CN114683423A - 一种划片机显微镜结构 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种划片机显微镜结构，属于精密机床设备附件技术领域，包括溜板、电机丝杠组件、导轨组件以及固定件，固定件上夹持安装显微镜本体，电机丝杠组件、导轨组件均连接于溜板上，固定件分别与电机丝杠组件、导轨组件连接；固定件包括镜体夹持件、镜体支架，镜体支架的两端均连接镜体夹持件，镜体夹持件包括连接板、第一夹板、第二夹板，连接板与镜体支架的端部连接，第一夹板与第二夹板相连，第一夹板与第二夹板安装于连接板上，第一夹板与第二夹板之间夹持安装显微镜本体，第一夹板与第二夹板上均设置与显微镜本体外表面相适配的夹持弧形槽。本发明提高了工作效率，减少了横向移动行程，避免了采用大导程丝杠，提高分辨率及定位精度。

Description

一种划片机显微镜结构

技术领域

本发明属于精密机床设备附件技术领域，具体地是涉及一种划片机显微镜结构。

背景技术

划片机属于精密机床设备，划片机在切割晶圆工件时，需要使用显微镜对切割后的工件进行观察；现有显微镜结构为单显微镜结构，单显微镜结构安装在划片机一侧，切割前显微镜移动到工位上方进行定位，切割完成后显微镜移动到工位上方进行观察。安装于划片机一侧的现有显微镜结构的缺点在于：使用不便，不能很好地满足双工位切换使用，双工位切换时，显微镜移动距离较长，浪费时间，影响切割效率；而且现有显微镜结构通常采用大导程丝杠来实现移动，其影响定位精度及运动轴分辨率。因此，目前需要研制出一种能很好地满足于双工位切换使用的划片机显微镜结构。

发明内容

本发明就是针对上述问题，弥补现有技术的不足，提供一种划片机显微镜结构。

为实现上述目的，本发明采用如下技术方案。

本发明提供一种划片机显微镜结构，包括溜板、电机丝杠组件、导轨组件以及固定件，固定件上夹持安装显微镜本体，所述电机丝杠组件、导轨组件均连接于溜板上，所述固定件分别与电机丝杠组件、导轨组件连接；所述固定件包括镜体夹持件、镜体支架，所述镜体支架连接于电机丝杠组件、导轨组件上，所述镜体支架的两端均连接有镜体夹持件；所述镜体夹持件包括连接板、第一夹板、第二夹板，所述连接板与镜体支架的端部连接，所述第一夹板与第二夹板相连，相连在一起的第一夹板与第二夹板安装于连接板上，所述第一夹板与第二夹板之间夹持安装显微镜本体，所述第一夹板与第二夹板上均设置有与显微镜本体外表面相适配的夹持弧形槽。

作为本发明的一种优选方案，所述溜板包括第一板体与第二板体，第一板体与第二板体一体成型，第一板体上设置有横向滑槽；溜板与划片机上的驱动机构连接，并通过横向滑槽与划片机上的横向滑行轨道连接，溜板由划片机上的驱动机构进行驱动，能在划片机的横向滑行轨道上往复移动。

作为本发明的另一种优选方案，所述溜板的第二板体左侧安装电机丝杠组件，溜板的第二板体前侧面下部开设有安装槽，导轨组件连接于安装槽内。

作为本发明的另一种优选方案，所述溜板的第二板体前侧面下部还设置有限位块，限位块设于靠近电机丝杠组件处。

作为本发明的另一种优选方案，所述导轨组件包括滑轨、滑块，滑轨固定连接于安装槽中，滑块可滑动连接于滑轨上。

作为本发明的另一种优选方案，所述镜体支架包括第一安装板、第二安装板，第一安装板垂直连接于第二安装板后侧，第一安装板与电机丝杠组件固定连接，第二安装板与导轨组件固定连接。

作为本发明的另一种优选方案，所述第一夹板的夹持弧形槽扣接于显微镜本体半侧面上，第二夹板的夹持弧形槽扣接于显微镜本体另一半侧面上，第一夹板与第二夹板之间通过螺钉连接，螺钉穿过第一夹板再与第二夹板连接，第二夹板与连接板之间通过螺钉连接。

作为本发明的另一种优选方案，所述电机丝杠组件包括电机、丝杠、外固定滑框以及移动块，外固定滑框固定连接于电机的动力输出端前方，丝杠一端连接于电机的动力输出端上，丝杠另一端连接于外固定滑框上，丝杠上连接移动块，移动块两侧与外固定滑框之间可滑动连接。

本发明有益效果：

本发明所提供的一种划片机显微镜结构，将夹持安装显微镜本体的固定件与溜板、电机丝杠组件、导轨组件相结合，将显微镜本体安装在构成固定件的镜体支架的两端，并由所设置的镜体夹持件对显微镜本体进行夹紧固定；在切割前或切割后观察时，可就近采用合适的显微镜本体进行观察，使横向移动距离变短，缩短了移动时间，提高工作效率，减少横向移动的行程，避免了采用大导程丝杠，提高分辨率及定位精度。

