CN1209600C - 检查用模座及其制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种可极大地去除周围温度变化造成影响的获得较高的检查精度的检查用的模座及其制造方法。在中空长方体状的座主体(1A)的顶面和侧面，形成多个安装孔(13)，该座主体中的至少顶面与4个侧面由石英玻璃或单晶体石英的矩形板(10，11，12)制成，在这些安装孔(13)中，分别以嵌合***方式固定有多个基准部件(9)，该多个基准部件有与测定机测头的前端相接触的基准测定面。

Description

检查用模座及其制造方法

技术领域

本发明涉及用于进行3维测定机等的测定机的精度检测或校正用的检查用模座。

背景技术

在过去，在机动车或变速机中的外壳类的机械部件类的尺寸测定中，广泛采用使测头(测定子)的前端与设定于测定台(座)上的被测定物接触，进行测定的3维测定机等的测定机。

这种测定机采用高精度加工的测定样模，定期地进行精度检查或测定误差的校正，以便保持测定精度。

测定样模包括测定机中的测头所接触的基准测定面，用于通过将测定机上述的基准测定面的实测数据与基准值进行比较，对测定机的精度进行检查或校正。

作为过去人们提出专利申请的这种测定样模，比如，包括有在JP特开平11-44527号文献中描述的测定样模，在铸铁形成的呈立方体状的中空箱体的顶面与侧面中的一个面，以及前面的相应的4个角部，分别安装基准孔部件。

这些基准孔部件的一端呈具有凸缘的圆筒状，通过上述凸缘，借助螺栓固定于箱体中，另外，圆筒部的内面呈精加工的圆孔状，形成测定用的基准孔。

另外，在JP特开平4-160301号文献描述的样模测定装置中，在由低膨胀材料形成的立方体形状或直方体形状的中空的支承座的外侧处，按照呈井字状组合，固定由线膨胀系数基本上为0的玻璃材料形成的杆体，用这些杆体的两端面作为基准测定面，另外，在支承座的顶面处，安装由至少3个坐标基准设定用的玻璃材料等形成的球。

在上述JP特开平11-44527号文献所描述的测定样模中，由于基准孔部件安装于铸铁成的中空的箱体中，如果铸铁制的箱体部分因周围的温度变化而膨胀或收缩，则基准孔部件之间的间距或角度处就会发生微妙变化，对检测精度造成影响。

此外，JP特开平4-160301号文献中所描述的样模测定装置中，由于用两端面作为基准测定面的杆体或坐标基准设定用的球采用线膨胀系数基本上为0的玻璃材料，故极大地将周围的温度变化造成的杆体或球本身的膨胀收缩抑制，提高了检查精度。

发明内容

由于这些杆体或球支承于铸铁制的箱体上，箱体温度的变化造成各部分尺寸的变化，或形状的改变对检测精度造成影响，而且，还存在结构复杂，制造成本较高的问题。

因此，本发明的目的在于解决上述的已有技术的问题，提供一种可极大地去除周围的温度变化造成的影响，可以获得较高检查精度的检查用模座及其制造方法。

为了实现上述目的，本发明检测用模座的第1种方案包括中空的长方体状的座主体，其中至少顶面和4个侧面由石英玻璃或单晶体石英的矩形板形成；多个基准部件，它们分别以嵌合***方式固定在形成于座主体的顶面和侧面上的多个安装孔中，有与测定机座的前端相接触的基准测定面。

另外，在本说明书中所述的“矩形”的术语包含“正方形”，另外，“长方体”的术语包含“立方体”。

此外，本发明的检查用模座的第2种方案包括中空的圆筒体状的座主体，其侧面由石英玻璃或单晶体石英的圆筒管形成，至少顶面由石英玻璃或单晶体石英的圆形板形成；多个基准部件分别以嵌合***方式固定在形成于上述座主体的顶面和侧面上的多个安装孔中，有与测定机座的前端相接触的基准测定面。

还有，本发明的检查用模座的第3种方案，包括至少有顶面和侧面的用一块石英玻璃或单晶体石英切削而制成的座主体；多个基准部件，它们分别以嵌合***方式固定在形成于上述座主体的顶面和侧面上的多个安装孔中，有与测定机座的前端相接触的基准测定面。

