CN116724171A - 波纹管泵装置 - Google Patents

Abstract

波纹管泵装置1的控制部6基于第1检测部29及第2检测部31的各检测信号，在第1波纹管13(第2波纹管14)收缩至收缩中途状态时判定第2波纹管14(第1波纹管13)是否处于规定的伸长状态，在其判定结果为否定的情况下，在下一次的第2波纹管14(第1波纹管13)的伸长时，进行以使得对第2驱动部28(第1驱动部27)的第2吸入侧空气室26B(第1吸入侧空气室26A)供给的加压空气的空气压力升高的方式，控制第2电气调压阀52(第1电气调压阀51)的下一次升压控制。

Description

波纹管泵装置

技术领域

本发明涉及一种波纹管泵装置。

背景技术

在半导体制造、化学工业等中，作为为了输送供给药液、溶剂等移送流体而使用的波纹管泵，已知如下结构，其具有：一对波纹管，它们彼此独立地伸缩而相对于内部吸入排出移送流体；以及一对气缸，它们通过加压空气的供给排出而使得各波纹管伸缩(例如，参照专利文献1)。专利文献1记载的波纹管泵以在一个波纹管即将最大收缩(排出结束)之前使得另一个波纹管从最大伸长状态收缩而排出移送流体的方式对各气缸的驱动进行控制。

通过以上述方式对各气缸的驱动进行控制，在一个波纹管从收缩切换为伸长(从移送流体的排出切换为吸入)的定时，另一个波纹管已经处于收缩而将移送流体排出的状态。由此，能够减少移送流体的排出压力在所述定时大幅下降的现象，因此能够减弱波纹管泵的排出侧的脉动。

专利文献1：日本特开2004-293502号公报

发明内容

关于上述波纹管泵，直至一个波纹管即将最大收缩(排出结束)之前为止，需要预先使另一个波纹管伸长至最大程度(吸入结束)。然而，如果气氛温度、移送流体的流量等变化，则波纹管的硬度因其影响而变化。如果波纹管的硬度变化，则波纹管的伸长时间(吸入时间)变化，产生各种问题。

例如，如果另一个波纹管***，则另一个波纹管难以伸长，因此其伸长时间延长。于是，直至一个波纹管即将最大收缩之前为止，无法使另一个波纹管伸长至最大程度，波纹管泵的排出侧的脉动变差。

另外，如果另一个波纹管***，则另一个波纹管容易伸长，因此其伸长时间缩短。于是，另一个波纹管的伸长速度加快，在另一个波纹管的内部产生负压。如果产生这种负压，则在将移送流体吸入至另一个波纹管内的吸入配管内产生称为“水锤”的冲击压力、气穴，有可能对半导体制造工艺等造成不良影响。

为了防止产生上述这种问题，需要以使得波纹管的伸长时间达到适当的时间的方式，将对对应的气缸的空气室供给的加压空气的空气压力重新设定为适当值。然而，关于当前的波纹管泵，每次在波纹管的伸长时间变化时，需要以手动方式重新设定所述空气压力。

本发明就是鉴于这种情形而提出的，其目的在于提供一种波纹管泵装置，在波纹管的伸长时间变化时，能够自动地重新设定用于使该波纹管伸长的加压流体的流体压力。

(1)本发明是一种波纹管泵装置，其具有：一对波纹管，它们彼此独立地伸缩自由，通过伸长而将移送流体吸入至内部，通过收缩而从内部将移送流体排出；一对驱动部，它们具有吸入侧流体室以及排出侧流体室，对所述吸入侧流体室供给加压流体而使所述各波纹管伸长至规定的伸长状态，对所述排出侧流体室供给加压流体而使所述各波纹管收缩至规定的收缩状态；以及控制部，其以在一对所述波纹管中的一个波纹管即将变为所述收缩状态之前使得另一个波纹管从所述伸长状态收缩的方式，进行一对所述驱动部的驱动控制，其中，所述波纹管泵装置具有：一对检测部，它们检测所述各波纹管的伸缩状态；以及一对流体压力调整部，它们调整对所述各驱动部的所述吸入侧流体室供给的加压流体的流体压力，所述控制部基于一对所述检测部的各检测信号，在所述一个波纹管收缩至即将变为所述收缩状态之前的收缩中途状态时判定所述另一个波纹管是否处于所述伸长状态，在其判定结果为否定的情况下，进行以使得下一次的所述另一个波纹管的伸长时的所述流体压力升高的方式控制与使所述另一个波纹管伸长的所述驱动部对应的所述流体压力调整部的下一次升压控制。

关于本发明的波纹管泵装置，在一个波纹管收缩至收缩中途状态时，有时另一个波纹管未伸长至规定的伸长状态。其原因在于，因另一个波纹管***而使得另一个波纹管的伸长时间延长。在这种情况下，控制部在下一次的另一个波纹管的伸长时进行使对对应的驱动部的吸入侧流体室供给的加压流体的流体压力升高的下一次升压控制。由此，在另一个波纹管的伸长时间延长时，能够将用于使另一个波纹管伸长的加压流体的流体压力自动地重新设定为较高的值。其结果，下一次的另一个波纹管的伸长时间缩短，因此能够抑制因其伸长时间延长而导致波纹管泵装置的排出侧的脉动变差。

(2)根据其他观点，本发明是一种波纹管泵装置，其具有：一对波纹管，它们彼此独立地伸缩自由，通过伸长而将移送流体吸入至内部，通过收缩而从内部将移送流体排出；一对驱动部，它们具有吸入侧流体室以及排出侧流体室，对所述吸入侧流体室供给加压流体而使所述各波纹管伸长至规定的伸长状态，对所述排出侧流体室供给加压流体而使所述各波纹管收缩至规定的收缩状态；以及控制部，其以在一对所述波纹管中的一个波纹管即将变为所述收缩状态之前使得另一个波纹管从所述伸长状态收缩的方式，进行一对所述驱动部的驱动控制，其中，所述波纹管泵装置具有：一对检测部，它们检测所述各波纹管的伸缩状态；以及一对流体压力调整部，它们调整对所述各驱动部的所述吸入侧流体室供给的加压流体的流体压力，所述控制部基于一对所述检测部的各检测信号而在所述一个波纹管收缩至即将变为所述收缩状态之前的收缩中途状态时、或者在所述一个波纹管收缩至所述收缩状态时判定所述另一个波纹管是否处于所述伸长状态，在其判定结果为否定的情况下，进行以使得与当前时刻伸长的所述另一个波纹管相关的所述流体压力逐渐升高的方式控制与使所述另一个波纹管伸长的所述驱动部对应的所述流体压力调整部的当前升压控制。

关于本发明的波纹管泵装置，在一个波纹管收缩至收缩中途状态时、或者在一个波纹管收缩至收缩状态时，有时另一个波纹管未伸长至规定的伸长状态。其原因在于，因另一个波纹管***而使得另一个波纹管的伸长时间延长。在这种情况下，关于在当前时刻伸长的另一个波纹管，控制部进行使对对应的驱动部的吸入侧流体室供给的加压流体的流体压力逐渐升高的当前升压控制。由此，在另一个波纹管的伸长时间延长时，能够以使得用于使另一个波纹管伸长的加压流体的流体压力变为逐渐升高的值的方式自动地重新设定。其结果，当前时刻的另一个波纹管的伸长时间缩短，因此能够抑制因其伸长时间延长而使得波纹管泵装置的排出侧的脉动变差。

(3)根据其他观点，本发明是一种波纹管泵装置，其具有：一对波纹管，它们彼此独立地伸缩自由，通过伸长而将移送流体吸入至内部，通过收缩而从内部将移送流体排出；一对驱动部，它们具有吸入侧流体室以及排出侧流体室，对所述吸入侧流体室供给加压流体而使所述各波纹管伸长至规定的伸长状态，对所述排出侧流体室供给加压流体而使所述各波纹管收缩至规定的收缩状态；以及控制部，其以在一对所述波纹管中的一个波纹管即将变为所述收缩状态之前使得另一个波纹管从所述伸长状态收缩的方式，进行一对所述驱动部的驱动控制，其中，所述波纹管泵装置具有：一对检测部，它们检测所述各波纹管的伸缩状态；以及一对流体压力调整部，它们调整对所述各驱动部的所述吸入侧流体室供给的加压流体的流体压力，所述控制部基于一对所述检测部的各检测信号，在所述一个波纹管收缩至即将变为所述收缩状态之前的收缩中途状态时判定所述另一个波纹管是否使得所述伸长状态持续了大于或等于规定时间的时间，在其判定结果为肯定的情况下，进行以使得下一次的所述另一个波纹管的伸长时的所述流体压力降低的方式控制与使所述另一个波纹管伸长的所述驱动部对应的所述流体压力调整部的降压控制。

关于本发明的波纹管泵装置，在一个波纹管收缩至收缩中途状态时，有时另一个波纹管使得规定的伸长状态持续了大于或等于规定时间的时间。其原因在于，另一个波纹管***而使得另一个波纹管的伸长时间缩短至大于或等于所需时间的时间。在这种情况下，控制部在下一次的另一个波纹管的伸长时进行使得对对应的驱动部的吸入侧流体室供给的加压流体的流体压力降低的降压控制。由此，在另一个波纹管的伸长时间缩短至大于或等于所需时间的时间时，能够将用于使另一个波纹管伸长的加压流体的流体压力自动地重新设定为较低值。其结果，下一次的另一个波纹管的伸长时间延长而伸长速度降低，因此能够抑制产生冲击压力、气穴。

(4)优选地，所述(1)的控制部基于一对所述检测部的各检测信号，在所述一个波纹管收缩至所述收缩中途状态时判定所述另一个波纹管是否使得所述伸长状态持续了大于或等于规定时间的时间，在其判定结果为肯定的情况下，进行以使得下一次的所述另一个波纹管的伸长时的所述流体压力降低的方式控制与使所述另一个波纹管伸长的所述驱动部对应的所述流体压力调整部的降压控制。

在该情况下，进行下一次升压控制以及降压控制这两者。由此，在另一个波纹管的伸长时间延长时，能够将用于使另一个波纹管伸长的加压流体的流体压力自动地重新设定为较高值，并且在另一个波纹管的伸长时间缩短至大于或等于所需时间的时间时能够将用于使另一个波纹管伸长的加压流体的流体压力自动地重新设定为较低值。

