JP4783675B2 - 反射型表示装置 - Google Patents

Description

本発明は、入力される画像信号の属性に応じて前記アクチュエータ部を選択的に駆動することにより、表示板に前記画像信号に応じた映像を表示させる反射型表示装置に関する。

従来から、表示装置として、陰極線管（ＣＲＴ）や液晶表示装置等の表示装置が知られている。

陰極線管としては、通常のテレビジョン受像機やコンピュータ用のモニタ装置等が知られているが、画面は明るいものの、消費電力が大きく、また、画面の大きさに比較して表示装置全体の奥行きが大きくなるという問題がある。

一方、液晶表示装置は、装置全体を小型化でき、消費電力が少ないという利点があるものの、画面の輝度が劣り、画面視野角度が狭いという問題がある。

更にこれら陰極線管や液晶表示装置においては、カラー画面にする場合、画素数を白黒画面の３倍にしなければならず、このため、装置自体が複雑になり、消費電力がかさみ、コストアップが避けられないという問題もあった。

そこで、本出願人は、前記問題を解決するべく、新規な表示装置を提案した（例えば特許文献１参照）。この表示装置は、図１６に示すように、画素毎に配列されたアクチュエータ部４００を有し、各アクチュエータ部４００は、圧電／電歪層４０２と該圧電／電歪層４０２の上面及び下面にそれぞれ形成された上部電極４０４と下部電極４０６とを具備したアクチュエータ部本体４０８と、該アクチュエータ部本体４０８の下部に配設された振動部４１０と固定部４１２からなるアクチュエータ基板４１４とを有して構成されている。アクチュエータ部本体４０８の下部電極４０６は振動部４１０と接触しており、該振動部４１０により前記アクチュエータ部本体４０８が支持されている。

前記アクチュエータ基板４１４は、振動部４１０及び固定部４１２が一体となってセラミックスから構成され、更に、アクチュエータ基板４１４には、前記振動部４１０が薄肉になるように凹部４１６が形成されている。

また、アクチュエータ部本体４０８の上部電極４０４には、光導波板４１８との接触面積を所定の大きさにするための変位伝達部４２０が接続されている。図１６の例では、前記変位伝達部４２０は、アクチュエータ部４００が静止しているオフ選択状態あるいは非選択状態において、光導波板４１８に近接して配置され、オン選択状態において前記光導波板４１８に光の波長以下の距離で接触するように配置されている。

そして、前記光導波板４１８の例えば端部から光４２２を導入する。この場合、光導波板４１８の屈折率の大きさを調節することにより、全ての光４２２が光導波板４１８の前面及び背面において透過することなく内部で全反射する。この状態で、前記上部電極４０４及び下部電極４０６を通してアクチュエータ部４００に画像信号の属性に応じた電圧信号を選択的に印加して、該アクチュエータ部４００にオン選択、オフ選択及び非選択の各種変位動作を行わせることにより、前記変位伝達部４２０の光導波板４１８への接触・離隔が制御され、これにより、前記光導波板４１８の所定部位の散乱光（漏れ光）４２４が制御されて、光導波板４１８に画像信号に応じた映像の表示がなされる。

そして、この表示装置でカラー表示を行う場合は、例えば三原色の光源を切り替えて、光導波板と変位伝達板との接触時間を発色させる周期に同期させて、三原色の発光時間を制御する、あるいは、三原色の発光時間を発色させる周期に同期させて、光導波板と変位伝達板との接触時間を制御するようにしている。

そのため、この提案例に係る表示装置においては、カラー表示方式に適用させる場合であっても、画素数を白黒画面の場合に比して増加させる必要がないという利点がある。

特開平７−２８７１７６号公報

本発明は、前記提案例に係る表示装置の構成を改良して、外光や光源の光を導入するための構成の簡略化、輝度の向上、コントラストの向上並びに表示画像の画質の向上を図ることができる反射型表示装置を提供することを目的とする。

本発明に係る反射型表示装置は、光が入射される表示板と、該表示板の一方の板面に対向して設けられたアクチュエータ基板と、前記アクチュエータ基板のうち、前記表示板の一方の板面に対向する面に配列された複数のアクチュエータ部と、前記各アクチュエータ部に、前記表示板の一方の板面に対向するように設けられ、それぞれ少なくとも光反射部を有する画素構成体と、前記表示板と前記アクチュエータ基板との間に充填された光吸収性の液体とを具備し、前記アクチュエータ部は、形状保持層と該形状保持層に形成された少なくとも一対の電極とを有するアクチュエータ部本体と、該アクチュエータ部本体を支持する振動部とを有し、前記アクチュエータ基板は、基板層と、該基板層上に形成され、前記アクチュエータ部本体に対応する箇所に空所を有するスペーサ層と、該スペーサ層上に前記空所を塞ぐように形成された薄板層とを有し、前記空所に対応した前記薄板層による薄肉の部分が前記振動部を構成し、前記空所の厚みは２０μｍ以下であり、前記アクチュエータ部の前記一対の電極にオン信号又はオフ信号を印加して、前記アクチュエータ部を駆動することによって、該アクチュエータ部に対応する前記画素構成体を前記表示板に対して接近する方向又は離間する方向に変位するよう前記アクチュエータ部を屈曲変位させて、前記表示板と前記画素構成体間の光吸収性を制御することにより、前記表示板に映像を表示させることを特徴とする。なお、前記表示板は透明性を有することが好ましい。

これにより、外光や光源からの光を表示板内で全反射させるように導入するのではなく、外光や光源からの光を単純に表示板に対して当てればよいため、外光や光源の光を導入するための構成を大幅に簡略化させることができる。

そして、前記画素構成体が前記表示板に接近する方向に変位することにより、前記表示板と前記画素構成体間における前記光吸収性の液体の厚みが減じることで発光状態とされ、前記画素構成体が前記表示板から離間する方向に変位することにより、前記表示板と前記画素構成体間における前記光吸収性の液体の厚みが増加することで消光状態とされる。

前記画素構成体の変位量は０．１μｍ〜１０μｍ以下であることが好ましい。また、前記光吸収性の液体が充填されている空間内に、複数の前記画素構成体が存在し、前記表示板と前記アクチュエータ基板との間に複数の桟が設けられていてもよい。

なお、前記画素構成体は着色層を有するようにしてもよい。この場合、画素構成体を構成する前記光反射部が着色層を兼ねるようにしてもよい。

更に、着色層として、例えば三原色フィルタや補色フィルタ、あるいは有色散乱体等を用いてもよい。ここで、有色散乱体とは、不透明体で、例えば樹脂等に顔料等の色素を分散させたものをいう。

ここで、光吸収性の液体（以下、便宜的に光吸収体と記す）は、黒色に限定されるわけではない。例えば青色の光吸収体を用いてもよい。この場合、例えば色フィルタを用いない場合を想定したとき、青色の背景に白点が表示されるようにすることができる。また、赤色の色フィルタを併用すれば、青色の背景に赤点を表示することができる。

