CN116198970A - 工业用机器人及工业用机器人的示教方法 - Google Patents

工业用机器人及工业用机器人的示教方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种工业用机器人及工业用机器人的示教方法，即使在进行用于修正自动示教的位置的校正的情况下，也能够减轻用于进行校正的操作员的负担。在工业用机器人中，连续地自动执行示教步骤和校正步骤，所述示教步骤用于存储装载配置于载置部的规定位置的搬运对象物时的手的位置即手位置，所述校正步骤用于修正在示教步骤中存储的手位置。在校正步骤中，使手移动到在示教步骤中确定的手位置，将配置于规定位置的示教用搬运对象物装载在手上并取出之后，使手再次移动到在示教步骤中确定的手位置，将示教用搬运对象物放置在载置部上，之后，利用安装于手上的第二传感器检测示教用搬运对象物的位置，基于第二传感器的检测结果修正手位置。

Description

工业用机器人及工业用机器人的示教方法
技术领域
本发明涉及一种用于搬运搬运对象物的工业用机器人。另外，本发明涉及一种用于搬运搬运对象物的工业用机器人的示教方法。
背景技术
以往，已知一种搬运工件的水平多关节型的工业用机器人(例如，参照专利文献1)。专利文献1所记载的工业用机器人进行工件向工作台的搬入以及工件从工作台的搬出。对于该工业用机器人，进行使收纳在工作台上的工件的上下方向以及水平方向上的位置存储于工业用机器人的工业用机器人的自动示教。在进行自动示教时，示教用的夹具安装于工业用机器人的手上。示教用的夹具具备用于检测工件的上下方向上的位置的第一传感器和用于检测工件的水平方向上的位置的第二传感器。
在专利文献1所记载的工业用机器人中进行自动示教之前，进行校正(校准)。在进行校正时，首先，操作员将工件装载在手的理想位置上。之后，操作工业用机器人并将装载在手上的工件搬入并放置在工作台上。然后，将上述示教用的夹具安装于手上之后，使工业用机器人进行与自动示教相同的动作，通过第二传感器检测工件的水平方向上的位置。另外，基于第二传感器的检测结果计算修正值。当工业用机器人的自动示教结束时，自动示教的位置根据校正时计算出的修正值进行修正。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2019－102695号公报
发明内容
发明所要解决的技术问题
在专利文献1所记载的工业用机器人的情况下，进行自动示教时的作业及进行操作与校正时的作业及操作是分开的，操作员除了进行自动示教时的作业及操作之外，还需要进行校正时的作业及操作。另外，在该工业用机器人的情况下，在进行校正时的作业中包含操作员的手动作业，进行校正时的操作员的作业变得繁琐。因此，在专利文献1所记载的工业用机器人的情况下，用于进行校正的操作员的负担变大。
因此，本发明的技术问题在于提供一种工业用机器人，在用于搬运搬运对象物的工业用机器人中，即使在进行用于修正自动示教的位置的校正的情况下，也能够减轻用于进行校正的操作员的负担。另外，本发明的技术问题在于提供一种工业用机器人的示教方法，在用于搬送搬送对象物的工业用机器人中，即使在进行用于修正自动示教的位置的校正的情况下，也能够减轻用于进行校正的操作员的负担。
解决技术问题所采用的技术方案
为了解决上述技术问题，本发明提供一种工业用机器人，用于搬运搬运对象物，其特征在于，具备：手，所述手装载所述搬运对象物；臂，所述臂在前端侧能转动地连接手，该手以上下方向为转动的轴向进行转动；控制部，所述控制部控制工业用机器人，控制部连续地自动执行示教步骤和校正步骤，所述示教步骤使手位置存储在工业用机器人中，所述手位置是将配置于载置搬运对象物的载置部的规定位置的搬运对象物装载在手上时、以及将装载在手上的搬运对象物放置在规定位置时的手的上下方向以及水平方向上的位置，所述校正步骤用于在所述示教步骤之后修正在示教步骤中存储的手位置，在执行示教步骤时，形成为与搬运对象物相同形状的虚拟搬运对象物或者搬运对象物配置于规定位置，若将配置于规定位置的搬运对象物或者虚拟搬运对象物设为示教用搬运对象物，则在示教步骤中，通过安装于手上的第一传感器，检测配置于规定位置的示教用搬运对象物的上下方向上的位置，并且通过安装于手上的第二传感器，检测配置于规定位置的示教用搬运对象物的水平方向上的位置，并且控制部基于第一传感器以及第二传感器的检测结果确定并存储手位置，在校正步骤中，使手移动到在示教步骤中确定的手位置并将配置于规定位置的示教用搬运对象物装载在手上并取出之后，使手再次移动到在示教步骤中确定的手位置，将示教用搬运对象物放置在载置部上，然后，通过安装于手上的第二传感器，检测放置在载置部上的示教用搬运对象物的水平方向上的位置，并且控制部基于第二传感器的检测结果，修正在示教步骤中存储的手位置中的水平方向上的位置。