(5)优选地，所述控制部基于一对所述检测部的各检测信号，在所述一个波纹管收缩至所述收缩状态时判定所述另一个波纹管是否处于所述伸长状态，在其判定结果为否定的情况下，将下一次的所述另一个波纹管的伸长时的基于所述流体压力调整部的所述流体压力的调整范围的下限值设定为高于上一次的所述另一个波纹管的伸长时的所述流体压力。

在控制部进行降压控制的情况下，在一个波纹管收缩至规定的收缩状态时，有时另一个波纹管未伸长至规定的伸长状态。其原因在于，因降压控制使得对对应的驱动部的吸入侧流体室供给的加压流体的流体压力过度降低，从而另一个波纹管的伸长时间变得过长。在这种情况下，控制部将下一次的另一个波纹管的伸长时的所述流体压力的调整范围的下限值设定为高于上一次的另一个波纹管的伸长时的所述流体压力。由此，能够限制在下一次的另一个波纹管的伸长时由流体压力调整部调整的所述流体压力低于下限值，因此能够抑制另一个波纹管的伸长时间变得过长。其结果，能够抑制因所述伸长时间延长而引起波纹管泵装置的排出侧的脉动变差。

(6)优选地，所述控制部基于一对所述检测部的各检测信号，在所述一个波纹管收缩至所述收缩状态时判定所述另一个波纹管是否处于所述伸长状态，在其判定结果为否定的情况下，将大下次以后的所述另一个波纹管的伸长时的基于所述流体压力调整部的所述流体压力的调整范围的下限值设定为高于上一次的所述另一个波纹管的伸长时的所述流体压力。

在控制部进行降压控制的情况下，在一个波纹管收缩至规定的收缩状态时，有时另一个波纹管未伸长至规定的伸长状态。其原因在于，因降压控制使得对对应的驱动部的吸入侧流体室供给的加压流体的流体压力过度降低，从而另一个波纹管的伸长时间变得过长。在这种情况下，控制部可以将大下次以后的另一个波纹管的伸长时的所述流体压力的调整范围的下限值设定为高于上一次的另一个波纹管的伸长时的所述流体压力。由此，能够限制在大下次以后的另一个波纹管的伸长时由流体压力调整部调整的所述流体压力低于下限值，因此能够抑制另一个波纹管的伸长时间变得过长。其结果，能够抑制因所述伸长时间延长而引起波纹管泵装置的排出侧的脉动变差。

(7)优选地，所述控制部基于一对所述检测部的各检测信号，在所述一个波纹管收缩至即将变为所述收缩状态之前的收缩中途状态时、或者在所述一个波纹管收缩至所述收缩状态时判定所述另一个波纹管是否处于所述伸长状态，在其判定结果为否定的情况下，进行以使得与在当前时刻伸长的所述另一个波纹管相关的所述流体压力逐渐升高的方式控制与使所述另一个波纹管伸长的所述驱动部对应的所述流体压力调整部的当前升压控制。

在控制部进行降压控制的情况下，在一个波纹管收缩至规定的收缩状态时，有时另一个波纹管未伸长至规定的伸长状态。其原因在于，因降压控制而使得对对应的驱动部的吸入侧流体室供给的加压流体的流体压力过度降低，从而另一个波纹管的伸长时间变得过长。在这种情况下，控制部进行使得与在当前时刻伸长的另一个波纹管相关的所述流体压力逐渐升高的当前升压控制。由此，能够缩短当前时刻的另一个波纹管的伸长时间。其结果，能够抑制因所述伸长时间延长而引起波纹管泵装置的排出侧的脉动变差。另外，能够抑制因另一个波纹管的伸长而引起移送流体的吸入不全，因此能够抑制因该吸入不全而引起波纹管泵装置停止。

(8)优选地，所述控制部基于一对所述检测部的各检测信号而进行所述驱动控制。

在该情况下，用于一对驱动部的驱动控制的一对检测部兼用作用于当前升压控制、下一次升压控制、或者降压控制的一对检测部，因此能够简化波纹管泵装置的结构。

发明的效果

根据本发明的波纹管泵装置，在波纹管的伸长时间变化时，能够自动地重新设定用于使该波纹管伸长的加压流体的流体压力。

附图说明

图1是本发明的实施方式所涉及的波纹管泵装置的概略结构图。

图2是波纹管泵的剖面图。

图3是表示波纹管泵的动作的说明图。

图4是表示波纹管泵的动作的说明图。

图5是表示下一次升压控制的一个例子的时序图。

图6是表示降压控制的一个例子的时序图。

图7是表示重新设定基于电气调压阀的空气压力的调整范围的下限值的一个例子的时序图。

图8是表示当前升压控制的具体例1的时序图。

图9是表示当前升压控制的具体例2的时序图。

具体实施方式

接下来，参照附图对本发明的优选实施方式进行说明。

[整体结构]

图1是本发明的实施方式所涉及的波纹管泵装置的概略结构图。本实施方式的波纹管泵装置1例如在半导体制造装置中用于以恒定量供给药液、溶剂等移送流体时。波纹管泵装置1具有空气供给装置(流体供给装置)2、机械式调节器3、第1电磁阀4、第2电磁阀5、控制部6、波纹管泵10、第1电气调压阀(流体压力调整部)51以及第2电气调压阀(流体压力调整部)52。

空气供给装置2例如由空气压缩机构成，生成对波纹管泵10供给的加压空气(加压流体)。机械式调节器3对空气供给装置2中生成的加压空气的空气压力(流体压力)进行调整。后文中对第1电气调压阀51以及第2电气调压阀52进行叙述。

图2是本实施方式所涉及的波纹管泵10的剖面图。本实施方式的波纹管泵10具有：泵头11，其配置于中央部；一对泵壳12，它们安装于该泵头11的左右方向的两侧；作为一对波纹管的第1波纹管13和第2波纹管14，它们在各泵壳12的内部安装于泵头11的左右方向的侧面；以及共计4个的单向阀15、单向阀16，它们在第1及第2波纹管13、14各自的内部安装于泵头11的左右方向的侧面。

[波纹管]

第1波纹管13及第2波纹管14由聚四氟乙烯(PTFE)、四氟乙烯-全氟烷氧基乙烯基醚共聚物(PFA)等氟树脂形成为有底筒状。一体形成于第1及第2波纹管13、14的敞开侧端部的凸缘部13a及凸缘部14a以气密状按压固定于泵头11的侧面。第1及第2波纹管13、14的各周壁形成为蛇腹形状，彼此独立地构成为在左右方向上伸缩自由。

在第1及第2波纹管13、14的封闭侧端部的外表面利用螺栓17及螺母18将工作板19固定。第1及第2波纹管13、14能够在工作板19的外表面与有底圆筒状的泵壳12的底壁部121的内表面抵接的最大伸长状态、和后述的活塞体23的内表面与底壁部121的外表面抵接的最大收缩状态之间伸缩。

[泵壳]

泵壳12(下面也称为“第1泵壳12A”)的开口周缘部以气密状按压固定于第1波纹管13的凸缘部13a。由此，保持为气密状态的第1排出侧空气室(排出侧流体室)21A形成于第1泵壳12A的内部的第1波纹管13的外侧。

在第1泵壳12A设置有第1进气排气端口22A，第1进气排气端口22A经由第1电磁阀4、第1电气调压阀51以及机械式调节器3而与空气供给装置2连接(参照图1)。由此，如果从空气供给装置2向第1排出侧空气室21A的内部供给加压空气，则第1波纹管13收缩至规定的收缩状态(下面简称为“收缩状态”)。第1波纹管13的收缩状态可以是最大收缩状态，也可以是紧邻最大收缩状态之前的状态。

泵壳12(下面也称为“第2泵壳12B”)的开口周缘部以气密状按压固定于第2波纹管14的凸缘部14a。由此，保持为气密状态的第2排出侧空气室(排出侧流体室)21B形成于第2泵壳12B的内部的第2波纹管14的外侧。

在第2泵壳12B设置有第2进气排气端口22B，第2进气排气端口22B经由第2电磁阀5、第2电气调压阀52以及机械式调节器3而与空气供给装置2连接(参照图1)。由此，如果从空气供给装置2向第2排出侧空气室21B的内部供给加压空气，则第2波纹管14收缩至规定的收缩状态(下面简称为“收缩状态”)。第2波纹管14的收缩状态可以是最大收缩状态，也可以是紧邻最大收缩状态之前的状态。

棒状的连结部件20将各泵壳12A、12B的底壁部121贯通，连结部件20以能够在左右方向上滑动的方式支撑于底壁部121。活塞体23由螺母24固定于连结部件20的外端部。活塞体23以能够一边保持气密状态一边在左右方向上滑动的方式，支撑于一体地设置于底壁部121的外侧的圆筒状的缸体25的内周面。

由此，在第1泵壳12A侧，由底壁部121、缸体25以及活塞体23包围的空间设为保持为气密状态的第1吸入侧空气室(吸入侧流体室)26A。另外，在第2泵壳12B侧，由底壁部121、缸体25以及活塞体23包围的空间设为保持为气密状态的第2吸入侧空气室(吸入侧流体室)26B。

在第1泵壳12A侧的缸体25形成有与第1吸入侧空气室26A连通的进气排气口251。该进气排气口251经由第1电磁阀4、第1电气调压阀51以及机械式调节器3而与空气供给装置2连接(参照图1)。由此，如果从空气供给装置2经由进气排气口251而向第1吸入侧空气室26A的内部供给加压空气，则第1波纹管13伸长至规定的伸长状态(下面简称为“伸长状态”)。第1波纹管13的伸长状态可以是最大伸长状态，也可以是紧邻最大伸长状态之前的状态。

在第2泵壳12B侧的缸体25形成有与第2吸入侧空气室26B连通的进气排气口252。该进气排气口252经由第2电磁阀5、第2电气调压阀52以及机械式调节器3而与空气供给装置2连接(参照图1)。由此，如果从空气供给装置2经由进气排气口252而向第2吸入侧空气室26B的内部供给加压空气，则第2波纹管14伸长至规定的伸长状态(下面简称为“伸长状态”)。第2波纹管14的伸长状态可以是最大伸长状态，也可以是紧邻最大伸长状态之前的状态。

