CN101277006A - 基板搬运装置和电缆配线构造 - Google Patents

基板搬运装置和电缆配线构造 Download PDF

Info

Publication number
CN101277006A
CN101277006A CNA2008100885372A CN200810088537A CN101277006A CN 101277006 A CN101277006 A CN 101277006A CN A2008100885372 A CNA2008100885372 A CN A2008100885372A CN 200810088537 A CN200810088537 A CN 200810088537A CN 101277006 A CN101277006 A CN 101277006A
Authority
CN
China
Prior art keywords
cable
housing
rotating parts
flat cable
rotation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CNA2008100885372A
Other languages
English (en)
Other versions
CN101277006B (zh
Inventor
末木英人
大野仁久
中山秀树
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokyo Electron Ltd
Original Assignee
Tokyo Electron Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Electron Ltd filed Critical Tokyo Electron Ltd
Publication of CN101277006A publication Critical patent/CN101277006A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101277006B publication Critical patent/CN101277006B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02G—INSTALLATION OF ELECTRIC CABLES OR LINES, OR OF COMBINED OPTICAL AND ELECTRIC CABLES OR LINES
    • H02G11/00—Arrangements of electric cables or lines between relatively-movable parts
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Electric Cable Arrangement Between Relatively Moving Parts (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

本发明涉及一种配线构造，当将电缆配置在旋转部件上时，能够抑制加在构成电缆的各线体上的负荷，并且防止当电缆伴随旋转部件的旋转而运动时发生相互摩擦或相互缠绕，更加节省电缆的配线空间。该配线构造包括收容电缆的壳体(110)、能够围绕铅直轴相对旋转地配设在壳体内上方的旋转板(126)、以及使排列带状的多条线体相互接合形成一体化的，将各线体以沿铅直方向排列的方式配置在旋转板上的扁平状的电缆(200)，将电缆(200)的一端安装在从旋转板的旋转中心错开的位置上，以从该处向下渐渐增大卷绕直径的螺旋状的方式，将电缆(200)的另一端安装在壳体上。

