CN1246930A - 显示装置及其制造方法 - Google Patents

Abstract

具有以下构成:光波导板12,导入光10,致动器基板18,被相对于该光波导板12的一个板面设置,并且排列有与多个象素对应数量的致动器部分14;象素结构102,被形成在该致动器基板18的各致动器部分14上;挡条70,在光波导板12和致动器基板18之间,被形成在象素结构102以外的部分上。由此,能容易形成光波导板和象素结构的间隔,并且可以均匀地形成在全部象素中。

Description

显示装置及其制造方法

本发明涉及消耗电力小、显示亮度大的显示装置，特别涉及通过按照被输入的图像信号的属性控制致动器部分对光波导板的接触或分开方向的变位动作，控制光波导板的规定部位的漏光，使得在光波导板上显示根据图像信号的影像的显示装置的改进及其制造方法。

以往，作为显示装置，已知有阴极射线管(CRT)和液晶显示装置等的显示装置。

作为阴极射线管，已知有一般的电视接收机以及计算机用的监视装置等，但存在虽然画面明亮但消耗电力大，另外与画面的大小相比显示装置整体的深度大的问题。

另一方面，液晶显示装置，虽然具有可以使装置整体小型化，消耗电力少的优点，但存在画面的亮度差，画面视野角度窄的问题。

进而在这些阴极射线管和液晶显示装置中，当作成彩色画面的情况下，象素数必须作成黑白画面的3倍，因此，还存在装置本身变得复杂，消耗电力增加，不可避免地增加成本的问题。

因此，本申请人，为了解决上述问题，提出了新的显示装置(例如，参照特开平7-287176号公报)。该显示装置，如图63所示，具有被排列在每个象素上的致动器部分400，各致动器部分400，其构成具有：致动器部分主体部分408，其具有压电/电致伸缩层402和被分别形成在该压电/电致伸缩层402的上面以及下面上的上部电极404和下部电极406；致动器基板414，其由被配置在该致动器部分主体408的下部上的振动部分410和固定部分412组成。致动器部分主体408的下部电极406和振动部分410接触，由该振动部分410支撑上述致动器部分主体408。

上述致动器基板414，由振动部分410以及固定部分412为一体由陶瓷构成，进而，在致动器基板414上，形成凹部分416使得上述振动部分410壁薄。

另外，在致动器部分主体408的上部电极404上，连接有变位传递部分420，用于将和光波导板418的接触面积设置成规定的大小。在图63的例子中，上述变位传递部分420，在致动器部分400处于静止的断开选择状态或者非选择状态中，被配置成接近光波导板418，在接通选择状态中被配置成以光波长以下的距离接触上述光波导板418。

而后，从上述光波导板418的例如端部导入光422。这种情况下，通过调节光波导板418的折射率的大小，全部光422在光波导板418前面以及背面不透过而在内部全反射。在这种状态下，通过上述上部电极404以及下部电极406在致动器部分400上有选择地附加按照图像信号的属性的电压信号，由于使该致动器部分400进行接通选择、断开选择以及非选择的各种变位动作，从而控制上述变位传递部分420向光波导板418的接触或分开，因此，可以控制上述光波导板418的规定部分的散射光(漏光)424，并完成在光波导板418上根据图像信号的影像显示。

而后，当在该显示装置中进行彩色显示的情况下，例如切换三原色的光源，使光波导板和变位传递板的接触时间与彩色显象周期同步，从而控制三原色的发光时间，或者，使三原色的发光时间与彩色显象周期同步，从而控制光波导板和变位传递板的接触时间。

因此，在涉及此例示的显示装置中，即使适用于彩色显示方式的情况下，也具和黑白图面的情况相比不需要增加象素数的优点。

本发明的目的在于，提供改进涉及上述示例的显示装置的构成以实现以下的效果的显示装置及其制造方法。

(1)可以容易形成光波导板和象素结构的间隙(间隔)，并且可以均匀地形成全部象素。

(2)可以容易控制上述间隔的大小。

(3)可以防止象素结构粘在光波导板上，可以有效地实现高反应速度。

(4)可以平滑地形成象素结构的接触面(和光波导板的接触面)，使得在规定的象素结构与光波导板接触时，高效率地将光导入该象素结构。

(5)可以确保象素的反应速度。

(6)可以得到全部象素的均匀的亮度。

(7)可以提高象素的亮度。

涉及本发明的显示装置，通过设置以下部分构成：导入光的光波导板；被设置在该光波导板的一个面的对面，并且排列有与多个象素对应数量的致动器部分的致动器基板；被形成在上述致动器基板的各致动器部分上的象素结构；在上述光波导板和上述致动器基板之间，被形成在上述象素结构以外的部分上的挡条(权利要求1所述的发明)。

由此，从光波导板的例如端部导入的光，通过调节光波导板的折射率的大小，使全部的光不在光波导板的前面以及背面透过而在内部全反射。在这种状态中，如果由于致动器部分的变位动作，象素结构接近光波导板一侧，则此前被全反射的光，在象素结构中反射，变为散射光。该散射光，其一部分再次在光波导板中反射，而散射光的大部分并不在光波导板中反射，而是透过光波导板的前面。

在上述例子中展示了由于致动器部分的变位动作，变位为象素结构接近光波导板的方向的情况，但除此之外，即使在由于致动器部分的变位动作，变位为象素结构离开光波导板的方向的情况下也可以同样适用。

这样，通过在光波导板的背面的象素结构向光波导板的接近、离开，就可以控制在光波导板的前面发光(漏光)的有无。这种情况下，如果考虑将相对光波导板使象素结构在接近或者离开方向上的位置变动的1个单位例如作为1象素，则将该象素排列成多个矩阵形，通过根据被输入的象素信号的属性控制在各象素中的变位动作，就可以和阴极射线管和液晶显示装置同样地在光波导板的前面显示与图像信号对应的影像(文字和图形等)。

当适用于彩色显示方式的情况下，通过被配置在象素结构上的着色层(例如三原色滤光器和互补色滤波器，或者有色散射体等)的配色等的关系，就可以例如用相互相邻的3个象素结构(RGB排列)和相互相邻的4个象素结构(方块排列等)构成1个象素。

而后，涉及本发明的显示装置，在上述光波导板和上述致动器基板之间，在上述象素结构以外的部分上形成挡条。

当不设置挡条，而只在画面的周边固定了光波导板和致动器基板的情况下，由于致动器部分的动作在致动器基板上产生振动，这时变位基准变化，产生象素的开/关动作和致动器部分的变位不能对应的现象。

但是，在本发明中，由于设置了上述那样的挡条，所以即使假设某个致动器部分进行变位动作，其振动也会被挡条吸收，不会产生变位基准的变化等的不良现象。

另外，由于被形成在象素结构的周围的多个挡条对光波导板的支撑，使得容易使象素结构和光波导板之间的间隔在全部象素中均匀。而且，通过任意变更挡条的高度，就可以很容易控制上述间隔的大小。其结果，可以得到全部象素均匀的亮度。

而后，在上述构成中，可以使上述致动器部分具有以下构成(权利要求2所述的发明)：形状保持层；具有被形成在该保持层上的至少一对电极的动作部分；支撑该动作部分的振动部分；可以振动地支撑该振动部分的固定部分。

在此，所谓具有形状保持层的致动器部分，是指在同样的电压下，至少具有2个至2个以上的变位状态的致动器部分。另外，具有形状保持层的致动器部分的特征如下。

(1)因为从开状态到关状态的阈值特性与形状保持层不存

在的情况相比陡峭，所以可以使电压振幅窄，从而可以减轻电路

的负载。

(2)开状态以及关状态的差变得明确，致使对比度提高。

(3)阈值的离散变小，在电压的设定范围中产生余裕。进而，作为致动器部分，从控制的容易性看，希望是例如向上变位的致动器部分(在无电压负载时是离开状态，在施加电压时是接触状态)。特别希望是在表面上具有一对电极构造。

(4)作为上述形状保持层，例如最好使用压电/电致伸缩层和抗铁电体。

另外，在上述构成中，可以将上述挡条固定在上述光波导板上(权利要求3所述的发明)，也可以在上述光波导板和挡条之间设置间隔形成层(权利要求4所述的发明)。在设置了该间隔形成层的情况下，更容易使象素结构和光波导板之间的间隔在全部象素中均匀，并且可以很容易控制上述间隔的大小。

作为间隔形成层的构成材料，例如可以列举金属膜，包含有碳黑、黑颜料、黑染料的膜，光散射性低的透明的膜等。由此，间隔形成层可以一并具有作为黑底的功能。如果在其中也使用Cr、Al、Ni、Ag等的金属膜作为间隔形成层，则因为光的吸收小，所以可以控制光波导板传输的光的衰减、散射，特别理想。

另外，如果使用包含碳黑、黑颜料、黑染料的膜作为间隔形成层，则光吸收性好，可以提高对比度。另外，如果使用光散射性低的透明膜作为间隔形成层，则通过组合光吸收性良好的粘接剂(或者通过添加黑染料和黑颜料提高了光吸收性的粘接剂)，就可以抑制光散射，提高对比度。

另外，作为间隔形成层的尺寸，例如，如果取致动器部分向光波导板一侧凸出的方向的情况为例，则间隔量的小的极限(最小值)，被设定为在象素的关时可以无视因瞬逝效应引起的光泄漏的程度，间隔量的大的极限(最大值)，被设定在通过致动器部分的变位，可以使象素结构接触光波导板的范围内。因而，可以调整间隔形成层的厚度，使得上述间隔量被形成在上述范围内。但是，象素结构和挡条的高度的差，最好是可以按照显示装置的各种实施例控制，与之对应地使间隔形成层的厚度最佳化。

而后，在上述构成中，也可以将上述挡条形成在各象素结构的四边(权利要求5所述的发明)。在此，所谓象素结构的四边，如果象素结构例如是平面大致矩形或者椭圆，则可以列举与各角部对应的位置等，指1个挡条被相邻的象素所剪切成的形态。这种情况下，因为成为在象素结构单位上形成4个挡条的形状，所以可以有效地吸收因某个致动器部分的变位动作引起的振动，几乎不影响其他的致动器部分的变位动作。其结果，在全部象素中的开动作/关动作和变位的对应关系良好，可以忠实地显示与被输入的图形相互对应的影像。另外，致动器基板和光波导板的固定也变得牢固。

也可以使上述挡条的构成具有包围至少1个象素结构的窗部分(权利要求6所述的发明)。作为有代表性的构成例，例如，将挡条自身形成板形，进而在与象素结构对应的位置上形成窗口(开口)。由此，成为用挡条包围象素结构的整个侧面的形状，并且致动器基板和光波导板的固定更加牢固。而且，因某个致动器部分的变位动作引起的振动不会影响其他的致动器部分的变位动作。

另外，作为上述的构成，也可以具有沿着上述象素结构的排列方向延伸，包围上述象素结构的排列的带状开口(权利要求7所述的发明)。另外，也可以形成沿着上述象素结构的排列方向延伸的线形(权利要求8所述的发明)。

另外，也可以使上述挡条和上述致动器基板形成一体(权利要求9所述的发明)。这种情况下，可以提高形成有挡条的部分的机械强度，致动器基板的刚性提高。其结果，在例如搬运致动器基板时和保管时，可以用上述挡条保护被形成在该致动器基板上的致动器部分。另外，与用另外形成挡条的情况相比，可以节省使挡条硬化的工序，可以实现削减工时。

另外，作为上述挡条，也可以用沿着上述象素结构的排列方向延伸的金属线部件构成(权利要求10所述的发明)。

另外，在上述构成中，也可以在上述象素结构的表面形成凹部(权利要求11所述的发明)。这种情况下，通过按照与象素结构的光波导板的相对的面积规定凹部的形成个数或者大小，就可以使在各象素结构中相对光波导板的接触面积几乎相同，可以得到全部象素均匀的亮度。另外，由于凹部的存在，缓和象素结构和光波导板的密合性，可以平滑地进行象素结构从光波导板的背离。其结果，可以防止象素结构向光波导板的粘贴。可以实现高反应速度。

另外，在上述构成中，也可以在上述象素结构的表面上形成台阶高差(权利要求12所述的发明)。这种情况下，通过在象素结构上设置台阶高差，就可以在全部象素中使象素结构与光波导板接触的部分的面积为一定，并可以得到全部象素的均匀的亮度。另外，因为可以通过台阶高差的存在缓和象素结构和光波导板的密合性，所以可以防止象素结构向光波导板的粘附，可以有效地实现高反应速度。

另外，在上述构成中，也可以将上述象素结构的表面设置成凹形状(权利要求13所述的发明)。在致动器部分位置变动时，具有象素结构的中央部分位置变化量最大的倾向。因此，通过将象素结构的表面设置成凹形状使该象素结构的中央部分凹陷，就可以在致动器部分变位象素结构接近光波导板时，象素结构的表面近似平坦，可以增大象素结构相对光波导板的接触面积。

如果凹形状的弯曲的深度增大，则在象素结构接触光波导板时，成为象素结构的中央部分不接触光波导板的状态，成为好象是在象素结构的表面形成了凹部分的状态。因此，可以缓和象素结构和光波导板的密合性，可以使象素结构平滑地离开光波导板。其结果，可以防止象素结构粘附到光波导板上，可以有效地实现高反应速度。

进而，也可以分别单独实现在上述象素结构的表面形成凹部的构成，和在上述象素结构的表面形成台阶高差的构成以及将上述象素结构的表面设置为凹形状的构成，也可以进行任意组合。通过组合，就可以得到各个构成的合成效果。

以下，涉及本发明的显示装置的制造方法，以具有以下工序为特征(权利要求14所述的发明)：挡条形成工序，在排列有与多个象素对应数量的致动器部分的致动器基板中，在上述致动器部分以外的位置上形成多个挡条；象素形成工序，在上述致动器基板的各致动器部分上形成象素结构；加压工序，至少在上述象素结构未硬化的状态下加压粘贴光波导板之后，至少使上述象素结构硬化。

在此，所谓象素结构未硬化的状态，包含在象素结构由多层叠层膜构成(多层构造)的情况中，全部的叠层膜未硬化的状态和一部分的膜未硬化的状态。

这种情况下，可以得到相对致动器基板的象素结构和挡条的精密对位和强力的粘接力。而且，因为最后粘贴光波导板，所以可以保持光波导板的高清洁度。

另外，涉及本发明的显示装置的制造方法，以具有以下工序为特征(权利要求15所述的发明)：挡条形成工序，在光波导板中，在与多个象素对应的位置以外的位置上形成多个挡条；象素形成工序，在光波导板中，在与多个象素对应的位置上形成象素结构；加压工序，将排列有与多个象素对应数量的致动器部分的致动器基板粘贴在上述挡条以及象素结构上，在使上述光波导板和致动器基板在相互接近的方向上加压。

该方法，是在光波导板上形成象素结构和挡条，并粘贴致动器基板的方法。因为直接在光波导板上形成象素结构，所以具有容易规定象素的面积(接触到光波导板的接触面积)的优点，容易得到整个象素的均匀的亮度。

涉及本发明的显示装置的制造方法，以具有以下工序为特征(权利要求16所述的发明)：挡条形成工序，在排列有与多个象素对应数量的致动器部分的致动器基板中，在上述致动器部分以外的位置上形成多个挡条；象素形成工序，在光波导板中，在与多个象素对应的位置上形成象素结构；加压工序，粘合上述致动器基板形成有上述挡条的面和上述光波导板形成有的上述象素结构的面，并在使上述光波导板和致动器基板在相互接近的方向上加压。

该方法，是在光波导板上形成象素结构，在致动器基板上形成挡条，其后，粘合光波导板和致动器基板的方法。

这种情况下，因为可以分别用独立的工序进行象素结构的形成和挡条的形成，所以，对于象素结构和挡条来说，它们的材料选择的范围宽，可以降低制造成本和工时。另外，因为在平坦度高的光波导板上形成象素结构，所以可以使象素结构的大小一致。