根据以上结构，由第1排出侧空气室21A形成于内部的第1泵壳12A、以及形成第1吸入侧空气室26A的活塞体23以及缸体25，构成使第1波纹管13在伸长状态与收缩状态之间连续地进行伸缩动作的第1驱动部(驱动部)27。

另外，由第2排出侧空气室21B形成于内部的第2泵壳12B、以及形成第2吸入侧空气室26B的活塞体23以及缸体25，构成使第2波纹管14在伸长状态与收缩状态之间连续地进行伸缩动作的第2驱动部(驱动部)28。

[检测部]

在第1驱动部27的缸体25安装有一对接近传感器29A、接近传感器29B。在第1驱动部27的活塞体23安装有由各接近传感器29A、29B检测的被检测板30。被检测板30与活塞体23一起往返移动而交替地接近接近传感器29A、29B。

接近传感器29A配置于在第1波纹管13即将变为收缩状态之前的收缩中途状态时对被检测板30进行检测的位置。接近传感器29B配置于在第1波纹管13处于伸长状态时对被检测板30进行检测的位置。如果各接近传感器29A、29B检测到被检测板30，则将其检测信号输出至控制部6。一对接近传感器29A、29B作为检测第1波纹管13的伸缩状态的第1检测部(检测部)而起作用。

在第2驱动部28的缸体25安装有一对接近传感器31A、接近传感器31B。在第2驱动部28的活塞体23安装有由各接近传感器31A、31B进行检测的被检测板32。被检测板32与活塞体23一起往返移动而交替地接近接近传感器31A、31B。

接近传感器31A配置于在第2波纹管14即将变为收缩状态之前的收缩中途状态时对被检测板32进行检测的位置。接近传感器31B配置于在第2波纹管14处于伸长状态时对被检测板32进行检测的位置。如果各接近传感器31A、31B检测到被检测板30，则将其检测信号输出至控制部6。一对接近传感器31A、31B作为检测第2波纹管14的伸缩状态的第2检测部(检测部)而起作用。

这里，第1波纹管13(第2波纹管14)的“收缩中途状态”是指第1波纹管13(第2波纹管14)的收缩经过位置处于比收缩开始位置(伸长状态)更接近收缩结束位置(收缩状态)的位置，更详细而言，是指第1波纹管13(第2波纹管14)处于收缩至伸长状态至收缩状态的收缩长度的50％～90％的位置。

[泵头]

泵头11由PTFE、PFA等氟树脂形成。在泵头11的内部形成有移送流体的吸入通路34以及排出通路35。吸入通路34及排出通路35在泵头11的外周面开口，与设置于该外周面的吸入端口及排出端口(均省略图示)连接。

吸入端口与移送流体的贮存箱等连接，排出端口与移送流体的移送目的地连接。另外，吸入通路34及排出通路35分别朝向泵头11的左右两侧面分支，并且具有在泵头11的左右两侧面开口的吸入口36及排出口37。各吸入口36及各排出口37分别经由单向阀15、16而与波纹管13、14的内部连通。

[单向阀]

在各吸入口36及各排出口37设置有单向阀15、16。

安装于吸入口36的单向阀15(下面也称为“吸入用单向阀”)具有：阀壳15a；阀体15b，其收容于该阀壳15a；以及压缩螺旋弹簧15c，其在闭阀方向上对该阀体15b进行预紧。

阀壳15a形成为有底圆筒形状。在阀壳15a的底壁形成有与波纹管13、14的内部连通的贯通孔15d。阀体15b利用压缩螺旋弹簧15c的预紧力将吸入口36封闭(闭阀)，如果作用有基于伴随着波纹管13、14的伸缩的移送流体的流动的背压，则使得吸入口36敞开(打开)。

由此，吸入用单向阀15在配置有自身的波纹管13、14伸长时打开，容许从吸入通路34朝向波纹管13、14内部的方向(一个方向)的移送流体的吸入。另外，吸入用单向阀15在配置有自身的波纹管13、14收缩时关闭，阻止从波纹管13、14内部朝向吸入通路34的方向(另一方向)的移送流体的倒流。

安装于排出口37的单向阀16(下面也称为“排出用单向阀”)具有：阀壳16a；阀体16b，其收容于该阀壳16a；以及压缩螺旋弹簧16c，其在闭阀方向上对该阀体16b进行预紧。

阀壳16a形成为有底圆筒形状。在阀壳16a的底壁形成有与波纹管13、14的内部连通的贯通孔16d。阀体16b利用压缩螺旋弹簧16c的预紧力将阀壳16a的贯通孔16d封闭(闭阀)，如果作用有基于伴随着波纹管13、14的伸缩的移送流体的流动的背压，则使得阀壳16a的贯通孔16d敞开(打开)。

由此，排出用单向阀16在配置有自身的波纹管13、14收缩时打开，容许从波纹管13、14内部朝向排出通路35的方向(一个方向)的移送流体的流出。另外，排出用单向阀16在配置有自身的波纹管13、14伸长时关闭，阻止从排出通路35朝向波纹管13、14内部的方向(另一方向)的移送流体的倒流。

[波纹管泵的动作]

接下来，参照图3及图4对本实施方式的波纹管泵10的动作进行说明。此外，在图3及图4中简化示出了第1及第2波纹管13、14的结构。如图3所示，在第1波纹管13收缩、第2波纹管14伸长的情况下，安装于泵头11的图中左侧的吸入用单向阀15以及排出用单向阀16的各阀体15b、16b从第1波纹管13内的移送流体受到压力，分别向各阀壳15a、16a的图中右侧移动。由此，吸入用单向阀15关闭，并且排出用单向阀16打开，第1波纹管13内的移送流体从排出通路35向泵外排出。

另一方面，安装于泵头11的图中右侧的吸入用单向阀15的阀体15b因基于第2波纹管14的吸入作用而向阀壳15a的图中右侧移动。安装于泵头11的图中右侧的排出用单向阀16的阀体16b因第2波纹管14的吸入作用、以及基于从第1波纹管13向排出通路35排出的移送流体的按压作用而向阀壳16a的图中右侧移动。由此，吸入用单向阀15打开，并且排出用单向阀16关闭，从吸入通路34向第2波纹管14内吸入移送流体。

接下来，如图4所示，在第1波纹管13伸长、第2波纹管14收缩的情况下，安装于泵头11的图中右侧的吸入用单向阀15以及排出用单向阀16的各阀体15b、16b从第2波纹管14内的移送流体受到压力，向各阀壳15a、16a的图中左侧移动。由此，吸入用单向阀15关闭，并且排出用单向阀16打开，第2波纹管14内的移送流体从排出通路35向泵外排出。

另一方面，安装于泵头11的图中左侧的吸入用单向阀15的阀体15b因第1波纹管13的吸入作用而向阀壳15a的图中左侧移动。安装于泵头11的图中左侧的排出用单向阀16的阀体16b因第1波纹管13的吸入作用、以及基于从第1波纹管13向排出通路35排出的移送流体的按压作用而向阀壳16a的图中左侧移动。由此，吸入用单向阀15打开，并且排出用单向阀16关闭，从吸入通路34向第1波纹管13内吸入移送流体。

通过反复进行以上动作，左右的波纹管13、14能够交替地进行移送流体的吸入及排出。

[电磁阀]

在图1中，第1电磁阀4例如由具有一对螺线管4a、螺线管4b的三通(三位置)的电磁切换阀构成。各螺线管4a、4b基于从控制部6收到的指令信号而被励磁。由此，第1电磁阀4被控制部6进行切换控制。第1电磁阀4在第1驱动部27中对针对第1排出侧空气室21A的加压空气的供给排出、以及针对第1吸入侧空气室26A的加压空气的供给排出进行切换。

具体而言，如果第1电磁阀4的螺线管4a被励磁，则切换为对第1排出侧空气室21A供给加压空气、且将第1吸入侧空气室26A内的加压空气排出的状态。另外，如果第1电磁阀4的螺线管4b被励磁，则切换为将第1排出侧空气室21A内的加压空气排出并且对第1吸入侧空气室26A供给加压空气的状态。

第2电磁阀5例如由具有一对螺线管5a、螺线管5b的三通的电磁切换阀构成。各螺线管5a、5b从控制部6收到指令信号而被励磁。由此，第2电磁阀5由控制部6进行切换控制。第2电磁阀5在第2驱动部28中对针对第2排出侧空气室21B的加压空气的供给排出、以及针对第2吸入侧空气室26B的加压空气的供给排出进行切换。

具体而言，如果第2电磁阀5的螺线管5a被励磁，则切换为对第2排出侧空气室21B供给加压空气、且将第2吸入侧空气室26B内的加压空气排出的状态。另外，如果第2电磁阀5的螺线管5b被励磁，则切换为将第2排出侧空气室21B内的加压空气排出并且对第2吸入侧空气室26B供给加压空气的状态。

此外，本实施方式的第1以及第2电磁阀4、5由三通的电磁切换阀构成，也可以是不具有中立位置的两个位置的电磁切换阀。

[电气调压阀]

第1电气调压阀51配置于机械式调节器3与第1电磁阀4之间。第1电气调压阀51分别调整对第1驱动部27的第1吸入侧空气室26A供给的加压空气的空气压力、以及对第1驱动部27的第1排出侧空气室21A供给的加压空气的空气压力。

第2电气调压阀52配置于机械式调节器3与第2电磁阀5之间。第2电气调压阀52分别调整对第2驱动部28的第2吸入侧空气室26B供给的加压空气的空气压力、以及对第2驱动部28的第2排出侧空气室21B供给的加压空气的空气压力。

此外，电气调压阀51、52只要至少调整对吸入侧空气室26A、26B供给的加压空气的空气压力即可。另外，在本实施方式中，作为流体压力调整部而利用直接调整空气压力的电气调压阀51、52，但可以利用调整空气流量的空气流量调整阀间接地调整空气压力，也可以利用调整除了空气以外的气体(例如氮气)、液体等的压力或流量的设备。

[控制部]

在图1及图2中，控制部6构成为具有具备CPU等的计算机。由CPU执行所述计算机的存储装置中存储的控制程序而发挥控制部6的各功能。控制部6基于第1检测部29及第2检测部31的各检测结果对第1电磁阀4及第2电磁阀5进行切换而进行第1驱动部27及第2驱动部28的驱动控制。