Description

基板搬运装置和电缆配线构造
技术领域
本发明涉及配置将电力和信号等供给如搭载有用于搬运半导体晶片或FPD(Flat Panel Display(平板显示器))基板等的搬运臂的旋转台那样带有旋转的机构的配有多条电缆的电缆配线构造和基板搬运装置。
背景技术
例如在半导体制造过程中对半导体晶片或FPD基板等的基板施加蚀刻和成膜等的预定处理的半导体制造装置中，为将基板运送到装置内的各个地方，而设置了具有搬运臂的基板搬运装置。搬运臂以能够改变臂的伸缩方向的方式安装在例如旋转台上。在这种基板搬运装置中，因为将搬运臂的驱动机构搭载在旋转台上，所以要求将用于将电力和信号供给该驱动机构的多条线体例如电线和电缆等配置在旋转台上。
当将例如多条电缆配置在这种旋转台等的旋转部件上时，一直以来，将多条电缆直接分散地配置在这种旋转部件与壳体内的底部之间，以不使这些电缆相互摩擦的程度，增大电缆的配线空间。
可是，近年来，伴随着半导体制造装置的多功能化，即便对于这种基板搬运装置也要求单元小型化，用于电缆配线的空间也要求尽可能节省空间化。另一方面，伴随着设置在旋转台上的搬运臂等的多功能化，存在着必须配置的电缆数也增加，进一步地供给的电力也增加电缆的直径也增大的倾向。
对于将这种电缆放入到比以前狭小的空间中，如果与现有技术同样直接分散配置电缆，则电缆的配线空间越狭小，当旋转台旋转，电缆运动时，电缆之间越容易相互摩擦或相互缠绕，因此可能会在电缆自身上加上负荷，导致电缆损伤、断线等。另外，当旋转台旋转，电缆运动时，因为许多电缆分散地相互缠绕运动，所以要预测整体形态和运动的轨迹是非常困难的。
在这种情况下，也考虑用电缆导管和电缆支架(ベア：bear)等将这许多电缆汇集成1条，但是当用这种电缆导管和电缆支架汇集时，因为电缆数越多，并且单体电缆的直径越粗，电缆导管和电缆支架也越粗，所以不能够将电缆导管和电缆支架自身放入到狭小的空间中。即便暂时能够放入，当旋转台旋转时，也可能会在电缆导管和电缆支架内许多电缆相互摩擦或在电缆上加上负荷。
此外，在专利文献1中，记载有如下的电缆装置，即，顺次地沿直径方向排列设置有形成为环状的多条单体电缆，使它们相互接合而形成为扁平形环状形式的集成电缆，并以在俯视图中沿上下方向曲折的形式将这种集成电缆弯曲成大致U字状。在该电缆装置中，当旋转弯曲部时，弯曲部沿上下方向胀开，由此，吸收弯曲部的相对旋转，防止电缆缠绕。在这种装置中，因为将弯曲部折成U字状，所以对单体电缆的直径比较小容易弯曲的情形是有效的。但是，如所述那样单体电缆的直径越大，不仅要弯曲成U字状本身变得越加困难，而且即便能够弯曲成U字状，因为加在各单体电缆的弯曲部分上的负荷变得极大，所以形成这种形态也是不适当的。
[专利文献1]日本特开2000-69655号专利公报
发明内容
因此，本发明就是鉴于这种问题提出的，其目的在于，提供一种电缆的配线构造和基板搬运装置，当将电缆配置在旋转部件上时，能够抑制加在构成电缆的各线体上的负荷，并且防止当电缆伴随旋转部件的旋转而运动时发生相互摩擦或相互缠绕，更加节省电缆的配线空间。
为了解决所述课题，根据本发明的观点，提供一种配线结构，其特征在于，包括：具有电缆配线空间的壳体；以俯瞰该电缆配线空间的方式，能够相对旋转地配设在所述壳体中的旋转部件、和使排列成带状的多条线体相互接合形成一体化的，将所述各线体以沿铅直方向排列的方式配置在所述旋转部件上，并收容在所述电缆配线空间中的扁平状的电缆，将所述扁平状电缆的一端安装在从所述旋转部件的旋转中心错开的位置上，以从该处向所述电缆配线空间渐渐增大卷绕直径的螺旋状的方式，将电缆的另一端安装在所述壳体上。此外，对于所述旋转部件，不仅包括例如如旋转台那样作为单体旋转的旋转部件主体，也包括安装在旋转部件主体上并与旋转部件主体一起旋转的旋转体、旋转板等。
为了解决所述课题，根据本发明的另一观点，提供一种电缆配线构造，将电缆配置在能够相对旋转的旋转部件上，其特征在于，所述电缆是使排列成带状的多条线体相互接合形成一体化的扁平状电缆，将所述扁平状电缆的一端安装在从所述旋转部件的铅直的旋转中心错开的位置上，从该处向铅直方向渐渐增大卷绕直径的螺旋状地进行配线。
如果根据这样的本发明，则扁平状电缆描绘与旋转部件的旋转相应地螺旋状的卷绕直径变化的轨迹(例如扭转振子运动)。由此，容易预测与旋转部件的旋转相应地变化的扁平状电缆的形态和轨迹，能够防止伴随着旋转部件的旋转扁平状电缆运动时的相互摩擦或相互缠绕。并且，因为采用使多条线体相互接合形成一体化的扁平状电缆，所以能够防止各线体的相互摩擦或相互缠绕。另外，通过使扁平状电缆的形态成为从旋转部件向电缆配线空间渐渐增大卷绕直径的螺旋状，即便构成扁平状电缆的线体的直径大，也能够减少加在各线体上的负荷。并且，因为以沿铅直方向形成螺旋状的方式进行配线，所以能够更加节省水平方向的电缆配线空间。进一步，通过将扁平状电缆的一端安装在从旋转部件的旋转中心错开的位置上，能够高效率地使用水平方向的电缆配线空间。
另外，优选所述旋转部件从它的始点角度到终点角度沿正反方向旋转，所述扁平状电缆的长度至少是从所述旋转部件的始点角度到终点角度与它的旋转角度相应地使所述扁平状电缆的卷绕直径变化的长度。由此，因为与由旋转部件使用的旋转角度的范围相应地限定扁平状电缆的形态和轨迹，所以与其配合能够将扁平状电缆的长度调整到必要的最小限。
另外，优选在所述扁平状电缆的卷绕直径成为最小时的所述旋转部件的旋转角度，所述扁平状电缆的一端与所述扁平状电缆的另一端沿水平方向错开。由此，能够使扁平状电缆的卷绕直径持有某种程度的扩展。由此，能够更加减低扁平状电缆的高度方向。
另外，优选在扁平状电缆的卷绕直径成为最小时的所述旋转部件的旋转角度，从所述旋转部件的中心观察所述扁平状电缆的一端与所述扁平状电缆的另一端在相同的一侧错开。由此，因为当旋转部件旋转扁平状电缆解开时，能够不向水平方向的相反侧扩展较大，所以即便关于电缆配线空间的水平方向也能够使其更加狭窄。
另外，优选构成所述扁平状电缆的多条线体全部具有同样的弯曲率。由此，当以扁平状电缆的卷绕直径变化的方式运动时，能够不在各线体上加上负荷。并且，优选构成所述扁平状电缆的多条线体全部具有相同的直径。由此，当扁平状电缆运动时，能够防止只在特定的线体(例如小直径电缆)上加上负荷。
另外，优选构成所述扁平状电缆的多条线体中，包含集束有多条单体电缆的多芯电缆。由此，能够减少构成扁平状电缆的线体的总数。
