CN116360222A - 光掩模载台单元和包括该光掩模载台单元的光掩模储料器 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种对光掩模进行对准的光掩模载台单元，该光掩模载台单元包括：对准构件，用于对光掩模进行对准，以使光掩模定位在合适的位置；以及引导构件，用于支撑光掩模的边缘并将光掩模引导至适当的位置，其中对准构件沿对角线方向推动光掩模。

Description

光掩模载台单元和包括该光掩模载台单元的光掩模储料器

技术领域

本发明涉及一种光掩模处理设备。

背景技术

光掩模(或光刻掩模或掩模版)用于转印光致抗蚀剂膜图案。当这样的光掩模在光刻站、处理站和存储站之间移动时，光掩模存储在容器(或载体或盒)中并移动。

同时，与光掩模相关的信息(即，识别信息)以机器可读类型显示在光掩模本身上。这里，机器可读类型可以是条形码或OCR。因此，为了识别光掩模，必须对光掩模进行视觉检查。掩模分类***打开容器，取出光掩模，并在将光掩模载置在载台上的同时进行视觉检查。

然而，存在的问题在于：当光掩模没有正确地定位在执行视觉检查的载台上时，视觉检查不能准确地执行。

发明内容

本发明致力于提供一种能够精确地对光掩模进行对准的光掩模载台单元和包括该光掩模载台单元的光掩模储料器。

本发明还致力于提供一种能够最小化与光掩模的接触表面的光掩模载台单元和包括该光掩模载台单元的光掩模储料器。

本发明的目的不限于此，本领域的普通技术人员通过以下描述将清楚地理解未提及的其他目的。

本发明的一个方面提供了一种对光掩模进行对准的光掩模载台单元，该光掩模载台单元包括：对准构件，用于对光掩模进行对准，以使光掩模定位在合适的位置；以及引导构件，用于支撑光掩模的边缘并将光掩模引导至适当的位置，其中对准构件沿对角线方向推动光掩模。

此外，引导构件可以包括：第一引导构件，其用于支撑第一角部，所述光掩模的第一侧表面和第二侧表面在所述第一角部处相交；以及第二引导构件，其被定位成与所述第一角部成对角并支撑第二角部，所述光掩模的第三侧表面和第四侧表面在所述第二角部处相交，并且所述对准构件沿对角线方向从第二边缘向所述第一角部推动所述光掩模。

此外，第一引导构件可以包括：第一位置确定块，其用于支撑第一底角部，所述光掩模的底表面和所述第一侧表面在所述第一底角部处相交；以及第二位置确定块，其用于支撑第二底角部，所述光掩模的所述底表面和所述第二侧表面在第二底角部处相交。

此外，第一位置确定块可以具有：当所述光掩模在所述适当的位置中进行对准时与所述第一侧表面接触的第一竖直表面；以及从所述第一竖直表面的下端在向内方向上向下倾斜的第一倾斜表面，并且所述第二位置确定块具有：当所述光掩模在所述适当的位置中进行对准时与所述第二侧表面接触的第二竖直表面，以及从所述第二竖直表面的下端在向内方向上向下倾斜的第二倾斜表面。

此外，所述推动构件可以包括：致动器；以及推动指部，其通过所述致动器沿所述对角线方向移动并与所述光掩模的所述第二角部接触。

此外，推动指部可以包括：分别与所述第三侧表面和所述第四侧表面接触的第一指部和第二指部，并且所述第一指部和所述第二指部可以包括弹性构件，所述弹性构件用于在与所述光掩模接触时减轻震动。

此外，推动构件可以包括：第一空气移位喷嘴，其被设置成面向所述第三侧表面并且朝向所述第三侧表面喷射空气；以及第二空气移位喷嘴，其被设置成面向所述第四侧表面并朝向所述第四侧表面喷射空气。

此外，第一空气移位喷嘴和第二空气移位喷嘴可以包括沿水平方向设置的喷射孔，所述喷射孔被设置成使得直径随着与所述第二角部的距离的增加而增加，并且所述空气包括清洁干燥空气(CDA)。

此外，第二引导构件可以包括：第一反向移动防止表面，其用于支撑第三底角部并且在远离所述光掩模的向外方向上向上倾斜，所述光掩模的底表面和所述第三侧表面在所述第三底角部处相交；以及第二反向移动防止表面，其用于支撑第四底角部并且在远离所述光掩模的向外方向上向上倾斜，所述光掩模的所述底表面和所述第四侧表面在所述第四底角部处相交。