このようにして、色フィルタと光吸収体の色の組合せで、任意の背景色や表示色を選択することができる。

前記光吸収体としては、顔料や染料の分散された液体、エマルジョン、ゲル、柔軟性のある樹脂材料やそれらの組合せを用いることができる。また、前記液体をスポンジ等に含浸させたものも用いることができる。

液体としては、低い蒸気圧の有機溶剤や油・水に顔料を分散させたものや、着色された染料を用いることができ、一例として、高い電気絶縁性を有するシリコーンオイルに、カーボンブラックを分散させたものが挙げられる。シリコーンオイルとしては、画像表示の切換えが速く行われるために、低粘度のオイルを選択することが好ましい。また、カーボンブラックには、電気絶縁性をより高めるために表面コーティングが施されたものがより好ましく用いられる。

前記光吸収体の光透過性の制御方法としては、アクチュエータ部の変位動作によって、光吸収体の厚み（表示板と画素構成体間の距離）を変化させることが好ましく用いられる。厚みの値やその変化量は、特に限定されるものではないが、それらが０．１μｍ以上、１０μｍ以下が特に好ましく用いられる。

また、画素構成体のうち、光吸収体に面する部分に凹凸を設けてもよい。この凹凸が光吸収体の流路を形成するため、発光／消光の応答性を向上させる効果がある。また、凸型であることも好ましい。

また、画素構成体のうち、光吸収体に面する部分に透明層を設けることも好ましく用いられる。この透明層は、画素構成体の高さを合わせて、例えばアクチュエータ部が自然状態における光吸収体の厚みを均一になるようにする働きをもつ。もちろん、前記透明層に前記凹凸や凸面形状を形成してもよい。

また、光源からの光を表示板に照射することで、発光輝度やコントラストを向上させることができ、視認性を高めることができる。なお、階調表現方式は、面積階調、時間階調、電圧階調のいずれか又はこれらの組合せが好ましく用いられる。

ところで、本発明に係る反射型表示装置は、超薄型、低電力のディスプレイを有利に構成できる特徴を持っている。従って、例えば本表示装置を縦方向及び横方向にそれぞれ複数個配列することによって構成される大画面ディスプレイに有効である。プロジェクタと比較して、投射スペースが不要であり、狭いスペースでも設置が可能である。

しかも、本表示装置の配列個数等を任意に変更することで、通常の長方形のディスプレイのほかにも、横長あるいは縦長、円形状等、様々な形状の画面を形成することができる。また、湾曲させて配列すれば、曲面ディスプレイを形成することもできる。

この大画面ディスプレイの用途としては、薄型、大画面、広視野角の特徴を生かし、駅、病院、空港、図書館、百貨店、ホテル、結婚式場等の待合室やロビー、通路等での公衆向けディスプレイが挙げられる。また、シネマコンプレックスのスクリーン、カラオケボックス、ミニシアターでの利用も挙げられる。また、屋内のみならず、屋外で使用してもよい。

なお、画素構成体として着色層を有する場合においては、該着色層を、画素構成体を構成する光反射部の上部に形成するようにしてもよいし、表示板の表面や裏面に形成してもよい。特に、大型の表示板や枠（格子枠を含む）に、本発明に係る反射型表示装置を多数配列して大画面ディスプレイを構成する場合においては、前記大型の表示板の表面や裏面に着色層を形成するようにしてもよい。また、着色層を有する板やフィルム等を表示板に設けるようにしてもよい。なお、表示板に着色層を設ける場合は、色フィルタであることが好ましい。この場合、画素構成体の方は、着色層として白色散乱体、有色散乱体、色フィルタのいずれを使用してもよいが、特に白色散乱体が好ましい。

以上説明したように、本発明に係る反射型表示装置によれば、光源の光を導入するための構成の簡略化、輝度の向上、コントラストの向上並びに表示画像の画質の向上を図ることができる。

以下、本発明に係る反射型表示装置のいくつかの実施の形態例を図１〜図１５を参照しながら説明する。

第１の実施の形態に係る反射型表示装置１０Ａは、図１に示すように、外光、あるいは図示しない光源からの光、あるいはこれらを組み合わせた光（以下、便宜的に光１８と記す）が照射される表示板２０と、該表示板２０の背面に対向して設けられ、かつ多数のアクチュエータ部２２が画素に対応してマトリックス状あるいは千鳥状に配列された駆動部２４を有して構成されている。

画素の配列構成は、例えば図２に示すように、垂直方向に並ぶ２つのアクチュエータ部２２にて１つのドット２６が構成され、水平方向に並ぶ３つのドット２６（赤色ドット２６Ｒ、緑色ドット２６Ｇ及び青色ドット２６Ｂ）で１つの画素２８が構成されている。更に、この反射型表示装置１０Ａにおいては、画素２８の並びを水平方向に１６個（４８ドット）乃至３２個（９６ドット）、垂直方向に１６個（１６ドット）乃至３２個（３２ドット）としている。なお、１つのアクチュエータ部２２で１つのドット２６を構成してもよいし、２以上のアクチュエータ部２２にて１つのドット２６を構成してもよい。

また、前記反射型表示装置１０Ａにおいては、図１に示すように、各アクチュエータ部２２上に、それぞれ画素構成体３０が積層されている。画素構成体３０は、表示板２０との接触面積を大きくして画素に応じた面積にする機能を有する。

駆動部２４は、例えばセラミックスにて構成されたアクチュエータ基板３２を有し、該アクチュエータ基板３２の各画素２８に応じた位置にアクチュエータ部２２が配設されている。前記アクチュエータ基板３２は、一主面が表示板２０の背面に対向するように配置されており、該一主面は連続した面（面一）とされている。アクチュエータ基板３２の内部には、各画素２８に対応した位置にそれぞれ後述する振動部を形成するための空所３４が設けられている。各空所３４は、アクチュエータ基板３２の他端面に設けられた径の小さい貫通孔３６を通じて外部と連通されている。

前記アクチュエータ基板３２のうち、空所３４の形成されている部分が薄肉とされ、それ以外の部分が厚肉とされている。薄肉の部分は、外部応力に対して振動を受けやすい構造となって振動部３８として機能し、空所３４以外の部分は厚肉とされて前記振動部３８を支持する固定部４０として機能するようになっている。

つまり、アクチュエータ基板３２は、最下層である基板層３２Ａと中間層であるスペーサ層３２Ｂと最上層である薄板層３２Ｃの積層体であって、スペーサ層３２Ｂのうち、アクチュエータ部２２に対応する箇所に空所３４が形成された一体構造体として把握することができる。基板層３２Ａは、補強用基板として機能するほか、配線用の基板としても機能するようになっている。なお、前記アクチュエータ基板３２は、一体焼成であっても、後付けであってもよい。