为了解决所述课题，根据本发明的其它观点，能够提供一种即板搬运机构，其特征在于，包括：能够相对旋转地设置在壳体上面的旋转台；用于搬运搭载在所述旋转台上的基板的搬运臂；配设在所述壳体内上方，能够与所述旋转台一起围绕铅直轴旋转的旋转板；和使排列成带状的多条线体相互接合形成一体化的，将所述各线体以沿铅直方向排列的方式配置在所述旋转板和所述壳体底面之间的空间中的扁平状电缆，将所述扁平状电缆的一端安装在从所述旋转板的旋转中心错开的位置上，以从该处向下渐渐增大卷绕直径的螺旋状的方式，将电缆的另一端安装在所述壳体上。
如果根据这样的本发明，则当将电缆配置在与旋转台一起旋转的旋转板上时，能够抑制加在构成电缆的各线体上的负荷，并且防止当电缆伴随旋转台(旋转板)的旋转而运动时发生相互摩擦或相互缠绕地，更加节省电缆的配线空间。由此，能够使整个基板搬运装置更加小型化。
发明的效果
如果根据本发明，则当将电缆配置在旋转部件上时，能够抑制加在构成电缆的各线体上的负荷，并且通过以容易预测其形态和轨迹的方式进行配线，能够防止当电缆伴随旋转部件的旋转而运动时的相互摩擦或相互缠绕，更加节省电缆的配线空间。
附图说明
图1是表示本发明的实施方式的基板搬运装置的剖面图。
图2是图1所示的电缆的P-P′的剖面图。
图3是表示当旋转台在始点角度时的电缆形式的外观的图。
图4是表示当旋转台在终点角度时的电缆形式的外观的图。
图5A是从上方观察当旋转台(旋转板)在作为始点角度的0度时的电缆的卷绕状态的图。
图5B是从上方观察当旋转台(旋转板)在从始点角度旋转90度时的电缆的卷绕状态的图。
图5C是从上方观察当旋转台(旋转板)在从始点角度旋转180度时的电缆的卷绕状态的图。
图5D是从上方观察当旋转台(旋转板)在从始点角度旋转270度时的电缆的卷绕状态的图。
符号说明
100    基板搬运装置
110    壳体
112    电缆驱动用电动机
113    法兰部
114    旋转轴(马区动轴)
115    法兰部
116    空间(配线空间)
118    孔
120    旋转台
122    配管
124    贯穿孔
126    旋转板
130    搬运臂
132，134    联杆
136    末端执行器
142    旋转轴(肩部轴)
144    旋转轴(肘角轴)
146    旋转轴(肘节轴)
150    上部连接器
152    L字部件
160    下部连接器
162    L字部件
200    电缆
210、220、230、240、250    线体
212、222、232、242、252    单体电缆
214、224、234、244、254    外皮
226、246    编织线
G    基板
具体实施方式
下面，参照附图，对本发明的最佳实施方式详细进行说明。此外，在本说明书和附图中，通过对于实质上具有相同的功能构成的构成要素，赋予相同的标号，而省略对它们的重复说明。
(基板搬运装置)
首先，参照附图对将本发明应用于搬运基板的基板搬运装置时的实施方式进行说明。图1是表示基板搬运装置的构成的剖面图。基板搬运装置100具有箱状的壳体110、能够自由旋转地设置在该壳体110上面的圆板状的旋转台120、和设置在旋转台120上的能够沿水平方向自由伸缩的搬运臂130。在本实施方式中，将在壳体110内的狭窄空间中配置用于向该旋转机构供给电力和信号等的电缆200的电缆配线构造作为示例。
壳体110做成上面开口的箱体状，在壳体110内的上部安装着用于使旋转台120围绕中心轴(垂直轴)转动或旋转的台驱动用电动机112。例如在台驱动用电动机112上设置有法兰部113，用螺栓等缔结部件将该法兰部113安装在壳体110的上部内表面上。台驱动用电动机112的旋转轴(驱动轴)114，从壳体110上面的开口部突出，借助法兰部115安装在旋转台120的下表面上。
搬运臂130构成为由例如如图1所示的3轴水平多关节机器人(斯卡拉机器人)构成的臂(机械手)。具体地说，搬运臂130通过将在水平面内能够旋转的2个联杆(第1联杆132，第2联杆134)和末端执行器136串联连接而成。更详细而言，配置在最下方的第1联杆132的基端部借助旋转轴(肩部轴)142在水平面内可旋转地安装在旋转台120上。
配置于第1联杆132上方的第2联杆134的基端部借助旋转轴(肘角轴)144在水平面内可旋转地安装在第1联杆132的前端部上。在第2联杆134的前端部上，借助旋转轴(肘节轴)146在水平面内可旋转地安装着作为载置并能够保持基板G的构成为钳状体的末端执行器136的基端部。
在第1，第2联杆132、134的内部，内藏着将安装在旋转台120上的未图示的臂伸缩驱动用电动机所产生的驱动力传递到各联杆部或手臂部的传动机构(例如皮带轮、皮带、减速机等)。在图1所示的示例中，构成为，以第1联杆132的基端部的旋转轴(肩部轴)142作为原点，使末端执行器136沿其长度方向直进运动，并且使各联杆132、134和末端执行器136连动地进行旋转运动。
如果根据所述搬运臂130，则通过驱动臂伸缩驱动用电动机，使臂沿水平方向伸缩，能够进行基板G的转移。此外，搬运臂130的构成不限于图1所示的构成。例如搬运臂130也能够是具有通过线性驱动能够伸缩的臂的线性滑动型的搬运臂。
在这种搬运臂130中，因为与旋转台120成为一体地旋转，所以能够使臂沿所需要的方向伸缩。这时，不使旋转台120进行1次以上的旋转，通过正旋转或逆旋转，而旋转到所要的角度。由此，能够将电缆200的长度抑制到最小限度。
在该旋转台120的下表面，安装有用于使配设在旋转台120内的所述臂伸缩驱动用电动机等的内部设备的配线通过的配管122。将该配管122***到贯穿台驱动用电动机112的旋转轴114而形成的贯穿孔124中，配管122的下端从电缆驱动用电动机112的下方伸出延伸到壳体110内地进行配置。在配管122的下端安装有圆板状的旋转板126。旋转板126以面向壳体110内的配线空间116的方式配置在壳体110内的上方。
在旋转板126的下方，例如借助L字部件152安装有连接配管122内的配线的上部连接器150。从而，这些配管122、旋转板126、上部连接器150与旋转台120成为一体地旋转。另一方面，在壳体110内的底面上，例如借助L字部件162安装有下部连接器160。这些上部连接器150和下部连接器160构成为例如将多个端子收容在连接器壳体中的多极连接器。
上部连接器150使搭载在旋转台120上的臂伸缩驱动用电动机等的内部设备的配线和电缆200相互电连接。下部连接器160使设置在壳体110外的电源装置等的外部设备的配线和电缆200相互电连接。此外，内部设备的配线经由例如所述配管122与旋转台120内的内部设备连接，外部设备的配线从例如设置在壳体110的底部的孔118伸出到壳体110的外面与外部设备连接。
上部连接器150和下部连接器160通过电缆200连接。该电缆200向所述臂伸缩驱动用电动机供给信号和电力，在后面说明其构成的详细情况。此外，在下部连接器160中，安装着未图示的配线，该配线从例如壳体110的孔118伸出到外部。而且，这些配线例如与外部的电源装置、控制装置等连接。