在上述检查用的模座的第1～3种方案中，可以采用以表面作为基准测定面的陶瓷球，以及保持上述陶瓷球，以嵌合***方式固定于座主体中的安装孔中的衬套构成的基准部件。

再有，本发明的检查用模座的制造方法的第1种方案，包括下述步骤：第1步骤，在由石英玻璃或单晶体石英制成的矩形板的规定位置，加工出安装孔；第2步骤，将多块石英玻璃或单晶体石英的矩形板接合，形成中空的长方体状的座主体的至少顶面与4个侧面，以便使在上述步骤中加工有安装孔的矩形板设置于4个侧面中的至少一个面上与顶面上；第3步骤，在第2步骤后，以嵌合***方式将与测定机测头的前端相接触的基准部件固定于相应的安装孔中。

另外，本发明的检查用模座的制造方法的第2种方案，包括下述步骤：第1步骤，在由石英玻璃或单晶体石英制成的圆形板与由石英玻璃或单晶体石英制成的圆筒管的相应的规定位置，加工出安装孔；第2步骤，至少将在上述步骤中加工有安装孔的圆形板，与上述圆筒管接合，形成中空的圆筒状的座主体；第3步骤，在第2步骤后，以嵌合***方式将与测定机测头的前端相接触的基准部件固定于相应的安装孔中。

此外，本发明的检查用模座的制造方法的第3种方案，包括下述步骤：第1步骤，采用一块石英玻璃或单晶体石英，切削出具有至少顶面和侧面的座主体；第2步骤，在第1步骤中形成的座主体的顶面与侧面上的相应的规定位置，加工出安装孔；第3步骤，在第2步骤后，以嵌合***方式将与测定机测头的前端相接触的基准部件固定于相应的安装孔中。

还有，在上述检查用模座的制造方法的第1～3种方案中，可在第3步骤后，在相应的基准部件中，对与测定机测头的前端相接触的基准测定面进行精加工。

在本发明的检查用模座(下面简称为“模座”)中，在石英玻璃或单晶体石英制成的座主体上，安装由殷钢之类的热膨胀系数较小的材料制成的多个基准部件，在这些基准部件上，形成与测定机的测头相接触的基准测定面。

座主体中的至少顶面和4个侧面，可采用石英玻璃或单晶体石英制成的矩形板，将这些板接合，形成呈中空长方体状的座主体，或其侧面和至少顶面可分别采用石英玻璃或单晶体石英成的圆筒管与圆形板，将这些圆筒管与圆形板接合，的形成呈中空圆筒状的座主体。

矩形板、圆板或圆筒管的接合，市售的迅速粘接剂是适合中的。

再有，相应的基准部件以嵌合***方式固定于安装孔中，该安装孔是在座主体装配之前，预先通过坐标镗床等的加工机，在矩形板或圆形板，圆筒管的规定位置加工出的。

另外，座主体还也可采用一块石英玻璃或单晶体石英，用钻石工具等切削制成长方体状或圆筒状。

在切削出座主体的外形之后，在座主体的顶面和侧面处，通过坐标镗床等的加工机，制成用于以嵌合***方式固定基准部件的安装孔。

此外，最好采用单一材料切削出的座主体底部开口的中空部的中空状，以便减轻其重量。

基准部件通过螺栓等固定件固定于座主体上，但是，此时，最好在安装孔周围部与基准部件之间，涂敷粘接剂，将基准部件粘接于安装孔中，以便不使基准部件的固定位置发生偏移。

还有，基准部件也可不采用螺栓等的固定件，而仅仅采用粘接剂，固定于座主体中的安装孔中。

再有，将基准部件固定于座主体上之后，对基准测定面进行精加工，可提高基准测定面的安装角度或安装位置的精度。

另外，将高精度地加工的陶瓷球表面作为基准测定面构成基准部件。

此外，由于石英玻璃或单晶体石英的热膨胀系数非常小，故分别安装于座主体上的基准部件的基准测定面之间的间距或各基准测定面的方向几乎不受到周围温度变化的影响，保持较高的精度。