また、表示板２０とアクチュエータ基板３２との間には、光吸収体１４が充填されている。この例では、光吸収体１４として光吸収性の液体を用いた場合を示している。

ここで、アクチュエータ部２２と画素構成体３０の具体例を図３〜図８に基づいて説明する。なお、図３〜図８の例では、後述する桟４２と表示板２０との間に光遮蔽層４４を設けた場合を示す。

まず、アクチュエータ部２２は、図３に示すように、前記振動部３８と固定部４０のほか、該振動部３８上に直接形成された圧電／電歪層や反強誘電体層等の形状保持層４６と、該形状保持層４６の上面と下面に形成された一対の電極４８（ロウ電極４８ａ及びカラム電極４８ｂ）とからなるアクチュエータ部本体２３を有する。

一対の電極４８は、図３に示すように、形状保持層４６に対して上下に形成した構造や片側だけに形成した構造でもよいし、形状保持層４６の上部のみに一対の電極４８を形成するようにしてもよい。

一対の電極４８を形状保持層４６の上部のみに形成する場合、一対の電極４８の平面形状としては、図４に示すように、多数のくし歯が相補的に対峙した形状としてもよく、その他、特開平１０−７８５４９号公報にも示されているように、渦巻き状や多枝形状等を採用することができる。

形状保持層４６の平面形状を例えば楕円形状とし、一対の電極４８をくし歯状に形成した場合は、図５Ａ及び図５Ｂに示すように、形状保持層４６の長軸に沿って一対の電極４８のくし歯が配列される形態や、図６Ａ及び図６Ｂに示すように、形状保持層４６の短軸に沿って一対の電極４８のくし歯が配列される形態等がある。

そして、図５Ａ及び図６Ａに示すように、一対の電極４８のくし歯の部分が形状保持層４６の平面形状内に含まれる形態や、図５Ｂ及び図６Ｂに示すように、一対の電極４８のくし歯の部分が形状保持層４６の平面形状からはみ出した形態等がある。図５Ｂ及び図６Ｂに示す形態の方がアクチュエータ部２２の屈曲変位において有利である。

ところで、図３に示すように、一対の電極４８として、形状保持層４６の上面に例えばロウ電極４８ａを形成し、形状保持層４６の下面にカラム電極４８ｂを形成した場合においては、図１に示すように、アクチュエータ部２２を表示板２０側に凸となるように、他方向に屈曲変位させることも可能であり、図示しないが、アクチュエータ部２２を空所３４側に凸となるように一方向に屈曲変位させることも可能である。

一方、画素構成体３０は、例えば図１に示すように、アクチュエータ部本体２３上に形成された変位伝達部としての光反射層５０と色フィルタ５２の積層体で構成することができる。この例では、光反射層５０として白色散乱体を用いた場合を示す。なお、色フィルタ５２に代えて有色散乱体を用いてもよい。また、光反射層として有色散乱体を用いてもよい。もちろん、前記色フィルタ５２や有色散乱体を形成しない場合は、画素構成体３０は、光反射層５０にて構成されることになる。

また、この反射型表示装置１０Ａにおいては、図１に示すように、表示板２０とアクチュエータ基板３２との間において、画素構成体３０以外の部分に形成された桟４２を有して構成され、桟４２の材質は、熱、圧力に対して変形しないものが好ましい。

桟４２は、例えば画素構成体３０の四方に形成することができる。ここで、画素構成体３０の四方とは、図７に示すように、例えば画素構成体３０が平面ほぼ矩形あるいは楕円であれば、各コーナー部に対応した位置等が挙げられ、１つの桟４２が隣接する画素構成体３０と共有される形態を示す。

桟４２の他の例としては、図８に示すように、桟４２に少なくとも１つの画素構成体３０を囲む窓部４２ａを有するように構成してもよい。代表的な構成例としては、例えば、桟４２自体を板状に形成し、更に画素構成体３０に対応した位置に画素構成体３０の外形形状に類似した形状の窓部（開口）４２ａを形成する。これによって、画素構成体３０の側面全部が桟４２によって囲まれたかたちになり、アクチュエータ基板３２と表示板２０との固着が更に強固なものとなる。

ここで、反射型表示装置１０Ａの各構成部材、特に各構成部材の材料等の選定について説明する。

まず、表示板２０に照射される光１８としては、紫外域、可視域、赤外域のいずれでもよい。図示しない光源としては、白熱電球、重水素放電ランプ、蛍光ランプ、水銀ランプ、メタルハライドランプ、ハロゲンランプ、キセノンランプ、トリチウムランプ、発光ダイオード、レーザー、プラズマ光源、熱陰極管（又はそのフィラメント状熱陰極の代わりにカーボンナノチューブ−フィールドエミッタを配置したもの）、冷陰極管等が用いられる。

振動部３８は、高耐熱性材料であることが好ましい。その理由は、アクチュエータ部２２を有機接着剤等の耐熱性に劣る材料を用いずに、固定部４０によって直接振動部３８を支持させる構造とする場合、少なくとも形状保持層４６の形成時に、振動部３８が変質しないようにするため、振動部３８は、高耐熱性材料であることが好ましい。

また、振動部３８は、アクチュエータ基板３２上に形成される一対の電極４８におけるロウ電極４８ａに通じる配線とカラム電極４８ｂに通じる配線（例えばデータ線）との電気的な分離を行うために、電気絶縁材料であることが好ましい。

従って、振動部３８は、高耐熱性の金属あるいはその金属表面をガラス等のセラミック材料で被覆したホーロウ等の材料であってもよいが、セラミックスが最適である。

振動部３８を構成するセラミックスとしては、例えば安定化された酸化ジルコニウム、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化チタン、スピネル、ムライト、窒化アルミニウム、窒化珪素、ガラス、これらの混合物等を用いることができる。安定化された酸化ジルコニウムは、振動部３８の厚みが薄くても機械的強度が高いこと、靭性が高いこと、形状保持層４６及び一対の電極４８との化学反応性が小さいこと等のため、特に好ましい。安定化された酸化ジルコニウムとは、安定化酸化ジルコニウム及び部分安定化酸化ジルコニウムを包含する。安定化された酸化ジルコニウムでは、立方晶等の結晶構造をとるため、相転移を起こさない。

一方、酸化ジルコニウムは、１０００℃前後で、単斜晶と正方晶とで相転移し、この相転移のときにクラックが発生する場合がある。安定化された酸化ジルコニウムは、酸化カルシウム、酸化マグネシウム、酸化イットリウム、酸化スカンジウム、酸化イッテルビウム、酸化セリウム又は希土類金属の酸化物等の安定化剤を、１〜３０モル％含有する。振動部３８の機械的強度を高めるために、安定化剤が酸化イットリウムを含有することが好ましい。このとき、酸化イットリウムは、好ましくは１．５〜６モル％含有し、更に好ましくは２〜４モル％含有することであり、更に０．１〜５モル％の酸化アルミニウムが含有されていることが好ましい。