在这样构成的基板搬运装置100中，必须将电缆200配置在壳体110内的旋转板126下侧的空间116内。这种电缆的配线空间要求比现有技术更节省空间，另一方面，伴随着设置在旋转台上的搬运臂等的多功能化必须配置的电缆的数量增加，并且供给的电力等也增加，电缆的直径也增大。
另外，因为连接电缆200一端的上部连接器150围绕铅直轴旋转，并且连接电缆200的另一端的下部连接器160被固定在壳体110上，所以伴随上部连接器150的旋转，电缆200自身也运动，它的形态发生变化。从而，预测电缆200的轨迹，不管成为什么样的形态都必须以进入狭窄空间116内的方式配置电缆200。
可是，如本实施方式的基板搬运装置100所使用的电缆200那样，因为将电力和信号供给旋转机构那样的电缆由电力电缆和信号电缆等直径不同的许多电缆构成，所以如果直接分散地配置这些电缆，则当上部连接器150旋转电缆运动时，电缆之间发生相互摩擦或相互缠绕。因此，可能会在电缆自身上加上负荷，导致电缆损伤、断线等。另外，当上部连接器150旋转，电缆运动时，因为许多电缆分散地相互缠绕地运动，所以要预测整个形态和运动的轨迹是非常困难的。
这时，也考虑用电缆导管和电缆支架等将许多这些电缆汇集成1条，但是当用这种电缆导管和电缆支架汇集时，电缆数越多，并且各电缆的直径越粗，必须选择整体上相当粗的电缆导管和电缆支架，不能够将电缆导管和电缆支架自身放入到本实施方式那样狭窄的空间116中。即便假定能够放入，当上部连接器150旋转时，也可能会在电缆导管和电缆支架内许多电缆相互摩擦或在电缆上加上负荷。
因此，在本实施方式中，使电缆200采用将排列成带状的多条线体相互接合形成一体化的扁平状电缆，并使扁平状电缆200以向铅直方向渐渐增大卷绕直径的螺旋状的方式进行配线。由此，能够不使构成电缆200的多条线体之间发生相互摩擦或相互缠绕，即便构成电缆200的线体的直径大，也能够减少加在各线体上的负荷。
而且，因为通过上部连接器150与旋转板126一起正旋转或逆旋转，螺旋状的电缆200的运动成为只是或卷起或松开那样的卷绕直径变化的单调运动(例如扭转振子运动、扭转运动)，所以极容易预测整体的形态和它的运动轨迹。因此，因为容易决定电缆200的卷数、长度、两端部的位置等，以使电缆200不发生相互摩擦，或不与壳体110的内表面接触，所以能够高效率地使用狭窄的空间来进行电缆200配线。
(电缆的构成示例和配线)
参照附图对这样的本实施方式的电缆200的构成示例和配线示例更详细地进行说明。图2是图1所示的电缆200的P-P′的剖面图。首先，对电缆的构成示例进行说明。如图2所示，本实施方式的电缆200将多条(这里为5条)的线体210～250排列成一列，并将它们接合起来形成一体。由此，能够将电缆200制成扁平形状。
各线体210～250由将电源供给搬运臂的各轴的电动机或末端执行器等的多条电源电缆(电源线)、和用于在编码器、传感器类或各种控制设备与控制器之间传递控制信号的多条信号电缆(信号线)等构成。另外，各线体210～250，不仅是电缆，而且也能够包含由电线、供给液体或气体的中空的管子等构成的线体。
并且，各线体210～250是通过每1条或每多条地将相同直径或不同直径的多条单体电缆集束在一起构成的。当具有例如电源电缆那样的大直径的单体电缆和信号电缆那样的小直径的单体电缆时，通过将大直径的单体电缆每1条作为线体，将多条小直径的单体电缆集束起来制成多芯电缆，能够减少构成电缆200的线体的总数。
例如，线体210、230、250分别由1条大直径的单体电缆212、232、252构成，线体220由将3条小直径的单体电缆222集束起来得到的多芯电缆构成，线体240由将2条小直径的单体电缆242集束起来得到的多芯电缆构成。
此外，对由具有多条信号电缆的多芯电缆构成的线体都进行了屏蔽处理。这样，通过对信号电缆进行屏蔽处理，能够防止从电子设备自身产生的噪声引起的误动作或所产生噪声的传递。并且，当不使用多芯电缆时，对各个信号电缆需要用屏蔽电缆(未图示)。作为各个屏蔽电缆包括，例如由导体构成的芯线、覆盖芯线周围的绝缘内皮、设置在绝缘内皮周围的编织线、以及设置在编织线周围的绝缘外皮。
这些线体210～250分别以至少得到相同程度的弯曲率的方式调整弯曲强度。弯曲强度的调整，例如能够通过线体210～250的外皮(例如由绝缘性树脂构成的绝缘外皮)、214～254的厚度或材质进行调整，或者通过填充在线体220、240内的间隙中的编织线226、246或缓冲材料进行调整。此外，编织线是将细线编织成格子状得到的，但是也能够代替编织线将铜箔等用作屏蔽部件。
这样通过使线体210～250全部具有相同的弯曲率，当电缆200的卷绕直径变化地运动时，能够在各线体210～250上不加上负荷。又因为能够消除各线体210～250的弯曲强度的偏差，所以能够使电缆200以始终与铅直方向平行的状态中只进行卷绕直径变化那样的运动。由此，因为电缆200不倾斜，所以能够防止卷绕的电缆200之间发生接触。
另外，在本实施方式的电缆200中，不仅调整各线体210～250的弯曲率，而且也以使直径(粗细)达到相同程度的方式进行调整。关于直径(粗细)的调整，也与弯曲率的调整同样，能够通过外皮的厚度或材质、充填在各线体的间隙中的细丝或缓冲材料进行调整。例如如果将小直径电缆和大直径电缆和排列成一列，而将它们接合起来制成扁平形状，则当电缆200运动时容易将负荷加在小直径电缆上。从而，通过如本实施方式的电缆200那样，使各线体210～250全部具有相同的直径，而能够防止在电缆200运动时将负荷只加在特定的线体(例如小直径电缆)上。
下面，对电缆200的配线示例进行说明。这里，以使旋转台120从始点角度(这里为0度(degree))到终点角度(这里为270度(degree))通过正旋转和逆旋转，能够旋转到所需要的角度的方式进行控制。这时的电缆200的长度优选至少为从旋转台120的始点角度到终点角度与其旋转角度相对应地使电缆200的卷绕直径变化的长度。由此，因为与由旋转台120使用的旋转角度的范围相应地限定电缆200的形态和轨迹，所以与其相配合能够将电缆200的长度调整到必要的最小限度。
下面，参照图3～图5对这种情况下最佳的电缆200的配线示例进行说明。图3是表示当旋转台120在始点角度时的电缆200的形态外观的图，图4是表示当旋转台120在终点角度时的电缆200的形态外观的图。