具体而言，控制部6基于第1检测部29及第2检测部31的各检测结果以如下方式对第1驱动部27及第2驱动部28的各驱动进行控制，即，在第1波纹管13即将变为收缩状态之前使第2波纹管14从伸长状态收缩，并且在第2波纹管14即将变为收缩状态之前使第1波纹管13从伸长状态收缩。

控制部6以如上方式进行驱动控制而在第1波纹管13及第2波纹管14中的、一个波纹管的从收缩向伸长(移送流体从排出向吸入)切换的定时，另一个波纹管已经收缩而将移送流体排出，因此能够减少在所述定时移送流体的排出压力大幅降低的现象。其结果，能够减弱波纹管泵10的排出侧的脉动。

在所述驱动控制中，例如如果气氛温度降低，则第1波纹管13及第2波纹管14因其影响而***，有时第1波纹管13及第2波纹管14的各伸长时间延长。在该情况下，控制部6进行用于缩短第1波纹管13及第2波纹管14的各伸长时间的下一次升压控制、以及当前升压控制。

具体而言，控制部6基于第1检测部29及第2检测部31的各检测结果，在第1波纹管13(第2波纹管14)收缩至收缩中途状态时进行判定第2波纹管14(第1波纹管13)是否为伸长状态的第1判定。在第1判定的判定结果为否定(不是伸长状态)的情况下，在下一次的第2波纹管14(第1波纹管13)的伸长时，控制部6以使得对第2吸入侧空气室26B(第1吸入侧空气室26A)供给的加压空气的空气压力升高的方式，进行控制第2电气调压阀52(第1电气调压阀51)的下一次升压控制。优选下一次升压控制的所述空气压力的升高程度设为+1kPa～+50kPa(更优选为+1kPa～+20kPa)。

在如上所述第1判定的判定结果为否定(不是伸长状态)的情况下，关于当前时刻伸长的第2波纹管14(第1波纹管13)，控制部6以使得对第2吸入侧空气室26B(第1吸入侧空气室26A)供给的加压空气的空气压力逐渐升高的方式进一步进行控制第2电气调压阀52(第1电气调压阀51)的当前升压控制。优选当前升压控制的所述空气压力的升高程度每隔1msec～100msec(更优选为每隔1msec～30msec)设为+1kPa～+100kPa(更优选为+1kPa～+30kPa)。

另一方面，在所述驱动控制中，例如如果气氛温度升高，则第1波纹管13及第2波纹管14因其影响而***，有时第1波纹管13及第2波纹管14的各伸长时间缩短。在该情况下，控制部6进行用于延长第1波纹管13及第2波纹管14的各伸长时间的降压控制。

具体而言，控制部6基于第1检测部29及第2检测部31的各检测结果，在第1波纹管13(第2波纹管14)收缩至收缩中途状态时进行判定第2波纹管14(第1波纹管13)的伸长状态是否持续大于或等于规定时间的时间的第2判定。优选所述规定时间例如设为500msec(优选为10～200msec)的值。

在第2判定的判定结果为肯定(伸长状态持续大于或等于规定时间的时间)的情况下，在下一次的第2波纹管14(第1波纹管13)的伸长时，控制部6以使得对第2吸入侧空气室26B(第1吸入侧空气室26A)供给的加压空气的空气压力降低的方式进行控制第2电气调压阀52(第1电气调压阀51)的降压控制。优选降压控制的所述空气压力的降压程度设为-1kPa～-50kPa(更优选为-1kPa～-20kPa)。

在进行降压控制的情况下，考虑到对第2吸入侧空气室26B(第1吸入侧空气室26A)供给的加压空气的空气压力会过度降低。在该情况下，第2波纹管14(第1波纹管13)的伸长时间变得过长，即使第1波纹管13(第2波纹管14)收缩至收缩状态，也能够引起第2波纹管14(第1波纹管13)未达到伸长状态的情况。这样，无法正常地进行所述驱动控制，波纹管泵10的排出侧的脉动变差。因此，在因降压控制而使得对第2吸入侧空气室26B(第1吸入侧空气室26A)供给的加压空气的空气压力过度降低的情况下，在下一次的第2波纹管14(第1波纹管13)的伸长时，控制部6重新设定基于第2电气调压阀52(第1电气调压阀51)的空气压力的调整范围的下限值。

具体而言，控制部6基于第1检测部29及第2检测部31的各检测结果，在第1波纹管13(第2波纹管14)收缩至收缩状态时进行判定第2波纹管14(第1波纹管13)是否处于伸长状态的第3判定。在第3判定的判定结果为否定(不是伸长状态)的情况下，在下一次的第2波纹管14(第1波纹管13)的伸长时，控制部6将基于第2电气调压阀52(第1电气调压阀51)的空气压力的调整范围的下限值设定为高于上一次的第2波纹管14(第1波纹管13)的伸长时的所述空气压力。

优选空气压力的调整范围的下限值的设定程度设为+1kPa～+50kPa(更优选为+5kPa～+20kPa)。此外，当然空气压力的调整范围的上限值为固定值，即使重新设定下限值，上限值也不会变更。这样重新设定的下限值，即使在大下次以后的第2波纹管14(第1波纹管13)的伸长时也用作第2电气调压阀52(第1电气调压阀51)的空气压力的调整范围的下限值。

在通过降压控制而使得对第2吸入侧空气室26B(第1吸入侧空气室26A)供给的加压空气的空气压力过度降低的情况下，控制部6进一步进行上述当前升压控制。具体而言，在上述第3判定的判定结果为否定(不是伸长状态)的情况下，关于当前时刻伸长的第2波纹管14(第1波纹管13)，控制部6以使得对第2吸入侧空气室26B(第1吸入侧空气室26A)供给的加压空气的空气压力逐渐升高的方式，进一步进行控制第2电气调压阀52(第1电气调压阀51)的当前升压控制。

[下一次升压控制的具体例]

图5是表示利用控制部6在驱动控制中进行的下一次升压控制的一个例子的时序图。下面，参照图1及图5对控制部6执行的驱动控制以及下一次升压控制进行说明。这里，从第1波纹管13处于收缩动作中(排出中)、且第2波纹管14处于伸长动作中(吸入中)的状态进行说明。

控制部6在接近传感器29A检测到(ON)第1波纹管13的收缩中途状态的时刻t1，判定接近传感器31B是否检测到(ON)第2波纹管14的伸长状态(第1判定)。这里，在时刻t1，接近传感器31B未检测到(OFF)第2波纹管14的伸长状态，因此控制部6判定为接近传感器31B未变为ON。根据该判定结果，如后所述，控制部6在下一次的第2波纹管14的伸长时(时刻t6～时刻t7)执行下一次升压控制。

控制部6在判定为接近传感器31B未变为ON的情况下，等待至接近传感器31B变为ON为止。而且，控制部6在接近传感器31B变为ON的时刻t2，使第2电磁阀5的螺线管5b消磁并且对螺线管5a进行励磁。此外，控制部6在判定为在时刻t1接近传感器31B变为ON的情况下，立即使第2电磁阀5的螺线管5b消磁，并且对螺线管5a进行励磁。

如果第2电磁阀5的螺线管5a被励磁，则空气供给装置2中生成的加压空气经由机械式调节器3、第2电气调压阀52以及第2电磁阀5而向第2驱动部28的第2排出侧空气室21B供给。此时，控制部6以使得对第2排出侧空气室21B供给的加压空气的空气压力变为规定值P2的方式，对第2电气调压阀52进行控制。由此，在第1波纹管13即将变为收缩状态之前，第2波纹管14从伸长状态开始收缩动作。

在第2波纹管14开始收缩动作之后，控制部6在从接近传感器29A变为ON的时刻t1经过了规定的运算时间的时刻t3，判断为第1波纹管13变为收缩状态。而且，控制部6使第1电磁阀4的螺线管4a消磁，并且对螺线管4b进行励磁。

如果第1电磁阀4的螺线管4b被励磁，则空气供给装置2中生成的加压空气经由机械式调节器3、第1电气调压阀51、以及第1电磁阀4而向第1驱动部27的第1吸入侧空气室26A供给。此时，控制部6以使得对第1吸入侧空气室26A供给的加压空气的空气压力变为规定值P11的方式，对第1电气调压阀51进行控制。由此，第1波纹管13从收缩状态开始伸长动作。

接下来，控制部6在接近传感器31A检测到(ON)第2波纹管14的收缩中途状态的时刻t4，判定接近传感器29B是否检测到(ON)第1波纹管13的伸长状态(第1判定)。在这里，在时刻t4，接近传感器29B未检测到(OFF)第1波纹管13的伸长状态，因此控制部6判定为接近传感器29B未变为ON。根据该判定结果，如后所述，控制部6在下一次的第1波纹管13的伸长时(时刻t8～时刻t9)执行下一次升压控制。

控制部6在判定为接近传感器29B未变为ON的情况下，接近传感器29B等待至变为ON为止。而且，控制部6在接近传感器29B变为ON的时刻t5，使第1电磁阀4的螺线管4b消磁，并且对螺线管4a进行励磁。此外，控制部6在时刻t4判定为接近传感器29B变为ON的情况下，立即使第1电磁阀4的螺线管4b消磁，并且对螺线管4a进行励磁。

如果第1电磁阀4的螺线管4a被励磁，则空气供给装置2中生成的加压空气经由机械式调节器3、第1电气调压阀51、以及第1电磁阀4而向第1驱动部27的第1排出侧空气室21A供给。此时，控制部6以使得对第1排出侧空气室21A供给的加压空气的空气压力变为规定值P1的方式对第1电气调压阀51进行控制。由此，在第2波纹管14即将变为收缩状态之前，第1波纹管13从伸长状态开始收缩动作。

在第1波纹管13开始收缩动作之后，控制部6在从接近传感器31A变为ON的时刻经过了规定时间的时刻t6，判断为第2波纹管14变为收缩状态。而且，控制部6使第2电磁阀5的螺线管5a消磁，并且对螺线管5b进行励磁。

如果第2电磁阀5的螺线管5b被励磁，则空气供给装置2中生成的加压空气经由机械式调节器3、第2电气调压阀52、以及第2电磁阀5而向第2驱动部28的第2吸入侧空气室26B供给。此时，控制部6在时刻t1进行的第1判定的判定结果为否定(判定为接近传感器31B未变为ON)，因此以使得对第2吸入侧空气室26B供给的加压空气的空气压力升高的方式，执行控制第2电气调压阀52的下一次升压控制。