また、結晶相は、立方晶＋単斜晶の混合相、正方晶＋単斜晶の混合相、立方晶＋正方晶＋単斜晶の混合相等であってもよいが、中でも主たる結晶相が、正方晶、又は正方晶＋立方晶の混合相としたものが、強度、靭性、耐久性の観点から最も好ましい。

振動部３８がセラミックスからなるとき、多数の結晶粒が振動部３８を構成するが、振動部３８の機械的強度を高めるため、結晶粒の平均粒径は、０．０５〜２μｍであることが好ましく、０．１〜１μｍであることが更に好ましい。

固定部４０は、セラミックスからなることが好ましいが、振動部３８の材料と同一のセラミックスでもよいし、異なっていてもよい。固定部４０を構成するセラミックスとしては、振動部３８の材料と同様に、例えば、安定化された酸化ジルコニウム、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化チタン、スピネル、ムライト、窒化アルミニウム、窒化珪素、ガラス、これらの混合物等を用いることができる。

特に、この反射型表示装置１０Ａで用いられるアクチュエータ基板３２は、酸化ジルコニウムを主成分とする材料、酸化アルミニウムを主成分とする材料、又はこれらの混合物を主成分とする材料等が好適に採用される。その中でも、酸化ジルコニウムを主成分としたものが更に好ましい。

なお、焼結助剤として粘土等を加えることもあるが、酸化珪素、酸化ホウ素等のガラス化しやすいものが過剰に含まれないように、助剤成分を調節する必要がある。なぜなら、これらガラス化しやすい材料は、アクチュエータ基板３２と形状保持層４６とを接合させる上で有利ではあるものの、アクチュエータ基板３２と形状保持層４６との反応を促進し、所定の形状保持層４６の組成を維持することが困難となり、その結果、素子特性を低下させる原因となるからである。

即ち、アクチュエータ基板３２中の酸化珪素等は重量比で３％以下、更に好ましくは１％以下となるように制限するとよい。ここで、主成分とは、重量比で５０％以上の割合で存在する成分をいう。

形状保持層４６は、上述したように、圧電／電歪層や反強誘電体層等を用いることができるが、形状保持層４６として圧電／電歪層を用いる場合、該圧電／電歪層としては、例えば、ジルコン酸鉛、マグネシウムニオブ酸鉛、ニッケルニオブ酸鉛、亜鉛ニオブ酸鉛、マンガンニオブ酸鉛、マグネシウムタンタル酸鉛、ニッケルタンタル酸鉛、アンチモンスズ酸鉛、チタン酸鉛、チタン酸バリウム、マグネシウムタングステン酸鉛、コバルトニオブ酸鉛等、又はこれらの何れかの組合せを含有するセラミックスが挙げられる。

主成分がこれらの化合物を５０重量％以上含有するものであってもよいことはいうまでもない。また、前記セラミックスのうち、ジルコン酸鉛を含有するセラミックスは、形状保持層４６を構成する圧電／電歪層の構成材料として最も使用頻度が高い。

また、圧電／電歪層をセラミックスにて構成する場合、前記セラミックスに、更に、ランタン、カルシウム、ストロンチウム、モリブデン、タングステン、バリウム、ニオブ、亜鉛、ニッケル、マンガン等の酸化物、若しくはこれらの何れかの組合せ、又は他の化合物を、適宜、添加したセラミックスを用いてもよい。

例えば、マグネシウムニオブ酸鉛とジルコン酸鉛及びチタン酸鉛とからなる成分を主成分とし、更にランタンやストロンチウムを含有するセラミックスを用いることが好ましい。

圧電／電歪層は、緻密であっても、多孔質であってもよく、多孔質の場合、その気孔率は４０％以下であることが好ましい。

形状保持層４６として反強誘電体層を用いる場合、該反強誘電体層としては、ジルコン酸鉛を主成分とするもの、ジルコン酸鉛とスズ酸鉛とからなる成分を主成分とするもの、更にはジルコン酸鉛に酸化ランタンを添加したもの、ジルコン酸鉛とスズ酸鉛とからなる成分に対してジルコン酸鉛やニオブ酸鉛を添加したものが望ましい。

特に、下記の組成のようにジルコン酸鉛とスズ酸鉛からなる成分を含む反強誘電体膜をアクチュエータ部２２のような膜型素子として適用する場合、比較的低電圧で駆動することができるため、特に好ましい。

Ｐｂ_0.99Ｎｂ_0.02［（Ｚｒ_xＳｎ_1-x）_1-yＴｉ_y］_0.98Ｏ₃
但し、0.5 ＜ｘ＜ 0.6，0.05＜ｙ＜ 0.063，0.01＜Ｎｂ＜ 0.03
また、この反強誘電体膜は、多孔質であってもよく、多孔質の場合には気孔率３０％以下であることが望ましい。

そして、振動部３８の上に形状保持層４６を形成する方法としては、スクリーン印刷法、ディッピング法、塗布法、電気泳動法等の各種厚膜形成法や、イオンビーム法、スパッタリング法、真空蒸着法、イオンプレーティング法、化学気相蒸着法（ＣＶＤ）、めっき等の各種薄膜形成法を用いることができる。

この実施の形態においては、振動部３８上に前記形状保持層４６を形成するにあたっては、スクリーン印刷法やディッピング法、塗布法、電気泳動法等による厚膜形成法が好適に採用される。

これらの手法は、平均粒径０．０１〜５μｍ、好ましくは０．０５〜３μｍの圧電セラミックスの粒子を主成分とするペーストやスラリー、又はサスペンション、エマルジョン、ゾル等を用いて形成することができ、良好な圧電作動特性が得られるからである。

特に、電気泳動法は、膜を高い密度で、かつ、高い形状精度で形成することができることをはじめ、「電気化学および工業物理化学 Ｖｏｌ．５３，Ｎｏ．１（１９８５），ｐ６３〜６８ 安斎和夫著」あるいは「第１回電気泳動法によるセラミックスの高次成形法 研究討論会 予稿集（１９９８），ｐ５〜６，ｐ２３〜２４」等の技術文献に記載されるような特徴を有する。従って、要求精度や信頼性等を考慮して、適宜、手法を選択して用いるとよい。

