CN116880366A - 一种用于mes***的智慧工厂物流控制方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种用于MES***的智慧工厂物流控制方法，包括如下过程，线切上料、线切下料、脱胶上下料、磨片磨洗上下料和CVD清洗上下料。本发明创造基于MES***，集成RTD部分功能，满足生产物流管理，以及***派工功能，能够针对各个制程站点客制化派工***，可按照交货日期、Qtime、批次优先级、先进先出、整批加工等排序规则，对在制品进行筛选与排序，通过上下料配置，规划设备To设备派工，从ERP发料开始，控制生产节奏，保证设备加工率，由***加人员控制加工产品，防止Run错产品，通过***派工，减少人员操作带来的异常，保证生产的流畅同时降低了人员的参与，优化派工路径，可由人员配置上下料在制品去向，灵活性高。
Description
技术领域
本发明涉及智慧工厂领域，具体为一种用于MES***的智慧工厂物流控制方法。
背景技术
智能生产线建设旨在帮助企业提升产能、缩短制造周期、降低生产变异，提高弹性、快速支援客户的紧急需求，达成全面质量满意。参考行业内智能生产线的建设阶段，即信息化与自动化、智能化、智慧化的建设步伐。结合生产线的现有情况，即制程设备与检测设备能够支持信息化采集、有基础的网络建设等实际情况。不跃进、分阶段、有目标的逐步推进实现智能生产线的建设思路，整体规划从工艺过程控制软件、设备自动化、传送智能化与智慧化生产三个阶段进行建设，即前一阶段的建设会作为后一阶段建设的基础，前一阶段的建设又能达成本阶段的绩效指标和设计目标。
一个自动化的高效智能物流管理体系是实现工业4.0的基础环节之一，对于晶圆厂来说，高效、合理且准确的计算在制品搬运路径尤为重要。
行业内实现自动化智能物流管理体系需要EAP、MES、RTD、MCS、ERP以及WMS***配合，MES负责将需要派工的在制与设备上传至RTD，RTD通过计算整理出派工路径与派工顺序再下发至MCS，由MCS负责下发控制指令至设备，经过RTD就会增加通讯时间，处理不够高效。
发明内容
本发明目的在于提供一种用于MES***的智慧工厂物流控制方法，可在MES***集成RTD部分功能，满足生产物流管理，以及***派工功能。
为达成上述目的，本发明提出如下技术方案：一种用于MES***的智慧工厂物流控制方法，包括如下过程：
过程一、线切上料，线切上料包括自动派工和手动派工，其中自动派工包括如下过程，线切机EAP发送TX316通知MES叫料，TX为IBM MQ队列名，MES与EAP，MES与MCS数据均通过IBM MQ进行传输，数据库使用IBM DB2，MES收到叫料信息，MES寻找下一批次lot的location，如果在缓存位，缓存位为当前缓存或预留缓存，则发送TX501通知MCS从缓存位搬运到线切虚拟口，如果在固化库，发送TX501通知MCS从固化库搬运到线切虚拟口，MCS接收到搬运指令发送TXD27，开始搬运，搬运结束后，MCS发送TXD27通知MES，MES更新单晶位置信息，线切目检前，EAP读取RFID，判断是否读到，判断当前单晶是否在当前线切站点，NG则设备报警，人工输入传给EAP，OK则设备给EAP，EAP上传给MES RFID编号，EAP根据MES返回结果判断是否下发RECIPE和START，Reader验证OK，人工录入目检结果，设备上报EAP，EAP发送TXC02将结果上报MES，MES判断结果是否正确，目检OK，MES发送TX501通知MCS将晶棒送入线切机内，EAP请求MES下发RECIPE，EAP下发RECIPE和START给设备，机台进入可加工状态，由人工确认开始加工；目检NG，MES发送TX501通知MCS将晶棒送入线切机内，EAP不下发RECIPE和START，Reader验证NG，进行目检，不论目检OK或NG，MES发送TX501通知MCS将晶棒送入线切机内，EAP不请求MES下RECIPE，EAP不下发RECIPE和START；