涉及本发明的显示装置的制造方法，以具有以下工序为特征(权利要求17所述的发明)：挡条形成工序，在光波导板中，在与多个象素对应的位置以外的位置上形成多个挡条；象素形成工序，在排列有与多个象素对应数量的致动器部分的致动器基板中，在各致动器部分上形成象素结构；加压工序，粘合上述致动器基板的形成有上述象素结构的面和上述光波导板的形成有上述挡条的面，并在使上述光波导板和致动器基板在相互接近的方向上加压。

该方法，是在光波导板上形成挡条，在致动器基板上形成象素结构，其后，粘合光波导板和致动器基板的方法。

这种情况下，因为可以分别用独立的工序进行象素结构的形成和挡条的形成，所以对于象素结构和挡条来说，它们的材料选择范围宽，可以降低制造成本和工时。另外，因为在平坦度高的光波导板上形成挡条，所以可以使挡条的高度严格一致。而且，在象素结构的形成中，因为不存在障碍物(挡条等)，所以可以高精度地形成象素结构。

涉及本发明的显示装置的制造方法，以具有以下工序为特征(权利要求18所述的发明)：象素形成工序，在排列与多个象素对应数量的致动器部分，并且在上述致动器部分以外的位置上具有与多个挡条一体的致动器基板的各致动器部分上形成象素结构；加压工序，至少在上述象素结构未硬化的状态下加压粘合光波导板，之后，至少使上述象素结构硬化。

该方法，是在预先一体地设置挡条的致动器基板上形成象素结构，其后，加压粘合光波导板的方法。

这种情况下，作为致动器基板，因为使用预先一体地具有挡条的致动器基板，所以挡条部分的机械强度高，随之，致动器基板的刚性增高。其结果，例如在搬运致动器基板时和保管时，可以用上述挡条保护被形成在该致动器基板上的致动器部分。另外，与单独形成挡条相比，可以节省使挡条硬化的工序，可以实现工时的削减。

在这些制造方法中，因为至少在象素结构未硬化的状态下加压粘贴光波导板，所以在加压时，变为光波导板将挡条和象素结构压在致动器基板一侧的状态，至少在使上述象素结构硬化后挡条的上面和象素结构的上面大致为同一面。

这种情况下，作为象素结构的构成材料，通过使用在象素结构的硬化时该象素结构收缩的材料，就可以在挡条和象素结构的硬化时在象素结构和光波导板之间形成间隙。

另外，作为用于形成间隙的其他方法，例如，可以采用在加压粘贴光波导板时，加热象素结构使其膨胀，或者通过使致动器部分位置变化使象素结构与光波导板接触等的方法，和组合它们的方法。在其后的挡条和象素结构的硬化时，通过象素结构收缩或者致动器部分的位置复位(复原)在象素结构和光波导板之间形成一定的间隔。

其他，当假设了在自然状态下象素结构与光波导板接触的形态下，作为致动器部分的变位动作，可以适用于象素结构向离开光波导板的方向的变位情况。

在这些制造方法中，当粘贴上述光波导板时，最好使挡条硬化，或者一部分硬化。这种情况下，挡条起到隔板的作用，确定了致动器基板和光波导板之间的距离。

涉及本发明的显示装置的制造方法，以具有以下工序为特征(权利要求19所述的发明)：挡条形成工序，在排列有与多个象素对应数量的致动器部分的致动器基板中，在上述致动器部分以外的位置上形成多个挡条；象素形成工序，在上述致动器基板的各致动器部分上形成象素结构；第1粘贴工序，至少在上述象素结构未硬化的状态下粘贴板材；加压工序，在使上述致动器基板和板材在相互接近的方向上加压之后，至少使上述象素结构硬化；第2粘贴工序，在去掉上述板材之后，至少在上述挡条上粘贴光波导板。

该方法，是暂时在形成有象素结构和挡条的致动器基板上粘贴板材，在使象素结构和挡条的各自上面大致为同一面之后，去掉板材，粘贴光波导板的方法。

这种情况下，可以得到相对致动器基板的象素结构与挡条的精密的对位和强力的粘接力。

在加压粘贴致动器基板时，形成在致动器基板上的挡条成为隔板由此规定致动器基板和板材之间的间隔。在粘贴光波导板时，挡条已硬化。或者在一部分已硬化的情况下，上述规定的距离，就相当于致动器基板和光波导板之间的距离。

另外，当作为板材使用平滑板材的情况下，在象素结构的表面形成和板材相同的平滑面。该优异的平滑性起到提高象素发光时的亮度的作用。最好在板材上涂抹脱膜剂。

在上述方法中，在致动器基板上形成挡条后，最好只对挡条进行成型(挡条形成→硬化成型)。在粘贴板材时，挡条补偿不挨着板材的部分，可以用吸收致动器基板的弯曲的形式确定挡条的高度。进而，在象素结构形成时，也可以在挡条之上同时形成象素结构并使其露出。这种情况下，也可以用吸收致动器基板的弯曲的形式确定挡条的高度。

涉及本发明的显示装置的制造方法，以具有以下工序为特征(权利要求20所述的发明)：挡条形成工序，在板材中，在对应多个象素的位置以外的位置上形成多个挡条；象素形成工序，在板材中，在对应多个象素的位置上形成象素结构；第1粘贴工序，将排列有与多个象素对应数量的致动器部分的致动器基板粘贴在上述挡条以及象素结构上；加压工序，在使上述板材和致动器基板在相互接近的方向上加压；第2粘贴工序，在除去上述板材并将上述挡条以及上述象素结构转印在上述致动器基板上后，至少在上述挡条上粘贴光波导板。

该方法，是在板材上形成象素结构和挡条，分别将它们硬化后，或者在不使它们硬化的状态下，粘贴致动器基板，其后，除去板材，粘贴光波导板的方法。

这种情况下，在板材上形成挡条以及象素结构之前，最好在板材上涂抹例如脱膜剂。可以使象素结构和挡条顺利地转印在致动器基板上。

而后，在本发明中，在形成有挡条以及象素结构的板材上加压粘贴了致动器基板时，由于形成在板材上的挡条成为隔板由此确定致动器基板和板材之间的距离。如果在板材上形成了挡条时使挡条硬化，或者使一部分硬化，则由此确定的距离就相当于致动器基板和光波导板之间的距离。

涉及本发明的显示装置的制造方法，以具有以下工序为特征(权利要求21所述的发明)：挡条形成工序，在排列有与多个象素对应数量的致动器部分的致动器基板中，在上述致动器部分以外的位置上形成多个挡条；象素形成工序，在板材中，在与多个象素对应的位置上形成象素结构；第1粘贴工序，粘合上述致动器基板的形成有上述挡条的面和上述板材的形成有上述象素结构的面；加压工序，在使上述板材和致动器基板在相互接近的方向上加压；第2粘贴工序，在除去上述板材并将上述象素结构转印在上述致动器基板上之后，至少在上述挡条上粘贴光波导板。

该方法，是在致动器基板上形成挡条，在板材上形成象素结构，将这些致动器基板和板材粘合后，除去板材，粘贴光波导板的方法。

这种情况下，因为也可以用各自独立的工序形成象素结构和挡条，所以对于象素结构和挡条来说，它们的材料选择的范围宽，可以降低制造成本和工时数。另外，由于在平坦度高的板材上形成象素结构，所以可以使象素结构的大小一致。

本发明的显示装置的制造方法，以具有以下工序为特征(权利要求22所述的发明)：象素形成工序，在排列有与多个象素对应数量的致动器部分的致动器基板中，在挡条致动器部分上形成象素结构；挡条形成工序，在板材中，在与多个象素对应的位置以外的位置上形成多个挡条；第1粘贴工序，粘合上述致动器基板的形成有上述象素结构的面和上述板材的形成有上述挡条的面；加压工序，在使上述板材和致动器基板在相互接近的方向上加压；第2粘贴工序，在除去上述板材将上述挡条转印到上述致动器基板上后，至少在上述挡条上粘贴光波导板。

该方法，是在致动器基板上形成象素结构，在板材上形成挡条，在粘合致动器基板和板材之后，除去板材，粘贴光波导板的方法。

这种情况下，由于可以分别用独立的工序形成象素结构和挡条，所以可以使挡条的高度严格的一致。而且，在象素结构的形成中，因为不存在障碍物(挡条等)，所以可以高精度地形成象素结构。

涉及本发明的显示装置的制造方法，以具有以下工序为特征(权利要求23所述的发明)：象素形成工序，在排列有与多个象素对应数量的致动器部分，并且在上述致动器部分以外的位置上一体地具有多个挡条的致动器基板的各致动器部分上形成象素结构；第1粘贴工序，至少在上述象素结构未硬化的状态下粘贴板材；加压工序，在使上述致动器基板和板材在相互接近的方向上加压后，至少使上述象素结构硬化；第2粘贴工序，在除去上述板材后，至少在上述挡条上粘贴光波导板。

该方法，是在一体地具有挡条的致动器基板上形成象素结构之后，在上述致动器基板上粘贴板材，其后，除去板材，粘贴光波导板的方法。

这种情况下，作为致动器基板，由于使用预先一体地具有挡条的致动器基板，因此挡条部分的机械强度高，随之，致动器基板的刚性增高。其结果，例如在搬送致动器基板时和保管时，可以用上述挡条保护被形成在该致动器基板上的致动器部分。另外，与用单独形成挡条的情况相比，可以节省硬化挡条的工序，并可以实现削减工时数。

涉及本发明的显示装置的制造方法，以具有以下工序为特征(权利要求24所述的发明)：象素形成工序，在排列有与多个象素对应数量的致动器部分的致动器基板中，在各致动器部分上形成象素结构；第1粘贴工序，在板部件一个面上，使用形成有多个被设置成和被形成在上述致动器基板上的挡条大致同样高度的尺寸确定部件的模子，粘合形成有该模子的上述尺寸确定部件的面和上述致动器基板的形成有上述象素结构的面；加压工序，在使上述模子和致动器基板在相互接近的方向上加压；挡条形成工序，在拆下上述模子之后，在上述致动器基板中，在上述致动器部分以外的位置上形成多个挡条；第2粘贴工序，在上述致动器基板的至少上述挡条上粘贴光波导板。

该方法，是在致动器基板上形成象素结构之后，通过加压粘合在板部件上设置了多个尺寸确定部件的模子和上述致动器基板规定象素结构的尺寸，其后，拆下模子，在致动器基板上形成挡条后，粘贴光波导板的方法。

这种情况下，如果用例如金属等的具有刚性的部件构成上述模子，就可以通过该模子和致动器基板的加压粘合减轻形成有象素结构的致动器基板的弯曲，在其后的挡条形成工序中，可以高精度地形成挡条。

涉及本发明的显示装置的制造方法，以具有以下工序为特征(权利要求25所述的发明)：象素形成工序，在排列有与多个象素对应数量的致动器部分的致动器基板中，在各致动器部分上形成象素结构；第1粘贴工序，在板部件一个面上，使用形成有多个被设置成和被形成在上述致动器基板上的挡条大致同样高度的尺寸确定部件的模子，粘合形成有该模子的上述尺寸确定部件的面和上述致动器基板的形成有上述象素结构的面；加压工序，在使上述模子和致动器基板在相互接近的方向上加压；挡条形成工序，在拆下上述模子之后，在上述光波导板中，在与多个象素对应的位置以外的位置上形成多个挡条；第2粘贴工序，粘合上述致动器基板的形成有上述象素结构的面和上述光波导板的形成有上述挡条的面。

该方法，是在致动器基板上形成象素结构之后，通过加压粘贴在板部件上设置有多个尺寸确定部件的模子和上述致动器基板规定象素结构的尺寸，在拆下模子后，在光波导板上形成挡条，粘合该光波导板和致动器基板的方法。

这种情况下，如果也用例如金属等的有刚性的部件构成上述模子，就可以通过该模子和致动器基板的加压粘合降低形成有象素结构的致动器基板的弯曲，可以高精度地进行其后的和光波导板的粘合。另外，因为在平坦度高的光波导板上形成挡条，所以可以使挡条的高度严格一致。

涉及本发明的显示装置的制造方法，以具有以下工序为特征(权利要求26所述的发明)：象素形成工序，在排列有与多个象素对应数量的致动器部分的致动器基板中，在各致动器部分上形成象素结构；挡条形成工序，在板部件一个面上，在使用形成有多个被设置成和被形成在上述致动器基板上的挡条大致同样高度的尺寸确定部件的模子，形成有该模子的上述尺寸确定部件的面中，是没有形成上述尺寸确定部件的部分，并且，在与多个象素对应的位置以外的位置上形成多个挡条；第1粘贴工序，粘合形成有上述模子的上述尺寸确定部件的面和上述致动器基板的形成有上述象素结构的面；加压工序，在使上述模子和致动器基板在相互接近的方向上加压；第2粘贴工序，在拆下上述模子并将上述挡条转印到上述致动器基板上之后，在上述致动器基板的至少上述挡条上粘贴光波导板。

该方法，是在致动器基板上形成象素结构，在在板部件上设置有多个尺寸确定部件的模子上形成挡条，通过加压粘贴这些致动器基板和模子规定象素结构的尺寸，其后，在拆下模子，将挡条转印到致动器基板上后，粘贴光波导板的方法。

这种情况下，如果用例如金属等的有刚性的部件构成上述模子，则可以通过该模子和致动器基板的加压粘贴降低形成有象素结构的致动器基板的弯曲，可以高精度地形成挡条以及象素结构。

涉及本发明的显示装置的制造方法，以具有以下工序为特征(权利要求27所述的发明)：挡条形成工序，在排列有与多个象素对应数量的致动器部分的致动器基板中，在上述致动器部分以外的位置上形成多个挡条；象素形成工序，在上述致动器基板的各致动器部分上形成象素结构；第1粘贴工序，在板部件一个面上，使用形成有多个被设置成和被形成在上述致动器基板上的挡条大致同样高度的尺寸确定部件的模子，粘合形成有该模子的上述尺寸确定部件的面和上述致动器基板的形成有上述象素结构的面；加压工序，在使上述模子和致动器基板在相互接近的方向上加压；第2粘贴工序，在拆下上述模子之后，在上述致动器基板的至少上述挡条上粘贴光波导板。

该方法，是在致动器基板上形成象素结构和挡条，通过加压粘贴该致动器基板和在板部件上设置有多个尺寸确定部件的模子确定挡条和象素结构的尺寸，其后，取下模子，粘贴光波导板的方法。

这种情况下，如果使用例如金属等的有刚性的部件构成上述模子，就可以通过该模子和致动器基板的加压粘合降低形成有上述象素结构的致动器基板的弯曲，可以高精度地形成挡条和象素结构。

涉及本发明的显示装置的制造方法，以具有以下工序为特征(权利要求28所述的发明)：挡条形成工序，在排列有与多个象素对应数量的致动器部分的致动器基板中，在上述致动器部分以外的位置上形成多个挡条；挡条形成工序，在板部件一个面上，在使用形成有多个被设置成和被形成在上述致动器基板上的挡条大致同样高度的尺寸确定部件的模子，形成有该模子的上述尺寸确定部件的面中，是没有形成上述尺寸确定部件的部分，并且在与多个象素对应的位置以外的位置上形成多个挡条；第1粘贴工序，粘合形成有上述模子的上述尺寸确定部件的面和上述致动器基板的形成有上述象素结构的面；加压工序，在使上述模子和致动器基板在相互接近的方向上加压；第2粘贴工序，在拆下上述模子并将上述象素结构转印到上述致动器基板上之后，在上述致动器基板的至少上述挡条上粘贴光波导板。

该方法，是在致动器基板上形成挡条，在板部件上设置有多个尺寸确定部件的模子上形成象素结构，通过加压粘合这些致动器基板和模子规定挡条和象素结构的尺寸，其后，在拆下模子，将挡条转印到致动器基板上之后，粘贴光波导板的方法。

