CN114538102B - 工业用机器人 - Google Patents

Abstract

一种工业用机器人，即使多根配线从支承臂的前端侧朝向臂的前端侧穿绕，也能够以简易的结构防止臂和支承臂的连接部分处的多根配线彼此的接触。在该工业用机器人中，在臂(6)和支承臂的连接部分保持多根配线(22)的配线保持结构(23)具备安装于支承臂的前端侧的配线保持部件(24)、安装于臂的基端侧的配线保持部件(25)、以及安装于支承臂的前端侧并且在配线的穿绕方向上配置于配线保持部件和配线保持部件之间的导向部件(28)。在配线保持部件(24、25)上保持有在上下方向上以隔开间隔的状态重叠的多根配线，在导向部件(28)上形成有多个导向槽，在多个导向槽中配置有在上下方向上以隔开间隔的状态重叠的多根配线。

Description

工业用机器人

技术领域

本发明涉及一种例如搬运搬运对象物的工业用机器人。

背景技术

已知一种在真空中搬运玻璃基板的水平多关节型工业用机器人(例如，参照专利文献1)。专利文献1所记载的工业用机器人具备装载玻璃基板的两只手、在前端侧以能够转动的方式分别连接两只手的两个臂、以能够转动的方式连接两个臂的基端侧的共同臂、以及以能够转动的方式连接共同臂的主体部。在臂和共同臂的连接部分即关节部配置有减速器。减速器是空心波动齿轮装置。

在专利文献1所记载的工业用机器人中，减速器具备形成为大致圆筒状的输出轴。在减速器的输出轴的上端部固定有臂的基端侧的下端部。手、臂及共同臂配置于真空腔室中。形成为空心状的臂的内部为真空，形成为空心状的共同臂的内部为大气压。在减速器的输出轴的内周侧固定有圆盘状的盖，该圆盘状的盖用于将成为真空的臂的内部区域和成为大气压的共同臂的内部区域隔开。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2018－15839号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

在专利文献1所记载的工业用机器人中，例如，有时与安装在手上的传感器等连接的两根配线从共同臂的前端侧朝向臂的前端侧穿绕。由于在使用该工业用机器人时，臂相对于共同臂转动多次，因此当臂相对于共同臂转动时，如果两根配线彼此在作为臂和共同臂的连接部分的关节部不规则地接触，则配线可能损伤。因此，在专利文献1所记载的工业用机器人中，优选在作为臂和共同臂的连接部分的关节部防止两根配线彼此接触。

因此，本发明的技术问题在于提供一种工业用机器人，其具备臂和在前端侧以能够转动的方式连接臂的基端侧的支承臂，其中，即使多根配线从支承臂的前端侧朝向臂的前端侧穿绕，也能够以简易的结构防止在作为臂和支承臂的连接部分的关节部处的多根配线彼此的接触。

解决技术问题所采用的技术方案

为了解决上述的技术问题，本发明提供一种工业用机器人，其特征在于，具备：臂；支承臂，所述支承臂在前端侧以能够转动的方式连接臂的基端侧；多根配线，所述多根配线至少从支承臂的前端侧朝向臂的前端侧穿绕；以及配线保持结构，所述配线保持结构在臂和支承臂的连接部分即关节部保持多根配线，配线保持结构具备：第一配线保持部件及第二配线保持部件，所述第一配线保持部件及第二配线保持部件保持在臂相对于支承臂转动的轴向即转动轴方向上以隔开间隔的状态重叠的多根配线；以及导向部件，所述导向部件用于限定随着臂相对于支承臂的转动动作而弯曲的多根配线的曲率半径的大小，第一配线保持部件安装于支承臂的前端侧并且在转动轴方向上配置于臂的一侧，第二配线保持部件安装于臂的基端侧并且在转动轴方向上配置于臂的一侧，导向部件安装于支承臂的前端侧且在转动轴方向上配置于臂的一侧，并且在配线的穿绕方向上配置于第一配线保持部件和第二配线保持部件之间，在导向部件的外周面形成有多个导向槽，在所述多个导向槽中分别配置有在转动轴方向上以隔开间隔的状态重叠的多根配线。