手动派工包括如下过程，人工在线切机屏幕上录入RFID，设备上报EAP，EAP上报给MES，MES判断是否可加工，OK则人工录入目检结果，设备上报EAP，EAP发送TXC02给MES，MES判断结果是否正确，OK则MES下发RECIPE，EAP下发RECIPE和START给设备，机台进入可加工状态，由人工确认开始加工，由人工从线切检验口至线切机，NG则MES不发送RECIPE，EAP不下发RECIPE和START，出固化库异常时，固化库堆垛机Reader读料座，在MES中帐料不一致时，MCS上报异常至MES；固化库与天轨对接的Reader未读到料座，MCS记录队列，由现场运维操作MCS进行搬运，当MES下发指令固化库to线切机时，MCS判断与to线切机的进场通讯是否正常，异常时搬运至异常缓存位，MCS上报异常料座至MES，MES更新对应异常缓存位的状态；
过程二、线切下料，加工完成后，人工判断是否下料，确认点为线切加工完成后，单晶不自动出线切机，EAP发TXC02，从实体port到虚拟port，目检合格则发送TXC02，检查有无合适的脱胶，如有则从线切到脱胶，如无则搬运回线切机内，目检不合格则发送TXC02，从线切虚拟port到实体port，脱胶机与线切机之间没有缓存位，搬运过程中脱胶机出现异常，MCS报异常等待人工处理；EAP上报脱胶机每个port口正在加工的尺寸以及port口状态，优先派空port，如都在加工，按顺序派工，EAP发送TXC02给MES下料，MES发送TX501通知MCSfrom线切机实体口01to线切机虚拟口A01，记录XFR_HIS信息，指令完成后MCS发送TXD27更新XFR_HIS表的XFER_E_DATE字段；
人工目检，EAP发送TXC02将目检结果发送给MES，MES判断目检结果，OK则发送TX501 from线切机虚拟口A01 to脱胶机(下一制程)，记录XFR_HIS信息，指令完成后MCS发送TXD27更新XFR_HIS表的XFER_E_DATE字段；
NG则发送TX501 from线切机虚拟口A01 to线切机实体口01(退回线切机)，记录XFR_HIS信息，指令完成后MCS发送TXD27更新XFR_HIS表的XFER_E_DATE字段，配置脱胶机加工尺寸，根据当前料号尺寸判断需派往的脱胶机。
TXC02增加目检结果记录，记录包括料座、批次、设备、port口、进出站、目检结果和时间，DSLC_VIEW_RESULT表记录目检结果。脱胶port口尺寸，新增表DEQP_PORT_SIZE记录脱胶设备port口加工产品尺寸以及port口状态(PROD_SIZE，PORT_STAT)，目前不判断状态；
PROD_SIZE：设备正在加工的产品尺寸，PORT_STAT：PORT口状态(READY-空闲，RUN-加工中，DOWN-故障)，脱胶port口更新，由EAP主动发送TXC03上报脱胶设备port口状态，切换设备模式，清除预留与派工信息，TX105i的event为M时，MES根据EQP_ID清除DEQP_RESERVE表残留信息，并记录履历至DEQP_RELEASE_HIS，下料完成时，清除预留与派工信息，TX316中UnloadComp场景，清除DEQP_RESERVE表残留信息时，记录履历至DEQP_RELEASE_HIS，线切出站时，清除预留与派工信息，TX120中线切出站，清除DEQP_RESERVE表残留信息时，记录履历至DEQP_RELEASE_HIS；
过程三、脱胶上下料；
过程四、磨片磨洗上下料
过程五、CVD清洗上下料。
进一步的，在本发明中，所述过程三包括：
当脱胶Port1口为空时，EAP发送TX316(上料请求)，port_sts为LOAD_REQUEST，MES收到请求后更新DPRTSTAT表对应脱胶机REQ_STAT为‘LRQ’(待上料)；
MCS发送TX1H1，轮询查询脱胶设备的Port状态，为READY时，MCS调度AGV从提升机至脱胶Port1口；