这种情况下，也是如果用例如金属等的有刚性的部件构成上述模子，就可以通过该模子和致动器基板的加压粘贴降低形成有象素结构的致动器基板的弯曲，并可以高精度地形成挡条以及象素结构。

涉及本发明的显示装置的制造方法，以具有以下工序为特征(权利要求29所述的发明)：挡条形成工序，在板部件一个面上，在使用形成有多个被设置成和被形成在上述致动器基板上的挡条大致同样高度的尺寸确定部件的模子，形成有该模子的上述尺寸确定部件的面中，是在没有形成上述尺寸确定部件的部分，并且在与多个象素对应的位置以外的位置上形成多个挡条；象素形成工序，在形成有该模子的上述尺寸确定部件的面中，是在没有形成上述尺寸确定部件的部分，并且在与多个象素对应的位置上形成象素结构；第1粘贴工序，将排列有与多个象素对应数量的致动器部分的致动器基板粘贴在上述模子上的上述挡条以及象素结构上；加压工序，在使上述挡条以及上述象素结构相互接近的方向上加压；第2粘贴工序，在拆下上述模子并将上述挡条以及上述象素结构转印到上述致动器基板上之后，至少在上述挡条上粘贴光波导板。

该方法，是在板部件上设置有多个尺寸确定部件的模子上形成挡条和象素结构，通过加压粘贴该模子和致动器基板规定象素结构的尺寸，其后，在拆下模子，将挡条和象素结构转印到致动器基板上之后，粘贴光波导板的方法。

这种情况下，如果用例如金属等的有刚性的部件构成上述模子，就可以通过该模子和致动器基板的粘贴降低致动器基板的弯曲，对于致动器基板可以高精度地转印形成挡条以及象素结构。

在这些制造方法中，在板材和模子上形成挡条的制造方法中，也可以利用液体的表面张力粘合在上述板材和模子上构成上述挡条的部件(权利要求30所述的发明)。这种情况下，可以简单地进行其后的板材和模子的除去。

在这些制造方法中，在板材和模子上形成挡条的制造方法中，也可以在上述板材和模子的所需要的位置上形成上述挡条之后，使该挡条硬化(权利要求31所述的发明)。

而后，在这些制造方法的上述加压工序中，也可以在加压上述致动器基板和应该和该致动器基板一同加压的部件的状态下，至少使上述象素结构硬化(权利要求32所述的发明)。另外，在上述光波导板中，也可以在与上述挡条对应的位置上具有间隔形成层(权利要求33所述的发明)。

另外，在这些方法中，也可以在粘贴上述光波导板之前，预先在上述挡条上形成间隔形成层(权利要求34所述的发明)。这种情况下，由于存在间隔形成层，因此使象素结构和光波导板之间的间隔在全部象素中均匀变得容易，上述间隔的大小也容易控制。

另外，在板材与模子和致动器基板的粘合，或者光波导板和致动器基板的粘合中，当在至少象素结构未硬化的状态下加压粘贴光波导板和板材或者模子的情况下，在其加压时，变位光波导板和板材或者模子将挡条和象素结构压在致动器基板一侧的状态，至少在使上述象素结构硬化时挡条的上面和象素结构的上面大致变为同一面。

这种情况下，作为象素结构的构成材料，通过使用在象素结构的硬化时该象素结构收缩的材料，就可以在挡条和象素结构的硬化时在象素结构和光波导板之间形成间隔。

另外，作为用于形成间隔的其它方法，例如，可以采用在加压粘贴光波导板时，使象素结构加热膨胀，或者通过使致动器部分位置变化使象素结构接触光波导板等的方法，和组合它们的方法。在此后的挡条和象素结构的硬化时，通过象素结构收缩或者致动器部分的位置复位(复原)在象素结构和光波导板之间形成一定的间隔。

除此之外，当假设在自然状态下象素结构与光波导板接触的形态的情况下，作为致动器部分的变位动作，可以适用于向象素结构离开光波导板的方向变位的情况。

在这些制造方法中，最好在致动器基板上粘贴上述板材或者光波导板时，挡条已硬化，或者一部分已硬化。这种情况下，挡条起到隔板的作用，可以规定致动器基板和板材或者光波导板之间的距离。

也可以在上述致动器基板和应该与该致动器基板一同加压的部件(光波导板和板材或者模子)加压时，进行用于形成间隔的前处理，在其后的至少上述象素结构的硬化中，在上述象素结构和上述光波导板之间形成规定的间隔(权利要求35所述的发明)。

这正如已经说明的那样，是在加压粘贴光波导板和板材或者模子时，使象素结构加热膨胀，或者通过使致动器部分变位使象素结构接触光波导板和板材或者模子的方法。通过采用该方法，在象素结构和光波导板之间形成一定的间隔变得容易，可以在整个象素中得到均匀的亮度。

尤其是最好在上述致动器基板和应该与该致动器基板加压的部件(光波导板和板材或者模子)的加压中使用真空封装法(权利要求36所述的发明)。即，例如即使在致动器基板上有翘曲和弯曲的情况下，也可以均匀地加压致动器基板和光波导板和板材或者模子，由此，因为光波导板和板材或者模子和致动器基板相互仿形，所以在粘贴光波导板时，可以最终在全部的象素结构和光波导板之间形成一定的间隔。

在此，如果象素结构的厚度参差不齐，则象素形成后的致动器部分的变位(变位量)不匀，但在此方法中，因为在整体上均匀地形成象素结构的厚度，所以可以抑制这种致动器部分的变位(变位量)的不匀。

另外，因为很难在象素结构的厚度上产生参差不齐，所以没有由热膨胀和收缩引起的象素结构的变形的不匀，即使在受热的情况下也具有在间隔量中很难产生不匀的优点。

另外，也可以在上述致动器基板和应该与该致动器基板一同加压的部件(光波导板和板材或者模子)的加压中使用低压加压法(权利要求37所述的发明)。这种情况下，因为加在致动器基板上的应力变小，所以可以防止致动器部分的损伤等。而且，因为由粘贴引起的致动器基板和光波导板的变形少，残余应力小，所以可以提高间隔的稳定性和耐久性。

另外，在这些方法中，作为在上述第1粘贴工序中被粘贴在上述致动器基板上的部件(板材和模子)，可以使用在与上述象素结构对应的位置上分别具有凸部分的部件，在上述板材及模子和致动器基板的加压时，在上述象素结构的表面上形成与上述凸部分对应的凹部分(权利要求38所述的发明)。

另外，在这些方法中，作为在上述第1粘贴工序中被粘贴在上述致动器基板上的部件(板材和模子)，可以使用在与上述象素结构对应的位置上分别具有凸部分的部件，在上述板材或模子和致动器基板的加压时，在上述象素结构的表面上形成与上述凸部分对应的台阶高差(权利要求39所述的发明)。

另外，在这些方法中，作为在上述第1粘贴工序中被粘贴在上述致动器基板上的部件(板材和模子)，可以使用在与上述象素结构对应的位置上分别形成有凸形状的部件，在上述板材及模子和致动器基板的加压时，在上述象素结构的表面上形成与上述凸形状对应的凹形状(权利要求40所述的发明)。

进而，挡条以及象素结构的形成，也可以使用膜形成法和陶瓷烧结法进行。在该膜形成法中，有网板印刷、光刻法、薄膜粘贴法、喷浸(spray dipping)、涂抹、压印(如盖章那样沾上液体材料的方法)等的厚膜形成方法，和离子束、喷镀、真空蒸镀、离子镀、CVD、电镀等的薄膜形成方法。

另外，作为在象素结构的表面形成凹部和台阶高差的方法，使用在表面上具有凸部的板材。在此，最好使用在用玻璃构成的板材上通过一般的薄膜形成法形成金属膜和抗蚀剂膜的方法。具有可以自由地变更凸部的图形和高度的优点。凸部的高度最好是0.1～2μm左右。

作为在象素结构的表面形成凹部和台阶高差的方法，除此之外，还可以对象素结构的表面采用平面研磨和由激光进行的表面加工。激光加工，不只形成凹部，还有由加热而产生的表面改性的效果，而且，因为可以任意设计加工图形，所以使用特别理想。

另外，作为将象素结构的表面制成凹形状的方法，有在象素结构的硬化时在致动器部分上施加电压的方法和加热的方法。有使用板材的露出硬化中加热的方法，和在板材除去后加热的方法，可以根据象素结构的材质选择。加热温度使用15℃～150℃，最好使用20℃～80℃。

图1是展示实施例1的显示装置的构成图。

图2是展示致动器部分和象素结构的第1构成例的构成图。

图3是展示被形成在致动器部分上的一对电极的平面形状的一例的图。

图4A是展示沿着形状保持层的长轴排列一对电极的梳齿的1个例子的说明图。

图4B是展示另一例的说明图。

图5A是展示沿着形状保持层的短轴排列一对电极的梳齿的1个例子的说明图。

图5B上展示另一例的说明图。

图6是展示被形成在致动器部分上的一对电极的另一例的构成图。

图7是展示使致动器部分向另一方向弯曲变位在空腔一侧形成凸部分的情况下的显示装置的构成图。

图8是展示致动器部分和象素结构的第2构成例的构成图。

图9是展示致动器部分和象素结构的第3构成例的构成图。

图10是展示致动器部分和象素结构的第4构成例的构成图。

图11是展示在象素结构的四方分别形成挡条的情况下的构成的说明图。

图12是展示涉及第1变形例的挡条的构成的说明图。

图13是展示涉及第2变形例的挡条的构成的说明图。

图14是展示涉及第3变形例的挡条的构成的说明图。

图15是展示涉及第4变形例的挡条的构成的说明图。

图16是展示涉及第5变形例的挡条的构成的说明图。

图17用于说明电压调制方式的灰度控制的致动器部分的变位特性图。

图18是展示由象素的点面积和接触性以及由瞬逝效应进行的灰度控制的原理的说明图。

图19是展示涉及实施例2的显示装置的构成图。

图20展示涉及实施例2的显示装置的变形例的构成图。

图21是展示涉及实施例3的显示装置的构成图。

图22是展示涉及实施例4的显示装置的构成图。

图23是展示涉及实施例5的显示装置的构成图。

图24是展示涉及实施例6的显示装置的构成图。

图25是展示从背面一侧看涉及实施例1～6的显示装置的大画面显示装置的斜视图。

图26A～图26C是展示第1制造方法的工程图。

图27A～图27C是展示喷浸法的第1方法的工程图。

图28A～图28C是展示喷浸法的第2方法的工程图。

图29是展示薄膜粘贴法的说明图。

图30是展示真空封装法的说明图。

图31是展示低压加压法的说明图。

图32A～图32D是展示第2制造方法的工程图。

图33A～图33C是展示第3制造方法的工程图。

图34是展示作为板材使用具有凸部的板材，在象素结构上形成多个凹部的状态的说明图。

图35是展示作为板材使用具有凸部的板材，在象素结构上形成台阶高差的状态的说明图。

图36是展示作为板材使用具有凸形状的板材，在象素结构上形成凹形状的状态的说明图。

图37是展示作为板材使用具有凸部的板材，形成象素结构的上端比挡条的上端还高的形状的说明图。

图38A以及图38B，是展示在第3以及第4制造方法中，在挡条上面直接粘贴光波导板的例子的工程图。

图39A～图39D是展示第4制造方法的工程图。

图40A以及图40B，是展示在第3以及第4制造方法中，在光波导板上形成间隔形成层后在挡条的上面粘贴光波导板的例子的工程图。

图41A～图41C是展示第5制造方法的工程图。

图42A～图42C是展示第6制造方法的工程图。

图43A～图43B是展示第7制造方法的工程图。

图44A～图44C是展示第8制造方法的工程图(其1)。

图45A～图45B是展示第8制造方法的工程图(其2)。

图46A～图46C是展示第9制造方法的工程图(其1)。

图46A～图46B是展示第9制造方法的工程图(其2)。

图48是展示利用液体(例如水)的表面张力将由薄膜构成的挡条对板材进行粘合的状态的说明图。

图49A～图49C是展示第10制造方法的工程图(其1)。

图50A～图50B是展示第10制造方法的工程图(其2)。

图51A～图51C是展示第11制造方法的工程图(其1)。

图52A～图52B是展示第11制造方法的工程图(其2)。

图53A～图53C是展示第12制造方法的工程图(其1)。

图54A～图54B是展示第12制造方法的工程图(其2)。

图55A～图55C是展示第13制造方法的工程图(其1)。

图56A～图56B是展示第13制造方法的工程图(其2)。

图57A～图57C是展示第14制造方法的工程图(其1)。

图58A～图58B是展示第14制造方法的工程图(其2)。

图59A～图59C是展示第15制造方法的工程图(其1)。

图60A～图60B是展示第15制造方法的工程图(其2)。

图61A～图61C是展示第16制造方法的工程图(其1)。

图62A～图62B是展示第16制造方法的工程图(其2)。

图63是展示涉及示例的显示装置的构成图。

以下，参照图1～图62B说明涉及本发明的显示装置以及显示装置的制造方法的几个实施例。

涉及实施例1的显示装置Da，如图1所示，其构成具有：光波导板12，其导入来自光源100的光10；驱动部分16，被设置在该光波导板12的对面，并且将多个致动器部分14对应象素排列成矩阵形或者梳齿形。

在各致动器部分14上分别叠层象素结构102。象素结构102，具有设置成加大和光波导板12的接触面积以对应象素的面积的功能。

驱动部分16，具有例如用陶瓷构成的致动器基板18，在与该致动器基板18的各象素相应的位置上配置有致动器部分14。上述致动器基板18，被配置成一主要面与光波导板12的背面相对，该一主要面被设置成连续的面(齐平面)。在致动器基板18的内部，设置用于在与各象素对应的位置上分别形成后述的振动部分的空间20，各空间20，通过被设置在致动器基板18的另一端上的小直径的贯通孔18a和外部连接。

在上述致动器基板18中，形成有空间20的部分被设置成薄壁，除此之外的部分被设置成厚壁。壁薄的部分，成为相对外部应力容易受到振动的构造具有作为振动部分的功能，空间20以外的部分被设置成厚壁具有作为支撑上述振动部分22的固定部分24的功能。

总之，致动器基板18，是作为最下层的基板层18A和作为中间层的隔板层18B和作为最上层的薄板层18C的叠层体，在隔板层18B中，可以控制作为在与象素对应的位置上形成有空间20的一体构造体。叠层板18A，除了具有作为增强用基板的功能外，还具有作为配线用的基板的功能。进而，上述致动器基板18，可以一体烧成，也可以后安装。

在此，根据图2～图10说明致动器部分14和象素结构102的具体例子。进而，在图2～图10中，展示在后述的挡条70和光波导板12之间设置了间隔层50的情况。

首先，致动器部分14，如图2所示，除了上述振动部分22和固定部分24之外，具有：压电/电致伸缩层和抗铁电体层等的形状保持层26，被直接形成在该振动部分22之上；一对电极28(行电极28a以及列电极28b)，被形成在该形状保持层26的上面。

一对电极28，可以是相对形状保持层26形成在上下的构造或只形成在一侧的构造，但为了有利于致动器基板18和形状保持层26的接合性，最好如此例子那样，只在形状保持层26的上部(和致动器基板18相反一侧)形成一对电极28，使得致动器基板18和形状保持层26在没有台阶高差的状态下直接接触。

作为一对电极28的平面形状，如图3所示，可以设置成多个梳齿互补性对峙的形状，除此之外，还可以如特开平10-78549号公报所示，采取螺旋形或多枝杈形等。

当将形状保持层26的平面形状设置成例如椭圆形，将一对电极28形成为梳齿形的情况下，有如图4A以及图4B所示，沿着形状保持层26的长轴排列一对电极28的梳齿的形态，和如图5A以及5B所示，沿着形状保持层26的短轴排列一对电极28的梳齿的形态等。