具体而言，控制部6以使得对第2吸入侧空气室26B供给的加压空气的空气压力变为高于上一次(时刻t2以前)的值P21的值P22的方式控制第2电气调压阀52。由此，第2波纹管14从收缩状态开始伸长动作。该伸长速度比上一次的第2波纹管14的伸长速度快。

接下来，控制部6在接近传感器29A检测到(ON)第1波纹管13的收缩中途状态的时刻t7，判定接近传感器31B是否检测到(ON)第2波纹管14的伸长状态(第1判定)。这里，如上所述，第2波纹管14的伸长速度加快，第2波纹管14的伸长时间缩短，从而第2波纹管14在时刻t7达到伸长状态。因此，接近传感器31B在时刻t7检测到第2波纹管14的伸长状态，因此控制部6判定为接近传感器31B变为ON。根据该判定结果，控制部6在下一次的第2波纹管14的伸长时不执行下一次升压控制。

控制部6在判定为接近传感器29B变为ON的情况下，使第2电磁阀5的螺线管5b消磁，并且对螺线管5a进行励磁。如果第2电磁阀5的螺线管5a被励磁，则如上所述，在第1波纹管13即将变为收缩状态之前(收缩中途状态)，第2波纹管14从伸长状态开始收缩动作。

在第2波纹管14开始收缩动作之后，控制部6在从接近传感器29A变为ON的时刻t7经过了规定的运算时间的时刻t8，判断为第1波纹管13变为收缩状态，使第1电磁阀4的螺线管4a消磁，并且对螺线管4b进行励磁。如果第1电磁阀4的螺线管4b被励磁，则如上所述，空气供给装置2中生成的加压空气向第1驱动部27的第1吸入侧空气室26A供给。

此时，控制部6在所述时刻t4进行的第1判定的判定结果为否定(判定为接近传感器29B未变为ON)，因此以使得对第1吸入侧空气室26A供给的加压空气的空气压力升高的方式，执行控制第1电气调压阀51的下一次升压控制。

具体而言，控制部6以使得对第1吸入侧空气室26A供给的加压空气的空气压力变为高于上一次(时刻t3～时刻t5)的值P11的值P12的方式控制第1电气调压阀51。由此，第1波纹管13从收缩状态开始伸长动作。该伸长速度比上一次的第1波纹管13的伸长动作时的伸长速度快。

接下来，控制部6在接近传感器31A检测到(ON)第2波纹管14的收缩中途状态的时刻t9，判定接近传感器29B是否检测到(ON)第1波纹管13的伸长状态(第1判定)。这里，如上所述，第1波纹管13的伸长速度加快，第1波纹管13的伸长时间缩短，从而在时刻t9第1波纹管13达到伸长状态。因此，在时刻t9接近传感器29B检测到第1波纹管13的伸长状态，因此控制部6判定为接近传感器29B变为ON。根据该判定结果，控制部6在下一次的第1波纹管13的伸长时不执行下一次升压控制。

控制部6在判定为接近传感器29B变为ON的情况下，使第1电磁阀4的螺线管4b消磁，并且对螺线管4a进行励磁。如果第1电磁阀4的螺线管4a被励磁，则如上所述，在第2波纹管14即将变为收缩状态之前(收缩中途状态)，第1波纹管13从伸长状态开始收缩动作。

[降压控制的具体例]

图6是表示由控制部6在驱动控制中进行的降压控制的一个例子的时序图。下面，参照图1及图6对控制部6执行的降压控制进行说明。这里，与图5相同地，从第1波纹管13处于收缩动作中(排出中)并且第2波纹管14处于伸长动作中(吸入中)的状态进行说明。

控制部6在接近传感器29A检测到(ON)第1波纹管13的收缩中途状态之前，判定接近传感器31B是否检测到(ON)第2波纹管14的伸长状态。这里，在第1波纹管13达到收缩中途状态之前的时刻t20，接近传感器31B检测到第2波纹管14的伸长状态，因此控制部6判定为接近传感器31B变为ON。

控制部6在判定为接近传感器31B变为ON的情况下，进一步在接近传感器29A检测到第1波纹管13的收缩中途状态的时刻t21，判定是否从接近传感器31B检测到第2波纹管14的伸长状态的时刻t20持续了大于或等于规定时间T的时间(第2判定)。这里，在时刻t21经过了规定时间T，因此控制部6判定为从时刻t20持续了大于或等于规定时间T的时间。根据该判定结果，如后所述，控制部6在下一次的第2波纹管14的伸长时(时刻t25～时刻t26)执行降压控制。

控制部6在接近传感器29A变为ON的时刻t21，使第2电磁阀5的螺线管5b消磁，并且对螺线管5a进行励磁。如果第2电磁阀5的螺线管5a被励磁，则如上所述，在第1波纹管13即将变为收缩状态之前(收缩中途状态)，第2波纹管14从伸长状态开始收缩动作。

在第2波纹管14开始收缩动作之后，控制部6在从接近传感器29A变为ON的时刻t21经过了规定的运算时间的时刻t22，判断为第1波纹管13变为收缩状态。而且，控制部6使第1电磁阀4的螺线管4a消磁，并且对螺线管4b进行励磁。如果第1电磁阀4的螺线管4b被励磁，则如上所述，第1波纹管13从收缩状态开始伸长动作。

接下来，控制部6在接近传感器31A检测到(ON)第2波纹管14的收缩中途状态之前，判定接近传感器29B是否检测到(ON)第1波纹管13的伸长状态。这里，在第2波纹管14达到收缩中途状态之前的时刻t23，接近传感器29B检测到第1波纹管13的伸长状态，因此控制部6判定为接近传感器29B变为ON。

控制部6在判定为接近传感器29B变为ON的情况下，进一步在接近传感器31A检测到第2波纹管14的收缩中途状态的时刻t24，判定是否从接近传感器29B检测到第2波纹管14的伸长状态的时刻t23持续了大于或等于规定时间T的时间(第2判定)。这里，在时刻t24经过了规定时间T，因此控制部6判定为从时刻t23持续了大于或等于规定时间T的时间。根据该判定结果，如后所述，控制部6在下一次的第1波纹管13的伸长时(时刻t27～时刻t28)执行降压控制。

控制部6在接近传感器31A变为ON的时刻t24，使第1电磁阀4的螺线管4b消磁，并且对螺线管4a进行励磁。如果第1电磁阀4的螺线管4a被励磁，则如上所述，在第2波纹管14即将变为收缩状态之前(收缩中途状态)，第1波纹管13从伸长状态开始收缩动作。

在第1波纹管13开始收缩动作之后，控制部6在从接近传感器31A变为ON的时刻t24经过了规定的运算时间的时刻t25，判断为第2波纹管14变为收缩状态。而且，控制部6使第2电磁阀5的螺线管5a消磁，并且对螺线管5b进行励磁。如果第2电磁阀5的螺线管5b被励磁，则如上所述，空气供给装置2中生成的加压空气向第2驱动部28的第2吸入侧空气室26B供给。

此时，控制部6在所述时刻t21进行的第2判定的判定结果为肯定(判定为从接近传感器31B变为ON的时刻t20持续了大于或等于规定时间T的时间)，因此以使得对第2吸入侧空气室26B供给的加压空气的空气压力降低的方式，执行控制第2电气调压阀52的降压控制。

具体而言，控制部6以使得对第2吸入侧空气室26B供给的加压空气的空气压力变为比上一次(时刻t21以前)的值P21低的值P23的方式对第2电气调压阀52进行控制。由此，第2波纹管14从收缩状态开始伸长动作。其伸长速度比上一次的第2波纹管14的伸长动作时的伸长速度慢。

接下来，控制部6在接近传感器29A检测到(ON)第1波纹管13的收缩中途状态之前，判定接近传感器31B是否检测到(ON)第2波纹管14的伸长状态。这里，如上所述，第2波纹管14的伸长速度减慢，第2波纹管14的伸长时间延长，从而在第1波纹管13达到收缩中途状态的时刻t26，第2波纹管14达到伸长状态。

因此，在第1波纹管13达到收缩中途状态之前，接近传感器31B未检测到(OFF)第2波纹管14的伸长状态，因此控制部6判定为接近传感器31B未变为ON。根据该判定结果，在第1波纹管13达到收缩中途状态的时刻t26，不进行基于控制部6的第2判定，因此在下一次的第2波纹管14的伸长时不执行降压控制。

控制部6在接近传感器31B变为ON的时刻t26，使第2电磁阀5的螺线管5b消磁，并且对螺线管5a进行励磁。如果第2电磁阀5的螺线管5a被励磁，则如上所述，在第1波纹管13即将变为收缩状态之前(收缩中途状态)，第2波纹管14从伸长状态开始收缩动作。

在第2波纹管14开始收缩动作之后，控制部6在从接近传感器29A变为ON的时刻t26经过了规定的运算时间的时刻t27，判断为第1波纹管13变为收缩状态。而且，控制部6使第1电磁阀4的螺线管4a消磁，并且对螺线管4b进行励磁。如果第1电磁阀4的螺线管4b被励磁，则如上所述，空气供给装置2中生成的加压空气向第1驱动部27的第1吸入侧空气室26A供给。

此时，控制部6在所述时刻t24进行的第2判定的判定结果为肯定(判定为是否从接近传感器29B变为ON的时刻t23持续了大于或等于规定时间T的时间)，以使得对第1吸入侧空气室26A供给的加压空气的空气压力降低的方式执行控制第1电气调压阀51的降压控制。

具体而言，控制部6以使得对第1吸入侧空气室26A供给的加压空气的空气压力变为比上一次(时刻t22～时刻t24)的值P11低的值P13的方式控制第1电气调压阀51。由此，第1波纹管13从收缩状态开始伸长动作。其伸长速度比上一次的第1波纹管13的伸长动作时的伸长速度慢。

接下来，控制部6在接近传感器31A检测到(ON)第2波纹管14的收缩中途状态之前，判定接近传感器29B是否检测到(ON)第1波纹管13的伸长状态。这里，如上所述，第1波纹管13的伸长速度减慢，第1波纹管13的伸长时间延长，从而在第2波纹管14达到收缩中途状态的时刻t28，第1波纹管13达到伸长状态。