此外，光掩模载台单元还可以包括：第三引导构件，其用于支撑第三角部，所述光掩模的所述第一侧表面和所述第三侧表面在所述第三角部处相交；以及第四引导构件，其用于支撑第四角部并且被定位成与所述第三角部成对角，所述光掩模的所述第二侧表面和所述第四侧表面在所述第四角部处相交，其中，所述第三引导构件可以具有：当所述光掩模在所述适当的位置进行对准时与所述第一侧表面接触的第三竖直表面；以及从所述第三竖直表面的下端在向内方向上向下倾斜的第三倾斜表面，并且所述第四导引件可以具有：当所述光掩模在所述适当的位置中进行对准时与所述第二侧表面接触的第四竖直表面；以及从所述第四竖直表面的下端在向内方向上向下倾斜的第四倾斜表面。

本发明的另一个方面提供了一种光掩模储料器，包括：装载单元，其用于接收存储有光掩模的容器并打开所述容器以使所述光掩模曝光；以及检查单元，其连接到所述装载单元，并读取与所述光掩模相关的信息以获得关于所述光掩模的信息，其中，所述检查单元包括：载台，在其上载置所述光掩模；以及对准模块，其用于在所述光掩模载置于所述载台上时在一个方向上推动所述光掩模并对所述光掩模进行对准。

此外，载台可以包括：第一引导构件，其用于支撑第一角部，所述光掩模的第一侧表面和第二侧表面在所述第一角部处相交；以及第二引导构件，其用于支撑第二角部并被定位成与所述第一角部成对角，所光掩模的第三侧表面和第四侧表面在所述第二角部处相交，以及对准模块可以包括推动构件，所述推动构件用于将所述光掩模沿对角线方向从所述第二角部朝向所述第一角部推动。

此外，所述推动构件可以包括：致动器；以及推动指部，其通过所述致动器沿所述对角线方向移动并与所述光掩模的所述第二角部接触。

此外，推动指部可以包括：指部，其分别与所述第三侧表面和所述第四侧表面接触；以及弹性构件，其用于在与所述光掩模接触时减轻震动。

此外，推动构件可以通过向所述第三侧表面和所述第四侧表面喷射清洁干燥空气(CDA)以非接触方式移位所述光掩模。

此外，推动构件可以包括：第一空气移位喷嘴，其被设置成面向所述第三侧表面并且朝向所述第三侧表面喷射空气；以及第二空气移位喷嘴，其被设置成面向所述第四侧表面并且朝向所述第四侧表面喷射空气，并且所述第一空气移位喷嘴和所述第二空气移位喷嘴包括沿水平方向设置的喷射孔，并且所述喷射孔被设置成使得直径随着与所述第二角部的距离的增加而增加。

此外，第一引导构件可以包括：第一位置确定块，其用于支撑第一底角部，所述光掩模的底表面和第一侧表面在所述第一底角部处相交；以及第二位置确定块，其用于支撑第二底角部，所述光掩模的所述底表面和所述第二侧表面在第二底角部处相交，并且所述第一位置确定块和所述第二位置确定块中的每个可以具有：第一端，其在远离所述光掩模的向外方向上向上倾斜；竖直表面，其从所述第一端的外端在竖直方向上延伸；以及第二端，其从所述竖直表面的上端在向外方向上向上倾斜。

此外，第二引导构件可以包括：第一反向移动防止表面，其用于支撑第三底角部并且在远离所述光掩模的向外方向上向上倾斜，所述光掩模的底表面和所述第三侧表面在所述第三底角部处相交；以及第二反向移动防止表面，其用于支撑第四底角部并且在远离所述光掩模的向外方向上向上倾斜，所述光掩模的所述底表面和所述第四侧表面在所述第四底角部处相交。

此外，光掩模储料器还可以包括：第三引导构件，其用于支撑第三角部，所述光掩模的所述第一侧表面和所述第三侧表面在所述第三角部处相交；以及第四引导构件，其用于支撑第四角部并且被定位成与所述第三角部成对角，所述光掩模的所述第二侧表面和所述第四侧表面在所述第四角部处相交，并且所述第三引导构件和所述第四引导构件中的每个可以具有：第一端，其在远离所述光掩模的向外方向上向上倾斜；以及竖直表面，其从所述第一端的外端在竖直方向上延伸并被设置为面向所述第一侧表面。

本发明的又一个方面提供了一种光掩模储料器，包括：装载单元，其用于接收存储有光掩模的容器并打开所述容器以使所述光掩模曝光；检查单元，其连接到所述装载单元，并读取与所述光掩模相关的信息以检查所述光掩；以及存储单元，其用于存储由所述检查单元检查过的所述光掩模，其中，所述检查单元包括：载台，所述载台包括：用于支撑第一角部的第一引导构件，所述光掩模的第一侧表面和第二侧表面在所述第一角部处相交；以及被定位成与所述第一角部成对角并用于支撑第二角部的第二引导构件，所光掩模的第三侧表面和第四侧表面在所述第二角部处相交；推动构件，其用于在所述光掩模载置于所述第一引导构件和所述第二引导构件上的状态下沿对角线方向从所述第二角部朝向所述第一角部推动所述光掩模并对所述光掩模进行对准；以及视觉模块，其用于从通过所述推动构件定位在所述载台上适当的位置处的所述光掩模获取信息或检查所述光掩模。