而后，有如图4A以及图5A所示，一对电极28的梳齿的部分被包含在形状保持层26的平面形状内的形态，和如图4B以及图5B所示，一对电极28的梳齿部分从形状保持层28的平面形状中凸出的形态等。图4B以及图5B所示的形态对致动器部分14的弯曲变位更有利。

作为一对电极28，例如如图6所示，可以在形状保持层26的下面形成例如行电极28a，在形状保持层26的上面形成列电极28b。

这种情况下，如图1所示，可以使致动器部分14向光波导板12一侧凸出那样地向一方向弯曲变位，除此之外，如图7所示，也可以使致动器部分14向空间20一侧凸出那样向另一方弯曲变位。

另一方面，象素结构102，例如如图2所示，可以由作为被形成在致动器部分14上的变位传递部分的白色散射体32和滤色器40和透明体48的叠层体构成。

进而，如图8所示，也可在白色散射体32的下层介入光反射层72。这种情况下，如果用金属等的导电层构成光反射层72，则因为在致动器部分14中的一对电极28a以及28b之间有可能短路，所以希望在上述光反射层72和致动器部分14之间形成绝缘层74。

作为象素结构102的另一例子，例如如图9所示，也可以用被形成在致动器部分14上的兼作变位传递部分的有色散射体44和透明层48的叠层体构成。这种情况下也如图10所示，可以在致动器部分14和有色散射体44之间介入光反射层72和绝缘层74。

而后，在涉及本实施例1的显示装置Da中，如图1所示，在光波导板12和致动器基板18之间，其构成是具有被形成在象素结构102以外的部分上的挡条70，在图1的例子中，展示了在挡条70的上面直接固定了光波导板12的情况。挡条70的材料，最好是对热、压力不变形的材料。

挡条70，例如可以形成在象素结构102的四方。在此，所谓象素结构102的四方，如图11所示，例如如果象素结构102是平面大致矩形或者椭圆，则可以列举与各角部分对应的位置，展示1个挡条70和相邻的象素结构102共有的形态。

以下，参照图12～图16说明有关挡条70构成的几个变形例。

首先，第1变形例的挡条，如图12所示，在挡条70上具有至少包围1个象素结构102的窗部分70a。作为有代表性的构成例，例如，将挡条70本身制成板形状，进而在与象素结构102对应的位置上形成类似象素结构102的外形形状的窗部分(开口)70a。由此，象素结构102的整个侧面成为由挡条70包围的形态，致动器基板18和光波导板12的固定变得更加牢固。

第2变形例的挡条，如图13所示，沿着象素结构的排列方向延长，并且，具有包围上述象素结构排列的带状开口220。各开口220的开口宽度足以包含1列或者1列以上的列，在本实施例中，展示具有包含1列象素结构102的组的开口宽度的例子。

第3变形例的挡条70，如图14所示，具有沿着上述象素结构102的排列方向在行形状上延伸的形状，这种情况下，如图15所示的第4变形例的挡条70所示，可以使用例如断面形状大致被设置成圆形的线形部件222。在图15的例子中，展示用粘接剂224将构成挡条70的线形部件222粘贴在致动器基板18上的例子。作为线形部件222的断面形状，除了上述圆形以外，有椭圆和六角形和八角形等的多角形。

第5变形例的挡条70，如图16所示，在致动器基板18中，具有在象素结构102以外的部分上和该致动器基板18一体地由陶瓷形成的结构。

这种情况下，可以使致动器基板18上形成有挡条70的部分的机械强度提高，由此致动器基板18的刚性提高。其结果，例如在搬运致动器基板18和保管时，可以用上述挡条70保护被形成在该致动器基板18上的致动器部分14，特别是其振动部分22。

在此，说明显示装置Da的各构成部件，特别是各构成部件的材料等的选定。

首先，作为被导入光波导板12的光10，可以是紫外区域，可见光区域，红外区域的任何一种。作为光源100，可以使用白炽灯、重氢放电灯、荧光灯、水银灯、金属卤化物灯、卤素灯、氙气灯、氚灯、发光二极管、激光、等离子光源、热阴极管、冷阴极管等。

振动部分22，最好是高耐热材料。其理由是，在假设将致动器部分14不使用有机粘接剂等的耐热性差的材料，而用固定部分24直接支撑振动部分22的构造的情况下，因为至少在形状保持层26的形成时，使振动部分22不变质，所以振动部分22最好是高耐热性材料。

另外，振动部分22，为了电气分离被形成在致动器基板18上的一对电极28中的连通行电极28a的配线(例如行选择线)和连通列电极28b的配线(例如信号线)，最好是电气绝缘材料。

因而，振动部分22，可以是高耐热性的金属材料或者用玻璃等的陶瓷材料包覆该金属表面的搪瓷材料，而陶瓷材料最佳。

作为构成振动部分22的陶瓷，可以使用例如被稳定化的氧化锆、氧化铝、氧化镁、氧化钛、尖晶石、莫来石、氮化铝、氮化硅、玻璃、这些物质的混合物等。被稳定化的氧化锆，即使振动部分22的厚度薄，但机械强度高，韧性高，形状保持层26以及一对电极28的化学反应性小等，因此特别理想。所谓被稳定化的氧化锆，包含稳定化氧化锆以及部分稳定化氧化锆。在被稳定化的氧化锆中，因为取立方晶等的结晶构造，所以不产生相变。

另一方面，在1000℃左右，氧化锆在单斜晶和正方晶之间相变，存在在该相变时发生裂纹的情况。稳定化后的氧化锆包含有1～30克分子％的稳定剂，如氧化钙、氧化镁、氧化钇、氧化钪、氧化镱、氧化铈或者稀土类金属的氧化物等。为了提高振动部分22的机械强度，稳定剂最好含有1.5～6克分子％，更好含有2～4克分子％的氧化钇，最好还含有0.1～5克分子％的氧化铝。

另外，可以是立方晶+单斜晶的混合相，正方晶+单斜晶的混合相，立方晶+正方晶+单斜晶的混合相等，但其中主要的结晶相设置成正方晶、或者正方晶+立方晶的混合相，从强度，韧性、耐久性的观点看最佳。

振动部分22在由陶瓷构成时，多个结晶粒构成振动部分22，但由于振动部分22的机械强度提高，因此希望结晶粒的平均粒直径是0.05～2μm，最好是0.1～1μm。

固定部分24，最好由陶瓷构成，但可以是和振动部分22的材料相同的陶瓷，也可以不同。作为构成固定部分24的陶瓷，和振动部分22的材料同样，例如可以使用被稳定化的氧化锆、氧化铝、氧化镁、氧化钛、尖晶石、莫来石、氮化铝、氮化硅、玻璃、这些物质的混合物等。

特别是在该实施例1中的显示装置Da中使用的致动器基板18，最好采用以氧化锆为主要成分的材料，和以氧化铝为主要成分的材料，或者以这些材料的混合物为主要成分的材料等。这其中，最理想的也是以氧化锆为主要成分的材料。

进而，加粘土等作为烧结辅助剂，但需要调节辅助剂成分，以使得不至包含过多的氧化硅、氧化硼等易于玻璃化的成分。因为这些容易玻璃化的材料，虽然有利于使致动器基板18和形状保持层26接合，但是在促进致动器基板18和形状保持层26的反应，维持规定的形状保持层26的组成方面变得困难，其结果，成为使元件特性低下的原因。

即，限制致动器基板18中的氧化硅等在重量比中是3％以下，最好在1％以下。在此，所谓主要成分，是指重量比在5％以上的成分。

形状保持层26，如上所述，可以使用压电/电致伸缩层和抗铁电体层等，但作为形状保持层26在使用压电/电致伸缩层的情况下，作为该压电/电致伸缩层，例如，可以列举包含锆酸铅、铌酸镁铅、铌酸镍铅、铌酸锌铅、铌酸锰铅、钽酸镁铅、钽酸镍铅、锡酸锑铅、钛酸铅、钛酸钡、钨酸镁铅、铌酸钴铅等、或者这些物质的任意组合的陶瓷。

当然主要成分也可以是含有这些化合物50重量％以上。另外，在上述陶瓷中，含有锆酸铅的陶瓷，作为构成形状保持层26的压电/电致伸缩层的构成材料使用频度最高。

另外，当用陶瓷构成压电电致伸缩层的情况下，可以使用在上述陶瓷中进一步适量地添加了镧、钙、锶、钼、钨、钡、铌、锌、镍、锰等的氧化物，或者组合这些物质的几种，或者其它的化合物的陶瓷。例如，希望使用以由铌酸镁铅和锆酸铅以及钛酸铅组成的成分为主要成分，并进一步含有镧和锶的陶瓷。

压电/电致伸缩层，可以是致密的，也可以是多孔质的，在多孔质的情况下，其孔隙率最好在40％以下。

当作为形状保持层26使用抗铁电体层的情况下，作为该抗铁电体层，希望是以锆酸铅为主要成分的材料，或者是以由锆酸铅和锡酸铅组成的成分为主要成分的材料，或者是进一步在锆酸铅中添加了氧化镧的材料，或者是对于由锆酸铅和锡酸铅组成的成分添加了锆酸铅和铌酸铅的材料。

特别是在如下述组成那样将包含由锆酸铅和锡酸铅组成的成分的抗铁电体膜作为如致动器部分14那样的膜型元件使用的的情况下，因为可以以比较低的电压驱动，所以非常理想。

Pb_0.99Nb_0.02[(Zr_xSn_1-x)_1-yTi_y]_0.98O₃

其中，0.5＜x＜0.6，0.05＜y＜0.063，0.01＜Nb＜0.03

另外，该抗铁电体膜，也可以是多孔质，在多孔质的情况下，希望其孔隙率在30％以下。

而后，希望在上述致动器基板18中的振动部分22的厚度和被形成在该振动部分22上的形状保持层26的厚度数量级相同。这是因为如果振动部分22的厚度比形状保持层26的厚度厚得多(如果相差1个数量级以上)，则由于形状保持层26烧结时收缩，振动部分22起到了妨碍其收缩的作用，所以在形状保持层26和致动器基板18界面的应力增大，容易剥落。与之相反，如果厚度的数量级相同，因为在形状保持层26的烧成收缩中致动器基板18(振动部分22)容易适应，所以很适合一体化。具体地说，振动部分22的厚度，是1～100μm，理想的是3～50μm，最理想的是5～20μm。另一方面，形状保持层26，其厚度希望是5～100μm，5～50μm更好，最理想的是5～30μm。

被形成在上述形状保持层26上的一对电极28，根据用途设置适宜的厚度，但希望厚度为0.01～50μm，最好是0.1～5μm。另外，上述一对电极28，在室温下是固体，理想的是用导电性金属构成。例如，可以列举含有铝、钛、铬、铁、钴、镍、铜、锌、铌、钼、钌、铑、银、锡、钽、钨、铱、铂、金、铅等的金属单体或者合金。当然也可以包含这些元素的任意组合。

光波导板12，是具有如被导入其内部的光10不透过到光波导板12的外部而在前面和背面中全反射那样的光折射率的光波导板，需要被导入的光在全波长范围中的透过率均匀，并且透过率高。如果具备这种特性，则不特别限制其材质，但具体地，例如，作为一般的材料，可以列举玻璃、石英、丙烯酸塑料等的透光性塑料、透光性陶瓷、或者具有不同的折射率的材料的多层结构，或者在表面设置有涂层的材料。

另外，所谓包含在象素结构102中的滤色器40以及有色散射体44等的着色层，是用于只取出特定波长区域的光的层，例如有通过吸收、透过、反射、散射特定波长的光发色的层，和将射入的光变换为其它波长的光的层等。可以单独或者组合透明体、半透明体以及不透明体使用。

其构成，有例如将染料、颜料、离子等的色素和荧光体，分散并溶解在橡胶、有机树脂、透光性塑料、玻璃、液体等的内部的构成，和涂抹在它们的表面上的构成，进而烧结上述的色素和荧光体等的粉末，或者通过挤压固化的构成等。对于材料以及构造，可以单独使用它们，也可以组合使用它们。

滤色器40和有色散射体44的不同，是在使象素结构102接触导入光10的光波导板12处于发光状态时，如果只因着色层的反射、散射引起的漏光的亮度值，是包含有象素结构102以及致动器部分14的全部结构的反射、散射引起的亮度值的0.5倍以上，则定义该着色层是有色散射体44，如果不到0.5倍则定义该着色层是滤色器40。

如果列举测定的具体例子，则在导入光10的光波导板12的背面上，当使上述着色层单体接触时，从该着色层通过该光波导板12，漏到前面的光的正面亮度是A(nt)，另外，当进一步使象素结构102接触和该着色层的光波导板12接触的面相反一侧的面时，如果假设漏到前面的光的正面亮度是B(nt)，则在满足了A≥0.5×B时，上述着色层是有色散射体44，在满足A＜0.5×B时是滤色器40。

所谓上述的正面亮度，是如此配置亮度计(亮度计的检出面与光波导板的板面平行)测定出的亮度，即，连接测定亮度的亮度计和上述着色层的线，相对和上述光波导板12的上述着色层接触的面是垂直的。

有色散射体44的优点，是由于层厚色调和亮度难以变化，作为其层形成方法，层厚度的严格控制困难，但可以适用成本便宜的网板印刷等多种方法。

另外，由于通过有色散射体兼有变位传递部分，除了可以简化层形成过程，还可以使全部的层厚度薄，因此可以使显示装置整体的厚度薄，另外，可以防止致动器部分14的变位量低下以及提高应答速度。

滤色器40的优点是，因为光波导板12是平面表面平滑性高，所以在光波导板12一侧形成层时，层形成变得容易，不仅加工工艺的选择范围宽，价格便宜，而且容易控制色调、亮度不受影响的层厚度。

进而，作为滤色器40和有色散射体44等的着色层的膜形成方法，并没有特别限制，可以适用公知的各种膜形成方法。例如在光波导板12和致动器部分14的面上，除了直接粘贴片状、薄膜状的着色层的薄膜粘贴法外，还有将作为着色层的原材料的粉末、膏、液体、气体、离子等，用网板印刷、光刻法、喷浸涂层法、涂抹等的厚膜形成方法，和离子束、溅射法、真空蒸镀、离子镀、CVD、电镀等的薄膜形成法形成膜，从而形成着色层的方法。

以下，参照图1简单地说明涉及实施例1的显示装置Da的动作。首先，从光波导板12的例如端部导入光10。这种情况下，通过调节光波导板12的折射率的大小，使全部光10在光波导板12的前面及背面不透过而在内部全反射。这种情况下，作为光波导板12的反射率n，希望在1.3～1.8之间，最好在1.4～1.7之间。

在该状态下，如果某个致动器部分14处于选择状态，该致动器部分14向光波导板12一侧凸出那样弯曲变位，即，向一方向弯曲变位，象素结构102的端面相对光波导板12在光10的波长以下的距离接触时，此前全反射的光10，在象素结构102的表面反射，成为散射光42。该散射光42，一部分再次在光波导板12中反射，而散射光42的大部分并不在光波导板12上反射，而是透过光波导板12的前面(表面)。因而，对应致动器部分14的象素变为导通状态，其导通状态以发光的形式实现，而且，该发光颜色变为与包含在象素结构102中的滤色器40或者有色散射体44的颜色对应的颜色。

总之，该显示装置Da，通过象素结构102有无向光波导板12的接触，就可以控制在光波导板12的前面的发光(漏光)。特别，在该实施例1的显示装置Da中，如果考虑将使象素结构相对光波导板12在接近或离开方向上的变位动作的1个单位例如作为1象素，则因为将该象素排列成多个矩阵形，或者对有关各行排列成梳齿形，所以通过根据输入的图像信号的属性控制在各象素中的变位动作，就可以和阴极射线管和液晶显示装置以及等离子显示装置一样，在光波导板12的前面，即，在显示面上显示与图像信号对应的影像(文字和图形等)。

