CN114293159A - 一种镍基合金靶材的制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种镍基合金靶材的制备方法，属于金属靶材制备领域。该方法包括以下步骤：首先将铝和钇一同置于真空熔炼炉内的坩埚里，进行熔炼得到铝钇中间合金熔液，然后浇铸到模具中得到铝钇中间合金；其次将铝钇中间合金、镍、铬、硅与硼一同置于真空熔炼炉内的坩埚里，进行熔炼得到镍铬铝钇硅硼熔液，然后浇铸到模具中得到镍基六元合金实心圆锭坯；最后将镍基六元合金实心圆锭坯依次进行热等静压处理、热挤压处理、退火、校直冷却、机加工后，得到镍铬铝钇硅硼管靶。该方法大幅度提高了镍基合金的致密度，细化晶粒，克服了高、低熔点物的偏析问题，同时有效地降低了氧含量，缩孔，气孔等问题。
Description
技术领域
本发明涉及一种镍基合金靶材的制备方法，属于金属靶材制备领域。
背景技术
镍铬铝钇硅涂层由于具备抗高温氧化、抗高温腐蚀及抗高温磨损性能，被广泛应用于航空高温耐热涂层或热障涂层的粘接底层。其可耐800-1000℃的高温，在高温下形成致密的氧化物保护膜以保护基体金属不被氧化，并避免环境介质的腐蚀。目前镍铬铝钇硅合金靶材主要是通过真空熔炼技术得到的。镍铬铝钇硅合金中各个元素的熔点、密度、热膨胀系数等性质均存在着较大的差异。在熔炼的过程中，合金铸锭中往往存在着组分不均匀、大量的缩孔、气孔和裂纹等缺陷，导致生产效率低下。
众所周知，靶材的质量对溅射薄膜的性能有着关键的决定作用。这就对靶材的纯度、晶粒尺寸、均匀性等方面提出了更高的要求。另外，旋转靶材的利用率可高达80％以上，而平面靶材利用率只能达到30％。靶材的利用率也直接影响了靶材溅射的效率和成本方面。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术的不足，本专利提供了一种镍铬铝钇硅旋转靶材制备方法。该方法大幅度提高了镍基合金的致密度，细化晶粒，克服了高、低熔点物的偏析问题，同时有效地降低了氧含量，缩孔，气孔等问题。
为实现上述目的，本发明采取的技术方案为：一种镍基合金靶材的制备方法，包括以下步骤：
(1)将铝和钇一同置于真空熔炼炉内的坩埚里，进行熔炼得到铝钇中间合金熔液，然后浇铸到模具中得到铝钇中间合金；
(2)将铝钇中间合金、镍、铬、硅与硼一同置于真空熔炼炉内的坩埚里，进行熔炼得到镍铬铝钇硅硼熔液，然后浇铸到模具中得到镍基六元合金实心圆锭坯；
(3)将步骤(2)所得镍基六元合金实心圆锭坯置于热等静压炉中进行热等静压处理；
(4)将步骤(3)所得镍基六元合金实心圆锭坯进行热挤压处理，得到镍铬铝钇硅硼管坯；
(5)将步骤(4)所得镍铬铝钇硅硼管坯依次进行退火、校直冷却、机加工后，得到镍铬铝钇硅硼管靶。
本发明所制备的镍铬铝钇硅硼管靶含有六种元素，不同元素之间的密度和熔点有差异，因此先将铝和钇进行熔炼，得到铝钇中间合金后，再和其它元素进行熔炼，可以有效防止由于高低熔点金属熔炼时而容易出现偏析等问题。采用真空感应熔炼，能够避免引入气体杂质，在熔炼过程中，使用电磁搅拌，使得镍基合金熔液更加均匀，浇铸得到的镍基六元合金实心圆锭坯成分更加均匀。
采用热等静压与热挤压处理，使得得到的镍基管坯的致密度大大的提高，且有效破碎粗大铸造组织，获得细小的等轴晶粒。真空熔炼得到的镍基合金圆锭坯，内部存在着些许的微裂纹和小尺寸气孔等铸态缺陷，热等静压可使得微裂纹和小尺寸气孔闭合，提高镍基合金圆锭坯的致密度。通过对镍基合金圆锭坯进行热挤压操作得到镍基合金管靶，解决了铸态合金内部组织粗大、晶粒分布不均匀等问题。采用液压校形机对镍基合金进行校形，便于后续旋转靶材机加工。本发明的制备方法操作性好，生产效率高，可大大节省生产成本。
作为本发明镍基合金靶材制备方法的优选实施方式，所述步骤(1)中，熔炼的温度为1300～1500℃，时间为5～15min。