在本实施方式中，以从图3所示的旋转台120在始点角度时的电缆200的状态到图4所示的旋转台120在终点角度时的电缆200的状态的电缆200的运动(轨迹)进入空间116内的方式进行配线。具体地说，如图3所示，沿铅直方向只离开高度HAB地并且沿水平方向只离开距离DAB地配置有与电缆200的一端连接的上部连接器150和与电缆200的另一端连接的下部连接器160。由此，能够将电缆200配置成从它的内径侧的一端到外径侧的另一端沿高度方向的螺旋状。这时，电缆200使各线条体210～250上下平行地卷绕。
这里，图5A～5D表示在壳体110的空间116内，如所述那样当配置电缆200时的电缆200的运动(轨迹)。图5A～5D是表示从始点角度到终点角度的电缆200的运动的图，分别是从上方观察电缆200的图。此外，在图5A～5D中省略了旋转台120，但是因为旋转台120和旋转板126一体地旋转，所以下面将旋转台120的角度作为旋转板126的角度进行说明。另外，在图5A～5D中，使下部连接器160的位置(固定)为B，使当旋转板126为始点角度时的上部连接器150的位置(始点)为A。
图5A表示当旋转板126在作为始点角度的0度(degree)时的电缆200的卷绕状态。图5B表示当旋转板126从始点角度向图中右边旋转90度(degree)时的电缆200的卷绕状态，图5C表示当旋转板126从始点角度向图中右边旋转180度(degree)时的电缆200的卷绕状态。图5D表示当旋转板126从始点角度向图中右边旋转作为终点角度的270度(degree)时的电缆200的卷绕状态，
如图5A所示，当旋转板126为始点角度时，电缆200处于最卷起的状态，电缆200的卷绕直径成为最小。随着旋转板126从该状态旋转到图5B，图5C，电缆200松开，电缆200的卷绕直径渐渐增大。而且，如图5D所示，当旋转板126为终点角度时，电缆200处于最松开的状态，电缆200的卷绕直径也成为最大。这样，即便电缆200的卷绕状态是图5A到5D中的某个状态，也不发生干涉，能够收容在空间116内。
这样，在螺旋状地配置在高度方向和水平方向扩展的空间116中的电缆200上，作为旋转台120为始点角度时的电缆200的一端的上部连接器150和作为另一端的下部连接器160优选沿水平方向错开配置。如图3所示，在本实施方式中，上部连接器150和下部连接器160沿水平方向只错开DAB地进行配置。
这样，通过使当旋转台120为始点角度时的电缆200的一端和另一端的水平方向的位置错开，能够使电缆200的卷绕直径持有某种程度的扩展。由此，能够使电缆200的配线空间116的高度方向更低。
因为越是例如将当旋转台120为始点角度时的作为电缆200的一端的上部连接器150的水平方向的位置和作为另一端的下部连接器160的水平方向的位置配置在旋转台120的接近旋转中心的位置上，卷绕直径越小，所以为了使电缆200不相互干涉，必须增大铅直方向的空间。
与此相对，因为通过使上部连接器150的水平方向的位置和作为另一端的下部连接器160的水平方向的位置分开，能够从内侧到外侧使卷绕直径渐渐增大，所以能够保持电缆200之间不相互干涉的状态，并且使上部连接器150和下部连接器160的高度HAB更低。由此，能够达到节省配置电缆200的壳体110内的空间的目的。
并且，如图3和图5A示，优选将当旋转台120为始点角度时的作为电缆200的一端的上部连接器150的水平方向的位置，从旋转台120的旋转中心错开地配置在作为另一端的下部连接器160的配置侧。在如图3所示，本实施方式中，从旋转台120的旋转中心只偏离DA地将上部连接器150配置在与下部连接器160相同一侧。
由此，因为当旋转台120旋转，电缆200松开时，能够不向水平方向的相反侧较大地扩展，所以即便对于电缆200的配线空间116的水平方向也能够使其更狭窄。
例如当旋转台120为始点角度时的作为电缆200的一端的上部连接器150的水平方向的位置越接近中心，当旋转台120旋转，电缆200松开时，因为电缆200越大地扩展到与上部连接器150的配设侧相反侧的空间(图3中从旋转台120的旋转中心右侧的空间)中，所以反而需要大的水平方向的空间。
与此相对，通过使当旋转台120为始点角度时的作为电缆200的一端的上部连接器150的水平方向的位置偏离旋转台120的旋转中心地进行配置，能够抑制较大地扩展到它的相反侧的空间，所以也能够使水平方向的空间更狭窄。因此，能够达到更加节省配置电缆200的壳体110内的空间的目的。
此外，在图3中例举了将作为电缆200的一端的上部连接器150安装在旋转板126的底面上的情形的示例，但未必限定于此。例如也能够将上部连接器150安装在旋转板126的侧面上。另外，在图3中例举了将作为电缆200的另一端的下部连接器160安装在壳体110的底面上的情形的示例，但未必限定于此。例如也能够将下部连接器160安装在壳体110的侧面上。
可是，优选与电缆200的端部的位置、配置电缆200的空间116的大小相应地决定所述电缆200的卷数和长度。例如本实施方式中的电缆200的卷数例如为1.5。如果根据该数目，则当如图5A所示使电缆200最卷起的旋转台120从始点角度，旋转到如图5D所示使电缆200最松开的终点角度时，在图5A～5D的任何状态中，都能够将电缆200收容在空间116内。此外，电缆200的卷数不限定于所述数目。
另外，在本实施方式中，我们说明了使旋转台120的始点角度为0度(degree)，终点角度为270度(degree)的情形，但未必限定于此。也能够与旋转台120的使用相应地，使终点角度为在0度(degree)～360度(degree)的范围内的任何角度。
另外，在本实施方式中，对下述情况进行了说明，即，例如如图3所示的电缆200那样，将扁平状电缆配置在旋转部件的下方的电缆配线空间内，并将扁平状电缆的一端安装在从旋转部件的旋转中心错开的位置上，以从该处向下方的电缆配线空间渐渐增大卷绕直径的螺旋状的方式，将电缆的另一端安装在壳体上。但是未必限定于此。虽然未图示但是也能够例如当将电缆配线空间设置在旋转部件的上方，并将扁平状电缆配置在该空间内时，将扁平状电缆的一端安装在从旋转部件的旋转中心错开的位置上，以从该处向上方的配线空间渐渐增大卷绕直径的螺旋状的方式，将电缆的另一端安装在壳体上。
以上，参照附图对本发明的最佳实施方式进行了说明，但是本发明当然不限定于有关的示例。如果是本领域技术人员，则在权利要求书中记载的范畴内，能够想到各种变更例或修正例是不言而喻的，对此也当然属于本发明的技术范围。
例如在所述的实施方式中，对将本发明应用于基板搬运装置的情形进行了说明，但是未必限定于此，例如也能够应用于将多条电缆配置在产业用机械人的旋转单元和工作机械中的旋转台等的旋转部件上的情形。
工业上应用的可能性
本发明能够应用于配置有将电力和信号等供给伴有旋转的机构的多条电缆的电缆配线构成和基板搬运装置。