また、前記振動部３８の厚みと形状保持層４６の厚みは、同次元の厚みであることが好ましい。なぜなら、振動部３８の厚みが極端に形状保持層４６の厚みより厚くなると（１桁以上異なると）、形状保持層４６の焼成収縮に対して、振動部３８がその収縮を妨げるように働くため、形状保持層４６とアクチュエータ基板３２界面での応力が大きくなり、はがれ易くなる。反対に、厚みの次元が同程度であれば、形状保持層４６の焼成収縮にアクチュエータ基板３２（振動部３８）が追従し易くなるため、一体化には好適である。具体的には、振動部３８の厚みは、１〜１００μｍであることが好ましく、３〜５０μｍが更に好ましく、５〜２０μｍが更になお好ましい。一方、形状保持層４６は、その厚みとして５〜１００μｍが好ましく、５〜５０μｍが更に好ましく、５〜３０μｍが更になお好ましい。

前記形状保持層４６の上面及び下面に形成されるロウ電極４８ａ及びカラム電極４８ｂ、あるいは形状保持層４６上に形成される一対の電極４８は、用途に応じて適宜な厚さとするが、０．０１〜５０μｍの厚さであることが好ましく、０．１〜５μｍが更に好ましい。また、前記ロウ電極４８ａ及びカラム電極４８ｂは、室温で固体であって、導電性の金属で構成されていることが好ましい。例えば、アルミニウム、チタン、クロム、鉄、コバルト、ニッケル、銅、亜鉛、ニオブ、モリブデン、ルテニウム、ロジウム、銀、スズ、タンタル、タングステン、イリジウム、白金、金、鉛等を含有する金属単体又は合金が挙げられる。これらの元素を任意の組合せで含有していてもよいことはいうまでもない。

表示板２０の材質は透明性があれば制限されないが、具体的には、例えばガラス、石英、アクリル等の透光性プラスチック、透光性セラミックス等、あるいは異なる屈折率を有する材料の複数層構造体、又は表面にコーティング層を設けたもの等が一般的なものとして挙げられる。

画素構成体３０に含まれる色フィルタ５２や有色散乱体等の着色層とは、特定の波長領域の光だけを取り出すために用いられる層であり、例えば特定の波長の光を吸収、透過、反射、散乱させることで発色させるものや、入射した光を別の波長のものに変換させるもの等がある。透明体、半透明体及び不透明体を単独、もしくは組み合わせて用いることができる。

構成は、例えば染料、顔料、イオン等の色素や蛍光体を、ゴム、有機樹脂、透光性セラミックス、ガラス、液体等の内部に分散、溶解したものや、それらの表面に塗布したもの、更には上述の色素や蛍光体等の粉末を焼結させたり、プレスして固めたもの等がある。材質及び構造については、これらを単独で用いてもよいし、これらを組み合わせて用いてもよい。

色フィルタ５２と有色散乱体との違いは、表示板２０に対して画素構成体３０を接近する方向に変位させて発光状態にしたときに、着色層のみでの反射、散乱による漏れ光の輝度値が、画素構成体３０及びアクチュエータ部２２を含めた全構成体の反射、散乱による漏れ光の輝度値の０．５倍以上であれば、その着色層は有色散乱体であると定義し、０．５倍未満であればその着色層は色フィルタ５２であると定義する。

測定法の具体例を挙げると、光１８が照射された表示板２０の背面に、前記着色層単体を接触させたとき、該着色層から該表示板２０を通過し、前面に漏れ出した光の正面輝度がＡ（ｎｔ）であり、また、該着色層の表示板２０と接する反対側の面に更に画素構成体３０を接触させたとき、前面に漏れ出した光の正面輝度がＢ（ｎｔ）であったとすると、Ａ≧０．５×Ｂを満たすときは、前記着色層は有色散乱体であり、Ａ＜０．５×Ｂを満たすときは色フィルタ５２である。

上述の正面輝度とは、輝度を測定する輝度計と前記着色層とを結ぶ線が、前記表示板２０の前記着色層と接する面に対して垂直であるように輝度計を配置（輝度計の検出面は表示板２０の板面に平行）して計測した輝度である。

有色散乱体の利点は、層の厚みにより色調や輝度が変化しにくいことであり、そのための層形成法として、層厚の厳密な制御は難しいが、コストが安いスクリーン印刷等、多種の適用が可能である。

また、有色散乱体が変位伝達部を兼ねることにより、層形成プロセスを簡略化できるほか、それら全体の層厚を薄くできるため、反射型表示装置１０Ａ全体の厚みを薄くすることが可能であり、また、アクチュエータ部２２の変位量低下の防止及び応答速度の向上が可能である。

色フィルタ５２の利点は、表示板２０がフラットで表面平滑性が高いため、表示板２０側に層を形成するときには、層形成が容易になり、プロセスの選択の幅が広がり、安価になるだけでなく、色調、輝度に影響を及ぼす層厚の制御が容易になる。

なお、光反射層５０や色フィルタ５２、並びに有色散乱体等の膜形成法としては、特に制限はなく、公知の各種の膜形成法を適用することができる。例えば表示板２０やアクチュエータ部２２の面上に、チップ状、フィルム状の着色層を直接貼り付けるフィルム貼着法のほか、色フィルタ５２や光反射層５０（この例では白色散乱体）等の原材料となる粉末、ペースト、液体、気体、イオン等を、スクリーン印刷、フォトリソグラフィ法、スプレー・ディッピング、塗布等の厚膜形成手法や、イオンビーム、スパッタリング、真空蒸着、イオンプレーティング、ＣＶＤ、めっき等の薄膜形成手法により成膜し、光反射層５０や色フィルタ５２を形成する方法がある。

また、前記画素構成体３０としてその全部あるいは一部に発光層を設けるようにしてもよい。この発光層としては蛍光体層が挙げられる。この蛍光体層は、不可視光（紫外線や赤外線）によって励起され、可視光を発光するものや、可視光によって励起されて可視光を発光するものがあるが、いずれでもよい。

また、前記発光層として、蛍光顔料も用いることができる。この蛍光顔料を用いると、顔料自体の色、即ち、反射色にほぼ一致する波長の蛍光が加わるものは、それだけ色刺激が大きく、鮮やかに発光するため、表示素子やディスプレイの高輝度化に対してより好ましく用いられ、一般的な昼光蛍光顔料が好ましく用いられる。

また、発光層として、輝尽性蛍光体や、燐光体、あるいは蓄光顔料も用いられる。これらの材料は、有機材料、無機材料のいずれでもよい。

そして、上述した発光材料を単独で用いて発光層を形成したもの、これらの発光材料を樹脂に分散させたものを用いて発光層を形成したもの、あるいはこれらの発光材料を樹脂に溶解させたもので発光層を形成したものが好ましく用いられる。