附图说明

图1为表示将本发明第1实施方案的检查用模座设置于3维测定机上的状态的透视图；

图2为表示本发明检查用模座的第1实施方案的透视图；

图3为表示本发明检查用模座第1实施方案的分解透视图；

图4为表示基准部件顶板的安装结构的局部剖视图；

图5为表示本发明检查用模座的第2实施方案的透视图；

图6为表示本发明检查用模座的第2实施方案的分解透视图；

图7为沿图5中的A-A线位置的纵向剖视图；

图8为表示基准部件的顶板的安装结构的局部剖视图；

图9为表示基准部件的圆筒管的安装结构的局部剖视图；

图10为表示基准部件的另一方案的局部剖视图；

图11为表示本发明检查用模座的第3实施方案的透视图；

图12为表示本发明检查用模座的第3实施方案的分解透视图：

图13为表示本发明检查用模座的第3实施方案的平面图；

图14为沿图13中的B-B线的位置的纵向剖视图；

图15为表示本发明检查用模座的第3实施方案的底面图；

图16为沿图15中的C-C线的位置的局部剖视图。

具体实施方式

下面根据附图，对本发明的实施方案进行描述。图1表示本发明的模座的第1实施方案，本实施方案的模座1固定于该卡具板4上，该卡具板4设置于3维测定机2中的测定台3上，该模座用于精度的检查或校正。

3维测定机2包括门式活动架5，以可滑动的方式沿该图的X方向支承于测定台3的两侧；头部6，以滑动的方式支承于上述活动架5上，沿与上述X方向相垂直的方向滑动；升降轴7，按照相对上述头6，沿上下方向，即沿图Z方向上下运动的方式支承，可沿3维方向将固定于升降轴7的底端上的测头8移动定位。

上述测头8的前端部，通过人造红宝石或陶瓷等的硬质耐磨耗性的材料制成，呈高精度的球状，在通常的测定作业中，3维测定机2使测头8的前端部与设置于测定台3上的发动机气缸体等的工件的加工面相接触，测定相对上述测头8的基准位置的位移，检查是否按照规定的尺寸，对工件进行加工。

在进行3维测定机2本身的精度检查的情况下，使测头8的前端与设置于模座1上的殷钢制的基准部件9的基准测定面相接触，而不是与工件相接触，比如，实际测定设置于模座1上的2个基准部件9的基准测定面之间的距离将其与基准值进行比较，分析实测值与基准值的误差，另外，根据上述实测误差，对3维测定机进行校正。

如图2所示，模座1由基本呈立方体状的座主体1A，以及基准部件9构成，该基准部件9分别安装于该座主体1A的顶面和侧面上。

上述模座主体1A是通过粘接剂(市场上销售的快速粘接剂等)，将分别基本呈正方形的石英玻璃制成的顶板10，侧板11和底板12粘接叠合制成。

图3为模座1的分解透视图，在顶板10与4个侧板11上，沿板厚方向贯通地形成用于将基准部件9安装于相应的4个角部附近处的安装孔13。

另外，在顶板10的3个部位，在侧板11的2个部位，分别形成通气孔14，该通气孔14用于连通在模座1的内部与外部之间的空气的流动通道。

此外，这些通气孔14用于防止随温度变化，产生模座主体1A内部与外部的气压差，座主体1A发生变形的情况，如果在底板12中，形成使空气流通的开口部等，也可不设置该孔14。

在底板12的中间部分，形成圆形的通孔15，圆形的固定塞16中的较小直径部16A嵌合于该通孔15中。

在上述固定塞16中，形成螺合有2根螺栓17的一对螺纹孔18。

这些螺栓17分别从下方，穿过设置于卡具板4(参照图1)一侧的固定板19中的一对螺栓贯穿孔20，与固定塞16的螺纹孔18螺合，由此，将模座1固定于固定板19上。

还有，最好，固定塞16通过难于因殷钢等的温度变化而产生膨胀收缩或变形的材料形成。

再有，如图4所示，相应的基准部件9包括圆筒部9A，其外径与形成于顶板10或侧板11中的安装孔13相吻合；凸缘部9B，直径大于安装孔13，在圆筒部9A一侧的端面中心部，形成螺合有螺栓21的螺纹孔9C。

基准部件9中的圆筒部9A的长度为从顶板10或侧板11的外侧，***到安装孔13中直至凸缘部9B与安装孔13的周缘部接触，使顶板10或侧板11向内侧形成突出部分的长度。

在该突出部分中，安装有弹性的氨基甲酸乙酯制的轴环22。

上述轴环22中不受轴向压缩力时的轴向长度稍大于圆筒部9A的突出部分的长度，如果通过上述螺栓21，将垫圈23固定于圆筒部9A的端面上，则轴环22受到弹性压缩而夹入顶板10或侧板11与垫圈23之间形成基准部件9固定于顶板10或侧板11上的结构。