此外，所述推动构件可以包括：致动器；以及推动指部，其通过所述致动器沿所述对角线方向移动并与所述光掩模的所述第二角部接触，并且推动指部可以包括：分别与所述第三侧表面和所述第四侧表面接触的指部；以及弹性构件，用于在所述指部与所述光掩模接触时减轻震动。

此外，推动构件可以包括：第一空气移位喷嘴，其被设置成面向所述第三侧表面并且朝向所述第三侧表面喷射空气；以及第二空气移位喷嘴，其被设置成面向所述第四侧表面并且朝向所述第四侧表面喷射空气，并且所述第一空气移位喷嘴和所述第二空气移位喷嘴可以包括沿水平方向设置的喷射孔，并且所述喷射孔被设置成使得直径随着与所述第二角部的距离的增加而增加。

此外，第一引导构件可以包括：第一位置确定块，其用于支撑第一底角部，所述光掩模的底表面和第一侧表面在所述第一底角部处相交；以及第二位置确定块，其用于支撑第二底角部，所述光掩模的所述底表面和所述第二侧表面在第二底角部处相交，并且所述第一位置确定块和所述第二位置确定块中的每个可以具有：第一端，其在远离所述光掩模的向外方向上向上倾斜；竖直表面，其从所述第一端的外端在竖直方向上延伸；以及第二端，其从所述竖直表面的上端在向外方向上向上倾斜。

此外，第二引导构件可以包括：第一反向移动防止表面，其用于支撑第三底角部并且在远离所述光掩模的向外方向上向上倾斜，所述光掩模的底表面和所述第三侧表面在所述第三底角部处相交；以及第二反向移动防止表面，其用于支撑第四底角部并且在远离所述光掩模的向外方向上向上倾斜，所述光掩模的所述底表面和所述第四侧表面在所述第四底角部处相交。

根据本发明，可以精确地对光掩模进行对准。

根据本发明，可以通过在对光掩模进行对准的过程中最小化与光掩模的接触表面来防止对光掩模的污染和损坏。

本发明的效果不限于前述效果。本领域的技术人员可以从本说明书和附图中清楚地理解未提及的效果。

附图说明

图1是根据本发明示例性实施例的光掩模储料器的示例性透视图。

图2是根据本发明示例性实施例的光掩模储料器的示例性俯视图。

图3是根据本发明示例性实施例的光掩模储料器的示例性框图。

图4A是说明光掩模的透视图。

图4B是表示光掩模载台单元的立体图。

图5是图4B所示光掩模载台单元的俯视图。

图6是图4B所示的光掩模载台单元的侧视图。

图7A是示出第一引导构件的透视图。

图7B是从图7A所示的方向A1观察到的第一引导构件的侧视图。

图7C是从图7A所示的方向A2观察到的第一引导构件的侧视图。

图8是用于说明第二引导构件的图。

图9是用于说明第三引导构件的图。

图10是用于说明第四引导构件的图。

图11是用于说明对准构件的图。

图12是用于描述推动指部的主要部分的放大图。

图13和图14是示出对齐构件的其他示例的图。

具体实施方式

在下文中，将在下文中参考附图更全面地描述本发明的示例性实施例，在附图中示出了本发明的示例性实施例。然而，本发明可以以不同的方式实施并且不限于以下示例性实施例。在本发明的以下描述中，省略了并入本文的已知功能和配置的详细描述以避免使本发明的主题不清晰。此外，对于具有相似功能和作用的部分，贯穿附图使用相同的附图标记。

除非有相反的明确描述，否则表述“包括”和诸如“包含”或“含有”之类的变体将被理解为暗示包含所述要素但不排除任何其他要素。应当理解，术语“包括”和“具有”旨在指示说明书中描述的特征、数字、操作、构成元素和部件或其组合的存在，并且不排除可以存在或添加一个或多个其他特征、数字、操作、构成元素和部件或它们的组合。

本文中使用的单数表达包括复数表达，除非它们在上下文中具有明确相反的含义。相应地，为了更清楚的说明，附图中元件的形状、尺寸等可能夸大。

“第一”、“第二”等术语用于描述各种构成元素，但构成元素不受这些术语的限制。这些术语仅用于将一个构成元素与另一个构成元素区分开来。例如，在不脱离本发明范围的情况下，可以将第一要素命名为第二构成元素，类似地，可以将第二构成元素命名为第一构成元素。

应当理解，当一个构成元件被称为“联接到”或“连接到”另一个构成元件时，一个组成元件可以直接联接到或连接到另一个构成元件，但也可以存在中间元件。相反，当一个构成元件“直接联接到”或“直接连接到”另一个构成元件时，应理解为不存在中间元件。其他描述构成元素之间关系的表达方式，如“...之间”和“就在...之间”或“与...相邻”和“直接与...相邻”等，应作类似解释。