另外，为了解决上述技术问题，本发明提供一种工业用机器人的示教方法，所述工业用机器人具有装载搬运对象物的手和在前端侧以能够以上下方向为转动的轴向进行转动的方式连接所述手的臂，其特征在于，连续地自动执行示教步骤和校正步骤，所述示教步骤用于使手位置存储于工业用机器人，该手位置是在将配置于载置搬运对象物的载置部的规定位置的搬运对象物装载于手时、以及将装载于手的搬运对象物放置于规定位置时的手的上下方向以及水平方向上的位置，所述校正步骤用于在示教步骤之后，修正在示教步骤中存储的手位置，在执行示教步骤时，形成为与搬运对象物相同形状的虚拟搬运对象物或搬运对象物配置于规定位置，若将配置于规定位置的搬运对象物或虚拟搬运对象物设为示教用搬运对象物，则在示教步骤中，通过安装于手的第一传感器，检测配置于规定位置的示教用搬运对象物的上下方向上的位置，并且，通过安装于手上的第二传感器，检测配置于规定位置的示教用搬运对象物的水平方向上的位置，并基于第一传感器和第二传感器的检测结果确定并存储手位置，在校正步骤中，使手移动到在示教步骤中确定的手位置并将配置于规定位置的示教用搬运对象物装载在手上并取出之后，使手再次移动到在示教步骤中确定的手位置并将示教用搬运对象物放置在载置部上，之后，通过安装于手上的第二传感器，检测放置在载置部上的示教用搬运对象物的水平方向上的位置，并根据第二传感器的检测结果，修正在示教步骤中存储的手位置中的水平方向上的位置。
在本发明中，连续地自动执行示教步骤和校正步骤，所述示教步骤用于使手位置存储于工业用机器人，该手位置是将配置于载置搬运对象物的载置部的规定位置上的搬运对象物装载到手上时、以及将装载在手上的搬运对象物放置在规定位置上时的手的上下方向以及水平方向上的位置，该校正步骤用于在示教步骤之后对在示教步骤中存储的手位置进行修正。
另外，在本发明中，在校正步骤中，在使手移动到在示教步骤中确定的手位置并将配置于规定位置的示教用搬运对象物装载在手上并取出之后，使手再次移动到在示教步骤中确定的手位置并将示教用搬运对象物放置在载置部上，然后，利用安装于手上的第二传感器，检测放置在载置部上的示教用搬运对象物的水平方向上的位置，并且基于第二传感器的检测结果，对在示教步骤中存储的手位置中的水平方向的位置进行修正。
因此，在本发明中，如果操作员进行用于执行示教步骤的作业及操作，则即使不进行用于进行校正步骤的作业或操作，也能够自动地执行校正步骤。因此，在本发明中，即使在进行用于修正在示教步骤中自动示教的位置的校正的情况下，也能够减轻用于进行校正的操作员的负担。
在本发明中，优选的是，工业用机器人作为手具有第一手和第二手，第一手和第二手中的任意一方配置于比第一手和第二手中的任意另一方靠上侧的位置，从上下方向观察时，第一手相对于臂部的转动中心与第二手相对于臂部的转动中心一致，并且当第一手相对于臂部的转动角度与第二手相对于臂部的转动角度相等时，装载于第一手的搬运对象物与装载于第二手的搬运对象物在上下方向上重叠，在示教步骤中，通过安装于第一手的第一传感器，检测配置于规定位置的示教用搬运对象物的上下方向上的位置，并且通过安装于第一手的第二传感器，检测配置于规定位置的示教用搬运对象物的水平方向上的位置，在校正步骤中，使第二手移动到在示教步骤中确定的手位置，将配置于规定位置的示教用搬运对象物装载于第二手并取出之后，使第二手再次移动到在示教步骤中确定的手位置，将示教用搬运对象物放置于载置部，之后，通过安装于第一手的第二传感器，检测放置于载置部的示教用搬运对象物的水平方向上的位置。