Claims (9)

1.一种电缆配线构造，其特征在于：包括，
具有电缆配线空间的壳体；
以俯瞰该电缆配线空间的方式，能够相对旋转地配设在所述壳体中的旋转部件；以及
收容在所述电缆配线空间中的扁平状的电缆，该电缆由排列成带状的多条线体相互接合形成为一体，且所述各线体以沿铅直方向排列的方式配置在所述旋转部件上；
所述扁平状电缆的一端安装在从所述旋转部件的旋转中心错开的位置上，另一端以从该位置朝向所述电缆配线空间渐渐增大卷绕直径的螺旋状的方式安装在所述壳体上。
2.一种电缆配线构造，其特征在于：
所述旋转部件从它的始点角度到终点角度沿正反方向旋转；
所述扁平状电缆的长度至少是从所述旋转部件的始点角度到终点角度与其旋转角度相对应的所述扁平状电缆的卷绕直径变化的长度。
3.根据权利要求2所述的电缆配线构造，其特征在于：在所述扁平状电缆的卷绕直径成为最小时的所述旋转部件的旋转角度，所述扁平状电缆的一端与所述扁平状电缆的另一端沿水平方向错开。
4.根据权利要求2所述的电缆配线构造，其特征在于：在所述扁平状电缆的卷绕直径成为最小时的所述旋转部件的旋转角度，从所述旋转部件的中心观察，所述扁平状电缆的一端与所述扁平状电缆的另一端在相同的一侧错开。
5.根据权利要求1所述的电缆配线构造，其特征在于：构成所述扁平状电缆的多条线体全部具有同样的弯曲率。
6.根据权利要求5所述的电缆配线构造，其特征在于：构成所述扁平状电缆的多条线体全部具有相同的直径。
7.根据权利要求1所述的电缆配线构造，其特征在于：在构成所述扁平状电缆的多条线体中，包含集束有多条单体电缆的多芯电缆。
8.一种基板搬运机构，其特征在于：包括，
能够相对旋转地设置在壳体上面的旋转台；
用于搬运搭载在所述旋转台上的基板的搬运臂；
配设在所述壳体内的上方，能够与所述旋转台一起围绕铅直轴旋转的旋转板；以及
配置在所述旋转板和所述壳体底面之间的空间中的扁平状电缆，该电缆由排列成带状的多条线体相互接合形成为一体、且所述各线体沿铅直方向排列，
所述扁平状电缆的一端安装在从所述旋转板的旋转中心错开的位置上，该电缆的另一端以从该位置向下渐渐增大卷绕直径的螺旋状的方式安装在所述壳体上。
9.一种电缆配线构造，用于将电缆配置在能够相对旋转的旋转部件上，其特征在于：
所述电缆是由排列成带状的多条线体相互接合形成为一体的扁平状的电缆；
所述扁平状的电缆的一端安装在从所述旋转部件的铅直的旋转中心错开的位置上，并配置成从该位置向铅直方向渐渐增大卷绕直径的螺旋状。
CN2008100885372A 2007-03-27 2008-03-27 基板搬运装置和电缆配线构造 Expired - Fee Related CN101277006B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007-080639 2007-03-27
JP2007080639A JP5037191B2 (ja) 2007-03-27 2007-03-27 基板搬送装置及びケーブル配線構造

