KR20210077374A - 스토커 및 이의 레티클 처리 방법 - Google Patents

스토커 및 이의 레티클 처리 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 스토커는, 레티클들이 적재된 레티클 포드가 안착되는 로드 포트와, 상기 레티클들이 상기 레티클 포드에 적재된 방향을 확인하고, 상기 레티클에 대한 정보를 확인하는 비전부와, 상기 레티클 포드에 적재된 방향이 정상인 상기 레티클들을 적재하기 위한 다수의 선반들과, 상기 로드 포트, 상기 비전부 및 상기 선반들 사이에서 상기 레티클들을 이송하기 위한 이송 로봇 및 상기 비전부의 확인 결과, 상기 레티클의 적재 방향이 정상인 경우 상기 레티클을 상기 선반에 적재하고, 상기 레티클의 적재 방향이 반대인 경우 상기 레티클을 상기 로드 포트의 상기 레티클 포드에 적재하도록 상기 이송 로봇을 제어하는 제어부를 포함할 수 있다.

Description

스토커 및 이의 레티클 처리 방법{Stocker and method of processing reticles of the same}
본 발명은 스토커 및 이의 레티클 처리 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 레티클을 적재하기 위한 스토커 및 이의 레티클 처리 방법에 관한 것이다.
반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 반도체 기판, 인쇄회로기판, 레티클 등의 대상물은 캐리어에 수납된 상태로 스토커(Stocker)에 보관될 수 있으며, 상기 스토커는 상기 캐리어들을 수납하기 위한 복수의 선반들을 구비할 수 있다. 상기 캐리어들의 예로는 상기 대상물에 따라 풉(FOUP), 포스비(FOSB), 매거진, 레티클 포드 등 다양한 종류가 있다.
상기 스토커가 상기 레티클을 낱장 형태로 보관하는 경우, 상기 레티클에 대한 정보를 획득하기 위해 상기 스토커에는 상기 레티클에 형성된 바코드를 인식하기 위한 바코드 리더기가 구비된다.
상기 레티클의 이용하는 포토 공정 장치의 제조사에 따라 상기 레티클에서 상기 바코드가 형성되는 위치가 달라질 수 있다. 예를 들면, 상기 레티클의 상면에서 서로 대각에 위치하는 모서리에 서로 다른 제조사의 바코드가 각각 형성될 수 있다.
상기 레티클이 상기 레티클 포드에 정상 방향이 아닌 반대 반향으로 적재되는 경우, 상기 바코드 리더기가 해당 제조사의 바코드가 아닌 타 제조사의 바코드를 인식할 수 있다. 따라서, 상기 레티클에 대한 정확한 정보를 획득하기 어렵다.
본 발명은 레티클 포드에서 레티클이 정상 방향으로 적재되었는지 여부를 확인할 수 있는 스토커를 제공한다.
본 발명은 상기 스토커에서 상기 레티클의 처리 과정을 나타내는 상기 스토커의 레티클 처리 방법을 제공한다.
본 발명에 따른 스토커는, 레티클들이 적재된 레티클 포드가 안착되는 로드 포트와, 상기 레티클들이 상기 레티클 포드에 적재된 방향을 확인하고, 상기 레티클에 대한 정보를 확인하는 비전부와, 상기 레티클 포드에 적재된 방향이 정상인 상기 레티클들을 적재하기 위한 다수의 선반들과, 상기 로드 포트, 상기 비전부 및 상기 선반들 사이에서 상기 레티클들을 이송하기 위한 이송 로봇 및 상기 비전부의 확인 결과, 상기 레티클의 적재 방향이 정상인 경우 상기 레티클을 상기 선반에 적재하고, 상기 레티클의 적재 방향이 반대인 경우 상기 레티클을 상기 로드 포트의 상기 레티클 포드에 적재하도록 상기 이송 로봇을 제어하는 제어부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 비전부는, 상기 레티클의 적재 방향을 확인하기 위해 상기 레티클의 일측에 형성된 얼라인 마크 및 상기 레티클에 대한 정보 확인을 위해 상기 레티클에 형성된 바코드를 인식할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제어부는 상기 레티클의 적재 방향이 정상인 경우에만 상기 비전부가 상기 바코드를 인식하도록 상기 비전부를 제어할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 스토커는, 상기 레티클에 존재하는 파티클을 확인하기 위해 상기 레티클을 검사하는 검사부를 더 포함하며, 상기 이송 로봇은 상기 레티클들을 상기 검사부로 추가로 이송하고, 상기 제어부는 상기 검사부의 확인 결과, 상기 레티클에 상기 파티클이 없는 경우 상기 레티클을 상기 선반에 적재하고, 상기 레티클에 상기 파티클이 있는 상기 레티클을 상기 로드 포트의 상기 레티클 포드에 적재하도록 상기 이송 로봇을 제어할 수 있다.