当脱胶上料完成，料座进脱胶机后，EAP发送TXC06，空料框回流，MES在TXC06中发送TXC07，通知MCS；
当脱胶插片完成后，由EAP发送TX316，下料请求，MES根据当前批次出站后的站点以及meas_id，判断该站点为抽检、全检或为倒角，发送搬运指令至MCS；
当脱胶结束，空料座至下料口时，EAP发送TXC06，空料座回流，MES在TXC06中发送TXC07，通知MCS。
进一步的，在本发明中，所述过程四包括：
新增磨洗派工界面。选择在磨片站点的料框，点击派送可以去磨洗设备，MES优先选择上一次未派的磨洗设备；
新增TXT48，在TXT48中发送TXC11(接口)，通知MCS将料框派至磨片上；
叫空料框：人工在派工界面点击叫空料框，等待MCS搬运；
磨洗下料，人工拿走片篮，EAP发下料请求；
流到料框下料点，EAP发TXC06新增通知MES可以取走料框；
MES在TXC06中发送TXC07通知MCS带有水的水箱来接料框。
进一步的，在本发明中，所述过程五包括：
当前CVD清洗设备叫料为全自动，无需人工设置下一批，MES自动获取平衡的在制批次进行叫料；
CVD清洗由人工在MES中设定下一批(By Lot)，MES在设定的下一批中按平衡进行派工，不满足平衡的则不进行派工；
为了防止CVD清洗设备加工校验片篮平衡不通过，现增加叫料卡控：
CVD清洗port1上料请求时，需查看当前批次是否有合适平衡的片篮，如无合适的，不进行派工；
CVD清洗port2上料请求时，按平衡规则进行选择片篮。
有益效果，本申请的技术方案具备如下技术效果：
本发明创造基于MES***，集成RTD部分功能，满足生产物流管理，以及***派工功能，能够针对各个制程站点客制化派工***，可按照交货日期、Qtime、批次优先级、先进先出、整批加工等排序规则，对在制品进行筛选与排序，通过上下料配置，规划设备To设备派工，使生产节奏保持连续，派工路径灵活调整。
应当理解，前述构思以及在下面更加详细地描述的额外构思的所有组合只要在这样的构思不相互矛盾的情况下都可以被视为本公开的发明主题的一部分。
结合附图从下面的描述中可以更加全面地理解本发明教导的前述和其他方面、实施例和特征。本发明的其他附加方面例如示例性实施方式的特征和/或有益效果将在下面的描述中显见，或通过根据本发明教导的具体实施方式的实践中得知。
附图说明
附图不意在按比例绘制。在附图中，在各个图中示出的每个相同或近似相同的组成部分可以用相同的标号表示。为了清晰起见，在每个图中，并非每个组成部分均被标记。现在，将通过例子并参考附图来描述本发明的各个方面的实施例，其中：
图1为本发明线切上料过程示意图。
图2为本发明线切下料过程示意图。
图3为本发明脱胶上下料过程示意图。
图4为本发明磨片磨洗上下料过程示意图。
图5为本发明CVD清洗上下料过程示意图。
图6为本发明外延段自动化物流***。
图7为自动化物流控制***示意图。
具体实施方式
为了更了解本发明的技术内容，特举具体实施例并配合所附图式说明如下。在本公开中参照附图来描述本发明的各方面，附图中示出了许多说明的实施例。本公开的实施例不必定义在包括本发明的所有方面。应当理解，上面介绍的多种构思和实施例，以及下面更加详细地描述的那些构思和实施方式可以以很多方式中任意一种来实施，这是因为本发明所公开的构思和实施例并不限于任何实施方式。另外，本发明公开的一些方面可以单独使用，或者与本发明公开的其他方面的任何适当组合来使用。
如图7所示，本发明创造为MES建设，实现生产过程的信息化，通过***采集和管理所有生产数据，提高管理水平和效率，主要采用硬件物联技术(RFID)、自动化设备采集、自动化物流采集、自动派工、品质监控、大数据应用等技术与方法，根据现场实际生产需求，规划有效且快速的自动化物流派工***。
本实施例给出一种用于MES***的智慧工厂物流控制方法，包括如下过程：
过程一、线切上料；
过程二、线切下料；