另外，在通过螺栓21，将基准部件9固定于顶板10或侧板11上时，在两者的接触部分之间，涂敷有粘接剂(市场上销售的迅速粘接剂等)，防止基准部件9相对顶板10或侧板11的固定位置的偏移。

此外，将基准部件9的凸缘部9B的端面S1，与形成于上述端面S1的中间部的圆形凹部内周面S2作为测头8(参照图1)的前端接触基准测定面，进行高精度的精加工。

下面对按照上述方案构成的模座1的制造步骤进行描述，首先，制作如图3所示的6块石英玻璃或单晶体石英作为材料，基本呈正方形的顶板10，侧板11，底板12，其中，通过坐标镗床等的加工机，在顶板10和4个侧板11中，加工出基准部件9的安装孔13和通气孔14。另外，在底板12的中间部，同样通过坐标镗床等的加工机等，加工出圆形的通孔15。

接着，4块侧板11分别以其中一个端面，和与上述端面相对一侧的端面的相邻的内面缘部作为粘接部分，分别在端面和内面缘部之间，通过粘接剂粘接，呈正方形筒状装配。

另外，通过粘接剂，将顶板10和底板12，粘接于这4块侧板11的上下端面上，装配座主体1A(参照图2)。

此后，从座主体1A的外侧，将基准部件9中的圆筒部9A***相应的安装孔13中，通过粘接剂进行固定。另外，在这些基准部件9中，如图4所示，安装轴环22和垫圈23，通过螺栓21，将与板10，11紧固。

按照上述方式，通过粘接剂和螺栓21这两者，将基准部件9牢固地固定于座主体1A上。

还有，将轴环22，垫圈23，以及螺栓21安装于基准部件9上的作业可通过从形成于底板12中的通孔15，将手或套筒扳手等的紧固卡具***座主体1A内部而进行。此外，固定塞16必须在座主体1A的装配完毕之前，预先放入座主体1A内部。

在按照上述方式，将基准部件9固定于座主体1A中之后，将固定塞16中的较小直径部16A与底板12中的通孔15嵌合，通过图3所示的螺栓17，固定于图中未示出的加工机的卡具台上。

到此时刻，图4所示的基准部件9中的凸缘部9B的端面S1与形成于上述端面S1上的圆形凹部内周面S2处于未加工状态，通过上述加工机，对上述端面S1和凹部内周面S2进行精密加工，按照基准值，正确地对相邻的基准部件9中的凹部内周面S2之间的间距进行精加工，对固定于座主体1A中的相互垂直面的基准部件9的端面S1之间的角度正确地进行精加工，以便形成90度，完成模座1的制造步骤。

图5为表示本发明检查用模座的第2实施例的透视图，图6为其分解透视图，本实施方案的模座31包括圆筒管32，形成圆筒状的侧面，由石英玻璃或单晶体石英形成；座主体31A，由直径基本等于上述圆筒管32的外径的顶板33，和直径大于圆筒管32的底板34构成。

如图5所示，在座主体31A的顶面和侧面，分别设置殷钢制的基准部件35，36，该基准部件35沿圆周方向按照等间距，安装于顶板33的外周附近的4个部位，另外，基准部件36安装于与相应的基准部件35相对应的圆筒管32的环周方向的4个部位的，分别沿上下方向的2个位置的，共计8个部位。

如图6所示，将基准部件35安装于顶板33上的安装孔37按照沿圆周方向，等间距地贯通地形成，并且在通过这些安装孔37的中心的圆周上，在相对各安装孔37，顶板33的中心角每次按45°，相位错开的位置，分别贯通地形成螺纹贯穿孔38。

在底板34的中间部，形成通孔39，此外，在上述通孔39的周围，在与形成于顶板33上的各安装孔37的正下方相对应的位置，形成螺纹贯穿孔40。

如图7所示，顶板33与底板34通过贯通圆筒管32内部的殷钢形成的4个连接杆41的两端连接。即，连接杆41呈上下对称形状，在上下的两端，形成螺纹部41A。

形成下述结构，其中这些螺纹部41A***螺纹贯穿孔38，40中，该孔分别形成于顶板33和底板34中的相对位置，在顶部33中的向上方突出的部分和底板34中的向下方突出的部分，安装有由氨基甲酸乙酯形成的弹性的轴环42，以螺合方式将螺母43固定，将圆筒管32夹持于之间，将顶板33和底板34连接成一体。