본 발명에 따른 스토커의 레티클 처리 방법은, 레티클들이 적재된 레티클 포드를 로드 포트에 로딩하는 단계와, 상기 레티클 포드로부터 상기 레티클을 인출하여 상기 레티클들이 상기 레티클 포드에 적재된 방향을 확인하는 단계 및 상기 레티클의 적재 방향이 반대인 경우 상기 레티클을 상기 로드 포트의 상기 레티클 포드에 적재하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 레티클의 적재 방향을 확인하는 단계는, 상기 레티클의 일측에 형성된 얼라인 마크를 인식하여 이루어질 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 스토커의 레티클 처리 방법은, 상기 레티클의 적재 방향이 정상인 경우 상기 레티클에 대한 정보를 확인하는 단계와, 상기 레티클을 검사하여 상기 레티클에 존재하는 파티클을 확인하는 단계와, 상기 레티클에 상기 파티클이 없는 경우 상기 레티클을 선반에 적재하는 단계 및 상기 레티클에 상기 파티클이 있는 경우 상기 레티클을 상기 로드 포트의 상기 레티클 포드에 적재하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 레티클에 대한 정보를 확인하는 단계는, 상기 레티클에 형성된 바코드를 인식하여 이루어질 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 적재 방향이 반대인 상기 레티클과 상기 파티클이 있는 상기 레티클은 상기 레티클 포드에 구분하여 적재할 수 있다.
본 발명의 스토커 및 이의 레티클 처리 방법에 따르면, 상기 비전부의 확인 결과, 상기 레티클의 적재 방향이 정상인 경우 상기 레티클을 상기 선반에 적재하고, 상기 레티클의 적재 방향이 반대인 경우 상기 레티클을 상기 로드 포트의 상기 레티클 포드에 적재한다. 따라서, 정확한 정보를 알지 못하는 레티클이 상기 선반들에 적재되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 상기 레티클의 적재 방향이 정상인 경우에만 상기 비전부가 상기 바코드를 인식하므로, 상기 비전부가 상기 바코드를 잘못 인식하는 것을 방지할 수 있다.
그리고, 상기 검사부의 확인 결과, 상기 레티클에 상기 파티클이 없는 경우 상기 레티클을 상기 선반에 적재한다. 따라서, 상기 선반에 적재되는 상기 레티클들이 상기 파티클에 의해 오염되는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 이송 로봇이 레티클을 고정한 상태를 설명하기 위한 측면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 스토커의 레티클 처리 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커를 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 이송 로봇이 레티클을 고정한 상태를 설명하기 위한 측면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 스토커(100)는 로드 포트(110), 오프너(120), 비전부(130), 선반들(140), 검사부(150), 이송 로봇(160) 및 제어부(170)를 포함할 수 있다.
상기 로드 포트(110)는 포토 공정에 사용되는 레티클(10)들을 수용한 레티클 포드(20)가 안착되는 공간을 제공한다. 상기 레티클 포드(20)는 캐리어(미도시)에 수용된 상태로 상기 로드 포트(110)에 안착되거나, 상기 캐리어 없이 상기 로드 포트(110)에 안착될 수 있다.