过程三、脱胶上下料；
过程四、磨片磨洗上下料
过程五、CVD清洗上下料
其中，过程一、线切上料，如图1所示，线切机EAP发送TX316通知MES叫料。
MES收到叫料信息，MES寻找下一批次lot的location：
a)如果在缓存位(当前缓存或预留缓存)，发送TX501通知MCS从缓存位搬运到线切虚拟口。
b)如果在固化库，发送TX501通知MCS从固化库搬运到线切虚拟口。
MCS接收到搬运指令发送TXD27，开始搬运，TRAN_STAT＝XS。
搬运结束后，MCS发送TXD27通知MES，MES更新单晶位置信息，TRAN_STAT＝XC。
线切目检前，EAP读取RFID，判断是否读到(判断当前单晶是否在当前线切站点)：(txT58)
NG，设备报警，人工输入，传给EAP。
OK，设备给EAP。
EAP上传给MES RFID编号，EAP根据MES返回结果判断是否下发RECIPE和START：
Reader验证OK，人工录入目检结果，设备上报EAP，EAP发送TXC02将结果上报MES，MES判断结果是否正确：
目检OK，MES发送TX501通知MCS将晶棒送入线切机内(实体port口01)；
EAP请求MES下发RECIPE，EAP下发RECIPE和START给设备；
机台进入可加工状态，由人工确认开始加工。
目检NG，MES发送TX501通知MCS将晶棒送入线切机内(实体port口01)，EAP不下发RECIPE和START。
Reader验证NG，进行目检，不论目检OK或NG，MES发送TX501通知MCS将晶棒送入线切机内(实体port口01)，EAP不请求MES下RECIPE，EAP不下发RECIPE和START。
手动派工包括如下过程：
人工在线切机屏幕上录入RFID，设备上报EAP。
EAP上报给MES，MES判断是否可加工：
OK，人工录入目检结果，设备上报EAP，EAP发送TXC02给MES，MES判断结果是否正确:
OK，MES下发RECIPE，EAP下发RECIPE和START给设备，机台进入可加工状态，由人工确认开始加工，由人工从线切检验口至线切机。
NG，MES不发送RECIPE。EAP不下发RECIPE和START。
出固化库异常：
固化库堆垛机Reader读料座，在MES中帐料不一致时，MCS上报异常至MES；
固化库与天轨对接的Reader未读到料座，MCS记录队列，由现场运维操作MCS进行搬运。
当MES下发指令固化库to线切机时，MCS判断与to线切机的进场通讯是否正常，异常时搬运至异常缓存位，MCS上报异常料座至MES，MES更新对应异常缓存位的状态(TXC05)。
其中，过程二、线切下料，如图2所示，加工完成后，人工判断是否下料：
确认点：线切加工完成后，
单晶不自动出线切机，EAP发TXC02，从实体port到虚拟port；
目检合格：发送TXC02，检查有无合适的脱胶，如有则从线切到脱胶，如无则搬运回线切机内；
目检不合格：发送TXC02，从线切虚拟port到实体port；
脱胶机与线切机之间没有缓存位，搬运过程中脱胶机出现异常，MCS报异常等待人工处理。
EAP上报脱胶机每个port口正在加工的尺寸以及port口状态，优先派空port，如都在加工，按顺序派工；
EAP发送TXC02给MES下料，MES发送TX501通知MCS from线切机实体口01to线切机虚拟口A01，记录XFR_HIS信息，指令完成后MCS发送TXD27更新XFR_HIS表的XFER_E_DATE字段。
人工目检，EAP发送TXC02将目检结果发送给MES，MES判断目检结果：
OK，发送TX501 from线切机虚拟口A01 to脱胶机(下一制程)，记录XFR_HIS信息，指令完成后MCS发送TXD27更新XFR_HIS表的XFER_E_DATE字段；
NG，发送TX501 from线切机虚拟口A01 to线切机实体口01(退回线切机)，记录XFR_HIS信息，指令完成后MCS发送TXD27更新XFR_HIS表的XFER_E_DATE字段；