本文使用的所有术语，包括技术或科学术语，具有与本领域技术人员通常理解的含义相同的含义，除非它们被不同地定义。通用词典中定义的术语应被解释为具有与相关技术上下文中的含义相匹配的含义，除非在本申请中明确定义，否则不应被解释为理想的或过于正式的含义。

前面的详细描述阐述了本发明。此外，以上内容示出并描述了本发明的示例性实施例，并且本发明可以在各种其他组合、修改和环境中使用。亦即，在本说明书所公开的发明构思的范围、与本公开等同的范围、和/或本领域的技术或知识的范围内，可以对上述内容进行修改或更正。前述示例性实施例描述了实现本发明的技术精神的最佳状态，并且可以在本发明的特定的应用领域和用途中进行需要的各种变化。因此，以上对本发明的详细描述并非旨在将本发明限制于所公开的示例性实施例。此外，所附权利要求也应被解释为包括其他示例性实施例。

在本发明的示例性实施例中，将描述用于通过使用等离子体来蚀刻基板的基板处理设备。然而，本发明不限于此并且可以适用于通过将等离子体供应到腔室中来执行处理的各种类型的设备。

图1至图3是根据本发明示例性实施例的光掩模储料器的示例性透视图、俯视图和框图。

参照图1至图3，根据本发明一些示例性实施例的光掩模储料器包括装载区域10、检查区域20、储料区域30、控制模块900等。

例如，装载区域10形成为在第一方向X上伸长。如图中所示，多个装载端口100和101(例如，两个装载端口)可以设置在第一方向X上在装载区域10中。

装载区域10接收容器(或载体、盒)1001，在该容器中通过多个装载端口100和101存储光掩模40。随后，装载区域10识别包含在容器1001中的信息并读取与容器1001和/或光掩模40相关的信息。例如，可以检查容器1001对应于装载区域10中的第一类型还是第二类型。当容器1001的类型不同时，容器1001中的光掩模40的类型也可以不同。这里，装载区域10可以使用各种类型的读取方法来识别来自多个不同类型的容器1001的信息。替代地，可以多次使用一种类型的读取方法。

可以使用的容器1001可以是例如标线标准机械接口卡匣(RSP)或EUV标线卡匣。存储在RSP中的光掩模(即RSP光掩模)和存储在EUV掩标线卡匣中的光掩模(即EUV光掩模)可以彼此不同。

在通过上述读取操作识别出与容器1001和/或光掩模40相关的信息之后，装载区域10可以根据识别出的信息以不同的顺序打开容器1001。容器1001可以通过提升单元110和111沿第三方向Z(即，上下方向)移动。随着容器1001被提升单元110和111沿向下方向移动，可以执行容器1001的打开过程。当打开容器1001时，暴露出内部的光掩模40。例如，当容器1001为第一类型时，容器1001可以按照第一顺序打开，当容器1001为第二类型时，容器1001可以按照不同于第一顺序的第二顺序打开。

装载区域10、检查区域20和储料区域30可以设置为在第二方向Y上彼此接触。例如，检查区域20可以形成为在第一方向X上伸长。

检查区域20可包括第一传送机器人210、对准器(或旋转器)400、翻转模块240和视觉模块250。这里，无论光掩模40的类型如何，都可以使用第一传送机器人210、光掩模载台单元400、翻转模块240和视觉模块250。

第一传送机器人210可以抓取光掩模40并将光掩模40从装载区域10传送到检查区域20的内部，或者相反地，将光掩模40从检查区域20传送到装载区域10。替代地，第一传送机器人210可用于在检查区域20内传送光掩模40。第一传送机器人210包括能够针对每个连杆单独旋转的多个连杆。因此，在允许的到达范围内，第一传送机器人210能够在全部方向上移动并且可以在多个角度上被控制。

光掩模载台单元400从第一传送机器人210接收光掩模40并将光掩模对准就位。

例如，由于光掩模40没有在容器1001中存储就位，光掩模载台单元400可能以未对准状态接收光掩模40。在这种情况下，光掩模载台单元400执行对准操作，使得光掩模40被正确定位。将参照图4A至12详细描述光掩模载台单元400。

翻转模块240翻转光掩模40。也就是说，翻转模块240翻转光掩模40，使光掩模40的背面朝上，使光掩模40转向朝上。翻转模块240可以空气卡盘方法保持光掩模40。