而后，在显示的灰度控制中，例如可以采用电压调制方式和时间调制方式。例如在电压调制方式中，例如在选择了1行的情况下中，对排列在该选择行中的多个致动器部分14，施加与各致动器部分14的灰度对应的电压。各致动器部分14，与被施加的电压的电平相应地向一方向变位，在图17的例子中，相对电压V₁、V₂、…V_n变位量如Z₁、Z₂、…Z_n那样线性变化。

而后，例如在致动器部分14变位到大约变位量Z₁的时刻，例如如图14所示，象素结构102的一主面和光波导板12的背面之间的距离D相当于光10(被导入光波导板12的光10)的波长λ的距离，例如在变位大约为Z_n的时刻，理想的是象素结构的一主面和光波导板12的背面完全密合。

当象素结构102向着光波导板12的背面接近，该象素结构102的一主面和光波导板12的背面之间的距离变到光10的波长λ以下的情况下，随着其距离的缩短从光波导板12的表面放射出的散射光的量增多，与该致动器部分14对应的象素的亮度水平增高。

该现象可以用以下的瞬逝效应说明。一般，在光波导板12中的例如背面的周围，如图18所示，存在光发散(瞬逝波)的区域(瞬逝区域)104。该瞬逝区域104的深度dp，表示在光波导板12和外部空间的界面(在此例子中，是光波导板12的背面)中的瞬逝波的能量值为1/e的深度，用下式(1)给出，另外，瞬逝波的能量E，用下式(2)给出。 $\mathrm{dp}=\mathrm{\λ}/\[2\mathrm{\π}{n}_1\sqrt{\{{\sin }^2\mathrm{\θ}-{(n_2/n_1)}^2\}}\]---\left(1\right)$

E＝exp{-(D/dp)}                      …(2)

在此，λ表示光10的波长，θ如图18所示，表示从光波导板12到外部空间光10入射时的角度(入射角)。另外，n₁表示光波导板12的光折射率，n₂表示外部空间的光折射率。

根据上述(1)式，可以预想上述深度dp，随着光10的波长λ的增加而增大，随着入射角θ接近临界角而增大。另一方面，瞬逝波的能量E，如上述(2)式所示，越接近光波导板12的背面越大，随着离开上述光波导板12的背面而按照指数函数衰减。在象素结构102的表面上反射的光(散射光42)的光量，由于和上述瞬逝波的能量E成比例，因此散射光42的光量，也随着象素结构102接近光波导板12的背面而增加，随着离开光波导板12的背面而按指数函数减少。

这时，由于致动器部分14中的形状保持层26的形状保持效果，该致动器部分14，继续保持选择时的变位量，该象素的发光状态维持一定时间。

而后，当将其适用于彩色显示方式的情况下，根据被包含在象素结构102中的滤色器40(例如三原色滤波器和互补色滤波器)的配色等的关系，就可以用例如相互相邻的3个象素结构(RGB排列)和相互相邻的4个象素结构(方块排列等)构成1个象素。

这样，在实施例1的显示装置Da中，在光波导板12和致动器基板18之间，在象素结构102之外的部分上形成了挡条70。

当不设置挡条70，而只用画面的四边固定光波导板12和致动器基板18的情况下，因致动器部分14的动作而使致动器基板18产生振动，由此变位基准变化，产生象素的开/关动作和致动器部分14的变位不能对应的情况。

但是，在该实施例1的显示装置Da中，因为如上述那样设置了挡条70，所以即使某个致动器部分14进行了变位动作，其振动也被挡条70吸收，而不产生变位的基准变化等的问题。

另外，由于被形成在象素结构102的周边上的挡条70对光波导板12的支撑，使象素结构102和光波导板12之间的间隙g在整个象素中均匀变得容易。而且，通过任意变更挡条70的高度，就可以容易控制上述间隙g的大小。其结果，可以得到整个象素均匀的亮度。

特别，如图11所示，当将挡条70形成在各象素结构102的四方的情况下，因为变成在象素结构102单位上形成了4个挡条70的形态，所以可以有效地吸收由某个致动器部分14的变位动作引起的振动，而几乎不对其他的致动器部分14的变位动作产生影响。其结果，在全部象素中的开动作/关动作和变位的对应关系变得良好，可以忠实地显示与被输入的图象信号对应的影像。另外，致动器基板18和光波导板12的连接也变得牢固。

另外，如图12所示，当在挡条70上具有至少包围1个象素结构102的窗部分70a的情况下，象素结构102的整个侧面成为由挡条70包围的形态，致动器基板18和光波导板12的连接更加牢固。而且，因某个致动器部分14的变位动作引起的振动完全不会影响其他的致动器部分14的变位动作。

接着，参照图19说明实施例2的显示装置Db。进而，与图1对应的部分标有同一符号并省略说明。

涉及该实施例2的显示装置，如图19所示，具有和实施例1的显示装置Da(参照图1)大致相同的构成，但在挡条70的前端和光波导板12之间设置有间隔形成层50这一点上不同。

因为由于存在该间隔形成层50，可以用该间隔形成层50调整象素结构102和光波导板12之间的间隔g，所以具有可以使整个象素的间隔均匀化的效果。这种情况下，如果使象素结构102的上面和挡条70的上面(和间隔形成层50接触的面)的位置一致，则具有容易调整上述间隔g的优点。

作为实现其的方法，例如，有使用平坦的玻璃面同时形成象素结构102和挡条70的方法，和在形成象素结构102和挡条70之后，通过研磨使其露出的方法等。

在此，作为间隔形成层50的构成材料，例如可以列举金属膜，和包含碳黑、黑颜料、黑染料的膜，和散射性低的透明薄膜等。由此，间隔形成层50就可以兼具有作为黑底的功能。

如果使用Cr、Al、Ni、Ag等的金属膜作为间隔形成层50，则因为光吸收小，所以可以控制传输于光波导板的光的衰减和散射，使用特别理想。

另外，如果使用包含碳黑、黑颜料、黑染料的膜作为间隔形成层50，则光的吸收性好，可以提高对比度。另外，如果使用光散射性低的透明的膜作为间隔形成层50，则通过和光吸收性良好的粘接剂(或者通过添加黑染料和黑颜料提高光吸收性的粘接剂)组合，就可以抑制光散射，提高对比度。

另外，作为间隔形成层50的尺寸，例如，如果采用致动器部分14向光波导板12一侧凸出变位的情况为例，则间隔量g的小极限(最小值)，被设定成在象素结构102的关动作时可以不考虑因瞬逝效应引起的漏光的程度，间隔量g的大极限(最大值)，被设定成通过致动器部分14的变位，象素结构102可以接触光波导板12的范围。因而，间隔形成层50的厚度，被调整为上述间隔量g形成在上述范围内，最好在1～5μm之间。但是，象素结构102和挡条70的高度差，可以相应于显示装置的各种实施例进行控制，最好与各实施例对应地选择最佳的间隔形成层50的厚度。

可是，在如图19所示的实施例2的显示装置Db中，展示了使间隔形成层50的宽度比挡条70的宽度还宽的例子，但除此之外，如图20的变形例的显示装置Dba所示，还可以使间隔形成层50的宽度比挡条70的宽度窄。这种情况下，因为间隔形成层50和光波导板12的接触面积减小，所以可以降低不需要的散射光，在提高对比度上有利。

接着，参照图21说明实施例3的显示装置Dc。进而，与图19对应的部分标有同一符号并省略其重复说明。

本实施例3的显示装置Dc，如图21所示，具有和实施例2的显示装置Db(参照图19)大致相同的构成，但在象素结构102的表面上形成有多个凹部110这一点上不同。该凹部110，可以作为连续的沟形成。

如果采用实施例3的显示装置Dc，则由于按照象素结构102与光波导板12相对的面积确定凹部110的形成个数或者大小，因此可以使各象素结构102中的与光波导板12相对的接触面积几乎相同，可以得到整个象素均匀的亮度。

另外，由于凹部110的存在，象素结构102和光波导板12的密合性缓和，由此可以平滑地使象素结构102从光波导板12离开。其结果，可以防止象素结构102粘贴到光波导板12上，并可以有效地实现高反应速度。

以下，参照图22说明实施例4的显示装置Dd。进而，与图19对应的部分标有相同的符号并省略其重复说明。

本实施例4的显示装置Dd，如图22所示，具有与实施例2的显示装置Db大致相同的构成，但在上述象素结构102的周边部分上形成有台阶高差112这一点上不同。

如果采用本实施例4的显示装置Dd，由于在象素结构102的周边部分上设置台阶高差112，因此可以使象素结构102与光波导板12接触部分的面积在整个象素中一定，可以得到在整个象素中均匀的亮度。另外，由于存在台阶高差112，象素结构102和光波导板12的密合性缓和，因此可以防止象素结构102粘贴到光波导板12上，可以实现高反应速度。

以下，参照图23说明实施例5的显示装置De。进而，与图19对应的部分标有相同的符号并省略其重复说明。

本实施例5的显示装置De，如图23所示，具有和实施例2的显示装置Db大致相同的构成，但在象素结构102的表面设置凹形状114这一点上不同。

在致动器部分14变位时，具有象素结构102的中央部分具有变位量最大的倾向。因此，通过将象素结构102的表面作成凹形状部分114使该象素结构102的中央部分例如只凹陷相当于上述变位量的深度，就可以在致动器部分14变位象素结构102接触光波导板12时，象素结构102的表面接近于平坦，增大象素结构102对光波导板12的接触面积。

这种情况下，如果加大凹形状114的弯曲深度，则在象素结构102与光波导板12接触时，变为象素结构102的中央部分不与光波导板12接触的状态，近似于在象素结构102的表面形成了凹部分的状态。因此，使象素结构102和光波导板12的密合性缓和，可以光滑地使象素结构102离开光波导板。其结果，可以防止象素结构102向光波导板12的粘贴，可以有效地实现应答速度的高速化。

可以分别单独实现涉及实施例3的显示装置Dc的构成(在象素结构102的表面上形成凹部分110的构成)、涉及实施例4的显示装置Dd的构成(在象素结构102的表面上形成台阶高差112的构成)以及涉及实施例5的显示装置De的构成(在象素结构102的表面设置成凹形状114的构成)，也可以进行任意组合。通过组合，就可以实现由各自的构成产生的协同效果。图24是组合有实施例3～5的显示装置Dc～De的所有构成的实施例6的显示装置Df的例子。

但是，涉及实施例1～6的显示装置Da～Df，除了可以单独使用外，如图25所示，还可以将这些实施例的显示装置Da～Df当作大画面显示装置250的1个显示元件252。在该图25的例子中，展示在具有大画面的显示面积的波导板254的背面，将显示元件252在纵向排列7个，在横向排列18个的例子。这种情况下，波导板254，使用玻璃和丙烯酸板等在可见光范围中光透过率大且均匀的材料，在各显示元件252之间，通过用引线接合和锡焊、端面接插件、背面接插件等连接就可以进行相互间的信号供给。

另外，在如图25所示的大画面显示装置250中，作为适用于各显示元件252的显示装置使用实施例1～实施例6的显示装置Da～Df，用将该象素的排列设置成在水平方向32个，在垂直方向32个的形式。在这些实施例的显示装置Da～Df中，当把与各行有关的象素的排列设置成梳齿形状的情况下，可以使象素的水平方向的排列间距非常小，当把水平方向以及垂直方向的象素的排列数设置成相同的情况下，整个的平面形状，成为纵长形状。

虽然在如图25所示的大画面显示装置250中，展示了在大型的波导板254的板面上，将包含光波导板12的显示元件252排列成矩阵形状的例子，但除此之外，也可以省略大型波导板254，通过将包含光波导板12的显示元件252配置成矩阵形状构成大画面显示装置250。这种情况下，被排列成矩阵形状的多个光波导板12兼作上述大型波导板254用。除了上述构成之外，还可以在大型的波导板254的板面上，将不包含光波导板12的显示元件252配置成矩阵形状构成上述大画面显示装置250。

上述波导板254和光波导板12最好是折射率接近的波导板，当粘合波导板254和光波导板12的情况下，可以使用透明的粘接剂。该粘接剂，最好和光波导板12和波导板254一样，在可见光区域均匀，并具有高的透过率，另外，折射率也设定成波导板254和光波导板12接近对于确保画面的透明度很理想。

以下，参照图26A～图26B说明实施例1～实施例6的显示装置Da～Df的制造方法。

首先，第1制造方法，如图26A所示，在致动器基板18的一主面中，在没有形成致动器部分14的部分上例如用膜形成法形成挡条70。作为挡条70的材料，并没有特别限定，但最好是使用硬化后的硬度硬的材料。例如如果是树脂，最好是热硬化树脂(单组分、双组分环氧树脂等)。作为挡条的厚度是50～100μm之间。

在此，作为膜形成方法，例如有网板印刷法、光刻法、薄膜粘贴法等。

光刻法，例如具有如图27A～27B那样，曝光显像成为挡条70的膜120形成挡条70的第1方法，和如图28A～图28B所示，在掩模122的开口122a上埋入成为挡条70的材料124形成挡条70的第2方法。

第1方法，例如通过以下的顺序进行。首先，如图27A所示，在致动器基板18上的整个面上均匀地涂抹了成为挡条70的膜120后，如图27B所示，通过在应该形成挡条70的部分上具有开口的掩模130有选择地曝光成为挡条70的膜120。其后，如图27C所示，对成为挡条70的膜120进行显像。通过该显像在成为挡条70的膜120中，被曝光的部分作为挡条70残存下来，未被曝光的部分被溶解除去。

作为涂抹构成挡条70的膜的方法，可以使用通过印刷的涂抹、通过旋涂器的涂抹、DIP(浸渍法)、滚涂、还有玻璃压迫法等。另外，也可以适用具有和感光胶同样功能的感光性薄膜。

另一方面，第2方法，按照以下的顺序进行。首先，如图28A所示，通过实施感光胶的涂抹、曝光以及显像在致动器基板18上形成由感光胶产生的掩模122。该掩模122，在应该形成挡条70的部分上具有开口122a。

其后，如图28B所示，在掩模122的开口122a内埋入了成为挡条70的材料124之后，如图28C所示，通过除去掩模122，就可以在致动器基板18上形成挡条70。

上述第1方法(涂抹方法)，由于感光成为条件，所以对于构成挡条70的膜120的材料选择性降低，但第2方法(埋入法)，由于可以不考虑感光等，所以对于构成挡条70的膜120的材料的选择性的自由度提高。

薄膜粘贴法，如图29所示，是在预先对薄膜(用成为挡条的材料形成的薄膜：干膜等)进行切断或者打孔等制成挡条70后，例如通过粘接剂132将挡条70粘贴在致动器基板18上的方法。在挡条的粘贴时，例如可以使用真空封装法、层压法等。

陶瓷烧结法，例如是在致动器基板18上用例如膜形成法形成成为第1层的挡条70的部分之后，通过烧结使致动器基板18和第1层的挡条70一体化的方法。

再回到第1制造方法的说明，如图26B所示，在致动器基板18的各致动器部分14上例如用膜形成法分别形成象素结构102。膜形成法，可以采用如图27～图29所示的各种方法。

而后，如图26C所示，在使致动器基板18上的挡条70以及象素结构102硬化之前，将光波导板12按压在致动器基板18上的挡条70以及象素结构102上，在使光波导板12和致动器基板18在相互接近的方向上加压之后，在该状态下使挡条70和象素结构102硬化至完成。

在该第1制造方法中，因为至少在象素结构102未硬化的状态下加压致动器基板18和光波导板12，所以在加压时，光波导板12变为将挡条和象素结构102压在致动器基板18一侧的形态，预先被形成的挡条70成为隔板由此规定象素结构102的厚度。其结果，至少在使象素结构102硬化时挡条70的上面和象素结构102的上面大致变为同一面。