在本发明中，例如，配线保持结构具备用于限定臂向臂相对于支承臂的转动方向的一侧转动时的多根配线的曲率半径的大小的导向部件、和用于限定臂向臂相对于支承臂的转动方向的另一侧转动时的多根配线的曲率半径的大小的导向部件。

在本发明的工业用机器人中，在臂和支承臂的连接部分即关节部保持多根配线的配线保持结构具备：第一配线保持部件，所述第一配线保持部件安装于支承臂的前端侧并且在转动轴方向上配置于臂的一侧；第二配线保持部件，所述第二配线保持部件安装于臂的基端侧并且在转动轴方向上配置于臂的一侧；以及导向部件，所述导向部件安装于支承臂的前端侧且在转动轴方向上配置于臂的一侧，并且在配线的穿绕方向上配置于第一配线保持部件和第二配线保持部件之间。

另外，在本发明中，在第一配线保持部件及第二配线保持部件上保持在转动轴方向上以隔开间隔的状态重叠的多根配线，在导向部件的外周面形成有多个导向槽，在所述多个导向槽中分别配置有在转动轴方向上以隔开间隔的状态重叠的多根配线。因此，在本发明中，即使多根配线从支承臂的前端侧朝向臂的前端侧穿绕，也能够防止关节部处的多根配线彼此的接触。

另外，在保持于第一配线保持部件及第二配线保持部件的多根配线沿与转动轴方向正交的方向排列的情况下，不能通过共同的导向部件限定多根配线的曲率半径的大小，需要与配线的根数相应的多个导向部件，但在本发明中，由于保持于第一配线保持部件及第二配线保持部件的多根配线在转动轴方向上以隔开间隔的状态重叠，因此能够通过共同的导向部件限定多根配线的曲率半径的大小。因此，在本发明中，即使多根配线从支承臂的前端侧朝向臂的前端侧穿绕，也能够以简易的结构防止关节部处的多根配线彼此的接触。

在本发明中，优选的是，从转动轴方向观察时，导向部件配置于臂相对于支承臂的转动中心的附近。如果这样构成，则负载不易施加到随着臂相对于支承臂的转动动作而弯曲的配线的弯曲的部分。因此，能够抑制随着臂相对于支承臂的转动动作多次弯曲的配线的、由于臂的转动动作而导致的劣化。

在本发明中，优选的是，第二配线保持部件和导向部件在配线的穿绕方向上的距离比第一配线保持部件和导向部件在配线的穿绕方向上的距离较长。如果这样构成，则负载不易施加到随着臂相对于支承臂的转动动作而弯曲的配线的弯曲的部分。因此，能够抑制随着臂相对于支承臂的转动动作而多次弯曲的配线的、由于臂的转动动作而导致的劣化。

在本发明中，优选的是，配线保持结构具备保持沿与转动轴方向正交的方向排列的多根配线的第三配线保持部件及第四配线保持部件，第三配线保持部件安装于支承臂的前端侧并且在转动轴方向上配置于臂的一侧，第四配线保持部件安装于臂的基端侧并且在转动轴方向上配置于臂的一侧，在配线的穿绕方向上，在第三配线保持部件和第四配线保持部件之间配置有第一配线保持部件、第二配线保持部件及导向部件。

如果这样构成，则能够在配线的穿绕方向上的第三配线保持部件及第四配线保持部件的外侧，将多根配线以沿与转动轴方向正交的方向排列的状态穿绕。因此，与多根配线在配线的穿绕方向上的第三配线保持部件及第四配线保持部件的外侧以沿转动轴方向重叠的状态穿绕的情况比较，能够紧凑地穿绕多根配线。

发明效果

如上所述，在本发明中，在具备臂和在前端侧以能够转动的方式连接臂的基端侧的支承臂的工业用机器人中，即使多根配线从支承臂的前端侧朝向臂的前端侧穿绕，也能够以简易的结构防止作为臂和支承臂的连接部分的关节部处的多根配线彼此的接触。

附图说明

图1是本发明实施方式的工业用机器人的俯视图。

图2是图1所示的工业用机器人的侧视图。

图3是图1所示的关节部的俯视图。

图4是用于说明图3所示的配线保持结构的构成的侧视图。

图5是图4的E部的放大图。

图6是图3的F部的放大图。

图7的(A)是从图3的G－G方向表示第一配线保持部件及配线的图，图7的(B)是从图3的H－H方向表示第三配线保持部件及配线的图。

附图标记说明

1…机器人(工业用机器人)；6、7…臂；8…共同臂(支承臂)；16、17…关节部；22…配线；23…配线保持结构；24…配线保持部件(第一配线保持部件)；25…配线保持部件(第二配线保持部件)；26…配线保持部件(第三配线保持部件)；27…配线保持部件(第四配线保持部件)；28…导向部件；28a…导向槽；CL…转动中心。

具体实施方式

下面，参照附图对本发明的实施方式进行说明。

(工业用机器人的整体结构)

图1是本发明实施方式的工业用机器人1的俯视图。图2是图1所示的工业用机器人1的侧视图。

本实施方式的工业用机器人1(以下，设为“机器人1”。)是在真空中使用的机器人。具体而言，机器人1是在真空中搬运作为搬运对象物的液晶显示器用的玻璃基板2(以下，设为“基板2”。)的水平多关节型机器人。机器人1具备装载基板2的两只手4、5、在前端侧以能够转动的方式分别连接两只手4、5的两个臂6、7、以能够转动的方式连接两个臂6、7的基端侧的作为支承臂的共同臂8、以及以能够转动的方式连接共同臂8的主体部9。

手4以能够转动的方式连接到臂6的前端侧，手5以能够转动的方式连接到臂7的前端侧。手4配置于比手5靠下侧的位置。臂6配置于比手4靠下侧的位置。臂7配置于比手5靠上侧的位置。共同臂8配置于比臂6靠下侧的位置。主体部9配置于比共同臂8靠下侧的位置。

主体部9具备固定有共同臂8的基端部8a的转动轴、以上下方向为转动的轴向使转动轴转动的转动机构、使共同臂8与转动轴及转动机构一起升降的升降机构、以及容纳有转动机构或升降机构的有底圆筒状的壳体11。壳体11的上端的开口被盖体12覆盖。在盖体12上形成有向壳体11的径向的外侧扩展的凸缘部12a。

如上所述，机器人1在真空中搬运基板2。机器人1安装于真空腔室13中来使用。如图2所示，机器人1的比凸缘部12a的下表面靠上侧的部分配置于真空腔室13中。即，机器人1的比凸缘部12a的下表面靠上侧的部分配置于真空中，手4、5、臂6、7及共同臂8配置于真空中。另一方面，机器人1的比凸缘部12a的下表面靠下侧的部分配置于大气中。

就臂6、7而言，从上下方向观察时的形状为细长的长圆形状，并且形成为上下方向的厚度较薄的块状。臂6的长度和臂7的长度相等。共同臂8形成为大致V形状。另外，共同臂8由固定于主体部9的转动轴的上述基端部8a、以能够转动的方式连接臂6、7的基端侧的两个前端部8b、以及将两个前端部8b中的每一个前端部和基端部8a连接的两个连接部8c构成。连接部8c形成为细长的圆筒状。

臂6和共同臂8的连接部分为关节部16。臂7和共同臂8的连接部分为关节部17。臂6、7相对于共同臂8以上下方向为转动的轴向而转动。即，在本实施方式中，上下方向(铅垂方向)为臂6、7相对于共同臂8的转动的轴向即转动轴方向。臂6、7形成为空心状。形成为空心状的臂6、7的内部为真空。共同臂8形成为空心状。形成为空心状的共同臂8的内部为大气压。另外，主体部9的内部(即，壳体11的内部)也为大气压。

机器人1具备使手4相对于臂6转动并且使臂6相对于共同臂8转动的驱动机构和使手5相对于臂7转动并且使臂7相对于共同臂8转动的驱动机构。由于驱动机构与上述的专利文献1所记载的工业用机器人的驱动机构同样地构成，且驱动机构的结构是公知的结构，因此省略驱动机构的说明。

此外，在臂6的基端侧的内部配置有构成驱动机构的一部分的带轮，该带轮经由固定部件18固定于共同臂8的一前端部8b。固定部件18配置于臂6及共同臂8的外部。固定部件18由固定于一前端部8b的侧面部18a和与侧面部18a的上端连接的平板状的上表面部18b构成。上表面部18b配置为上表面部18b的厚度方向和上下方向一致。另外，上表面部18b配置于臂6的基端部的上侧。

另外，在臂7的基端侧的内部也配置有构成驱动机构的一部分的带轮，该带轮经由固定部件19固定于共同臂8的另一前端部8b。固定部件19配置于臂7及共同臂8的外部。固定部件19由固定于另一前端部8b的侧面部19a和与侧面部19a的上端连接的平板状的上表面部19b构成。上表面部19b配置为上表面部19b的厚度方向和上下方向一致。另外，上表面部19b配置于臂7的基端部的上侧。

(配线及配线保持结构的构成)

图3是图1所示的关节部16的俯视图。图4是用于说明图3所示的配线保持结构23的结构的侧视图。图5是图4的E部的放大图。图6是图3的F部的放大图。图7的(A)是从图3的G－G方向表示配线保持部件24及配线22的图，图7的(B)是从图3的H－H方向表示配线保持部件26及配线22的图。

机器人1至少具备从共同臂8的一前端侧朝向臂6的前端侧穿绕的多根配线22和在关节部16保持多根配线22的配线保持结构23。本实施方式的机器人1具备两根配线22，配线保持结构23保持两根配线22。此外，在图1、图2中，省略配线22及配线保持结构23的图示。

配线22的一端例如与安装在手4上的传感器等连接。配线22的另一端例如与设置于主体部9的控制基板连接。即，配线22例如从主体部9穿绕至臂6的前端部。在共同臂8的一前端侧到臂6的前端侧，配线22在臂6及共同臂8的外部穿绕。即，在共同臂8的一前端侧到臂6的前端侧，配线22在真空中穿绕。本实施方式的配线22是具有四根线芯的四芯电缆。

配线保持结构23具备保持在上下方向(即，臂6、7相对于共同臂8转动的轴向即转动轴方向)上以隔开间隔的状态重叠的两根配线22的两个配线保持部件24、25和保持沿水平方向(即，与转动轴方向正交的方向)排列的两根配线22的两个配线保持部件26、27。本实施方式的配线保持部件24是第一配线保持部件，配线保持部件25是第二配线保持部件，配线保持部件26是第三配线保持部件，配线保持部件27是第四配线保持部件。

另外，配线保持结构23具备导向部件28，其用于限定随着臂6相对于共同臂8的转动动作而向水平方向弯曲的两根配线22的曲率半径的大小。具体而言，配线保持结构23具备用于限定臂6向臂6相对于共同臂8的转动方向的一侧转动时的两根配线22的曲率半径的大小的导向部件28和用于限定臂6向臂6相对于共同臂8的转动方向的另一侧转动时的两根配线22的曲率半径的大小的导向部件28这两个导向部件28。

配线保持部件24安装于共同臂8的前端侧。另外，配线保持部件24配置于臂6的上侧。具体而言，配线保持部件24固定于固定部件18的上表面部18b的上表面，经由固定部件18安装于共同臂8的一前端部8b。配线保持部件24配置于比臂6相对于共同臂8的转动中心CL靠共同臂8的前端的位置。

配线保持部件25安装于臂6的基端侧。另外，配线保持部件25配置于臂6的上侧。具体而言，配线保持部件25经由固定于臂6的上表面的固定板29安装于臂6的上表面。固定板29通过将平板状的部件折弯成规定形状而形成，通过螺丝固定于臂6的上表面。配线保持部件25固定于固定板29的上表面。配线保持部件25配置于比转动中心CL靠臂6的前端的位置。

配线保持部件24、25由形成有配置有配线22的直线状的两个导向槽30a的块状的槽形成部件30和固定有槽形成部件30的L形状的固定用支架31构成(参照图7的(A))。导向槽30a形成为沿水平方向伸长的方形槽状。两个导向槽30a在上下方向上以隔开间隔的状态形成。配线保持部件24的固定用支架31通过螺丝固定于上表面部18b的上表面，配线保持部件25的固定用支架31通过螺丝固定于固定板29的上表面。

如果将与形成为细长的圆筒状的连接部8c的长边方向和上下方向正交的方向设为连接部8c的短边方向，则配线保持部件24的槽形成部件30的导向槽30a配置于连接部8c的短边方向上的连接部8c的中心位置。该导向槽30a与连接部8c的长边方向平行。连接部8c的长边方向上的该导向槽30a的两端及连接部8c的短边方向上的该导向槽30a的一端开口。该导向槽30a在连接部8c的短边方向上的开口被固定用支架31封闭。

另外，如果将与从上下方向观察时的形状成为细长的长圆形状的臂6的长边方向和上下方向正交的方向设为臂6的短边方向，则配线保持部件25的槽形成部件30的导向槽30a配置于臂6的短边方向上的臂6的中心位置。该导向槽30a与臂6的长边方向平行。臂6的长边方向上的该导向槽30a的两端及臂6的短边方向上的该导向槽30a的一端开口。该导向槽30a在臂6的短边方向上的开口被固定用支架31封闭。

从上下方向观察时，连接部8c的短边方向的中心线和臂6的短边方向的中心线的交点成为转动中心CL。在连接部8c和臂6以连接部8c的长边方向和臂6的长边方向一致的方式重叠时，在连接部8c、臂6的短边方向上，配线保持部件24的槽形成部件30的导向槽30a和配线保持部件25的槽形成部件30的导向槽30a配置于相同位置。另外，配线保持部件24和配线保持部件25配置于相同高度。即，保持于配线保持部件24的两根配线22和保持于配线保持部件25的两根配线22配置于相同高度。

导向部件28安装于共同臂8的前端侧。另外，导向部件28配置于臂6的上侧。具体而言，导向部件28通过螺丝固定于上表面部18b的上表面，并经由固定部件18安装于共同臂8的一前端部8b。导向部件28形成为大致圆柱状。两个导向部件28在连接部8c的长边方向上配置于相同位置。另外，两个导向部件28在连接部8c的短边方向上相邻配置，并且从上下方向观察时相对于连接部8c的短边方向的中心对称配置。

导向部件28在配线22的穿绕方向上配置于配线保持部件24和配线保持部件25之间。即，导向部件28在连接部8c和臂6以连接部8c的长边方向和臂6的长边方向一致的方式重叠时在连接部8c、臂6的长边方向上配置于配线保持部件24和配线保持部件25之间。配线保持部件25和导向部件28在配线22的穿绕方向上的距离比配线保持部件24和导向部件28在配线22的穿绕方向上的距离长。

在导向部件28的外周面形成有两个导向槽28a，在该两个导向槽28a中分别配置有在上下方向上以隔开间隔的状态重叠的两根配线22。导向槽28a例如形成为V槽状。随着臂6相对于共同臂8的转动动作而向水平方向弯曲的两根配线22的曲率半径根据导向槽28a的曲率半径来规定。两个导向槽28a的上下方向上的间距与槽形成部件30的两个导向槽30a的上下方向上的间距相等。

在连接部8c的短边方向上相邻配置的两个导向部件28中的一导向部件28的导向槽28a的底部和另一导向部件28的导向槽28a的底部在连接部8c的短边方向上的距离比配线22的外形稍大。两根配线22从两个导向部件28之间通过。在配线22的穿绕方向上，至少在配线保持部件24和配线保持部件25之间，两根配线22以在上下方向上隔开间隔的状态且沿上下方向重叠的状态穿绕。

从上下方向观察时，导向部件28配置于转动中心CL的附近。如图6所示，从上下方向观察时，导向部件28的中心配置于比转动中心CL靠共同臂8的前端的位置。另外，为了便于说明，如果将共同臂8的前端侧(图3的X1方向侧)设为左侧，将共同臂8的基端侧(图3的X2方向侧)设为右侧，则如图6所示，导向槽28a的右端配置于比转动中心CL靠右侧的位置。

配线保持部件26安装于共同臂8的前端侧。另外，配线保持部件26配置于臂6的上侧。具体而言，配线保持部件26通过螺丝固定于上表面部18b的上表面，且经由固定部件18安装于共同臂8的一前端部8b。配线保持部件27安装于臂6的基端侧。另外，配线保持部件27配置于臂6的上侧。具体而言，配线保持部件27通过螺丝固定于固定板29的上表面，经由固定板29安装于臂6的上表面。

配线保持部件26配置于比配线保持部件24靠共同臂8的前端的位置。配线保持部件27配置于比配线保持部件25靠臂6的前端的位置。即，在配线22的穿绕方向上，配线保持部件24、25及导向部件28配置于配线保持部件26和配线保持部件27之间。另外，配线保持部件27配置于比配线保持部件25靠下侧的位置。

在配线22的穿绕方向上的配线保持部件26、27的外侧，两根配线22以沿水平方向排列的状态穿绕。即，在配线保持部件24和配线保持部件25之间在上下方向上重叠的两根配线22的排列在配线保持部件24和配线保持部件26之间、及配线保持部件25和配线保持部件27之间从上下方向变为水平方向。

配线保持部件26和配线保持部件27形成为相同形状。配线保持部件26形成为连接部8c的长边方向的两侧及下侧开口的大致方形槽状(参照图7的(B))。保持于配线保持部件26的两根配线22在连接部8c的短边方向上排列。保持于配线保持部件26的两根配线22的下表面与上表面部18b的上表面接触。另外，配线保持部件27形成为臂6的长边方向的两侧及下表面开口的大致方形槽状。保持于配线保持部件27的两根配线22在臂6的短边方向上排列。保持于配线保持部件27的两根配线22的下表面与固定板29的上表面接触。

配线保持部件26配置于连接部8c的短边方向上的连接部8c的中心位置，配线保持部件27配置于臂6的短边方向上的臂6的中心位置。在连接部8c和臂6以连接部8c的长边方向和臂6的长边方向一致的方式重叠时，在连接部8c、臂6的短边方向上，配线保持部件26和配线保持部件27配置于相同位置。另外，此时，在臂6的短边方向上，配线保持部件24的槽形成部件30的导向槽30a、配线保持部件25的槽形成部件30的导向槽30a、配线保持部件26以及配线保持部件27配置于相同位置。

另外，机器人1具备从共同臂8的另一前端侧朝向臂7的前端侧穿绕的两根配线22和在关节部17保持两根配线22的配线保持结构23。因为设置于关节部17的配线保持结构23除了配线保持部件24、26及导向部件28固定于固定部件19的上表面部19b的上表面这一点及配线保持部件25、27经由固定板29安装于臂7的上表面这一点以外，与设置于关节部16的配线保持结构23同样地构成，因此省略设置于关节部17的配线保持结构23的说明。

(本实施方式的主要效果)

如上所述，在本实施方式中，在关节部16、17，安装于共同臂8的前端侧并且配置于臂6、7的上侧的配线保持部件24保持在上下方向上以隔开间隔的状态重叠的两根配线22，且安装于臂6、7的基端侧并且配置于臂6、7的上侧的配线保持部件25保持在上下方向上以隔开间隔的状态重叠的两根配线22。另外，在本实施方式中，安装于共同臂8的前端侧并且配置于臂6、7的上侧的导向部件28在配线22的穿绕方向上配置于配线保持部件24和配线保持部件25之间。

另外，在本实施方式中，在导向部件28的外周面形成有两个导向槽28a，在该两个导向槽28a中分别配置有在上下方向上以隔开间隔的状态重叠的两根配线22，两根配线22至少在配线保持部件24和配线保持部件25之间在上下方向上以隔开间隔的状态穿绕。因此，在本实施方式中，即使两根配线22从共同臂8的前端侧朝向臂6、7的前端侧穿绕，也能够防止关节部16、17的两根配线22彼此的接触。

另外，在保持于配线保持部件24、25的两根配线22在水平方向上排列的情况下，如果没有四个导向部件28，则无法限定两根配线22的曲率半径的大小，但在本实施方式中，因为保持于配线保持部件24、25的两根配线22在上下方向上以隔开间隔的状态重叠，所以能够通过两个导向部件28限定两根配线22的曲率半径的大小。因此，在本实施方式中，即使两根配线22从共同臂8的前端侧朝向臂6、7的前端侧穿绕，也能够以简易的结构防止关节部16、17的两根配线22彼此的接触。

此外，在本实施方式中，如果取代作为四芯电缆的两根配线22而使用一根具有八根线芯的八芯电缆，则不需要配线保持部件24、25。另外，在使用一根八芯电缆的情况下，在导向部件28的外周面形成一个导向槽28a即可。然而，与作为四芯电缆的配线22比较，因为八芯电缆不易弯曲，所以在使用八芯电缆的情况下，需要用于使随着臂6、7相对于共同臂8的转动动作而弯曲的八芯电缆弯曲的大的空间。与此相对，在本实施方式中，能够减小用于使配线22弯曲的空间。

在本实施方式中，从上下方向观察时，导向部件28配置于臂6、7相对于共同臂8的转动中心CL的附近。另外，在本实施方式中，配线保持部件25和导向部件28在配线22的穿绕方向上的距离比配线保持部件24和导向部件28在配线的穿绕方向上的距离长。因此，在本实施方式中，负载不易施加到随着臂6、7相对于共同臂8的转动动作而弯曲的配线22的弯曲的部分。因此，在本实施方式中，能够抑制随着臂6、7相对于共同臂8的转动动作而多次弯曲的配线22的、由于臂6、7的转动动作而导致的劣化。

在本实施方式中，配线保持部件24、25及导向部件28在配线22的穿绕方向上配置于配线保持部件26和配线保持部件27之间，在配线22的穿绕方向上的配线保持部件26、27的外侧，两根配线22以沿水平方向排列的状态穿绕。因此，在本实施方式中，在配线22的穿绕方向上的配线保持部件26、27的外侧，与两根配线22以沿上下方向重叠的状态穿绕的情况比较，能够紧凑地穿绕两根配线22。

(其他实施方式)

上述的实施方式为本发明的最佳实施方式的一例，但不限于此，在不变更本发明的主旨的范围内能够实施各种变形。

在上述的实施方式中，从共同臂8的前端侧朝向臂6、7的前端侧穿绕的配线22的数量也可以是三根以上。在该情况下，与配线22的根数相应的多个导向槽28a在上下方向上以规定的间距形成于导向部件28。另外，与配线22的根数相应的多个导向槽30a在上下方向上以规定的间距形成于槽形成部件30。

在上述的实施方式中，机器人1也可以取代共同臂8而单独地具备在前端侧以能够转动的方式连接臂6的基端侧的臂和在前端侧以能够转动的方式连接臂7的基端侧的臂。在该情况下，连接臂6的臂及连接臂7的臂为支承臂。另外，机器人1具备的手的个数也可以是一个。在该情况下，机器人1例如具备手4、臂6、以及在前端侧以能够转动的方式连接臂6的基端侧的臂。在该情况下，连接臂6的臂为支承臂。

在上述的实施方式中，由机器人1搬运的搬运对象物也可以是半导体晶圆等玻璃基板以外的物体。另外，在上述的实施方式中，机器人1也可以在机器人1的外部压力为大气压的环境下使用。此外，应用本发明的工业用机器人也可以是垂直多关节型的机器人。此时的机器人具备臂和在前端侧以能够转动的方式连接臂的基端侧的支承臂，例如，臂相对于支承臂以水平方向为转动的轴向转动。即，在该情况下，例如，水平方向为臂相对于支承臂转动的轴向即转动轴方向。

Claims (4)

1.一种工业用机器人，其特征在于，

具备：臂；支承臂，所述支承臂在前端侧以能够转动的方式连接所述臂的基端侧；多根配线，所述多根配线至少从所述支承臂的前端侧朝向所述臂的前端侧穿绕；以及配线保持结构，所述配线保持结构在所述臂和所述支承臂的连接部分即关节部保持多根所述配线，

所述配线保持结构具备：第一配线保持部件及第二配线保持部件，所述第一配线保持部件及第二配线保持部件保持在所述臂相对于所述支承臂的转动的轴向即转动轴方向上以隔开间隔的状态重叠的多根所述配线；以及导向部件，所述导向部件用于限定随着所述臂相对于所述支承臂的转动动作而弯曲的多根所述配线的曲率半径的大小，

所述第一配线保持部件安装于所述支承臂的前端侧并且在所述转动轴方向上配置于所述臂的一侧，

所述第二配线保持部件安装于所述臂的基端侧，并且在所述转动轴方向上配置于所述臂的一侧，

所述导向部件安装于所述支承臂的前端侧且在所述转动轴方向上配置于所述臂的一侧，并且在所述配线的穿绕方向上配置于所述第一配线保持部件和所述第二配线保持部件之间，

在所述导向部件的外周面形成有多个导向槽，在所述多个导向槽中分别配置有以在所述转动轴方向上隔开间隔的状态重叠的多根所述配线，所述配线保持结构具备保持沿与所述转动轴方向正交的方向排列的多根所述配线的第三配线保持部件及第四配线保持部件，

所述第三配线保持部件安装于所述支承臂的前端侧并且在所述转动轴方向上配置于所述臂的一侧，

所述第四配线保持部件安装于所述臂的基端侧并且在所述转动轴方向上配置于所述臂的一侧，

在所述配线的穿绕方向上，在所述第三配线保持部件和所述第四配线保持部件之间配置有所述第一配线保持部件、所述第二配线保持部件及所述导向部件。

2.根据权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于，

所述配线保持结构具备：用于限定所述臂向所述臂相对于所述支承臂的转动方向的一侧转动时的多根所述配线的曲率半径的大小的所述导向部件；以及用于限定所述臂向所述臂相对于所述支承臂的转动方向的另一侧转动时的多根所述配线的曲率半径的大小的所述导向部件。

3.根据权利要求1或2所述的工业用机器人，其特征在于，

从所述转动轴方向观察时，所述导向部件配置于所述臂相对于所述支承臂的转动中心的附近。

4.根据权利要求1或2所述的工业用机器人，其特征在于，

所述第二配线保持部件和所述导向部件在所述配线的穿绕方向上的距离比所述第一配线保持部件和所述导向部件在所述配线的穿绕方向上的距离长。