视觉模块250拍摄光掩模40以从光掩模40获取信息或检查光掩模40。例如，视觉模块250可以检查光掩模40的类型或检查光掩模40的位置(方向)。

具体地，当光掩模40放置在光掩模载台单元400上时，视觉模块250对光掩模40进行拍摄，控制模块900可以从所拍摄的图像(包括静止图像和动画)中获取光掩模的相关信息(即识别信息)。标识信息可以是例如跟踪号、类型分类和光刻工具分类。该识别信息以机器可读的形式显示在光掩模40本身上。这里，机器可读类型可以是条形码或OCR。例如，控制模块900从RSP光掩膜的图像中识别RSP光掩膜的条形码、对准标记等。此外，控制模块900可以从通过拍摄EUV光掩模获得的图像的EUV光掩模的常见阴影。

与光掩模40有关的信息存储在控制模块900中或存储在连接到控制模块900的存储器中。在存储器中，例如，将光掩模40分为36个类型，并存储各种类型的特性。因此，控制模块900可以从拍摄的光掩模的图像中获取信息并将获取的信息与存储在存储器中的信息进行比较以确定光掩模的类型。以这种方式确定的光掩模40的类型可以是配备有薄膜框架的光掩模。

此外，控制模块900控制装载区域10、检查区域20和储料区域30。该控制模块900也可以安装在检查区域20内。另外，控制模块900可以无线地或有线地连接到控制服务器。控制服务器是更高级别的***，其中含有关设施自动化的整个工序的信息。因此，控制服务器可以基于该信息向控制模块900发出操作命令。

光掩模储料器可以以各种操作模式操作。例如，各种操作模式可以是自动模式、半自动模式和手动模式。例如，在自动模式下，控制模块900可以接收来自控制服务器的指令，并根据指令控制装载区域10、检查区域20和储料区域30。此外，在手动模式下，控制模块900可以直接从操作员接收指令。也就是说，操作员可以通过控制面板给出具体的指令。如图所示，控制面板160的形状可以是安装在光掩模储料器1的一侧的显示面板的形状，但不限于此。例如，控制面板160可以与光掩模处理设备分离，也可以通过有线通信或无线通信连接到控制模块600。

储料区域30可以包括用于存储在检查区域20中处理的光掩模40的搁架320和用于传送光掩模40的第二传送机器人310。第二传送机器人310在光掩模载台单元400和搁架320之间传送光掩模40。第二传送机器人310具有与第一传送机器人210相同的结构，并且将省略其详细描述。

图4A是示出光掩模的透视图，并且图4B是示出载台单元的透视图。图5是图4B中示出的载台单元的俯视图，图6是图4B中示出的载台单元的侧视图。图7A至图7C是示出第一导向构件的图，图8是用于描述第二导向构件的图，以及图9和图10是用于描述第三导向构件和第四导向构件的图。

在图4A中，附图标记S1表示第一侧表面41和第二侧表面42相遇处的第一角，附图标记S2表示第三侧表面43和第四侧表面44相遇处的第二角，附图标记S3表示第一侧表面41和第三侧表面43相遇处的第三角，以及附图标记S4表示第二侧表面42和第四侧表面44相遇处的第四角。进一步地，附图标记S5表示第一侧表面41和底表面49相遇处的第一底角，附图标记S6表示第二侧表面42和底表面49相遇处的第二底角，附图标记S7表示第三侧表面43和底表面49相遇处的第三底角，以及附图标记S8表示第四侧表面44和底表面49相遇处的第四底角。

参照图4A至图6，载台单元400可以包括载台410和对准构件500。

例如，光掩模40可以由第一传送机器人210从载台410上的适当位置C1装载到以预定间隔间隔开的第一位置C1。第一位置C1可以是第二导向构件430相对于适当位置C1定位的对角线方向。同时，在载台单元中已经完成视觉检查的光掩模由第二传送机器人310卸载。

载台410可以包括底板412和第一至第四导向构件420至450。

底板412具有比光掩模40更大的直径。第一至第四导向构件420至450设置在底板412的角上。多个传感器安装在底板412上。这些传感器可以是检测安置在载台410上的光掩模40的存在和对准状态的传感器。

第一导向构件420可以安装在底板412上，以支撑光掩模40的第一侧表面41和第二侧表面42相遇处的第一角S1的一部分。

图7A是示出第一导向构件的透视图，图7B是从图7A中示出的方向A1上观察的第一导向构件的侧视图，并且图7C是从图7A中示出的方向A2上观察的第一导向构件的侧视图。

参照图7A至图7C，第一导向构件420可以包括第一位置确定块420a和第二位置确定块420b。

第一位置确定块420a支撑光掩模40的底表面49和第一侧表面41相遇处的第一底角S5。第一位置确定块420a可以包括当光掩模40在适当位置对准时与第一侧表面41接触的第一竖直表面423a、从第一竖直表面423a的下端在向内方向上向下倾斜的第一倾斜表面422a、以及从第一竖直表面的上端在向外方向上向上倾斜的倾斜表面424a。