상기 로드 포트(110)의 안착면에는 정렬 핀들(미도시)이 구비될 수 있다. 상기 레티클 포드(20)의 하부면 또는 상기 캐리어의 하부면에는 정렬 홈(미도시)이 구비될 수 있다. 상기 레티클 포드(20) 또는 상기 캐리어가 상기 로드 포트(110)에 안착될 때, 상기 정렬 핀들은 상기 정렬 홈에 삽입되므로, 상기 레티클 포드 또는 상기 캐리어를 상기 로드 포트(110)에 정확하게 안착시킬 수 있다.
상기 오프너(120)는 상기 로드 포트(110)의 일측에 배치되며, 상기 로드 포트(110)에 위치하는 상기 레티클 포드(20)의 도어를 개폐할 수 있다.
상기 비전부(130)는 상기 레티클(10)들이 상기 레티클 포드(20)에 적재된 방향을 확인하고, 상기 레티클(10)에 대한 정보를 확인할 수 있다.
상기 레티클(10)이 상기 이송 로봇(160)에 의해 상기 레티클 포드(20)로부터 인출된 상태에서 상기 비전부(130)가 상기 레티클(10)의 적재 방향 및 상기 레티클(10)에 대한 정보를 확인할 수 있다.
상기 비전부(130)는 상기 이송 로봇(160)에 고정되어 구비될 수 있다. 이와 달리 상기 비전부(130)는 상기 이송 로봇(160)과 별도로 구비될 수 있다.
구체적으로, 상기 비전부(130)는 상기 레티클(10)의 적재 방향을 확인하기 위해 상기 레티클(10)의 일측에 형성된 얼라인 마크(12) 및 상기 레티클(10)에 대한 정보 확인을 위해 상기 레티클(10)에 형성된 바코드(14)를 인식할 수 있다. 상기 이송 로봇(160)의 로봇 암(162)이 상기 레티클(10)을 고정한 부위와 반대되는 부위가 상기 비전부(130)의 비전 영역(132)일 수 있다.
예를 들면, 도 2에 도시된 바와 같이 상기 레티클(10)의 적재 방향이 정상일 때 상기 로봇 암(162)이 상기 레티클(10)을 고정한 부위에 상기 얼라인 마크(12)가 위치할 수 있다. 이 경우, 상기 비전부(130)가 상기 레티클(10)의 일측에 형성된 얼라인 마크(12)를 인식하지 못하면 상기 레티클(10)의 적재 방향이 정상이고, 상기 비전부(130)가 상기 레티클(10)의 일측에 형성된 얼라인 마크(12)를 인식하면 상기 레티클(10)의 적재 방향이 반대일 수 있다.
따라서, 상기 레티클(10)의 적재 방향이 정상일 때 상기 레티클(10)에서 상기 얼라인 마크(12)의 위치와 상기 비전부(130)가 상기 얼라인 마크(12)를 인식하는지 여부에 따라 상기 레티클(10)의 적재 방향이 정상인지 반대인지 확인할 수 있다.
상기 비전부(130)가 상기 바코드(14)를 인식하면, 상기 인식된 바코드(14)를 이용하여 해당 레티클(10)에 대한 정보를 확인할 수 있다.
한편, 상기 비전부(130)는 상기 레티클(10)의 적재 방향이 정상인 경우에만 상기 바코드(14)를 인식할 수 있다. 따라서, 상기 포토 공정을 수행하는 장치의 제조사에 따라 상기 레티클(10)에서 상기 바코드(14)가 서로 대각에 위치하는 모서리에 형성되더라도 상기 비전부(130)가 상기 바코드(14)를 잘못 인식하는 것을 방지할 수 있다.
상기 선반들(140)은 상기 레티클(10)들을 적재한다. 상기 선반들(140)은 제1 수평 방향(X축 방향) 및 수직 방향(Z축 방향)으로 배열될 수 있다. 도 1에서는 상기 선반들(140)이 1열로 배열되어 있으나, 상기 선반들(140)은 2열로 서로 평행하게 배치될 수도 있다.