発光材料の残光時間としては、１秒以下が好ましく、より好ましくは３０ｍ秒がよい。更に好ましくは数ｍ秒以下がよい。

そして、画素構成体３０の全部あるいはその一部として前記発光層を用いた場合は、図示しない光源として、前記発光層を励起する波長の光を含み、励起に十分なエネルギー密度を有していれば、特に制限はない。例えば、冷陰極管、熱陰極管（又はそのフィラメント状熱陰極の代わりにカーボンナノチューブ−フィールドエミッタを配置したもの）、メタルハライドランプ、キセノンランプ、赤外線レーザを含むレーザ、ブラックライト、ハロゲンランプ、白熱電球、重水素放電ランプ、蛍光ランプ、水銀ランプ、トリチウムランプ、発光ダイオード、プラズマ光源等が用いられる。

次に、反射型表示装置１０Ａの動作を図１を参照しながら簡単に説明する。まず、光１８が表示板２０に照射される。

この例において、全てのアクチュエータ部２２の自然状態においては、アクチュエータ部はオフ状態であり、画素構成体３０の端面が表示板２０の背面から離間している。

そのため、全ての画素構成体３０の端面と表示板２０の背面との間には、光吸収体１４（光吸収性の液体）が存在することとなる。その結果、表示板２０に照射された光１８は該光吸収体１４（光吸収性の液体）にて吸収されることになり、前記オフ状態が消光というかたちで具現される。即ち、反射型表示装置１０Ａの画面からは黒色が表示されることになる。

この状態から、あるドット２６に対応するアクチュエータ部２２にオン信号が印加されると、当該アクチュエータ部２２が図１に示すように、表示板２０側に凸となるように屈曲変位、即ち、一方向に屈曲変位して、画素構成体３０の端面が表示板２０の背面に接触することとなる。このとき、当該画素構成体３０の端面の上部に存していた光吸収性の液体１４が画素構成体３０の外方（周り）に押し退けられて、画素構成体３０の端面が直接表示板２０の背面に接触することになる。

この段階においては、光１８は、画素構成体３０における光反射層５０の表面で反射し、散乱光６２となる。この散乱光６２は、一部は再度表示板２０の中で反射するが、散乱光６２の大部分は表示板２０で反射されることなく、表示板２０の前面（表面）を透過することになる。

これによって、オン信号が印加された前記アクチュエータ部２２がオン状態となり、そのオン状態が発光というかたちで具現され、しかも、その発光色は画素構成体３０に含まれる色フィルタ５２の色に対応したものとなる。

つまり、この反射型表示装置１０Ａは、画素構成体３０の表示板２０への接近方向あるいは離間方向の変位動作により、表示板２０と画素構成体３０との間における光吸収性の液体１４の光透過性を制御することができる。

特に、この反射型表示装置１０Ａでは、表示板２０に対して画素構成体３０を接近・離隔方向に変位動作させる１つの単位を垂直方向に並べたものを１ドットとし、このドットが水平方向に３つ並んだもの（赤色ドット２６Ｒ、緑色ドット２６Ｇ及び青色ドット２６Ｂ）を１画素とし、この画素を多数マトリクス状、あるいは各行に関し千鳥状に配列するようにしているため、入力される画像信号の属性に応じて各画素での変位動作を制御することにより、陰極線管や液晶表示装置並びにプラズマディスプレイと同様に、表示板２０の前面、即ち、表示面に画像信号に応じたカラー映像（文字や図形等）を表示させることができる。

このように、第１の実施の形態に係る反射型表示装置１０Ａにおいては、外光や光源からの光１８を表示板２０内で全反射させるように導入するのではなく、外光や光源からの光１８を単純に表示板２０に対して当てればよいため、外光や光源からの光１８を導入するための構成を大幅に簡略化させることができる。

しかも、アクチュエータ部２２のオフ時においては、該アクチュエータ部２２に対応する画素構成体３０の端面と表示板２０との間に光吸収体１４（光吸収性の液体）が存在することになるため、確実に消光させることができ、表示上のクロストークもほとんどなくなり、輝度の向上、コントラストの向上並びに表示画像の画質の向上を図ることができる。

上述の例では、アクチュエータ部２２の自然状態において、画素構成体３０の端面が表示板２０から離間し、オン信号の印加によって画素構成体３０の端面が表示板２０に接触する形態を示したが、その他、図９の第１の変形例に係る反射型表示装置１０Ａａに示すように、アクチュエータ部２２の自然状態において、画素構成体３０の端面が表示板２０に接触し、オフ信号の印加によって画素構成体３０の端面が表示板２０から離間する形態を採用するようにしてもよい。

また、図１０の第２の変形例に係る反射型表示装置１０Ａｂに示すように、アクチュエータ基板３２を構成するスペーサ層３２Ｂの厚みを薄くするようにしてもよい。

具体的には、スペーサ層３２Ｂは、アクチュエータ基板３２に空所３４を構成するものとして存在していればよく、その厚みは特に制限されるものではない。しかし一方で、空所３４の利用目的に応じてその厚みを決定してもよく、その中でもアクチュエータ部２２が機能する上で必要以上の厚みを有さず、例えば図１０に示すように、薄い状態で構成されていることが好ましい。即ち、スペーサ層３２Ｂの厚みは、利用するアクチュエータ部２２の変位の大きさ程度であることが好ましい。なお、薄板層３２Ｃの厚みとしては、アクチュエータ部２２を大きく変位させるために、通常５０μｍ以下とされ、好ましくは３〜２０μｍ程度とされる。

このような構成により、薄肉の部分（振動部３８の部分）の撓みが、その撓み方向に近接する基板層３２Ａにより制限され、意図しない外力の印加に対して、前記薄肉部分の破壊を防止するという効果が得られる。なお、基板層３２Ａによる撓みの制限効果を利用して、アクチュエータ部２２の変位を特定値に安定させることも可能である。

また、スペーサ層３２Ｂを薄くすることで、アクチュエータ基板３２自体の厚みが低減し、曲げ剛性を小さくすることができるため、例えばアクチュエータ基板３２を別体に接着・固定するにあたって、相手方（例えば表示板２０）に対し、自分自身（この場合、アクチュエータ基板３２）の反り等が効果的に矯正され、接着・固定の信頼性の向上を図ることができる。

加えて、アクチュエータ基板３２が全体として薄く構成されるため、アクチュエータ基板３２の製造にあたっての原材料使用量を低減することができ、製造コストの観点からも有利な構造である。従って、スペーサ層３２Ｂの具体的な厚みとしては、３〜５μｍとすることが好ましく、中でも３〜２０μｍとすることが好ましい。

一方、基板層３２Ａの厚みとしては、上述したスペーサ層３２Ｂを薄く構成することから、アクチュエータ基板３２全体の補強目的として、一般に５０μｍ、好ましくは８０〜３００μｍ程度とされる。

次に、第２の実施の形態に係る反射型表示装置１０Ｂについて図１１を参照しながら説明する。なお、図１と対応するものについては同符号を付してその重複説明を省略する。

この第２の実施の形態に係る反射型表示装置１０Ｂは、図１１に示すように、上述した第１の実施の形態に係る反射型表示装置１０Ａとほぼ同様の構成を有するが、画素構成体３０が、アクチュエータ部本体２３上に形成された光反射層５０で構成されている点と、表示板２０の表面に色フィルタ５２が形成されている点で異なる。各色フィルタ５２の間には表示上のクロストークの低減やコントラストの向上を目的とした光遮蔽層４４が形成されている。

この第２の実施の形態に係る反射型表示装置１０Ｂにおいても、上述の第１の実施の形態に係る反射型表示装置１０Ａと同様に、外光や光源からの光を導入するための構成の簡略化、輝度の向上、コントラストの向上並びに表示画像の画質の向上を図ることができる。

また、図１２の変形例に係る反射型表示装置１０Ｂａに示すように、アクチュエータ部２２の自然状態において、画素構成体３０の端面が表示板２０に接触し、オフ信号の印加によって画素構成体３０の端面が表示板２０から離間する形態を採用するようにしてもよい。

上述の例では、画素構成体３０の形状、特に色フィルタ５２や光反射層５０の端面の形状を面一とした例を示したが、その他、図１３や図１４に示すように、画素構成体３０の例えば光反射層５０の上部をパラボラ状や円錐状、あるいは鋸歯状やドーム状としてもよい。これらの場合、表面にアルミニウム等の第２の光反射層１０２と色フィルタ５２を積層し、更に、端面が面一とされた透明層１０４を充填することが好ましい。

なお、図では、光吸収体１４がアクチュエータ基板３２と表示板２０との間の全体にわたって充填されている例を示したが、表示板２０の背面近傍や画素構成体３０の上面に局在していてもよい。

次に、第３の実施の形態に係る反射型表示装置１０Ｃについて図１５を参照しながら説明する。

この第３の実施の形態に係る反射型表示装置１０Ｃは、図１５に示すように、上述した第２の実施の形態に係る反射型表示装置１０Ｂとほぼ同様の構成を有するが、画素構成体３０が、アクチュエータ部本体２３上に形成された光吸収層１１０と、表示板２０の表面に形成された色フィルタ５２で構成され、表示板２０とアクチュエータ基板３２との間に光反射体１１２が充填されている点で異なる。この例では、光反射体１１２として光反射性の液体を用いた場合を示している。

この場合、第２の実施の形態に係る反射型表示装置１０Ｂとは逆に、画素構成体３０の端面が表示板２０から離間しているドットについては、表示板２０の背面に光反射体１１２が接していることから、光１８は、光反射体１１２の表面で反射し、散乱光６２となる。この散乱光６２の大部分は表示板２０で反射されることなく、表示板２０の前面（表面）を透過し、発光状態となる。

一方、画素構成体３０の端面が表示板２０の背面に接触しているドットについては、表示板２０の背面に光吸収層１１０が接するかたちとなるため、光１８は、光吸収層１１０において吸収され、消光状態となる。

この第３の実施の形態に係る反射型表示装置１０Ｃにおいても、上述の第１の実施の形態に係る反射型表示装置１０Ａと同様に、外光や光源からの光１８を導入するための構成の簡略化、輝度の向上、コントラストの向上並びに表示画像の画質の向上を図ることができる。

また、光反射体１１２として例えば青色の光反射体を用いてもよい。この場合、例えば青色の背景に黒色表示を行うことができる。

ここで、第１〜第３の実施の形態に係る反射型表示装置１０Ａ、１０Ｂ及び１０Ｃにおける好ましい態様について説明する。

まず、第１及び第２の実施の形態に係る反射型表示装置１０Ａ及び１０Ｂにおける光吸収体１４は、黒色に限定されるわけではない。例えば青色の光吸収体を用いてもよい。この場合、例えば色フィルタ５２を用いない場合を想定したとき、青色の背景に白点が表示されるようにすることができる。また、赤色の色フィルタを併用すれば、青色の背景に赤点を表示することができる。このようにして、色フィルタ５２と光吸収体１４の色の組合せで、任意の背景色や表示色を選択することができる。

同様に、第３の実施の形態に係る反射型表示装置１０Ｃのように、画素構成体３０の構成要素として光吸収層１１０を形成する場合においては、例えば青色の背景に黒色表示を行うことができる。

前記光吸収体１４としては、黒色あるいは着色された液体や溶液・ゲル・柔軟性のある樹脂材料等を用いることができる。また、前記液体をスポンジ等に含浸させたもの等も用いることができる。

光反射体１１２としては、白色、銀色あるいは着色された液体や溶液・ゲル・スポンジ、柔軟性のある樹脂材料、又は水銀等を用いることができる。前記液体をスポンジ等に含浸させたもの等も用いられる。

光吸収体１４あるいは光反射体１１２の光透過性の制御方法としては、アクチュエータ部の変位動作によって、光吸収体１４あるいは光反射体１１２の厚み（表示板２０と画素構成体３０間の距離）を変化させることが好ましく用いられる。厚みの値やその変化量は、特に限定されるものではないが、それらが０．１μｍ以上、１０μｍ以下が特に好ましく用いられる。

また、画素構成体３０のうち、光吸収体１４あるいは光反射体１１２に面する部分に凹凸を設けてもよい。光吸収体１４及び／又は光反射体１１２が流体の場合には、この凹凸が流路を形成するため、発光／消光の応答性を向上させる効果がある。また、凸型であることも好ましい。

また、画素構成体３０のうち、光吸収体１４あるいは光反射体１１２に面する部分に透明層を設けることも好ましく用いられる。この透明層は、画素構成体３０の高さを合わせて、例えばアクチュエータ部２２が自然状態における表示板２０と画素構成体３０間の光吸収体１４及び／又は光反射体１１２の厚みを均一になるようにする働きをもつ。もちろん、前記透明層に前記凹凸や凸面形状を形成してもよい。

また、光源からの光を表示板２０に照射することで、発光輝度やコントラストを向上させることができ、視認性を高めることができる。なお、階調表現方式は、面積階調、時間階調、電圧階調のいずれか又はこれらの組合せが好ましく用いられる。

ところで、第１〜第３の実施の形態に係る反射型表示装置１０Ａ〜１０Ｃは、超薄型、低電力のディスプレイを有利に構成できる特徴を持っている。従って、例えば反射型表示装置１０Ａ〜１０Ｃを縦方向及び横方向にそれぞれ複数個配列することによって構成される大画面ディスプレイに有効である。プロジェクタと比較して、投射スペースが不要であり、狭いスペースでも設置が可能である。

しかも、反射型表示装置１０Ａ〜１０Ｃの配列個数等を任意に変更することで、通常の長方形のディスプレイのほかにも、横長あるいは縦長、円形状等、様々な形状の画面を形成することができる。また、湾曲させて配列すれば、曲面ディスプレイを形成することもできる。