这种情况下，作为象素结构102的构成材料，由于使用在象素结构102的硬化时该象素结构102收缩的材料，所以在挡条70和象素结构102的硬化时可以在象素结构102和光波导板12之间形成一定的间隔g。

另外，作为用于形成间隔g的另一方法，例如，也可以在加压粘贴光波导板12时，使象素结构102加热膨胀，或者使致动器部分14变位使象素结构102接触光波导板12。在其后的挡条70和象素结构102的硬化时，通过象素结构102收缩或者致动器部分14的变位复位(复原)就可以在象素结构102和光波导板12之间形成一定的间隔g。

除此之外，假设在自然状态下象素结构102处于与光波导板12接触的状态的情况下，例如如图7所示，作为致动器部分14的变位动作，可以适用于象素结构102向离开光波导板12的方向变位的情况。

作为致动器基板18和光波导板12的加压方法，有采用砝码的负荷、真空封装法、CIP法(静水压负荷法)、采用倒装式接合的负荷、定值控制和低压加压法等的各种负荷法。

其中，真空封装法，如图30所示，是通过把在致动器基板18上按压着光波导板12的整体装入真空封装袋140内并将该袋140抽真空，使致动器基板18和光波导板12相互加压的方法。这种情况下，为了抑制气泡的产生，可以在粘接剂和象素结构中加入消泡剂，或者在硬化前实施脱泡处理。

图30所示的真空封装法和CIP法，即使在致动器基板18上有翘曲和弯曲的情况下，也可以均匀地加压致动器基板18和光波导板12，因此，由于光波导板12和致动器基板相互仿形，因而可以在全部的象素结构102和光波导板12之间形成一定的间隔g。进而，也可以组合真空封装法和CIP法。

低压加压法，如图31所示，是把在致动器基板18上按压着光波导板12的整体***下模142和上模144之间，在低压下加压的方法。这种情况下，因为加在致动器基板18上的应力小，所以可以防止对致动器部分14的损伤等。

使用由倒装式接合产生负荷的方法，因为可以进行位置控制、加压控制、加热，所以使用上理想。

以下，参照图32A～32D说明有关第2制造方法。该第2制造方法，是在光波导板12上形成象素结构102和挡条70，并加压粘贴致动器基板18的方法。

首先，如图32A所示，在光波导板12中，在使用例如膜形成法在与多个象素对应的位置以外的位置上形成多个挡条70之后，如图32B所示，在光波导板12中，用例如膜形成法在与多个象素结构对应的位置上形成象素结构102。

而后，如图32C所示，在预先与象素对应位置上形成有致动器部分14的致动器基板18的一主面中，在与挡条70对应的位置和致动器部分14的上面涂抹粘接剂150。

其后，在使光波导板12上的挡条70以及象素结构102硬化之前，把致动器基板18的一主面侧按压在光波导板12上的挡条70以及象素结构102上，在使光波导板12和致动器基板18在相互接近的方向上加压之后，如图32D所示，在该状态下使挡条70和象素结构102以及粘接剂150硬化直至完成。

如果采用该第2制造方法，因为直接在光波导板12上形成象素结构102，所以具有容易规定象素的面积(接触光波导板12的接触面积)的优点，容易得到整个象素均匀的亮度。

这种情况下，也是当致动器部分14在自然状态时象素结构102处于接触光波导板12的形态的情况下，如图7所示，作为致动器部分14的变位动作，可以适用于象素结构102向离开光波导板12的方向变位的情况。

另外，在加压粘贴光波导板12时，如果通过加热象素结构102使其膨胀，或者通过使致动器部分14变位使象素结构102接触光波导板12，可以在挡条70和象素结构102的硬化时在象素结构102和光波导板12之间形成一定的间隔g。

以下，参照图33A～图33C说明第3制造方法。该第3制造方法，是在形成有象素结构102和挡条70的致动器基板18上暂时粘贴板材200，在使象素结构102和挡条70的各自上面大致为同一面之后，除去板材200，粘贴光波导板12的方法。

首先，如图33A所示，在致动器基板18的一主面中，用例如膜形成法在没有形成致动器部分14的部分上形成挡条70。

其后，如图33B所示，使用例如膜形成法在致动器基板18的各致动器部分14上形成象素结构102。

其后，如图33C所示，在使致动器基板18上的挡条70以及象素结构102硬化前，把板材200按压在致动器基板18上的挡条70以及象素结构102上，在使板材200和致动器基板18在相互接近的方向上加压之后，在该状态下使挡条70和象素结构102硬化。

作为板材200，可以使用玻璃、陶瓷、金属等。在其中也是玻璃最理想。这是因为容易得到具有高表面平滑性和适度的刚性的板材的缘故。

板材的表面平滑性，因为起到提高象素的亮度的作用，所以希望Ra＜0.1μm，最好Ra＜0.01μm。

另外，板材的刚性，设定成在加压过程中没有塑性变形，靠弹性变形跟随致动器基板的翘曲。例如，在作为板材使用玻璃，作为加压法使用真空封装法的情况下，希望板材的厚度是致动器基板的厚度的0.5～10倍之间，最好是1～5倍之间。

另一方面，作为加压法，当使用低压加压法的情况下，因为最好是板材的变形量少的方法，所以从刚性和使用的容易性的观点看板厚的一方好。

作为板材200和致动器基板18的加压方法，如上所述，可以使用采用砝码的负荷、真空封装法、CIP(静水压负荷法)、采用倒装式接合的负荷、定值控制和低压加压法等的各种负荷法。

在致动器基板18上加压粘贴板材200时，在致动器基板18上形成的挡条70成为隔板规定了致动器基板18和板材200之间的距离。因为在加压后，或者加压的状态下使挡条70和象素结构102硬化，所以该被规定的距离相当于致动器基板18和光波导板12之间的距离。

这种情况下，作为象素结构102的构成材料，通过使用在象素结构102的硬化时该象素结构102收缩的材料，就可以在挡条70和象素结构102的硬化时在象素结构102和板材200之间形成一定的间隔g。这和在象素结构102和光波导板12之间形成一定的间隔g是等价的。

另外，在不使用在象素结构102的硬化时该象素结构102收缩的材料的情况中，当在挡条70和象素结构102的硬化时在象素结构102和板材200之间形成间隔g的情况下，例如，可以在加压粘贴板材200之时，加热象素结构102使其膨胀，或者通过使致动器部分14变位使象素结构102接触板材200。在其后的挡条70和象素结构102的硬化时，通过象素结构102收缩或者致动器部分14的变位复位(复原)在象素结构102和板材200之间形成一定的间隔g。

除此之外，当在自然状态下象素结构102处于接触光波导板12的形态的情况下，例如如图7所示，作为致动器部分14的变位动作，可以适用于象素结构102向离开光波导板12的方向变位的情况。

而且，当作为板材200使用了平滑材料的情况下，可以在象素结构102的表面上形成和板材200同等的平滑面。该优异的平滑性，起到提高象素发光时亮度的作用。

如图34所示，作为板材200，如果使用在与象素结构102对应的位置上分别具有多个凸部分202的材料，则在板材200和致动器基板18加压时，在象素结构102的表面形成与上述凸部分202对应的凹部分110，可以制作图21所示的实施例3的显示装置Dc。

另外，如图35所示，作为板材200，如果使用在与象素结构102的周边部分对应的位置上分别具有凸部分204的材料，则在板材200和致动器基板18加压时，在象素结构102周边部分上形成与上述凸部分204对应的台阶高差112，可以制作如图22所示的实施例4的显示装置Dd。

另外，如图36所示，作为板材200，如果使用在与象素结构102对应的位置上分别形成有凸形状206的材料，则在板材200和致动器基板18加压时，在象素结构102的表面上形成与上述凸形状206对应的凹形状114，可以制作图23所示的实施例5的显示装置De。

另外，如图37所示，作为板材200，如果使用在与挡条70对应的位置上分别具有多个凸部分208的材料，则在板材200和致动器基板18加压时，形成象素结构102的上端比挡条70的上端还高。这种情况下，在自然状态下表示开状态的例如图7所示的显示装置Da中，象素结构102更完全地接触到光波导板12。当然，在图7的显示装置Da中，也可以很好地使用于没有间隔形成层50的材料。

作为其他的效果，因为可以形成厚的间隔形成层50，所以在间隔形成层50具有作为光吸收层的功能的情况下，在对比度等的提高画质上有效，另外，对于间隔形成层50的材料选择的范围也宽。当然，也可以适用于在自然状态下象素结构102从光波导板12离开的类型的显示装置。

另一方面，作为板材200，如果利用在与挡条70对应的位置上分别具有多个凹部分的材料，则在板材200和致动器基板18的加压时象素结构102的上端形成的比挡条70的上端还低。这种情况下，即使在没有间隔形成层50的形态中，也可以形成精密的间隔g。

有关图34～图37所示的板材200的凸部分202等，在后述的第4制造方法中也可以用同样叙述。

其后，如图38A所示，在除去上述板材200之后，用例如膜形成法在致动器基板18上的挡条70的上面涂抹粘接剂210。

粘接剂，因为必须抑制光散射，所以希望设置成光吸收性高的粘接剂。例如，可以使用添加了碳黑、黑颜料、黑染料的粘接剂。

而后，如图38所示，在使粘接剂210硬化之前，将光波导板12按压在致动器基板18上的挡条70上，在使光波导板12和致动器基板18在相互接近的方向上加压后，在该状态下使粘接剂210硬化直至完成。

作为光波导板12和致动器基板18的加压的方法，如上所述，最好使用采用砝码的负荷、真空封装法、CIP(静水压负荷法)、采用倒装式接合的负荷、定值控制和低压加压法等的各种负荷法。

作为在象素结构102的表面形成凹部分110和台阶高差112，或者将象素结构102的表面设置成凹形状114的方法，如上所述，最好使用在表面上具有凸部分202、204以及206的板材200。在此，最好使用用一般的膜形成方法在用玻璃构成的板材200上形成金属膜和抗蚀剂膜的方法。具有可以自由地变更凸部分202、204以及206的图形和高度的优点。凸部分202、204以及206的高度，最好是0.1～2μm之间。

这其中，作为在象素结构102的表面形成凹部分110和台阶高差112的方法，另外，还可以对象素结构102的表面使用平面研磨和由激光进行的表面加工。激光加工，不只形成凹部分110和台阶高差112，而且还具有由加热产生的表面改性的效果。而且，由于可以容易设计加工图形所以特别好用。

另一方面，作为将象素结构102的表面设置成凹形状114的方法，除了上述的方法之外，还有在象素结构102的硬化时在致动器部分14上加电压的方法和加热的方法。有在板材200上在硬化中加热的方法，和在除去板材200后加热的方法，可以根据象素结构102的材质进行选择。加热温度可以使用15℃～150℃，最好使用20℃～80℃。

以下，参照图39A～图39D说明第4制造方法。该第4制造方法，是在板材200上形成象素结构102和挡条70，并分别使其硬化，之后，粘贴致动器基板18，其后，除去板材200，粘贴光波导板12的方法。

首先，如图39A所示，在板材200中，在用例如膜形成法在与多个象素结构对应的位置以外的位置上形成挡条70之后，使挡条70硬化。接着，如图39B所示，在板材200中，在用例如膜形成法在与多个象素对应的位置上形成象素结构102之后，使象素结构102硬化。

其后，如图39C所示，在预先与象素对应的位置上形成有致动器部分14的致动器基板18的一主面中，在与挡条70对应的位置和致动器部分14的上面涂抹粘接剂212。

其后，在使上述粘接剂212硬化前，将致动器基板18的一主面压在板材200上的挡条70以及象素结构102上，在使板材200和致动器基板18在相互接近的方向上加压后，在该状态下使粘接剂212硬化。

其后，如图39D所示除去板材200。在该时刻，成为被形成在板材200上的挡条70和象素结构102被转印到致动器基板18上的形态。因而，如图39A所示，在板材200上形成挡条70以及象素结构102之前，最好在板材200上涂抹例如脱膜剂。这是因为可以使象素结构102和挡条70顺利地转印到致动器基板18上的缘故。

其后，如图38A所示，在致动器基板18上的挡条70的上面用例如膜形成法涂抹粘接剂210。

而后，如图38B所示，在上述粘接剂210硬化之前，把光波导板12按压在致动器基板18上的挡条70上，在使光波导板12和致动器基板18在相互接近的方向上加压之后，在该状态下使粘接剂210硬化直至完成。

在图38A以及图38B的例子中，展示了在挡条70的上面直接粘贴光波导板12的情况，但除此之外，也可以采用图40A以及图40B所示的方法。

即，如图40A所示，用例如膜形成法在致动器基板18上的挡条70的上面涂抹粘贴剂210。

而后，如图40B所示，在光波导板12中，在与挡条对应的部分上，预先用例如膜形成法形成间隔形成层50，在使上述粘接剂210硬化之前，把光波导板12按压在致动器基板18上的挡条70上(按压间隔形成层50和挡条70)，在使光波导板2和致动器基板18在相互接近的方向上加压之后，在该状态下使粘接剂210硬化直至完成。

如图40A以及图40B所示，在设置了间隔形成层50的情况下，更容易使象素结构102和光波导板12之间的间隔g在整个象素中均匀，上述间隔g的大小也变得容易控制。

接着，参照图41A～图41C说明第5制造方法。该第5制造方法，是在光波导板12上形成象素结构102，在致动器基板18上形成挡条70，其后，加压粘贴这些光波导板12和致动器基板18的方法。

首先，如图41A所示，在光波导板12中，在用例如膜形成法在与多个象素结构对应的位置上形成象素结构102之后，如图41B所示，在致动器基板18的一主面中，用例如膜形成法在没有形成致动器部分14的部分上形成挡条70。其后，用例如膜形成法在致动器基板18上的挡条70的上面涂抹粘接剂210。

而后，如图41C所示，在使粘接剂210硬化之前，使致动器基板18的形成有上述挡条70的面和光波导板12的形成有上述象素结构102的面粘合，在使光波导板12和致动器基板18在相互接近的方向上加压之后，在该状态下使粘接剂210硬化直至完成。

在该第5制造方法中，因为可以分别用独立的工序形成象素结构102和挡条70，所以与象素结构102和挡条70有关的材料的选定范围宽，可以降低制造成本和工时数。另外，因为在平坦度高的光波导板12上形成象素结构102，所以可以使象素结构102的大小一致。

以下，参照图42A～图42C说明第6制造方法。该第6制造方法，是在光波导板12上形成挡条70，在致动器基板18上形成象素结构102，其后，加压粘贴光波导板12和致动器基板18的方法。

首先，如图42A所示，在光波导板12中，在用例如膜形成法在与多个象素对应的位置以外的位置上形成多个挡条70之后，如图42B所示，在致动器基板18的一主面中，用例如膜形成法在致动器基板14上形成象素结构102。其后，用例如膜形成法在光波导板12的挡条70的上面涂抹粘接剂212。或者，在致动器基板18的一主面中，用例如膜形成法在没有致动器部分14的部分上形成粘接剂212。

其后，如图42C所示，在使粘接剂212硬化之前，粘合致动器基板18的形成有上述象素结构102的面和在光波导板12的形成有上述挡条70的面，并在使光波导板12和致动器基板18在相互接近的方向上加压之后，在该状态下使粘接剂210硬化直至完成。

在该第6制造方法中，因为可以分别用独立的工序形成上述象素结构102和挡条70，所以与象素结构102和挡条70有关的材料选择的范围宽，可以降低制造成本和工时数。另外，因为在平坦度高的光波导板12上形成挡条70，所以可以使挡条70的高度严格一致。而且，在象素结构102的形成中，因为不存在障碍物(挡条70等)，所以可以高精度地形成象素结构102。