第二位置确定块420b支撑光掩模40的底表面49和第二侧表面42相遇处的第二底角S6。第二位置确定块420b可以包括当光掩模40在适当位置对准时与第二侧表面42接触的第二竖直表面423b、从第二竖直表面423b的下端在向内方向上向下倾斜的第二倾斜表面422b、以及从第二竖直表面的上端在向外方向上向上倾斜的倾斜表面424b。

当光掩模40被装载在载台410上时，第一底角S5被支撑在第一倾斜表面422a上，而第二底角S6被支撑在第二倾斜表面422b上。然后，当光掩模40通过对准构件500对准时，第一侧表面41与第一竖直表面423a接触，第二侧表面42与第二竖直表面423b接触。图中的虚线表示对准前的光掩模。

图8是示出第二导向构件的透视图。

参照图4A至图8，第二导向构件430可以安装在底板412中，以支撑光掩模40的第三侧表面43和第四侧表面44相遇处的第二角S2。

第二导向构件430可以包括第一反向移动防止表面432和第二反向移动防止表面434。第一反向移动防止表面432是倾斜的，以支撑光掩模40的第三底角S7。例如，第一反向移动防止表面432在远离光掩模的向外方向上设置有向上的倾斜。第二反向移动防止表面434是倾斜的，以支撑光掩模40的第四底角S8。第二反向移动防止表面434在远离光掩模的向外方向上向上倾斜。

第一反向移动防止表面432和第二反向移动防止表面434具有反向(上坡)形状的倾斜表面，以防止光掩模40在通过对准构件500对准在适当位置之后返回。

图9是用于描述第三引导构件的示意图。

第三引导构件440可以安装在底板412中，以支撑光掩模40的第一侧表面41和第三侧表面43相遇处的第三角S3的一部分。

第三导向构件440包括当光掩模在适当位置对准时与第一侧表面接触的第三竖直表面443，以及从第三竖直表面443的下端在向内方向上向下倾斜的第三倾斜表面442。

当光掩模40被装载在载台410上时，第三底角S5被支撑在第三倾斜表面442上。然后，当光掩模40通过对准构件500对准时，第一侧表面41与第三竖直表面443接触。

图10是示出第四导向构件的透视图。

第四引导构件450可以安装在底板412上，以支撑光掩模40的第二侧表面41和第四侧表面44相遇处的第四角S4的一部分。

第四导向构件450包括当光掩模在适当位置对准时与第二侧表面42接触的第四竖直表面453，以及从第四竖直表面453的下端在向内方向上向下倾斜的第四倾斜表面452。

当光掩模40被装载在载台410上时，第二底角S6被支撑在第四倾斜表面452上。然后，当光掩模40通过对准构件500对准时，第二侧表面42与第四竖直表面453接触。

如上所述，通过线接触而不是面与面接触，使安置在第一至第四导向构件420至450上的光掩模40的接触面积最小化，并且由于光掩模40的底表面不接触第一至第四导向构件420至450，可以防止光掩模底表面的污染和损坏。

图11是用于解释对准构件的图，图12是用于描述推动指部的主要部分的放大图。

参照图11和图12，对准构件500(以下称为推动构件)在对角线方向(对准方向)上从第二角S2向第一角S1推动光掩模40。推动构件500可以包括致动器510和推动指部520。推动指部520可由致动器510沿导轨512在对角线方向移动。推动指部520与光掩模40的第二角S2接触。推动指部520可包括第一指部522和第二指部524。当推动指部520由致动器510沿对准方向向前移动时，第一指部522与第三侧表面43接触，并且第二指部524与第四侧表面44接触。第一指部522和第二指部524包括弹性构件530，用于在与光掩模40接触时减轻冲击。放置在载台410上的光掩模40可由推动构件500在对准方向上移动。

图13和图14是示出对准构件的其他示例的图。

参照图13和图14，推动构件500a通过向第三和第四侧表面喷射清洁干燥空气(CDA)，以非接触的方式将光掩模40在对准方向上对准。从推动构件供应的清洁干燥空气可以预期到光掩模的抗静电处理效果。

例如，推动构件500a可以包括第一空气移位喷嘴540a、第二空气移位喷嘴540b以及用于向第一空气移位喷嘴540a和第二空气移位喷嘴540b供应高压清洁干燥空气的空气供应单元548。第一空气移位喷嘴540a被设置为面向第三侧表面43，并具有用于向第三侧表面43喷射空气的喷孔542。可以沿着第三侧表面43的纵向方向提供多个喷孔542。

第二空气移位喷嘴540b被设置为面向第四侧表面44并且具有用于向第四侧表面44喷射空气的喷孔544。可以沿着第四侧表面44的纵向方向设置多个喷孔544。

第一空气移位喷嘴540a的喷孔542和第二空气移位喷嘴540b的喷孔544可以具有随着距第二角S2的距离增加而增加的直径。这种扩大的喷孔结构可提供光掩模在对角线方向上的平滑移动。

由于在本说明书中描述的示例性实施方式中并非所有的组成元件或组成步骤都是必不可少的，因此本发明可以选择性地包括一些组成元件或组成步骤。而且，组成步骤不一定要按照所描述的顺序进行，所以有可能后面描述的步骤在前面描述的步骤之前执行。

此外，以上描述的示例性实施方式不一定独立进行，而可以单独使用或相互组合使用。

Claims (20)

1.一种对光掩模进行对准的光掩模载台单元，所述光掩模载台单元包括：

对准构件，其用于对所述光掩模进行对准以使所述光掩模位于适当的位置；以及

引导构件，其用于支撑所述光掩模的边缘并将所述光掩模引导至所述适当的位置，

其中，所述对准构件沿对角线方向推动所述光掩模。

2.根据权利要求1所述的光掩模载台单元，其中，所述引导构件包括：

第一引导构件，其用于支撑第一角部，所述光掩模的第一侧表面和第二侧表面在所述第一角部处相交；以及

第二引导构件，其被定位成与所述第一角部成对角并支撑第二角部，所述光掩模的第三侧表面和第四侧表面在所述第二角部处相交，并且

所述对准构件沿对角线方向从第二边缘向所述第一角部推动所述光掩模。

3.根据权利要求2所述的光掩模载台单元，其中，所述第一引导构件包括：

第一位置确定块，其用于支撑第一底角部，所述光掩模的底表面和所述第一侧表面在所述第一底角部处相交；以及

第二位置确定块，其用于支撑第二底角部，所述光掩模的所述底表面和所述第二侧表面在第二底角部处相交。

4.根据权利要求3所述的光掩模载台单元，其中，所述第一位置确定块具有：当所述光掩模在所述适当的位置中进行对准时与所述第一侧表面接触的第一竖直表面；以及从所述第一竖直表面的下端在向内方向上向下倾斜的第一倾斜表面，并且

所述第二位置确定块具有：当所述光掩模在所述适当的位置中进行对准时与所述第二侧表面接触的第二竖直表面，以及从所述第二竖直表面的下端在向内方向上向下倾斜的第二倾斜表面。

5.根据权利要求2所述的光掩模载台单元，其中，所述推动构件包括：

致动器；以及

推动指部，其通过所述致动器沿所述对角线方向移动并与所述光掩模的所述第二角部接触。

6.根据权利要求5所述的光掩模载台单元，其中，所述推动指部包括：分别与所述第三侧表面和所述第四侧表面接触的第一指部和第二指部，并且

所述第一指部和所述第二指部包括弹性构件，所述弹性构件用于在与所述光掩模接触时减轻震动。

7.根据权利要求2所述的光掩模载台单元，其中，所述推动构件包括：

第一空气移位喷嘴，其被设置成面向所述第三侧表面并且朝向所述第三侧表面喷射空气；以及

第二空气移位喷嘴，其被设置成面向所述第四侧表面并朝向所述第四侧表面喷射空气。

8.根据权利要求7所述的光掩模载台单元，其中，所述第一空气移位喷嘴和所述第二空气移位喷嘴包括沿水平方向设置的喷射孔，

所述喷射孔被设置成使得直径随着与所述第二角部的距离的增加而增加，并且

所述空气包括清洁干燥空气(CDA)。

9.根据权利要求2所述的光掩模载台单元，其中，所述第二引导构件包括：

第一反向移动防止表面，其用于支撑第三底角部并且在远离所述光掩模的向外方向上向上倾斜，所述光掩模的底表面和所述第三侧表面在所述第三底角部处相交；以及

第二反向移动防止表面，其用于支撑第四底角部并且在远离所述光掩模的向外方向上向上倾斜，所述光掩模的所述底表面和所述第四侧表面在所述第四底角部处相交。

10.根据权利要求2所述的光掩模载台单元，还包括：

第三引导构件，其用于支撑第三角部，所述光掩模的所述第一侧表面和所述第三侧表面在所述第三角部处相交；以及

第四引导构件，其用于支撑第四角部并且被定位成与所述第三角部成对角，所述光掩模的所述第二侧表面和所述第四侧表面在所述第四角部处相交，

其中，所述第三引导构件具有：当所述光掩模在所述适当的位置进行对准时与所述第一侧表面接触的第三竖直表面；以及从所述第三竖直表面的下端在向内方向上向下倾斜的第三倾斜表面，并且

所述第四导引件具有：当所述光掩模在所述适当的位置中进行对准时与所述第二侧表面接触的第四竖直表面；以及从所述第四竖直表面的下端在向内方向上向下倾斜的第四倾斜表面。

11.一种光掩模储料器，包括：

装载单元，其用于接收存储有光掩模的容器并打开所述容器以使所述光掩模曝光；以及

检查单元，其连接到所述装载单元，并读取与所述光掩模相关的信息以获得关于所述光掩模的信息，

其中，所述检查单元包括：

载台，在其上载置所述光掩模；以及

对准模块，其用于在所述光掩模载置于所述载台上时在一个方向上推动所述光掩模并对所述光掩模进行对准。

12.根据权利要求11所述的光掩模储料器，其中，所述载台包括：

第一引导构件，其用于支撑第一角部，所述光掩模的第一侧表面和第二侧表面在所述第一角部处相交；以及

第二引导构件，其用于支撑第二角部并被定位成与所述第一角部成对角，所光掩模的第三侧表面和第四侧表面在所述第二角部处相交，以及

对准模块包括推动构件，所述推动构件用于将所述光掩模沿对角线方向从所述第二角部朝向所述第一角部推动。

13.根据权利要求12所述的光掩模储料器，其中，所述推动构件包括：

致动器；以及

推动指部，其通过所述致动器沿所述对角线方向移动并与所述光掩模的所述第二角部接触。

14.根据权利要求13所述的光掩模储料器，其中，所述推动指部包括：

指部，其分别与所述第三侧表面和所述第四侧表面接触；以及

弹性构件，其用于在所述指部与所述光掩模接触时减轻震动。

15.根据权利要求12所述的光掩模储料器，其中，所述推动构件通过向所述第三侧表面和所述第四侧表面喷射清洁干燥空气(CDA)以非接触方式移位所述光掩模。

16.根据权利要求12所述的光掩模储料器，其中，所述推动构件包括：

第一空气移位喷嘴，其被设置成面向所述第三侧表面并且朝向所述第三侧表面喷射空气；以及

第二空气移位喷嘴，其被设置成面向所述第四侧表面并且朝向所述第四侧表面喷射空气，并且

所述第一空气移位喷嘴和所述第二空气移位喷嘴包括沿水平方向设置的喷射孔，并且

所述喷射孔被设置成使得直径随着与所述第二角部的距离的增加而增加。

17.根据权利要求12所述的光掩模储料器，其中，所述第一引导构件包括：

第一位置确定块，其用于支撑第一底角部，所述光掩模的底表面和第一侧表面在所述第一底角部处相交；以及

第二位置确定块，其用于支撑第二底角部，所述光掩模的所述底表面和所述第二侧表面在第二底角部处相交，并且

所述第一位置确定块和所述第二位置确定块中的每个具有：

第一端，其在远离所述光掩模的向外方向上向上倾斜；

竖直表面，其从所述第一端的外端在竖直方向上延伸；以及

第二端，其从所述竖直表面的上端在向外方向上向上倾斜。

18.根据权利要求12所述的光掩模储料器，其中，所述第二引导构件具有：

第一反向移动防止表面，其用于支撑第三底角部并且在远离所述光掩模的向外方向上向上倾斜，所述光掩模的底表面和所述第三侧表面在所述第三底角部处相交；以及

第二反向移动防止表面，其用于支撑第四底角部并且在远离所述光掩模的向外方向上向上倾斜，所述光掩模的所述底表面和所述第四侧表面在所述第四底角部处相交。

19.根据权利要求12所述的光掩模储料器，还包括：

第三引导构件，其用于支撑第三角部，所述光掩模的所述第一侧表面和所述第三侧表面在所述第三角部处相交；以及

第四引导构件，其用于支撑第四角部并且被定位成与所述第三角部成对角，所述光掩模的所述第二侧表面和所述第四侧表面在所述第四角部处相交，并且

所述第三引导构件和所述第四引导构件中的每个具有：

第一端，其在远离所述光掩模的向外方向上向上倾斜；以及

竖直表面，其从所述第一端的外端在竖直方向上延伸并被设置为面向所述第一侧表面。

20.一种光掩模储料器，包括：

装载单元，其用于接收存储有光掩模的容器并打开所述容器以使所述光掩模曝光；

检查单元，其连接到所述装载单元，并读取与所述光掩模相关的信息以检查所述光掩；以及

存储单元，其用于存储由所述检查单元检查过的所述光掩模，

其中，所述检查单元包括：

载台，所述载台包括：用于支撑第一角部的第一引导构件，所述光掩模的第一侧表面和第二侧表面在所述第一角部处相交；以及被定位成与所述第一角部成对角并用于支撑第二角部的第二引导构件，所光掩模的第三侧表面和第四侧表面在所述第二角部处相交；

推动构件，其用于在所述光掩模载置于所述第一引导构件和所述第二引导构件上的状态下沿对角线方向从所述第二角部朝向所述第一角部推动所述光掩模并对所述光掩模进行对准；以及

视觉模块，其用于从通过所述推动构件定位在所述载台上适当的位置处的所述光掩模获取信息或检查所述光掩模。

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