TW522219B - Inspection master block and method of producing the same - Google Patents

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V 522219 案號90103540_年月日 絛正 五、 發明說明 (1) 發 明 領 域 本 發 明 係 有 關 用 於 進 行 二 維 測定機 等 的 測 定 機 的 精 度 檢 測 或 校 正 用 的 檢 查 用 模 座 〇 發 明 背 景 在 過 去 在 機 動 車 或 變速機 中的外 殼 類 的 機 械 部 件 類 的 尺 寸 測 定 中 廣 泛 採 用 使 測 頭 (測定 子 ) 的 前 端 與 設 定 於 測 定 台 ( 座 ) 上 的 被 測 定 物 接 觸，進 行 測 定 的 測 定 機 等 的 測 定 機 〇 這 種 測 定 機 採 用 精 度 加 工 的測定樣模 定 期 地 進 行 精 度 檢 查 或 測 定 誤 差 的 校 正 以便保持測定精度 〇 測 定 樣 模 包 括 測 定 機 中 的 測 頭 所 接觸的 基 準 測 定 面 用 於 通 過 將 測 定 機 上 述 的 基 準 測 定 面 的實測 資 料 與 基 準 值 進 行 比 較 對 測 定機的精度進行檢查或校正 〇 作 為 過 去 人 們 提 出 專 利 中 請 的這種 測 定樣模 比 如 包 括 有 在 曰 本JP特 開 平 11 -44527號文獻 中 描 述 的 測 定 樣 模 在鑄鐵形成的 呈 立 方 體 狀 的 中空箱 體 的 頂 面 與 側 面 中 的 個 面 以 及 前 面 的 相 應 的4個角部： ，分別安I基準孔 部 件 、 〇 這 i匕 基 準 孔 部 件 的 一 端 呈 具 有凸緣 的 圓 筒 狀 5 通 過 上 述 凸 緣 5 借 助 螺 栓 固 定 於 箱 體 中 ，另外 圓 筒 部 的 内 面 呈 精 加 工 的 圓 孔 狀 形 成 測 定 用 的 基準孔 〇

522219 _案號90103540_年月日__ 五、發明說明（2) 另外，在日本J P特開平4 - 1 6 0 3 0 1號文獻描述的樣模測 定裝置中，在由低膨脹材料形成的立方體形狀或直方體形 狀的中空的支承座的外側處，按照呈井字狀組合，固定由 線膨脹係數基本上為0的玻璃材料形成的杆體，用這些杆 體的兩端面作為基準測定面，另外，在支承座的頂面處， 安裝由至少3個座標基準設定用的玻璃材料等形成的球。 在上述日本J P特開平1 1 - 4 4 5 2 7號文獻所描述的測定樣 模中，由於基準孔部件安裝于鑄鐵成的中空的箱體中，如 果鑄鐵制的箱體部分因周圍的溫度變化而膨脹或收縮，則 基準孔部件之間的間距或角度處就會發生微妙變化，對檢 測精度造成影響。 此外，日本J P特開平4 - 1 6 0 3 0 1號文獻中所描述的樣模 測定裝置中，由於用兩端面作為基準測定面的杆體或座標 基準設定用的球採用線膨脹係數基本上為0的玻璃材料， 故極大地將周圍的溫度變化造成的杆體或球本身的膨脹收 縮抑制，提高了檢查精度。 但是，由於這些杆體或球支承於禱鐵制的箱體上，箱 體溫度的變化造成各部分尺寸的變化，或形狀的改變對檢 測精度造成影響，而且，還存在結構複雜，製造成本較高 的問題。

522219 _案號 90103540_年月日_«_ 五、發明說明（3) 發明概述 因此，本發明的目的在於解決上述的已有技術的問 題，提供一種可極大地去除周圍的溫度變化造成的影響， 可以獲得較高檢查精度的檢查用模座及其製造方法。 為了實現上述目的，本發明檢測用模座的第1種方案 包括中空的長方體狀的座主體，其中至少頂面和4個側面 由石英玻璃或單晶體石英的矩形板形成；多個基準部件， 它們分別以欲合***方式固定在形成於座主體的頂面和側 面上的多個安裝孔中，有與測定機座的前端相接觸的基準 測定面。 另夕卜，在本說明書中所述的"矩形”的術語包含"正方 形π，另外，π長方體π的術語包含"立方體π。 此外，本發明的檢查用模座的第2種方案包括中空的圓 筒體狀的座主體，其側面由石英玻璃或單晶體石英的圓筒 管形成，至少頂面由石英玻璃或單晶體石英的圓形板形 成；多個基準部件分別以嵌合***方式固定在形成於上述 座主體的頂面和側面上的多個安裝孔中，有與測-定機座的 前端相接觸的基準測定面。 還有，本發明的檢查用模座的第3種方案，包括至少 有頂面和側面的用一塊石英玻璃或單晶體石英切削而製成 的座主體；多個基準部件，它們分別以嵌合***方式固定