若这样构成，则由于在校正步骤中，能够利用未安装第一传感器和第二传感器的第二手来搬运示教用搬运对象物，因此，例如即使在有可能对利用手进行的示教用搬运对象物的搬运产生障碍的位置配置第一传感器和第二传感器，也能够在校正步骤中，在将第一传感器和第二传感器安装于第一手的状态下，能够利用第二手对示教用搬运对象物进行搬运。
在本发明中，优选的是，在执行示教步骤和校正步骤时将具有第一传感器和第二传感器的示教用夹具安装于第一手上。若这样构成，则由于安装于第一手的示教用的夹具具备第一传感器及第二传感器，因此例如即使在第一传感器或第二传感器配置于有可能对第一手的搬运对象物的搬运产生障碍的位置的情况下，在工业用机器人的示教后，也能够容易地将第一传感器及第二传感器从第一手卸下。另外，在进行工业用机器人的示教时，能够容易地将第一传感器及第二传感器安装于第一手。
在本发明中，优选的是，第一手配置于比第二手靠上侧的位置。若这样构成，则与第一手配置于比第二手靠下侧的位置的情况相比，容易安装示教用的夹具。
在本发明中，例如工业用机器人具备：使第一手相对于臂转动的第一手驱动机构；使第二手相对于臂转动的第二手驱动机构；使作为多关节臂的臂伸缩的臂驱动机构；以及使臂升降的升降机构，搬送对象物形成为圆板状。手具有夹紧机构，该夹紧机构至少从三个方向与装载在手上的搬运对象物的端面接触，并将搬运对象物在水平方向上保持在固定位置，第一手相对于臂的转动角度与第二手相对于臂的转动角度相等时，从上下方向观察，则由夹紧机构保持的第一手上的搬运对象物的中心与由夹紧机构保持的第二手上的搬运对象物的中心一致。
发明效果
如上所述，在本发明中，在用于搬运搬运对象物的工业用机器人中，即使在进行用于修正自动示教的位置的校正的情况下，也能够减轻用于进行校正的操作员的负担。
附图说明
图1是本发明的实施方式的工业用机器人的侧视图。
图2是图1所示的工业机器人的俯视图。
图3是用于说明图1所示的工业用机器人的结构的框图。
图4A和图4B是用于说明对图1所示的工业用机器人进行示教时所使用的夹具的结构的俯视图。
图5是用于说明图1所示的工业用机器人的示教步骤中的动作的俯视图。
图6A和图6B是用于说明图1所示的工业用机器人的示教步骤中的动作的俯视图。
图7是用于说明图1所示的工业用机器人的校正步骤中的动作的俯视图。
图8A和图8B是用于说明图1所示的工业用机器人的校正步骤中的动作的俯视图。
附图标记说明
1…机器人(工业用机器人)；2…晶圆(半导体晶圆、搬运对象物)；3…晶圆载置部(载置部)；4…手(第一手)；5…手(第二手)；6…臂；8…控制部；14…夹紧机构；19…第一手驱动机构；20…第二手驱动机构；21…臂驱动机构；22…升降机构；25…夹具；27…第一传感器；28…第二传感器；32…虚拟晶圆(虚拟搬送对象物、示教用搬送对象物)；PP…规定位置。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。
(工业机器人的结构)
图1是本发明的实施方式的工业用机器人1的侧视图。图2是图1所示的工业用机器人1的俯视图。图3是用于说明图1所示的工业用机器人1的结构的框图。
本方式的工业用机器人1(以下，设为"机器人1")是用于搬运作为搬运对象物的半导体晶圆2(以下，设为"晶圆2")的水平多关节机器人。晶圆2形成为圆板状。机器人1组装在半导体制造***中使用。机器人1向作为载置晶圆2的载置部的晶圆载置部3(参照图5等)搬送晶圆2。即，机器人1进行晶圆2向晶圆载置部3的搬入和晶圆2从晶圆载置部3的搬出。晶圆载置部3例如是在对晶圆2进行规定的处理时载置晶圆2的工作台。另外，晶圆载置部3例如形成在收纳有多张晶圆2的FOUP(Front-Opening Unified Pod：前开式晶圆传送盒)的内部。
机器人1具备：装载晶圆2的手4、5；在前端侧可转动地连结手4、5并且在水平方向上动作的臂6；以及可转动地连结臂6的基端侧的主体部7。另外，机器人1具备控制机器人1的控制部8。本实施方式的机器人1具备两个手4、5。本方式的手4是第一手，手5是第二手。