钇的熔点为1522℃，铝的熔点为660℃，在真空熔炼炉中，熔炼的温度为1300～1500℃时能够将铝和钇熔融。
作为本发明镍基合金靶材制备方法的优选实施方式，所述步骤(2)中，熔炼的温度为1500～1800℃，时间为5～15min。
镍、铬、硅与硼的熔点都比较高，熔炼时需要提高熔炼温度，保证所有原材料都能熔融。
作为本发明镍基合金靶材制备方法的优选实施方式，所述步骤(2)中，镍基六元合金实心圆锭坯中各元素的质量分数为：Cr：15％～20％，Al：10％～15％，Y：0.2％～1.0％，Si：0.6％～1.2％，B：0.05％～0.1％，余量为Ni和其它不可避免的杂质。
作为本发明镍基合金靶材制备方法的优选实施方式，所述步骤(3)中，热等静压的温度为1050～1200℃，压力为80～150Mpa，时间为2～5h，升温速率为3～10℃/min。
镍基六元合金实心圆锭坯在热等静压机中高温高压作用下，内部疏松等孔洞类缺陷会发生塑性变形及蠕变行为，进而在塌陷区表面发生扩散行为完成孔洞愈合，使合金更加致密。蠕变过程离不开溶质原子在基体中的扩散，其中温度和压力是溶质原子扩散的两个驱动因素，它们相互作用影响着蠕变孔洞的愈合速率，热等静压对镍基六元合金实心圆锭坯的致密化处理过程是由多机制、多影响因素协同作用的结果，温度、时间和压力均是影响热等静压处理的因素。在上述热等静压参数下，能够消除镍基六元合金实心圆锭坯内部的的微裂纹和小尺寸气孔等铸态缺陷，提高镍基合金圆锭坯的致密度。
作为本发明镍基合金靶材制备方法的优选实施方式，所述步骤(4)中，热挤压的温度1100～1300℃，热挤压的速度为10～30cm/min。
热挤压的温度需要和镍基六元合金实心圆锭坯的加热温度接近，相近的温度不会因温差过大导致镍铬铝钇硅硼管坯出现微裂纹和小尺寸气孔等问题。
作为本发明镍基合金靶材制备方法的优选实施方式，所述步骤(4)中，镍基六元合金实心圆锭坯在热挤压前需要加热处理，加热温度为1250～1450℃，加热时间为1～4h。
当加热温度为1250～1450℃，加热时间为1～4h时，镍基六元合金实心圆锭坯处于半熔融的状态，熔解的晶相组织不会从固溶体中析出或呈现小颗粒的弥散析出。
作为本发明镍基合金靶材制备方法的优选实施方式，所述步骤(5)中，退火的温度为500～900℃，时间为1～4h。
将镍铬铝钇硅硼管坯进行退火处理，能够提高镍铬铝钇硅硼管坯内部组织的均匀性。
作为本发明镍基合金靶材制备方法的优选实施方式，所述步骤(5)中，校直后的镍铬铝钇硅硼管坯的直线度小于1mm/m。
校直后的镍铬铝钇硅硼管坯的直线度小于1mm/m，有利于镍铬铝钇硅硼管坯的后续加工，减少后续加工的难度。
作为本发明镍基合金靶材制备方法的优选实施方式，所述真空熔炼炉的真空度小于0.1Pa。
真空熔炼炉的真空度小于0.1Pa，有效地避免金属在熔炼过程中形成氧化物。
与现有技术相比，本发明的有益效果为：
1)通过真空熔炼工序得到镍基合金，大大降低了镍基合金圆锭坯的含氧量，提高了锭坯的纯度；
2)通过热等静压进行致密化处理，使得微裂纹和小尺寸气孔闭合，提高镍基合金实心圆锭坯的致密度。
3)通过热挤压制备高纯镍合金管坯，有效破碎高纯合金管坯内的粗大铸造组织；
4)热挤压成型的高纯镍合金管坯直接采用校直机进行校直，制备流程短，节约了生产时间和成本。
5)本发明提供的高纯镍合金制备方法得到的合金靶材成品率高、晶粒细小、内部组织均匀；
6)本发明提供的高纯镍合金旋转靶材溅射更稳定，使用时成膜均匀，有利于获得厚度均匀的高质量薄膜，提高靶材利用率。
附图说明
图1为本发明镍基合金靶材制备方法的工艺流程图。
具体实施方式
为更好的说明本发明的目的、技术方案和优点，下面将结合具体实施例和附图对本发明作进一步的说明。
图1为本发明镍基合金靶材制备方法的工艺流程图。本发明镍基合金靶材制备方法的具体步骤如下述实施例所示。
实施例1
本实施例提供了一种镍基合金靶材的制备方法，包括以下步骤：