因此，在第2波纹管14达到收缩中途状态之前，接近传感器29B未检测到(OFF)第1波纹管13的伸长状态，因此控制部6判定为接近传感器29B未变为ON。根据该判定结果，在第2波纹管14达到收缩中途状态的时刻t28，未进行基于控制部6的第2判定，因此在下一次的第1波纹管13的伸长时不执行降压控制。

[下限值的重新设定的具体例]

图7是表示在利用控制部6进行降压控制之后重新设定基于电气调压阀51、52的空气压力的调整范围的下限值的一个例子的时序图。下面，参照图1及图7对控制部6执行的所述下限值的重新设定进行说明。此外，关于从图7的时刻t40至时刻t44的期间进行的控制，与从图6的时刻t20至时刻t24的期间进行的控制大致相同，因此省略说明。

控制部6在从接近传感器31A变为ON的时刻t44经过了规定的运算时间的时刻t45，判断为第2波纹管14变为收缩状态。而且，控制部6使第2电磁阀5的螺线管5a消磁，并且对螺线管5b进行励磁。如果第2电磁阀5的螺线管5b被励磁，则如上所述，空气供给装置2中生成的加压空气向第2驱动部28的第2吸入侧空气室26B供给。

此时，控制部6在所述时刻t41进行的第2判定的判定结果为肯定(判定为从接近传感器31B变为ON的时刻t40持续了大于或等于规定时间T的时间)，因此以使得对第2吸入侧空气室26B供给的加压空气的空气压力降低的方式，执行控制第2电气调压阀52的降压控制。

具体而言，控制部6以使得对第2吸入侧空气室26B供给的加压空气的空气压力变为比上一次(时刻t41以前)的值P21更低的值P24的方式控制第2电气调压阀52。由此，第2波纹管14从收缩状态开始伸长动作。其伸长速度比上一次的第2波纹管14的伸长动作时的伸长速度慢。

接下来，控制部6在接近传感器29A检测到(ON)第1波纹管13的收缩中途状态之前，判定接近传感器31B是否检测到(ON)第2波纹管14的伸长状态。这里，如上所述，第2波纹管14的伸长速度减慢，第2波纹管14的伸长时间延长，从而在第1波纹管13达到收缩中途状态的时刻t46，第2波纹管14也处于伸长动作中。

因此，在第1波纹管13达到收缩中途状态之前，接近传感器31B未检测到(OFF)第2波纹管14的伸长状态，因此控制部6判定为接近传感器31B未变为ON。根据该判定结果，在第1波纹管13达到收缩中途状态的时刻t46，不进行基于控制部6的第2判定，因此在下一次的第2波纹管14的伸长时不执行降压控制。

接下来，控制部6在接近传感器29A检测到(ON)第1波纹管13的收缩中途状态的时刻t46，判定接近传感器31B是否检测到(ON)第2波纹管14的伸长状态(第1判定)。这里，在时刻t46，接近传感器31B未检测到(OFF)第2波纹管14的伸长状态，因此控制部6判定为接近传感器31B未变为ON。根据该判定结果，如后所述，控制部6在下一次的第2波纹管14的伸长时(时刻t50～时刻t51)执行下一次升压控制。

控制部6在判定为接近传感器31B未变为ON的情况下，等待至接近传感器31B变为ON(第2波纹管14变为伸长状态)、或者从接近传感器29A变为ON的时刻t46经过了规定的运算时间的时刻t47(第1波纹管13变为收缩状态)。这里，如上所述，第2波纹管14的伸长速度减慢，第2波纹管14的伸长时间变得过长，从而在第2波纹管14达到伸长状态之前，达到第1波纹管13变为收缩状态的时刻t47。

控制部6在第1波纹管13达到收缩状态的时刻t47，使第1电磁阀4的螺线管4a消磁，并且对螺线管4b进行励磁。如果第1电磁阀4的螺线管4b被励磁，则如上所述，第1波纹管13从收缩状态开始伸长动作。此外，时刻t47以后的基于控制部6的第1波纹管13的驱动控制以及降压控制与图6的时刻t27以后相同，因此省略说明。

控制部6在第1波纹管13达到收缩状态的时刻t47，进一步判定接近传感器31B是否检测到(ON)第2波纹管14的伸长状态(第3判定)。这里，如上所述，在时刻t47，第2波纹管14未达到伸长状态，因此控制部6判定为接近传感器31B未变为ON。根据该判定结果，如后所述，控制部6在下一次的第2波纹管14的伸长时(时刻t50～时刻t51)，重新设定基于第2电气调压阀52的空气压力的调整范围的下限值。

接下来，控制部6在接近传感器31B检测到第2波纹管14的伸长状态的时刻t48，使第2电磁阀5的螺线管5b消磁，并且对螺线管5a进行励磁。如果第2电磁阀5的螺线管5a被励磁，则如上所述，在第1波纹管13的伸长中途状态下，第2波纹管14从伸长状态开始收缩动作。然后，在从接近传感器31A检测到(ON)第2波纹管14的收缩中途状态的时刻t49经过了规定的运算时间的时刻t50下，控制部6使第2电磁阀5的螺线管5a消磁，并且对螺线管5b进行励磁。如果第2电磁阀5的螺线管5b被励磁，则如上所述，空气供给装置2中生成的加压空气向第2驱动部28的第2吸入侧空气室26B供给。

此时，控制部6在所述时刻t46进行的第1判定的判定结果为否定(判定为接近传感器31B未变为ON)，因此以使得对第2吸入侧空气室26B供给的加压空气的空气压力升高的方式，执行控制第2电气调压阀52的下一次升压控制。

具体而言，首先，控制部6以使得对第2吸入侧空气室26B供给的加压空气的空气压力的值比上一次的第2波纹管14的伸长时(时刻t45～时刻t48)的对第2吸入侧空气室26B供给的加压空气的空气压力的值P24高的方式，决定空气压力的升高程度。这里，控制部6例如以高于降压控制后的空气压力的值P24、且低于降压控制前的空气压力的值P21的值P23的方式决定升高程度。而且，控制部6以使得对第2吸入侧空气室26B供给的加压空气的空气压力变为决定的值P23的方式控制第2电气调压阀52。由此，第2波纹管14从收缩状态开始伸长动作。其伸长速度比上一次的第2波纹管14的伸长动作时的伸长速度快。

并且，控制部6在所述时刻t47进行的第3判定的判定结果为否定(判定为接近传感器31B未变为ON)，因此重新设定基于第2电气调压阀52的空气压力的调整范围的下限值。

具体而言，控制部6将基于第2电气调压阀52的空气压力的调整范围的下限值Pd设定为高于在上一次的第2波纹管14的伸长时(时刻t45～时刻t48)通过降压控制而供给至第2吸入侧空气室26B的加压空气的空气压力的值P24的空气压力(这里为值P23)。此外，所述下限值的重新设定优选在下一次升压控制中在开始第2电气调压阀52的控制之前进行。

接下来，控制部6在接近传感器29A检测到(ON)第1波纹管13的收缩中途状态的时刻t51，判定接近传感器31B是否检测到(ON)第2波纹管14的伸长状态(第1判定)。在这里，如上所述，第2波纹管14的伸长速度加快，第2波纹管14的伸长时间缩短，从而第2波纹管14在时刻t51达到伸长状态。因此，接近传感器31B在时刻t51检测到第2波纹管14的伸长状态，因此控制部6判定为接近传感器31B变为ON。根据该判定结果，控制部6在下一次的第2波纹管14的伸长时不执行下一次升压控制。

另外，在下一次以后的第2波纹管14的伸长时，以上述方式重新设定的下限值Pd用作基于第2电气调压阀52的空气压力的调整范围的下限值。因此，即使在下一次以后的第2波纹管14的伸长时执行降压控制，因该降压控制而降低的空气压力也不会低于下限值Pd。

在图7的控制例中，基于在时刻t47进行的第3判定的判定结果，在下一次的第2波纹管14的伸长时(时刻t50～时刻t51)重新设定基于第2电气调压阀52的空气压力的调整范围的下限值，但也可以在下一次的第2波纹管14的伸长时不进行该下限值的重新设定，而是在大下次的第2波纹管14的伸长时进行。其理由如下，即，在下一次的第2波纹管14的伸长时，以上述方式执行下一次升压控制，即使不重新设定所述下限值也利用第2电气调压阀52使得空气压力升高。

在大下次的第2波纹管14的伸长时重新设定所述下限值的情况下，在大大下次以后的第2波纹管14的伸长时，重新设定的下限值Pd用作基于第2电气调压阀52的空气压力的调整范围的下限值。因此，即使执行大大下次以后的第2波纹管14的伸长时执行降压控制，因该降压控制而降低的空气压力也不会低于下限值Pd。此外，所述下限值的重新设定可以在下一次以及大下次的第2波纹管14的伸长时不进行，而是在大大下次以后的第2波纹管14的伸长时进行。

在图7的控制例中，对重新设定基于第2电气调压阀52的空气压力的调整范围的下限值的情况进行了说明，但重新设定基于第1电气调压阀51的空气压力的调整范围的下限值的情况下也同上所述，因此省略说明。

[当前升压控制的具体例1]

图8是表示利用控制部6在驱动控制中进行的当前升压控制的具体例1的时序图。具体例1为图5的变形例，与下一次升压控制成套地进行当前升压控制。下面，参照图1以及图8对控制部6执行的当前升压控制的具体例1进行说明。这里，与图5相同地，从第1波纹管13处于收缩动作中(排出中)并且第2波纹管14处于伸长动作中(吸入中)的状态进行说明。

控制部6在接近传感器29A检测到(ON)第1波纹管13的收缩中途状态的时刻t61，判定接近传感器31B是否检测到(ON)第2波纹管14的伸长状态(第1判定)。在这里，在时刻t61，接近传感器31B未检测到(OFF)第2波纹管14的伸长状态，因此控制部6判定为接近传感器31B未变为ON。根据该判定结果，如上所述，控制部6在下一次的第2波纹管14的伸长时(时刻t66～时刻t67)执行下一次升压控制。

另外，控制部6在判定为接近传感器31B未变为ON的情况下，以使得在当前时刻t61对第2吸入侧空气室26B供给的加压空气的空气压力逐渐升高的方式执行控制第2电气调压阀52的当前升压控制。具体而言，控制部6以使得对第2吸入侧空气室26B供给的加压空气的空气压力从当前时刻t61的值P21逐渐升高的方式控制第2电气调压阀52。由此，在当前时刻t61处于伸长中的第2波纹管14的伸长速度随着时间经过逐渐加快。

控制部6持续进行当前升压控制直至接近传感器31B变为ON为止。因此，伸长中的第2波纹管14的伸长速度增加至接近传感器31B变为ON，因此能够使第2波纹管14从当前时刻t61迅速地伸长至伸长状态。其结果，能够使得第2波纹管14变为伸长状态的时刻(接近传感器31B变为ON的时刻)t62比未进行当前升压控制的图5中第2波纹管14变为伸长状态的时刻t2提前。此外，关于从图8的时刻t62至时刻t63的期间进行的控制，与图5的时刻t2至时刻t3的期间进行的控制相同，因此省略说明。

在时刻t64，如果接近传感器31A检测到(ON)第2波纹管14的收缩中途状态，则控制部6判定接近传感器29B是否检测到(ON)第1波纹管13的伸长状态(第1判定)。这里，在时刻t64，接近传感器29B未检测到(OFF)第1波纹管13的伸长状态，因此控制部6判定为接近传感器29B未变为ON。根据该判定结果，如上所述，控制部6在下一次的第1波纹管13的伸长时(时刻t68～时刻t69)执行下一次升压控制。

另外，控制部6在判定为接近传感器29B未变为ON的情况下，以使得在当前时刻t64对第1吸入侧空气室26A供给的加压空气的空气压力逐渐升高的方式，执行控制第1电气调压阀51的当前升压控制。具体而言，控制部6以使得对第1吸入侧空气室26A供给的加压空气的空气压力从当前时刻t64的值P11逐渐升高的方式控制第1电气调压阀51。由此，在当前时刻t64处于伸长中的第1波纹管13的伸长速度随着时间经过而逐渐加快。

控制部6使接近传感器29B持续进行当前升压控制直至变为ON为止。因此，处于伸长中的第1波纹管13的伸长速度增加至接近传感器29B变为ON为止，因此能够使第1波纹管13从当前时刻t64迅速地伸长至伸长状态。其结果，能够使得第1波纹管13变为伸长状态的时刻(接近传感器29B变为ON的时刻)t65比未进行当前升压控制的图5中第1波纹管13变为伸长状态的时刻t5提前。图8的时刻t65以后进行的控制与图5的时刻t5以后进行的控制相同，因此省略说明。

此外，具体例1的控制部6在进行第1判定的时刻t61执行当前升压控制，但可以在从该时刻t61至第1波纹管13变为伸长状态的期间的任意定时执行当前升压控制。

另外，控制部6将成为执行下一次升压控制的判断基准的第1判定用作执行当前升压控制的判断基准，但也可以与第1判定独立地进行成为执行当前升压控制的判断基准的判定。例如，控制部6可以在第1波纹管13达到收缩状态的时刻t63进行所述判定。在该情况下，能够使得在时刻t63处于伸长中的第2波纹管14迅速地伸长至伸长状态。

[当前升压控制的具体例2]

图9是表示利用控制部6在驱动控制中进行的当前升压控制的具体例2的时序图。具体例2为图7的变形例，在进行降压控制之后，与所述下限值的重新设定成套地进行当前升压控制。下面，参照图1以及图9对控制部6执行的当前升压控制的具体例2进行说明。此外，关于从图9的时刻t80至时刻t86的期间进行的控制，与从图7的时刻t40至时刻t46的期间进行的控制相同，因此省略说明。

控制部6在第1波纹管13达到收缩状态的时刻t87，判定接近传感器31B是否检测到(ON)第2波纹管14的伸长状态(第3判定)。这里，在时刻t87，第2波纹管14未达到伸长状态，因此控制部6判定为接近传感器31B未变为ON。根据该判定结果，如上所述，控制部6在下一次的第2波纹管14的伸长时(时刻t90～时刻t91)重新设定基于第2电气调压阀52的空气压力的调整范围的下限值。

另外，控制部6在判定为接近传感器31B未变为ON的情况下，在当前时刻t87以使得对第2吸入侧空气室26B供给的加压空气的空气压力逐渐升高的方式，执行控制第2电气调压阀52的当前升压控制。具体而言，控制部6以使得对第2吸入侧空气室26B供给的加压空气的空气压力从当前时刻t87的值P24逐渐升高的方式控制第2电气调压阀52。由此，在当前时刻t87处于伸长中的第2波纹管14的伸长速度随着时间经过而逐渐加快。

控制部6持续进行当前升压控制直至接近传感器31B变为ON为止。因此，处于伸长中的第2波纹管14的伸长速度增加至接近传感器31B变为ON，因此能够使得第2波纹管14从当前时刻t87迅速地伸长至伸长状态。其结果，能够使第2波纹管14变为伸长状态的时刻(接近传感器31B变为ON的时刻)t88比未进行当前升压控制的图7中第2波纹管14变为伸长状态的时刻t48提前。

图9的时刻t87以后进行的第1波纹管13的控制与图7的时刻t47以后(图6的时刻t27以后)的控制相同，因此省略说明。另外，图9的时刻t88以后进行的第2波纹管14的控制与图7的时刻t48以后的控制相同，因此省略说明。另外，图9中对第2电气调压阀52的当前升压控制进行了说明，但第1电气调压阀51的当前升压控制也同上所述，因此省略说明。

此外，具体例2的控制部6将成为重新设定所述下限值的判断基准的第3判定用作执行当前升压控制的判断基准，但也可以与第3判定独立地进行执行成为当前升压控制的判断基准的判定。例如，控制部6可以在第1波纹管13达到收缩中途状态的时刻t86进行所述判定。在该情况下，控制部6可以在进行所述判定的时刻t86执行当前升压控制，也可以在时刻t86至第1波纹管13变为伸长状态的期间的任意定时执行当前升压控制。

[本实施方式的作用效果]

如上所述，根据本实施方式的波纹管泵装置1，在第1波纹管13(第2波纹管14)收缩至收缩中途状态时，有时第2波纹管14(第1波纹管13)未伸长至伸长状态。在该情况下，控制部6在下一次的第2波纹管14(第1波纹管13)的伸长时进行使得对第2驱动部28(第1驱动部27)的第2吸入侧空气室26B(第1吸入侧空气室26A)供给的加压空气的空气压力升高的下一次升压控制。由此，在第2波纹管14(第1波纹管13)的伸长时间延长时，能够将用于使第2波纹管14(第1波纹管13)伸长的加压空气的空气压力自动地重新设定为较高的值。其结果，下一次的第2波纹管14(第1波纹管13)的伸长时间缩短，因此能够抑制因其伸长时间延长而引起的波纹管泵装置1的排出侧的脉动变差。

另外，在第1波纹管13(第2波纹管14)收缩至收缩中途状态时，在第2波纹管14(第1波纹管13)未伸长至伸长状态的情况下，控制部6针对在当前时刻伸长的第2波纹管14(第1波纹管13)，进行使得对第2驱动部28(第1驱动部27)的第2吸入侧空气室26B(第1吸入侧空气室26A)供给的加压空气的空气压力逐渐升高的当前升压控制。由此，在第2波纹管14(第1波纹管13)的伸长时间延长时，能够以使得用于使第2波纹管14(第1波纹管13)伸长的加压空气的空气压力逐渐变为更高的值的方式自动地重新设定。其结果，当前时刻的第2波纹管14(第1波纹管13)的伸长时间缩短，因此能够抑制因其伸长时间延长而引起的波纹管泵装置1的排出侧的脉动变差。

另外，进行当前升压控制而能够使得在当前时刻处于伸长中的第2波纹管14(第1波纹管13)在伸长中途不停止且可靠地伸长至伸长状态。其结果，在下一次的第2波纹管14(第1波纹管13)的伸长时能够可靠地进行下一次升压控制。

在第1波纹管13(第2波纹管14)收缩至收缩中途状态时，有时第2波纹管14(第1波纹管13)以大于或等于规定时间的时间持续伸长状态。在该情况下，控制部6在下一次的第2波纹管14(第1波纹管13)的伸长时，进行使得对第2驱动部28(第1驱动部27)的第2吸入侧空气室26B(第1吸入侧空气室26A)供给的加压空气的空气压力降低的降压控制。由此，在第2波纹管14(第1波纹管13)的伸长时间缩短至大于或等于所需时间的时间时，能够将用于使第2波纹管14(第1波纹管13)伸长的加压空气的空气压力自动地重新设定为较低的值。其结果，下一次的第2波纹管14(第1波纹管13)的伸长时间延长而伸长速度降低，因此能够抑制产生冲击压力、气穴。

在控制部6进行降压控制的情况下，在第1波纹管13(第2波纹管14)收缩至收缩状态时，有时第2波纹管14(第1波纹管13)未伸长至伸长状态。在该情况下，控制部6将下一次的第2波纹管14(第1波纹管13)的伸长时的基于第2电气调压阀52(第1电气调压阀51)的空气压力的调整范围的下限值重新设定为高于上一次的另一个波纹管伸长时的所述空气压力。由此，能够在下一次的第2波纹管14(第1波纹管13)的伸长时，限制利用第2电气调压阀52(第1电气调压阀51)调整的所述空气压力低于下限值Pd，因此能够抑制第2波纹管14(第1波纹管13)的伸长时间变得过长。其结果，能够抑制因所述伸长时间延长而引起波纹管泵装置1的排出侧的脉动变差。

另外，在下一次的第2波纹管14(第1波纹管13)的伸长时重新设定的所述下限值即使在大下次以后的第2波纹管14(第1波纹管13)的伸长时，也用作基于第2电气调压阀52(第1电气调压阀51)的空气压力的调整范围的下限值。因此，即使在大下次以后的第2波纹管14(第1波纹管13)的伸长时执行降压控制，因该降压控制而降低的空气压力也不会低于下限值Pd。因此，因降压控制而使得第2波纹管14(第1波纹管13)的伸长时间延长，能够抑制在第1波纹管13(第2波纹管14)即将变为收缩状态之前无法使第2波纹管14(第1波纹管13)从伸长状态收缩。其结果，能够进一步抑制波纹管泵装置1的排出侧的脉动变差。