此外，连接杆41中的除了两端的螺纹部41的部分的长度基本上与圆筒管32的轴向长度相等，另外外径大于分别形成于顶板33和底板34中的螺纹贯穿孔38，40。

还有，在相应的连接杆41中，在沿纵向间隔开的2个部位，沿与上述纵向相垂直的方向，形成螺纹孔41B，在这些螺纹孔41B中，螺合有对位螺栓44。

这些对位螺栓44在圆筒管32内部，朝向其半径方向的外侧，通过使相应的前端与圆筒管32的内周面相接触，则圆筒管32的中心实现定位，从而与顶板33与底板34的中心保持一致。

再有，在相应的对位螺栓44中，螺合有锁定螺母45，通过这些锁定螺母45，相对连接杆41，将位置调整的对位螺栓44的螺合位置固定。

图8为表示基准部件35中的相对顶板33的安装结构的局部剖视图，该基准部件35由螺纹部35A和凸缘部35B构成，该螺纹部35A穿过形成于顶板33中的安装孔37，该凸缘部35B的外径大于在顶板33的表面露出的安装孔37的直径。

在基准部件35的中心部，沿其轴向的整个长度范围，形成通孔，凸缘部35B的端面S’1与上述通孔内周面S’2与上述的第1实施方案中的基准部件9相同，作为测头8(参照图1)的前端所接触的基准测定面，进行高精度的精加工。

另外，螺纹部35A具有在***到安装孔37中，直至凸缘部35B与顶板33的表面相接触的位置，向顶板33的里面突出的长度，在该突出部分，安装有由弹性的氨基甲酸乙酯制成的轴环46和垫圈47，另外，通过螺合螺母48，将基准部件35固定于顶板33上。

此外，在本实施方案中的基准部件35中，与上述的第1实施方案中的基准部件9相同，顶板33与基准部件35的接触部分之间通过粘接剂粘接，从而防止基准部件35相对顶板33的固定位置的偏移。

图9为表示基准部件36相对圆筒管32的安装结构的局部剖视图，该基准部件36的形状与上述的基准部件35相同，由螺纹部36A和凸缘部36B构成，在其中心部，沿轴向的整个长度范围，形成通孔，凸缘部36B的端面S”1与上述通孔内周面S”2作为基准测定面，进行高精度的精加工。

在基准部件36中，螺纹部36A***沿半径方向贯通圆筒管32而形成的安装孔49中，从圆筒管32的内侧，拧紧螺母50，实现固定，但是由于与圆筒管32的内外周面的曲率相对应，故在圆筒管32的外侧和内侧，设置有外轴环51和内轴环52，在这些轴环中，分别在中心部，形成螺纹部36A所穿过的孔。

外轴环51和内轴环52，分别与圆筒管32的内外周面相接触的面由与这些内外周面的曲率相吻合的凹曲面与凸曲面形成，以便通过紧固与螺纹部36A螺合的螺母50，不在圆筒管32的内部产生弯曲应力。

这些外轴环51与内轴环52由殷钢形成，外轴环51与基准部件36中的凸缘部36B之间，以及外轴环51与圆筒管32之间通过粘接剂粘接。

下面对按照前述方式构成的模座31的制造步骤进行描述，首先，制作图6所示的，以石英玻璃或单晶体石英为材料的圆筒管32，顶板33和底板34。

在这里，通过坐标镗床等的加工机，加工出圆筒管32的安装孔49，顶板33的安装孔37，螺纹贯穿孔38，底板的通孔39和螺纹贯穿孔40。

此外，最好，上述顶板33中的螺纹贯穿孔38和底板34中的螺纹贯穿孔40以顶板和底板34呈同心状重合的方式加工，以便防止加工位置的偏移。

接着，在分别安装预先制作的4根连接杆41，对位螺栓44和锁定螺母45的状态，将它们放入圆筒管32内部，将相应的杆的两端的螺纹部41A***顶板33中的螺纹贯穿孔38和底板的螺纹贯穿孔40，将垫圈42嵌合于相应的连接杆上，通过螺母43松弛地临时固定。

然后，使对位螺栓44的前端与圆筒管32的内周面接触，正确地进行定位调整，以便使圆筒管32，顶板33和底板34处于同心状态位置，在调整位置，各对位螺栓44通过锁定螺母45固定，以便不产生旋转。