522219 _案號 90103540_年月日_修正 . 五、發明說明（4) 在形成於上述座主體的頂面和側面上的多個安裝孔中，有 與測定機座的前端相接觸的基準測定面。 在上述檢查用的模座的第1至3種方案中，可以採用以 表面作為基準測定面的陶瓷球，以及保持上述陶瓷球，以 嵌合***方式固定於座主體中的安裝孔中的襯套構成的基 準部件。 再者，本發明的檢查用模座的製造方法的第1種方 案，包括下述步驟··第1步驟，在由石英玻璃或單晶體石 英製成的矩形板的規定位置，加工出安裝孔；第2步驟， 將多塊石英玻璃或單晶體石英的矩形板接合，形成中空的 長方體狀的座主體的至少頂面與4個側面，以便使在上述 步驟中加工有安裝孔的矩形板設置於4個側面中的至少一 個面上與頂面上；第3步驟，在第2步驟後，以嵌合***方 式將與測定機測頭的前端相接觸的基準部件固定於相應的 安裝孔中。 另外，本發明的檢查用模座的製造方法的第2種方 案，包括下述步驟··第1步驟，在由石英玻璃或單晶體石 英製成'的圓形板與由石英玻璃或單晶體石英製成的圓筒管 的相應的規定位置，加工出安裝孔；第2步驟，至少將在 上述步驟中加工有安裝孔的圓形板，與上述圓筒管接合， 形成中空的圓筒狀的座主體；第3步驟，在第2步驟後，以 嵌合***方式將與測定機測頭的前端相接觸的基準部件固

522219 _案號90103540_年月日__ 五、發明說明（5) 定於相應的安裝孔中。 此外，本發明的檢查用模座的製造方法的第3種方 案，包括下述步驟：第1步驟，採用一塊石英玻璃或單晶 體石英，切削出具有至少頂面和側面的座主體；第2步 驟，在第1步驟中形成的座主體的頂面與側面上的相應的 規定位置，加工出安裝孔；第3步驟，在第2步驟後，以嵌 合***方式將與測定機測頭的前端相接觸的基準部件固定 於相應的安裝孔中。 還有，在上述檢查用模座的製造方法的第1至3種方案 中，可在第3步驟後，在相應的基準部件中，對與測定機 測頭的前端相接觸的基準測定面進行精加工。 在本發明的檢查用模座（下面簡稱為"模座”）中，在 石英玻璃或單晶體石英製成的座主體上，安裝由殷鋼之類 的熱膨脹係數較小的材料製成的多個基準部件，在這些基 準部件上，形成與測定機的測頭相接觸的基準測定面。 座主體中的至少頂面和4個側面，可採用石英玻璃或 單晶體'石英製成的矩形板，將這些板接合，形成呈中空長 方體狀的座主體，或其側面和至少頂面可分別採用石英玻 璃或單晶體石英成的圓筒管與圓形板，將這些圓筒管與圓 形板接合，的形成呈中空圓筒狀的座主體。

522219 _案號 9Q103540_年月日_^_ 五、發明說明（6) 矩形板、圓板或圓筒管的接合，市售的迅速粘接劑是適合 中白勺。 再者，相應的基準部件以後合***方式固定于安裝孔 中，該安裝孔是在座主體裝配之前，預先通過座標鏜床等 的加工機，在矩形板或圓形板，圓筒管的規定位置加工出 的° 另外，座主體還也可採用一塊石英玻璃或單晶體石 英，用鑽石工具等切削製成長方體狀或圓筒狀。 在切削出座主體的外形之後，在座主體的頂面和側面處， 通過座標鏜床等的加工機，製成用於以嵌合***方式固定 基準部件的安裝孔。 此外，最好採用單一材料切削出的座主體底部開口的 中空部的中空狀，以便減輕其重量。 基準部件通過螺栓等固定件固定於座主體上，但是， 此時，最好在安裝孔周圍部與基準部件之間，塗敷粘接 劑，賤基準部件粘接于安裝孔中，以便不使基準部件的固 定位置發生偏移。 僅 僅 而 進 面 定 ， 測 件準 定 基 固。對 的中， 等孔後 栓裝之 螺安上 用的體 採中主 不體座 可主於 也座定 件於固 部定件 準固部 基，準 ，劑基 有接將 還粘’ 用者 採再 1¾

1 第9頁 522219 _案號 90103540_年月日__ 五、發明說明（7) 行精加工，可提高基準測定面的安裝角度或安裝位置的精 度。 另夕卜，將高精度地加工的陶瓷球表面作為基準測定面 構成基準部件。此外，由於石英玻璃或單晶體石英的熱膨 脹係數非常小，故分別安裝於座主體上的基準部件的基準 測定面之間的間距或各基準測定面的方向幾乎不受到周圍 溫度變化的影響，保持較高的精度。 較佳實施例之發明詳述 下面根據附圖，對本發明的實施方案進行描述。圖1 表示本發明的模座的第1實施方案，本實施方案的模座1固 定於該卡具板4上，該卡具板4設置於測定機2中的測定台3 上，該模座用於精度的檢查或校正。 測定機2包括門式活動架5，以可滑動的方式沿該圖的 X方向支承於測定台3的兩側；頭部6，以滑動的方式支承 於上述活動架5上，沿與上述X方向相垂直的方向滑動；升 降軸7，按照相對上述頭6，沿上下方向，即沿圖Z方向上 下運動的方式支承，可沿方向將固定於升降軸7_的底端上 的測頭8移動定位。 上述測頭8的前端部，通過人造紅寶石或陶曼等的硬 質耐磨耗性的材料製成，呈高精度的球狀，在通常的測定 作業中，測定機2使測頭8的前端部與設置於測定台3上的