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101277006A true CN101277006A (zh) 2008-10-01
CN101277006B CN101277006B (zh) 2010-11-10

Family

ID=39916063

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2008100885372A Expired - Fee Related CN101277006B (zh) 2007-03-27 2008-03-27 基板搬运装置和电缆配线构造

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP5037191B2 (zh)
KR (1) KR100978409B1 (zh)
CN (1) CN101277006B (zh)
TW (1) TWI445115B (zh)

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102371591A (zh) * 2010-07-21 2012-03-14 雅马哈发动机株式会社 头驱动装置及元件安装装置
CN104515633A (zh) * 2013-09-26 2015-04-15 纳米新能源（唐山）有限责任公司 摩擦电压力感应电缆
CN104552289A (zh) * 2013-10-29 2015-04-29 精工爱普生株式会社 机器人
CN106044397A (zh) * 2016-07-07 2016-10-26 诺力机械股份有限公司 一种盘线盒
US9663244B2 (en) 2013-03-31 2017-05-30 SZ DJI Technology Co., Ltd. Payload mounting platform
CN107766667A (zh) * 2017-10-27 2018-03-06 中国空间技术研究院 一种空间运动电缆走向设计方法
CN108238488A (zh) * 2016-12-27 2018-07-03 株式会社迪思科 传递线罩组装体和加工装置
CN108527375A (zh) * 2017-03-03 2018-09-14 欧姆龙株式会社 控制***、控制器、控制方法及记录媒体
CN111673714A (zh) * 2019-03-11 2020-09-18 发那科株式会社 机器人
CN113905852A (zh) * 2019-07-17 2022-01-07 Abb瑞士股份有限公司 机器人臂连杆和机器人
CN114538102A (zh) * 2020-11-24 2022-05-27 日本电产三协株式会社 工业用机器人

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5628509B2 (ja) * 2009-10-21 2014-11-19 株式会社アイエイアイ 電動プレス装置
KR20130126602A (ko) * 2010-10-27 2013-11-20 고어 엔터프라이즈 홀딩즈, 인코포레이티드 회전 가능한 어레이를 포함하는 이미징 카테터
JP5718134B2 (ja) * 2011-04-11 2015-05-13 ヤマハ発動機株式会社 ロボット
LU91826B1 (de) 2011-06-17 2012-12-18 Ipalco Bv Vorrichtung zum Ab- und Aufwickeln einer oder mehreren Leitungen
CN107866820A (zh) * 2017-12-26 2018-04-03 哈尔滨思哲睿智能医疗设备有限公司 一种连杆结构机械臂旋转过线结构
JP7081311B2 (ja) * 2018-06-04 2022-06-07 京セラドキュメントソリューションズ株式会社 画像形成装置
JP7290312B2 (ja) * 2018-07-03 2023-06-13 株式会社アイエイアイ アクチュエータ及びスカラロボット
JP2020088995A (ja) * 2018-11-21 2020-06-04 ゲイツ・ユニッタ・アジア株式会社 回転部材間の配線構造
JP7016326B2 (ja) * 2019-01-09 2022-02-04 上銀科技股▲分▼有限公司 連結モジュール
US10836052B2 (en) 2019-02-06 2020-11-17 Hiwin Technologies Corp. Connection module using in robot