臂6由以相互能转动的方式连结的三个臂部10～12构成。即，臂6是多关节臂。臂部10的基端侧以能转动的方式与主体部7连结。臂部11的基端侧以能转动的方式与臂部10的前端侧连结。臂部12的基端侧以能转动的方式与臂部11的前端侧连结。臂部10～12以上下方向(铅垂方向)为转动的轴向进行转动。主体部7具有壳体13和以能转动的方式连结臂部10的基端侧的柱状部件(省略图示)。臂部10的基端侧以能转动的方式与柱状部件的上端部连结。主体部7、臂部10、臂部11和臂部12在上下方向上从下侧按该顺序配置。
手4、5形成为从上下方向观察时的形状为大致Y形状。手4和手5形成为相同的形状。手4、5的基端部以能转动的方式与臂部12的前端侧连结。手4、5以上下方向为转动的轴向进行转动。手4、5能够相对于臂部12单独地转动。手4、5具有夹紧机构14，该夹紧机构14从三个方向与装载在手4、5上的晶圆2的端面(外周面)接触，并将装载在手4、5上的晶圆2在水平方向上保持在固定位置。夹紧机构14具备：端面抵接部件15，其具有供晶圆2的端面抵接的抵接面；以及晶圆按压机构16，其以将晶圆2的端面按压于端面抵接部件15的抵接面的方式按压晶圆2。
端面抵接部件15配置于呈大致Y形状的手4、5的前端部的两处。晶圆按压机构16具备朝向手4、5的前端侧按压晶圆2的端面的按压部和驱动按压部的气缸。按压部具有与晶圆2的端面接触的辊。晶圆按压机构16与控制部8电连接。具体地说，配置于空气气缸的配管路径上的电磁阀与控制部8电连接。在手4、5的上面固定有载置晶圆2的两个晶圆载置部件17，晶圆2装载在端面抵接部件15和晶圆载置部件17上。另外，夹紧机构14也可以构成为从四个方向以上与装载在手4、5上的晶圆2的端面接触而保持晶圆2。
手4的基端部与手5的基端部在上下方向上重叠。在本方式中，手4配置于上侧，手5配置于下侧。即，手4配置于比手5靠上侧的位置。另外，手4、5配置于比臂部12靠上侧的位置。在从上下方向观察时，手4相对于臂6的转动中心(即手4相对于臂部12的转动中心)与手5相对于臂6的转动中心(即手5相对于臂部12的转动中心)一致。
在手4相对于臂6的转动角度与手5相对于臂6的转动角度相等时，手4和手5在上下方向上重叠。即，在手4相对于臂6的转动角度与手5相对于臂6的转动角度相等时，装载于手4的晶圆2与装载于手5的晶圆2在上下方向上重叠。更具体而言，在手4相对于臂6的转动角度与手5相对于臂6的转动角度相等时，若从上下方向观察，则由夹紧机构14保持的手4上的晶圆2的中心与由夹紧机构14保持的手5上的晶圆2的中心一致。
机器人1具备：使手4相对于臂6转动的第一手驱动机构19；使手5相对于臂6转动的第二手驱动机构20；使作为多关节臂的臂6伸缩的臂驱动机构21；以及使臂6升降的升降机构22。第一手驱动机构19、第二手驱动机构20、臂驱动机构21以及升降机构22与控制部8电连接。具体而言，作为第一手驱动机构19、第二手驱动机构20、臂驱动机构21以及升降机构22的驱动源的电动机等与控制部8电连接。
臂驱动机构21由使臂部10、11转动而使由臂部10和臂部11构成的臂6的一部分伸缩的第一驱动机构、和使臂部12相对于臂部11转动的第二驱动机构构成。升降机构22使主体部7的柱状部件升降。升降机构22被收纳在框体13的内部。升降机构22使手4、5以及臂部6与柱状部件一起升降。
(工业用机器人的示教方法)
图4A和图4B是用于说明在进行图1所示的机器人1的示教时使用的夹具25的结构的俯视图。图5、图6A和图6B是用于说明图1所示的机器人1的示教步骤中的动作的俯视图。图7、图8A和图8B是用于说明图1所示的机器人1的校正步骤中的动作的俯视图。
对机器人1进行用于相对于晶圆载置部3对晶圆2进行适当搬送的示教。在进行机器人1的示教时，控制部8连续地自动执行示教步骤和校正步骤，所述示教步骤用于使手位置HP存储于机器人1，该手位置HP是将配置于晶圆载置部3的规定位置PP的晶圆2装载到手4、5上时、以及将装载在手4、5上的晶圆2放置在晶圆载置部3的规定位置PP上时的手4、5的上下方向以及水平方向上的位置，该校正步骤用于在示教步骤之后对在示教步骤中存储的手位置HP进行修正(校正)。
在示教步骤以及校正步骤中，控制部8控制晶圆按压机构16、第一手驱动机构19、第二手驱动机构20、臂驱动机构21以及升降机构22，使机器人1动作。即，在示教步骤以及校正步骤中，机器人1自动地动作，在示教步骤以及校正步骤中，没有由进行机器人1的示教的操作员进行的手动作业。