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A 修正 五、發明說明（8) 發動機氣缸體等的工件的加工面相接觸，測定相對上述測 頭8的基準位置的位移，檢查是否按照規定的尺寸，對工 件進行加工。 在進行測定機2本身的精度檢查的情況下，使測頭8的 前端與設置於模座1上的殷鋼制的基準部件9的基準測定面 相接觸，而不是與工件相接觸，比如，實際測定設置於模 座1上的2個基準部件9的基準測定面之間的距離將其與基 準值進行比較，分析實測值與基準值的誤差，另外，根據 上述實測誤差，對測定機進行校正。 如圖2所示，模座1由基本呈立方體狀的座主體1 A，以 及基準部件9構成，該基準部件9分別安裝於該座主體1 A的 頂面和側面上。 上述模座主體1 A是通過枯接劑（市場上銷售的快速枯 接劑等），將分別基本呈正方形的石英玻璃製成的頂板 1 0，側板1 1和底板1 2钻接疊合製成。 圖3為模座1的分解透視圖，在頂板1 0與4個侧板1 1 上，沿板厚方向貫通地形成用於將基準部件9安裝於相應 的4個角部附近處的安裝孔1 3。 另外，在頂板1 0的3個部位，在側板1 1的2個部位，分 別形成通氣孔1 4，該通氣孔1 4用於連通在模座1的内部與

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V 522219 ___案號 90103540_年月日__ 五、發明說明（9) 外部之間的空氣的流動通道。 此外，這些通氣孔1 4用於防止隨溫度變化，產生模座 主體1 A内部與外部的氣壓差，座主體1 A發生變形的情況， 如果在底板1 2中，形成使空氣流通的開口部等，也可不設 置該孔1 4。 在底板1 2的中間部分，形成圓形的通孔1 5，圓形的固 定塞1 6中的較小直徑部1 6 A散合于該通孔1 5中。

在上述固定塞1 6中，形成螺合有2根螺栓1 7的一對螺紋孔 1 8 ° 這些螺栓1 7分別從下方，穿過設置於卡具板4 (參照 圖1 ) 一側的固定板1 9中的一對螺栓貫穿孔2 0，與固定塞 1 6的螺紋孔1 8螺合，由此，將模座1固定於固定板1 9上。 還有，最好，固定塞1 6通過難於因殷鋼等的溫度變化 而產生膨脹收縮或變形的材料形成。

再者，如圖4所示，相應的基準部件9包括圓筒部9 A， 其外徑與形成於頂板1 〇或側板1 1中的安裝孔1 3相吻合；凸 緣部9JB，直徑大於安裝孔1 3，在圓筒部9A —側的端面中心 部，形成螺合有螺栓2 1的螺紋孔9 C。 基準部件9中的圓筒部9 A的長度以從頂板1 0或側板1 1 的外側，***到安裝孔1 3中直至凸緣部9 B與安裝孔1 3的周 緣部接觸，使頂板1 0或側板1 1向内側形成突出部分的長

第12頁 522219 _案號 90103540_年月日__ 五、發明說明（10) 度。 在該突出部分中，安裝有彈性的氨基甲酸乙酯制的軸 環22。 上述軸環2 2中不受軸向壓縮力時的軸向長度稍大於圓 筒部9 A的突出部分的長度，如果通過上述螺栓2 1，將墊圈 2 3固定於圓筒部9 A的端面上，則軸環2 2受到彈性壓縮而夾 入頂板1 0或側板1 1與墊圈2 3之間形成基準部件9固定於頂 板1 0或側板1 1上的結構。 另外，在通過螺栓2 1，將基準部件9固定於頂板1 0或 側板1 1上時，在兩者的接觸部分之間，塗敷有粘接劑（市 場上銷售的迅速粘接劑等），防止基準部件9相對頂板1 0 或側板11的固定位置的偏移。 此外，將基準部件9的凸緣部9 B的端面S 1，與形成於 上述端面S 1的中間部的圓形凹部内周面S 2作為測頭8 (參 照圖1 )的前端接觸基準測定面，進行高精度的精加工。 下面對按照上述方案構成的模座1的製造步驟進行描 述，首先，製作如圖3所示的6塊石英玻璃或單晶體石英作 為材料，基本呈正方形的頂板1 0，側板Π，底板1 2，其 中，通過座標鏜床等的加工機，在頂板1 0和4個側板1 1 中，加工出基準部件9的安裝孔1 3和通氣孔1 4。另夕卜，在 底板1 2的中間部，同樣通過座標鏜床等的加工機等，加工

522219 _案號 90103540 _年月日__ 五、發明說明（Π) 出圓形的通孔1 5。 接著，4塊側板1 1分別以其中一個端面，和與上述端 面相對一側的端面的相鄰的内面緣部作為粘接部分，分別 在端面和内面緣部之間，通過粘接劑粘接，呈正方形筒狀 裝配。 另外，通過粘接劑，將頂板1 0和底板1 2，粘接於這4 塊側板1 1的上下端面上，裝配座主體1 A (參照圖2 )。 此後，從座主體1 A的外側，將基準部件9中的圓筒部9 A插 入相應的安裝孔1 3中，通過粘接劑進行固定。另外，在這 些基準部件9中，如圖4所示，安裝軸環2 2和墊圈2 3，通過 螺栓2 1，將與板1 0，1 1緊固。 按照上述方式，通過粘接劑和螺栓2 1這兩者，將基準 部件9牢固地固定於座主體1A上。 還有，將軸環2 2，墊圈2 3，以及螺栓2 1安裝於基準部 件9上的作業可通過從形成於底板1 2中的通孔1 5，將手或 套筒揖手等的緊固卡具***座主體1 A内部而進行。此外， 固定塞16必須在座主體1A的裝配完畢之前，預先放入座主 體1 A内部。 在按照上述方式，將基準部件9固定於座主體1 A中之 後，將固定塞1 6中的較小直徑部1 6 A與底板1 2中的通孔1 5