在因降压控制而使得第1波纹管13(第2波纹管14)收缩至收缩状态时，在第2波纹管14(第1波纹管13)未伸长至伸长状态的情况下，控制部6可以将大下次的第2波纹管14(第1波纹管13)的伸长时的基于第2电气调压阀52(第1电气调压阀51)的空气压力的调整范围的下限值，重新设定为高于上一次的另一个波纹管的伸长时的所述空气压力。在下一次的第2波纹管14(第1波纹管13)的伸长时执行下一次升压控制，即使不重新设定所述下限值，也利用第2电气调压阀52(第1电气调压阀51)而使得所述空气压力升高，因此无需在下一次的第2波纹管14(第1波纹管13)的伸长时特意重新设定下限值。由此，能够在大下次的第2波纹管14(第1波纹管13)的伸长时限制利用第2电气调压阀52(第1电气调压阀51)调整的所述空气压力低于下限值Pd，因此能够抑制第2波纹管14(第1波纹管13)的伸长时间变得过长。其结果，能够抑制因所述伸长时间延长而引起的波纹管泵装置1的排出侧的脉动变差。

另外，大下次的第2波纹管14(第1波纹管13)的伸长时重新设定的所述下限值，在大大下次以后的第2波纹管14(第1波纹管13)的伸长时也用作基于第2电气调压阀52(第1电气调压阀51)的空气压力的调整范围的下限值。因此，即使在大大下次以后的第2波纹管14(第1波纹管13)的伸长时执行降压控制，因该降压控制而降低的空气压力也不会低于下限值Pd。因此，因降压控制而使得第2波纹管14(第1波纹管13)的伸长时间延长，能够抑制在第1波纹管13(第2波纹管14)即将变为收缩状态之前无法使得第2波纹管14(第1波纹管13)从伸长状态收缩。其结果，能够进一步抑制波纹管泵装置1的排出侧的脉动变差。

另外，控制部6进行降压控制，从而在第1波纹管13(第2波纹管14)收缩至收缩状态时，在第2波纹管14(第1波纹管13)未伸长至伸长状态的情况下，控制部6进行使得与当前时刻伸长的第2波纹管14(第1波纹管13)相关的加压空气的空气压力逐渐升高的当前升压控制。由此，能够缩短当前时刻的第2波纹管14(第1波纹管13)的伸长时间。其结果，能够抑制因所述伸长时间延长引起的波纹管泵装置1的排出侧的脉动变差。另外，能够抑制因第2波纹管14(第1波纹管13)的伸长引起的移送流体的吸入不全，因此能够抑制因该吸入不全引起的波纹管泵装置1停止。

另外，进行当前升压控制，从而能够使得在当前时刻处于伸长中的第2波纹管14(第1波纹管13)不在伸长中途停止，而是可靠地伸长至伸长状态。其结果，能够在下一次的第2波纹管14(第1波纹管13)的伸长时可靠地进行所述下限值的重新设定。

用于第1驱动部27以及第2驱动部28的驱动控制的第1检测部29以及第2检测部31，兼用作用于当前升压控制、下一次升压控制、以及降压控制的一对检测部，因此能够简化波纹管泵装置1的结构。

[其他]

在上述实施方式中，第1检测部29由接近传感器29A、29B构成，但也可以由利用激光等的位移传感器构成。同样地，第2检测部31由接近传感器31A、31B构成，但也可以由利用激光等的位移传感器构成。

另外，在上述实施方式中，用于第1驱动部27以及第2驱动部28的驱动控制的第1检测部29以及第2检测部31兼用作用于当前升压控制、下一次升压控制、以及降压控制的一对检测部，但也可以与第1检测部29以及第2检测部31不同地设置上述一对检测部。

应当理解，此次公开的实施方式在所有方面都是例示，并未受到限制。本发明的范围并不限定于此，由权利要求书表示，意在包含与权利要求书等同的范围、以及范围内的所有变更。

标号的说明

1波纹管泵装置

6控制部

13第1波纹管(波纹管)

14第2波纹管(波纹管)

21A第1排出侧空气室(排出侧流体室)

21B第2排出侧空气室(排出侧流体室)

26A第1吸入侧空气室(吸入侧空气室)

26B第2吸入侧空气室(吸入侧空气室)

27第1驱动部(驱动部)

28第2驱动部(驱动部)

29第1检测部(检测部)

31第2检测部(检测部)

51第1电气调压阀(流体压力调整部)

52第2电气调压阀(流体压力调整部)

Claims (8)

1.一种波纹管泵装置，其具有：

一对波纹管，它们彼此独立地自由伸缩，通过伸长而将移送流体吸入至内部，通过收缩而从内部将移送流体排出；

一对驱动部，它们具有吸入侧流体室以及排出侧流体室，通过对所述吸入侧流体室供给加压流体从而使所述各波纹管伸长至规定的伸长状态，通过对所述排出侧流体室供给加压流体从而使所述各波纹管收缩至规定的收缩状态；以及

控制部，其以在一对所述波纹管中的一个波纹管即将变为所述收缩状态之前使得另一个波纹管从所述伸长状态收缩的方式，进行一对所述驱动部的驱动控制，其中，

所述波纹管泵装置具有：

一对检测部，它们检测所述各波纹管的伸缩状态；以及

一对流体压力调整部，它们调整对所述各驱动部的所述吸入侧流体室供给的加压流体的流体压力，

所述控制部基于一对所述检测部的各检测信号，在所述一个波纹管收缩至即将变为所述收缩状态之前的收缩中途状态时判定所述另一个波纹管是否处于所述伸长状态，在其判定结果为否定的情况下，进行以使得下一次的所述另一个波纹管的伸长时的所述流体压力升高的方式，控制与使所述另一个波纹管伸长的所述驱动部对应的所述流体压力调整部的下一次升压控制。

2.一种波纹管泵装置，其具有：

一对波纹管，它们彼此独立地自由伸缩，通过伸长而将移送流体吸入至内部，通过收缩而从内部将移送流体排出；

一对驱动部，它们具有吸入侧流体室以及排出侧流体室，通过对所述吸入侧流体室供给加压流体从而使所述各波纹管伸长至规定的伸长状态，通过对所述排出侧流体室供给加压流体从而使所述各波纹管收缩至规定的收缩状态；以及

控制部，其以在一对所述波纹管中的一个波纹管即将变为所述收缩状态之前使得另一个波纹管从所述伸长状态收缩的方式，进行一对所述驱动部的驱动控制，其中，

所述波纹管泵装置具有：

一对检测部，它们检测所述各波纹管的伸缩状态；以及

一对流体压力调整部，它们调整对所述各驱动部的所述吸入侧流体室供给的加压流体的流体压力，

所述控制部基于一对所述检测部的各检测信号，在所述一个波纹管收缩至即将变为所述收缩状态之前的收缩中途状态时、或者在所述一个波纹管收缩至所述收缩状态时判定所述另一个波纹管是否处于所述伸长状态，在其判定结果为否定的情况下，进行以使得与当前时刻伸长的所述另一个波纹管相关的所述流体压力逐渐升高的方式，控制与使所述另一个波纹管伸长的所述驱动部对应的所述流体压力调整部的当前升压控制。

3.一种波纹管泵装置，其具有：

一对波纹管，它们彼此独立地自由伸缩，通过伸长而将移送流体吸入至内部，通过收缩而从内部将移送流体排出；

一对驱动部，它们具有吸入侧流体室以及排出侧流体室，通过对所述吸入侧流体室供给加压流体从而使所述各波纹管伸长至规定的伸长状态，通过对所述排出侧流体室供给加压流体从而使所述各波纹管收缩至规定的收缩状态；以及

控制部，其以在一对所述波纹管中的一个波纹管即将变为所述收缩状态之前使得另一个波纹管从所述伸长状态收缩的方式，进行一对所述驱动部的驱动控制，其中，

所述波纹管泵装置具有：

一对检测部，它们检测所述各波纹管的伸缩状态；以及

一对流体压力调整部，它们调整对所述各驱动部的所述吸入侧流体室供给的加压流体的流体压力，

所述控制部基于一对所述检测部的各检测信号，在所述一个波纹管收缩至即将变为所述收缩状态之前的收缩中途状态时判定所述另一个波纹管是否使得所述伸长状态持续了大于或等于规定时间的时间，在其判定结果为肯定的情况下，进行以使得下一次的所述另一个波纹管的伸长时的所述流体压力降低的方式，控制与使所述另一个波纹管伸长的所述驱动部对应的所述流体压力调整部的降压控制。

4.根据权利要求1所述的波纹管泵装置，其中，

所述控制部基于一对所述检测部的各检测信号，在所述一个波纹管收缩至所述收缩中途状态时判定所述另一个波纹管是否使得所述伸长状态持续了大于或等于规定时间的时间，在其判定结果为肯定的情况下，进行以使得下一次的所述另一个波纹管的伸长时的所述流体压力降低的方式，控制与使所述另一个波纹管伸长的所述驱动部对应的所述流体压力调整部的降压控制。

5.根据权利要求3或4所述的波纹管泵装置，其中，

所述控制部基于一对所述检测部的各检测信号，在所述一个波纹管收缩至所述收缩状态时判定所述另一个波纹管是否处于所述伸长状态，在其判定结果为否定的情况下，将下一次的所述另一个波纹管的伸长时的基于所述流体压力调整部的所述流体压力的调整范围的下限值，设定为高于上一次的所述另一个波纹管的伸长时的所述流体压力。

6.根据权利要求4所述的波纹管泵装置，其中，

所述控制部基于一对所述检测部的各检测信号，在所述一个波纹管收缩至所述收缩状态时判定所述另一个波纹管是否处于所述伸长状态，在其判定结果为否定的情况下，将大下次以后的所述另一个波纹管的伸长时的基于所述流体压力调整部的所述流体压力的调整范围的下限值，设定为高于上一次的所述另一个波纹管的伸长时的所述流体压力。

7.根据权利要求3至6中任一项所述的波纹管泵装置，其中，

所述控制部基于一对所述检测部的各检测信号，在所述一个波纹管收缩至即将变为所述收缩状态之前的收缩中途状态时、或者在所述一个波纹管收缩至所述收缩状态时判定所述另一个波纹管是否处于所述伸长状态，在其判定结果为否定的情况下，进行以使得与在当前时刻伸长的所述另一个波纹管相关的所述流体压力逐渐升高的方式，控制与使所述另一个波纹管伸长的所述驱动部对应的所述流体压力调整部的当前升压控制。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的波纹管泵装置，其中，

所述控制部基于一对所述检测部的各检测信号而进行所述驱动控制。