在进行机器人1的示教时，使用形成为与晶圆2相同形状的作为虚拟搬送对象物的虚拟晶圆32。另外，在进行机器人1的示教时使用示教用的夹具25。夹具25安装于手4的上表面。即，在执行示教步骤和校正步骤时，夹具25安装于手4上。如图4A和图4B所示，夹具25具有：形成为薄的平板状的夹具主体26；用于检测虚拟晶圆32在上下方向上的位置的第一传感器27；以及用于检测虚拟晶圆32在水平方向上的位置的两个第二传感器28。第一传感器27和第二传感器28在进行机器人1的示教时使用，但在机器人1搬运晶圆2时不使用。
夹具主体26以夹具主体26的厚度方向与上下方向一致的方式安装于手4的上表面。夹具主体26形成为从上下方向观察时的形状为大致Y形状。第一传感器27和第二传感器28安装于夹具主体26上。第1传感器27是具有发光部27a和受光部27b的透过型光学式传感器。与第1传感器27同样，第2传感器28是具有发光部和受光部的透射型光学式传感器。在手4上安装夹具25时，将第一传感器27的配线和第二传感器28的配线与手4侧的配线连接。当夹具25安接到手4的上表面时，第一传感器27和第二传感器28与控制部8电连接。
第一传感器27的发光部27a和受光部27b在水平方向上隔着规定的间隙相对配置。当夹具25安装于手4的上表面时，发光部27a配置于两个端面抵接部件15中的一个端面抵接部件15的附近，受光部27b配置于另一个端面抵接部件15的附近。第二传感器28的发光部和受光部在上下方向上隔着规定的间隙相对配置。第二传感器28安装于夹具主体26的上表面侧。当夹具25安装于手4的上表面时，两个第二传感器28中的一个第二传感器28配置于两个晶圆载置部件17中的一个晶圆载置部件17的附近，另一个第二传感器28配置于另一个晶圆载置部件17的附近。
在执行示教步骤之前，夹具25安装于手4。另外，在执行示教步骤之前，在晶圆载置部3的规定位置PP配置虚拟晶圆32。即，在执行示教步骤时，在规定位置PP配置虚拟晶圆32。夹具25由进行机器人1的示教的操作员安装于手4上。虚拟晶圆32由操作员放置在规定位置PP。本方式的虚拟晶圆32是配置于规定位置PP的示教用搬送对象物。另外，在执行示教步骤之前，将安装有夹具25的手4配置于晶圆载置部3的正面(参照图5)。
之后，控制部8接收机器人1的示教开始指令信号。接收到示教开始指令信号的控制部8执行示教步骤。在示教步骤中，通过第一传感器27检测配置于规定位置PP的虚拟晶圆32的上下方向上的位置，并且通过第二传感器28检测配置于规定位置PP的虚拟晶圆32的水平方向上的位置，并且控制部8基于第一传感器27和第二传感器28的检测结果确定上述的手位置HP。
在示教步骤中，首先，通过安装于手4上的第一传感器27，检测配置于规定位置PP上的虚拟晶圆32的上下方向上的位置，然后，通过安装于手4上的第二传感器28，检测配置于规定位置PP上的虚拟晶圆32的水平方向上的位置。另外，在本方式的示教步骤中机器人1进行的动作与在对上述专利文献1中记载的工业用机器人进行自动示教时该工业用机器人进行的动作相同。
在通过第一传感器27检测配置于规定位置PP的虚拟晶圆32的上下方向上的位置时，使配置于晶圆载置部3的正面的手4朝向虚拟晶圆32移动。此时，使手4以固定的振幅在上下方向上往复移动。例如，使手4沿上下方向往复移动，以使手4以矩形波状移动。若手4一边沿上下方向往复移动一边朝向虚拟晶圆32移动，则不久，从第一传感器27的发光部27a朝向受光部27b的光被虚拟晶圆32遮挡(参照图6A)，因此，能够检测出配置于规定位置PP的虚拟晶圆32的上下方向上的位置。
当检测到配置于规定位置PP的虚拟晶圆32的上下方向上的位置时，使手4暂时后退到晶圆载置部3的正面。然后，根据虚拟晶圆32在上下方向上的位置的检测结果设定手4的高度后，为了通过第二传感器28检测配置于规定位置PP的虚拟晶圆32的水平方向上的位置，使手4朝向虚拟晶圆32直线移动。
当手4朝向虚拟晶圆32移动时，不久，从第二传感器28的发光部朝向受光部的光被虚拟晶圆32遮挡。在检测配置于规定位置PP的虚拟晶圆32的水平方向上的位置时，调整与手4的移动方向正交的方向上的手4的位置，以使从两个第二传感器28的发光部朝向受光部的光被虚拟晶圆32同时遮挡(参照图6B)。