附图说明

图1是本发明一种划片机显微镜结构的平面结构示意图。

图2是本发明一种划片机显微镜结构的镜体夹持件的分解式结构示意图。

图3是去掉镜体支架两端的镜体夹持件后的本发明分解式结构示意图。

图4是本发明一种划片机显微镜结构的镜体支架与连接板之间的安装状态图。

图5是本发明一种划片机显微镜结构结合两个工位的使用状态图。

图中标记：1为溜板、2为电机丝杠组件、3为镜体支架、4为连接板、5为安装槽、6为显微镜本体、7为第一夹板、8为第二夹板、9为导轨组件、10为限位块、11为横向滑槽、12为夹持弧形槽、13为螺钉；101为第一板体、102为第二板体、201为外固定滑框、202为丝杠、203为移动块、204为电机、301为第一安装板、302为第二安装板、901为滑轨、902为滑块。

具体实施方式

为了使本发明所解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及具体实施方式，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施方式仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

结合图1至图3所示，一种划片机显微镜结构，包括溜板1、电机丝杠组件2、导轨组件9以及固定件，固定件上夹持安装显微镜本体6，所述电机丝杠组件2、导轨组件9均连接于溜板1上，所述固定件分别与电机丝杠组件2、导轨组件9连接；所述固定件包括镜体夹持件、镜体支架3，所述镜体支架3连接于电机丝杠组件2、导轨组件9上，所述镜体支架3的两端均连接有镜体夹持件，所述镜体夹持件包括连接板4、第一夹板7、第二夹板8，所述连接板4与镜体支架3的端部连接，所述第一夹板7与第二夹板8相连，相连在一起的第一夹板7与第二夹板8安装于连接板4上，所述第一夹板7与第二夹板8之间夹持安装显微镜本体6，所述第一夹板7与第二夹板8上均设置有与显微镜本体6外表面相适配的夹持弧形槽12。

所述溜板1包括第一板体101与第二板体102，第一板体101与第二板体102一体成型，第一板体101上设置有横向滑槽11；溜板1上布设有安装孔，溜板1通过布设的安装孔与划片机上的驱动机构固定连接，并通过横向滑槽11与划片机上的横向滑行轨道连接，溜板1由划片机上的驱动机构进行驱动，能在划片机的横向滑行轨道上往复移动，即可实现带动本发明显微镜结构整体在工位上方横向往复移动。

所述镜体支架3包括第一安装板301、第二安装板302，第一安装板301垂直连接于第二安装板302后侧，第一安装板301与电机丝杠组件2固定连接，第二安装板302与导轨组件9固定连接；所述导轨组件9的作用是：可以起到导向作用，并可加固夹持安装有显微镜本体6的固定件相对于溜板1上、下移动的稳定性，进而提升了本发明显微镜结构的整体稳定性。

所述电机丝杠组件2通过四个螺钉13固定安装在溜板1上，所述电机丝杠组件2包括电机204、丝杠202、外固定滑框201以及移动块203，外固定滑框201固定连接于电机204的动力输出端前方，丝杠202一端连接于电机204的动力输出端上，丝杠202另一端连接于外固定滑框201上，丝杠202上连接移动块203，移动块203两侧与外固定滑框201之间可滑动连接；在电机204的旋转驱动下，移动块203可以在丝杠202上进行上、下移动，镜体支架3的第一安装板301通过四个螺钉13安装于电机丝杠组件2的移动块203上，这样即可实现通过电机丝杠组件2驱动夹持安装有显微镜本体6的固定件在溜板1上进行上、下移动。

所述溜板1的第二板体102左侧安装电机丝杠组件2，溜板1的第二板体102前侧面下部开设有安装槽5，导轨组件9连接于安装槽5内；导轨组件9包括滑轨901、滑块902，滑轨901通过四个螺钉13固定连接于安装槽5中，滑块902可滑动连接于滑轨901上，滑块902与镜体支架3的第二安装板302之间通过四个螺钉13固定连接。

所述溜板1的第二板体102前侧面下部还设置有限位块10，限位块10设于靠近电机丝杠组件2处；通过所设置的限位块10，可以对向下移动的镜体支架3进行阻挡，起到对其行程限位的作用。

如图2所示，为镜体夹持件的分解式结构示意图，所述第一夹板7的夹持弧形槽12扣接于显微镜本体6半侧面上，第二夹板8的夹持弧形槽12扣接于显微镜本体6另一半侧面上，第一夹板7与第二夹板8之间通过三个螺钉13连接，三个螺钉13穿过第一夹板7再与第二夹板8连接，第二夹板8与连接板4之间通过三个螺钉13连接；所述镜体支架3两端所连接的镜体夹持件具有相同的结构，且对称连接于镜体支架3两端。

如图4所示，所述镜体支架3两端的连接板4与镜体支架3的端部之间各通过两个螺钉13固定连接；镜体支架3与连接板4之间依靠螺钉13连接的方式，也可以设计成镜体支架3与连接板4一体连接，作为替代方案。

本发明划片机显微镜结构的工作过程：由溜板1的横向移动带动整体显微镜结构移动，实现显微镜本体6横向的运动，电机丝杠组件2与镜体支架3连接，通过电机驱动镜体支架3上、下运动从而带动显微镜本体6上、下运动，且两个显微镜本体6同时运动，工作时选择合适的显微镜本体6进行观察。如图5所示，本发明结合两个工位的使用状态图，观察工位一时，使用左侧的显微镜本体6观察，右侧的显微镜本体6同时跟随运动；观察工位二时，使用右侧的显微镜本体6观察，左侧的显微镜本体6同时跟随运动。对比现有的单显微镜结构，缩短了双工位切换时横向运动距离，避免了以往的大导程丝杠的使用，能很好地满足于双工位切换使用。如图5所示，通过使用本发明显微镜结构，当工位切换时，可由右侧的显微镜本体6观察工位二上工件，即右侧的显微镜本体6横向移动X1距离即可,相比于以往的需要移动X2距离的单显微镜结构大大缩短了移动距离，提高了工作效率。

本发明的显微镜结构，将显微镜本体6安装在镜体支架3的两端，使两个显微镜本体6之间具有一定距离；如图5所示，观察工位一上的工件时，可采用左侧的显微镜本体6，观察工位二工件时，可采用右的显微镜本体6，就近观察，工位一和工位二切换时,移动较短距离，即可将显微镜本体6移动到位进行观察。

可以理解的是，以上关于本发明的具体描述，仅用于说明本发明而并非受限于本发明实施例所描述的技术方案，本领域的普通技术人员应当理解，仍然可以对本发明进行修改或等同替换，以达到相同的技术效果；只要满足使用需要，都在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种划片机显微镜结构，其特征在于：包括溜板、电机丝杠组件、导轨组件以及固定件，固定件上夹持安装显微镜本体，所述电机丝杠组件、导轨组件均连接于溜板上，所述固定件分别与电机丝杠组件、导轨组件连接；所述固定件包括镜体夹持件、镜体支架，所述镜体支架连接于电机丝杠组件、导轨组件上，所述镜体支架的两端均连接有镜体夹持件；所述镜体夹持件包括连接板、第一夹板、第二夹板，所述连接板与镜体支架的端部连接，所述第一夹板与第二夹板相连，相连在一起的第一夹板与第二夹板安装于连接板上，所述第一夹板与第二夹板之间夹持安装显微镜本体，所述第一夹板与第二夹板上均设置有与显微镜本体外表面相适配的夹持弧形槽。

2.根据权利要求1所述的一种划片机显微镜结构，其特征在于：所述溜板包括第一板体与第二板体，第一板体与第二板体一体成型，第一板体上设置有横向滑槽；溜板与划片机上的驱动机构连接，并通过横向滑槽与划片机上的横向滑行轨道连接，溜板由划片机上的驱动机构进行驱动，能在划片机的横向滑行轨道上往复移动。

3.根据权利要求2所述的一种划片机显微镜结构，其特征在于：所述溜板的第二板体左侧安装电机丝杠组件，溜板的第二板体前侧面下部开设有安装槽，导轨组件连接于安装槽内。

4.根据权利要求3所述的一种划片机显微镜结构，其特征在于：所述溜板的第二板体前侧面下部还设置有限位块，限位块设于靠近电机丝杠组件处。

5.根据权利要求3所述的一种划片机显微镜结构，其特征在于：所述导轨组件包括滑轨、滑块，滑轨固定连接于安装槽中，滑块可滑动连接于滑轨上。

6.根据权利要求1所述的一种划片机显微镜结构，其特征在于：所述镜体支架包括第一安装板、第二安装板，第一安装板垂直连接于第二安装板后侧，第一安装板与电机丝杠组件固定连接，第二安装板与导轨组件固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种划片机显微镜结构，其特征在于：所述第一夹板的夹持弧形槽扣接于显微镜本体半侧面上，第二夹板的夹持弧形槽扣接于显微镜本体另一半侧面上，第一夹板与第二夹板之间通过螺钉连接，螺钉穿过第一夹板再与第二夹板连接，第二夹板与连接板之间通过螺钉连接。

8.根据权利要求1所述的一种划片机显微镜结构，其特征在于：所述电机丝杠组件包括电机、丝杠、外固定滑框以及移动块，外固定滑框固定连接于电机的动力输出端前方，丝杠一端连接于电机的动力输出端上，丝杠另一端连接于外固定滑框上，丝杠上连接移动块，移动块两侧与外固定滑框之间可滑动连接。

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