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5316516B2 (zh) * 1972-06-12 1978-06-01
JPS6113530U (ja) * 1984-06-25 1986-01-27 三菱電線工業株式会社 光・電力複合ケ−ブルの巻取装置
JPS6146191U (ja) * 1984-08-29 1986-03-27 ぺんてる株式会社 多関節型ロボツトのア−ム間配線装置
JPS62207114A (ja) * 1986-03-05 1987-09-11 三菱電機株式会社 旋回部におけるケ−ブルの配線構造
JPH06318045A (ja) * 1993-05-07 1994-11-15 Kokusai Electric Co Ltd 回動表示装置
KR200152377Y1 (ko) * 1996-09-30 1999-07-15 김재복 로보트의 이동부위 또는 회전부위용 컬케이블
JP3284936B2 (ja) * 1997-08-25 2002-05-27 住友電装株式会社 移動用ケーブル
JP4635301B2 (ja) * 2000-06-28 2011-02-23 シンフォニアテクノロジー株式会社 産業用ロボット

Cited By (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102371591B (zh) * 2010-07-21 2014-10-08 雅马哈发动机株式会社 头驱动装置及元件安装装置
CN102371591A (zh) * 2010-07-21 2012-03-14 雅马哈发动机株式会社 头驱动装置及元件安装装置
US10179658B2 (en) 2013-03-31 2019-01-15 SZ DJI Technology Co., Ltd. Payload mounting platform
US9663244B2 (en) 2013-03-31 2017-05-30 SZ DJI Technology Co., Ltd. Payload mounting platform
US9663245B2 (en) 2013-03-31 2017-05-30 SZ DJI Technology Co., Ltd. Payload mounting platform
US11001395B2 (en) 2013-03-31 2021-05-11 SZ DJI Technology Co., Ltd. Payload mounting platform
US10556708B2 (en) 2013-03-31 2020-02-11 SZ DJI Technology Co., Ltd. Payload mounting platform
CN104515633A (zh) * 2013-09-26 2015-04-15 纳米新能源（唐山）有限责任公司 摩擦电压力感应电缆
CN104552289A (zh) * 2013-10-29 2015-04-29 精工爱普生株式会社 机器人
CN106044397A (zh) * 2016-07-07 2016-10-26 诺力机械股份有限公司 一种盘线盒
CN108238488A (zh) * 2016-12-27 2018-07-03 株式会社迪思科 传递线罩组装体和加工装置
CN108527375A (zh) * 2017-03-03 2018-09-14 欧姆龙株式会社 控制***、控制器、控制方法及记录媒体
CN107766667B (zh) * 2017-10-27 2021-04-13 中国空间技术研究院 一种空间运动电缆走向设计方法
CN107766667A (zh) * 2017-10-27 2018-03-06 中国空间技术研究院 一种空间运动电缆走向设计方法
CN111673714A (zh) * 2019-03-11 2020-09-18 发那科株式会社 机器人
CN113905852A (zh) * 2019-07-17 2022-01-07 Abb瑞士股份有限公司 机器人臂连杆和机器人
CN113905852B (zh) * 2019-07-17 2023-08-25 Abb瑞士股份有限公司 机器人臂连杆和机器人
CN114538102A (zh) * 2020-11-24 2022-05-27 日本电产三协株式会社 工业用机器人
CN114538102B (zh) * 2020-11-24 2024-02-06 日本电产三协株式会社 工业用机器人

Also Published As

Publication number Publication date
CN101277006B (zh) 2010-11-10
JP5037191B2 (ja) 2012-09-26
TW200908187A (en) 2009-02-16
KR100978409B1 (ko) 2010-08-26
JP2008245390A (ja) 2008-10-09
KR20080087739A (ko) 2008-10-01
TWI445115B (zh) 2014-07-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101277006B (zh) 基板搬运装置和电缆配线构造
US8668428B2 (en) Horizontal articulated robot and substrate transfer system provided with the same
US7202442B2 (en) Cable arrangement for robot arm, and industrial robot utilizing the same
CN106687259B (zh) 线缆管理***、旋转关节和机器人
JP2010284777A (ja) ロボット回転軸のケーブル保持構造
US20080056859A1 (en) Drive mechanism for industrial robot arm
JP2007015053A (ja) 産業用ロボット
JP2011067893A (ja) 溶接ロボットにおけるワイヤ送給装置の設置構造
JP2017004716A (ja) ケーブル
CN112566761A (zh) 关节机器人的线缆引导装置
US6361237B1 (en) Coupling device
CN106737866A (zh) 一种适用于机器人执行器的线缆约束装置
JP2009006454A (ja) 溶接ロボットにおけるワイヤ送給装置の設置方法、溶接ロボットにおけるワイヤ送給装置の設置構造及び溶接ロボット
US5848556A (en) Robot having dust minimizing cable arrangement
CA2721181C (en) Hose bundle for a welding device
JP7319116B2 (ja) 回転装置
KR20170082104A (ko) 케이블류 지지 장치용 가이드 체인 및 이를 포함하는 케이블류 지지 장치
US8794563B2 (en) Integrated connector assembly for a rotary apparatus
JP2019209384A (ja) ロボット
JP6260137B2 (ja) 産業用ロボット
JP2008018475A (ja) 旋回部の配線又は配管機構
JP2003275987A (ja) スカラ型ロボット
CN104440940A (zh) 机械手臂以及机器人
CN110573307A (zh) 机器人肢体
JP7069757B2 (ja) 水平多関節ロボット

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20101110

Termination date: 20170327

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee