CN115015817B - 一种在线检测探针状态异常和接触异常的装置和方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种在线检测探针状态异常和接触异常的装置，包括检测头，所述检测头的下方固接有台板，所述台板的下方设置有探针，还包括有控制器、振动检测传感器、倾斜传感器A、倾斜传感器B、侧立板、红外检测组件、电阻变送器。本发明涉及电子设备技术领域，该在线检测探针状态异常和接触异常的装置和方法，可进行探针的在线检测，用于及时发现探针的异常，如探针的竖直状态，探针是否破损，保证探针正常情况下进行对半导体的检测工作，能够保证产品的质量。

Description

一种在线检测探针状态异常和接触异常的装置和方法
技术领域
本发明涉及电子设备技术领域，具体为一种在线检测探针状态异常和接触异常的装置和方法。
背景技术
在半导体领域，圆晶测试阶段大多使用探针，而在实际工作时，并没有相应的检测***，没有办法在线检测，进而当出现探针异常或接触异常时，例如探针倾斜、探针断裂、探针表面携带异物等情况时，无法及时的检测出来，进而直接出现大量半导体检测失败或无检测的圆晶。
基于此问题的出现，我司研发出在线检测探针异常状态和接触异常状态的装置，可进行探针的在线检测，用于及时发现探针的异常，保证产品的质量。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明提供了一种在线检测探针状态异常和接触异常的装置和方法，解决了探针无法在线检测探针异常的问题。
为实现上述目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种在线检测探针状态异常和接触异常的装置，包括检测头，所述检测头的下方固接有台板，所述台板的下方设置有探针，所述台板的下方侧面和后方分别固接有侧面板和后面板，还包括有；
控制器，用于控制所述检测头的推送和回缩工作；
振动检测传感器，固接在所述台板的下方、且与探针相抵触，用于检测所述探针的振动频率，与所述控制器电性连接；
倾斜传感器A，固接在所述侧面板上，用于检测所述探针是否倾斜，与所述控制器电性连接；
倾斜传感器B，固接在所述后面板上，用于检测所述探针是否倾斜，与所述控制器电性连接；
侧立板，设置在所述检测头的一侧，且与检测头平行设置、与侧面板相对设置，所述侧立板上设置有成像装置，用于采集探针的整体完整性，所述成像装置与控制器电性连接；
红外检测组件，包括相对设置的红外发送器和红外接收器，所述红外发送器固接在侧面板的内侧下方，所述红外接收器固接在侧立板的内侧下方，所述红外发送器和红外接收器与控制器电性连接。
优选的，还包括有电阻变送器，所述探针和电阻变送器的两端通过连接线分别连接有电流检测器A和电流检测器B，所述电流检测器A和电流检测器B通过连接线分别连接有对比器A和对比器B，所述对比器A和对比器B均与控制器电连接，所述控制器电连接有显示器。
优选的，所述红外发送器和红外接收器与探针的底端位于同一水平面。
一种在线检测探针状态异常和接触异常的方法，所述方法包括：
1)在探针检验完毕圆晶后回缩到原点时，振动检测传感器检测探针的振幅，当振幅过大导致异常时，停机检测探针是否破损；
2)倾斜传感器A和倾斜传感器B在两侧检测探针是否倾斜，如出现倾斜情况则停机检测探针是否破损；
3)红外发送器发送红外信号，当红外接收器接收到信号时，停机检测探针是否短缺或倾斜；
4)成像装置拍摄探针的影片，经过控制器对比后发现探针表面有异物或缺口阴影时，停机检测探针是否破损；
5)电流检测器A和电流检测器B通电采集探针和电阻变送器的电流，将采集到的电流信号传输给对比器A和对比器B，通过与预设值的对比确定探针和电阻变送器是否为正常状态，当电流异常或无电流时，控制器进行停机操作且通过显示器进行报警提示。
有益效果
本发明提供了一种在线检测探针状态异常和接触异常的装置和方法。具备以下有益效果：该在线检测探针状态异常和接触异常的装置和方法，可进行探针的在线检测，用于及时发现探针的异常，如探针的竖直状态，探针是否破损，保证探针正常情况下进行对半导体的检测工作，能够保证产品的质量。
附图说明
图1为本发明结构示意图；
图2为本发明台板仰视图；
图3为本发明探针和电阻变送器电流检测原理框图。
图中：1、检测头，2、台板，3、振动检测传感器，4、探针，5、后面板，6、侧面板，7、倾斜传感器A，8、红外发送器，9、侧立板，10、成像装置，11、红外接收器，12、倾斜传感器B，13、显示器，14、控制器，15、对比器A，16、对比器B，17、电流检测器A，18、电流检测器B，19、电阻变送器。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例一：
由图1-2可知，一种在线检测探针状态异常和接触异常的装置，包括检测头1，检测头1为推进台板2下压和回拉的伸缩机构，此机构为液压缸或电缸，检测头1的下方固接有台板2，台板2的下方设置有探针4，台板2的下方侧面和后方分别固接有侧面板6和后面板5；
还包括有；
控制器14，用于控制检测头1的推送和回缩工作；
振动检测传感器3，固接在台板2的下方、且与探针4相抵触，用于检测探针4的振动频率，与控制器14电性连接。振动检测传感器3检测探针4的振幅，当振幅过大导致异常时，停机检测探针4是否破损。
倾斜传感器A7，固接在侧面板6上，用于检测探针4是否倾斜，与控制器14电性连接；
倾斜传感器B12，固接在后面板5上，用于检测探针4是否倾斜，与控制器14电性连接；
倾斜传感器A7和倾斜传感器B12在两侧检测探针4是否倾斜，如出现倾斜情况则停机检测探针4是否破损。
侧立板9，设置在检测头1的一侧，且与检测头1平行设置、与侧面板6相对设置，侧立板9上设置有成像装置10，用于采集探针4的整体完整性，成像装置10与控制器14电性连接；
成像装置10拍摄探针4的影片，经过控制器14对比后发现探针4表面有异物或缺口阴影时，停机检测探针4是否破损。
红外检测组件，包括相对设置的红外发送器8和红外接收器11，红外发送器8固接在侧面板6的内侧下方，红外接收器11固接在侧立板9的内侧下方，红外发送器8和红外接收器11与控制器14电性连接，红外发送器8和红外接收器11与探针4的底端位于同一水平面；
红外发送器8发送红外信号，当红外接收器11接收到信号时，停机检测探针4是否短缺或倾斜，如出现倾斜情况则停机检测。
实施例二：
由图3可知，装置还包括有电阻变送器19，探针4和电阻变送器19的两端通过连接线分别连接有电流检测器A17和电流检测器B18，电流检测器A17和电流检测器B18通过连接线分别连接有对比器A15和对比器B16，对比器A15和对比器B16均与控制器14电连接，控制器14电连接有显示器13；
在具体实施过程中，值得特别指出的是，预先通过电流检测器A17和电流检测器B18采集探针4和电阻变送器19的电流作为设定值，在实际工作时，可采用单次探针4工作后或N次探针4工作后进行检测，检测时，电流检测器A17和电流检测器B18采集探针4和电阻变送器19的电流，通过对比器A15和对比器B16进行与设定值的对比，当电流异常或无电流时，控制器14进行停机操作且通过显示器13进行报警提示。
实施例三：
由图1-3可知，一种在线检测探针状态异常和接触异常的方法，方法包括：
1)在探针4检验完毕圆晶后回缩到原点时，振动检测传感器3检测探针4的振幅，当振幅过大导致异常时，停机检测探针4是否破损；
2)倾斜传感器A7和倾斜传感器B12在两侧检测探针4是否倾斜，如出现倾斜情况则停机检测探针4是否破损；
3)红外发送器8发送红外信号，当红外接收器11接收到信号时，停机检测探针4是否短缺或倾斜；
4)成像装置10拍摄探针4的影片，经过控制器14对比后发现探针4表面有异物或缺口阴影时，停机检测探针4是否破损；
5)电流检测器A17和电流检测器B18通电采集探针4和电阻变送器19的电流，将采集到的电流信号传输给对比器A15和对比器B16，通过与预设值的对比确定探针4和电阻变送器19是否为正常状态，当电流异常或无电流时，控制器14进行停机操作且通过显示器13进行报警提示。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (4)

1.一种在线检测探针状态异常和接触异常的装置，包括检测头(1)，所述检测头(1)的下方固接有台板(2)，所述台板(2)的下方设置有探针(4)，其特征在于：所述台板(2)的下方侧面和后方分别固接有侧面板(6)和后面板(5)，还包括有；
控制器(14)，用于控制所述检测头(1)的推送和回缩工作；
振动检测传感器(3)，固接在所述台板(2)的下方、且与探针(4)相抵触，用于检测所述探针(4)的振动频率，与所述控制器(14)电性连接；
倾斜传感器A(7)，固接在所述侧面板(6)上，用于检测所述探针(4)是否倾斜，与所述控制器(14)电性连接；
倾斜传感器B(12)，固接在所述后面板(5)上，用于检测所述探针(4)是否倾斜，与所述控制器(14)电性连接；
侧立板(9)，设置在所述检测头(1)的一侧，且与检测头(1)平行设置、与侧面板(6)相对设置，所述侧立板(9)上设置有成像装置(10)，用于采集探针(4)的整体完整性，所述成像装置(10)与控制器(14)电性连接；
红外检测组件，包括相对设置的红外发送器(8)和红外接收器(11)，所述红外发送器(8)固接在侧面板(6)的内侧下方，所述红外接收器(11)固接在侧立板(9)的内侧下方，所述红外发送器(8)和红外接收器(11)与控制器(14)电性连接。
2.根据权利要求1所述的一种在线检测探针状态异常和接触异常的装置，其特征在于：还包括有电阻变送器(19)，所述探针(4)和电阻变送器(19)的两端通过连接线分别连接有电流检测器A(17)和电流检测器B(18)，所述电流检测器A(17)和电流检测器B(18)通过连接线分别连接有对比器A(15)和对比器B(16)，所述对比器A(15)和对比器B(16)均与控制器(14)电连接，所述控制器(14)电连接有显示器(13)。
3.根据权利要求1所述的一种在线检测探针状态异常和接触异常的装置，其特征在于：所述红外发送器(8)和红外接收器(11)与探针(4)的底端位于同一水平面。
4.一种在线检测探针状态异常和接触异常的方法，其特征在于：所述方法包括：
1)在探针(4)检验完毕圆晶后回缩到原点时，振动检测传感器(3)检测探针(4)的振幅，当振幅过大导致异常时，停机检测探针(4)是否破损；
2)倾斜传感器A(7)和倾斜传感器B(12)在两侧检测探针(4)是否倾斜，如出现倾斜情况则停机检测探针(4)是否破损；
3)红外发送器(8)发送红外信号，当红外接收器(11)接收到信号时，停机检测探针(4)是否短缺或倾斜；
4)成像装置(10)拍摄探针(4)的影片，经过控制器(14)对比后发现探针(4)表面有异物或缺口阴影时，停机检测探针(4)是否破损；
5)电流检测器A(17)和电流检测器B(18)通电采集探针(4)和电阻变送器(19)的电流，将采集到的电流信号传输给对比器A(15)和对比器B(16)，通过与预设值的对比确定探针(4)和电阻变送器(19)是否为正常状态，当电流异常或无电流时，控制器(14)进行停机操作且通过显示器(13)进行报警提示。
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