以下，参照图43A以及图43B说明第7制造方法。该第7制造方法，是在预先一体地设置有挡条的致动器基板18上形成象素结构102，其后，加压粘贴光波导板12的方法。

首先，如图43A所示，在致动器部分14以外的位置上具有一体的多个挡条70的致动器基板18的各致动器部分14上形成象素结构102。其后，用例如膜形成法在致动器基板18的挡条70的上面涂抹粘接剂210。

而后，如图43B所示，在使致动器基板18上的挡条70以及象素结构102硬化之前，把光波导板12按压在致动器基板18上的挡条70以及象素结构102上，在使光波导板12和致动器基板18在相互接近方向上加压之后，在该状态下使挡条70和象素结构102硬化直至完成。

在该第7制造方法中，作为致动器基板18，因为使用预先一体地具有挡条70的致动器基板18，所以挡条70部分的机械强度高，随之，致动器基板18的刚性增高。其结果，例如在搬运致动器基板18时和保管时，可以用上述挡条70保护被形成在该致动器基板18上的致动器部分14，特别是振动部分22。另外，与单独形成挡条70的情况相比，可以节省使挡条70硬化的工序，可以实现削减工时。

以下，参照图44A～图45B说明第8制造方法。该第8制造方法，是在致动器基板18上形成挡条70，在板材200上形成象素结构102，并在加压粘合致动器基板18和板材200之后，除去板材200，加压粘贴光波导板12的方法。

首先，如图44A所示，在板材200中，在与多个象素对应的位置上形成象素结构102之后，如图44B所示，在致动器基板18中，在上述致动器部分14以外的位置上形成多个挡条70。

接着，如图44C所示，在使致动器基板18上的挡条70以及象素结构102硬化之前，粘合致动器基板18的形成有上述挡条70的面和板材200的形成有上述象素结构102的面，在使板材200和致动器基板18在相互接近的方向上加压之后，在该状态下使挡条70和象素结构102硬化。

其后，如图45A所示，在除去上述板材200将象素结构102转印到致动器基板18上之后，用例如膜形成法在致动器基板18上的挡条70的上面涂抹粘接剂210。

而后，如图45B所示，在使粘接剂210硬化前，把光波导板12按压在致动器基板18上的挡条70上，在使光波导板12和致动器基板18在相互接近的方向上加压之后，在该状态下使粘接剂210硬化直至完成。

这种情况下，因为可以分别用独立的工序形成象素结构102和挡条70，所以与象素结构102和挡条70有关的材料选择范围宽，可以降低制造成本和工时数。另外，因为在平坦度高的板材200上形成象素结构102，所以可以使象素结构102的大小一致。

以下，参照图46A～图47B说明第9制造方法。该第9制造方法，是在致动器基板18上形成象素结构102，在板材200上形成挡条70，并在加压粘合致动器基板18和板材200之后，除去板材200，加压粘贴光波导板12的方法。

首先，如图46A所示，在板材200中，在与多个象素对应的位置以外的位置上形成挡条70之后，如图46B所示，在致动器基板18的各致动器部分14上形成象素结构102。其后，在被形成在板材200上的挡条70的下面用例如膜形成法涂抹粘接剂212。粘接剂212不仅涂抹在挡条70的上面，也可以涂抹在致动器基板18的致动器部分14以外的地方。

接着，如图46C所示，在使致动器基板18上的象素结构102硬化之前，粘合致动器基板18的形成有上述象素结构102的面和板材200的形成有上述挡条70的面，在使板材200和致动器基板18在相互接近的方向上加压之后，在该状态下使象素结构102硬化。

其后，如图47A所示，在除去上述板材200将挡条70转印到致动器基板18上之后，用例如膜形成法在致动器基板18上的挡条70的上面涂抹粘接剂210。

而后，如图47B所示，在使粘接剂210硬化之前，把光波导板12按压在致动器基板18上的挡条70上，在使光波导板12和致动器基板18在相互接近的方向上加压之后，在该状态下使粘接剂210硬化直至完成。

这种情况下，因为可以分别用独立的工序形成象素结构102和挡条70，所以与象素结构102和挡条70有关的材料的选定范围宽，可以降低制造成本和工时数。另外，因为在平坦度高的板材200上形成挡条70，所以可以使挡条70的高度严格一致。而且，在象素结构102的形成中，因为不存在障碍物(挡条70等)，所以可以高精度地形成象素结构102。

该第9制造方法，尤其适合于，如图13所示，具有带状开口220的挡条70，和如图14所示，形成线状的挡条70的情况下。即，对薄膜进行打孔加工形成带状开口220，或者将薄膜细细地切断制成线状。

其后，如图48所示，利用液体(例如水)的表面张力将由薄膜构成的挡条70对着板材200粘合。以后，继续图46A所示的工序。这种情况下，因为挡条70只靠液体的表面张力吸附在板材200上，所以其后可以简单地除去板材200。

以下，参照图49A～图50B说明第10制造方法。该第10制造方法，是在致动器基板18上形成象素结构102之后，通过加压将致动器基板18粘合在板部件230上设置有多个尺寸确定部件232的模子234上从而确定象素结构102的尺寸，其后，再拆下模子234，在致动器基板18上形成挡条70之后，加压粘贴光波导板12的方法。

首先，如图49A所示，在致动器基板18的各致动器部分14上形成象素结构102。

其后，如图49B所示，在板部件230的一个面上，使用形成有多个和应该形成在上述致动器基板18上的挡条70高度大致相同的尺寸确定部件232的模子234，粘合该模子234的形成有尺寸确定部件232的面和致动器基板18的形成有上述象素结构102的面，在使模子234和致动器基板18在相互接近的方向上加压之后，在该状态下使象素结构102硬化。

接着，如图49C所示，在拆下上述模子234之后，如图50A所示，在致动器基板18中，在致动器部分14以外的位置上形成多个挡条70。其后，用例如膜形成法在致动器基板18上的挡条70的上面涂抹粘接剂210。

而后，如图50所示，在使粘接剂210硬化之前，把光波导板12按压在致动器基板18上的挡条70上，在使光波导板12和致动器基板18在相互接近的方向上加压之后，在该状态下使粘接剂210硬化直至完成。

在该第10制造方法中，如果用例如金属等的有刚性的部件构成上述模子234，则可以通过该模子234和致动器基板18的加压粘合降低形成有象素结构102的致动器基板18的弯曲，在其后的挡条70的形成工序中，可以高精度地形成挡条70。

以下，参照图51A～52B说明第11制造方法。该第11制造方法，是在致动器基板18上形成象素结构102之后，通过加压粘合在板部件230上设置有多个尺寸确定部件232的模子234和上述致动器基板18确定象素结构102的尺寸，在拆下模子234之后，在光波导板12上形成挡条70，并加压粘合该光波导板12和致动器基板18的方法。

首先，如图51所示，在致动器基板18的各致动器部分14上形成象素结构102。

其后，如图51B所示，在板部件230的一个面上，使用形成有多个和应该形成在上述致动器基板18上的挡条70高度大致相同的尺寸确定部件2332的模子234，粘合该模子234的形成有尺寸确定部件232的面和致动器基板18的形成有上述象素结构102的面，在使模子234和致动器基板18在相互接近的方向上加压之后，在该状态下使象素结构102硬化。

接着，如图51C所示，在拆下上述模子234之后，如图52A所示，在光波导板12中，在与多个象素对应的位置以外的位置上形成挡条70之后，用例如膜形成法在板材上的挡条70的下面涂抹粘接剂212。

而后，如图52B所示，在使粘接剂212硬化之前，粘合致动器基板18的形成有上述象素结构102的面和光波导板12的形成有上述挡条70的面，在使光波导板12和致动器基板18在相互接近的方向上加压之后，在该状态下使粘接剂212硬化直至完成。

即使在该第11制造方法中，如果也是用例如金属等的有刚性的部件构成模子234，则可以通过该模子234和致动器基板18的加压粘合降低形成有象素结构102的致动器基板18的弯曲，可以高精度地进行其后的和光波导板12的粘合。

在上述光波导板12上也可以有间隔形成层50。这种情况下，通过调节挡条70的高度和尺寸确定部件232的高度的差就可以容易调整间隔量。

以下，参照图53A～图54B说明第12制造方法。该第12制造方法，是在致动器基板18上形成象素结构102，在板部件230上设置有多个尺寸部件232的模子234上形成挡条70，通过加压粘合致动器基板18和模子234确定挡条70和象素结构102的尺寸，其后，在拆下模子234，在致动器基板18上转印挡条70之后，粘贴光波导板12的方法。

首先，如图53A所示，在上述模子234的形成有尺寸确定部件232的面中，是没有形成尺寸确定部件232的部分，并且，在与多个象素对应的位置以外的位置上形成多个挡条70。其后，用例如膜形成法在形成于模子234上的挡条70的下面上涂抹粘接剂212。

另外，在致动器基板18的各致动器部分14上形成象素结构102。

接着，如图53B所示，在使致动器基板18上的象素结构102硬化之前，粘合致动器基板18的形成有上述象素结构102的面和模子234的形成有上述挡条70的面，在使模子234和致动器基板18在相互接近的方向上加压之后，在该状态下使象素结构102硬化。

其后，如图53C所示，在除去上述模子234将挡条70转印到致动器基板上之后，如图54A所示，用例如膜形成方法在致动器基板18上的挡条70的上面涂抹粘接剂210。

而后，如图54B所示，在使粘接剂210硬化之前，把光波导板12按压在致动器基板18上的挡条70上，在使光波导板12和致动器基板18在相互接近的方向上加压之后，在该状态下使粘接剂210硬化直至完成。

这种情况下，如果用例如金属等的有刚性的部件构成上述模子234，则可以通过该模子234和致动器基板18的粘贴降低形成有象素结构102的致动器基板18的弯曲，可以高精度地形成挡条70以及象素结构102。

以下，参照图55A～图56B说明第13制造方法。该第13制造方法，是在致动器基板18上形成象素结构102和挡条70，通过加压粘合该致动器基板18和在板部件230上设置有多个尺寸确定部件232的模子234确定挡条70和象素结构102的尺寸，其后，拆下模子234，粘贴光波导板12的方法。

首先，如图55A所示，在致动器基板18的一主面中，用例如膜形成法在没有形成致动器部分14的部分上形成挡条70，用例如膜形成法在致动器基板18的各致动器部分14上形成象素结构102。

其后，如图55B所示，在使上述致动器基板18上的挡条70以及象素结构102硬化之前，把模子234按压在致动器基板18上的挡条70以及象素结构102上，在使模子和致动器基板18在相互接近的方向上加压之后，在该状态下使挡条70和象素结构102硬化。

接着，如图55C所示，在拆下上述模子234之后，如图56A所示，用例如膜形成法在致动器基板18上的挡条70的上面涂抹粘接剂210。

而后，如图56B所示，在使粘接剂210硬化之前，把光波导板12按压在致动器基板18上的挡条70上，在使光波导板12和致动器基板18在相互接近的方向上加压之后，在该状态下使粘接剂210硬化直至完成。

这种情况下，如果用例如金属等的有刚性的材料构成上述模子234，就可以通过该模子234和致动器基板18的加压粘贴降低形成有象素结构102和挡条70的致动器基板18的弯曲，可以高精度地形成挡条70以及象素结构102。

以下，参照图57A～58B说明第14制造方法。该第14制造方法，是在致动器基板18上形成挡条70，在板部件230上设置有多个尺寸确定部件232的模子234上形成象素结构102，通过加压粘合致动器基板18和模子234确定挡条70和象素结构102的尺寸，其后，拆下模子234，将象素结构102转印到致动器基板18上之后，粘贴光波导板12的方法。

首先，如图57A所示，在模子234的形成有尺寸确定部件232的面中，是在没有形成该尺寸确定部件232的部分，并且，在与多个象素对应的位置上形成象素结构102，在致动器基板18中，在上述致动器部分14以外的位置上形成多个挡条70。

其后，如图57B所示，在使被形成在致动器基板18上的挡条70和被形成在模子234上的象素结构102硬化之前，使模子234的形成有上述象素结构102的面和致动器基板18的形成有上述挡条70的面粘合，在使模子234和致动器基板18在相互接近的方向上加压之后，在该状态下使挡条70和象素结构102硬化。

其后，如图57C所示，在除去上述模子234使象素结构102转印到致动器基板18上之后，如图58A所示，用例如膜形成法在致动器基板18上的挡条70的上面涂抹粘接剂210。

而后，如图58B所示，在使粘接剂210硬化之前，把光波导板12按压在致动器基板18上的挡条70上，在使光波导板12和致动器基板18在相互接近的方向上加压之后，在该状态下使粘接剂210硬化直至完成。

这种情况下，如果用例如金属等的有刚性的部件构成上述模子234，就可以通过该模子234和致动器基板18的加压粘合降低形成有象素结构102的致动器基板18的弯曲，可以高精度地形成挡条70以及象素结构102。

以下，参照图59A～图60B说明第15制造方法。该第15制造方法，是在板部件230上设置有多个尺寸确定部件232的模子234上形成挡条70和象素结构102，通过加压粘合该模子234和致动器基板18确定挡条70和象素结构102的尺寸，其后，在拆下模子234，使挡条70和象素结构102转印到致动器基板18上之后，粘贴光波导板12的方法。

首先，如图59A所示，在模子234的形成有尺寸确定部件232的面中，是在没有形成尺寸确定部件232的部分，并且，在与多个象素对应的位置以外的位置上形成多个挡条70，在该模子234的形成有上述尺寸确定部件232的面中，是在没有形成尺寸确定部件232的部分，并且，在与多个象素对应的位置上形成象素结构102。

其后，如图59B所示，在使被形成在模子234上的挡条70以及象素结构102硬化之前，使模子234和致动器基板18粘合，在使模子234和致动器基板18在相互接近的方向上加压之后，在该状态下使挡条70和象素结构102硬化。

其后，如图59C所示，在除去上述模子234使挡条70和象素结构102转印到致动器基板18上之后，如图60A所示，用例如膜形成法在致动器基板18上的挡条70上面涂抹粘接剂210。

而后，如图60B所示，在使粘接剂210硬化之前，把光波导板12按压在致动器基板18上的挡条70上，在使光波导板12和致动器基板18在相互接近的方向上加压之后，在该状态下使粘接剂210硬化直至完成。

这种情况下，如果用例如金属等的有刚性的部件构成上述模子，就可以通过该模子234和致动器基板18的加压粘合降低致动器基板18的弯曲，可以对致动器基板18高精度地转印挡条70以及象素结构102。

以下，参照图61A～图62B说明第16制造方法。该第16制造方法，是在一体地具有挡条70的致动器基板18上形成象素结构102之后，将板材200粘合在致动器基板18上，其后，除去板材200，粘贴光波导板12的方法。

首先，如图61A所示，在致动器部分14以外的位置上一体地具有多个挡条70的致动器基板18的各致动器部分14上形成象素结构102。

其后，如图61B所示，在使致动器基板18上的象素结构102硬化之前，把板材200按压在致动器基板18上的挡条70以及象素结构102上，在使板材200和致动器基板18在相互接近的方向上加压之后，在该状态下使象素结构102硬化。

其后，如图62A所示，在除去上述板材200之后，用例如膜形成法在致动器基板18上的挡条70上面涂抹粘接剂210。

而后，如图62B所示，在使粘接剂210硬化之前，把光波导板12按压在致动器基板18上的挡条70上，在使光波导板12和致动器基板18在相互接近的方向上加压之后，在该状态下使粘接剂210硬化直至完成。

这种情况下，作为致动器基板18，因为使用预先一体地具有挡条70的致动器基板18，所以例如在搬运致动器基板18时和保管时，可以用上述挡条70保护被形成该致动器基板18上的致动器部分14上。另外，与单独形成挡条的情况相比，可以省掉使挡条70硬化的工序，可以实现削减工时数。