각 선반들(140)에는 상기 레티클(10)들을 적재하기 위한 슬롯(미도시)이 구비된다. 상기 슬롯은 상기 각 선반(140)에서 상기 제1 수평 방향의 양측에 각각 배치된다. 상기 레티클(10)들은 상기 슬롯(132)에 의해 양단이 지지되며, 상기 각 선반들(140)에 상기 수직 방향으로 적재된다.
상기 검사부(150)는 상기 레티클(10)에 존재하는 파티클을 확인하기 위해 상기 레티클(10)을 검사한다.
상기 검사부(150)는 상기 레티클(10)이 상기 이송 로봇(160)에 고정된 상태에서 상기 레티클(10)을 검사하거나, 별도의 스테이지에 상기 레티클(10)을 지지한 상태에서 상기 레티클(10)을 검사할 수 있다.
일 예로, 상기 검사부(150)는 상기 레티클(10)의 이미지를 촬영하고, 상기 촬영된 이미지를 기준 이미지와 비교하여 상기 파티클을 확인할 수 있다.
다른 예로, 상기 검사부(150)는 상기 레티클(10)의 표면으로 광을 조사하고, 조사된 광이 산란 정도를 검출하여 상기 파티클을 확인할 수 있다.
상기 이송 로봇(160)은 상기 로드 포트(110), 상기 비전부(130), 상기 선반들(140) 및 상기 검사부(150) 사이에서 상기 레티클(10)들을 이송한다.
상기 이송 로봇(160)은 상기 레티클(10)들의 이송을 위해 상기 X축 방향, 상기 Z축 방향으로 이동 및 회전 이동이 가능하도록 구비될 수 있다. 상세히 도시되지는 않았지만, 상기 이송 로봇(160)은 상기 이송 로봇(160)을 상기 X축 방향으로 이동시키기 위한 X축 구동부, 상기 이송 로봇(160)을 상기 Z축 방향으로 이동시키기 위한 Z축 구동부 및 상기 이송 로봇(160)을 상기 Z축에 대해 회전시키기 위한 제1 회전 구동부를 구비할 수 있다.
또한, 상기 이송 로봇(160)은 상기 레티클(10)들의 이송을 위한 로봇 암(162)을 구비할 수 있으며, 상기 로봇 암(162)은 상기 선반들(140) 및 상기 로드 포트(110)를 향해 이동 가능하게 구성될 수 있다. 상기 로봇 암(162)은 상기 레티클(10)들의 일단 양측 측면을 파지하여 상기 레티클(10)들을 이송한다.
일 예로서, 상기 로봇 암(162)은 상기 X축 방향에 대하여 수직하는 Y축 방향(전후 방향)으로 이동 가능하게 구성될 수 있으며, 상기 이송 로봇(160)은 상기 로봇 암(162)을 구동하기 위한 Y축 구동부를 구비할 수 있다. 상기 로봇 암(162)은 신장과 수축이 가능한 다관절 로봇암일 수 있다.
일 예로서, 상기 로봇 암(162)은 상기 Y축을 중심으로 회전 가능하게 구성될 수 있으며, 상기 이송 로봇(160)은 상기 로봇 암(162)을 회전 구동하기 제2 회전 구동부를 더 구비할 수 있다.
일 예로서, 상기 X축, Y축 및 Z축 구동부들과 제1 및 제2 회전 구동부는 모터 및 타이밍 벨트와 풀리들을 포함하는 동력 전달 장치를 이용하여 각각 구성될 수 있다.
따라서 상기 이송 로봇(160)은 상기 레티클(10)들을 상기 로드 포트(110)에 안착된 상기 레티클 포드(20)에 수납하거나 상기 레티클 포드(20)로부터 배출할 수 있다. 또한, 상기 이송 로봇(160)은 상기 레티클(10)들을 상기 비전부(130) 및 상기 검사부(150)로 이송할 수 있다. 그리고, 상기 이송 로봇(160)은 상기 레티클(10)들을 상기 선반들(140)에 적재하거나 상기 선반들(140)로부터 상기 레티클(10)들을 이재할 수 있다.
