１の端子３５ｂ第２の端子３７，３８，３９係止部４０磁極配設孔

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】非導電性材料から成る基材と、前記基材
上にスパイラル状に形成され導電性材料の膜から成るコ
イルパターンとを具備するコイルを備えた光磁気記録用
磁気ヘッドにおいて、前記基材には位置決め部位が形成
され、前記位置決め部位の周縁部には、導電性材料の膜
から成るガイドパターンが形成されていることを特徴と
する光磁気記録用磁気ヘッド。
【請求項２】前記基材の厚さは、７０μｍ以下である
ことを特徴とする請求項１に記載の光磁気記録用磁気ヘ
ッド。
【請求項３】前記ガイドパターンの形成部分における
前記コイルの厚さは、７０μｍ以上であることを特徴と
する請求項２に記載の光磁気記録用磁気ヘッド。
【請求項４】請求項１，２，３のいずれかに記載の光
磁気記録用磁気ヘッドにおいて、さらに前記コイルを搭
載するスライダーを備え、前記スライダーには、前記コ
イルを前記位置決め部位において固定する係止部が形成
されることを特徴とする光磁気記録用磁気ヘッド。
【請求項５】非導電性材料から成る基材と、前記基材
上にスパイラル状に形成され導電性材料の膜から成るコ
イルパターンとによって構成されたコイルを備えた光磁
気記録用磁気ヘッドの製造方法において、前記基材上に
導電性材料の膜から成るガイドパターンを形成し、前記
ガイドパターンをマスクとするレーザ加工により、前記
基材の一部分を除去して位置決め部位を形成することを
特徴とする光磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。
【請求項６】突出した磁極を備え磁性材料から成るコ
アと、非導電性材料から成る基材および前記基材上にス
パイラル状に形成され導電性材料の膜から成るコイルパ
ターンとを有し且つ前記磁極を嵌挿する中心孔を形成し
たコイルと、を備えた光磁気記録用磁気ヘッドにおい
て、前記中心孔の周縁部には、導電性材料の膜から成る
第２のガイドパターンが形成されていることを特徴とす
る光磁気記録用磁気ヘッド。
【請求項７】前記基材の厚さは、７０μｍ以下である
こと特徴とする請求項６に記載の光磁気記録用磁気ヘッ
ド。
【請求項８】前記第２のガイドパターンの形成部分に
おける前記コイルの厚さは、７０μｍ以上であることを
特徴とする請求項７に記載の光磁気記録用磁気ヘッド。
【請求項９】前記第２のガイドパターンは、非閉環状
に形成されることを特徴とする請求項６に記載の光磁気
記録用磁気ヘッド。
【請求項１０】前記第２のガイドパターンにおいて、
磁極の円周方向に切れ目が２箇所以上あることを特徴と
する請求項６に記載の光磁気記録用磁気ヘッド。
【請求項１１】突出した磁極を備え磁性材料から成る
コアと、非導電性材料から成る基材および前記基材上に
スパイラル状に形成され導電性材料の膜から成るコイル
パターンとを有し且つ前記磁極を嵌挿する中心孔を形成
したコイルと、を備えた光磁気記録用磁気ヘッドの製造
方法において、前記基材上に導電性材料の膜から成る第
２のガイドパターンを形成し、前記第２のガイドパター
ンをマスクとするレーザ加工により、前記基材の一部分
を除去して前記中心孔を形成することを特徴とする光磁
気記録用磁気ヘッドの製造方法。
【請求項１２】突出した磁極を備え磁性材料から成る
コアと、非導電性材料から成る基材および前記基材上に
スパイラル状に形成され導電性材料の膜から成るコイル
パターンとを有し且つ前記磁極を嵌挿する中心孔を形成
したコイルと、非導電性材料から成り前記磁極を嵌挿す
る磁極配設孔が形成されたスライダーと、を備えた光磁
気記録用磁気ヘッドの製造方法において、前記コイルを
前記スライダーに取り付け、その後に前記コイルの前記
中心孔、および前記スライダーの前記磁極配設孔を同時
に形成することを特徴とする光磁気記録用磁気ヘッドの
製造方法。
【請求項１３】光磁気記録媒体に対して垂直方向に磁
界を印加する磁気ヘッドと、前記光磁気記録媒体の前記
磁界の印加部位に光ビームを照射する光ヘッドとを備え
た光磁気記録装置において、前記磁気ヘッドは、請求項
１と，２，３，４，６，７，８，９，１０のいずれか１
項に記載の光磁気記録用磁気ヘッドであることを特徴と
する光磁気記録装置。