第14頁 522219 _案號 90103540_年月日__ 五、發明說明（12) 德：合，通過圖3所示的螺栓1 7，固定於圖中未示出的加工 機的卡具臺上。 到此時刻，圖4所示的基準部件9中的凸緣部9 B的端面 S 1與形成於上述端面S 1上的圓形凹部内周面S 2處於未加工 狀態，通過上述加工機，對上述端面S 1和凹部内周面S 2進 行精密加工，按照基準值，正確地對相鄰的基準部件9中 的凹部内周面S2之間的間距進行精加工，對固定於座主體 1 A中的相互垂直面的基準部件9的端面S 1之間的角度正確 地進行精加工，以便形成9 0度，完成模座1的製造步驟。 圖5為表示本發明檢查用模座的第2實施例的透視圖， 圖6為其分解透視圖，本實施方案的模座31包括圓筒管 3 2，形成圓筒狀的側面，由石英玻璃或單晶體石英形成； 座主體3 1 A，由直徑基本等於上述圓筒管3 2的外徑的頂板 3 3，和直徑大於圓筒管3 2的底板3 4構成。 如圖5所示，在座主體3 1 A的頂面和側面，分別設置殷 鋼制的基準部件3 5，3 6，該基準部件3 5沿圓周方向按照等 間距，、安裝於頂板3 3的外周附近的4個部位，另外，基準 部件3 6安裝於與相應的基準部件3 5相對應的圓筒管3 2的環 周方向的4個部位的，分別沿上下方向的2個位置的，共計 8個部位。 如圖6所示，將基準部件3 5安裝於頂板3 3上的安裝孔

522219 案號 90103510 年 月 曰 修正 五、發明說明（13) U按照沿圓周方向’等間距地貫通地形成，並且在通過這 些安裝孔3 7的中心的圓周上，在相對各安裝孔3 7，頂板3 3 =中心角每次按4 5。，相位錯開的位置，分別貫通地形成 螺紋貫穿孔3 8。 在底板3 4的中間部，形成通孔3 9，此外，在上述通孔 9的周圍’在與形成於頂板3 3上的各安裝孔3 7的正下方相 、應的位置’形成螺紋貫穿孔4 〇。 的&如圖7所不’頂板3 3與底板34通過貫通圓筒管3 2内部 上又鋼形成的4個連接杆4 1的兩端連接。即，連接杆4丨呈 下對稱形狀，在上下的兩端，形成螺紋部4丨A。 38形成下述結構，其中這些螺紋部4 1 A***螺紋貫穿孔 置40中，該孔分別形成於頂板33和底板34中的相對位 突在頂邛Μ中的向上方突出的部分和底板3 4中的向下方 42的部/刀5安裝有由氨基甲酸乙酯形成的彈性的軸環 將頂：L合：ί將螺母43…將圓筒管32夾持於之間， 貝板3 3和底板3 4連接成一體。 度義ΐ接杆41中的除了兩端的螺紋部41的部分的長 管32的轴向長度相等，另外外經大於分別 又万；頂板33和底板34中的螺紋貫穿孔38，4〇。 遠有’在相應的連接杆4 1中，在沿縱向間 隔開的2個

第16頁 522219 _案號 901Q3540_年月日__ 五、發明說明（14) 部位，沿與上述縱向相垂直的方向，形成螺紋孔4 1 B，在 這些螺紋孔4 1 B中，螺合有對位螺栓4 4。 這些對位螺栓4 4在圓筒管3 2内部，朝向其半經方向的 外側，通過使相應的前端與圓筒管3 2的内周面相接觸，則 圓筒管3 2的中心實現定位，從而與頂板3 3與底板3 4的中心 保持一致。 再者，在相應的對位螺栓44中，螺合有鎖定螺母45， 通過這些鎖定螺母4 5，相對連接杆4 1，將位置調整的對位 螺栓4 4的螺合位置固定。 圖8為表示基準部件3 5中的相對頂板3 3的安裝結構的 局部剖視圖，該基準部件3 5由螺紋部3 5 A和凸緣部3 5 B構 成，該螺紋部3 5 A穿過形成於頂板3 3中的安裝孔3 7，該凸 緣部3 5 B的外徑大於在頂板3 3的表面露出的安裝孔3 7的直 徑。 在基準部件3 5的中心部，沿其轴向的整個長度範圍， 形成孔，凸緣部35B的端面S’ 1與上述通孔内周面S’ 2與 上述的第1實施方案中的基準部件9相同，作為測頭8 (參 照圖1 )的前端所接觸的基準測定面，進行高精度的精加 另外，螺紋部3 5 A具有在***到安裝孔3 7中，直至凸