在上述各实施例中，也可以将挡条70设置成多层构造。这种情况下，除了使用膜形成法形成多层构造的挡条70之外，例如也可以用组合陶瓷烧结法和上述膜形成法的方法形成多层构造的挡条。多层构造的挡条70，在间隔量的调整中有利。

另外，例如当在挡条70上涂抹粘接剂的情况下，由于使用例如有光吸收性的粘接剂因此用该粘接剂可以起到间隔形成层50的作用，当在象素结构102上或者致动器部分14上涂抹粘接剂的情况下，通过使用例如有光反射性的粘接剂就可以使该粘接剂具有作为象素结构102的一部分的功能。

进而，涉及本发明的显示装置及其制造方法，并不限于上述的实施例，在不脱离本发明的主旨的前提下，可以采用各种的构成。

如上所述，如果采用涉及本发明的显示装置及其制造方法，则可以起到以下的效果。

(1)可以容易形成光波导板和象素结构的间隙(间隔)，并且可以在全部象素中均匀。

(2)可以容易控制上述间隔的大小。

(3)可以防止象素结构向光波导板的粘贴，并可以有效地实现反应速度的高速度化。

(4)在规定的象素结构与光波导板接触时，可以平滑地形成象素结构的接触面(和光波导板的接触面)，使得可以高效率地将光导入该象素结构。

(5)可以确保象素的反应速度。

(6)可以得到整个象素的均匀的亮度。

(7)可以提高象素的亮度。

Claims (40)

1、一种显示装置，其特征在于具备：导入光的光波导板；致动器基板，相对该光波导板的一个面设置，并且排列有与多个象素对应数量的致动器部分；象素结构，形成在上述致动器基板的各致动器部分上；挡条，形成在上述光波导板和上述致动器基板之间的上述象素结构以外的部分上。

2、如权利要求1所述的显示装置，其特征在于：上述致动器部分具备：形状保持层；具有形成在该形状保持层上的至少一对电极的动作部分；支撑该动作部分的振动部分；可以振动地支撑该振动部分的固定部分。

3、如权利要求1或者2所述的显示装置，其特征在于：上述挡条固定在上述光波导板上。

4、如权利要求1或者2所述的显示装置，其特征在于：在上述光波导板和挡条之间设置有间隔形成层。

5、如权利要求1～4的任意1项所述的显示装置，其特征在于：上述挡条，形成在各象素结构的四方。

6、如权利要求1～5的任意1项所述的显示装置，其特征在于：上述挡条至少具有包围1个象素结构的窗部分。

7、如权利要求1～5的任意1项所述的显示装置，其特征在于：上述挡条具有沿着上述象素结构的排列方向延伸，并包围上述象素结构的排列的带状开口。

8、如权利要求1～5的任意1项所述的显示装置，其特征在于：上述挡条被形成沿着上述象素结构的排列方向延伸的线状。

9、如权利要求1～8的任意1项所述的显示装置，其特征在于：上述挡条和上述致动器基板一体形成。

10、如权利要求1～8的任意1项所述的显示装置，其特征在于：上述挡条用沿着上述象素结构的排列方向延伸的金属线部件构成。

11、如权利要求1～10的任意1项所述的显示装置，其特征在于：在上述象素结构的表面上形成有凹部分。

12、如权利要求1～11的任意1项所述的显示装置，其特征在于：在上述象素结构的表面上形成有台阶高差。

13、如权利要求1～12的任意1项所述的显示装置，其特征在于：上述象素结构的表面是凹形状。

14、一种显示装置的制造方法，其特征在于具有以下工序：挡条形成工序，在排列有与多个象素对应数量的致动器部分的致动器基板中，在上述致动器部分以外的位置上形成多个挡条；象素形成工序，在上述致动器基板的各致动器部分上形成象素结构；加压工序，至少在上述象素结构未硬化的状态下加压粘贴光波导板之后，至少使上述象素结构硬化。

15、一种显示装置的制造方法，其特征在于具有以下工序：挡条形成工序，在光波导板中，在与多个象素对应的位置以外的位置上形成多个挡条；象素形成工序，在光波导板中，在与多个象素对应的位置上形成象素结构；加压工序，把排列有与多个象素对应数量的致动器部分的致动器基板粘贴在上述挡条以及象素结构上，在使上述光波导板和致动器基板在相互接近的方向上加压。

16、一种显示装置的制造方法，其特征在于具有以下工序：挡条形成工序，在排列有与多个象素对应数量的致动器部分的致动器基板中，在上述致动器部分以外的位置上形成多个挡条；象素形成工序，在光波导板中，在与多个象素对应的位置上形成象素结构；加压工序，使上述致动器基板的形成有上述挡条的面和上述光波导板的形成有上述象素结构的面粘合，并使上述光波导板和致动器基板在相互接近的方向上加压。

17、一种显示装置的制造方法，其特征在于具有以下工序：挡条形成工序，在光波导板中，在与多个象素对应的位置以外的位置上形成多个挡条；象素形成工序，在排列有与多个象素对应数量的致动器部分的致动器基板中，在各致动器部分上形成象素结构；加压工序，使上述致动器基板的形成有上述象素结构的面和上述光波导板的形成有上述挡条的面粘合，并在使上述光波导板和致动器基板在相互接近的方向上加压。

18、一种显示装置的制造方法，其特征在于具有以下工序：象素形成工序，在排列有与多个象素对应数量的致动器部分，并且在上述致动器部分以外的位置上一体地具有多个挡条的致动器基板的各致动器部分上形成象素结构；加压工序，至少在上述象素结构未硬化的状态下加压粘贴光波导板之后，至少使上述象素结构硬化。

19、一种显示装置的制造方法，其特征在于具有以下工序：挡条形成工序，在排列有与多个象素对应数量的致动器部分的致动器基板中，在上述致动器部分以外的位置上形成多个挡条；象素形成工序，在上述致动器基板的各致动器部分上形成象素结构；第1粘贴工序，至少在上述象素结构未硬化的状态下粘贴板材；加压工序，在使上述致动器基板和板材在相互接近的方向上加压之后，至少使上述象素结构硬化；第2粘贴工序，在除去上述板材之后，至少在上述挡条上粘贴光波导板。

20、一种显示装置的制造方法，其特征在于具有以下工序：挡条形成工序，在板材中，在与多个象素对应的位置以外的位置上形成多个挡条；象素形成工序，在板材中，在与多个象素对应的位置上形成象素结构；第1粘贴工序，把排列有与多个象素对应数量的致动器部分的致动器基板粘贴在上述挡条以及象素结构上；加压工序，在使上述板材和致动器基板在相互接近的方向上加压；第2粘贴工序，在除去上述板材将上述挡条以及上述象素结构转印到上述致动器基板之后，至少在上述挡条上粘贴光波导板。

21、一种显示装置的制造方法，其特征在于具有以下工序：挡条形成工序，在排列有与多个象素对应数量的致动器部分的致动器基板中，在上述致动器部分以外的位置上形成多个挡条；象素形成工序，在板材中，在与多个象素对应的位置上形成象素结构；第1粘贴工序，粘合上述致动器基板的具有上述挡条的面和上述板材的形成有上述象素结构的面；加压工序，在使上述板材和致动器基板在相互接近的方向上加压；第2粘贴工序，在除去上述板材将上述象素结构转印到致动器基板上后，至少在上述挡条上粘贴光波导板。

22、一种显示装置的制造方法，其特征在于具有以下工序：象素形成工序，在排列有与多个象素对应数量的致动器部分的致动器基板中，在各致动器部分上形成象素结构；挡条形成工序，在板材中，在与多个象素对应的位置以外的位置上形成多个挡条；第1粘贴工序，粘合上述致动器基板的形成有上述象素结构的面和上述板材的形成有上述挡条的面；加压工序，在使上述板材和致动器基板在相互接近的方向上加压；第2粘贴工序，在除去上述板材将上述挡条转印到上述致动器基板上之后，至少在上述挡条上粘贴光波导板。

23、一种显示装置的制造方法，其特征在于具有以下工序：象素形成工序，在排列有与多个象素对应数量的致动器部分，并且在上述致动器部分以外的位置上一体地具有多个挡条的致动器基板的各致动器部分上形成象素结构；第1粘贴工序，至少在上述象素结构未硬化的状态下粘贴板材；加压工序，在使上述致动器基板和板材在相互接近的方向上加压之后，至少使上述象素结构硬化；第2粘贴工序，在除去上述板材之后，至少在上述挡条上粘贴光波导板。

24、一种显示装置的制造方法，其特征在于具有以下工序：象素形成工序，在排列有与多个象素对应数量的致动器部分的致动器基板中，在各致动器部分上形成象素结构；第1粘贴工序，在板部件的一个面上，用形成有多个和应该被形成在上述致动器基板上的挡条高度大致相同的尺寸确定部件的模子，粘合上述模子的形成有上述尺寸确定部件的面和上述致动器基板的形成有上述象素结构的面；加压工序，在使上述模子和致动器基板在相互接近的方向上加压；挡条形成工序，在拆下上述模子后，在上述致动器基板中，在上述致动器部分以外的位置上形成多个挡条；第2粘贴工序，在上述致动器基板的至少上述挡条上粘贴光波导板。

25、一种显示装置的制造方法，其特征在于具有以下工序：象素形成工序，在排列有与多个象素对应数量的致动器部分的致动器基板中，在各致动器部分上形成象素结构；第1粘贴工序，在板部件的一个面上，用形成有多个和应该被形成在上述致动器基板上的挡条高度大致相同的尺寸确定部件的模子，粘合上述模子的形成有上述尺寸确定部件的面和上述致动器基板的形成有上述象素结构的面；加压工序，在使上述模子和致动器基板在相互接近的方向上加压；挡条形成工序，在拆下上述模子后，在光波导板中，在与上述多个象素对应的位置以外的位置上形成多个挡条；第2粘贴工序，粘合上述致动器基板的形成有上述象素结构的面和上述光波导板的形成有上述挡条的面。

26、一种显示装置的制造方法，其特征在于具有以下工序：象素形成工序，在排列有与多个象素对应数量的致动器部分的致动器基板中，在各致动器部分上形成象素结构；挡条形成工序，在板部件的一个面上，在使用形成有多个和应该被形成在上述致动器基板上的挡条高度大致相同的尺寸确定部件的模子，在形成有该模子的上述尺寸确定部件的面中未形成上述尺寸确定部件的部分，并且，在与多个象素对应的位置以外的位置上形成多个挡条；第1粘贴工序，粘合形成有上述模子的上述尺寸确定部件和挡条的面和上述致动器基板的形成有上述象素结构的面；加压工序，在使上述模子和致动器基板在相互接近的方向上加压；第2粘贴工序，在拆下上述模子将上述挡条转印在上述致动器基板上之后，在上述致动器基板的至少上述挡条上粘贴光波导板。

27、一种显示装置的制造方法，其特征在于具有以下工序：挡条形成工序，在排列有与多个象素对应数量的致动器部分的致动器基板中，在上述致动器部分以外的位置上形成多个挡条；象素形成工序，在上述致动器基板的各致动器部分上形成象素结构；第1粘贴工序，在板部件的一个面上，使用形成有多个和应该被形成在上述致动器基板上的挡条高度大致相同的尺寸确定部件的模子，粘合形成有该模子的上述尺寸确定部件的面和上述致动器基板的形成有上述挡条和上述象素结构的面；加压工序，在使上述模子和致动器基板在相互接近的方向上加压；第2粘贴工序，在拆下上述模子后，在上述致动器基板的至少上述挡条上粘贴光波导板。

28、一种显示装置的制造方法，其特征在于具有以下工序：挡条形成工序，在排列有与多个象素对应数量的致动器部分的致动器基板中，在上述致动器部分以外的位置上形成多个挡条的工序；象素构成工序，在板部件的一个面上，在使用形成有多个和应该被形成在上述致动器基板上的挡条高度大致相同的尺寸确定部件的模子，在形成有该模子的上述尺寸确定部件的面中未形成上述尺寸确定部件的部分，并且，在与多个象素对应的位置上形成象素结构；第1粘贴工序，粘合形成有上述模子的上述尺寸确定部件和象素结构的面和上述致动器基板的形成有上述挡条的面；加压工序，在使上述模子和致动器基板在相互接近的方向上加压；第2粘贴工序，在拆下上述模子将上述象素结构转印在上述致动器基板上之后，在上述致动器基板的至少上述挡条上粘贴光波导板。

29、一种显示装置的制造方法，其特征在于具有以下工序：挡条形成工序，在板部件的一个面上，在使用形成有多个和应该被形成在上述致动器基板上的挡条高度大致相同的尺寸确定部件的模子，在形成上述模子的上述尺寸确定部件的面中未形成上述尺寸确定部件的部分，并且，在与多个象素对应的位置以外的位置上形成多个挡条；象素形成工序，在形成有该模子的上述尺寸确定部件的面中未形成上述尺寸确定部件的部分，并且，在与多个象素对应的位置上形成象素结构；第1粘贴工序，将排列有与多个象素对应数量的致动器部分的致动器基板粘贴在上述模子上的上述挡条以及象素结构上；加压工序，在使上述模子和致动器基板在相互接近的方向上加压；第2粘贴工序，在拆下上述模子将上述挡条以及上述象素结构转印到上述致动器基板上之后，至少在上述挡条上粘贴光波导板。

30、如权利要求20、22、25、26或者29所述的显示装置的制造方法，其特征在于：上述挡条的形成是通过利用液体的表面张力粘合构成上述挡条的部件来进行的。

31、如权利要求20、22、25、26或者29所述的显示装置的制造方法，其特征在于：上述挡条形成工序包含在上述板材的所需位置上形成上述挡条之后，使该挡条硬化的工序。

32、如权利要求14～31的任意1项所述的显示装置的制造方法，其特征在于：上述加压工序，包含在加压上述致动器基板和应该和该致动器基板一同加压的部件的状态下，至少使上述象素结构硬化的工序。

33、如权利要求14～32的任意1项所述的显示装置的制造方法，其特征在于：上述光波导板，在与上述挡条对应的位置上具有间隔形成层。

34、如权利要求14～32的任意1项所述的显示装置的制造方法，其特征在于：在粘贴上述光波导板之前，预先在上述挡条上形成间隔形成层。

35、如权利要求14～34的任意1项所述的显示装置的制造方法，其特征在于：在进行上述致动器基板和应该和该致动器基板一同加压的部件的加压时，进行用于间隔形成的前处理，在其后的至少上述象素结构的硬化中，在上述象素结构和上述光波导板之间形成规定的间隔。

36、如权利要求14～35的任意1项所述的显示装置的制造方法，其特征在于：在上述致动器基板和应该和该致动器基板一同加压的部件的加压中使用真空封装法。

37、如权利要求14～35的任意1项所述的显示装置的制造方法，其特征在于：在上述致动器基板和应该和该致动器基板一同加压的部件的加压中使用低压加压法。

38、如权利要求19～37的任意1项所述的显示装置的制造方法，其特征在于：作为在上述第1粘贴工序中被粘贴在上述致动器基板上的部件，使用在与上述象素结构对应的位置上分别具有凸部分的部件；在上述第1粘贴工序后的加压工序的加压时，在上述象素结构的表面形成与上述凸部分对应的凹部分。

39、如权利要求19～38的任意1项所述的显示装置的制造方法，其特征在于：作为在上述第1粘贴工序中被粘贴在上述致动器基板上的部件，使用在与上述象素结构对应的位置上分别具有凸部分的部件；在上述第1粘贴工序后的加压工序中的加压时，在上述象素结构的表面形成与上述凸部分对应的台阶高差部分。

40、如权利要求19～39的任意1项所述的显示装置的制造方法，其特征在于：作为在上述第1粘贴工序中被粘贴在上述致动器基板上的部件，使用在与上述象素结构对应的位置上分别具有凸形状的部件；在上述第1粘贴工序后的加压工序中的加压时，在上述象素结构的表面形成与上述凸形状对应的凹形状。

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