例如，当只有从两个第二传感器28中的一个第二传感器28的发光部朝向受光部的光被虚拟晶圆32遮挡时，停止手4朝向虚拟晶圆32的移动，使手4在与手4的移动方向正交的方向上移动到从另一个第二传感器28的发光部朝向受光部的光被虚拟晶圆32遮挡的位置。然后，使手4后退到晶圆载置部3的正面后，再次向虚拟晶圆32移动。
若从两个第二传感器28的发光部朝向受光部的光被虚拟晶圆32同时遮挡(参照图6B)，则能够检测出配置于规定位置PP的虚拟晶圆32的水平方向上的位置。当检测到配置于规定位置PP的虚拟晶圆32的上下方向以及水平方向上的位置时，控制部8如上所述，基于第一传感器27以及第二传感器28的检测结果来确定手位置HP。
之后，控制部8执行校正步骤。校正步骤在示教步骤之后执行，因此在校正步骤开始时，虚拟晶圆32被配置于晶圆载置部3的规定位置PP。在校正步骤中，首先，如图7所示，将手5自动配置于晶圆载置部3的正面。然后，使手5移动到在示教步骤中确定的手位置HP(参照图8A)，将配置于规定位置PP的虚拟晶圆32装载于手5并取出(参照图8B)。例如，如图8B所示，将装载在手5上的虚拟晶圆32取出至晶圆载置部3的正面。装载在手5上的虚拟晶圆32由夹紧机构14保持在固定位置。
然后，使手5再次移动到在示教步骤中确定的手位置HP(参照图8A)，并将虚拟晶圆32放置在晶圆载置部3上。此时，理想的是虚拟晶圆32被放置在规定位置PP，但实际上虚拟晶圆32被放置在晶圆载置部3的从规定位置PP稍微偏离的位置。即，虚拟晶圆32被放置在规定位置PP的附近。
然后，使机器人1进行与在示教步骤中检测虚拟晶圆32的水平方向上的位置时进行的动作相同的动作，通过第二传感器28检测载置于晶圆载置部3的虚拟晶圆32的水平方向上的位置。此时，若从两个第二传感器28的发光部朝向受光部的光被虚拟晶圆32同时遮挡，则能够检测出载置于晶圆载置部3的虚拟晶圆32的水平方向上的位置。之后，控制部8基于第二传感器28的检测结果，对在示教步骤中存储的手位置HP中的水平方向上的位置进行修正。
(本方式的主要效果)
如以上说明的那样，在本方式中，控制部8连续地自动执行用于使手位置HP存储于机器人1的示教步骤、和在示教步骤之后用于对在示教步骤中存储的手位置HP位置进行修正的校正步骤。另外，在本方式中，在校正步骤中，使手5移动到在示教步骤中确定的手位置HP，将配置于规定位置PP的虚拟晶圆32装载到手5上并取出之后，使手5再次移动到在示教步骤中确定的手位置HP，并将虚拟晶圆32放置在晶圆载置部3上，之后，通过第二传感器28检测放置在晶圆载置部3上的虚拟晶圆32的水平方向上的位置，并且基于第二传感器28的检测结果，对在示教步骤中存储的手位置HP中的水平方向上的位置进行修正。
因此，在本方式中，如果操作员进行用于执行示教步骤的作业及操作，则即使不进行用于进行校正步骤的作业或操作，也能够自动地执行校正步骤。因此，在本方式中，即使在进行用于修正在示教步骤中自动示教的位置的校正的情况下，也能够减轻用于进行校正的操作员的负担。
在本方式中，在校正步骤中，通过未安装第一传感器27和第二传感器28的手5搬运虚拟晶圆32。因此，在本方式中，例如，即使在第一传感器27和第二传感器28配置于有可能对利用手4进行的虚拟晶圆32的搬运产生障碍的位置的情况下，在校正步骤中，也能够在将第一传感器27和第二传感器28安装于手4上的状态下，由手5搬运虚拟晶圆32。
在本方式中，夹具25具备第一传感器27及第二传感器28。因此，在本方式中，例如即使在第一传感器27和第二传感器28配置于有可能对手4进行的晶圆2的搬运产生障碍的位置的情况下，在机器人1的示教之后，也能够容易地将第一传感器27和第二传感器28从手4卸下。另外，在进行机器人1的示教时，能够容易地将第一传感器27和第二传感器28安装于手4上。另外，在本方式中，由于安装有夹具25的手4配置于比手5靠上侧的位置，所以与在手5上安装夹具25的情况相比，容易安装夹具25。
(其他实施方式)
上述方式是本发明的优选方式的一例，但并不限定于此，在不改变本发明的主旨的范围内能够进行各种变形实施。