522219 _案號 90103540_年月日__ 五、發明說明（15) 緣部3 5 B與頂板3 3的表面相接觸的位置，向頂板3 3的裏面 突出的長度，在該突出部分，安裝有由彈性的氨基甲酸乙 酯製成的軸環4 6和墊圈4 7，另外，通過螺合螺母4 8，將基 準部件3 5固定於頂板3 3上。 此外，在本實施方案中的基準部件3 5中，與上述的第 1實施方案中的基準部件9相同，頂板3 3與基準部件3 5的接 觸部分之間通過粘接劑粘接，從而防止基準部件3 5相對頂 板3 3的固定位置的偏移。 圖9為表示基準部件3 6相對圓筒管3 2的安裝結構的局 部剖視圖，該基準部件3 6的形狀與上述的基準部件3 5相 同，由螺紋部3 6 A和凸緣部3 6 B構成，在其中心部，沿軸向 的整個長度範圍，形成通孔，凸緣部3 6 B的端面S" 1與上述 通孔内周面Sπ 2作為基準測定面，進行高精度的精加工。 在基準部件3 6中，螺紋部3 6 Α***沿半徑方向貫通圓 筒管3 2而形成的安裝孔4 9中，從圓筒管3 2的内側，擰緊螺 母5 0，實現固定，但是由於與圓筒管3 2的内外周面的曲率 相對應，故在圓筒管3 2的外側和内側，設置有外軸環5 1和 内軸環5 2，在這些軸環中，分別在中心部，形成螺紋部 36A所穿過的孔。 外軸環5 1和内軸環5 2，分別與圓筒管3 2的内外周面相 接觸的面由與這些内外周面的曲率相吻合的凹曲面與凸曲

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案號 90103540 3說明（16) ^ —j 修正 面形成，以便通過緊固與螺 圓筒管32的内部為生彎曲應力4 bA螺合的螺母50,不在 這些外軸環51與内軸環 準部件3 6中的凸緣部3 6 β之間、又鋼形成，外軸環5 1與基 之間通過粘接劑粘接。 以及外軸環5 1與圓筒管3 2 下面對按照前述方式槎 述，首先，製作圖6所示的、自、拉座3 1的製造步驟進行描 材料的圓筒管32，頂板33 ’以石英破璃或單晶體石英為 在這裏’ ％過座標鏜床等：板3 4。 裝孔4 9，項板3 3的安裝孔' 工機，加工出圓筒管3 2的安 3 9和螺紋貫穿孔4 0。 螺紋貫穿孔3 8，底板的通孔 此外，最好，上述頂柄 3 4中的螺紋貫穿孔4 〇以頂 的螺紋貫穿孔3 8和底板 加工，以便防止加工位置的:^板34呈同心狀重合的方式 接著’在分別安裝預先製 栓44和鎖定螺 π 的4根連接杆41，對位螺 相應的杆的、、^悲，將它們放入圓筒管3 2内部，將 38#!底板兩端的螺紋部41人***頂板33中的螺紋貫穿孔 上3 I螺紋貫穿孔4〇，將塾圈42嵌合於相應的連接杆 上通過螺母43鬆弛地臨時固定。 肝 然後， 使對位螺栓4 4的前端與圓筒管3 2的内周面接

522219 _案號 90103540_年—月 日__ 五、發明說明（17) 觸，正確地進行定位調整，以便使圓筒管3 2，頂板3 3和底 板3 4處於同心狀態位置，在調整位置，各對位螺栓4 4通過 鎖定螺母4 5固定，以便不產生旋轉。 之後，將相應的螺母4 3緊固，將圓筒管3 2，頂板3 3和 底板34連接成一體，完成座主體31A的裝配。 還有，最好在圓筒管32的上下的端面與頂板33和底板34之 間，塗敷粘接劑，使它們相互粘接。 如果座主體3 1 A的裝配完畢，則在頂板3 3中的安裝孔 3 7與圓筒管3 2中的安裝孔4 9中，分別安裝基準部件3 5， 3 6，但是，此時，從外側將基準部件3 5中的螺紋部3 5 A插 入到頂板3 3中的安裝孔3 7中，凸緣部3 5 B與頂板3 3中的安 裝孔3 7的周緣部之間通過粘接劑粘接。 再者，如圖8所示，從頂板3 3的内側，在螺紋部3 5 A 中，安裝軸環4 6和墊圈4 7，以螺合方式將螺母4 8固定。 >圖9所示，從外側，將安裝有外軸環5 1的基準部件 3 6中的螺紋部3 6 A***到圓筒管3 2中的安裝孔4 9中，外軸 環5 1的外面與内面，分別通過粘接劑與凸緣部3 6 B和圓筒 管3 2的外周面粘接。此外，在朝向圓筒管3 2的内側突出的 螺紋部3 6 A上，安裝内軸環5 2，以螺合方式將螺母5 0固定 於其上。

第20頁 522219 _案號 90103540_年月日__ 五、發明說明（18) 另夕卜，在座主體3 1 A的内部，將軸環4 6，墊圈4 7，内 軸環5 2，螺母4 8，5 0安裝於基準部件3 5，3 6上的作業可這 樣進行，與前述的第1實施方案中的形成於底板1 2中的通 孔1 5相同，從形成於底板3 4中的通孔3 9，將手或套筒扳手 等的緊固工具***座主體3 1 A的内部。 此外，上述通孔3 9同時用作P方止因周圍的溫度變化， 在座主體3 1 A的内側與外側之間為生氣壓差，座主體3 1 A發 生變形的通氣孔。 按照上述方式，如果將基準部件3 5，3 6安裝於座主體 3 1 A上的作業完成，則將在座主體3 1 A的底板3 4的圓筒管3 2 外側呈凸緣狀突出的部分，固定於圖中未示出的加工機中 的卡具台的固定部件上，此外，對未進行精加工的基準部 件3 5中的凸緣部3 5 A的端面S ’ 1.與通孔内周面S ’ 2，以及基 準部件36中的凸緣部36A的端面Sn 1與通孔内周面S" 2進行 精密加工，完成模座3 1的製造步驟。 還有，在本實施方案中，對基準部件35的端面S’ 1與 基準部件3 6的端面S ” 1進行精加工，以便使它們相互剛好 垂直，另外，進行精加工，以便使基準部件3 5的通孔内周 面S ’ 2與基準部件3 6的通孔内周面S ” 2的相應的中心位置、相 對座主體3 1 A的中心，每次按照中心角9 0 °設置。