한편, 상기 이송 로봇(160)은 상기 레티클(10)들을 신속하게 이송하기 위해 복수로 구비될 수도 있다.
상기 제어부(170)는 자세히 도시되지는 않았지만, 상기 오프너(120), 상기 비전부(130), 상기 검사부(150) 및 상기 이송 로봇(160)을 각각 제어할 수 있다.
구체적으로, 상기 제어부(170)는 상기 비전부(130)의 확인 결과, 상기 레티클(10)의 적재 방향이 정상인 경우 상기 레티클(10)을 상기 선반(140)에 적재하고, 상기 레티클(10)의 적재 방향이 반대인 경우 상기 레티클(10)을 상기 로드 포트(110)의 상기 레티클 포드(20)에 적재하도록 상기 이송 로봇(160)을 제어할 수 있다. 따라서, 상기 레티클(10)들 중 상기 적재 방향이 정상인 레티클(10)들만 상기 선반들(140)에 적재될 수 있다.
또한, 상기 제어부(170)는 상기 레티클(10)의 적재 방향이 정상인 경우에만 상기 비전부(130)가 상기 바코드(14)를 인식하도록 상기 비전부(130)를 제어할 수 있다. 따라서, 상기 비전부(130)가 상기 바코드(14)를 잘못 인식하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 바코드(14)의 인식을 통해 상기 레티클(10)에 대한 정확한 정보를 획득할 수 있다.
그리고, 상기 제어부(170)는 상기 검사부(150)의 확인 결과, 상기 레티클(10)에 상기 파티클이 없는 경우 상기 레티클(10)을 상기 선반(140)에 적재하고, 상기 레티클(10)에 상기 파티클이 있는 상기 레티클(10)을 상기 로드 포트(110)의 상기 레티클 포드(20)에 적재하도록 상기 이송 로봇(160)을 제어할 수 있다. 따라서, 상기 레티클(10)들 중 상기 파티클이 없는 레티클(10)들만 상기 선반들(140)에 적재될 수 있다. 또한, 상기 선반들(140)에 적재되는 상기 레티클(10)들이 상기 파티클에 의해 오염되는 것을 방지할 수 있다.
한편, 상기 제어부(170)는 상기 이송 로봇(160)을 제어하여 상기 적재 방향이 반대인 상기 레티클(10)과 상기 파티클이 있는 상기 레티클(10) 상기 레티클 포드(20)에 구분하여 적재할 수 있다.
이와 달리 상기 제어부(170)는 상기 이송 로봇(160)을 제어하여 상기 적재 방향이 반대인 상기 레티클(10)과 상기 파티클이 있는 상기 레티클(10)을 상기 레티클 포드(20)에 최초 적재 위치에 적재할 수 있다.
도 3은 도 1에 도시된 스토커의 레티클 처리 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 3을 참조하면, 먼저, 레티클(10)들이 적재된 레티클 포드(20)를 로드 포트(110)에 로딩한다. (S110)
상기 레티클 포드(20)의 로딩은 천장 이송 장치에 의해 이루어지거나, 작업자에 의해 수작업으로 이루어질 수 있다.
이후, 상기 레티클(10)들이 상기 레티클 포드(20)에 적재된 방향을 확인한다. (S120)
상기 레티클(10)의 적재 방향과 상기 레티클(10)에 대한 정보를 확인은 상기 레티클 포드(20)로부터 상기 레티클(10)을 인출한 상태에서 이루어질 수 있다.
구체적으로, 상기 비전부(130)를 이용하여 상기 레티클(10)의 적재 방향을 확인하기 위해 상기 레티클(10)의 일측에 형성된 얼라인 마크(12)를 인식한다. 상기 레티클(10)의 적재 방향이 정상일 때 상기 레티클(10)에서 상기 얼라인 마크(12)의 위치와 상기 비전부(130)가 상기 얼라인 마크(12)를 인식하는지 여부에 따라 상기 레티클(10)의 적재 방향이 정상인지 반대인지 확인할 수 있다.
상기 레티클(10)의 적재 방향이 반대인 경우 상기 레티클(10)을 상기 로드 포트(110)의 상기 레티클 포드(20)에 적재한다. (S130)
상기 레티클(10)의 상기 바코드(14)에 대한 인식이 이루어지지 않으므로, 상기 비전부(130)가 상기 바코드(14)를 잘못 인식하는 것을 방지할 수 있다.
상기 레티클(10)의 적재 방향이 정상인 경우 상기 레티클(10)에 대한 정보를 확인한다. (S140)
구체적으로, 상기 비전부(130)를 이용하여 상기 레티클(10)에 대한 정보 확인을 위해 상기 레티클(10)에 형성된 바코드(14)를 인식할 수 있다.
상기 비전부(130)는 상기 레티클(10)의 적재 방향이 정상인 경우에만 상기 바코드(14)를 인식할 수 있다. 따라서, 상기 포토 공정을 수행하는 장치의 제조사에 따라 상기 레티클(10)에서 상기 바코드(14)가 서로 대각에 위치하는 모서리에 형성되더라도 상기 비전부(130)가 상기 바코드(14)를 잘못 인식하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 바코드(14)의 인식을 통해 상기 레티클(10)에 대한 정확한 정보를 획득할 수 있다.
이후, 상기 레티클(10)을 검사하여 상기 레티클(10)에 존재하는 파티클을 확인한다. (S150)
상기 레티클(10)이 상기 이송 로봇(160)에 고정된 상태에서 상기 레티클(10)을 검사하거나, 별도의 스테이지에 상기 레티클(10)을 지지한 상태에서 상기 레티클(10)을 검사할 수 있다.
일 예로, 상기 레티클(10)의 이미지를 촬영하고, 상기 촬영된 이미지를 기준 이미지와 비교하여 상기 파티클을 확인할 수 있다.
다른 예로, 상기 레티클(10)의 표면으로 광을 조사하고, 조사된 광이 산란 정도를 검출하여 상기 파티클을 확인할 수 있다.
상기 레티클(10)에 상기 파티클이 없는 경우 상기 레티클(10)을 상기 선반에 적재한다. (S160)
상기 검사부(150)의 확인 결과, 상기 레티클(10)에 상기 파티클이 없는 경우 상기 레티클(10)을 상기 선반(140)에 적재할 수 있다. 따라서, 상기 레티클(10)들 중 상기 적재 방향이 정상이고, 상기 파티클이 없는 레티클(10)들만 상기 선반들(140)에 적재될 수 있다. 또한, 상기 선반들(140)에 적재되는 상기 레티클(10)들이 상기 파티클에 의해 오염되는 것을 방지할 수 있다.
상기 레티클(10)에 상기 파티클이 있는 경우 상기 레티클(10)을 상기 로드 포트(110)의 상기 레티클 포드(20)에 적재한다. (S130)
상기 검사부(150)의 확인 결과, 상기 레티클(10)에 상기 파티클이 있는 상기 레티클(10)을 상기 로드 포트(110)의 상기 레티클 포드(20)에 적재할 수 있다. 따라서, 상기 파티클에 의해 다른 레티클(10)들이 오염되는 것을 방지할 수 있다.
상기 적재 방향이 반대인 상기 레티클(10)과 상기 파티클이 있는 상기 레티클(10)은 상기 레티클 포드(20)에 구분하여 적재할 수 있다.
이와 달리 상기 적재 방향이 반대인 상기 레티클(10)과 상기 파티클이 있는 상기 레티클(10)은 상기 레티클 포드(20)에 최초 적재 위치에 적재할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 스토커 및 이의 레티클 처리 방법에 따르면, 상기 레티클의 적재 방향이 정상이고, 상기 파티클이 없는 경우 상기 레티클을 상기 선반에 적재할 수 있다. 따라서, 상기 레티클의 상기 바코드를 잘못 인식하는 것을 방지할 수 있고, 상기 선반에 적재되는 상기 레티클들이 상기 파티클에 의해 오염되는 것을 방지할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 스토커 110 : 로드 포트
120 : 오프너 130 : 비전부
140 : 선반 150 : 검사부
160 : 이송 로봇 162 : 로봇 암
170 : 제어부 10 : 레티클
12 : 얼라인 마크 14 : 바코드
20 : 레티클 포드

Claims (9)

  1. 레티클들이 적재된 레티클 포드가 안착되는 로드 포트;
    상기 레티클들이 상기 레티클 포드에 적재된 방향을 확인하고, 상기 레티클에 대한 정보를 확인하는 비전부;
    상기 레티클 포드에 적재된 방향이 정상인 상기 레티클들을 적재하기 위한 다수의 선반들;
    상기 로드 포트, 상기 비전부 및 상기 선반들 사이에서 상기 레티클들을 이송하기 위한 이송 로봇; 및
    상기 비전부의 확인 결과, 상기 레티클의 적재 방향이 정상인 경우 상기 레티클을 상기 선반에 적재하고, 상기 레티클의 적재 방향이 반대인 경우 상기 레티클을 상기 로드 포트의 상기 레티클 포드에 적재하도록 상기 이송 로봇을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커.
  2. 제1항에 있어서, 상기 비전부는, 상기 레티클의 적재 방향을 확인하기 위해 상기 레티클의 일측에 형성된 얼라인 마크 및 상기 레티클에 대한 정보 확인을 위해 상기 레티클에 형성된 바코드를 인식하는 것을 특징으로 하는 스토커.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제어부는 상기 레티클의 적재 방향이 정상인 경우에만 상기 비전부가 상기 바코드를 인식하도록 상기 비전부를 제어하는 것을 특징으로 하는 스토커.
  4. 제1항에 있어서, 상기 레티클에 존재하는 파티클을 확인하기 위해 상기 레티클을 검사하는 검사부를 더 포함하며,
    상기 이송 로봇은 상기 레티클들을 상기 검사부로 추가로 이송하고,
    상기 제어부는 상기 검사부의 확인 결과, 상기 레티클에 상기 파티클이 없는 경우 상기 레티클을 상기 선반에 적재하고, 상기 레티클에 상기 파티클이 있는 상기 레티클을 상기 로드 포트의 상기 레티클 포드에 적재하도록 상기 이송 로봇을 제어하는 것을 특징으로 하는 스토커.
  5. 레티클들이 적재된 레티클 포드를 로드 포트에 로딩하는 단계;
    상기 레티클 포드로부터 상기 레티클을 인출하여 상기 레티클들이 상기 레티클 포드에 적재된 방향을 확인하는 단계; 및
    상기 레티클의 적재 방향이 반대인 경우 상기 레티클을 상기 로드 포트의 상기 레티클 포드에 적재하는 단계를 포함하는 스토커의 레티클 처리 방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 레티클의 적재 방향을 확인하는 단계는, 상기 레티클의 일측에 형성된 얼라인 마크를 인식하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 스토커의 레티클 처리 방법.
  7. 제5항에 있어서, 상기 레티클의 적재 방향이 정상인 경우 상기 레티클에 대한 정보를 확인하는 단계;
    상기 레티클을 검사하여 상기 레티클에 존재하는 파티클을 확인하는 단계;
    상기 레티클에 상기 파티클이 없는 경우 상기 레티클을 선반에 적재하는 단계; 및
    상기 레티클에 상기 파티클이 있는 경우 상기 레티클을 상기 로드 포트의 상기 레티클 포드에 적재하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커의 레티클 처리 방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 레티클에 대한 정보를 확인하는 단계는, 상기 레티클에 형성된 바코드를 인식하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 스토커의 레티클 처리 방법.
  9. 제7항에 있어서, 상기 적재 방향이 반대인 상기 레티클과 상기 파티클이 있는 상기 레티클은 상기 레티클 포드에 구분하여 적재하는 것을 특징으로 하는 스토커의 레티클 처리 방법.
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