在上述方式中，在校正步骤中，在进行虚拟晶圆32的搬出以及搬入之后，通过第二传感器28检测放置在晶圆载置部3上的虚拟晶圆32的水平方向上的位置，并且基于第二传感器28的检测结果，对在示教步骤中存储的手位置HP中的水平方向上的位置进行修正，但也可以在校正步骤中，在进行虚拟晶圆32的搬出以及搬入之后，通过第一传感器27检测放置在晶圆载置部3上的虚拟晶圆32的上下方向上的位置，并且通过第二传感器28检测放置在晶圆载置部3上的虚拟晶圆32在水平方向上的位置，并且基于第一传感器27以及第二传感器28的检测结果，对在示教步骤中存储的手位置HP进行修正。即，也可以在校正步骤中，对在示教步骤中存储的手位置HP的上下方向以及水平方向上的位置进行修正。
在上述方式中，夹具25也可以安装于手5上。在这种情况下，在示教步骤中使用手5。此时的手5是第一手，手4是第二手。即，第二手也可以配置于比第一手靠上侧的位置。另外，在上述方式中，在进行机器人1的示教时，也可以代替虚拟晶圆32而使用晶圆2。在这种情况下，晶圆2成为示教用搬运对象物。
在上述方式中，第一传感器27也可以直接安装于手4上。另外，第二传感器28也可以直接安装于手4上。在第一传感器27和第二传感器28直接安装于手4上的情况下，不需要夹具25。另外，在第一传感器27和第二传感器28直接安装于手4上的情况下，在第一传感器27和第二传感器28配置于有可能对手4进行的晶圆2的搬运产生障碍的位置上的情况下，在机器人1的示教开始之前，将第一传感器27和第二传感器28安装于手4上，当机器人1的示教结束时，将第一传感器27和第二传感器28从手4上卸下。
另外，在第一传感器27和第二传感器28直接安装于手4上的情况下，并且在第一传感器27和第二传感器28配置于不对手4进行的虚拟晶圆32的搬运产生障碍的位置上的情况下，机器人1也可以不具备手5。在该情况下，在校正步骤中，使手4移动到在示教步骤中确定的手位置HP，将配置于规定位置PP的虚拟晶圆32装载到手4上并取出之后，使手4再次移动到在示教步骤中确定的手位置HP，将虚拟晶圆32放置在晶圆载置部3上。即使在这种情况下，如果操作员进行用于执行示教步骤的作业和操作，则即使不进行用于进行校正步骤的作业和操作，也能够自动地执行校正步骤，因此，即使在进行用于对示教步骤中自动示教的位置进行修正的校正的情况下，也能够减轻用于进行校正的操作员的负担。
在上述方式中，臂6既可以由两个臂部构成，也可以由四个以上的臂部构成。另外，在上述方式中，机器人1也可以是用于搬运晶圆2以外的搬运对象物的机器人。

Claims (6)

1.一种工业用机器人，用于搬运搬运对象物，其特征在于，具备：
手，所述手装载所述搬运对象物；
臂，所述臂在前端侧以能转动的方式连接所述手，所述手以上下方向为转动的轴向进行转动；
控制部，所述控制部控制所述工业用机器人，
所述控制部连续地自动执行示教步骤和校正步骤，所述示教步骤使手位置存储于所述工业用机器人，所述手位置是将配置于载置所述搬运对象物的载置部的规定位置的所述搬运对象物装载于所述手时、以及将装载在所述手上的所述搬运对象物放置在所述规定位置时的所述手的上下方向以及水平方向上的位置，所述校正步骤用于在所述示教步骤之后修正在所述示教步骤中存储的所述手位置，
在执行所述示教步骤时，形成为与所述搬运对象物相同形状的虚拟搬运对象物或者所述搬运对象物配置于所述规定位置，
若将配置于所述规定位置的所述搬运对象物或者所述虚拟搬运对象物设为示教用搬运对象物，
则在所述示教步骤中，通过安装于所述手上的第一传感器，检测配置于所述规定位置的所述示教用搬运对象物的上下方向上的位置，并且通过安装于所述手上的第二传感器，检测配置于所述规定位置的所述示教用搬运对象物的水平方向上的位置，并且所述控制部基于所述第一传感器以及所述第二传感器的检测结果确定并存储所述手位置，
在所述校正步骤中，使所述手移动到在所述示教步骤中确定的所述手位置，并将配置于所述规定位置的所述示教用搬运对象物装载于所述手并取出之后，使所述手再次移动到在所述示教步骤中确定的所述手位置并将所述示教用搬运对象物放置在所述载置部上，然后，通过安装于所述手上的所述第二传感器，检测放置在所述载置部上的所述示教用搬运对象物的水平方向上的位置，并且所述控制部基于所述第二传感器的检测结果，修正在所述示教步骤中存储的所述手位置中的水平方向上的位置。