之后，将相应的螺母43紧固，将圆筒管32，顶板33和底板34连接成一体，完成座主体31A的装配。

还有，最好在圆筒管32的上下的端面与顶板33和底板34之间，涂敷粘接剂，使它们相互粘接。

如果座主体31A的装配完毕，则在顶板33中的安装孔37与圆筒管32中的安装孔49中，分别安装基准部件35，36，但是，此时，从外侧将基准部件35中的螺纹部35A***到顶板33中的安装孔37中，凸缘部35B与顶板33中的安装孔37的周缘部之间通过粘接剂粘接。

再有，如图8所示，从顶板33的内侧，在螺纹部35A中，安装轴环46和垫圈47，以螺合方式将螺母48固定。

如图9所示，从外侧，将安装有外轴环51的基准部件36中的螺纹部36A***到圆筒管32中的安装孔49中，外轴环51的外面与内面，分别通过粘接剂与凸缘部36B和圆筒管32的外周面粘接。此外，在朝向圆筒管32的内侧突出的螺纹部36A上，安装内轴环52，以螺合方式将螺母50固定于其上。

另外，在座主体31A的内部，将轴环46，垫圈47，内轴环52，螺母48，50安装于基准部件35，36上的作业可这样进行，与前述的第1实施方案中的形成于底板12中的通孔15相同，从形成于底板34中的通孔39，将手或套筒扳手等的紧固工具***座主体31A的内部。

此外，上述通孔39同时用作防止因周围的温度变化，在座主体31A的内侧与外侧之间产生气压差，座主体31A发生变形的通气孔。

按照上述方式，如果将基准部件35，36安装于座主体31A上的作业完成，则将在座主体31A的底板34的圆筒管32外侧呈凸缘状突出的部分，固定于图中未示出的加工机中的卡具台的固定部件上，此外，对未进行精加工的基准部件35中的凸缘部35A的端面S’1与通孔内周面S’2，以及基准部件36中的凸缘部36A的端面S”1与通孔内周面S”2进行精密加工，完成模座31的制造步骤。

还有，在本实施方案中，对基准部件35的端面S’1与基准部件36的端面S”1进行精加工，以便使它们相互刚好垂直，另外，进行精加工，以便使基准部件35的通孔内周面S’2与基准部件36的通孔内周面S”2的相应的中心位置相对座主体31A的中心，每次按照中心角90°设置。

图10为表示基准部件的另一实施方案，该图所示的基准部件53由包括螺纹部53A与凸缘部53B的中空的衬套53C，和陶瓷球53D构成。

以上述陶瓷球53D的表面作为基准测定面，按照规定直径，进行精密加工，将其通过粘接剂固定于下述固定座面a上，该面由与衬套53C的陶瓷球53D相吻合的球面的一部分形成。

在上述基准部件53中，与前述的各实施例中的模座1，31相同，从外侧，将螺纹部53A***构成座主体的石英玻璃或单晶体石英的板54的安装孔55中，上述的螺纹部53A从板54的内侧，安装具有弹性的氨基甲酸乙酯制的轴环56，将螺母57以螺合方式固定。

再有，在前述的各实施例的模座1，31中，座主体1A，31A包括由石英玻璃或单晶体石英形成的底板12，34，但是也可省略这些底板12，34，侧板11或圆筒管32等的底板以外的部分直接固定于卡具台等上形成的结构。

图11为表示本发明的检查用模座的第3实施方案的透视图，图12为其分解透视图，图13为平面图，本实施例的模座61包括从一块石英玻璃或单晶体石英中切削出而制作的座主体61A。

该座主体61A具有平直的顶面62，并且从圆柱状的外周面63的顶端到底端附近位置，在圆周方向的4个部位，具有平面64，此外，在其内部，如图14所示，形成下方敞开的空间，以便减轻重量。

在座主体61A上，在顶面62的4个部位，在4个平面64，每次沿上下2个部位，形成安装孔65，基准部件66固定于这些安装孔65中。

这些基准部件66包括圆筒部66A和凸缘部66B，与前述的各实施方案的部件相同，但是，圆筒部66A是以嵌合方式***安装孔65的状态，本实施方案中的基准部件66仅仅通过粘接剂固定。

另外，图15为从下方看到的座主体61A的图，如图所示，在座主体61A中的底端面67中，用于将座主体61A稳定地设置在3维测定机的测定台上，底面平直的支脚部68按照沿圆周方向相等的间距在3个部位突出。

此外，如图16所示，在上述底端面67上，座主体61A沿一个直径方向相对的两个位置，形成较浅的缺口部69，在这些缺口部69中，分别形成有定位孔70，该孔70用于嵌入在3维测定机中的测定台一侧突出的定位销。

还有，在本实施的模座61中，在座主体61A的圆柱状的外周面63在部分削减而形成的4个部位的平面64中的相对的2个平面的下方，分别沿这些平面64相平行的方向，形成一对保持槽71。

这些成对的保持槽71，用于将安装于设定装置上的支承叉形件***到3维测定机中的测定台上的测定位置，该设定装置用于使模座61移动而将其设定，模座61在进行3维测定机的精度检查时，通过设定装置的支承叉形件而上抬，从后退位置移动到测定台上的测定位置，在这里，降落到测定台上。

此时，模座61通过将相对测定台侧突出的定位销嵌入形成于座主体61A上的一对定位孔70中，相对测定台实现定位，在此状态，其通过形成于底端面67上的3个支脚部68，支承于测定台上的固定位置。

再有，对于这样的设定装置，本发明人已提交了专利申请，其可采用申请号为JP2000-017583的申请的类型。

另外，本实施的模座61还可采用图10所示的具有陶瓷球的类型以代替基准部件66。

下面，对前述的模座61的制造步骤进行描述，首先，通过使用钻石工具等的加工机，采用一块石英玻璃或单晶体，切削出座主体61的外形。此时，环形成底面开口的中空部，以便减轻座主体61A的重量。

此外，在形成于座主体6A上的顶面62与侧面64中，通过坐标镗床等的加工机，分别形成用于安装基准部件66的安装孔65。

在加工安装孔65之后，将基准部件66中的圆筒部66A***到安装孔65中，直至接触到凸缘部66B。

此时，在安装孔65的内周面与基准部件66中的圆筒部66A之间，座主体61中的顶面62或侧面64与基准部件66中凸缘部中的任何一者，或两者中，采用粘接剂，将基准部件66粘接固定于座主体61A上。

按照上述方式，在将基准部件66粘接固定于座主体61A之后，通过加工机，按照规定精度，对基准部件66的测定面进行精加工，完成模座61。

如上面所述，按照本发明检测用模座的第1种方案，部分用石英玻璃或单晶体石英的矩形板制成中空的长方体状的座主体，在该座主体的顶面和侧面上形成的安装孔中，以嵌合***方式固定多个基准部件，该基准部件具有与测定机的座前端相接触的基准测定面，故座主体几乎不因周围的温度变化，产生膨胀、收缩，可以较高的精度，将这些基准部件的基准测定面之间的间距或角度保持一定，可提高检查精度。

此外，本发明检测用模座的第2种方案与本发明检测用模座的第1种方案相同，座主体几乎不因周围的温度变化，产生膨胀、收缩，可以较高的精度，将这些基准部件的基准测定面之间的间距或角度保持一定，可提高检查精度，并且，由于在座主体的侧面部分，采用石英玻璃或单晶体石英的圆筒管，故装配更加容易，另外还可降低制造成本。

还有，按照本发明检测用模座的第3种方案，由于采用一块石英玻璃或单晶体石英切削出固定有基准部件的座主体，制成该座主体，故座主体具有较高的刚性，几乎不因周围的温度变化，产生膨胀、收缩，故可以更高的精度，保持多个基准部件的基准测定面之间的间距或角度。

再有，按照本发明检测用模座的进一步优选方案，除了本发明检测用模座的第1-3种方案的效果以外，由于采用以表面作为基准测定面的陶瓷球，以嵌合***方式固定于座主体中的安装孔中的衬套制成基准部件，故可减小基准测定面的磨耗，可长期地保持较高精度。

另外，按照本发明的检查用模座的制造方法的第1种方案，由于将石英玻璃或单晶体石英形成的矩形板之间接合，形成中空的立方体状的座主体中的至少顶面和4个侧面，故即使在采用象石英玻璃或单晶体石英那样高价的材料的情况下，仍可以较低的价格制作，并且可减轻座主体的重量，容易进行装配，可使制造成本较低。

此外，按照本发明的检查用模座的制造方法的第2种方案，由于采用石英的圆筒管，由于采用本发明的检查用模座的制造方法的第1种方案所述的制造方法，故座主体的装配容易，可使制造成本更低。

还有，本发明的检查用模座的制造方法的第3种方案，由于在采用一块石英玻璃或单晶体石英切削形成之后，加工基准部件的安装孔，故与将预先形成有安装孔的多个部分接合装配而形成的座主体相比较，可更加提高安装孔的位置或方向的精度。

再有，按照本发明的检查用模座的制造方法的进一步优选方案，没有影响形成于座主体中的安装孔的加工精度，可以较高精度的加工基准部件的基准测定面。

在此情况下，由于当采用一块石英玻璃或单晶体石英进行切削形成座主体时，固定基准部件的座主体的刚性较高，故可以更高精度的进行基准测定面的加工。

Claims (12)

1.一种检查用模座，其特征在于其包括：

中空长方体状的座主体，其中至少顶面和4个侧面由石英玻璃或单晶体石英的矩形板形成；和

多个基准部件，它们分别以嵌合***方式固定在形成于座主体顶面和侧面上的多个安装孔中，该基准部件有与测定机座的前端相接触的基准测定面。

2.一种检查用模座，其特征在于其包括：

中空长方体状的座主体，其中侧面由石英玻璃或单晶体石英的圆筒管形成，至少顶面由石英玻璃或单晶体石英的圆形板形成；和

多个基准部件，它们分别以嵌合***方式固定在形成于上述座主体的顶面和侧面上的多个安装孔中，该基准部件有与测定机座的前端相接触的基准测定面。

3.一种检查用模座，其特征在于其包括：

中空长方体状的座主体，其至少包括顶面和侧面，该座主体采用由一块石英玻璃或单晶体石英切削而制成；和

多个基准部件，它们分别以嵌合***方式固定在形成于上述座主体的顶面和侧面上的多个安装孔中，该基准部件有与测定机座的前端相接触的基准测定面。

4.根据权利要求1所述的检查用模座，其特征在于，以表面作为基准测定面的陶瓷球，以及保持上述陶瓷球，以嵌合***方式固定于座主体中的安装孔中的衬套构成的基准部件。

5.根据权利要求2所述的检查用模座，其特征在于，以表面作为基准测定面的陶瓷球，以及保持上述陶瓷球，以嵌合***方式固定于座主体中的安装孔中的衬套构成的基准部件。

6.根据权利要求3所述的检查用模座，其特征在于，以表面作为基准测定面的陶瓷球，以及保持上述陶瓷球，以嵌合***方式固定于座主体中的安装孔中的衬套构成的基准部件。

7.一种检查用模座的制造方法，该方法包括下述步骤：

第1步骤，在由石英玻璃或单晶体石英形成的矩形板的规定位置，加工出安装孔；

第2步骤，将多块石英玻璃或单晶体石英的矩形板接合，形成中空长方体状的座主体的至少顶面与4个侧面，以便使在上述步骤中加工有安装孔的矩形板设置于4个侧面中的至少一个面上与顶面上；

第3步骤，在第2步骤后，以嵌合***方式将与测定机测头的前端相接触的基准部件固定于相应的安装孔中。

8.一种检查用模座的制造方法，该方法包括下述步骤：

第1步骤，在由石英玻璃或单晶体石英形成的圆形板与由石英玻璃或单晶体石英形成的圆筒管相应的规定位置，加工出安装孔；

第2步骤，至少将在上述步骤中加工有安装孔的圆形板，与上述圆筒管接合，形成中空的圆筒状的座主体；

第3步骤，在第2步骤后，以嵌合***方式将与测定机测头的前端相接触的基准部件固定于相应的安装孔中。

9.一种检查用模座的制造方法，该方法包括下述步骤：

第1步骤，采用一块石英玻璃或单晶体石英，切削出具有至少顶面和侧面的座主体；

第2步骤，在第1步骤中形成的座主体的顶面与侧面中相应的规定位置，加工出安装孔；

第3步骤，在第2步骤后，以嵌合***方式将与测定机测头的前端相接触的基准部件固定于相应的安装孔中。

10.根据权利要求7所述的检查用模座的制造方法，其特征在于在第3步骤后，在相应的基准部件中，对与测定机测头的前端相接触的基准测定面进行精加工。

11.根据权利要求8所述的检查用模座的制造方法，其特征在于在第3步骤后，在相应的基准部件中，对与测定机测头的前端相接触的基准测定面进行精加工。

12.根据权利要求9所述的检查用模座的制造方法，其特征在于在第3步骤后，在相应的基准部件中，对与测定机测头的前端相接触的基准测定面进行精加工。

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