(1)将铝和钇一起置于真空熔炼炉内的坩埚里，然后进行抽真空和感应加热升温，真空度小于0.1Pa，待熔炼温度升至1400℃，保温10min，得到铝钇中间合金熔液；随后，浇铸到模具中得到铝钇中间合金；
(2)将铝钇中间合金、镍、铬、硅与硼等元素金属一同置于真空熔炼炉内的坩埚里，然后进行抽真空和感应加热升温，真空度小于0.1Pa，待熔炼温度升至1400℃，保温10min，得到镍铬铝钇硅硼熔液；将镍铬铝钇硅硼熔液浇铸到石墨模具中冷却至室温，得到镍基六元合金实心圆锭坯；其中铸锭中各元素的质量分数为：Cr：15％～20％，Al：10％～15％，Y：0.2％～1.0％，Si：0.6％～1.2％，B：0.05％～0.1％，余量为Ni和其它不可避免的杂质；
(3)将热等静压炉进行抽真空处理，直至热等静压炉的真空度小于等于100Pa，并向热等静压炉中填充惰性气体或氮气。填充惰性气体或氮气后，将冷却后的镍基合金实心圆锭坯直接放入热等静压炉中升温和加压；热等静压炉的热等静压温度为1150℃，设置热等静压炉的热等静压升温速度为6℃/min，设置热等静压炉的热等静压压力为110Mpa，并在此热等静压温度和热等静压压力下保温时间为4h；随炉冷却，使微裂纹和小尺寸气孔闭合，提高镍基六元合金实心圆锭坯的致密度；
(4)将步骤(3)所得镍基六元合金实心圆锭坯置于加热炉中，设置加热温度1350℃，加热时间为3h，使其呈半熔融状态，保证可溶解的晶相组织不从固溶中析出或呈现小颗粒的弥散析出；
依照产品的尺寸设计准备好镍基六元合金的挤压模具，并将模具安装在双动反向挤压机内；将挤压筒与挤压杆进行预热，预热的温度为1200℃，并在挤压筒表面均匀涂抹润滑剂；将加热后的镍基六元合金坯锭取出，在镍基六元合金坯锭外表面均匀涂抹润滑剂后转移至挤压筒，转移的时间为20s。控制挤压速度为20cm/min，在双动反向挤压机和模具的共同作用下，镍铬铝钇硅硼管坯从双动反向挤压机出口处缓慢挤出；
(5)将冷却后的镍合金管坯在700℃进行再结晶退火，保温2小时，提高其内部组织均匀性；
(6)采用液压校形机对再结晶退火的镍铬铝钇硅硼管坯进行校形，使镍铬铝钇硅硼管坯的直线度小于1mm/m；随后，将镍铬铝钇硅硼管坯转移至水中冷却；
(7)将校直冷却后的镍铬铝钇硅硼管坯在数控机床上依次进行切断，外圆，内圆，长度粗精机加工，得到镍铬铝钇硅硼管靶。其中，单边进刀量为0.05～0.10mm，精加工后的镍铬铝钇硅硼管靶的尺寸精度和表面粗糙度达到规定要求；在车削的过程中，需要喷冷却液，达到降温冷却作用。
实施例2
本实施例提供了一种镍基合金靶材的制备方法，本实施例与实施例1的区别仅在于：步骤(5)中，退火温度为900℃。
实施例3
本实施例提供了一种镍基合金靶材的制备方法，本实施例与实施例1的区别仅在于：步骤(5)中，退火时间为4小时。
实施例4
本实施例提供了一种镍基合金靶材的制备方法，包括以下步骤：
(1)将铝和钇一起置于真空熔炼炉内的坩埚里，然后进行抽真空和感应加热升温，真空度小于0.1Pa，待熔炼温度升至1300℃，保温15min，得到铝钇中间合金熔液；随后，浇铸到模具中得到铝钇中间合金；
(2)将铝钇中间合金、镍、铬、硅与硼等元素金属一同置于真空熔炼炉内的坩埚里，然后进行抽真空和感应加热升温，真空度小于0.1Pa，待熔炼温度升至1500℃，保温15min，得到镍铬铝钇硅硼熔液；将镍铬铝钇硅硼熔液浇铸到石墨模具中冷却至室温，得到镍基六元合金实心圆锭坯；其中铸锭中各元素的质量分数为：Cr：15％～20％，Al：10％～15％，Y：0.2％～1.0％，Si：0.6％～1.2％，B：0.05％～0.1％，余量为Ni和其它不可避免的杂质；
(3)将热等静压炉进行抽真空处理，直至热等静压炉的真空度小于等于100Pa，并向热等静压炉中填充惰性气体或氮气。填充惰性气体或氮气后，将冷却后的镍基合金实心圆锭坯直接放入热等静压炉中升温和加压；热等静压炉的热等静压温度为1050℃，设置热等静压炉的热等静压升温速度为3℃/min，设置热等静压炉的热等静压压力为80Mpa，并在此热等静压温度和热等静压压力下保温时间为5h；随炉冷却，使微裂纹和小尺寸气孔闭合，提高镍基六元合金实心圆锭坯的致密度；
(4)将步骤(3)所得镍基六元合金实心圆锭坯置于加热炉中，设置加热温度1250℃，加热时间为4h，使其呈半熔融状态，保证可溶解的晶相组织不从固溶中析出或呈现小颗粒的弥散析出；
依照产品的尺寸设计准备好镍基六元合金的挤压模具，并将模具安装在双动反向挤压机内；将挤压筒与挤压杆进行预热，预热的温度为1100℃，并在挤压筒表面均匀涂抹润滑剂；将加热后的镍基六元合金坯锭取出，在镍基六元合金坯锭外表面均匀涂抹润滑剂后转移至挤压筒，转移的时间为20s。控制挤压速度为10cm/min，在双动反向挤压机和模具的共同作用下，镍铬铝钇硅硼管坯从双动反向挤压机出口处缓慢挤出；
(5)将冷却后的镍合金管坯在700℃进行再结晶退火，保温1小时，提高其内部组织均匀性；
(6)采用液压校形机对再结晶退火的镍铬铝钇硅硼管坯进行校形，使镍铬铝钇硅硼管坯的直线度小于1mm/m；随后，将镍铬铝钇硅硼管坯转移至水中冷却；
(7)将校直冷却后的镍铬铝钇硅硼管坯在数控机床上依次进行切断，外圆，内圆，长度粗精机加工，得到镍铬铝钇硅硼管靶。其中，单边进刀量为0.05～0.10mm，精加工后的镍铬铝钇硅硼管靶的尺寸精度和表面粗糙度达到规定要求；在车削的过程中，需要喷冷却液，达到降温冷却作用。
实施例5
本实施例提供了一种镍基合金靶材的制备方法，包括以下步骤：
(1)将铝和钇一起置于真空熔炼炉内的坩埚里，然后进行抽真空和感应加热升温，真空度小于0.1Pa，待熔炼温度升至1500℃，保温5min，得到铝钇中间合金熔液；随后，浇铸到模具中得到铝钇中间合金；
(2)将铝钇中间合金、镍、铬、硅与硼等元素金属一同置于真空熔炼炉内的坩埚里，然后进行抽真空和感应加热升温，真空度小于0.1Pa，待熔炼温度升至1800℃，保温5min，得到镍铬铝钇硅硼熔液；将镍铬铝钇硅硼熔液浇铸到石墨模具中冷却至室温，得到镍基六元合金实心圆锭坯；其中铸锭中各元素的质量分数为：Cr：15％～20％，Al：10％～15％，Y：0.2％～1.0％，Si：0.6％～1.2％，B：0.05％～0.1％，余量为Ni和其它不可避免的杂质；
(3)将热等静压炉进行抽真空处理，直至热等静压炉的真空度小于等于100Pa，并向热等静压炉中填充惰性气体或氮气。填充惰性气体或氮气后，将冷却后的镍基合金实心圆锭坯直接放入热等静压炉中升温和加压；热等静压炉的热等静压温度为1200℃，设置热等静压炉的热等静压升温速度为10℃/min，设置热等静压炉的热等静压压力为150Mpa，并在此热等静压温度和热等静压压力下保温时间为2h；随炉冷却，使微裂纹和小尺寸气孔闭合，提高镍基六元合金实心圆锭坯的致密度；
(4)将步骤(3)所得镍基六元合金实心圆锭坯置于加热炉中，设置加热温度1450℃，加热时间为1h，使其呈半熔融状态，保证可溶解的晶相组织不从固溶中析出或呈现小颗粒的弥散析出；
依照产品的尺寸设计准备好镍基六元合金的挤压模具，并将模具安装在双动反向挤压机内；将挤压筒与挤压杆进行预热，预热的温度为1300℃，并在挤压筒表面均匀涂抹润滑剂；将加热后的镍基六元合金坯锭取出，在镍基六元合金坯锭外表面均匀涂抹润滑剂后转移至挤压筒，转移的时间为20s。控制挤压速度为30cm/min，在双动反向挤压机和模具的共同作用下，镍铬铝钇硅硼管坯从双动反向挤压机出口处缓慢挤出；
(5)将冷却后的镍合金管坯在500℃进行再结晶退火，保温2小时，提高其内部组织均匀性；
(6)采用液压校形机对再结晶退火的镍铬铝钇硅硼管坯进行校形，使镍铬铝钇硅硼管坯的直线度小于1mm/m；随后，将镍铬铝钇硅硼管坯转移至水中冷却；
(7)将校直冷却后的镍铬铝钇硅硼管坯在数控机床上依次进行切断，外圆，内圆，长度粗精机加工，得到镍铬铝钇硅硼管靶。其中，单边进刀量为0.05～0.10mm，精加工后的镍铬铝钇硅硼管靶的尺寸精度和表面粗糙度达到规定要求；在车削的过程中，需要喷冷却液，达到降温冷却作用。
对比例1
本对比例提供了一种镍基合金靶材的制备方法，包括以下步骤：
(1)将铝和钇一起置于真空熔炼炉内的坩埚里，然后进行抽真空和感应加热升温，真空度小于0.1Pa，待熔炼温度升至1400℃，保温10min，得到铝钇中间合金熔液；随后，浇铸到模具中得到铝钇中间合金；
(2)将铝钇中间合金、镍、铬、硅与硼等元素金属一同置于真空熔炼炉内的坩埚里，然后进行抽真空和感应加热升温，真空度小于0.1Pa，待熔炼温度升至1400℃，保温10min，得到镍铬铝钇硅硼熔液；将镍铬铝钇硅硼熔液浇铸到石墨模具中冷却至室温，得到镍基六元合金实心圆锭坯；其中铸锭中各元素的质量分数为：Cr：15％～20％，Al：10％～15％，Y：0.2％～1.0％，Si：0.6％～1.2％，B：0.05％～0.1％，余量为Ni和其它不可避免的杂质；
(3)将步骤(2)所得镍基六元合金实心圆锭坯置于加热炉中，设置加热温度1350℃，加热时间为3h，使其呈半熔融状态，保证可溶解的晶相组织不从固溶中析出或呈现小颗粒的弥散析出；
依照产品的尺寸设计准备好镍基六元合金的挤压模具，并将模具安装在双动反向挤压机内；将挤压筒与挤压杆进行预热，预热的温度为1200℃，并在挤压筒表面均匀涂抹润滑剂；将加热后的镍基六元合金坯锭取出，在镍基六元合金坯锭外表面均匀涂抹润滑剂后转移至挤压筒，转移的时间为20s。控制挤压速度为20cm/min，在双动反向挤压机和模具的共同作用下，镍铬铝钇硅硼管坯从双动反向挤压机出口处缓慢挤出；
(4)将冷却后的镍合金管坯在700℃进行再结晶退火，保温2小时，提高其内部组织均匀性；
(5)采用液压校形机对再结晶退火的镍铬铝钇硅硼管坯进行校形，使镍铬铝钇硅硼管坯的直线度小于1mm/m；随后，将镍铬铝钇硅硼管坯转移至水中冷却；
(6)将校直冷却后的镍铬铝钇硅硼管坯在数控机床上依次进行切断，外圆，内圆，长度粗精机加工，得到镍铬铝钇硅硼管靶。其中，单边进刀量为0.05～0.10mm，精加工后的镍铬铝钇硅硼管靶的尺寸精度和表面粗糙度达到规定要求；在车削的过程中，需要喷冷却液，达到降温冷却作用。
效果例1
对实施例1-5和对比例1所得镍铬铝钇硅硼管靶进行测试，测试结果如表1所示。
各性能的测试方法：
含氧量：将样品置于高纯石墨坩埚内，在高至3000℃的温度和惰性气体如氦气的气氛中，样品中的氧和石墨坩埚中的碳反应生成一氧化碳(CO)，氧可以以二氧化碳(CO2)、一氧化碳(CO)或同时存在的形式被红外探测器检测。
密度：固体密度测试仪是将现代微固体技术与阿基米德原理相结合而研发出来的新型比重测试仪器。工作原理是通过浮力与密度计算公式推导与变换形成等式，首先利用高精度固体分析天平分别计算待测物品在空气中的重量w1和在水中的重量w2，并计算w1-w2值，水的密度默认ρ＝1，通过V样品＝V排水建立等式，即可计算出样品的密度值：ρ＝w1/(w1-w2)。
晶粒尺寸：首先依次利用250、600、1000、2000目砂纸进行粗磨和细磨，然后利用粒度为0.5微米的金刚石研磨膏进行机械抛光后使用合适的侵蚀剂进行腐蚀，利用DM40000 M型光学显微镜观察显微组织，在试样各处随机拍摄十张照片利用Nano Measurer软件统计求平均后得到试样平均晶粒尺寸。
成品率：根据无裂纹、无孔洞缩孔，致密度、杂质含量、氧含量、晶粒尺寸等因素符合客户规格的原则，确定出镍铬铝钇硅硼管坯的良品数。成品率即为良品数/熔炼数。
表1
相对于实施例1，对比例1未采用热等静压进行致密化处理，得到的镍基合金的密度要比其它实例中小；其次，氧含量也有明显的增加。说明本发明通过热等静压进行致密化处理，消除了靶材内部发的微裂纹和小尺寸气孔闭合，增加了镍基合金的成品率。实施例2和实施例3分别增加了热挤压后热处理的温度和时间，热挤压工序能够有效破碎高纯铜管坯内的粗大铸造组织；镍基靶材发生回复再结晶过程，破碎的晶粒再次形核长大。当再结晶的温度过高，或再结晶时间过长时，晶粒将会充分长大，并且表现出不均匀的现象。实施例4中，浇铸温度，热等静压温度与挤压温度均偏高；适当的浇铸温度范围内，浇铸温度越高，气体杂质能够有效排除；同样致密化处理过程中，热等挤压温度的温度偏高使得合金密度有所增加。实施例5中，浇铸温度，热等静压温度与挤压温度均偏低，相对于实施例4，氧含量稍高、密度稍低。
最后所应当说明的是，以上实施例用以说明本发明的技术方案而非对本发明保护范围的限制，尽管参照较佳实施例对本发明作了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明的技术方案进行修改或者同等替换，而不脱离本发明技术方案的实质和范围。
Claims (10)
1.一种镍基合金靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)将铝和钇一同置于真空熔炼炉内的坩埚里，进行熔炼得到铝钇中间合金熔液，然后浇铸到模具中得到铝钇中间合金；
(2)将铝钇中间合金、镍、铬、硅与硼一同置于真空熔炼炉内的坩埚里，进行熔炼得到镍铬铝钇硅硼熔液，然后浇铸到模具中得到镍基六元合金实心圆锭坯；
(3)将步骤(2)所得镍基六元合金实心圆锭坯置于热等静压炉中进行热等静压处理；
(4)将步骤(3)所得镍基六元合金实心圆锭坯进行热挤压处理，得到镍铬铝钇硅硼管坯；
(5)将步骤(4)所得镍铬铝钇硅硼管坯依次进行退火、校直冷却、机加工后，得到镍铬铝钇硅硼管靶。
2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中，熔炼的温度为1300～1500℃，时间为5～15min。
3.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)中，熔炼的温度为1500～1800℃，时间为5～15min。
4.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)中，镍基六元合金实心圆锭坯中各元素的质量分数为：Cr：15％～20％，Al：10％～15％，Y：0.2％～1.0％，Si：0.6％～1.2％，B：0.05％～0.1％，余量为Ni和其它不可避免的杂质。
5.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(3)中，热等静压的温度为1050～1200℃，压力为80～150Mpa，时间为2～5h，升温速率为3～10℃/min。
6.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(4)中，热挤压的温度1100～1300℃，挤压速度为10～30cm/min。
7.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(4)中，镍基六元合金实心圆锭坯在热挤压前需要加热处理，加热温度为1250～1450℃，加热时间为1～4h。
8.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(5)中，退火的温度为500～900℃，时间为1～4h。
9.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(5)中，校直后的镍铬铝钇硅硼管坯的直线度小于1mm/m。
10.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述真空熔炼炉的真空度小于0.1Pa。
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