2.根据权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于，
作为所述手，具备第一手及第二手，
所述第一手及所述第二手中的任意一方配置于比所述第一手及所述第二手中的任意另一方靠上侧的位置，
当从上下方向观察时，所述第一手相对于所述臂的转动中心与所述第二手相对于所述臂的转动中心一致，并且所述第一手相对于所述臂的转动角度与所述第二手相对于所述臂的转动角度相等时，装载于所述第一手的所述搬运对象物与装载于所述第二手的所述搬运对象物在上下方向上重叠，
在所述示教步骤中，通过安装于所述第一手的所述第一传感器，检测配置于所述规定位置的所述示教用搬运对象物的上下方向上的位置，并且通过安装于所述第一手的所述第二传感器，检测配置于所述规定位置的所述示教用搬运对象物的水平方向上的位置，
在所述校正步骤中，使所述第二手移动到在所述示教步骤中确定的所述手位置并将配置于所述规定位置的所述示教用搬运对象物装载于所述第二手并取出之后，使所述第二手再次移动到在所述示教步骤中确定的所述手位置并将所述示教用搬运对象物放置于所述载置部，之后，通过安装于所述第一手的所述第二传感器，检测放置于所述载置部的所述示教用搬运对象物的水平方向上的位置。
3.根据权利要求2所述的工业用机器人，其特征在于，
在执行所述示教步骤和所述校正步骤时，具有所述第一传感器和所述第二传感器的示教用夹具安装于所述第一手。
4.根据权利要求3所述的工业用机器人，其特征在于，
所述第一手配置于比所述第二手靠上侧的位置。
5.根据权利要求2～4中任一项所述的工业用机器人，其特征在于，具备：
第一手驱动机构，所述第一手驱动机构使所述第一手相对于所述臂转动；
第二手驱动机构，所述第二手驱动机构使所述第二手相对于所述臂转动；臂驱动机构，所述臂驱动机构使作为多关节臂的所述臂伸缩；以及升降机构，所述升降机构使所述臂升降，
所述搬运对象物形成为圆板状，
所述手具备夹紧机构，所述夹紧机构至少从三个方向与装载于所述手的所述搬运对象物的端面接触并将所述搬运对象物在水平方向上保持在固定位置，
在所述第一手相对于所述臂的转动角度与所述第二手相对于所述臂的转动角度相等时，从上下方向观察时，由所述夹紧机构保持的所述第一手上的所述搬运对象物的中心与由所述夹紧机构保持的所述第二手上的所述搬运对象物的中心一致。
6.一种工业用机器人的示教方法，所述工业用机器人具有装载搬运对象物的手和在前端侧以能够以上下方向为转动的轴向进行转动的方式连接所述手的臂，其特征在于，
连续地自动执行示教步骤和校正步骤，所述示教步骤用于使手位置存储于所述工业用机器人，所述手位置是在将配置于载置所述搬运对象物的载置部的规定位置的所述搬运对象物装载于所述手时、以及将装载于所述手的所述搬运对象物放置于所述规定位置时的所述手的上下方向以及水平方向上的位置，所述校正步骤用于在所述示教步骤之后，修正在所述示教步骤中存储的所述手位置，
在执行所述示教步骤时，形成为与所述搬运对象物相同形状的虚拟搬运对象物或所述搬运对象物配置于所述规定位置，
若将配置于所述规定位置的所述搬运对象物或所述虚拟搬运对象物设为示教用搬运对象物，
则在所述示教步骤中，通过安装于所述手的第一传感器，检测配置于所述规定位置的所述示教用搬运对象物的上下方向上的位置，并且，通过安装于所述手上的第二传感器，检测配置于所述规定位置的所述示教用搬运对象物的水平方向上的位置，并基于所述第一传感器和所述第二传感器的检测结果确定并存储所述手位置，
在所述校正步骤中，使所述手移动到在所述示教步骤中确定的所述手位置并将配置于所述规定位置的所述示教用搬运对象物装载在所述手上并取出之后，使所述手再次移动到在所述示教步骤中确定的所述手位置并将所述示教用搬运对象物放置在所述载置部上，之后，通过安装于所述手上的所述第二传感器，检测放置在所述载置部上的所述示教用搬运对象物的水平方向上的位置，并根据所述第二传感器的检测结果，修正在所述示教步骤中存储的所述手位置中的水平方向上的位置。
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