配置脱胶机加工尺寸，根据当前料号尺寸判断需派往的脱胶机，脱胶1号机严格按照设备加工尺寸派工，脱胶2号机5寸与6寸兼容。
TXC02增加目检结果记录(料座，批次(考虑多拼)，设备，port口，进出站，目检结果，时间)；
DSLC_VIEW_RESULT表记录目检结果。
脱胶port口尺寸；
新增表DEQP_PORT_SIZE记录脱胶设备port口加工产品尺寸以及port口状态(PROD_SIZE，PORT_STAT)，目前不判断状态。
PROD_SIZE：设备正在加工的产品尺寸；
PORT_STAT：PORT口状态(READY-空闲，RUN-加工中，DOWN-故障)；
脱胶port口更新；
由EAP主动发送TXC03上报脱胶设备port口状态；
切换设备模式，清除预留与派工信息；
TX105i的event为M时，MES根据EQP_ID清除DEQP_RESERVE表残留信息，并记录履历至DEQP_RELEASE_HIS。
下料完成时，清除预留与派工信息；
TX316中UnloadComp场景，清除DEQP_RESERVE表残留信息时，记录履历至DEQP_RELEASE_HIS。
线切出站时，清除预留与派工信息；
TX120中线切出站，清除DEQP_RESERVE表残留信息时，记录履历至DEQP_RELEASE_HIS。
其中，过程三、脱胶上下料，如图3所示，
1)当脱胶Port1口为空时，EAP发送TX316(上料请求)，port_sts为LOAD_REQUEST，MES收到请求后更新DPRTSTAT表对应脱胶机REQ_STAT为‘LRQ’(待上料)。
2)MCS发送TX1H1，轮询查询脱胶设备的Port状态，为READY时，MCS调度AGV从提升机至脱胶Port1口。
3)当脱胶上料完成，料座进脱胶机后，EAP发送TXC06，空料框回流，MES在TXC06中发送TXC07，通知MCS。
4)当脱胶插片完成后，由EAP发送TX316，下料请求，MES根据当前批次出站后的站点以及meas_id，判断该站点为抽检、全检或为倒角，发送搬运指令至MCS。
5)当脱胶结束，空料座至下料口时，EAP发送TXC06，空料座回流，MES在TXC06中发送TXC07，通知MCS。
其中，过程四、磨片磨洗上下料，如图4所示，
新增磨洗派工界面。选择在磨片站点的料框，点击派送可以去磨洗设备，MES优先选择上一次未派的磨洗设备。
新增TXT48，在TXT48中发送TXC11(接口)，通知MCS将料框派至磨片上。叫空料框：人工在派工界面点击叫空料框，等待MCS搬运。
磨洗下料，人工拿走片篮，EAP发下料请求。
流到料框下料点，EAP发TXC06新增通知MES可以取走料框。
MES在TXC06中发送TXC07通知MCS带有水的水箱来接料框。
其中，过程五、CVD清洗上下料，如图5所示，
当前CVD清洗设备叫料为全自动，无需人工设置下一批，MES自动获取平衡的在制批次进行叫料。
CVD清洗由人工在MES中设定下一批(By Lot)，MES在设定的下一批中按平衡进行派工，不满足平衡的则不进行派工。
为了防止CVD清洗设备加工校验片篮平衡不通过，现增加叫料卡控：
CVD清洗port1上料请求时，需查看当前批次是否有合适平衡的片篮，如无合适的，不进行派工；
CVD清洗port2上料请求时，按平衡规则进行选择片篮。
倒角上下料的过程：
倒角前库->倒角缓存
倒角前库搬运片篮到倒角缓存位，BAT102轮询合适的缓存位，找到后发送TXT92，需确定同一批次片篮都在倒角前库，倒角前库的堆垛机正常运行，且已经设置为下一批次(无配置为自动发料)，并且设备端口状态为READY。如果都满足则发送搬运指令给MCS，搬运成功则改变子批次状态被倒角机预留。
片篮至缓存，MCS上报到位信息，MES更新缓存片篮状态为READY以及入缓存时间。
倒角缓存->倒角机(EAP发送TX316)；
上料请求LRQ；
检查DEQP_RESERVE表是否有记录，如果有则不从缓存位往下派，如果没有记录，则找倒角机对应缓存位上最先到达缓存位的片篮派工至倒角机叫料的port上，记录DEQP_RESERVE表(防止倒角机多次叫料)。
倒角机有两个port，根据请求类型，MES最多连续派两个片篮，取缓存中时间久的片篮，From缓存To倒角。
Lot第一篮首检通过前，不派第二篮至倒角设备。
设备模式满足自动上料时，进行派工。
上料完成LCM
a、更新DPRTCACHESTAT表对应的子缓存的PORT_STAT为“RESV”、CAR_ID为空；
b、清空DEQP_RESERVE表。
c、上料完成后，不再接收EAP的上料请求指令。
下料请求URQ
将下料片篮DCARRIER表中的PORT_ID字段更为空；
将下料片篮搬运至倒角后库或者倒角抽检位；
从缓存位叫下一个要加工的片篮，如果缓存区和倒角机上片篮批次不一致，则不叫。
将从缓存叫的上料片篮记录在DEQP_RESERVE表，如果是最后一篮则记下料片篮。
下料完成UCM
倒角机下料完成EAP发送TX316，清空DEQP_RESERVE表中下料片篮的数据。
倒角机->首检位
1、EAP发送TXT12，查询需要首检的片数。以及从那一片开始。
2、首检片篮两片加工完成，EAP发送TXT13，MES给MCS发送从倒角机搬运至首检位的任务；
3、将首检片篮记录在DEQP_RESERVE表(防止重复叫料)；
4、首检片篮搬运至首检位，MCS发送TXD27，MES记录DPRTCACHESTAT表(首检片篮对应的该岛首检位)；
首检位->倒角机
1、首检完成后，工作人员将片篮放回首检位，点击设备上首检完成按钮；
2、MCS发送TXT61，MES查询该片篮是否是该首检位上的片篮(对比DSUBLOT表和DCARRIER表LOCATION)并将DPRTCACHESTAT表中对应的首检位CAR_ID清空；
3、有首检结果则发送搬运指令给MCS将收件片篮搬回原倒角机原PORT；
4、片篮返回到倒角机，EAP发送下料完成删除DEQP_RESERVE表记录。
本实施例的方法从ERP发料开始，控制生产节奏，保证设备加工率，由***+人员控制加工产品，防止Run错产品，通过***派工，减少人员操作带来的异常，保证生产的流畅同时降低了人员的参与，优化派工路径，可由人员配置上下料在制品去向，灵活性高。
物流派工批次排序规则；在制品派工路径计算与规划方法；利用设备缓存，减少搬运距离，实现工艺连续加工方法；通过提前判断在制品的工艺，提前规划下一个加工设备方法。
虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明。本发明所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰。因此，本发明的保护范围当视权利要求书所界定者为准。
Claims (4)
1.一种用于MES***的智慧工厂物流控制方法，其特征在于：包括如下过程：
过程一、线切上料，线切上料包括自动派工和手动派工，其中自动派工包括如下过程，线切机EAP发送TX316通知MES叫料，TX为IBM MQ队列名，MES与EAP，MES与MCS数据均通过IBMMQ进行传输，数据库使用IBM DB2，MES收到叫料信息，MES寻找下一批次lot的location，如果在缓存位，缓存位为当前缓存或预留缓存，则发送TX501通知MCS从缓存位搬运到线切虚拟口，如果在固化库，发送TX501通知MCS从固化库搬运到线切虚拟口，MCS接收到搬运指令发送TXD27，开始搬运，搬运结束后，MCS发送TXD27通知MES，MES更新单晶位置信息，线切目检前，EAP读取RFID，判断是否读到，判断当前单晶是否在当前线切站点，NG则设备报警，人工输入传给EAP，OK则设备给EAP，EAP上传给MES RFID编号，EAP根据MES返回结果判断是否下发RECIPE和START，Reader验证OK，人工录入目检结果，设备上报EAP，EAP发送TXC02将结果上报MES，MES判断结果是否正确，目检OK，MES发送TX501通知MCS将晶棒送入线切机内，EAP请求MES下发RECIPE，EAP下发RECIPE和START给设备，机台进入可加工状态，由人工确认开始加工；目检NG，MES发送TX501通知MCS将晶棒送入线切机内，EAP不下发RECIPE和START，Reader验证NG，进行目检，不论目检OK或NG，MES发送TX501通知MCS将晶棒送入线切机内，EAP不请求MES下RECIPE，EAP不下发RECIPE和START；
手动派工包括如下过程，人工在线切机屏幕上录入RFID，设备上报EAP，EAP上报给MES，MES判断是否可加工，OK则人工录入目检结果，设备上报EAP，EAP发送TXC02给MES，MES判断结果是否正确，OK则MES下发RECIPE，EAP下发RECIPE和START给设备，机台进入可加工状态，由人工确认开始加工，由人工从线切检验口至线切机，NG则MES不发送RECIPE，EAP不下发RECIPE和START，出固化库异常时，固化库堆垛机Reader读料座，在MES中帐料不一致时，MCS上报异常至MES；固化库与天轨对接的Reader未读到料座，MCS记录队列，由现场运维操作MCS进行搬运，当MES下发指令固化库to线切机时，MCS判断与to线切机的进场通讯是否正常，异常时搬运至异常缓存位，MCS上报异常料座至MES，MES更新对应异常缓存位的状态；
过程二、线切下料，加工完成后，人工判断是否下料，确认点为线切加工完成后，单晶不自动出线切机，EAP发TXC02，从实体port到虚拟port，目检合格则发送TXC02，检查有无合适的脱胶，如有则从线切到脱胶，如无则搬运回线切机内，目检不合格则发送TXC02，从线切虚拟port到实体port，脱胶机与线切机之间没有缓存位，搬运过程中脱胶机出现异常，MCS报异常等待人工处理；EAP上报脱胶机每个port口正在加工的尺寸以及port口状态，优先派空port，如都在加工，按顺序派工，EAP发送TXC02给MES下料，MES发送TX501通知MCS from线切机实体口01to线切机虚拟口A01，记录XFR_HIS信息，指令完成后MCS发送TXD27更新XFR_HIS表的XFER_E_DATE字段；
人工目检，EAP发送TXC02将目检结果发送给MES，MES判断目检结果，OK则发送TX501from线切机虚拟口A01 to脱胶机(下一制程)，记录XFR_HIS信息，指令完成后MCS发送TXD27更新XFR_HIS表的XFER_E_DATE字段；
NG则发送TX501 from线切机虚拟口A01 to线切机实体口01(退回线切机)，记录XFR_HIS信息，指令完成后MCS发送TXD27更新XFR_HIS表的XFER_E_DATE字段，配置脱胶机加工尺寸，根据当前料号尺寸判断需派往的脱胶机；
TXC02增加目检结果记录，记录包括料座、批次、设备、port口、进出站、目检结果和时间，DSLC_VIEW_RESULT表记录目检结果；脱胶port口尺寸，新增表DEQP_PORT_SIZE记录脱胶设备port口加工产品尺寸以及port口状态(PROD_SIZE，PORT_STAT)，目前不判断状态；
PROD_SIZE：设备正在加工的产品尺寸，PORT_STAT：PORT口状态(READY-空闲，RUN-加工中，DOWN-故障)，脱胶port口更新，由EAP主动发送TXC03上报脱胶设备port口状态，切换设备模式，清除预留与派工信息，TX105i的event为M时，MES根据EQP_ID清除DEQP_RESERVE表残留信息，并记录履历至DEQP_RELEASE_HIS，下料完成时，清除预留与派工信息，TX316中UnloadComp场景，清除DEQP_RESERVE表残留信息时，记录履历至DEQP_RELEASE_HIS，线切出站时，清除预留与派工信息，TX120中线切出站，清除DEQP_RESERVE表残留信息时，记录履历至DEQP_RELEASE_HIS；
过程三、脱胶上下料；
过程四、磨片磨洗上下料
过程五、CVD清洗上下料。
2.根据权利要求1所述的一种用于MES***的智慧工厂物流控制方法，其特征在于：所述过程三包括：
当脱胶Port1口为空时，EAP发送TX316(上料请求)，port_sts为LOAD_REQUEST，MES收到请求后更新DPRTSTAT表对应脱胶机REQ_STAT为‘LRQ’(待上料)；
MCS发送TX1H1，轮询查询脱胶设备的Port状态，为READY时，MCS调度AGV从提升机至脱胶Port1口；
当脱胶上料完成，料座进脱胶机后，EAP发送TXC06，空料框回流，MES在TXC06中发送TXC07，通知MCS；
当脱胶插片完成后，由EAP发送TX316，下料请求，MES根据当前批次出站后的站点以及meas_id，判断该站点为抽检、全检或为倒角，发送搬运指令至MCS；
当脱胶结束，空料座至下料口时，EAP发送TXC06，空料座回流，MES在TXC06中发送TXC07，通知MCS。
3.根据权利要求1所述的一种用于MES***的智慧工厂物流控制方法，其特征在于：所述过程四包括：
新增磨洗派工界面；选择在磨片站点的料框，点击派送可以去磨洗设备，MES优先选择上一次未派的磨洗设备；
新增TXT48，在TXT48中发送TXC11(接口)，通知MCS将料框派至磨片上；
叫空料框：人工在派工界面点击叫空料框，等待MCS搬运；
磨洗下料，人工拿走片篮，EAP发下料请求；
流到料框下料点，EAP发TXC06新增通知MES可以取走料框；
MES在TXC06中发送TXC07通知MCS带有水的水箱来接料框。
4.根据权利要求1所述的一种用于MES***的智慧工厂物流控制方法，其特征在于：所述过程五包括：
当前CVD清洗设备叫料为全自动，无需人工设置下一批，MES自动获取平衡的在制批次进行叫料；
CVD清洗由人工在MES中设定下一批(By Lot)，MES在设定的下一批中按平衡进行派工，不满足平衡的则不进行派工；
为了防止CVD清洗设备加工校验片篮平衡不通过，现增加叫料卡控：
CVD清洗port1上料请求时，需查看当前批次是否有合适平衡的片篮，如无合适的，不进行派工；
CVD清洗port2上料请求时，按平衡规则进行选择片篮。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202310616008.XA CN116880366A (zh) | 2023-05-29 | 2023-05-29 | 一种用于mes***的智慧工厂物流控制方法 |
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| CN202310616008.XA CN116880366A (zh) | 2023-05-29 | 2023-05-29 | 一种用于mes***的智慧工厂物流控制方法 |
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|---|---|
| CN (1) | CN116880366A (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117302879A (zh) * | 2023-10-19 | 2023-12-29 | 友上智能科技(苏州)有限公司 | 基于ntb设备上下料端口扩展与集成***及其方法 |
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2023
- 2023-05-29 CN CN202310616008.XA patent/CN116880366A/zh active Pending
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