522219 案號 90103540 Λ_a. 曰 修正 五、發明說明（19) 圖1 0為表示基準部件的另一實施方案，該圖所示的基 準部件5 3由包括螺紋部5 3 A與凸緣部5 3 B的中空的襯套 5 3 C，和陶瓷球5 3 D構成。 以上述陶瓷球5 3 D的表面作為基準測定面，按照規定 直徑，進行精密加工，將其通過粘接劑固定於下述固定座 面a上，該面由與襯套5 3 C的陶瓷球5 3 D相吻合的球面的一 部分形成。 在上述基準部件5 3中，與前述的各實施例中的模座 1，3 1相同，從外側，將螺紋部5 3 A***構成座主體的石英 玻璃或單晶體石英的板5 4的安裝孔5 5中，上述的螺紋部 5 3 A從板5 4的内侧，安裝具有彈性的氨基甲酸乙酯制的軸 環5 6，將螺母5 7以螺合方式固定。 再者，在前述的各實施例的模座1，3 1中，座主體 ΙΑ，31A包括由石英玻璃或單晶體石英形成的底板12， 34，但是也可省略這些底板1 2，34，側板1 1或圓筒管3 2等 的底板以外的部分直接固定於卡具台等上形成的結構。 圖1 1為表示本發明的檢查用模座的第3實施方案的透 視圖，圖1 2為其分解透視圖，圖1 3為平面圖，本實施例的 模座6 1包括從一塊石英玻璃或單晶體石英中切削出而製作 的座主體6 1 A。

第22頁 522219 _案號 90103540_年月日__ 五、發明說明（20) 該座主體6 1 A具有平直的頂面6 2，並且從圓柱狀的外 周面6 3的頂端到底端附近位置，在圓周方向的4個部位， 具有平面6 4，此外，在其内部，如圖1 4所示，形成下方敵 開的空間，以便減輕重量。 在座主體61A上，在頂面62的4個部位，在4個平面 6 4，每次沿上下2個部位，形成安裝孔6 5，基準部件6 6固 定于這些安裝孔65中。 這些基準部件6 6包括圓筒部6 6 A和凸緣部6 6 B，與前述 的各實施方案的部件相同，但是，圓筒部6 6 A是以嵌合方式 ***安裝孔6 5的狀態，本實施方案中的基準部件6 6僅僅通 過粘接劑固定。 另夕卜，圖1 5為從下方看到的座主體6 1 A的圖，如圖所 示，在座主體61A中的底端面67中，用於將座主體61A穩定 地設置在測定機的測定臺上，底面平直的支腳部6 8按照沿 圓周方向相等的間距在3個部位突出。

此外，如圖16所示，在上述底端面67上，座主體61A Λ 沿一個直徑方向相對的兩個位置，形成較淺的缺口部6 9， 在這些缺口部6 9中，分別形成有定位孔7 0，該孔7 0用於嵌 入在測定機中的測定台一側突出的定為梢。 還有，在本實施的模座6 1中，在座主體6 1 Α的圓柱狀

第23頁 522219 _案號90103540_年月日__ 五、發明說明（21) 的外周面6 3在部分削減而形成的4個部位的平面6 4中的相 對的2個平面的下方，分別沿這些平面6 4相平行的方向， 形成一對保持槽71。

這些成對的保持槽7 1，用於將安裝於設定裝置上的支 承叉形件***到測定機中的測定臺上的測定位置，該設定 裝置用於使模座6 1移動而將其設定，模座6 1在進行測定機 的精度檢查時，通過設定裝置的支承叉形件而上檯，從後 退位置移動到測定臺上的測定位置，在這裏，降落到測定 臺上。 此時，模座6 1通過將相對測定台側突出的定位梢嵌入 形成於座主體6 1 A上的一對定位孔7 0中，相對測定台實現 定位，在此狀態，其通過形成於底端面6 7上的3個支腳部 6 8，支承於測定臺上的固定位置。 再者，對於這樣的設定裝置，本發明人已提交了專利 申請，其可採用申請號為日本JP2 0 0 0 - 0 1 7 5 8 3的中請的類 型 。

、 另外，本實施的模座6 1還可採用圖1 0所示的具有陶瓷 球的類型以代替基準部件6 6。 下面，對前述的模座6 1的製造步驟進行描述，首先， 通過使用鑽石工具等的加工機，採用一塊石英玻璃或單晶

第24頁 522219 _案號 90103540_年月日_^_ 五、發明說明（22) 體，切削出座主體61 A的外形。此時，環形成底面開口的 中空部，以便減輕座主體6 1 A的重量。 此夕卜，在形成於座主體6 1 A上的頂面6 2與側面6 4中， 通過座標鏜床等的加工機，分別形成用於安裝基準部件6 6 的安裝孔6 5。 在加工安裝孔6 5之後，將基準部件6 6中的圓筒部6 6 A ***到安裝孔6 5中，直至接觸到凸緣部6 6 B。 此時，在安裝孔6 5的内周面與基準部件6 6中的圓筒 部6 6 A之間，座主體6 1中的頂面6 2或側面6 4與基準部件6 6 中凸緣部中的任何一者，或兩者中，採用粘接劑，將基準 部件6 6粘接固定於座主體6 1 A上。 按照上述方式，在將基準部件6 6粘接固定於座主體 6 1 A之後，通過加工機，按照規定精度，對基準部件6 6的 測定面進行精加工，完成模座6 1。 如上面所述，按照申請專利範圍第1項所述的發明， 、 部分用石英玻璃或單晶體石英的矩形板製成中空的長方體 狀的座主體，在該座主體的頂面和側面上形成的安裝孔 中，以嵌合***方式固定多個基準部件，該基準部件具有 與測定機的座前端相接觸的基準測定面，故座主體幾乎不 因周圍的溫度變化，為生膨脹、收縮，可以較高的精度，

第25頁 522219 _案號 90103540 _年月日__ 五、發明說明（23) 將這些基準部件的基準測定面之間的間距或角度保持一 定，可提高檢查精度。

此外，按照申請專利範圍第2項所述的發明，與申請 專利範圍第1項所述的發明相同，座主體幾乎不因周圍的 溫度變化，產生膨脹、收縮，可以較高的精度，將這些基 準部件的基準測定面之間的間距或角度保持一定，可提高 檢查精度，並且，由於在座主體的側面部分，採用石英玻 璃或單晶體石英的圓筒管，故裝配更加容易，另外還可降 低製造成本。 還有，按照申請專利範圍第3項所述的發明，由於採 用一塊石英玻璃或單晶體石英切削出固定有基準部件的座 主體，製成該座主體，故座主體具有較高的剛性，幾乎不 因周圍的溫度變化，產生膨脹、收縮，故可以更高的精 度，保持多個基準部件的基準測定面之間的間距或角度。

再者，按照申請專利範圍第4項所述的發明，除了申 請專利範圍第1至3項所述的發明的效果以外，由於採用以 表面作為基準測定面的陶瓷球，以嵌合***方式固定於座 主體中的安裝孔中的襯套製成基準部件，故可減小基準測 定面的磨耗，可長期地保持較高精度。 另夕卜，按照申請專利範圍第5項所述的發明，由於將 石英玻璃或單晶體石英形成的矩形板之間接合，形成中空

第26頁 5 522219 5 案號 90103540 年 曰 修正 五、發明說明（24) 的立方體狀的座主體中的至少頂面和4個側面，故即使在 採用象石英玻璃或皁晶體石英那樣南價的材料的情況下， 仍可以較低的價格製作，並且可減輕座主體的重量，容易 進行裝配，可使製造成本較低。 此外，按照申請專利範圍第6項所述的發明，由於採 用石英的圓筒管，由於採用申請專利範圍第5項所述的發 明的製造方法，故座主體的裝配容易，可使製造成本更 低。 還有，申請專利範圍第7項所述的發明，由於在採用 一塊石英玻璃或單晶體石英切削形成之後，加工基準部件 的安裝孔，故與將預先形成有安裝孔的多個部分接合裝配 而形成的座主體相比較，可更加提高安裝孔的位置或方向 的精度。 再者，按照申請專利範圍第8項所述的發明，沒有影 響形成於座主體中的安裝孔的加工精度，可以較高精度的 加工基準部件的基準測定面。

在此情況下，由於當採用一塊石英玻璃或單晶體石英 進行切削形成座主體時，固定基準部件的座主體的剛性較 高，故可以更高精度的進行基準測定面的加工。

第27頁 522219 _案號90103540_年月曰 倏正_ 圖式簡單說明 圖式簡單說明 圖1為表示將本發明第1實施方案的檢查用模座設置於 測定機上的狀態的透視圖； 圖2為表示本發明檢查用模座的第1實施方案的透視 圖， 圖3為表示本發明檢查用模座第1實施方案的分解透視 圖； 圖4為表示基準部件頂板的安裝結構的局部剖視圖； 圖5為表示本發明檢查用模座的第2實施方案的透視 圖； 圖6為表示本發明檢查用模座的第2實施方案的分解透 視圖； 圖7為沿圖5中的A - A線位置的縱向剖視圖； 圖8為表示基準部件的頂板的安裝結構的局部剖視 圖； 圖9為表示基準部件的圓筒管的安裝結構的局部剖視 圖； 圖1 0為表示基準部件的另一方案的局部剖視圖； 圖1 1為表示本發明檢查用模座的第3實施方案的透視 圖； 圖1 2為表示本發明檢查用模座的第3實施方案的分解 透視圖； 圖1 3為表示本發明檢查用模座的第3實施方案的平面 圖； 圖1 4為沿圖1 3中的B-B線的位置的縱向剖視圖；

第28頁 522219 _案號 90103540_年 月 日__ 圖式簡單說明 圖1 5為表示本發明檢查用模座的第3實施方案的底面 圖；以及 圖1 6為沿圖1 5中的C - C線的位置的局部剖視圖。 圖式 元件符號說明 1 模 座 1 A 座 主 體 2 3維測定機 3 測 定 台 4 卡 具 板 5 門 式 活動架 6 頭 部 7 升 降 轴 8 測 頭 9 基 準 部件 9A 圓 筒 部 9B 凸 緣 部 9C 螺 紋 10 頂 板 11 、 側 板 12 底 板 13 安 裝 14 通 氣 孑L 15 通 孔 16 固 定 塞

第29頁 522219 _案號 9Q1Q3540_年月日_修正 圖式簡單說明 1 6 A 直徑部 17 螺栓 18 螺紋孔 19 固定板 20 螺栓貫穿孔 2 1 嫘栓 22 軸環 23 墊圈 31 模座

31A 座主體 32 圓筒管 33 頂板 34 底板 35 基準部件 3 5 A 螺紋部 3 5 B 凸緣部 36 基準部件 3 6 A 螺紋部 36B 凸緣部

37 安裝孔 、 38 貫穿孔 39 通孔 40 貫穿孔 41 連接杆 41A 螺紋部

第30頁 522219 圖式簡單說明 41B 螺 紋 孔 42 轴 環 43 螺 母 44 對 位 螺 栓 45 螺 母 46 軸 環 47 墊 圈 48 螺 合 螺 母 49 安 裝 孔 50 螺 母 5 1 外 轴 環 52 内 轴 環 53 基 準 部 件 53A 螺 紋 部 53B 凸 緣 部 53C 襯 套 53D 陶 瓷 球 54 板 55 安 裝 孔 56 軸 環 57 螺 母 61 模 座 61 A 座 主 體 62 頂 面 63 外 周 面 案號 90103540 _年月日_

第31頁 522219 _案號 90103540 年_^_B_修正 圖式簡單說明 64 平 面 65 安 裝 66 基 準 部件 66A 圓 筒 部 66B 凸 緣 部 67 底 端 面 68 支 腳 部 69 缺 U 部 70 定 位 子L 71 保 持 槽

Claims (1)

1. 522219 _案號 90103540_年月日__ 六、申請專利範圍 1 . 一種檢查用模座，其特徵在於其包括： 中空長方體狀的座主體，其中至少頂面和4個側面由 石英玻璃或單晶體石英的矩形板形成；和 多個基準部件，它們分別以嵌合***方式固定在形成 於座主體頂面和側面上的多個安裝孔中，該基準部件有與 測定機座的前端相接觸的基準測定面。 2. —種檢查用模座，其特徵在於其包括：

   中空長方體狀的座主體，其中側面由石英玻璃或單晶 體石英的圓筒管形成，至少頂面由石英玻璃或單晶體石英 的圓形板形成；和 多個基準部件，它們分別以嵌合***方式固定在形成 於上述座主體的頂面和側面上的多個安裝孔中，該基準部 件有與測定機座的前端相接觸的基準測定面。 3. —種檢查用模座，其特徵在於其包括： 中空長方體狀的座主體，其至少包括頂面和側面，該 座主體採用由一塊石英玻璃或單晶體石英切削而製成；和 多個基準部件，它們分別以嵌合***方式固定在形成

   於上述座主體的頂面和側面上的多個安裝孔中，該基準部 、 件有與測定機座的前端相接觸的基準測定面。 4. 根據申請專利範圍第1至3項中的任一項所述的檢查用模 座，其特徵在於，以表面作為基準測定面的陶瓷球，以及

   第33頁 522219 _案號90103540_年月曰 絛正_ 六、申請專利範圍 保持上述陶瓷球，以嵌合***方式固定於座主體中的安裝 孔中的襯套構成的基準部件。 5 . —種檢查用模座的製造方法，該方法包括下述步驟： 第1步驟，在由石英玻璃或單晶體石英形成的矩形板 的規定位置，加工出安裝孔； 第2步驟，將多塊石英玻璃或單晶體石英的矩形板接 合，形成中空長方體狀的座主體的至少頂面與4個側面， 以便使在上述步驟中加工有安裝孔的矩形板設置於4個側 面中的至少一個面上與頂面上； 第3步驟，在第2步驟後，以嵌合***方式將與測定機 測頭的前端相接觸的基準部件固定於相應的安裝孔中。 :板位 驟 定 • 圓 L 步纟規 述U的 下^應 形 括W相 包奂管 • 石 法 筒 體 方 圓 日ΒΘ 該 _的 ρ彐一 ，Υ 法纟形 离 s Μ英 波 造，央石 製妻體 石 的J晶 由 1 座 單 在 模 或 用纟璃 查f玻 檢1#英 種第石 一 由 6 與 孔 裝 安 出 工： 加第 置 驟 步 形 的 孔 裝 安 有 工 加 中 驟 步 述 上 在 將 少 至 機 •，定 ο 體測中 主與孔 座將裝 的式安 狀方的 筒入應 圓插相 的合於 空嵌定 中以固 成，件 形後部 ，驟準 合步基 接2的 管 t觸 筒 接 述δ端 上I前 與第'的 ， 頭 板 測 檢 種第 法 方 造 製 的 座 模 用 查 步 述 下 括 包 法 方 該 驟 步 用 採 單 或 璃 玻 英 石 英 石 體 出 削 切

   第34頁 522219 案號 90103540 年 曰 修正 六、申請專利範圍 具有至少頂面和側面的座主體； 第2步驟，在第1步驟中形成的座主體的頂面與側面中 相應的規定位置，加工出安裝孔； 第3步驟，在第2步驟後，以嵌合***方式將與測定機 測頭的前端相接觸的基準部件固定於相應的安裝孔中。 8.根據申請專利範圍第5至7項中的任一項所述的檢查用模 座的製造方法，其特徵在於在第3步驟後，在相應的基準 部件中，對與測定機測頭的前端相接觸的基準測定面進行 精度加工。

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