この大画面ディスプレイの用途としては、薄型、大画面、広視野角の特徴を生かし、駅、病院、空港、図書館、百貨店、ホテル、結婚式場等の待合室やロビー、通路等での公衆向けディスプレイが挙げられる。また、シネマコンプレックスのスクリーン、カラオケボックス、ミニシアターでの利用も挙げられる。また、屋内のみならず、屋外で使用してもよい。

また、上述の例では、色フィルタ５２等の着色層を、画素構成体３０を構成する光反射層５０の上部や表示板２０の表面に形成した例を示したが、その他、表示板２０の裏面に形成するようにしてもよい。特に、図示しない大型の表示板や枠（格子枠を含む）に、第１〜第３の実施の形態に係る反射型表示装置１０Ａ〜１０Ｃを多数配列して大画面ディスプレイを構成する場合においては、前記大型の表示板の表面や裏面に着色層を形成するようにしてもよい。また、着色層を有する板やフィルム等を表示板２０や大型の表示板に設けるようにしてもよい。なお、表示板２０や大型の表示板に着色層を設ける場合は、色フィルタ５２であることが好ましい。この場合、画素構成体３０の方は、着色層として白色散乱体、有色散乱体、色フィルタ５２のいずれを使用してもよいが、特に白色散乱体が好ましい。

そして、第１〜第３の実施の形態に係る反射型表示装置１０Ａ〜１０Ｃにて表示を行うために、これら反射型表示装置１０Ａ〜１０Ｃに電圧を供給するには、アクチュエータ基板３２の端部付近や裏面に配された電極に、リード線やコネクタ、プリント基板、フレキシブルプリント基板等を接続することで実現することができる。また、アクチュエータ基板３２の表面や裏面に、回路要素を形成したり、部品を実装してもよい。例えば、アクチュエータ基板３２の背面側（表示面の反対側）に対向して、例えばコネクタやドライバＩＣ等が実装された配線板を、導電性接着剤等を介して電気的及び機械的に接続することが挙げられる。

配線板としては、プリント基板、フレキシブルプリント基板、ビルドアップ基板、セラミック配線板等が好ましく用いられる。配線板は、単層であっても多層であってもよい。電気的接続方法としては、導電性接着剤のほかにも、半田付け、異方性導電フィルム、導電ゴム、ワイヤボンディング、リードフレーム、ピン、ばね、圧着等の方法を適用してもよい。

なお、この発明に係る反射型表示装置は、上述の実施の形態に限らず、この発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることはもちろんである。

第１の実施の形態に係る反射型表示装置を示す構成図である。 反射型表示装置の画素構成を示す説明図である。 アクチュエータ部の構成を示す説明図である。 アクチュエータ部に形成される一対の電極の平面形状の一例を示す図である。 図５Ａは形状保持層の長軸に沿って一対の電極のくし歯を配列させた１つの例を示す説明図であり、図５Ｂは他の例を示す説明図である。 図６Ａは形状保持層の短軸に沿って一対の電極のくし歯を配列させた１つの例を示す説明図であり、図６Ｂは他の例を示す説明図である。 画素構成体の四方にそれぞれ桟を形成した場合の構成を示す説明図である。 桟の他の構成を示す説明図である。 第１の実施の形態に係る反射型表示装置の第１の変形例を示す構成図である。 第１の実施の形態に係る反射型表示装置の第２の変形例を示す構成図である。 第２の実施の形態に係る反射型表示装置を示す構成図である。 第２の実施の形態に係る反射型表示装置の変形例を示す構成図である。 画素構成体の上部をパラボラ状にした例を示す説明図である。 画素構成体の上部を円錐状にした例を示す説明図である。 第３の実施の形態に係る反射型表示装置を示す構成図である。 提案例に係る表示装置を示す構成図である。

符号の説明

１０Ａ、１０Ａａ、１０Ａｂ、１０Ｂ、１０Ｂａ、１０Ｃ…反射型表示装置
１４…光吸収体 ２０…表示板
２２…アクチュエータ部 ２３…アクチュエータ部本体
３０…画素構成体 ３２…アクチュエータ基板
３４…空所 ３８…振動部
４２…桟 ４４…光遮蔽層
５０…光反射層 ５２…色フィルタ
１１０…光吸収層 １１２…光反射体

Claims (5)

1. 光が入射される表示板と、
   該表示板の一方の板面に対向して設けられたアクチュエータ基板と、
   前記アクチュエータ基板のうち、前記表示板の一方の板面に対向する面に配列された複数のアクチュエータ部と、
   前記各アクチュエータ部に、前記表示板の一方の板面に対向するように設けられ、それぞれ少なくとも光反射部を有する画素構成体と、
   前記表示板と前記アクチュエータ基板との間に充填された光吸収性の液体とを具備し、
   前記アクチュエータ部は、形状保持層と該形状保持層に形成された少なくとも一対の電極とを有するアクチュエータ部本体と、該アクチュエータ部本体を支持する振動部とを有し、
   前記アクチュエータ基板は、基板層と、該基板層上に形成され、前記アクチュエータ部本体に対応する箇所に空所を有するスペーサ層と、該スペーサ層上に前記空所を塞ぐように形成された薄板層とを有し、
   前記空所に対応した前記薄板層による薄肉の部分が前記振動部を構成し、
   前記空所の厚みは２０μｍ以下であり、
   前記アクチュエータ部の前記一対の電極にオン信号又はオフ信号を印加して、前記アクチュエータ部を駆動することによって、該アクチュエータ部に対応する前記画素構成体を前記表示板に対して接近する方向又は離間する方向に変位するよう前記アクチュエータ部を屈曲変位させて、前記表示板と前記画素構成体間の光吸収性を制御することにより、前記表示板に映像を表示させることを特徴とする反射型表示装置。
2. 請求項１記載の反射型表示装置において、
   前記画素構成体の変位量は０．１μｍ〜１０μｍ以下であることを特徴とする反射型表示装置。
3. 請求項１又は２記載の反射型表示装置において、
   前記光吸収性の液体が充填されている空間内に、複数の前記画素構成体が存在し、
   前記表示板と前記アクチュエータ基板との間に複数の桟が設けられ、
   前記複数の桟は、前記複数の画素構成体の各々を囲む矩形の各頂点に相当する位置に設けられていることを特徴とする反射型表示装置。
4. 請求項１〜３のいずれか１項に記載の反射型表示装置において、
   前記画素構成体を前記表示板に対して離間する方向に変位させる際に、前記振動部が前記空所の内方に向かって変位して前記基板層に接触することを特徴とする反射型表示装置。
5. 請求項１〜４のいずれか１項に記載の反射型表示装置において、
   前記画素構成体のうち、前記光吸収性の液体に面する部分に凹凸を有していることを特徴とする反射型表示装置。

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